專利名稱：光量調(diào)節(jié)方法及裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及光量調(diào)節(jié)方法及裝置，尤其涉及一種對(duì)從多個(gè)光照射部射出的各光的光量進(jìn)行調(diào)節(jié)的調(diào)節(jié)方法及裝置。
背景技術(shù)：
以往，人們已熟悉使用從多個(gè)激光源射出的激光，在感光材料上記錄圖像信息的圖像記錄裝置。在該裝置中，使用將硅作為主構(gòu)成材料的受光元件來測(cè)定從多個(gè)激光源射出的各激光的光量，并將各激光的光量調(diào)節(jié)成預(yù)先決定的規(guī)定的光量。另外，如上述的、將硅作為主構(gòu)成材料的受光元件，一般根據(jù)受光的光波長(zhǎng)的不同，靈敏度也不同，即，在由所述受光元件接受波長(zhǎng)相互不同的激光的情況下，即使所述受光的各激光的光量相同，從該受光元件輸出的輸出值也會(huì)根據(jù)各激光而分別有所不同，因此，為了使所述輸出值能更正確地表示各激光的光量，應(yīng)根據(jù)各激光的波長(zhǎng)，對(duì)這些輸出值進(jìn)行校正。
(例如，特許文獻(xiàn)1)特公平07-117447號(hào)公報(bào)然而，即使是對(duì)于接受激光照射而記錄圖像的感光材料來說，根據(jù)接受的所述照射的激光波長(zhǎng)，靈敏度也不同。即，在所述感光材料接受相互不同波長(zhǎng)激光的情況下，即使各激光的光量相等，由各激光曝光的感光材料的曝光水平也會(huì)不同。因此，會(huì)有以下問題，即，即使是如上所述根據(jù)各激光的波長(zhǎng)校正從受光元件輸出的輸出值，并調(diào)節(jié)至使各激光的光量相互一樣，再用各激光對(duì)感光材料進(jìn)行曝光，記錄于該感光材料上的圖像的濃度也會(huì)根據(jù)每個(gè)激光而產(chǎn)生不均勻。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明鑒于以上的事實(shí)，其目的在于提供一種能抑制用于曝光感光材料的、因多個(gè)光的波長(zhǎng)相互不同而引起的感光材料的曝光不均勻的光量調(diào)節(jié)方法及裝置。
本發(fā)明之1的光量調(diào)節(jié)方法，是用于調(diào)整感光材料的曝光所使用的、從光照射部射出的光的光量的光量調(diào)節(jié)方法，其特征是確定以使用所述光對(duì)感光材料進(jìn)行曝光為目的曝光水平；基于由根據(jù)所述光的光量以及波長(zhǎng)決定的該光而確定的所述感光材料的曝光水平、和作為所述目的的曝光水平之間的差異，對(duì)所述光量進(jìn)行校正。
本發(fā)明之2，是根據(jù)本發(fā)明之1所述的光量調(diào)節(jié)方法，其特征是對(duì)于所述光量的校正，基于以下兩個(gè)值的差異進(jìn)行，即，基于通過由受光元件接受已知所述波長(zhǎng)的所述光而獲得的輸出值、和在該波長(zhǎng)中對(duì)應(yīng)于作為所述目的的曝光水平的值的差異。
本發(fā)明之3，是根據(jù)本發(fā)明之1所述的光量調(diào)節(jié)方法，其特征是所述光量的校正，基于以下兩個(gè)值的差異進(jìn)行，即，(a)是通過使所述光經(jīng)過所述光學(xué)濾波器并由受光元件受光而獲得的(來自該受光元件的)輸出值，同時(shí)是基于所述受光元件以及所述感光材料的波長(zhǎng)特性來調(diào)整所述光學(xué)濾波器的透過特性、使得該輸出值表示出對(duì)應(yīng)于所述感光材料的曝光水平的特性的輸出值；(b)對(duì)應(yīng)于作為所述目的的曝光水平的值。
本發(fā)明之4，是根據(jù)本發(fā)明之1所述的光量調(diào)節(jié)方法，其特征是將從多個(gè)所述光照射部射出的各光由受光部進(jìn)行分別受光，基于表示從該受光部輸出的所述各光的光量的輸出值，對(duì)從所述光照射部射出的各光的光量進(jìn)行調(diào)節(jié)，這時(shí)，以下述方式進(jìn)行所述光量的校正；在由所述受光部接受光時(shí)，預(yù)先求出從該受光部輸出的輸出值與該光的波長(zhǎng)的關(guān)系，其中，所述光，是滿足使所述感光材料的曝光水平達(dá)到作為所述目的的曝光水平的光量與波長(zhǎng)之間的關(guān)系的光；對(duì)從各光照射部射出的各光的光量進(jìn)行調(diào)節(jié)，使得由所述受光部分別接受從所述各光照射部射出的各光，并且使從該受光部輸出的各輸出值滿足所述輸出值與波長(zhǎng)的關(guān)系。
本發(fā)明之5，是根據(jù)本發(fā)明之1所述的光量調(diào)節(jié)方法，其特征是在調(diào)節(jié)從多個(gè)所述光照射部射出的各光的光量時(shí)，以下述方式進(jìn)行所述光量的校正；在使光經(jīng)過光學(xué)濾波器并由受光部接受光時(shí)，為從該受光部輸出規(guī)定的一定輸出值而準(zhǔn)備決定了透過特性的所述光學(xué)濾波器，其中，所述光，是滿足使所述感光材料的曝光水平達(dá)到作為所述目的的曝光水平的光量與波長(zhǎng)的關(guān)系的光；使從所述各光照射部射出的各光經(jīng)過所述光學(xué)濾波器并且由所述受光部分別地接受光，并對(duì)所述各光照射部射出的各光的光量進(jìn)行調(diào)節(jié)，使得通過該各光的分別受光而從該受光部輸出的各輸出值達(dá)到所述規(guī)定的一定輸出值。
本發(fā)明之6的光量調(diào)節(jié)裝置，其特征是，具有接受從感光材料曝光用的光照射部射出的光，并獲得該光的光量的受光部，和基于由根據(jù)所述光的所述光量以及波長(zhǎng)決定的該光而確定的所述感光材料的曝光水平、和作為所述目的的曝光水平之間的差異，對(duì)所述光量進(jìn)行校正的校正部。
本發(fā)明之7是根據(jù)本發(fā)明之6所述的光量調(diào)節(jié)裝置，其特征是所述受光部，分別地接受從多個(gè)所述光照射部射出的各光并輸出表示該各光的光量的輸出值；所述校正部，具有調(diào)節(jié)從所述各光照射部射出的各光的光量的光量調(diào)節(jié)部，和存儲(chǔ)部，該存儲(chǔ)部，儲(chǔ)存在由所述受光部接受光時(shí)、從該受光部輸出的輸出值與波長(zhǎng)的輸出值-波長(zhǎng)關(guān)系；其中，所述光，是滿足使所述感光材料的曝光水平達(dá)到預(yù)先決定的、所規(guī)定的一定曝光水平的光量與波長(zhǎng)的關(guān)系的光；所述光量調(diào)節(jié)部，調(diào)節(jié)從所述各光照射部射出的各光的光量，使得由所述受光部分別接受從所述各光照射部射出的各光、并使從該受光部輸出的各輸出值滿足儲(chǔ)存于所述存儲(chǔ)部中的所述輸出值-波長(zhǎng)關(guān)系。
