專利名稱:電子部件安裝體的制造方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本發(fā)明涉及一種電子部件安裝體的的制造方法。
背景技術(shù):
一般在各種電子機(jī)器上面,將半導(dǎo)體IC等電子部件安裝在電路基板等上來(lái)形成電路的一部分。將電子部件安裝在電路基板等上面有各種各樣的方法。例如最一般的安裝方法是,將電子部件的凸塊電極與電路基板上的導(dǎo)電焊盤(pán)相接合的狀態(tài),在這種狀態(tài)下,將灌充樹(shù)脂填充到電子部件與電路基板之間進(jìn)行密封。
另,在液晶顯示裝置等方面多采用的安裝方法是,將電子部件通過(guò)異方性導(dǎo)電膜(ACFAnisotropic Conductive Film)進(jìn)行安裝的方法。在該方法中,通過(guò)在熱固化性樹(shù)脂中分散微細(xì)導(dǎo)電性粒子而構(gòu)成的ACF,一邊用加壓加熱頭加熱電子部件,一邊按壓構(gòu)成電路基板、液晶面板的玻璃基板,從而讓電子部件的凸塊電極和基板上的端子通過(guò)導(dǎo)電性粒子進(jìn)行導(dǎo)電連接,在該狀態(tài)下通過(guò)熱固化性樹(shù)脂的固化,保持其導(dǎo)電連接狀態(tài)。
還有,周知有如下的構(gòu)成電子部件安裝體的方法(例如,參照特開(kāi)2003-124259號(hào)公報(bào))使用在由熱可塑性樹(shù)脂形成的基材的單面上形成的導(dǎo)電焊盤(pán)的電路基板,在與該電路基板上的導(dǎo)電焊盤(pán)的形成面相反一側(cè)的表面上,通過(guò)一邊對(duì)具備凸塊電極的IC芯片加熱一邊按壓,將凸塊電極插入電路基板的熱可塑性樹(shù)脂內(nèi),其前端在電路基板的內(nèi)部與導(dǎo)電焊盤(pán)進(jìn)行導(dǎo)電連接并固定。
例如,在將灌充樹(shù)脂填充在電子部件和電路基板之間的方法中,有時(shí)注入灌充樹(shù)脂是需要費(fèi)些功夫的。
另,使用ACF的安裝方法中,有時(shí)端子間的間隔變小的話,導(dǎo)線性粒子也需要變小,造成ACF的價(jià)格增高。
而且,在特開(kāi)2003-124259號(hào)公報(bào)上記載的方法中,有時(shí)IC芯片的凸塊電極與電路基板的導(dǎo)電焊盤(pán)之間的位置對(duì)準(zhǔn)比較難。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種容易、低成本并且具有高可靠性、有效制造電子部件安裝體的方法。
(1)有關(guān)本發(fā)明的電子部件安裝體的制造方法,具備通過(guò)將凸塊電極埋設(shè)進(jìn)熱可塑性樹(shù)脂層內(nèi)部的方式,將具備上述凸塊電極的多個(gè)電子部件安裝在上述熱可塑性樹(shù)脂層上的工序;在上述熱可塑性樹(shù)脂層的與安裝了上述電子部件的面相反一側(cè)的表面上,形成與上述凸塊電極導(dǎo)電連接的導(dǎo)電體的工序;和按每個(gè)上述電子部件將上述熱可塑性樹(shù)脂層分割的工序。
依據(jù)本發(fā)明,通過(guò)將多個(gè)電子部件安裝在一體的熱可塑性樹(shù)脂層上,可以一起形成導(dǎo)電體,因此可以高效進(jìn)行制造,降低制造成本。此外,作為在本發(fā)明中的電子部件,可以舉出半導(dǎo)體IC芯片、陶瓷電子部件(陶瓷電容器等)等。
(2)在該電子部件安裝體的制造方法中,也可以在安裝上述電子部件的工序中,將上述電子部件或上述熱可塑性樹(shù)脂層加熱。
通過(guò)加熱電子部件或熱可塑性樹(shù)脂層,可以使與凸塊電極接觸的熱可塑性樹(shù)脂層的至少一部分軟化或熔化,從而使凸塊電極容易且確切地被埋設(shè)進(jìn)熱可塑性樹(shù)脂層內(nèi)部。
(3)在該電子部件安裝體的制造方法中,也可以在安裝上述電子部件的工序中,通過(guò)讓上述凸塊電極貫通上述熱可塑性樹(shù)脂層,并露出到上述熱可塑性樹(shù)脂層的與安裝了上述電子部件的面相反一側(cè)的表面上的方式,安裝電子部件。
這樣,因?yàn)樵诓考惭b工序中凸塊電極從熱可塑性樹(shù)脂層的表面露出,使得導(dǎo)電體形成工序中的導(dǎo)電體對(duì)準(zhǔn)作業(yè)變得容易,同時(shí)導(dǎo)電體能夠容易且確切地與凸塊電極導(dǎo)電連接。
(4)在該電子部件安裝體的制造方法中,也可以在安裝上述電子部件的工序中,通過(guò)讓上述凸塊電極與導(dǎo)體層導(dǎo)電接觸的方式安裝電子部件,上述導(dǎo)電層被預(yù)先配置在上述熱可塑性樹(shù)脂層的與安裝了上述電子部件的面相反一側(cè)的表面上;在形成上述導(dǎo)電體的工序中,通過(guò)將上述導(dǎo)體層圖案化,形成上述導(dǎo)電體。
這樣,在部件安裝工序中,通過(guò)在熱可塑性樹(shù)脂層的表面上在整個(gè)面或者在比凸塊電極大的范圍內(nèi)形成導(dǎo)體層,使凸塊電極可以確切與導(dǎo)體層導(dǎo)電連接,而且在導(dǎo)體層形成工序中,對(duì)導(dǎo)體層圖案化,以所希望的形狀或用圖案可以形成導(dǎo)電體,與在熱可塑性樹(shù)脂層的表面上形成預(yù)先圖案化后的導(dǎo)電體相比,在部件安裝工序中對(duì)準(zhǔn)作業(yè)變得容易。
(5)在該電子部件安裝體的制造方法中,也可以在安裝上述電子部件的工序之前,具有在上述熱可塑性樹(shù)脂層上形成貫通孔的工序、和在上述貫通孔內(nèi)配置導(dǎo)電材料的工序;在安裝上述電子部件的工序中,將上述凸塊電極插入上述貫通孔內(nèi),與上述導(dǎo)電材料導(dǎo)電連接。
這樣,通過(guò)利用貫通孔形成工序在熱可塑性樹(shù)脂層上設(shè)置貫通孔,同時(shí)在其內(nèi)部配置導(dǎo)電材料,即使熱可塑性樹(shù)脂層的厚度比凸塊電極的突出高度厚,通過(guò)導(dǎo)電材料也能夠使凸塊電極和導(dǎo)電體確切地導(dǎo)電連接,因此,在提高電子部件安裝體在結(jié)構(gòu)上的自由度地同時(shí),也可以提高電可靠性。特別是,在熱可塑性樹(shù)脂層的相反側(cè)上配置導(dǎo)電體,為了在該狀態(tài)下與導(dǎo)電層進(jìn)行導(dǎo)電連接,而將上述導(dǎo)電材料配置在貫通孔內(nèi)部,在安裝電子部件后,對(duì)導(dǎo)電體圖案化,形成上述導(dǎo)電體。
