專利名稱：電光面板、電子儀器的制造方法及電光面板、電光裝置和電子儀器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及通過(guò)液滴噴出形成濾色器的保護(hù)材料膜的電光面板的制造方法和電子儀器的制造方法、以及電光面板、電光裝置和電子儀器。
背景技術(shù)：
能進(jìn)行彩色顯示的液晶面板等電光面板為了從光源的白光有選擇地取出具有給定波長(zhǎng)的光，包含具有濾色器的基板。濾色器一般通過(guò)由R(Red)、G(Green)、B(Blue)的色素著色的樹(shù)脂形成。而且，為了保護(hù)濾色器，并且使濾色器的表面平滑，在濾色器上形成濾色器保護(hù)膜。
以往，濾色器保護(hù)膜由以旋轉(zhuǎn)鍍膜法為代表的薄膜形成法制作，但是在這樣的方法中，要廢棄濾色器保護(hù)膜材料的90％以上，浪費(fèi)多。此外，在旋轉(zhuǎn)鍍膜法中，由于離心力使液態(tài)的濾色器保護(hù)膜材料薄膜化，所以濾色器保護(hù)膜材料一直附著到濾色器基板的背面，從而需要洗凈濾色器基板的背面的工序。而且，它成為使生產(chǎn)性下降的原因。在旋轉(zhuǎn)鍍膜法中，由于離心力使液態(tài)的濾色器保護(hù)膜材料薄膜化，所以難以對(duì)應(yīng)尺寸大的濾色器基板。
因此，在近年，例如專利文獻(xiàn)1、2所示，提出通過(guò)噴墨(液滴噴出)涂敷濾色器保護(hù)膜材料的技術(shù)。
根據(jù)噴墨法，從噴嘴向必要的地方噴出濾色器保護(hù)膜材料，所以幾乎不發(fā)生材料的浪費(fèi)。此外，對(duì)于濾色器基板上的給定位置能噴出濾色器保護(hù)膜材料，所以不需要濾色器基板的背面洗凈。進(jìn)而，如果增大噴墨頭的掃描范圍，就能對(duì)應(yīng)尺寸大的濾色器基板。
特開(kāi)平9-329707號(hào)公報(bào)[專利文獻(xiàn)2]特開(kāi)2002-189120號(hào)公報(bào)可是，噴墨頭從微細(xì)的噴嘴噴出液滴。對(duì)于主掃描方向(垂直于噴嘴的排列方向)，如果提高噴出的驅(qū)動(dòng)頻率，就能以高密度涂敷液滴?？墒牵趪娮斓母呙芏然写嬖诮缦?，所以對(duì)于噴嘴的排列方向(副掃描方向)，以高密度涂敷液滴時(shí)，存在界限。因此，也存在減小副掃描方向的進(jìn)給量，以高密度涂敷液滴的方法，但是生產(chǎn)性下降。

發(fā)明內(nèi)容
因此，本發(fā)明是鑒于所述問(wèn)題提出的，其目的在于當(dāng)通過(guò)液滴噴出形成濾色器保護(hù)膜、定向膜、絕緣膜等功能膜時(shí)，能抑制功能膜形成材料的涂敷速度下降的電光面板的制造方法和電子儀器的制造方法、電光面板、電光裝置和電子儀器。
為了實(shí)現(xiàn)上述的目的，本發(fā)明的電光面板的制造方法的特征在于在基體材料上形成功能膜時(shí)，通過(guò)把噴嘴排列在一個(gè)方向上的液滴噴出機(jī)構(gòu)使功能液噴出，形成功能膜時(shí)，所述噴嘴排列方向上的所述功能液的液滴間隔比垂直于所述噴嘴排列方向的方向上的所述功能液的液滴間隔大。