本發(fā)明之8是根據(jù)本發(fā)明之6所述的光量調(diào)節(jié)裝置，其特征是所述受光部，分別地接受從多個(gè)所述光照射部射出的各光；所述校正部，具有所述光學(xué)濾波器，該光學(xué)濾波器是配置于所述光照射部和所述受光部之間的光學(xué)濾波器，并且確定了透過特性，使得在使光經(jīng)過該光學(xué)濾波器并由受光部接受光時(shí)，從該受光部輸出規(guī)定的一定輸出值；其中，所述光，是滿足使所述感光材料的曝光水平達(dá)到預(yù)先決定的、所規(guī)定的一定曝光水平的光量與波長(zhǎng)的關(guān)系的光，和光量調(diào)節(jié)部，該光量調(diào)節(jié)部，調(diào)節(jié)從所述各光照射部射出的各光的光量，使得從所述各光照射部射出的各光經(jīng)過所述光學(xué)濾波器并由所述受光部分別地接受光，并且使通過各光的分別受光而從該受光部輸出的各輸出值達(dá)到所述規(guī)定的一定輸出值。
所述“使感光材料的曝光水平達(dá)到預(yù)先決定的、規(guī)定的一定曝光水平”是指，將感光材料設(shè)為預(yù)先決定的、規(guī)定的一定曝光狀態(tài)，例如，在感光材料的相互不同的區(qū)域，以同樣曝光水平曝光的圖像，成為表示對(duì)于該感光材料進(jìn)行顯影的同一濃度的區(qū)域。
(發(fā)明效果)本發(fā)明的光量調(diào)節(jié)方法及裝置，是用于調(diào)整應(yīng)從感光材料曝光用的光照射部射出的光的光量的光量調(diào)節(jié)方法，確定使用所述光進(jìn)行曝光的、感光材料的作為目的的曝光水平，而且，基于由根據(jù)所述光的光量以及波長(zhǎng)決定的該光而確定的所述感光材料的曝光水平和、作為所述目的的曝光水平之間的差異，對(duì)所述光量進(jìn)行校正，從而能更加正確地進(jìn)行光量調(diào)節(jié)。
關(guān)于所述光量調(diào)節(jié)方法及裝置，在由受光部接受光時(shí)，預(yù)先求出從該受光部輸出的輸出值與所述光的波長(zhǎng)之間的關(guān)系，其中，所述光，是滿足使感光材料的曝光水平達(dá)到預(yù)先決定的、所規(guī)定的一定曝光水平的光量與波長(zhǎng)的關(guān)系的光；對(duì)從各光照射部射出的各光光量進(jìn)行調(diào)節(jié)，使得由受光部分別接受從各光照射部射出的各光并使從該受光部輸出的各輸出值滿足所述輸出值與波長(zhǎng)的關(guān)系；這樣，即使從各光照射部射出的各光的波長(zhǎng)具有偏差，也可以調(diào)節(jié)從各光照射部射出的各光的光量，使得能以預(yù)先決定的、所規(guī)定的一定曝光水平對(duì)感光材料進(jìn)行曝光。由此，可以抑制由所述各光的波長(zhǎng)相互不同所引起的感光材料的曝光不均勻。
關(guān)于所述光量調(diào)節(jié)方法及裝置，在使光經(jīng)過光學(xué)濾波器并由受光部接受光時(shí)，準(zhǔn)備確定了透過特性所述光學(xué)濾波器，其中，所述光，是滿足使感光材料的曝光水平達(dá)到預(yù)先決定的、所規(guī)定的一定曝光水平的光量與波長(zhǎng)的關(guān)系的光；并且，使從各光照射部射出的各光經(jīng)過所述光學(xué)濾波器并由受光部接受光，且對(duì)從各光照射部射出的各光的光量進(jìn)行調(diào)節(jié)，使得通過各光的分別受光使從該受光部輸出的各輸出值達(dá)到所述規(guī)定的一定輸出值；這樣，即使從各光照射部射出的各光的波長(zhǎng)相互不同，也可以對(duì)各光的光量進(jìn)行調(diào)節(jié)，從而對(duì)感光材料能以預(yù)先決定的、所規(guī)定的一定曝光水平進(jìn)行曝光。由此，可以抑制由所述各光的波長(zhǎng)相互不同所引起的感光材料的曝光不均勻。另外，在對(duì)從各光照射部射出的各光光量進(jìn)行調(diào)節(jié)，以便從接受各光的受光部輸出的各輸出值達(dá)到所述規(guī)定的一定輸出值的時(shí)候，由于感光材料能以預(yù)先決定的、所規(guī)定的一定曝光水平曝光，因此，可以很容易地進(jìn)行對(duì)各光的光量的調(diào)節(jié)。


圖1是表示本發(fā)明的光調(diào)節(jié)裝置的大致結(jié)構(gòu)的立體圖。
圖2是表示輸出波長(zhǎng)關(guān)系的圖。
圖3是表示受光元件的分光靈敏度特性的圖。
圖4是表示圖3的一部分的擴(kuò)大圖。
圖5是表示感光材料的適當(dāng)曝光光量的圖。
圖6是表示將合波激光的波長(zhǎng)分布的全波長(zhǎng)范圍分割成多個(gè)窄的分割波長(zhǎng)區(qū)域的一例的圖。
圖7是表示本發(fā)明第二實(shí)施例的光量調(diào)節(jié)裝置大致結(jié)構(gòu)的立體圖。
圖8是表示從受光部輸出的規(guī)定的一定輸出值的圖。
圖9是表示受光部的分光靈敏度特性的圖。
圖10是表示由受光部的分光靈敏度特性以及感光材料的適當(dāng)曝光光量所引起的光量調(diào)節(jié)誤差的圖。
圖11是表示在受光部上配置光學(xué)濾波器時(shí)的、調(diào)節(jié)光量和適當(dāng)照射光量的關(guān)系的圖。
圖12是表示配置了光學(xué)濾波器的受光部的實(shí)質(zhì)分光靈敏度特性的圖。
圖中1-感光材料，10-激光照射部，20-受光部、30-光量調(diào)節(jié)部、40-輸出波長(zhǎng)關(guān)系存儲(chǔ)部。
具體實(shí)施例方式
(第一實(shí)施例)下面，參照著附圖，說明本發(fā)明的第一實(shí)施例。圖1是表示實(shí)施本發(fā)明的第一實(shí)施例的光量調(diào)節(jié)方法的光量調(diào)節(jié)裝置的大致結(jié)構(gòu)的立體圖。圖2是以縱軸為輸出值、以橫軸為波長(zhǎng)表示的坐標(biāo)軸上示出后述的輸出波長(zhǎng)關(guān)系的圖。
本發(fā)明的光量調(diào)節(jié)裝置具備以下的部分，即將從感光材料曝光用的多個(gè)作為光照射機(jī)構(gòu)的激光照射部10A、10B…(將各激光照射部統(tǒng)稱為激光照射部10)射出的、對(duì)感光材料1進(jìn)行曝光的各激光進(jìn)行分別受光并輸出表不各激光光量的輸出值的受光部20，和對(duì)從各激光照射部10A、10B…射出的各激光的光量進(jìn)行調(diào)節(jié)的光量調(diào)節(jié)部30，以及輸出波長(zhǎng)存儲(chǔ)部40，所述輸出波長(zhǎng)存儲(chǔ)部40，存儲(chǔ)用受光部20接受光時(shí)從受光部20輸出的輸出值與所述光的波長(zhǎng)的關(guān)系(以后稱為輸出波長(zhǎng)關(guān)系)，所述光，滿足使感光材料1的曝光水平達(dá)到預(yù)先決定的、所規(guī)定的一定曝光水平的光量與波長(zhǎng)的關(guān)系。
多個(gè)激光照射部10A、10B…，沿圖1中的箭頭X方向直線排列，且由分別對(duì)應(yīng)于所述激光照射部10A、10B…的激光源驅(qū)動(dòng)部11A、11B…(將各激光源驅(qū)動(dòng)部統(tǒng)稱為激光源驅(qū)動(dòng)部11)進(jìn)行驅(qū)動(dòng)。
受光部20由將硅作為主構(gòu)成材料的受光元件構(gòu)成，且該受光部20由移送部61沿X方向輸送并按順序配置在接受各激光的各受光位置上。