(6)在該電子部件安裝體的制造方法中,也可以在安裝上述電子部件的工序中,通過(guò)模具成形,成形熱可塑性樹(shù)脂層,以覆蓋上述多個(gè)電子部件。
通過(guò)利用模具成形,形成熱可塑性樹(shù)脂層,可以高精度確定熱可塑性樹(shù)脂層的形狀。例如,凸塊電極能夠構(gòu)成為從熱可塑性樹(shù)脂層的與電子部件相反一側(cè)的面確切地露出。這時(shí),例如通過(guò)在模具內(nèi)部配置電子部件的插入成形法可以容易形成熱可塑性樹(shù)脂層。作為模具成形,可以用射出成形法、吹出成形法等。
(7)在該電子部件安裝體的制造方法中,也可以在形成上述導(dǎo)電體的工序中,在上述熱可塑性樹(shù)脂層的與安裝了上述電子部件的面相反一側(cè)的表面上涂敷流動(dòng)性材料,通過(guò)讓上述流動(dòng)性材料固化,形成上述導(dǎo)電體。
這樣,對(duì)準(zhǔn)變得容易,能夠在正確的位置上形成導(dǎo)電體。這里,流動(dòng)性材料的固化,可以根據(jù)流動(dòng)性材料的特性,通過(guò)加熱、光照射、干燥、燒結(jié)、化學(xué)反應(yīng)等的固化作用。
(8)在該電子部件安裝體的制造方法中,形成上述導(dǎo)電體的工序,也可以包含在上述熱可塑性樹(shù)脂層的與安裝了上述電子部件的面相反一側(cè)的表面上形成具有圖案化后的開(kāi)口的抗蝕層的工序;在上述熱可塑性樹(shù)脂層上的上述開(kāi)口的露出部分上形成上述導(dǎo)電體。
這樣,可以按照設(shè)計(jì),形成導(dǎo)電體。
(9)在該電子部件安裝體的制造方法中,也可以在安裝上述電子部件的工序中,將上述多個(gè)電子部件保持在支撐體的狀態(tài)下,進(jìn)行上述模具成形。
這樣,通過(guò)由支撐體讓多個(gè)電子部件一體化,處理變得容易,并且對(duì)電子部件,可以高精度成形熱可塑性樹(shù)脂層。
(10)在該電子部件安裝體的制造方法中,也可以在形成上述導(dǎo)電體的工序中,將上述液狀的流動(dòng)性材料作為液滴噴出。
這樣,可以提高流動(dòng)性材料的涂敷位置及涂敷量的精度。液滴的噴出,例如,可以使用壓電體方式或熱氣泡方式等的噴墨打印機(jī)頭。
(11)在該電子部件安裝體的制造方法中,也可以在形成上述導(dǎo)電體的工序中,印刷漿狀的上述流動(dòng)性材料。
這樣,可以低成本、高效率形成導(dǎo)電體。作為印刷方法,可以舉出絲網(wǎng)印刷。
(12)在該電子部件安裝體的制造方法中,形成上述導(dǎo)電體的工序,也可以包括噴出含有導(dǎo)電性微粒子的溶劑的工序;將上述抗蝕層形成為,讓其上端面與上述溶劑的親和性,比上述熱可塑性樹(shù)脂層的與安裝了上述電子部件的面相反一側(cè)的表面還差。
這樣,可以更高效率形成導(dǎo)電體。
(13)在該電子部件安裝體的制造方法中,也可以在形成上述導(dǎo)電體后,還包括除去上述抗蝕層的工序。
這樣,能夠制造可靠性高的電子部件安裝體。
(14)在該電子部件安裝體的制造方法中,上述支撐體也可以是與上述凸塊電極導(dǎo)電連接的導(dǎo)電材料;在形成上述導(dǎo)電體的工序中,也可以通過(guò)將支撐體圖案化,形成上述導(dǎo)電體。
這樣,就不必要除去支撐體,只需在有支撐體的狀態(tài)下進(jìn)行圖案化就可以形成導(dǎo)電體,可以減少工序數(shù)量,削減制造成本。
另外,電子部件安裝體包括具備凸塊電極的電子部件、在該電子部件的上述凸塊電極的形成面上形成的熱可塑性樹(shù)脂層、在該熱可塑性樹(shù)脂層上形成的與上述凸塊電極導(dǎo)電連接的導(dǎo)電體。而且,該電子部件安裝體也可以用在電光學(xué)裝置上。更具體講,有關(guān)本發(fā)明實(shí)施方式的電光學(xué)裝置具備電光學(xué)面板、安裝在該電光學(xué)面板上的電路基板,有關(guān)上述本發(fā)明實(shí)施方式的電子部件安裝體有時(shí)也安裝在上述電路基板上。另外,有時(shí)也具有電光學(xué)面板、安裝在構(gòu)成該電光學(xué)面板的基板上的有關(guān)上述本發(fā)明實(shí)施方式的電子部件安裝體。對(duì)于后者,在電子部件安裝體上也可以進(jìn)一步具有導(dǎo)電連接的電路基板。這里,作為電子部件,也可以包括產(chǎn)生驅(qū)動(dòng)電子光學(xué)裝置的驅(qū)動(dòng)信號(hào)的電路。
圖1A至圖1C表示有關(guān)適用本發(fā)明的第1實(shí)施方式的電子部件安裝體的制造方法的說(shuō)明圖。
圖2A至圖2C表示有關(guān)適用本發(fā)明的第2實(shí)施方式的電子部件安裝體的制造方法的說(shuō)明圖。
圖3A至圖3D表示有關(guān)適用本發(fā)明的第2實(shí)施方式的變形例的電子部件安裝體的制造方法的說(shuō)明圖。
圖4A至圖4C表示有關(guān)適用本發(fā)明的第3實(shí)施方式的電子部件安裝體的制造方法的說(shuō)明圖。
圖5A至圖5D表示有關(guān)適用本發(fā)明的第4實(shí)施方式的電子部件安裝體的制造方法的說(shuō)明圖。
圖6表示有關(guān)適用本發(fā)明的第2實(shí)施方式的電子部件安裝體的制造方法的說(shuō)明圖。
圖7表示有關(guān)適用本發(fā)明的第5實(shí)施方式的電子部件安裝體的制造方法的說(shuō)明圖。
圖8A至圖8C表示有關(guān)適用本發(fā)明的第5實(shí)施方式的電子部件安裝體的制造方法的說(shuō)明圖。
圖9表示有關(guān)適用本發(fā)明的第6實(shí)施方式的電光學(xué)裝置的安裝結(jié)構(gòu)的說(shuō)明圖。
圖10表示有關(guān)適用本發(fā)明的第7實(shí)施方式的電光學(xué)裝置的安裝結(jié)構(gòu)的說(shuō)明圖。
圖11表示有關(guān)適用本發(fā)明的第8實(shí)施方式的電光學(xué)裝置的安裝結(jié)構(gòu)的說(shuō)明圖。
具體實(shí)施例方式
下面,參照
有關(guān)本發(fā)明的實(shí)施方式。另,在以下的說(shuō)明中所參照的各圖只是本發(fā)明各實(shí)施方式的結(jié)構(gòu)示意圖,其形狀、尺寸比例并不是按實(shí)際的形狀、尺寸比例進(jìn)行表示。