例如，在把噴出液滴的噴嘴排列在一個(gè)方向上的液滴噴出頭中，在向垂直于噴嘴排列方向(副掃描方向)的方向(主掃描方向)掃描的過(guò)程中，噴出功能液。因?yàn)楦睊呙璺较虻囊旱蔚拈g隔依存于噴嘴的間隔，所以當(dāng)減小間隔時(shí)，如果是相同的噴嘴數(shù)，則噴嘴的排列寬度也減小。因此，如果減小噴嘴的間隔，則只要不增加噴嘴數(shù)，功能液的涂敷速度就變慢。在本發(fā)明中，使噴嘴的排列方向上的液滴間隔比垂直于噴嘴的排列方向的方向還大。據(jù)此，能不降低功能液的涂敷速度，形成構(gòu)成電光面板的濾色器的保護(hù)膜、定向膜、濾色器等功能膜，所以能提高電光面板的生產(chǎn)性。這里，功能膜是指在電光面板的顯示基板上構(gòu)成的濾色器、濾色器保護(hù)膜、定向膜、絕緣膜、液晶、有機(jī)EL裝置的發(fā)光層、地址電極等在構(gòu)成電光面板時(shí)發(fā)揮任意功能的薄膜。此外，功能液是指通過(guò)液滴噴出形成所述功能膜時(shí)，包含構(gòu)成所述功能膜的材料的液體。
此外，以下發(fā)明的電光面板的制造方法，是制造所述電光面板的方法，其特征在于所述功能液是濾色器的保護(hù)膜材料，所述功能膜是濾色器的保護(hù)膜；并且該制造方法包含在基體材料上形成濾色器的濾色器形成工序；通過(guò)把噴嘴排列在一個(gè)方向上的液滴噴出機(jī)構(gòu)向所述濾色器上涂敷保護(hù)膜材料的液滴的保護(hù)膜材料涂敷工序；使所述保護(hù)膜材料干燥的干燥工序；所述噴嘴排列方向上的所述液滴間隔比垂直于所述噴嘴排列方向的方向上的所述液滴間隔大。
例如，在把噴出液滴的噴嘴排列在一個(gè)方向上的液滴噴出頭中，在向垂直于噴嘴排列方向(副掃描方向)的方向(主掃描方向)掃描的過(guò)程中，噴出保護(hù)膜材料。因?yàn)楦睊呙璺较蛏系囊旱蔚拈g隔依存于噴嘴的間隔，所以當(dāng)減小間隔時(shí)，如果是相同的噴嘴數(shù)，噴嘴的排列寬度也減小。因此，如果減小噴嘴的間隔，則只要不增加噴嘴數(shù)，則保護(hù)膜材料的涂敷速度就變慢。在本發(fā)明中，使噴嘴的排列方向上的液滴間隔比垂直于噴嘴排列方向的方向還大。據(jù)此，不降低保護(hù)膜材料的涂敷速度，就能形成濾色器保護(hù)膜，所以能提高電光面板的生產(chǎn)性。
這里，優(yōu)選保護(hù)膜材料對(duì)于濾色器的接觸角為10度以下。如果這樣，則保護(hù)膜材料對(duì)于濾色器的浸濕性充分提高，所以保護(hù)膜材料擴(kuò)展，與相鄰的液滴成為一體。據(jù)此，即使讓噴嘴的排列方向上的液滴間隔比垂直于噴嘴的排列方向上的還大，也能以均等的膜厚形成濾色器保護(hù)膜(以下同樣)。
此外，以下發(fā)明的電光面板的制造方法，是所述電光面板的制造方法，其特征在于在所述濾色器形成工序之后，包含把所述濾色器表面改質(zhì)，提高所述濾色器表面的浸濕性的表面改質(zhì)工序。
該發(fā)明包含與所述發(fā)明同樣的結(jié)構(gòu)，所以也取得與所述發(fā)明同樣的作用和效果。此外，在所述濾色器形成工序之后，包含把濾色器表面改質(zhì)，提高濾色器表面的浸濕性的表面改質(zhì)工序。據(jù)此，抑制保護(hù)膜的形成不良，能形成均質(zhì)的濾色器保護(hù)膜。結(jié)果，能抑制電光面板的顯示不良或缺陷等，所以在電光面板的制造中，能提高成品率。
此外，以下發(fā)明的電光面板的制造方法，是所述電光面板的制造方法，其特征在于在形成了所述濾色器的所述基體材料整個(gè)面上涂敷所述保護(hù)膜材料。