光量調(diào)節(jié)部30，對(duì)于經(jīng)各激光源驅(qū)動(dòng)部11A、11B…，從各激光照射部10A、10B…射出的各激光的光量進(jìn)行調(diào)節(jié)，以便使從各激光照射部10A、10B…射出的、對(duì)感光材料1進(jìn)行曝光的各激光、通過受光部20進(jìn)行分別受光之后從該受光部20輸出的各輸出值，滿足存儲(chǔ)在輸出波長(zhǎng)存儲(chǔ)部40中的所述輸出波長(zhǎng)關(guān)系。
感光材料1，可以作為為形成二維電路圖案而涂敷了光刻膠的印刷電路板制作用的基板，或作為液晶顯示基板制作用基板，或者作為等離子顯示基板制作用基板，使用。
將輸送所述受光部20的移送部61配置于載置臺(tái)62上，并在該載置臺(tái)62上載置感光材料1。另外，所述載置臺(tái)62，通過輸送部63在與所述X方向垂直相交的圖1中的Y方向上進(jìn)行輸送。
另外，預(yù)先測(cè)定從各激光照射部10A、10B…射出的各激光各自的波長(zhǎng)，且在光源波長(zhǎng)存儲(chǔ)部45中儲(chǔ)存所述各激光的波長(zhǎng)與各激光照射部10A、10B…之間的對(duì)應(yīng)關(guān)系。另外，作為所述各激光的波長(zhǎng)，采用了各激光的峰值波長(zhǎng)。
另外，通過控制器50，對(duì)所述各構(gòu)成元件的動(dòng)作或信號(hào)的輸入輸出的計(jì)時(shí)等裝置整體的動(dòng)作進(jìn)行控制。
另外，在由受光部20接受滿足使感光材料1的曝光水平達(dá)到預(yù)先決定的、所規(guī)定的一定曝光水平的光量和波長(zhǎng)之間的關(guān)系的光，這時(shí)，表示從受光部20輸出的輸出值和所述光的波長(zhǎng)之間的關(guān)系的輸出波長(zhǎng)關(guān)系，為由例如如圖2所示的、隨著波長(zhǎng)的增大輸出值也增大的線H所表示的關(guān)系。輸出波長(zhǎng)存儲(chǔ)部40，例如可將所述輸出波長(zhǎng)關(guān)系作為查閱表存儲(chǔ)，或者作為函數(shù)存儲(chǔ)。
另外，表示從受光部20輸出的激光光量的輸出值，可以設(shè)為表示每單位時(shí)間的激光光量的輸出值，或者在從激光照射部10射出的激光是脈沖狀激光的情況下，可以設(shè)為表示脈沖狀激光的1個(gè)脈沖份的光量的輸出值。
下面，對(duì)于上述第一實(shí)施例的作用進(jìn)行說明。
移送部61，在所述X方向上輸送受光部20，并使該受光部20位于能接受從激光照射部10A射出的激光的受光位置Ga。位于受光位置Ga的受光部20，接受從激光照射部10A射出的激光，并將通過該激光的受光而從受光部20輸出的輸出值輸入到光量調(diào)節(jié)部30。另外，移送部61，將表示已使受光部20移動(dòng)至能接受從激光照射部10A射出的激光的位置的信號(hào)、輸出至光量調(diào)節(jié)部30。
光量調(diào)節(jié)部30，從移送部61輸入所述信號(hào)，并識(shí)別由受光部20接受的激光就是從激光照射部10A射出的激光，參照光源波長(zhǎng)存儲(chǔ)部45，取得從激光照射部10A射出的激光的波長(zhǎng)λa。而且，該光量調(diào)節(jié)部30，參照儲(chǔ)存在輸出波長(zhǎng)存儲(chǔ)部40中的輸出波長(zhǎng)關(guān)系，取得滿足對(duì)應(yīng)于所述波長(zhǎng)λa的所述輸出波長(zhǎng)關(guān)系的輸出值Pa(參照?qǐng)D2)。
然后，光量調(diào)節(jié)部30，為了使通過接受從激光照射部10A射出的激光而從受光部20輸出的輸出值成為所述輸出值Pa而對(duì)光源驅(qū)動(dòng)部11A進(jìn)行控制，并調(diào)節(jié)從該激光源驅(qū)動(dòng)部11A供給至激光照射部10A的驅(qū)動(dòng)電流。
在為了使其成為所述輸出值Pa而對(duì)從所述激光照射部10A射出的激光光量進(jìn)行調(diào)節(jié)時(shí)，激光源驅(qū)動(dòng)部11A就固定(clump)從激光照射部10A射出的激光光量。由此，完成從激光照射部10A射出的激光光量的調(diào)節(jié)。
接著，移送部61沿X方向移送受光部20，并使該受光部20位于能接受從激光照射部10B射出的光的受光位置Gb。位于受光位置Gb的受光部20，接受從激光照射部10B射出的激光，并將通過該激光的受光而從受光部20輸出的輸出值輸入到光量調(diào)節(jié)部30。另外，將表示已由移送部61將受光部20移動(dòng)至能接受從激光照射部10B射出的激光的位置的信號(hào)、輸出至光量調(diào)節(jié)部30。
光量調(diào)節(jié)部30，基于從移送部61輸入所述信號(hào)，識(shí)別由受光部20接受的激光就是從激光照射部10B射出的激光，參照光源波長(zhǎng)存儲(chǔ)部45，取得從激光照射部10B射出的激光的波長(zhǎng)λb。而且，該光量調(diào)節(jié)部30，參照儲(chǔ)存在輸出波長(zhǎng)存儲(chǔ)部40中的輸出波長(zhǎng)關(guān)系，取得滿足對(duì)應(yīng)于所述波長(zhǎng)λb的所述輸出波長(zhǎng)關(guān)系的輸出值Pb(參照?qǐng)D2)。
接著，與上述的一樣，通過光量調(diào)節(jié)部30，對(duì)從激光照射部10B射出的激光光量進(jìn)行調(diào)節(jié)，從而，使從受光部20輸出的輸出值成為所述規(guī)定的值Pb。
此后，使受光部20依次位于能接受從激光照射部10C、10D…射出的激光的受光位置Gc、Gd…，并對(duì)從所述激光照射部10C、10D…射出的各激光的光量與上述的同樣地進(jìn)行調(diào)節(jié)，并將從所述激光照射部10C、10D…射出的激光的光量與上述的同樣地進(jìn)行固定(clump)。由此，全部完成從激光照射部10A、10B…射出的激光光量的調(diào)節(jié)。
在全部完成了從各激光照射部10A、10B…射出的激光光量的調(diào)節(jié)后，輸送部63，沿與所述各激光照射部10A、10B…排列的所述箭頭X方向垂直的箭頭Y方向輸送載置臺(tái)62。
控制器50，與所述載置臺(tái)62的輸送同步，控制各激光照射部10或各激光源驅(qū)動(dòng)部11，使來自各激光照射部10A、10B…的激光的射出實(shí)行ON·OFF，以便將顯示輸入到圖像描繪部65中并已儲(chǔ)存了的圖像數(shù)據(jù)的圖像，記錄到載置于載置臺(tái)62的感光材料1上。由此，在感光材料1上，所述圖像被曝光。在這里，由于從所述各激光照射部10射出的、對(duì)感光材料進(jìn)行曝光的各激光的光量為與所述固定(clump)了的光量，因此，從接受了所述各激光的受光部20輸出的輸出值和所述激光的波長(zhǎng)，滿足所述輸出波長(zhǎng)關(guān)系。
如上所述那樣，通過對(duì)從各激光照射部射出的各激光的光量進(jìn)行調(diào)節(jié)，即使從各激光照射部射出的激光的波長(zhǎng)產(chǎn)生誤差，也能以同樣的曝光水平對(duì)感光材料1進(jìn)行曝光，而且，也可以抑制由所述各激光的相互之間的波長(zhǎng)不同而產(chǎn)生的感光材料的曝光不均勻。
