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黑色矩陣用感光性樹脂組成物的制作方法

文檔序號:2775292閱讀:117來源:國知局
專利名稱:黑色矩陣用感光性樹脂組成物的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明系關(guān)于一種適用于顯示器包括液晶顯示器(Liquid crystal display,簡稱LCD)及電漿顯示器(plasma display,簡稱PDP),特別是適用于LCD之黑色矩陣用感光性樹脂組成物。
背景技術(shù)
近年,液晶顯示器的彩色化處理時所使用的彩色濾光片,皆有畫質(zhì)高精細、高品質(zhì)之要求。其中,為提高該顯示器的對比度及其相關(guān)特性,一般采用在彩色濾光片的條紋(stripe)及點(dot)間隙中放置遮光膜。例如,在彩色濾光片的紅、藍、綠等畫素間,形成黑色矩陣以作為遮光膜之用,此黑色矩陣可防止因畫素間的光泄漏,所引起之對比度下降、色純度下降等缺失。
然而,以往黑色矩陣所使用的材料,皆以鉻或氧化鉻等的蒸鍍膜為主,但以該蒸鍍膜作為黑色矩陣的材料,皆存在有制程復(fù)雜、材料昂貴等缺點。為解決此問題點,乃提出將感光性樹脂組成物以光平版印刷(photo lithographic)的方式,形成黑色矩陣。
上述將感光性樹脂組成物以光平版印刷的方式形成黑色矩陣的相關(guān)專利有(1)將紅、綠以及藍色等各層感光性樹脂層重疊,形成遮光層的方法(揭示于日本特開昭59-204009號公報,特開昭63-40101號公報以及特開平2-287303號公報);(2)將感光性樹脂形成圖案后,將圖案進行染色的方法(揭示于特開昭62-14103號公報以及特開昭62-14104號公報);(3)以含碳黑(carbon black)等黑色顏料的感光性樹脂(光阻劑)來形成圖案的方法(揭示于特開平4-177202)等等。
然上述的方法中,以(1)之重疊法以及(2)之染色法所形成的黑色矩陣,其遮旋光性及耐熱性等物性不佳;而(3)之顏料分散法由于使用了黑色顏料,相較(1)及(2)法,其具有較高的遮光率。
上述(3)之方法,主要系將含苯酚(phenol)的樹脂與持有N-羥甲基(N-methylol)構(gòu)造的架橋劑所形成的堿可溶性樹脂作為粘結(jié)劑,并搭配光酸發(fā)生劑及黑色顏料而形成一黑色矩陣用的感光性樹脂組成物,并將該感光性樹脂組成物以光平版印刷法而形成一黑色矩陣。
而上述(3)的制作過程,系先將該黑色矩陣用感光性樹脂組成物以回轉(zhuǎn)涂布方式,涂布于玻璃基板表面,形成一遮光膜,然后以預(yù)烤方式,將溶媒干燥后,形成一預(yù)烤涂膜,再將該預(yù)烤涂膜介于所指定的光罩(mask)間曝光,使曝光部分硬化,并以弱堿性水溶液將未曝光部位溶出形成圖案,最后再進行后烤干燥處理。
但上述(3)的制法,存在有邊緣形狀呈現(xiàn)底切的問題。
為解決上述的問題,乃有提出以含有芴(fluorene)官能基的堿可溶性樹脂作為粘結(jié)劑,并搭配黑色顏料(如黑色有機顏料,黑色無機顏料或遮光材料)而形成一黑色矩陣用的感光性樹脂組成物,并將該感光性樹脂組成物以光平版印刷法而形成一黑色矩陣之方法(揭示于特開平8-278629)。該方式確實可解決邊緣形狀呈現(xiàn)底切的問題。
但上述以含有芴官能基的堿可溶性樹脂作為粘結(jié)劑,并搭配黑色顏料而形成一黑色矩陣用的感光性樹脂組成物,使用時仍存在有曝光時感度低下、顯影性差、顯影后所形成圖案的邊緣平整性、解像度不佳等問題發(fā)生;尤其,近來對黑色矩陣的要求趨向于薄膜及高遮光率,該組成物已無法滿足業(yè)界的需求。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明之目的在于提供一種適用于顯示器的黑色矩陣用感光性樹脂組成物。特別是提供一種曝光時之感度佳,顯影后形成的圖案的邊緣平整性、解像度佳、無底切且不易從基板上脫落的黑色矩陣用感光性樹脂組成物。
本發(fā)明采用的技術(shù)方案是,該組成物包含堿可溶性樹脂(A)、含乙烯性不飽和基的化合物(B)、含下記一般式(c-1)所表示之光起始劑(C)、溶劑(D)、以及黑色顏料(E);其中,該堿可溶性樹脂(A)系含有下記一般式(a-1)所表示的官能基。
一般式(a-1)(式中,R表示各自獨立的氫原子、碳數(shù)1~5之直鏈或分歧烷基、苯基、或鹵素原子) 一般式(c-1)(式中,Z1表示Ra、Rb-S、Rc-O,其中Ra、Rb、Rc表示氫原子、烷基(alkyl)、芳香族基(aryl);Z2表示氫原子、C1~C4的烷基、鹵素(halide))。
本發(fā)明的有益效果在于本組成物曝光時的感光度佳,顯影后形成的圖案(pattern)的邊緣平整性、解像度佳,無底切(underctu)且不易從基板上脫落。


圖1為感光性樹脂圖案的銳角邊緣側(cè)面狀態(tài)圖。
圖2為感光性樹脂圖案的鈍角邊緣側(cè)面狀態(tài)圖。
具體實施例方式
以下逐一對本發(fā)明各組成作詳細的說明(A)堿可溶性樹脂本發(fā)明堿可溶性樹脂(A)系含有下記一般式(a-1)所表示的官能基,其系由含有下記一般式(a-1)所表示的官能基之化合物與其它可共聚合反應(yīng)之化合物經(jīng)反應(yīng)而成。
一般式(a-1)(式中,R表示各自獨立之氫原子、碳數(shù)1~5之直鏈或分歧烷基、苯基、或鹵素原子)。