第1實(shí)施方式首先,參照?qǐng)D1A至圖1C,說(shuō)明有關(guān)本發(fā)明的第1實(shí)施方式。在該實(shí)施方式中,如圖1A所示,預(yù)備多個(gè)電子部件10,其具有由半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)、導(dǎo)體圖案等構(gòu)成的電子構(gòu)造區(qū)域10A。該電子部件10可以是半導(dǎo)體芯片,其由硅單結(jié)晶、化合物半導(dǎo)體單結(jié)晶等構(gòu)成,作為上述電子構(gòu)造區(qū)域10A具有給定電路構(gòu)造,或者,也可以是陶瓷疊層體(陶瓷基板),其具有多個(gè)陶瓷層和在其中間配置的導(dǎo)體層,作為上述電子構(gòu)造區(qū)域10A以給定導(dǎo)體圖案構(gòu)成上述導(dǎo)體層。電子部件10,例如如果是半導(dǎo)體芯片,厚度在100~800μm左右,如果是陶瓷疊層體,厚度為1~5mm左右。
在電子部件10的安裝面10X上,每個(gè)電子構(gòu)造區(qū)域10A上都形成有凸塊電極(突起電極)11、12。這里,凸塊電極11、12的數(shù)量是任意的,可以是1個(gè),也可以在3個(gè)以上,在圖例上每個(gè)電子構(gòu)造區(qū)域10A上設(shè)有2個(gè)凸塊電極。凸塊電極11、12可以是用導(dǎo)電體構(gòu)成的,例如Cu、Ni、Au、Ag、Al等金屬構(gòu)成。特別是,凸塊電極的結(jié)構(gòu)中,也可以在Cu、Ni、Al等金屬層凸出的表面上覆蓋有Au、Ag、Sn等薄膜。凸塊電極11、12的直徑例如是10~30μm左右,形成間隔就是30~50μm左右。突出的高度是10~50μm左右,設(shè)定為與后述的熱可塑性樹(shù)脂層的厚度基本同樣的高度。
按上述那樣構(gòu)成的電子部件10,安裝在一體的熱可塑性樹(shù)脂層13上。該熱可塑性樹(shù)脂層13由聚酯樹(shù)脂、聚酰胺樹(shù)脂、芳香族聚酯樹(shù)脂、芳香族聚酰胺樹(shù)脂、四氟乙烯、聚酰亞胺樹(shù)脂等熱可塑性樹(shù)脂構(gòu)成。在本實(shí)施方式中,熱可塑性樹(shù)脂層13的厚度是20~50μm,典型的是30μm左右。另,熱可塑性樹(shù)脂層13,其厚度可以與上述凸塊電極11、12的突出高度相同,或者也可以比上述突出高度厚出1~10μm左右。在該熱可塑性樹(shù)脂層13的一方表面上,形成有由Cu、Al、Au等金屬或其他的導(dǎo)電體形成的導(dǎo)體層14。該導(dǎo)體層14可以只是載置于熱可塑性樹(shù)脂層13的表面上,也可以固定(密接)在熱可塑性樹(shù)脂層13的表面上。導(dǎo)體層14的厚度,例如是1~20μm,典型的是10μm左右。
電子部件10,以面向其安裝面10X的姿勢(shì)被安裝在熱可塑性樹(shù)脂層13上(部件安裝工序)。例如,將熱可塑性樹(shù)脂層13和導(dǎo)體層14按壓在電子部件10的安裝面10X上進(jìn)行疊層。這時(shí),也可以將電子部件10或熱可塑性樹(shù)脂層13邊加熱邊疊層。例如,讓加熱頭或加熱臺(tái)和與電子部件10的安裝面10X相反一側(cè)的面接觸,加熱電子部件10,或者讓加熱頭或加熱臺(tái)與導(dǎo)體層14接觸,加熱熱可塑性樹(shù)脂層13。另,也可以用滾柱等將熱可塑性樹(shù)脂層13及導(dǎo)體層14按壓在電子部件10上。這時(shí),也可以由滾柱對(duì)熱可塑性樹(shù)脂層13加熱。這時(shí)的加熱溫度,要在熱可塑性樹(shù)脂層13的軟化溫度以上,并不到凸塊電極11、12的熔融溫度或電子部件10的耐熱溫度。通常,希望在120℃~350℃范圍內(nèi)。此外,圖1B表示用過(guò)熱加壓頭2將電子部件10一個(gè)一個(gè)安裝在熱可塑性樹(shù)脂層13上面的狀態(tài)。
如上所述,電子部件10安裝在熱可塑性樹(shù)脂層13上時(shí),凸塊電極11、12,插入熱可塑性樹(shù)脂層13的內(nèi)部,最后,當(dāng)電子部件10的安裝面10X與熱可塑性樹(shù)脂層13密接時(shí),成為凸塊電極11、12埋設(shè)在熱可塑性樹(shù)脂層13內(nèi)部的狀態(tài)。然后,當(dāng)該部件安裝工序完成時(shí),如圖1B所示,成為凸塊電極11、12與導(dǎo)體層14導(dǎo)電接觸的狀態(tài)。這種導(dǎo)電接觸狀態(tài),通過(guò)在電子部件10和導(dǎo)體層14之間施加可以讓凸塊電極11、12擠入熱可塑性樹(shù)脂層13中所需要的應(yīng)力以上的應(yīng)力而實(shí)現(xiàn)。另,這時(shí),也可以通過(guò)加熱,讓凸塊電極11、12與導(dǎo)體層14合金化。這時(shí)的加熱溫度要看二者的材質(zhì)而定,可以是200~400℃左右。
其次,通過(guò)對(duì)上述導(dǎo)體層14實(shí)施圖案形成處理,如圖1C所示,形成與凸塊電極11、12導(dǎo)電連接的導(dǎo)電體15、16(導(dǎo)電體形成工序)。作為該圖案形成處理,可以舉出的方法有采用通常的光刻法等,用抗蝕劑等形成掩模,再采用掩模對(duì)導(dǎo)體層14實(shí)施蝕刻。導(dǎo)電體15、16可以只是導(dǎo)電焊盤(pán)等的端子,也可以形成為給定圖案的布線圖案。
最后,如圖1C中虛線所示,將熱可塑性樹(shù)脂層13按每個(gè)電子部件10進(jìn)行分割,形成多個(gè)電子部件安裝體10P(部件分割工序)。該工序的分割法,可以用切割法、激光切斷法等。
該電子部件安裝體10P包括含有電子構(gòu)造區(qū)域10A的電子部件10、熱可塑性樹(shù)脂分割層13B、與凸塊電極11、12導(dǎo)電連接的導(dǎo)電體15、16。電子部件安裝體10P,通過(guò)用圖中未畫(huà)出的加壓加熱頭一邊加熱電子部件10一邊將熱可塑性樹(shù)脂分割層13B一側(cè)按壓在電路基板等安裝對(duì)象上,從而使熱可塑性樹(shù)脂分割層13B軟化或者熔融,固定在上述安裝對(duì)象上,采用這樣的方法就可以簡(jiǎn)單進(jìn)行安裝。