另外，對(duì)于從各激光照射部射出的各激光光量的調(diào)節(jié)，不僅可以通過調(diào)節(jié)供給至激光源的驅(qū)動(dòng)電流實(shí)現(xiàn)，而且，還可以在激光照射部上配置限制激光傳播的光路的截面積的光圈，并通過調(diào)節(jié)該光圈進(jìn)行激光光量的調(diào)節(jié)。
另外，在上述第一實(shí)施例中，將激光照射部和從該激光照射部射出的激光波長(zhǎng)之間的對(duì)應(yīng)關(guān)系儲(chǔ)存在光源波長(zhǎng)存儲(chǔ)部，但是，也可以在每次調(diào)節(jié)從各激光照射部射出的各激光光量的時(shí)候，將各激光的波長(zhǎng)值手動(dòng)輸入到光量調(diào)節(jié)部中。
另外，還可以將所述受光部設(shè)為能夠檢測(cè)出從激光照射部射出的激光波長(zhǎng)的部分，從而通過該受光部，可檢測(cè)出從各激光照射部射出的各激光的波長(zhǎng)，并自動(dòng)將所述波長(zhǎng)輸入到光量調(diào)節(jié)部。
另外，光照射機(jī)構(gòu)，不僅可以是能射出從單一激光源射出的波長(zhǎng)范圍狹窄的激光的機(jī)構(gòu)，還可以是能射出將從多個(gè)激光源射出的各激光進(jìn)行合波而形成的波長(zhǎng)范圍寬的合波激光的機(jī)構(gòu)。另外，該光照射機(jī)構(gòu)，不僅限于射出激光的機(jī)構(gòu)，還可以是能射出由鹵燈或者水銀燈等發(fā)出的波長(zhǎng)范圍寬的光的機(jī)構(gòu)。
在各激光照射部是能射出如上述合波激光那樣的波長(zhǎng)范圍寬的光的機(jī)構(gòu)的情況下，如后面將要具體說明的那樣，對(duì)從激光照射部射出的合波激光的波長(zhǎng)所分布的全波長(zhǎng)區(qū)域進(jìn)行分割，分割成多個(gè)狹窄分割波長(zhǎng)區(qū)域，并對(duì)于滿足對(duì)應(yīng)于各分割波長(zhǎng)區(qū)域中心波長(zhǎng)的所述輸出波長(zhǎng)關(guān)系的輸出值(從受光部輸出的輸出值，此后，也會(huì)將從受光部輸出的輸出值稱作受光部輸出值)，乘上相對(duì)于所述合波激光的全波長(zhǎng)區(qū)域中的光強(qiáng)度的、所述各分割波長(zhǎng)區(qū)域中的光強(qiáng)度的比例，獲得相乘的值，并以使這些值的經(jīng)全波長(zhǎng)區(qū)域的總和成為受光部輸出值為目的，控制各激光源驅(qū)動(dòng)部并調(diào)節(jié)供給至各激光照射部的驅(qū)動(dòng)電流。由此，例如，在由本申請(qǐng)人已提出的專利文獻(xiàn)(例如，特開2002-202442等)中記載的曝光裝置中，也可以應(yīng)用上述光量調(diào)節(jié)方式。即，使用上述光量調(diào)節(jié)方式，可以調(diào)整從作為所述曝光裝置的多個(gè)光照射機(jī)構(gòu)的各曝光頭射出的各合波激光的光量。
下面，對(duì)為使從多個(gè)光照射機(jī)構(gòu)中射出的各光的光量滿足所述輸出波長(zhǎng)關(guān)系的調(diào)節(jié)進(jìn)行詳細(xì)說明。圖3是在以靈敏度作為縱軸、以波長(zhǎng)作為橫軸表示的坐標(biāo)上，表示受光元件的分光靈敏度特性的圖；圖4是表示圖3的一部分的擴(kuò)大圖；圖5是在以光量作為縱軸、以波長(zhǎng)作為橫軸表示的坐標(biāo)上，表示感光材料的適當(dāng)曝光光量的圖。
從作為多個(gè)光照射機(jī)構(gòu)的各發(fā)光元件射出的光，在其各個(gè)峰值波長(zhǎng)中有偏差，將各光的峰值波長(zhǎng)，設(shè)為分布在以波長(zhǎng)λo為中心的λo-Δλ～λo+Δλ范圍內(nèi)。將所述各發(fā)光元件和其峰值波長(zhǎng)之間的對(duì)應(yīng)關(guān)系作為參數(shù)儲(chǔ)存。
由圖3的線J1表示將硅作為材料的受光元件的一般的分光靈敏度特性。例如，作為所述多個(gè)發(fā)光元件，使用射出波長(zhǎng)400nm附近激光的半導(dǎo)體激光器，如果從各半導(dǎo)體激光器射出的各光的峰值波長(zhǎng)的偏差是10nm左右，那么，該峰值波長(zhǎng)在偏差波長(zhǎng)范圍內(nèi)的受光元件的靈敏度，可能接近于直線。
圖4是將表示圖3的分光靈敏度特性的線J1中的所述波長(zhǎng)范圍擴(kuò)大了的圖。在這里，將所述波長(zhǎng)范圍中的線J1的近似直線斜率設(shè)置為α，并將該值α作為參數(shù)儲(chǔ)存。在所述波長(zhǎng)范圍內(nèi)的任意波長(zhǎng)λ的、受光元件的靈敏度η，使用與作為所述各峰值波長(zhǎng)的偏差中心值的基準(zhǔn)波長(zhǎng)λo的靈敏度ηo，根據(jù)下述式1計(jì)算獲得。
η＝ηo+α(λ-λo) ……式1接著，將以上述同樣的波長(zhǎng)λo作為中心的、在λo-Δλ～λo+Δλ波長(zhǎng)范圍內(nèi)的感光材料的適當(dāng)曝光光量的例子，在圖5中表示為線J2。另外，所述適當(dāng)曝光光量，是指以一定且適當(dāng)?shù)钠毓馑健?duì)預(yù)先設(shè)定的感光材料進(jìn)行曝光的光量。將該線J2的近似直線斜率設(shè)為β，并將該值β作為參數(shù)儲(chǔ)存。對(duì)應(yīng)于所述波長(zhǎng)范圍內(nèi)的任意波長(zhǎng)λ的適當(dāng)曝光光量P，可使用作為所述波長(zhǎng)范圍中心值的基準(zhǔn)波長(zhǎng)λo的適當(dāng)曝光光量Po，并根據(jù)下述式2計(jì)算獲得。
P＝Po+β(λ-λo) ……式2為了將從各發(fā)光元件射出并對(duì)感光材料進(jìn)行曝光的光的光量調(diào)整為所述適當(dāng)曝光光量，首先，由外部設(shè)定對(duì)應(yīng)于基準(zhǔn)波長(zhǎng)λo的適當(dāng)曝光光量Po。通過設(shè)定所述Po，就可以基于式2計(jì)算出對(duì)應(yīng)于每個(gè)發(fā)光元件的波長(zhǎng)的適當(dāng)曝光光量，因此，使用上述式2可求出對(duì)應(yīng)于各發(fā)光元件的適當(dāng)曝光光量。對(duì)于從各發(fā)光元件射出的光的光量調(diào)整，例如，是將從各發(fā)光元件射出的光依次照射到受光元件的受光面上，然后，為了使由接受了所述光的受光元件產(chǎn)生的光電轉(zhuǎn)換電流輸出(表示每單位時(shí)間的光量的輸出)成為規(guī)定的目標(biāo)輸出值而調(diào)整各發(fā)光元件的驅(qū)動(dòng)電流值，使從各發(fā)光元件射出的光(對(duì)感光材料進(jìn)行曝光的光)的光量，與分別對(duì)應(yīng)于各發(fā)光元件的所述適當(dāng)曝光光量一致。來自受光元件的光電轉(zhuǎn)換電流輸出的所述規(guī)定的目標(biāo)輸出值，可以通過以式1以及式2作為基礎(chǔ)導(dǎo)出的下述式3計(jì)算出。