上記含一般式(a-1)所表示的官能基的化合物的具體例如一般式(a-2)所示的含環(huán)氧基(epoxy)的雙酚芴(bisphenol fluorene)型化合物(以下簡稱化合物(a-2))及一般式(a-3)所示之含羥基(hydroxy)的雙酚芴(bisphenol fluorene)型化合物(以下簡稱化合物(a-3)) 一般式(a-2)(式中,R與前記之表示相同) 一般式(a-3)式中,R與前記之表示相同;R1,R2表示選擇至少一種各自獨立,且碳數(shù)1~20的亞烷基(alkylene)或碳數(shù)1~20的脂環(huán)族官能基;k,l表各自獨立的1以上的整數(shù)。
上述其它可共聚反應(yīng)的化合物可舉例如下丙烯酸,甲基丙烯酸,丁烯酸,α-氯丙烯酸,乙基丙烯酸及肉桂酸等的不飽和一元羧酸類;馬來酸,琥珀酸,衣康酸,苯二甲酸,四氫化苯二甲酸,六氫化苯二甲酸,甲基四氫化苯二甲酸,甲基六氫化苯二甲酸,甲基橋亞甲基四氫化苯二甲酸(methyl endo-methylenetetrahydro phthalic acid),氯茵酸(chlorendic acid),戊二酸等的二元羧酸類及其酸無水物;1,2,4-苯三甲酸(trimellitic acid)等的三元羧酸類及其酸無水物;1,2,4,5-苯四甲酸(pyromellitic acid),二苯甲酮四羧酸(benzophenone tetracarboxylic acid),雙苯四羧酸(biphenyl tetracarboxylic acid),雙苯醚四羧酸(biphenylethertetracarboxylic acid)等的四元羧酸類及其酸二無水物。
本發(fā)明堿可溶性樹脂(A)在制法上并無特別之限制,以下列舉三種制法(制法I~制法III)加以說明。
制法I將化合物(a-2)先與(甲基)丙烯酸反應(yīng),制得下記一般式(a-4)所表示的雙酚芴(bisphenol fluroene)型環(huán)氧(甲基)丙烯酸酯(epoxy(meth)acrylate)化合物(以下簡稱化合物(a-4))。
一般式(a-4)上式中,R與前述的相同,R3表示氫(H)或甲基(CH3)。
接著將化合物(a-4)與單一種類的多元羧酸或其酸無水物反應(yīng)而制得。例如,將化合物(a-4)和二元羧酸類之酸無水物在乙酸乙氧基乙酯或乙酸丁氧基乙酯等酯類溶媒中加熱反應(yīng),制得同時含有乙烯性不飽和雙鍵和羧基的堿可溶樹脂(A),該堿可溶性樹脂(A)可用以下一般式(A-1)來表示(以下簡稱樹脂(A-1))。
一般式(A-1)式中,X可以下記一般式(a-5)表示(以下簡稱化合物(a-5));
一般式(a-5)(上式中,R及R3與前述的相同)Y表二元羧酸類之酸無水物化合物中除去酸酐基所剩下的殘基,即該二元羧酸類之酸無水物可以以下一般式(a-6)來表示(以下簡稱化合物(a-6)); 一般式(a-6)m表1以上的整數(shù),較佳為1~20間的整數(shù)。
上述中,「單一種類的多元羧酸或其酸無水物」的意思,即表示反應(yīng)過程中,多元羧酸或其酸無水物的種類僅能選擇二元羧酸或其酸無水物,三元羧酸或其酸無水物,四元羧酸或其酸二無水物等之其中一種。
制法II將化合物(a-4)與二元羧酸類的酸無水物及四元羧酸類的酸二無水物的混合物在乙酸乙氧基乙酯或乙酸丁氧基乙酯等酯類溶媒中加熱反應(yīng),制得同時含有乙烯性不飽和雙鍵及羧基的堿可溶性樹脂(A)。制法II的堿可溶性樹脂(A)可用以下一般式(A-2)來表示(以下簡稱樹脂(A-2))。
一般式(A-2)Z表四元羧酸類的酸二無水物化合物中除去二酸酐基而所剩的殘基,即該四元羧酸類之酸二無水物可以以下一般式(a-7)來表示;
一般式(a-7)p與q表示1以上的整數(shù),較佳為1~20間的整數(shù)。
p與q表示聚合度,p/q的比值較佳為1/99~90/10為佳,更佳為5/95~80/20。
上述中,「混合物」即表示二元羧酸類之酸無水物及四元羧酸類之酸二無水物需在同時存在的條件下,進行反應(yīng)。
制法III將化合物(a-4)先與四元羧酸類之酸二無水物在乙酸乙氧基乙酯或乙酸丁氧基乙酯等酯類溶媒中加熱反應(yīng),反應(yīng)后,再加入二元羧酸類之酸無水物,進行加熱反應(yīng),制得同時含有乙烯性不飽和雙鍵及羧基的堿可溶性樹脂(A)。制法III的堿可溶性樹脂(A)可用以下一般式(A-3)來表示(以下簡稱樹脂(A-3))。
一般式(A-3)上式中,X,Y及Z與前述的相同,r表1以上的整數(shù),但以1~20的整數(shù)較佳。
上述制法I~III的堿可溶性樹脂(A)的合成反應(yīng)過程中,化合物(a-4)和多元羧酸類及其酸無水物之反應(yīng)溫度較佳為50~130℃,更佳為70~120℃。
上述制法I~III的堿可溶性樹脂(A)的合成反應(yīng)過程中,基于化合物(a-4)的羥基1當(dāng)量,其所使用的多元羧酸類之酸無水物所含之酸無水物基較佳為0.4~1當(dāng)量,更佳為0.75~1當(dāng)量。
上述制法II以及制法III的堿可溶性樹脂(A)的合成反應(yīng)過程中,二元羧酸類的酸無水物與四元羧酸類的酸二無水物的摩爾比例較佳為1/99~90/10,更佳為5/95~80/20。
(B)含乙烯性不飽和基的化合物基于堿可溶性樹脂(A)100重量份,本發(fā)明含乙烯性不飽和基之化合物(B)的使用量一般為5~220重量份,較佳為10~160重量份,更佳為15~120重量份。
上述含乙烯性不飽和基的化合物(B)乃具有至少一個乙烯性不飽和基的乙烯性不飽和化合物。