在本實(shí)施方式中,由于能在安裝了多個(gè)電子部件10的一體的熱可塑性樹(shù)脂層13上一起形成導(dǎo)電體15、16,可以使制造有效率,制造成本降低。另,為了使熱可塑性樹(shù)脂層13的分割處理容易進(jìn)行,在導(dǎo)電體15、16形成后,對(duì)由熱可塑性樹(shù)脂層13一體化形成的多個(gè)電子部件安裝體10P整體進(jìn)行處理,電子部件安裝體10P的運(yùn)輸、保管、供給等處理、管理變得容易。例如,對(duì)組裝電子部件安裝體10P的制造生產(chǎn)線,整體供給由熱可塑性樹(shù)脂層13一體化后的安裝體,可以在組裝位置上一邊分割熱可塑性樹(shù)脂層13一邊進(jìn)行電子部件安裝體10P的組裝。
另,在本實(shí)施狀態(tài)中,在熱可塑性樹(shù)脂層13的單面上預(yù)先形成導(dǎo)電層14,將電子部件10安裝在熱可塑性樹(shù)脂層13上時(shí),由于是讓凸塊電極11、12與上述導(dǎo)電體14在熱可塑性樹(shù)脂層13的內(nèi)部進(jìn)行導(dǎo)電接觸,因此即使不進(jìn)行對(duì)準(zhǔn)校正等也能夠確切的使凸塊電極11、12與導(dǎo)體層14進(jìn)行導(dǎo)電接觸。這時(shí),導(dǎo)體層14可以預(yù)先在熱可塑性導(dǎo)體層13的單面上全面形成,也可不必全面形成,例如,在凸塊電極11、12的形成領(lǐng)域附近某種程度的擴(kuò)展成島狀,或者,與電子構(gòu)造區(qū)域10A對(duì)應(yīng)形成的島狀。不論哪種情況,包括與凸塊電極11、12在平面上重合的領(lǐng)域,覆蓋該領(lǐng)域周圍的范圍形成導(dǎo)體層14,從而使凸塊電極11、12與導(dǎo)體層14能夠確切的產(chǎn)生導(dǎo)電接觸。
第2實(shí)施方式以下,參照?qǐng)D2A至圖2C及圖6,說(shuō)明有關(guān)本發(fā)明的第2實(shí)施方式。在該實(shí)施方式中,與第1實(shí)施方式同樣的構(gòu)成要素采用相同的標(biāo)號(hào),省略這些說(shuō)明。在本實(shí)施方式中,如圖2A所示,將多個(gè)電子部件10在熱可塑性樹(shù)脂層13上按與第1實(shí)施方式同樣的方法安裝。只是,在本實(shí)施方式中,熱可塑性樹(shù)脂層13的表面上不形成導(dǎo)體層。在該部件安裝工序中,如圖2B所示,凸塊電極11、12的前端從與熱可塑性樹(shù)脂層13的電子部件10相反一側(cè)的表面露出。
然后,如圖2C所示,在從熱可塑性樹(shù)脂層13的表面上形成導(dǎo)電體25、26,與露出的凸塊電極11、12導(dǎo)電連接。這導(dǎo)電體25、26,可以用與上述第1實(shí)施方式同樣的方法形成,在本實(shí)施方式中,通過(guò)在熱可塑性樹(shù)脂層13的表面上涂敷流動(dòng)性材料、使其固化來(lái)形成導(dǎo)電體25、26。在本實(shí)施方式的導(dǎo)電體形成工序中使用的導(dǎo)電體25、26的形成方法,如圖6所示,是從噴頭20噴出液滴S,彈射到熱可塑性樹(shù)脂層13的表面上,來(lái)進(jìn)行液體材料的涂敷。
噴頭20,具有和在噴墨打印機(jī)中使用的噴頭基本同樣結(jié)構(gòu)。更具體講,在噴頭20的內(nèi)部,設(shè)計(jì)有收藏液狀材料的收藏室21、和與該收藏室21連通的噴出室22。收藏室21與液狀材料供給線連接。在噴出室22設(shè)置由可動(dòng)作的壓電體構(gòu)成的壓電內(nèi)壁部22b,并且形成有通達(dá)外部的噴出口22a。壓電內(nèi)壁部22b構(gòu)成為根據(jù)驅(qū)動(dòng)電壓產(chǎn)生變形,如果壓電內(nèi)壁部22b向外側(cè)彎曲,增大噴出室22的容積,液狀材料就從收藏室21流入噴出室22,如果壓電內(nèi)壁部22b向內(nèi)側(cè)彎曲,減小噴出室22的容積,液狀材料的液滴S就從噴出口22a噴出。
液狀材料,例如,由于是導(dǎo)電性粒子被分散到融媒中的材料,能夠由液滴S的噴出數(shù)正確設(shè)定涂敷量。另,熱可塑性樹(shù)脂層13和噴頭20能夠相對(duì)移動(dòng),這樣就可以控制噴頭20噴出的液滴S的落點(diǎn)位置。從而,通過(guò)調(diào)整液滴S的噴出數(shù)、落點(diǎn)位置,可以在熱可塑性樹(shù)脂層13的表面的任意位置上涂敷任意形狀的液狀材料M。將液狀材料M干燥或燒制使其固化,就可以做成圖2C所示的導(dǎo)電體25、26。
在上述導(dǎo)電體形成方法中,不進(jìn)行圖案形成處理就能夠正確形成導(dǎo)電體25、26。另,在該方法中,由于以露出的凸塊電極11、12為目標(biāo)可以形成導(dǎo)電體25、26,具有容易進(jìn)行對(duì)準(zhǔn)作業(yè)的優(yōu)點(diǎn)。
在上述導(dǎo)電體的形成工序中,作為流動(dòng)性材料也可以使用導(dǎo)電性漿料,將該導(dǎo)電性漿料用印刷法(例如,絲網(wǎng)印刷法)印刷在熱可塑性樹(shù)脂層13的表面上,然后,通過(guò)加熱或靜置等使其固化。用該方法,通過(guò)印刷法可以低價(jià)且高效形成導(dǎo)電體25、26。
用本實(shí)施方式形成的電子部件安裝體10P′,基本上與第1實(shí)施方式的電子部件安裝體10P具有同樣結(jié)構(gòu)、起到同樣效果。
另,在該導(dǎo)電體形成工序中,將流動(dòng)性材料選擇性涂敷在熱可塑性樹(shù)脂層13上,作為流動(dòng)性材料,不止是上述液體、漿料,也能夠使用粉狀物等。另,作為流動(dòng)性材料的固化方法,可以根據(jù)材料的特性,采用各種方法,例如讓溶劑揮發(fā)等的干燥處理、通過(guò)加熱產(chǎn)生融化作用、或者燒結(jié)作用的燒制處理、用化學(xué)反應(yīng)使其固化的處理等方法。
變形例下面,參照
第2實(shí)施方式的變形例。圖3A至圖3D是本變形例的說(shuō)明圖。本變形例中,形成導(dǎo)電體25、26的工序,如圖3A所示,包括形成抗蝕層400的工序,該抗蝕層400在與熱可塑性樹(shù)脂層13的電子部件10相反一側(cè)的表面上具有被圖案化的開(kāi)口402。形成抗蝕層400的工序并沒(méi)有被特別限定,可以采用公知的任一種均可。