I＝η×P＝{ηo+α(λ-λo)}{Po+β(λ-λo)} ……式3在式3中，成為每個(gè)發(fā)光元件的固有參數(shù)的只有波長(zhǎng)λ。其他η、α、β，是通過決定基準(zhǔn)波長(zhǎng)λo而作為唯一的值所決定量。另外，根據(jù)使用的感光材料，可以設(shè)定對(duì)應(yīng)于基準(zhǔn)波長(zhǎng)λo的適當(dāng)曝光光量Po。
下面，進(jìn)一步對(duì)于光量調(diào)節(jié)方法進(jìn)行說明，該方法如圖6所示，被使用于對(duì)在使從所述激光照射部射出的激光的峰值波長(zhǎng)、以波長(zhǎng)λp為中心擴(kuò)展在p-Δλ到p+Δλ的范圍內(nèi)、從多個(gè)激光源射出的各自的激光進(jìn)行合波而成為波長(zhǎng)范圍寬的合波激光的情況下。圖6是表示在以橫軸為波長(zhǎng)、以縱軸為相對(duì)光強(qiáng)度的坐標(biāo)上、將分布了所述合波激光的波長(zhǎng)的全波長(zhǎng)范圍分割成多個(gè)狹窄的波長(zhǎng)區(qū)域的、表示例1的圖。另外，所述相對(duì)光強(qiáng)度，是指對(duì)于所述全波長(zhǎng)區(qū)域的合波激光光強(qiáng)度、所述各分割波長(zhǎng)區(qū)域的合波激光的光強(qiáng)度所占的比例，而且，將全波長(zhǎng)區(qū)域的合波激光光強(qiáng)度作為1(100％)，來表示所述各分割波長(zhǎng)區(qū)域的光強(qiáng)度比例。
可通過所述式3計(jì)算出與某分割區(qū)域i的中心波長(zhǎng)λi相對(duì)應(yīng)的光電轉(zhuǎn)換電流輸出的目標(biāo)值。在這里，將分割區(qū)域i的相對(duì)光強(qiáng)度設(shè)為Xi、將由式3計(jì)算出的相對(duì)于分割區(qū)域i的中心波長(zhǎng)λi的光電轉(zhuǎn)換電流輸出目標(biāo)值設(shè)為Ii，則合波激光的光電轉(zhuǎn)換電流輸出的目標(biāo)值I，可通過下述式4計(jì)算出。
I＝∑Xi×Ii ……式4根據(jù)以上的順序，在以下情況下，即，在從多個(gè)發(fā)光元件射出的各光的峰值波長(zhǎng)上具有偏差，并在所述峰值波長(zhǎng)具有偏差的波長(zhǎng)范圍內(nèi)，受光部或者感光材料的靈敏度具有對(duì)波長(zhǎng)的依存性的情況下，可以對(duì)各個(gè)波長(zhǎng)依存性進(jìn)行校正，從而形成無畫質(zhì)不均勻的圖像。
另外，受光部，并不僅限于由將硅作為主構(gòu)成材料的受光元件構(gòu)成，只要是能輸出顯示所接受的光的光量的輸出值的機(jī)構(gòu)，具有任何結(jié)構(gòu)都無妨。
(第二實(shí)施例)下面，參照附圖，對(duì)本發(fā)明的第二實(shí)施例進(jìn)行說明。圖7是表示搭載了實(shí)施本發(fā)明第二實(shí)施例的光量調(diào)節(jié)方法的光量調(diào)節(jié)裝置的曝光裝置的大致結(jié)構(gòu)立體圖。圖8是在以縱軸為輸出、以橫軸為波長(zhǎng)的坐標(biāo)軸上、表示從受光部輸出的所規(guī)定的一定輸出值的圖。另外，在第二實(shí)施例中，對(duì)于與所述第一實(shí)施例中具有公共功能的部分，使用與第一實(shí)施例一樣的符號(hào)進(jìn)行表示。
搭載于曝光裝置100上的本發(fā)明的光量調(diào)節(jié)裝置101，具有對(duì)從感光材料曝光用的多個(gè)作為光照射機(jī)構(gòu)的激光照射部10A、10B…(將各激光照射部統(tǒng)稱為激光照射部10)射出的各激光分別進(jìn)行受光的受光部120，和配置于各激光照射部10和受光部120之間的光學(xué)濾波器140，以及對(duì)于從各激光照射部10射出的各光的光量進(jìn)行調(diào)節(jié)的光量調(diào)節(jié)器130。
對(duì)于光學(xué)濾波器140，設(shè)定了透過特性，以便在使光通過該光學(xué)濾波器140并由受光部120接受光的時(shí)候，能夠從受光部120輸出規(guī)定的一定輸出值，這里，所述光是指能滿足使感光材料1的曝光水平達(dá)到預(yù)先決定的、所規(guī)定的一定曝光水平的光量和波長(zhǎng)之間的關(guān)系的光。
在使光通過該光學(xué)濾波器140并由受光部120接受光時(shí)、從受光部120輸出的輸出值，如圖8的直線Ho所示，不基于接受的光的波長(zhǎng)而為一定的值，且該一定的值Qo就成為所述規(guī)定的一定輸出值，這里，所述光是指能滿足使感光材料1的曝光水平達(dá)到預(yù)先決定的、所規(guī)定的一定曝光水平的光量和波長(zhǎng)之間的關(guān)系的光。
所述光學(xué)濾波器140，例如，可以使用在玻璃基板上疊層薄膜的一般的方法制作而成。
光量調(diào)節(jié)部130，對(duì)從各激光照射部10A、10B…射出的各激光的光量進(jìn)行調(diào)節(jié)，以便使從各激光照射部10A、10B…射出的各激光、通過光學(xué)濾波器140并使由受光部120分別受光而輸出的各輸出值與所述規(guī)定的一定輸出值的值Qo一致。
所述激光照射部10A、10B…，沿圖7中的箭頭X方向以直線排列并配置于曝光裝置100上，且由分別對(duì)應(yīng)于所述激光照射部10A、10B…的激光源驅(qū)動(dòng)部11A、11B…(將各激光源驅(qū)動(dòng)部統(tǒng)稱為激光源驅(qū)動(dòng)部11)驅(qū)動(dòng)。另外，所述激光照射部10，可以是例如由半導(dǎo)體激光器構(gòu)成。
受光部120由將硅作為主構(gòu)成材料的受光元件構(gòu)成，且該受光部120由移送部61沿所述箭頭X方向移送，并依次配置在接受從所述激光照射部10射出的各激光的各受光位置。在由移送部61移送受光部120的時(shí)候，配置于受光部120的受光面上的所述光學(xué)濾波器140，也以配置于受光部120的狀態(tài)，與該受光部120一同被移送。
感光材料1，可以是為形成二維電路圖案而涂敷光刻膠的印刷電路板制作用的基板、液晶顯示基板制作用基板、或者是等離子顯示基板制作用基板。
曝光裝置100，除了所述激光照射部10以及激光源驅(qū)動(dòng)部11之外，還具有配置了所述感光材料1和移送部61的載置臺(tái)62、在與所述箭頭X垂直的圖7中的箭頭Y方向上輸送載置臺(tái)62的輸送部63、以及對(duì)所述各構(gòu)成元件的動(dòng)作或者信號(hào)輸入輸出計(jì)時(shí)等裝置整體的動(dòng)作進(jìn)行控制的控制器50。另外，所述移送部61和感光材料1，在所述箭頭Y方向上并列配置于載置臺(tái)62上。
另外，從受光部120輸出的輸出值，可以是表示該受光部120每單位時(shí)間所接受的激光光量的輸出值，或者，在從激光照射部10射出的激光是脈沖狀激光的情況下，可以是表示從受光部120接受的所述脈沖狀激光的1脈沖份的光量的輸出值等。
下面，對(duì)通過所述光量調(diào)節(jié)裝置101調(diào)整從激光照射部10射出的激光的光量的情況進(jìn)行說明。