其中具有一個乙烯性不飽和基的化合物的具體例有丙烯酰胺、(甲基)丙烯酰嗎啉、(甲基)丙烯酸-7-氨基-3,7-二甲基辛酯、異丁氧基甲基(甲基)丙烯酰胺、(甲基)丙烯酸異冰片基氧乙酯、(甲基)丙烯酸異冰片酯、(甲基)丙烯酸-2-乙基己酯、乙基二甘醇(甲基)丙烯酸酯、叔辛基(甲基)丙烯酰胺、二丙酮(甲基)丙烯酰胺、(甲基)丙烯酸二甲氨基酯、(甲基)丙烯酸十二烷基酯、(甲基)丙烯酸二環(huán)戊烯氧乙酯、(甲基)丙烯酸二環(huán)戊烯酯、N,N-二甲基(甲基)丙烯酰胺、(甲基)丙烯酸四氯苯酯、(甲基)丙烯酸-2-四氯苯氧基乙酯、(甲基)丙烯酸四氫糠酯、(甲基)丙烯酸四溴苯酯、(甲基)丙烯酸-2-四溴苯氧基乙酯、(甲基)丙烯酸-2-三氯苯氧基乙酯、(甲基)丙烯酸三溴苯酯、(甲基)丙烯酸-2-三溴苯氧基乙酯、(甲基)丙烯酸-2-羥乙酯、(甲基)丙烯酸-2-羥丙酯、乙烯基己內(nèi)酰胺、N-乙烯基皮酪烷酮、(甲基)丙烯酸苯氧基乙酯、(甲基)丙烯酸五氯苯酯、(甲基)丙烯酸五溴苯酯、聚單(甲基)丙烯酸乙二醇酯、聚單(甲基)丙烯酸丙二醇酯、(甲基)丙烯酸冰片酯。
具有2個或2個以上乙烯性不飽和基的乙烯性不飽和化合物的具體例如下乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、二(甲基)丙烯酸二環(huán)戊烯酯、三甘醇二丙烯酸酯、四甘醇二(甲基)丙烯酸酯、三(2-羥乙基)異氰酸酯二(甲基)丙烯酸酯、三(2-羥乙基)異氰酸酯三(甲基)丙烯酸酯、己內(nèi)酯改質(zhì)之三(2-羥乙基)異氰酸酯三(甲基)丙烯酸酯、三(甲基)丙烯酸三羥甲基丙酯、環(huán)氧乙烷(以下簡稱EO)改質(zhì)之三(甲基)丙烯酸三羥甲基丙酯、環(huán)氧丙烷(以下簡稱PO)改質(zhì)之三(甲基)丙烯酸三羥甲基丙酯、三甘醇二(甲基)丙烯酸酯、新戊二醇二(甲基)丙烯酸酯、1,4-丁二醇二(甲基)丙烯酸酯、1,6-己二醇二(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、聚酯二(甲基)丙烯酸酯、聚乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、己內(nèi)酯改質(zhì)之二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、己內(nèi)酯改質(zhì)之二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、四(甲基)丙烯酸二三羥甲基丙酯、EO改質(zhì)之雙酚A二(甲基)丙烯酸酯、PO改質(zhì)之雙酚A二(甲基)丙烯酸酯、EO改質(zhì)之氫化雙酚A二(甲基)丙烯酸酯、PO改質(zhì)之氫化雙酚A二(甲基)丙烯酸酯、PO改質(zhì)之甘油三丙酸酯、EO改質(zhì)之雙酚F二(甲基)丙烯酸酯、酚醛聚縮水甘油醚(甲基)丙烯酸酯等等。
前述乙烯性不飽和化合物中,較佳者為三丙烯酸三羥甲基丙酯、EO改質(zhì)的三丙烯酸三羥甲基丙酯、PO改質(zhì)的三丙烯酸三羥甲基丙酯、季戊四醇三丙烯酸酯、季戊四醇四丙烯酸酯、二季戊四醇六丙烯酸酯、二季戊四醇五丙烯酸酯、二季戊四醇四丙烯酸酯、己內(nèi)酯改質(zhì)的二季戊四醇六丙烯酸酯、四丙烯酸二三羥甲基丙酯、PO改質(zhì)的甘油三丙酸酯。
(C)光起始劑本發(fā)明之光起始劑(C),系含有下記一般式(c-1)所表示的化合物。
一般式(c-1)其中,Z1表示Ra、Rb-S、Rc-O的官能基,較佳為Ra、Rb-S;其中Ra、Rb、Rc表示氫原子、烷基、芳香族基;Z2表示氫原子、C1~C4的烷基、鹵素。
基于含乙烯性不飽和基的化合物(B)100重量份,本發(fā)明光起始劑(C)的使用量一般為2~120重量份,較佳為5~70重量份,更佳為10~60重量份。
本發(fā)明之光起始劑(C)較佳的具體例如乙烷酮,1-[9-乙基-6-(2-甲基苯甲?;?-9氫-咔唑-3-取代基]-,1-(氧-乙酰肟)Ethanone,1-[9-ethyl-6-(2-methylbenzoyl)-9H-carbazole-3-yl]-,1-(O-acetyl oxime)(商品名CGI-242,Ciba Specialty Chemicals制,構(gòu)造式如一般式(c-1-1)所示)、乙烷酮,1-[9-乙基-6-(2-氯-4苯磺基苯甲?;?-9氫-咔唑-3-取代基]-,1-(氧-乙酰肟)Ethanone,1-[9-ethyl-6-(2-chloro-4-benzylsulfonyl benzoyl)-9H-carbazole-3-yl]-,1-(O-acetyl oxime)(旭電化公司制,結(jié)構(gòu)式如一般式(c-1-2)所示)。
一般式(c-1-1) 一般式(c-1-2)本發(fā)明之黑色矩陣用感光性樹脂組成物中,當(dāng)(1)堿可溶性樹脂(A)含有一般式(a-1)所表示的官能基,且(2)光起始劑(C)含有一般式(c-1)所表示的化合物時,則該感光性樹脂組成物經(jīng)涂布后,曝光時之感度佳,顯影后形成的圖案的邊緣平整性、解像度佳、無底切且不易從基板上脫落。
另外,本發(fā)明中所使用的光起始劑也可含有光起始劑(C)以外的光起始劑(C’)。該光起始劑(C’)例如苯乙酮系化合物。
其中,苯乙酮系化合物的具體例如對二甲胺苯乙酮(p-dimethylamino-acetophenone)、α,α’-二甲氧基氧化偶氮苯乙酮(α,α’溫表-dimethoxyazoxyacetophenone)、2,2’-二甲基-2-苯基苯乙酮(2,2’-dimethyl-2-phenylacetophenone)、對甲氧基苯乙酮(p-methoxy acetophenone)、2-甲基-1-(4-甲基硫代苯基)-2-嗎啉代-1-丙酮(2-methyl-1-(4-methylthiophenyl)-2-morpholino propane-1-on)、2-芐基-2-N,N-二甲胺-1-(4-嗎啉代苯基)-1-丁酮[2-benzyl-2-N,N-dimethylamino-1-(4-morpholinophenyl)-1-butanone]。