例如,也可以在熱固化性樹(shù)脂層13的表面上全面形成抗蝕層后,通過(guò)去除其中一部分來(lái)形成具有開(kāi)口402的抗蝕層400。這時(shí),例如可以通過(guò)露光工序及顯影工序,除去抗蝕劑層的一部分。開(kāi)口402可以做成溝狀。然后,在本變形例中,在熱固化性樹(shù)脂層13中露出開(kāi)口402的露出部413上形成導(dǎo)電體25、26(參照?qǐng)D3C)。換言之,也可以讓導(dǎo)電體25、26形成在開(kāi)口402內(nèi)部。這樣,導(dǎo)電體25、26就能夠按與開(kāi)口402的寬度相同的寬度形成。即,通過(guò)開(kāi)口402,能夠限制導(dǎo)電體25、26的寬度。因此,導(dǎo)電體25、26就能夠按照設(shè)計(jì)形成。
本變形例中,如圖3B所示,導(dǎo)電體25、26也可以利用含有導(dǎo)電性微粒子的溶劑405形成。詳細(xì)講,含有導(dǎo)電性微粒子的溶劑405可以有選擇的噴出,形成導(dǎo)電體25、26。這樣,能夠更高效形成導(dǎo)電體25、26。這時(shí),如圖3B所示,溶劑405也可以從開(kāi)口402之上噴出。換言之,溶劑405也可以被噴到露出部413上。這樣,導(dǎo)電體25、26就能夠在露出部413上形成。這里,導(dǎo)電性微粒子可以使用金、銀等不易被氧化、電阻低的材料形成。作為含有金的微粒子的溶劑,可以使用真空冶金株式會(huì)社的全金(perfect gold),作為含有銀的微粒子的溶劑,可以使用該企業(yè)的全銀(perfect silver)。另外,微粒子并沒(méi)有限定其大小,只要是能夠和分散劑一起噴出的粒子即可。另,為能夠抑制反應(yīng),導(dǎo)電性微粒子也可以由覆蓋材料覆蓋。溶劑405,可以使用不易干燥且具有再溶解性的物質(zhì)。導(dǎo)電性微粒子也以在溶劑405中均勻的分散。形成導(dǎo)電體25、26的工序,也可以包括噴出溶劑405。含有導(dǎo)電性微粒子的溶劑405的噴出,可以用噴墨法、噴氣泡(注冊(cè)商標(biāo))法。或者,用掩膜印刷、絲網(wǎng)印刷或分配器將溶劑405噴出。然后,通過(guò)揮發(fā)分散劑的工序、將保護(hù)導(dǎo)電性微離子的覆蓋材料分解的工序,可以形成導(dǎo)電部。而且,通過(guò)這些工序,或者通過(guò)反復(fù)操作這些工序,如圖3C所示,可以形成導(dǎo)電體25、26。
另,本變形例中,也可以將抗蝕層400形成為讓上端面404與溶劑405之間的親和性,比熱可塑性樹(shù)脂層13的與電子部件10相反一側(cè)的表面還差。換言之,也可以將抗蝕層400形成為,讓上端面404與溶劑405之間的親和性,比露出部413還差。這樣的話,由于溶劑405容易進(jìn)入抗蝕層400的開(kāi)口402里,即使開(kāi)口402的寬度比溶劑405的液滴的直徑還小時(shí),也可以高效制造出導(dǎo)電體25、26。即,能夠更有效率的制造出比溶劑405的液滴的直徑還窄的導(dǎo)電體。例如,可以使用比構(gòu)成熱可塑性樹(shù)脂層13的樹(shù)脂,與溶劑405的親和性還差的材料,形成抗蝕層400。
在本變形例中,如圖3D所示,在形成導(dǎo)電體25、26后,也可以包含去除抗蝕層400的工序。通過(guò)去除抗蝕層400,因?yàn)槟苋コ刮g層400上的導(dǎo)電性微粒子,導(dǎo)電體25、26之間不易發(fā)生電短路,能夠形成可靠性高的電子部件安裝體。
第3實(shí)施方式下面,參照?qǐng)D4A至圖4C,說(shuō)明有關(guān)本發(fā)明的第3實(shí)施方式。在該實(shí)施方式中,和第1實(shí)施方式或第2實(shí)施方式相同的構(gòu)成要素也采用相同的標(biāo)號(hào),并省略這些的說(shuō)明。
在本實(shí)施方式中,如圖4A所示,多個(gè)電子部件10的凸塊電極11、12壓在金屬箔等構(gòu)成的導(dǎo)體層14上。這里,可以加熱電子部件10或?qū)w層14,使凸塊電極11、12與導(dǎo)體層14合金化。
下面,通過(guò)模具成形,形成熱可塑性樹(shù)脂層以覆蓋電子部件10。具體說(shuō),如圖4B的虛線所示,按電子部件10和導(dǎo)體層14之間構(gòu)成空腔C的形態(tài),在模具內(nèi)設(shè)置多個(gè)電子部件10及導(dǎo)體層14,使用圖中未畫(huà)出的射出成形機(jī)等,如箭頭所示,將熔融樹(shù)脂注入空腔C內(nèi)。然后,通過(guò)降低模具內(nèi)部的溫度,使注入的樹(shù)脂固化,形成如圖4C所示的熱可塑性樹(shù)脂層23。
在本實(shí)施方式中,由于通過(guò)模具成形方式形成熱可塑性樹(shù)脂層23,根據(jù)模具的形狀可以形成自由形狀的熱可塑性樹(shù)脂層23。在圖示例中,以將電子部件10全部包入的狀態(tài),形成熱可塑性樹(shù)脂層23。只是,在本發(fā)明中,熱可塑性樹(shù)脂層23也可以構(gòu)成為,為將凸塊電極11、12完全包入而在電子部件10的安裝面10X、和導(dǎo)體層14中與凸塊電極11、12導(dǎo)電接觸的面之間填充熱可塑性樹(shù)脂。
然后,用和第1實(shí)施方式同樣的方法,如圖4C所示,通過(guò)對(duì)導(dǎo)體層24進(jìn)行圖案化,形成與凸塊電極11、12進(jìn)行導(dǎo)電性接觸的導(dǎo)電體15、16。然后,通過(guò)和第1實(shí)施方式同樣分割熱可塑性樹(shù)脂層23、分割形成具備電子部件10、熱可塑性樹(shù)脂層23B及導(dǎo)電體15、16的電子部件安裝體20P。
在該實(shí)施方式中,如上所述,用導(dǎo)體層14將多個(gè)電子部件10一體化,在該狀態(tài)下,通過(guò)模具成形,形成熱可塑性樹(shù)脂層23,處理容易,可以提高生產(chǎn)效率。
第4實(shí)施方式下面,參照?qǐng)D5A至圖5D說(shuō)明有關(guān)本發(fā)明的第4實(shí)施方式。在該實(shí)施方式中,如圖5A所示,通過(guò)將電子部件10的凸塊電極11、12壓在支撐體17上,多個(gè)電子部件10通過(guò)支撐體被支撐成了一體。這里,支撐體17,可以是和第3實(shí)施方式的導(dǎo)體層14同樣由金屬等導(dǎo)體構(gòu)成,也可以由導(dǎo)體以外的任意材料構(gòu)成。只是,為了對(duì)凸塊電極11、12具有良好的固定性,并能在后續(xù)工序中被除去,支撐體17也可以由金屬(金屬板等)構(gòu)成。
下面,如圖5所示,用和第3實(shí)施方式同樣的方法形成熱可塑性樹(shù)脂23。然后,如圖5C所示,用蝕刻等方法除去支撐體17。再后,用和第2實(shí)施方式同樣的方法,如圖5D所示,在熱可塑性樹(shù)脂層23的表面上形成與凸塊電極11、12導(dǎo)電接觸的導(dǎo)電體25、26。