移送部61，沿所述箭頭X方向移送受光部120，并使該受光部120位于能接受從激光照射部10A射出的激光的受光位置Ga。位于受光位置Ga的受光部120接受從激光照射部10A射出的波長(zhǎng)λa的、對(duì)感光材料1進(jìn)行曝光的激光，并將通過該激光的受光而從受光部120輸出的表示所述激光光量的輸出值輸入到光量調(diào)節(jié)部130。
光量調(diào)節(jié)部130，為了使通過接受從激光照射部10A射出的、對(duì)所述感光材料1進(jìn)行曝光的激光而從受光部120輸出的輸出值成為所述值Qo，對(duì)光源驅(qū)動(dòng)部11A進(jìn)行控制并調(diào)節(jié)從該激光源驅(qū)動(dòng)部11A供給至激光照射部10A的驅(qū)動(dòng)電流(參照?qǐng)D8)。在調(diào)節(jié)從所述激光照射部10A射出的激光光量、以便使從受光部120輸出的輸出值成為所述值Qo時(shí)，從光量調(diào)節(jié)部130輸出固定所述光量的信號(hào)，輸入了該信號(hào)的激光源驅(qū)動(dòng)部11A，固定(clump)從激光照射部10A射出的激光的光量。由此，完成了從激光照射部10A射出的激光光量的調(diào)節(jié)。
接著，移送部61沿X方向移送受光部120，并使該受光部120位于能接受從激光照射部10B射出的激光的受光位置Gb。位于受光位置Gb的受光部120，接受從激光照射部10B射出的波長(zhǎng)為λb的激光，將通過所述激光的受光而從受光部120輸出的輸出值輸入到光量調(diào)節(jié)部130。
光量調(diào)節(jié)部130，與上述同樣，為了使通過接受從激光照射部10B射出的激光而從受光部120輸出的輸出值成為所述值Qo，對(duì)光源驅(qū)動(dòng)部11B進(jìn)行控制，并調(diào)節(jié)供給至激光照射部10B的驅(qū)動(dòng)電流。在調(diào)節(jié)從所述激光照射部10B射出的激光光量、以便使從受光部120輸出的輸出值成為所述值Qo時(shí)，與上述同樣，輸入了來自光量調(diào)節(jié)部130的信號(hào)的激光源驅(qū)動(dòng)部11B，固定(clump)從激光照射部10B射出的激光的光量。由此，完成了從激光照射部10B射出的激光光量的調(diào)節(jié)。
此后，由移送部61使受光部120依次位于能接受從激光照射部10C、10D…射出的激光的受光位置Gc、Gd…，并通過光量調(diào)節(jié)部130對(duì)各激光的光量進(jìn)行調(diào)節(jié)，使從位于所述每個(gè)受光位置Gc、Gd…的受光部120輸出的輸出值成為所述值Qo，并由激光光源驅(qū)動(dòng)部11C、11D…固定(clump)從各激光照射部10C、10D…分別射出的激光的光量。由此，全部完成了從激光照射部10A、10B、10C、10D…射出的激光光量的調(diào)節(jié)。
在全部完成了從激光照射部10射出的激光光量的調(diào)節(jié)之后，輸送部63，沿與所述各激光照射部10A、10B…排列的所述箭頭X方向垂直的箭頭Y方向，輸送載置臺(tái)62。
控制器50，與所述載置臺(tái)62的輸送同步，控制各激光光源照射部10或者各激光源驅(qū)動(dòng)部11，使來自各激光照射部10A、10B…的激光的射出為ON·OFF，以便將用預(yù)先輸入到圖像描繪部65中并已存儲(chǔ)了的圖像數(shù)據(jù)所表示的圖像、曝光在載置于載置臺(tái)62的感光材料1上。由此，在感光材料1上，用所述圖像數(shù)據(jù)表示的圖像被曝光。在這里，由于從所述各激光照射部10A、10B…射出的激光的光量為固定(clump)于每個(gè)激光的光量，因此，可以使曝光于感光材料1的圖像的曝光水平，成為所述預(yù)先設(shè)定的規(guī)定的一定曝光水平。
另外，對(duì)于從各激光照射部射出的各激光光量的調(diào)節(jié)，不僅限于調(diào)節(jié)供給至激光源的驅(qū)動(dòng)電流的情況，而且，還可以在激光照射部上配置能限制激光傳播的光路的截面積的光圈，并通過調(diào)節(jié)該光圈來調(diào)節(jié)激光光量。
如上所述，通過對(duì)從各激光照射部射出的各激光光量進(jìn)行調(diào)節(jié)，即使各激光的波長(zhǎng)相互不同，也可以在規(guī)定的一定曝光水平上對(duì)感光材料進(jìn)行曝光，并能抑制感光材料的曝光不均勻。另外，即使在由溫度或者時(shí)效變化而使從激光照射部射出的激光的波長(zhǎng)發(fā)生偏移的情況下，也可以不測(cè)定從各個(gè)激光照射部射出的激光波長(zhǎng)，能與上述同樣地調(diào)節(jié)各激光的光量，從而節(jié)省了測(cè)定所述波長(zhǎng)等所需的時(shí)間和費(fèi)用。
另外，所述光學(xué)濾波器，不僅可以配置于受光部的受光面上，還可以配置于與所述受光面相分離的激光照射部和受光部之間。
另外，受光部，并不僅限于由將硅作為主構(gòu)成材料的受光元件構(gòu)成，只要是能表示所接受的光的光量輸出值的機(jī)構(gòu)，具有任何結(jié)構(gòu)都無妨。
另外，光照射機(jī)構(gòu)，可以是發(fā)射從單一激光源射出的波長(zhǎng)范圍狹窄的激光的機(jī)構(gòu)，還可以是能射出將從多個(gè)激光源射出的各激光進(jìn)行合波而成的波長(zhǎng)范圍寬的合波激光的機(jī)構(gòu)。進(jìn)而，該光照射機(jī)構(gòu)，并不僅限于射出激光的機(jī)構(gòu)，還可以是能射出由鹵燈或者水銀燈等發(fā)出的波長(zhǎng)范圍寬的光的機(jī)構(gòu)。即，即使是波長(zhǎng)范圍寬的光，也可以通過將使表示從接受該光的受光部輸出的所述光的光量的輸出值與所述規(guī)定的一定輸出值一致，而以所述規(guī)定的一定曝光水平對(duì)感光材料進(jìn)行曝光。由此，即使對(duì)于波長(zhǎng)范圍寬的光，也可以應(yīng)用與上述同樣的本發(fā)明的光量調(diào)節(jié)方法以及裝置，因此，比本申請(qǐng)人已提出的專利文獻(xiàn)(例如，特開2002-202442等)中記載的曝光裝置中，也可以應(yīng)用所述光量調(diào)節(jié)方式。即，使用本發(fā)明的光量調(diào)節(jié)方式，可以調(diào)整從作為上述提出的曝光裝置的多個(gè)光照射機(jī)構(gòu)的各曝光頭射出的各合波激光的光量。
下面，對(duì)于通過對(duì)光學(xué)濾波器的透過特性的適當(dāng)?shù)脑O(shè)定來抑制在曝光于感光材料的圖像上產(chǎn)生畫質(zhì)不均勻的作用進(jìn)行詳細(xì)說明。另外，所述畫質(zhì)不均勻，例如是在使用從多個(gè)光照射部射出的波長(zhǎng)相互不同的各光、在感光材料上進(jìn)行對(duì)圖像的曝光的情況下，由于受光部的靈敏度以及感光材料的靈敏度具有波長(zhǎng)依存性而產(chǎn)生的。圖9是表示受光部的分光靈敏度特性的圖。圖10是表示由受光部的分光靈敏度特性以及感光材料的適當(dāng)曝光光量的波長(zhǎng)依存性引起而產(chǎn)生的光量調(diào)節(jié)誤差的圖。圖11是表示在受光部上配置光學(xué)濾波器時(shí)的、調(diào)節(jié)光量和適當(dāng)照射光量的關(guān)系的圖。圖12是表示配置了光學(xué)濾波器的受光部的實(shí)質(zhì)分光靈敏度特性的圖。在以下將要敘述的內(nèi)容中，對(duì)所述的“適當(dāng)曝光光量”、“光量調(diào)節(jié)誤差”、“適當(dāng)照射光量”、“調(diào)節(jié)光量”以及“實(shí)質(zhì)分光靈敏度特性”等進(jìn)行說明。