該等光起始劑(C’)可單獨一種使用,亦可混合兩種或兩種以上使用。前述光起始劑(C’)系以2-甲基-1-(4-甲基硫代苯基)-2-嗎啉代-1-丙酮、2-芐基-2-N,N-二甲胺-1-(4-嗎啉代苯基)-1-丁酮較佳。
基于含乙烯性不飽和基之化合物(B)100重量份,本發(fā)明光起始劑(C’)之使用量一般為0.5~60重量份,較佳為1~50重量份,更佳為2~40重量份。
在本發(fā)明中,尤以含上述一般式(c-1)所示的光起始劑(C)及苯乙酮系化合物類光起始劑(C’)的組合使用為佳,該組合而得的感光性樹脂組成物經(jīng)涂布,曝光,顯像后,所形成的圖案之解像度較高。
本發(fā)明的黑色矩陣用感光性樹脂組成物中,可進一步添加前記光起始劑(C)及(C’)以外的光起始劑(C”)。例如2,2’-雙(鄰-氯苯基)-4,4’,5,5’-四苯基二咪唑[2,2’-bis(o-chlorophenyl)-4,4’,5,5’-tetraphenyl-biimidazole]、2,2’-雙(鄰-氟苯基)-4,4’,5,5’-四苯基二咪唑[2,2’-bis(o-fluorophenyl)-4,4’,5,5’-tetraphenyl-biimidazole]、2,2’-雙(鄰-甲基苯基)-4,4’,5,5’-四苯基二咪唑[2,2’-bis(o-methyl phenyl)-4,4’,5,5’-tetraphenyl-biimidazole]、2,2’-雙(鄰-甲氧基苯基)-4,4’,5,5’-四苯基二咪唑[2,2’-bis(o-methoxyphenyl)-4,4’,5,5’-tetraphenylbiimidazole]、2,2’-雙(對甲氧基苯基)-4,4’,5,5’-四苯基二咪唑[2,2’-bis(p-methoxyphenyl)-4,4’,5,5’-tetraphenylbiimidazole]、2,2’-雙(2,2’,4,4’-四甲氧基苯基)-4,4’,5,5’-四苯基二咪唑[2,2’-bis(2,2’,4,4’-tetramethoxyphenyl)-4,4’,5,5’-tetraphenyl-biimidazole]、2,2’-雙(2-氯苯基)-4,4’,5,5’-四苯基二咪唑[2,2’-bis(2-chlorophenyl)-4,4’,5,5’-tetraphenylbiimidazole]、2,2’-雙(2,4-二氯苯基)-4,4’,5,5’-四苯基二咪唑[2,2’-bis(2,4-dichlorophenyl)-4,4’,5,5’-tetraphenyl-biimidazole]等的二咪唑系化合物(biimidazole);1-(4-苯基-硫代-苯基)-丁烷-1,2-二酮2-肟-氧-苯甲酸酯1-(4-phenyl-thio-phenyl)-butane-1,2-dion 2-oxime-O-benzoate、1-(4-苯基-硫代-苯基)-辛烷-1,2-二酮2-肟-氧-苯甲酸酯1-(4-phenyl-thio-phenyl)-octane-1,2-dion 2-oxime-O-benzoate(商品名CGI-1 24,Ciba Specialty Chemicals制,構(gòu)造式如后記一般式(c”-1)所示)、1-(4-苯基-硫代-苯基)-辛烷-1-酮肟-氧-醋酸酯1-(4-phenyl-thio-phenyl)-octane-1-on oxime-O-acetate、1-(4-苯基-硫代-苯基)-丁烷-1-酮肟-氧-醋酸酯1-(4-phenyl-thio-phenyl)-butane-1-on oxime-O-acetate等的肟類(oxime)化合物;噻噸酮(thioxanthone)、2,4-二乙基噻噸酮(2,4-diethylthioxanthanone)、噻噸酮-4-砜(thioxanthone-4-sulfone)、二苯甲酮(benzophenone)、4,4’-雙(二甲胺)二苯甲酮[4,4’-bis(dimethylamino)benzophenone]、4,4’-雙(二乙胺)二苯甲酮[4,4’-bis(diethylamino)benzophenone]等的二苯甲酮(benzophenone)類化合物;苯偶酰(benzil)、乙酰基(acetyl)等的之α-二酮(α-diketone)類化合物;二苯乙醇酮(benzoin)等的酮醇(acyloin)類化合物;二苯乙醇酮甲醚(benzoin methylether)、二苯乙醇酮乙醚(benzoin ethylether)、二苯乙醇酮異丙醚(benzoin isopropyl ether)等的酮醇醚(acyloin ether)類化合物;2,4,6-三甲基苯酰二苯基膦氧化物(2,4,6-trimethyl-benzoyl diphenylphosphineoxide)、雙-(2,6-二甲氧基苯酰)-2,4,4-三甲基苯基膦氧化物[bis-(2,6-dimethoxy-benzoyl)-2,4,4-trimethylbenzyl phosphineoxide]等的酰膦氧化物(acylphosphineoxide)類化合物;蒽醌(anthraquinone)、1,4-萘醌(1,4-naphthoquinone)等的醌(quinone)類化合物;苯酰甲基氯(phenacyl chloride)、三溴甲基苯砜(tribromomethylphenylsulfone)、三(三氯甲基)-s-三嗪[tris(trichloromethyl)-s-triazine]等之鹵化物化合物;二-叔丁基過氧化物(di-tertbutylperoxide)等的過氧化物。