該發(fā)明包含與所述發(fā)明同樣的結(jié)構(gòu)，所以也取得與所述發(fā)明同樣的作用和效果。此外，在濾色器基板的整個(gè)面上涂敷保護(hù)膜材料，據(jù)此，能容易、均勻地形成比它尺寸還小的芯片上的濾色器保護(hù)膜的厚度。結(jié)果，能獲得厚度均勻的高質(zhì)量的濾色器保護(hù)膜。
此外，以下發(fā)明的電光面板的制造方法，是所述電光面板的制造方法，其特征在于在形成了所述濾色器的所述基體材料中，只在芯片上涂敷所述保護(hù)膜材料。
該電光面板的制造方法包含與所述發(fā)明同樣的結(jié)構(gòu)，所以也獲得與所述發(fā)明同樣的作用和效果。此外，在形成了濾色器的所述母基體材料中，只在芯片上涂敷所述保護(hù)膜材料。據(jù)此，減少保護(hù)膜材料的浪費(fèi)，能抑制制造成本。
此外，以下發(fā)明的電光面板的制造方法，是所述電光面板的制造方法，其特征在于通過(guò)使向所述濾色器上噴出的所述保護(hù)膜材料的液滴間隔或液滴的質(zhì)量中的至少一方變化，控制所述濾色器的膜厚。據(jù)此，如果保護(hù)膜材料的種類同一，就能容易地控制濾色器保護(hù)膜的膜厚。
此外，以下發(fā)明的電子儀器的制造方法的特征在于包括在基體材料上形成濾色器的濾色器形成工序；把該濾色器表面改質(zhì)的表面改質(zhì)工序；通過(guò)把噴嘴向一個(gè)方向排列的液滴噴出機(jī)構(gòu)向所述濾色器上涂敷包含樹(shù)脂和溶劑的保護(hù)膜材料液滴的保護(hù)膜材料涂敷工序；使所述溶劑干燥，形成所述濾色器的保護(hù)膜的保護(hù)膜形成工序；在形成保護(hù)膜后的所述基體材料上安裝給定構(gòu)件或部件，制造電光面板的工序；把安裝元件向所述電光面板安裝的工序；所述噴嘴排列方向上的所述液滴的間隔比垂直于所述噴嘴排列方向的方向上的所述液滴的間隔大。
該電子儀器的制造方法使噴嘴的排列方向上的液滴間隔比垂直于噴嘴的排列方向的方向上的液滴間隔還大，向?yàn)V色器上涂敷保護(hù)膜材料。據(jù)此，能不降低保護(hù)膜材料的涂敷速度，就形成濾色器保護(hù)膜，所以能提高電子儀器的生產(chǎn)性。
此外，以下發(fā)明的電光面板的特征在于包括在進(jìn)行過(guò)表面改質(zhì)處理的濾色器上按照使第一方向上的液滴間隔和垂直于第一方向的方向上的液滴間隔不同的方式涂敷包含樹(shù)脂和溶劑的保護(hù)膜材料而形成的濾色器基板；與該濾色器基板相對(duì)配置的基板；保持在相對(duì)配置的所述基板之間的液晶。
該電光面板使噴嘴的排列方向上的液滴間隔比垂直于噴嘴的排列方向還大，向?yàn)V色器上涂敷保護(hù)膜材料。據(jù)此，能不降低保護(hù)膜材料的涂敷速度，就能形成濾色器保護(hù)膜，所以能提高電光面板的生產(chǎn)性。
此外，以下發(fā)明的電光面板的特征在于具有在進(jìn)行過(guò)表面改質(zhì)處理的濾色器上按照使第一方向上的液滴間隔和垂直于該第一方向的方向上的液滴間隔不同的方式，涂敷包含樹(shù)脂和溶劑的保護(hù)膜材料而形成的濾色器基板；把發(fā)光元件形成矩陣狀的發(fā)光裝置；在所述發(fā)光元件的前面配置所述濾色器基板。