考慮從多個(gè)光照射部射出的各光的峰值波長(zhǎng)分布在λo～λo+Δλ范圍且所述各峰值波長(zhǎng)在Δλ波長(zhǎng)范圍內(nèi)產(chǎn)生偏差的情況。圖9的線Jo表示使用將硅作為主要材料構(gòu)成的受光元件構(gòu)成的受光部的、一般的分光靈敏度特性。而且，圖10(a)表示將該圖(9)在所述波長(zhǎng)范圍內(nèi)進(jìn)行擴(kuò)大的圖。圖10(a)中的線J11，放大表示了所述分光靈敏度特性。
受光部所接受的光的、單位時(shí)間的光量P和作為表示由受光部進(jìn)行光電轉(zhuǎn)換并輸出的所述光量P的輸出值的光電轉(zhuǎn)換電流值I、以及受光部的靈敏度η的關(guān)系用下式5表示。
I＝η·P ……式5在這里，由于受光部的靈敏度η具有波長(zhǎng)依存性，因此，在從受光部輸出一定輸出值的情況下，從光照射部射出的各光的單位時(shí)間的光量(以后，稱為“調(diào)節(jié)光量”)隨波長(zhǎng)變動(dòng)。例如，在于如圖10(a)中的線J11所示，具有波長(zhǎng)依存性的受光部的長(zhǎng)波長(zhǎng)側(cè)(λo+Δλ)的靈敏度、比起短波長(zhǎng)側(cè)(λo)的靈敏度高10％情況下的所述調(diào)節(jié)光量，如圖10(c)中的線J14所示，是長(zhǎng)波長(zhǎng)側(cè)的光量比短波長(zhǎng)側(cè)的光量小大約10％。另外，作為使感光材料的曝光水平達(dá)到預(yù)先設(shè)定的、所規(guī)定的一定曝光水平光量的“適當(dāng)曝光光量”，根據(jù)使用于曝光的波長(zhǎng)而進(jìn)行變動(dòng)，例如，如圖10(b)中的線J12所示，在長(zhǎng)波長(zhǎng)側(cè)的適當(dāng)曝光光量大于短波長(zhǎng)側(cè)的適當(dāng)曝光光量的情況下，為了能用曝光裝置使感光材料達(dá)到預(yù)先決定的、所規(guī)定的一定曝光水平進(jìn)行曝光，對(duì)于作為從光照射部應(yīng)射出的光的單位之間光量的“適當(dāng)照射光量”，如圖10(c)中的線J13所示，長(zhǎng)波長(zhǎng)側(cè)的光量大于短波長(zhǎng)側(cè)的光量。另外，當(dāng)從光照射部射出的光的光量是所述適當(dāng)照射光量時(shí)，對(duì)感光材料以所述適當(dāng)曝光光量進(jìn)行曝光。
因而，即使以從受光部輸出規(guī)定的一定輸出值為目的而對(duì)從光照射部射出的光的單位時(shí)間光量進(jìn)行調(diào)節(jié)，也只產(chǎn)生由所述線J14與線J13之差表示的份的光量的調(diào)節(jié)誤差(以后，稱為“光量調(diào)節(jié)誤差”)，所述調(diào)節(jié)光量(參照?qǐng)D10(c)中的線J14)與適當(dāng)照射光量(參照?qǐng)D10(c)中的線J13)不一致。即，所述各波長(zhǎng)的光，將不滿足使感光材料的曝光水平達(dá)到一定曝光水平的光量和波長(zhǎng)之間的關(guān)系。
其結(jié)果，基于波長(zhǎng)，光量調(diào)節(jié)誤差的大小變得不同，例如，如圖10(c)中的J14所示，雖然對(duì)于在從多個(gè)光照射部射出的各光之中的、波長(zhǎng)接近于λo的短波長(zhǎng)側(cè)的光，能以適當(dāng)曝光光量對(duì)感光材料進(jìn)行曝光，但是，對(duì)于波長(zhǎng)接近于λo+Δλ的長(zhǎng)波長(zhǎng)側(cè)的光，則以比適當(dāng)曝光光量大大降低的光量對(duì)感光材料進(jìn)行曝光，從而，在使用從多個(gè)光照射部射出的波長(zhǎng)相互不同的各光對(duì)感光材料進(jìn)行曝光時(shí)，圖像中會(huì)產(chǎn)生畫質(zhì)不均勻。
針對(duì)與此，為了減小所述光量調(diào)節(jié)誤差，即，為了使調(diào)節(jié)光量與適當(dāng)照射光量一致，對(duì)于從光照射部射出各光的單位時(shí)間的光量進(jìn)行調(diào)節(jié)，以便以在狀態(tài)下從受光部輸出規(guī)定的一定輸出值，這樣則可以將從各光照射部射出的各光光量與所述適當(dāng)照射光量一致，由此，能對(duì)感光材料以預(yù)先決定的所規(guī)定的一定曝光水平進(jìn)行曝光。
這里，在受光部的前面配置光學(xué)濾波器，通過該光學(xué)濾波器抵消基于所述波長(zhǎng)的各特性的變化，從而將所述調(diào)節(jié)光量一致于適當(dāng)照射光量。即，對(duì)于合成了所述光學(xué)濾波器的透過特性以及受光部的分光靈敏度的實(shí)質(zhì)性的受光部的分光靈敏度(以后，稱為“實(shí)質(zhì)分光靈敏度”)進(jìn)行確定，使調(diào)整光量一致于適當(dāng)照射光量。由此，由受光部的靈敏度感光性的波長(zhǎng)依存性(參照?qǐng)D10(a))以及感光材料的適當(dāng)曝光光量的波長(zhǎng)依存性(參照?qǐng)D10(b))所產(chǎn)生的影響被所述實(shí)質(zhì)分光靈敏度特性所抵消，從而，通過對(duì)于從光照射部射出的光的光量進(jìn)行調(diào)節(jié)、以便從所述受光部輸出規(guī)定的一定輸出值，可以使從各光照射部射出的各光的單位時(shí)間的光量與所述適當(dāng)照射光量一致。
更具體地說，基于圖11(b)的線J12所示的感光材料的適當(dāng)曝光光量，將適當(dāng)照射光量定為如同圖11(c)的線J13所示那樣，并對(duì)受光部的實(shí)質(zhì)分光靈敏度(圖11(a)的線J31所示)進(jìn)行設(shè)定，以便調(diào)節(jié)光量(圖11(c)的線J34所示)與所述適當(dāng)照射光量(圖11(c)的線J13所示)一致。通過對(duì)光學(xué)濾波器的透過特性進(jìn)行以下的設(shè)定，進(jìn)行對(duì)實(shí)質(zhì)分光靈敏度的設(shè)定。由于通過對(duì)光學(xué)濾波器的透過特性和以圖12(b)的線J11所示的受光部的實(shí)質(zhì)分光靈敏度特性進(jìn)行合成，可以決定受光部的實(shí)質(zhì)分光靈敏度，因此，可以根據(jù)由線J31表示的實(shí)質(zhì)分光靈敏度以及由線J11表示的分光靈敏度來確定光學(xué)濾波器的透過特性(用圖12(a)的線J21表示)，從而使該合成的實(shí)質(zhì)分光靈敏度特性成為用12(c)的線J31表示的特性(即，用所述圖11(a)的線J31表示的特性)。