一般式(c”-1)(D)溶劑本發(fā)明黑色矩陣用感光性樹脂組成物系以前述堿可溶性樹脂(A)、含乙烯性不飽和基之化合物(B)光起始劑(C),以及溶劑(D)及后述之黑色顏料(E)為必要成分,必要時可加入后述之添加物成分。
前述溶劑(D)的選擇上,需選擇可溶解堿可溶性樹脂(A)、含乙烯性不飽和基的化合物(B),以及光起始劑(C),且不與該等成分相互反應(yīng),并具有適當(dāng)?shù)膿]發(fā)性者。
基于100重量份堿可溶性樹脂(A),本發(fā)明黑色矩陣用感光性樹脂組成物之溶劑(D)的使用量一般為500~3,500重量份,較佳為800~3,200重量份,更佳為1,000~3,000重量份。
本發(fā)明黑色矩陣用感光性樹脂組成物用溶劑之具體例如乙二醇甲醚、乙二醇乙醚、二甘醇甲醚、二甘醇乙醚、二甘醇正丙醚、二甘醇正丁醚、三甘醇甲醚、三甘醇乙醚、丙二醇甲醚、丙二醇乙醚、一縮二丙二醇甲醚、一縮二丙二醇乙醚、一縮二丙二醇正丙醚、一縮二丙二醇正丁醚、二縮三丙二醇甲醚(tripropylene glycol mono methyl ether)、二縮三丙二醇乙醚(tripropylene glycol monoethyl ether)等的(聚)亞烷基二醇單烷醚類;乙二醇甲醚醋酸酯、乙二醇乙醚醋酸酯、丙二醇甲醚醋酸酯、丙二醇乙醚醋酸酯等(聚)亞烷基二醇單烷醚醋酸酯類;二甘醇二甲醚、二甘醇甲乙醚、二甘醇二乙醚、四氫呋喃等其它醚類;甲乙酮、環(huán)己酮、2-庚酮、3-庚酮等酮類;2-羥基丙酸甲酯、2-羥基丙酸乙酯等乳酸烷酯類;2-羥基-2-甲基丙酸甲酯、2-羥基-2-甲基丙酸乙酯、3-甲氧基丙酸甲酯、3-甲氧基丙酸乙酯、3-乙氧基丙酸甲酯、3-乙氧基丙酸乙酯、乙氧基乙酸乙酯、羥基乙酸乙酯、2-羥基-3-甲基丁酸甲酯、3-甲基-3-甲氧基丁基乙酸酯、3-甲基-3-甲氧基丁基丙酸酯、乙酸乙酯、乙酸正丁酯、乙酸正丙酯、乙酸異丙酯、乙酸正丁酯、乙酸異丁酯、乙酸正戊酯、乙酸異戊酯、丙酸正丁酯、丁酸乙酯、丁酸正丙酯、丁酸異丙酯、丁酸正丁酯、丙酮酸甲酯、丙酮酸乙酯、丙酮酸正丙酯、乙酰乙酸甲酯、乙酰乙酸乙酯、2-氧基丁酸乙酯等其它酯類;甲苯、二甲苯等芳香族碳氫化合物類;N-甲基吡咯烷酮、N,N-二甲基甲酰胺、N,N-二甲基乙酰胺等羧酸酰胺類等等。該等溶劑可單獨一種使用,亦可混合兩種或兩種以上使用。前述溶劑中系以丙二醇甲醚醋酸酯、二甘醇二甲醚、3-乙氧基丙酸乙酯較佳。
(E)黑色顏料基于堿可溶性樹脂(A)100重量份,本發(fā)明的黑色顏料(E)的使用量一般為20~500重量份,較佳為40~400重量份,更佳為60~300重量份。
本發(fā)明中所用的(E)成分的黑色顏料,要求需具有較佳的耐熱性,耐光性以及耐溶劑性。該黑色顏料之具體例如二萘嵌苯黑(perylene black),花青黑(cyanineblack),苯胺黑(aniline black)等黑色有機顏料;由紅、藍、綠、紫、黃色、花青(cyanine),洋紅(magenta)等顏料中,選擇兩種或兩種以上的顏料進行混合,使其成近似黑色化的混色有機顏料;碳黑(carbon black),氧化鉻,氧化鐵,鈦黑(titaniumblack),石墨(graphite)等黑色無機顏料。所舉物質(zhì)可一種單獨使用,也可兩種以上合并使用。
于本發(fā)明中黑色顏料(E),依據(jù)所期望者,亦可伴隨使用分散劑。此等分散劑可舉陽離子系、陰離子系、非離子系、兩性、聚硅氧烷系、氟系等的界面活性劑為例。
其中界面活性劑舉例而言有聚環(huán)氧乙烷十二烷基醚,聚環(huán)氧乙烷硬脂酰醚,聚環(huán)氧乙烷油醚等的聚環(huán)氧乙烷烷基醚類;聚環(huán)氧乙烷辛基苯醚,聚環(huán)氧乙烷壬基苯醚等的聚環(huán)氧乙烷烷基苯醚類;聚乙二醇二月桂酸酯,聚乙二醇二硬脂酸酯等的聚乙二醇二酯類;山梨糖醇酐脂肪酸酯類;脂肪酸改質(zhì)的聚酯類;3級胺改質(zhì)的聚胺基甲酸酯類;以下為商品名KP(信越化學(xué)工業(yè)制),SF-8427(Toray Dow Corning Silicon制),普利弗隆(Polyflow,共榮社油脂化學(xué)工業(yè)制),愛夫多普[F-Top,得克姆普洛大庫茲制(Tochem Products Co.,Ltd.)],美卡夫克(Megafac,大日本印墨化學(xué)工業(yè)制),弗洛多(Fluorade,住友3M制),阿魏卡多(Asahi Guard),薩弗隆(Surflon,旭硝子制)等等。此等界面活性劑可單獨或混合復(fù)數(shù)種以上使用。
本發(fā)明黑色矩陣用感光性樹脂組成物中為提高涂布性,并可伴隨使用界面活性劑?;趬A可溶性樹脂(A)100重量份,該界面活性劑之使用量一般系為0~6重量份,較佳為0~4重量份,更佳為0~3重量份,上述界面活性劑的舉例同前述黑色顏料(E)中所使用的界面活性劑。
此外,本發(fā)明的黑色矩陣用感光性樹脂組成物中,必要時可調(diào)合各種添加物,例如填充劑、堿可溶性樹脂(A)以外的高分子化合物、密著促進劑、抗氧化劑、紫外線吸收劑、防凝集劑、架橋劑等。其中,基于堿可溶性樹脂(A)100重量份,本發(fā)明的填充劑、堿可溶性樹脂(A)以外的高分子化合物、密著促進劑、抗氧化劑、紫外線吸收劑、防凝集劑等添加物的使用量一般為0~10重量份,較佳為0~6重量份,更佳為0~3重量份;而架橋劑的使用量一般為0~100重量份,較佳為0~80重量份,更佳為0~50重量份。