最后,通過(guò)將熱可塑性樹(shù)脂層23沿圖5D的虛線分割,形成具備電子部件10、熱可塑性樹(shù)脂分割層23B及導(dǎo)電體25、26的電子部件安裝體20P′。
在該實(shí)施方式中,通過(guò)將多個(gè)電子部件10一體化的支撐體17,與后來(lái)形成的導(dǎo)電體25、26另外設(shè)置,可以減少支撐體17的材質(zhì)、形狀的制約,可以自由選定。
第5實(shí)施方式下面,參照?qǐng)D7及8A至圖8C說(shuō)明有關(guān)本發(fā)明的第5實(shí)施方式。在該實(shí)施方式中,特征是在如圖8A所示的熱可塑性樹(shù)脂層33上,形成有如圖8B所示的貫通孔33a、33b。另外,如圖8A所示,將電子部件30的凸塊電極31、32的突出高度,設(shè)定成比熱可塑性樹(shù)脂層33的厚度小。熱可塑性樹(shù)脂層33的單面上配置有導(dǎo)體層34。該導(dǎo)體層34可以固定在熱可塑性樹(shù)脂層33的單面上。
上述貫通孔33a、33b,如圖7所示,利用由激光振蕩器35產(chǎn)生的激光35R形成。在該穿孔方法中,通過(guò)在熱可塑性樹(shù)脂層33上照射由激光振蕩器35產(chǎn)生的激光35R,使熱可塑性樹(shù)脂熔融燒掉。在圖示例中,從激光振蕩器35發(fā)出的激光35R,經(jīng)過(guò)光纖36及光學(xué)系統(tǒng)37,照射在熱可塑性樹(shù)脂層33上。貫通孔33a、33b對(duì)準(zhǔn)凸塊電極31、32的形成間隔而形成。貫通孔33a、33b的直徑,可以是例如10~50μm左右,也可以是與凸塊電極31、32基本相同的直徑,也可以也比凸塊電極直徑小或大。這樣形成的貫通孔33a、33b靠近導(dǎo)體層34。
然后,在貫通孔33a、33b的內(nèi)部配置導(dǎo)電材料N(參照?qǐng)D8C)。該導(dǎo)電材料N,可以使用例如Sn、IN、Zn等低熔點(diǎn)金屬的粉狀物被加熱熔融后的物質(zhì)、同金屬的柱狀體、或者金屬漿料等那樣的分散了導(dǎo)電性粒子后的導(dǎo)電性流動(dòng)材料固化后形成的物質(zhì)等。該導(dǎo)電材料N與導(dǎo)電層34成導(dǎo)電連接狀態(tài)。導(dǎo)體層34與導(dǎo)電材料N,也可以通過(guò)加熱處理等方法相互進(jìn)行合金連接。導(dǎo)電材料N沒(méi)必要將貫通孔33a、33b全部填充滿,如果要和導(dǎo)體層34進(jìn)行導(dǎo)電連接,如圖所示,只要達(dá)到比與導(dǎo)體層34相反一側(cè)的熱可塑性樹(shù)脂層33的表面低的位置即可。
然后,如圖8C所示,將電子部件30安裝在熱可塑性樹(shù)脂層33上。這時(shí),凸塊電極31、32對(duì)準(zhǔn)上述貫通孔33a、33b,將電子部件30按壓進(jìn)熱可塑性樹(shù)脂層33內(nèi)。尤其是,使用加熱加壓頭2一邊加熱電子部件30一邊將凸塊電極31、32插入貫通孔33a、33b內(nèi)部、與導(dǎo)電材料N電連接。特別是,通過(guò)加熱,使凸塊電極31、32與導(dǎo)電材料N合金化。
然后,與第1實(shí)施方式同樣,將導(dǎo)電體34圖案化,形成導(dǎo)電體,進(jìn)而,把熱可塑性樹(shù)脂層33按每個(gè)電子部件30分割,形成電子部件安裝體。
在本實(shí)施方式中,通過(guò)在熱可塑性樹(shù)脂層33上設(shè)置的貫通孔33a、33b中配置導(dǎo)電材料N,通過(guò)該導(dǎo)電材料N讓凸塊電極31、32與導(dǎo)電體導(dǎo)電連接,凸塊電極31、32的突出高度與熱可塑性樹(shù)脂層33的厚度之間可以確保高度的自由度。
另外,在熱可塑性樹(shù)脂層33上形成貫通孔33a、33b,在該貫通孔33a、33b中插入凸塊電極31、32,這樣將電子部件30安裝在熱可塑性樹(shù)脂層33上后,為與凸塊電極31、32進(jìn)行導(dǎo)電連接,從貫通孔33a、33b的相反側(cè)填充導(dǎo)電材料N,然后,凸塊電極31、32與該導(dǎo)電材料N導(dǎo)電連接,形成導(dǎo)電體。
第6實(shí)施方式下面參照?qǐng)D9,說(shuō)明有關(guān)本發(fā)明的電光學(xué)裝置的第6實(shí)施方式。在該實(shí)施方式中,構(gòu)成有具備上述各實(shí)施方式中制造的電子部件安裝體10P的電光學(xué)裝置100。在下面,將舉例說(shuō)明使用電子部件安裝體10P的場(chǎng)合,電子部件10P′、20P′、30P′或者第5實(shí)施方式中形成的電子部件安裝體也同樣能夠使用。這里,電子部件安裝體10P,可以在其電子構(gòu)造區(qū)域上包含為生成驅(qū)動(dòng)電光學(xué)裝置的驅(qū)動(dòng)信號(hào)的電路(即,液晶驅(qū)動(dòng)用IC芯片的安裝體)。
本實(shí)施方式的電光學(xué)裝置100,是液晶顯示裝置,具備電光學(xué)面板(液晶面板)110、和其上安裝的電路基板(可撓性布線基板)120。電光學(xué)面板110由玻璃、塑料等構(gòu)成的一對(duì)基板111和112通過(guò)密封部件113貼合,在2個(gè)基板111和112之間封入了液晶等電光學(xué)物質(zhì)114?;?11的內(nèi)面上,形成有ITO等透明導(dǎo)電體構(gòu)成的透明電極111a,其上覆蓋取向膜111b。而且,在基板112的內(nèi)面上形成有和上述同樣材料構(gòu)成的透明電極112a,其上覆蓋取向膜112b。另外,基板111及112的外面上配置有偏光板115、116。
另一方面,電路基板120,在絕緣基材121的表面(圖示下面)上形成有Cu等構(gòu)成的布線圖案121a。絕緣基材121是環(huán)氧樹(shù)脂、聚酰亞胺等熱固化樹(shù)脂、或者是聚酯、聚酰胺、芳香族聚酯、芳香族聚酰胺、四氟乙烯,聚酰亞胺等熱可塑性樹(shù)脂構(gòu)成。布線圖案121a,除了與電光學(xué)面板110的連接端子部分121b等端子部分以外,均由保護(hù)膜122覆蓋。連接端子部分121b是通過(guò)各方異性導(dǎo)電膜117,與在基板111表面上的布線111c導(dǎo)電連接。另外,該布線111c與上述透明電極111a、112a導(dǎo)電連接,分別引出到基板擴(kuò)張部(比基板112的外形向周圍擴(kuò)張出的部分)。