此后，對(duì)于從各光照射部射出各光的單位時(shí)間的光量進(jìn)行調(diào)節(jié)，以便從受光部輸出規(guī)定的一定輸出值，從而使所述各光的光量與所述適當(dāng)照射光量一致。由此，不用考慮從多個(gè)光照射部射出的各光之間的波長(zhǎng)的不同，且僅通過將從受光部輸出的輸出值調(diào)節(jié)為規(guī)定的一定值，就可以將從各光照射部射出的光的光量調(diào)節(jié)為適當(dāng)照射光量，從而，可以抑制在曝光于感光材料的圖像中行產(chǎn)生的圖像不均勻。
權(quán)利要求
1.一種光量調(diào)節(jié)方法，是用于調(diào)整感光材料的曝光所使用的、從光照射部射出的光的光量的光量調(diào)節(jié)方法，其特征是確定以使用所述光對(duì)感光材料進(jìn)行曝光為目的曝光水平，基于由根據(jù)所述光的光量以及波長(zhǎng)決定的該光而確定的所述感光材料的曝光水平、和作為所述目的的曝光水平之間的差異，對(duì)所述光量進(jìn)行校正。
2.如權(quán)利要求1所述的光量調(diào)節(jié)方法，其特征是對(duì)于所述光量的校正，基于以下兩個(gè)值的差異進(jìn)行，即，基于通過由受光元件接受已知所述波長(zhǎng)的所述光而獲得的輸出值、和在該波長(zhǎng)中對(duì)應(yīng)于作為所述目的的曝光水平的值的差異。
3.如權(quán)利要求1所述的光量調(diào)節(jié)方法，其特征是所述光量的校正，基于以下兩個(gè)值的差異進(jìn)行，即，(a)是通過使所述光經(jīng)過所述光學(xué)濾波器并由受光元件受光而獲得的(來自該受光元件的)輸出值，同時(shí)是基于所述受光元件以及所述感光材料的波長(zhǎng)特性來調(diào)整所述光學(xué)濾波器的透過特性、使得該輸出值表示出對(duì)應(yīng)于所述感光材料的曝光水平的特性的輸出值，(b)對(duì)應(yīng)于作為所述目的的曝光水平的值。
4.如權(quán)利要求1所述的光量調(diào)節(jié)方法，其特征是將從多個(gè)所述光照射部射出的各光由受光部進(jìn)行分別受光，基于表示從該受光部輸出的所述各光的光量的輸出值，對(duì)從所述光照射部射出的各光的光量進(jìn)行調(diào)節(jié)，這時(shí)，以下述方式進(jìn)行所述光量的校正，在由所述受光部接受光時(shí)，預(yù)先求出從該受光部輸出的輸出值與該光的波長(zhǎng)的關(guān)系，其中，所述光，是滿足使所述感光材料的曝光水平達(dá)到作為所述目的的曝光水平的光量與波長(zhǎng)之間的關(guān)系的光，對(duì)從各光照射部射出的各光的光量進(jìn)行調(diào)節(jié)，使得由所述受光部分別接受從所述各光照射部射出的各光，并且使從該受光部輸出的各輸出值滿足所述輸出值與波長(zhǎng)的關(guān)系。
5.如權(quán)利要求1所述的光量調(diào)節(jié)方法，其特征是在調(diào)節(jié)從多個(gè)所述光照射部射出的各光的光量時(shí)，以下述方式進(jìn)行所述光量的校正，在使光經(jīng)過光學(xué)濾波器并由受光部接受光時(shí)，為從該受光部輸出規(guī)定的一定輸出值而準(zhǔn)備決定了透過特性的所述光學(xué)濾波器，其中，所述光，是滿足使所述感光材料的曝光水平達(dá)到作為所述目的的曝光水平的光量與波長(zhǎng)的關(guān)系的光，使從所述各光照射部射出的各光經(jīng)過所述光學(xué)濾波器并且由所述受光部分別地接受光，并對(duì)所述各光照射部射出的各光的光量進(jìn)行調(diào)節(jié)，使得通過該各光的分別受光而從該受光部輸出的各輸出值達(dá)到所述規(guī)定的一定輸出值。
6.一種光量調(diào)節(jié)裝置，其特征是，具有接受從感光材料曝光用的光照射部射出的光，并獲得該光的光量的受光部，和基于由根據(jù)所述光的所述光量以及波長(zhǎng)決定的該光而確定的所述感光材料的曝光水平、和作為所述目的的曝光水平之間的差異，對(duì)所述光量進(jìn)行校正的校正部。
7.如權(quán)利要求6所述的光量調(diào)節(jié)裝置，其特征是所述受光部，分別地接受從多個(gè)所述光照射部射出的各光并輸出表示該各光的光量的輸出值，所述校正部，具有調(diào)節(jié)從所述各光照射部射出的各光的光量的光量調(diào)節(jié)部，和存儲(chǔ)部，該存儲(chǔ)部，儲(chǔ)存在由所述受光部接受光時(shí)、從該受光部輸出的輸出值與波長(zhǎng)的輸出值一波長(zhǎng)關(guān)系；其中，所述光，是滿足使所述感光材料的曝光水平達(dá)到預(yù)先決定的、所規(guī)定的一定曝光水平的光量與波長(zhǎng)的關(guān)系的光；所述光量調(diào)節(jié)部，調(diào)節(jié)從所述各光照射部射出的各光的光量，使得由所述受光部分別接受從所述各光照射部射出的各光、并使從該受光部輸出的各輸出值滿足儲(chǔ)存于所述存儲(chǔ)部中的所述輸出值—波長(zhǎng)關(guān)系。
8.如權(quán)利要求6所述的光量調(diào)節(jié)裝置，其特征是所述受光部，分別地接受從多個(gè)所述光照射部射出的各光，所述校正部，具有所述光學(xué)濾波器，該光學(xué)濾波器是配置于所述光照射部和所述受光部之間的光學(xué)濾波器，并且確定了透過特性，使得在使光經(jīng)過該光學(xué)濾波器并由受光部接受光時(shí)，從該受光部輸出規(guī)定的一定輸出值；其中，所述光，是滿足使所述感光材料的曝光水平達(dá)到預(yù)先決定的、所規(guī)定的一定曝光水平的光量與波長(zhǎng)的關(guān)系的光，和光量調(diào)節(jié)部，該光量調(diào)節(jié)部，調(diào)節(jié)從所述各光照射部射出的各光的光量，使得從所述各光照射部射出的各光經(jīng)過所述光學(xué)濾波器并由所述受光部分別地接受光，并且使通過各光的分別受光而從該受光部輸出的各輸出值達(dá)到所述規(guī)定的一定輸出值。
全文摘要
一種光量調(diào)節(jié)方法及裝置，由受光部(20)接受具有使感光材料(1)的曝光水平達(dá)到預(yù)先決定的、所規(guī)定的一定曝光水平的光量與波長(zhǎng)的關(guān)系的光，在輸出波長(zhǎng)存儲(chǔ)部(40)中儲(chǔ)存這時(shí)的、從受光部(20)輸出的輸出值與所述光的波長(zhǎng)的關(guān)系。另外，將從激光照射部(10A、10B)…射出的激光的波長(zhǎng)和所述各激光照射部(10A、10B)…之間的對(duì)應(yīng)關(guān)系儲(chǔ)存在光源波長(zhǎng)存儲(chǔ)部(45)中。光量調(diào)節(jié)部(30)，參照所述輸出波長(zhǎng)存儲(chǔ)部(40)以及光源波長(zhǎng)存儲(chǔ)部(45)，對(duì)各激光的光量進(jìn)行調(diào)節(jié)，使得由受光部(20)分別接受從各激光照射部(10A、10B)…射出的各激光并使從受光部(20)輸出各輸出值滿足所述輸出值與波長(zhǎng)的關(guān)系。
文檔編號(hào)G03B27/02GK1595286SQ200410076850
公開日2005年3月16日 申請(qǐng)日期2004年9月8日 優(yōu)先權(quán)日2003年9月8日
發(fā)明者清水敦子, 角克人, 中谷大輔 申請(qǐng)人:富士膠片株式會(huì)社