此等添加物之具體例有玻璃、鋁的填充劑;聚乙烯醇、聚丙烯酸、聚乙二醇單烷基醚、聚氟丙烯酸烷酯等的堿可溶性樹脂(A)以外的高分子化合物;乙烯基三甲氧基硅烷、乙烯基三乙氧基硅烷、乙烯基三(2-甲氧乙氧基)硅烷、N-(2-氨基乙基)-3-氨基丙基甲基二甲氧基硅烷、N-(2-氨基乙基)-3-氨基丙基三甲氧基硅烷、3-氨基丙基三乙氧基硅烷、3-環(huán)氧丙醇丙基三甲氧基硅烷、3-環(huán)氧丙醇丙基甲基二甲氧基硅烷、2-(3,4-環(huán)氧環(huán)己基)乙基三甲氧基硅烷、3-氯丙基甲基二甲氧基硅烷、3-氯丙基三甲氧基硅烷、3-甲基丙烯氧基丙基三甲氧基硅烷、3-硫醇基丙基三甲氧基硅烷等密著促進劑;2,2-硫代雙(4-甲基-6-叔丁基苯酚)、2,6-二-叔丁基苯酚等的抗氧化劑;2-(3-叔丁基-5-甲基-2-羥基苯基)-5-氯苯基疊氮、烷氧基苯酮等紫外線吸收劑;及聚丙烯酸鈉等防凝集劑;商品名1031S、157S-70(油化Shell制)等之環(huán)氧系的化合物或樹脂的架橋劑。
本發(fā)明的黑色矩陣用感光性樹脂組成物系將上述成分(A)~(E)于攪拌器中均勻混合成溶液狀態(tài),必要時可加入界面活性劑、密著促進劑、架橋劑等其它添加劑。
其次,藉由回轉(zhuǎn)涂布、流延涂布或輥式涂布等涂布方式將上述的黑色矩陣用感光性組成物涂布在基板上。涂布后,先以減壓干燥的方式,去除大部分之溶劑,再以預(yù)烤(pre-bake)方式將溶劑去除而形成一預(yù)烤涂膜。其中,減壓干燥及預(yù)烤的條件,依各成分的種類,配合比率而異,通常,減壓干燥乃在0~26.7kPa之壓力下進行1秒鐘~10秒鐘,而預(yù)烤乃在70~110℃溫度下進行1分鐘~15分鐘。預(yù)烤后,該預(yù)烤涂膜介于所指定之光罩(mask)間曝光,于23±2℃溫度下浸漬于顯影液15秒~5分鐘進行顯影,不要的部分除去而形成圖案。曝光使用的光線,以g線、h線、i線等的紫外線為佳,而紫外線裝置可為(超)高壓水銀燈及金屬鹵素?zé)簟?br> 本發(fā)明所述的基板,舉例而言有用于液晶顯示裝置等的無堿玻璃、鈉鈣玻璃、硬質(zhì)玻璃(派勒斯玻璃)、石英玻璃及于此等玻璃上附著透明導(dǎo)電膜者,或用于固體攝影裝置等的光電變換裝置基板(如硅基板)等等。
再者,顯影液系使用如氫氧化鈉,氫氧化鉀,碳酸鈉,碳酸氫鈉,碳酸鉀,碳酸氫鉀,硅酸鈉,甲基硅酸鈉,氨水,乙胺,二乙胺,二甲基乙醇胺,氫氧化四甲銨,氫氧化四乙銨,膽堿,吡咯,呱啶,1,8-二氮雜二環(huán)-(5,4,0)-7-十一烯等堿性化合物,顯影液的濃度一般為0.001~10重量%,較佳為0.005~5重量%,更佳為0.01~1重量%所構(gòu)成的堿性水溶液。
使用此等堿性水溶液所構(gòu)成的顯影液時,一般系于顯像后再以水洗凈。其次以壓縮空氣或壓縮氮氣將圖案風(fēng)干。
之后再以熱板或烘箱等加熱裝置作最后的加熱處理。所定加熱溫度為150~250℃,使用熱板時加熱時間為5分鐘~60分鐘,使用烘箱加熱時的加熱時間為15分鐘~90分鐘。經(jīng)過以上的處理步驟后,即可得本發(fā)明的顯示器用黑色矩陣。
本發(fā)明的前述以及其它技術(shù)內(nèi)容、特點與功效,在以下配合實施例及比較例的說明,將可清楚與明白。
〔堿可溶性樹脂(A)的合成例〕合成例a500毫升的可分離型燒瓶(separable flask)中設(shè)置空氣入口、攪拌器、加熱器、冷凝管及溫度計,并導(dǎo)入空氣,加入進料組成物,該進料組成物包括含環(huán)氧基(epoxy)之雙酚芴(bisphenol fluorene)型化合物100重量份(一般式(a-2)所示化合物,環(huán)氧當(dāng)量為230),四甲基胺氯(tetramethyl ammonium chloride)0.3重量份,2,6-二-叔丁基-對甲酚(2,6-di-t-butyl-p-cresol)0.1重量份,丙烯酸30重量份以及丙二醇單甲醚醋酸酯130重量份。其中,進料組成物的入料方式為連續(xù)添加,入料速度控制于25重量份/分鐘。聚合過程的反應(yīng)溫度維持100~110℃,聚合時間15小時。反應(yīng)結(jié)束后可制得固成分濃度50重量%之雙酚芴型環(huán)氧(甲基)丙烯酸酯(epoxy(meth)acrylate)化合物的淡黃色透明混合溶液(即化合物(a-4)的混合溶液)。
其次,在300毫升可分離型燒瓶中加入上述所得化合物(a-4)的混合溶液100重量份,丙二醇單甲醚醋酸酯25重量份,二苯甲酮四羧酸之酸無二水物13重量份,以及1,2,3,6-四氫化苯二甲酸之酸無水物6重量份,在110~115℃的溫度下反應(yīng)2小時,制得黃色透明的堿可溶性樹脂溶液(即一般式(A-2)之溶液)。該樹脂的酸值為98.0mgKOH/g,重量平均分子量為4100,p/q=5/5。
聚合完成后,將聚合生成物從可分離型燒瓶中取出,將溶劑脫揮,即制得堿可溶性樹脂a。
合成例b在300毫升可分離燒瓶中,加入合成例a所得的化合物(a-4)的混合溶液100重量份,丙二醇單甲基醚醋酸酯25重量份,以及二苯甲酮四羧酸之酸無二水物13重量份,在90~95℃的溫度下反應(yīng)2小時,以IR光譜確定酸酐基消失后,在反應(yīng)液中,再加入1,2,3,6-四氫化苯二甲酸之酸無水物6重量份,并在90~95℃的溫度下反應(yīng)4小時,制得淡黃色透明堿可溶性樹脂溶液(即一般式(A-3)之溶液)。該樹脂的酸值為99.0mgKOH/g,重量平均分子量為3900。
聚合完成后,將聚合生成物從可分離型燒瓶中取出,將溶劑脫揮,即制得堿可溶性樹脂b。