與形成絕緣基材121的布線圖案121a的表面相反一側(cè)的表面(圖示上面)上,露出了與上述布線圖案121a導(dǎo)電連接的連接焊盤(pán)123、124、125、126。然后,在這些連接焊盤(pán)上安裝各種電子部件127、128。連接焊盤(pán)123、124上,安裝上述電子部件安裝體10P。該電子部件安裝體10P在由加壓加熱頭加熱的狀態(tài)下按壓在電路基板120上。這樣,熱可塑性樹(shù)脂分割層13B的一部分軟化或者溶解,導(dǎo)電體35、36與連接焊盤(pán)123、124的導(dǎo)電連接部分的周圍覆蓋熱可塑性樹(shù)脂分割層13B,電子部件安裝體10P和絕緣基材121之間的間隙完全被密封。這樣一來(lái),由于不需要灌充樹(shù)脂的注入操作,安裝作業(yè)變得容易,而且能夠抑制出現(xiàn)氣孔,可以提高安裝結(jié)構(gòu)的電可靠性。
特別是,本實(shí)施方式的電路基板的絕緣基材121由熱可塑性樹(shù)脂構(gòu)成,所以與電子部件安裝體10P的熱可塑性樹(shù)脂分割層13B的熔接性良好,可以獲得充分的持久力及密封性能的安裝結(jié)構(gòu)。
第7實(shí)施方式下面,參照?qǐng)D10,說(shuō)明有關(guān)本發(fā)明的電光學(xué)裝置的第7實(shí)施方式。該實(shí)施方式的電光學(xué)裝置200包括與上述第6實(shí)施方式的電光學(xué)面板110同樣的電光學(xué)面板210、和第6實(shí)施方式的電路基板120大致相同的電路基板220。因此,由于分別對(duì)應(yīng)的構(gòu)成要素的基板211、212、透明電極211a、212a、布線211c、取向膜211b、212b、密封部件213、電光學(xué)物質(zhì)214、偏光板215、216、絕緣基材221、布線圖案221a、保護(hù)膜222、連接焊盤(pán)部223、225、226、電子部件227、228,和第6實(shí)施方式相同,在此省略其說(shuō)明。
在本實(shí)施方式中,電光學(xué)面板310的布線211c、與電路基板220的連接焊盤(pán)223上安裝著電子部件安裝體10P,其結(jié)果是形成了電路基板220通過(guò)電子部件安裝體10P,連接到電光學(xué)面板210的狀態(tài)。圖示例中,電子部件安裝體10P與第6實(shí)施方式同樣,直接被安裝在電路基板220上面。另一方面,電子部件10P通過(guò)各方異性導(dǎo)電膜217與布線211c導(dǎo)電連接。但是,電子部件安裝體10P的導(dǎo)電體15可以直接與布線211c導(dǎo)電連接。
第8實(shí)施方式最后,參照?qǐng)D11說(shuō)明有關(guān)本發(fā)明的另一電光學(xué)裝置的第8實(shí)施方式。該實(shí)施方式的電光學(xué)裝置(液晶顯示裝置)300具有電光學(xué)面板310、安裝在其上的電路基板320。電光學(xué)面板310,和第6實(shí)施方式的電光學(xué)面板110具有基本同樣的結(jié)構(gòu),由于基板311、312、透明電極311a、312a、取向膜311b、312b、布線311c、密封部件313、液晶等電光學(xué)物質(zhì)314、偏光板315、316,和第6實(shí)施方式說(shuō)明的相同,在此省略其說(shuō)明。
另外,由于電路基板320上,絕緣基材321、布線圖案321a、連接端子部分321b、保護(hù)膜322、連接焊盤(pán)部323、324、325、326、電子部件327、328、329和第6實(shí)施方式說(shuō)明的相同,在此省略其說(shuō)明。
在該實(shí)施方式中,構(gòu)成電光學(xué)面板310的一方基板311的表面上直接安裝上述電子部件安裝體10P″,這一點(diǎn)與第6實(shí)施方式不同。另外,電子部件安裝體10P″只是在基板311上安裝,這一點(diǎn)與第7實(shí)施方式不同。和上述同樣在基板311的基板擴(kuò)張部上引出的布線311c,與導(dǎo)電體15、16′導(dǎo)電連接的狀態(tài)下,將電子部件安裝體10P″直接安裝在基板311上?;?11由玻璃、塑料等構(gòu)成,在本實(shí)施方式中,將電子部件安裝體10P″配置在基板311上,通過(guò)加壓加熱狀態(tài),軟化或者熔解熱可塑性樹(shù)脂層13B″,從而實(shí)現(xiàn)對(duì)基板311的密接固定。
另外,在該實(shí)施方式中,電路基板320在電子部件安裝體10P″上安裝,這一點(diǎn)也與上述各實(shí)施方式不同。而且,電子部件安裝體10P″上,設(shè)置有從熱可塑性樹(shù)脂分割層13B″的表面上露出的、與導(dǎo)電體16′電連接的連接焊盤(pán)部16E。該連接焊盤(pán)部16E上,導(dǎo)電連接電路基板320的連接端子部321b。電子部件安裝體10P″,如上所述,由于通過(guò)分割熱可塑性樹(shù)脂層13而形成,所以能夠自由設(shè)定導(dǎo)體圖案等,也能夠設(shè)置導(dǎo)電體16′、連接焊盤(pán)部16E等。
在本實(shí)施方式中,其優(yōu)點(diǎn)是由于在電光學(xué)面板310的基板311上直接安裝電子部件安裝體10P″,在該電子部件安裝體10P″上安裝電路基板320,所以對(duì)電光學(xué)面板310的安裝可以1次完成。
還有,本發(fā)明,不僅限定于上述圖示例的范圍,只要在不脫離本發(fā)明的要旨的范圍內(nèi)顯然可以進(jìn)行各種變更。例如,在上述電光學(xué)裝置的實(shí)施方式中,雖然例示了無(wú)源矩陣型的液晶顯示裝置,本發(fā)明不僅是圖示的無(wú)源矩陣型的液晶顯示裝置,也可以同樣適用于有源矩陣型的液晶顯示裝置(例如將TFT(薄膜晶體管)、TFD(薄膜二極管)作為開(kāi)關(guān)元件的液晶顯示裝置)。另外,不僅可以是液晶顯示裝置,使用電致發(fā)光裝置、有機(jī)電致發(fā)光裝置、等離子顯示裝置、電泳動(dòng)顯示裝置、采用電子發(fā)射元件的裝置(Field Emission display及Surface-conduction Electron-Emitter display等)等各種電光學(xué)裝置,同樣可以適用本發(fā)明。