合成例c在一容積300毫升之四頸錐瓶上設(shè)置氮氣入口、攪拌器、加熱器、冷凝管及溫度計,并導(dǎo)入氮氣,加入進料組成物,該進料組成物包括甲基丙烯酸單體25重量份、甲基丙烯酸苯甲酯單體50重量份、丙烯酸甲酯單體25重量份、聚合用起始劑2,2’-偶氮雙-2-甲基丁腈2.4重量份以及丙二醇甲醚醋酸酯240重量份。其中,單體及聚合用起始劑之混合物的入料方式為一次全部添加。聚合過程的反應(yīng)溫度維持100℃,聚合時間6小時。完成聚合后,將聚合產(chǎn)物自四頸錐瓶中取出,將溶劑脫揮,可得堿可溶性樹脂c。
黑色矩陣用感光性樹脂組成物的實施例及比較例實施例1使用合成例所得之堿可溶性樹脂a 100重量份(固形份),與表一所示的二季戊四醇六丙烯酸酯(以下簡稱B-1)50重量份、二季戊四醇四丙烯酸酯(以下簡稱B-2)10重量份、乙烷酮,1-[9-乙基-6-(2-甲基苯甲?;?-9氫-咔唑-3-取代基]-,1-(氧-乙酰肟)Ethanone,1-[9-ehtyl-6-(2-methylbenzoyl)-9H-carbazol-3-yl]-,1-(O-acetyloxime)(以下簡稱C-1)15重量份、顏料C.I.7(以下簡稱E-1)150重量份、密著促進劑(3-甲基丙烯氧基丙基三甲氧基硅烷)1重量份、架橋劑[商品名1031S(油化Shell制)]15重量份之混合物,加入溶劑丙二醇甲醚醋酸酯(以下簡稱D-1)1200重量份及3-乙氧基丙酸乙酯(以下簡稱D-2)300重量份后,以搖動式攪拌器,加以溶解混合,即可調(diào)制而得黑色矩陣用感光性樹脂組成物,該感光性樹脂組成物以下記的各測定評價方式進行評價,所得結(jié)果如表一所示。
實施例2同實施例1之操作方法,不同之處系改變堿可溶性樹脂(A)的種類及光起始劑(C)之使用量,其配方及評價結(jié)果載于表一。
實施例3同實施例1之操作方法,不同之處系改變光起始劑的種類及使用量,分別為C-1 20重量份、2-甲基-1-(4-甲基硫代苯基)-2-嗎啉代-1-丙酮(以下簡稱C’-1)5重量份,溶劑(D)使用(D-1)1500重量份,且未添加架橋劑,其配方及評價結(jié)果載于表一。
實施例4同實施例2之操作方法,不同之處系改變光起始劑的種類及使用量,分別為C-1 20重量份、2-芐基-2-N,N-二甲胺-1-(4-嗎啉代苯基)-1-丁酮(以下簡稱C-2)7重量份,溶劑(D)使用(D-1)1500重量份,且未添加密著促進劑,其配方及評價結(jié)果載于表一。
實施例5使用合成例所得的堿可溶性樹脂a 50重量份(固形份)及堿可溶性樹脂b 50重量份(固形份),與表一所示之B-1 60重量份、C-1 20重量份、C’-1 5重量份、E-1 150重量份、密著促進劑(3-甲基丙烯氧基丙基三甲氧基硅烷)1重量份、架橋劑[商品名1031S(油化Shell制)]15重量份之混合物,加入溶劑D-1 1500重量份后,以搖動式攪拌器,加以溶解混合,即可調(diào)制而得黑色矩陣用感光性樹脂組成物,該感光性樹脂組成物以下記之各測定評價方式進行評價,所得結(jié)果如表一所示。
比較例1
使用合成例所得的堿可溶性樹脂c 100重量份(固形份),與表一所示之B-1 50重量份、B-2 10重量份、C’-2 20重量份、4,4’-雙(二乙胺)二苯甲酮(以下簡稱C”-1)20重量份、2,2’-雙(鄰-氯苯基)-4,4’,5,5’-四苯基二咪唑(以下簡稱C”-2)20重量份、E-1 150重量份、密著促進劑(3-甲基丙烯氧基丙基三甲氧基硅烷)1重量份、架橋劑[商品名1031S(油化Shell制)]15重量份之混合物,加入溶劑D-1 1500重量份后,以搖動式攪拌器,加以溶解混合,即可調(diào)制而得黑色矩陣用感光性樹脂組成物,該感光性樹脂組成物以下記之各測定評價方式進行評價,所得結(jié)果如表一所示。
比較例2同比較例1之操作方法,不同之處系改變光起始劑的種類及使用量,分別為C-1 20重量份其配方及評價結(jié)果載于表一。
比較例3同實施例1之操作方法,不同之處系改變光起始劑的種類及使用量,分別為1-(4-苯基-硫代-苯基)-辛烷-1,2-二酮2-肟-氧-苯甲酸酯1-(4-phenyl-thio-phenyl)-octane-1,2-dion 2-oxime-O-benzoate(Ciba制,商品名CGI-124,以下簡稱C”-3)20重量份,溶劑(D)使用(D-1)1500重量份,其配方及評價結(jié)果載于表一。
比較例4同比較1之操作方法,不同之處系改變堿可溶性樹脂之的種類,其配方及評價結(jié)果載于表一。
評價方式(一)、感度將感光性樹脂組成物以旋轉(zhuǎn)涂布(spin coating)的方式,涂布在100mm×100mm之玻璃基板上,先以13.3kPa進行減壓干燥,時間為5秒鐘,然后在85℃溫度下預(yù)烤3分鐘,形成一膜厚2μm之預(yù)烤涂膜。
以型號T2115的光學(xué)濃度等級差表(transparent step wedge,Stouffer公司制,光學(xué)濃度等級差分為21等)貼緊上述的預(yù)烤涂膜,用20W高壓水銀燈以800mJ/cm2的光量照射。再浸漬于23℃之顯影液2分鐘顯影,以純水洗凈,觀察顯影的情況(以等級數(shù)作為判斷感度之依據(jù),在此評估法中,等級數(shù)越多表示感度越高)。
○等級數(shù)9~21△等級數(shù)7~8×等級數(shù)1~6(二)、邊緣平整性將評價方式(一)中的預(yù)烤涂膜介于所指定之光罩間,以紫外光(曝光機CanonPLA-501F)300mJ/cm2照射,之后浸漬于23℃的顯影液2分鐘顯影,在基板上未曝光之部分除去,以純水洗凈,再以200℃后烤40分鐘,即可在玻璃基板上形成所要之感光性樹脂圖案。再以光學(xué)顯微鏡(500倍)觀察,確定邊緣之平整性。
○邊緣為近似直線,平整性佳△邊緣部分參差不齊,平整性稍差×邊緣嚴重參差不齊,平整性差(三)、解像度將評價方式(一)中的預(yù)烤涂膜,使用評價解像度用線/空間(line and space)的光罩〔日本Filcon公司制〕,以200mJ/cm2的光線照射以后,再以0.4重量%的氫氧化鉀水溶液,于28℃×2分鐘的條件下進行顯影。顯影后,曝光部位的線條不缺落地保留在基板上,而未曝光部位經(jīng)顯影除去,其所可形成的線條幅度的最小值定為解像度。
◎線幅10μm以下○線幅10~20μm△線幅20~30μm×線幅30μm以上(四)、底切請參閱圖1和圖2。
將評價方式(二)中所得的感光性樹脂圖案,以掃描式電子顯微鏡(SEM)觀察,確定邊緣側(cè)面(edge profile)的形狀。
○參閱圖1,感光性樹脂圖案12的邊緣角θ1(樹脂內(nèi)部圖案12側(cè)壁相對于基板14的夾角)為0~90度的銳角。
×參閱圖2,感光性樹脂圖案22的邊緣角θ2(樹脂內(nèi)部圖案22側(cè)壁相對于基板14的夾角)為90度~180度的鈍角。
(五)、脫落將評價方式(二)中所得的感光性樹脂圖案,以光學(xué)顯微鏡觀察,確定樹脂圖案是否從基板上脫落。
○無脫落△部分脫落×嚴重脫落根據(jù)以上評價方式之評價結(jié)果示于表一。
惟以上所述者,僅為本發(fā)明的較佳實施例而已,當(dāng)不能以此限定本發(fā)明實施的范圍,即大凡依本發(fā)明權(quán)利要求書及說明書內(nèi)容所作的簡單的等效變化與修飾,皆應(yīng)仍屬本發(fā)明專利涵蓋的范圍內(nèi)。
附表說明表一本發(fā)明樹脂組成物的各實施例及比較例的組成比例及評價結(jié)果。
表一本發(fā)明樹脂組成物的各實施例及比較例的組成比例及評價結(jié)果

B-1 二季戊四醇六丙烯酸酯 dipentaerythritol hexaacrylateB-2 二季戊四醇四丙烯酸酯 dipentaerythritol tetraacrylateC-1 乙烷酮,1-[9-乙基-6-(2-甲基苯甲?;?-9氫-咔唑-3-取代基]-,1-(氧-乙酰肟)Ethanone,1-[9-ehtyl-6-(2-methylbenzoyl)-9H-carbazol-3-yl]-,1-(o-acetyloxime)C’-12-甲基-1-(4-甲基硫代苯基)-2-嗎啉代-1-丙酮 2-methyl-1-(4-methylthio phenyl)-2-morpholino propane-1-onC’-22-芐基-2-N,N-二甲胺-1-(4-嗎啉代苯基)-1-丁酮 2-benzyl-2-N,N-dimethylamino-1-(4-morpholinophenyl)-1-butanone
C″-14,4’-雙(二乙胺)二苯甲4,4’-bis(diethylamino)benzophenoneC″-22,2’-雙(鄰-氯苯基)-4,4’,5,5’-四苯基二咪唑 2,2’-bis(o-chlorophenyl)-4,4’,5,5’-tetraphenylbiimidazoleC″-31-(4-苯基-硫代-苯基)-辛烷-1,2-酮2-肟-氧-苯甲酸酯 1-(4-phenylsulfonyl-phenyl)-octane-1,2-dion 2-oxime-0-benzoateD-1 丙二醇甲醚醋酸酯 propylene glycol monomethyl ether acetateD-2 3-乙氧基丙酸乙酯 Ethyl 3-ethoxypropionateE-1 黑色顏料C.I.7密著促進劑 3-甲基丙烯氧基丙基三甲氧基硅烷 3-methacryloxypropyltrimethoxysilane架橋劑 商品名1031S(油化Shell制)
權(quán)利要求
1.一種黑色矩陣用感光性樹脂組成物,其特征在于,其組成物包含(A)堿可溶性樹脂(B)含乙烯性不飽和基的化合物(C)含下記一般式(c-1)所表示的光起始劑(D)溶劑、以及(E)黑色顏料;其中,該堿可溶性樹脂(A)系含有下記一般式(a-1)所表示的官能基; 一般式(a-1)式中,R表示各自獨立的氫原子、碳數(shù)1~5之直鏈或分歧烷基、苯基、或鹵素原子; 一般式(c-1)式中,Z1表示Ra、Rb-S、Rc-O的官能基,其中,Ra、Rb、Rc表示氫原子、烷基、芳香族基;Z2表示氫原子、C1~C4的烷基、鹵素。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的黑色矩陣用感光性樹脂組成物,該組成物更包含苯乙酮系化合物類的光起始劑(C’)。
全文摘要
本發(fā)明系一種曝光時的感度佳,顯影后形成的圖案的邊緣平整性、解像度佳、無底切且不易從基板上脫落的黑色矩陣用感光性樹脂組成物。本組成物包含堿可溶性樹脂(A)、含乙烯性不飽和基的化合物(B)、含下記一般式(c-1)所表示的光起始劑(C)、溶劑(D)及黑色顏料(E);其中,該堿可溶性樹脂(A)系含有下記一般式(a-1)所表示的官能基。一般式(a-1)(a-1式中,R表示各自獨立之氫原子、碳數(shù)1~5之直鏈或分歧烷基、苯基、或鹵素原子)一般式(c-1)(c-1式中,Z
文檔編號G02F1/1335GK1570764SQ200410042228
公開日2005年1月26日 申請日期2004年4月30日 優(yōu)先權(quán)日2004年4月30日
發(fā)明者李俊賢 申請人:奇美實業(yè)股份有限公司
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