另外,本發(fā)明不僅限于上述實(shí)施方式,可以進(jìn)行各種變形。例如,本發(fā)明包含和實(shí)施方式所說(shuō)明的構(gòu)成實(shí)質(zhì)上相同的構(gòu)成(例如,功能、方法及結(jié)果相同的構(gòu)成、或者目的及效果相同的構(gòu)成)。另外,本發(fā)明包括將在實(shí)施方式中說(shuō)明的構(gòu)成中非本質(zhì)部分進(jìn)行置換后的構(gòu)成。而且,本發(fā)明還包括能夠起到與實(shí)施方式中說(shuō)明的構(gòu)成相同的作用效果的構(gòu)成,或者達(dá)到同樣目的的構(gòu)成。另外,本發(fā)明包括在實(shí)施方式中說(shuō)明的構(gòu)成中附加了公知技術(shù)后的構(gòu)成。
權(quán)利要求
1.一種電子部件安裝體的制造方法,其特征在于,具備通過(guò)將凸塊電極埋設(shè)進(jìn)熱可塑性樹(shù)脂層內(nèi)部的方式,將具備所述凸塊電極的多個(gè)電子部件安裝在所述熱可塑性樹(shù)脂層上的工序;在所述熱可塑性樹(shù)脂層的與安裝了所述電子部件的面相反一側(cè)的表面上,形成與所述凸塊電極導(dǎo)電連接的導(dǎo)電體的工序;和按每個(gè)所述電子部件將所述熱可塑性樹(shù)脂層分割的工序。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電子部件安裝體的制造方法,其特征在于,在安裝所述電子部件的工序中,將所述電子部件或所述熱可塑性樹(shù)脂層加熱。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電子部件安裝體的制造方法,其特征在于,在安裝所述電子部件的工序中,通過(guò)讓所述凸塊電極貫通所述熱可塑性樹(shù)脂層,并露出到所述熱可塑性樹(shù)脂層的與安裝了所述電子部件的面相反一側(cè)的表面上的方式,安裝電子部件。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電子部件安裝體的制造方法,其特征在于,在安裝所述電子部件的工序中,通過(guò)讓所述凸塊電極與導(dǎo)體層導(dǎo)電接觸的方式安裝電子部件,所述導(dǎo)電層被預(yù)先配置在所述熱可塑性樹(shù)脂層的與安裝了所述電子部件的面相反一側(cè)的表面上;在形成所述導(dǎo)電體的工序中,通過(guò)將所述導(dǎo)體層圖案化,形成所述導(dǎo)電體。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電子部件安裝體的制造方法,其特征在于,在安裝所述電子部件的工序之前,具有在所述熱可塑性樹(shù)脂層上形成貫通孔的工序、和在所述貫通孔內(nèi)配置導(dǎo)電材料的工序;在安裝所述電子部件的工序中,將所述凸塊電極插入所述貫通孔內(nèi),與所述導(dǎo)電材料導(dǎo)電連接。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電子部件安裝體的制造方法,其特征在于,在安裝所述電子部件的工序中,通過(guò)模具成形,成形熱可塑性樹(shù)脂層,以覆蓋所述多個(gè)電子部件。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電子部件安裝體的制造方法,其特征在于,在形成所述導(dǎo)電體的工序中,在所述熱可塑性樹(shù)脂層的與安裝了所述電子部件的面相反一側(cè)的表面上涂敷流動(dòng)性材料,通過(guò)讓所述流動(dòng)性材料固化,形成所述導(dǎo)電體。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電子部件安裝體的制造方法,其特征在于,形成所述導(dǎo)電體的工序,包含在所述熱可塑性樹(shù)脂層的與安裝了所述電子部件的面相反一側(cè)的表面上形成具有圖案化后的開(kāi)口的抗蝕層的工序;在所述熱可塑性樹(shù)脂層上的所述開(kāi)口的露出部分上形成所述導(dǎo)電體。
9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的電子部件安裝體的制造方法,其特征在于,在安裝所述電子部件的工序中,將所述多個(gè)電子部件保持在支撐體的狀態(tài)下,進(jìn)行所述模具成形。
10.根據(jù)權(quán)利要求7所述的電子部件安裝體的制造方法,其特征在于,在形成所述導(dǎo)電體的工序中,將所述液狀的流動(dòng)性材料作為液滴噴出。
11.根據(jù)權(quán)利要求7所述的電子部件安裝體的制造方法,其特征在于,在形成所述導(dǎo)電體的工序中,采用漿狀的所述流動(dòng)性材料進(jìn)行印刷。
12.根據(jù)權(quán)利要求8所述的電子部件安裝體的制造方法,其特征在于,形成所述導(dǎo)電體的工序,包括噴出含有導(dǎo)電性微粒子的溶劑的工序;將所述抗蝕層形成為,讓其上端面與所述溶劑的親和性,比所述熱可塑性樹(shù)脂層的與安裝了所述電子部件的面相反一側(cè)的表面還差。
13.根據(jù)權(quán)利要求8所述的電子部件安裝體的制造方法,其特征在于,在形成所述導(dǎo)電體后,還包括除去所述抗蝕層的工序。
14.根據(jù)權(quán)利要求9所述的電子部件安裝體的制造方法,其特征在于,所述支撐體是與所述凸塊電極導(dǎo)電連接的導(dǎo)電材料;在形成所述導(dǎo)電體的工序中,通過(guò)將支撐體圖案化,形成所述導(dǎo)電體。
全文摘要
提供一種容易、低成本且具有高可靠性、高效制造電子部件安裝體的方法,包括通過(guò)將凸塊電極(11、12)埋設(shè)進(jìn)熱可塑性樹(shù)脂層(13)內(nèi)部的方式,將具備凸塊電極(11、12)的多個(gè)電子部件(10)安裝在熱可塑性樹(shù)脂層(13)上的工序;在熱可塑性樹(shù)脂層(13)的與安裝了電子部件(10)的面相反一側(cè)的表面上,形成與凸塊電極(11、12)導(dǎo)電接觸的導(dǎo)電體(15、16)的工序;將熱可塑性樹(shù)脂層(13)按每一個(gè)電子部件(10)分割的工序。
文檔編號(hào)G02F1/1345GK1584673SQ20041006410
公開(kāi)日2005年2月23日 申請(qǐng)日期2004年8月19日 優(yōu)先權(quán)日2003年8月21日
發(fā)明者齋藤淳 申請(qǐng)人:精工愛(ài)普生株式會(huì)社