該電光面板使噴嘴的排列方向上的液滴間隔比垂直于噴嘴的排列方向的方向還大，向?yàn)V色器上涂敷保護(hù)膜材料。據(jù)此，能不降低保護(hù)膜材料的涂敷速度，就可形成濾色器保護(hù)膜，所以能提高在形成矩陣狀的發(fā)光元件的前面配置濾色器基板的電光面板的生產(chǎn)性。
此外，以下發(fā)明的電光裝置的特征在于設(shè)有所述的電光面板。因此，能不降低保護(hù)膜材料的涂敷速度，就可形成濾色器保護(hù)膜，所以能提高電光裝置的生產(chǎn)性。
此外，以下發(fā)明的電子儀器的特征在于設(shè)有所述的電光裝置。因此，能不降低保護(hù)膜材料的涂敷速度，就能形成濾色器保護(hù)膜，所以能提高電子儀器的生產(chǎn)性。
本發(fā)明的電光面板的制造方法和電子儀器的制造方法、電光面板、電光裝置和電子儀器在通過(guò)液滴噴出形成濾色器保護(hù)膜、定向膜、絕緣膜等功能膜時(shí)，能抑制所述功能膜形成材料的涂敷速度的下降。


下面簡(jiǎn)要說(shuō)明附圖。
圖1是表示本發(fā)明的電光面板的構(gòu)造的局部剖視圖。
圖2是表示本發(fā)明的濾色器基板的局部剖視圖。
圖3-1是表示本發(fā)明的電光面板和電子儀器的制造方法的說(shuō)明圖。
圖3-2是表示本發(fā)明的電光面板和電子儀器的制造方法的說(shuō)明圖。
圖3-3是表示本發(fā)明的電光面板和電子儀器的制造方法的說(shuō)明圖。
圖3-4是表示本發(fā)明的電光面板和電子儀器的制造方法的說(shuō)明圖。
圖3-5是表示本發(fā)明的電光面板和電子儀器的制造方法的說(shuō)明圖。
圖3-6是表示本發(fā)明的電光面板和電子儀器的制造方法的說(shuō)明圖。
圖3-7是表示本發(fā)明的電光面板和電子儀器的制造方法的說(shuō)明圖。
圖4是表示本發(fā)明的電光面板和電子儀器的制造方法的程序流程圖。
圖5-1是表示本發(fā)明的液滴噴出裝置的說(shuō)明圖。
圖5-2是表示本發(fā)明的液滴噴出裝置的說(shuō)明圖。
圖5-3是表示本發(fā)明的液滴噴出裝置的說(shuō)明圖。
圖5-4是表示本發(fā)明的液滴噴出裝置的說(shuō)明圖。
圖5-5是表示本發(fā)明的液滴噴出裝置的說(shuō)明圖。
圖6-1是表示涂敷包保護(hù)膜材料的狀態(tài)的平面圖。
圖6-2是表示涂敷包保護(hù)膜材料的狀態(tài)的平面圖。
圖7-1是表示保護(hù)膜材料的涂敷圖案的說(shuō)明圖。
圖7-2是表示保護(hù)膜材料的涂敷圖案的說(shuō)明圖。
圖8是表示實(shí)施例2的電光面板和電子儀器的制造方法的程序流程圖。
圖9是表示實(shí)施例2的電光面板的CF基板的說(shuō)明圖。
圖10-1是表示實(shí)施例3的液滴噴出裝置的說(shuō)明圖。
圖10-2是表示實(shí)施例3的液滴噴出裝置的說(shuō)明圖。
圖10-3是表示實(shí)施例3的液滴噴出裝置的說(shuō)明圖。
圖11是表示濾色器的制造工序的程序流程圖。
圖12-1是按制造工序順序表示的本實(shí)施例的濾色器600的模式剖視圖。
圖12-2是按制造工序順序表示的本實(shí)施例的濾色器600的模式剖視圖。
圖12-3是按制造工序順序表示的本實(shí)施例的濾色器600的模式剖視圖。
圖12-4是按制造工序順序表示的本實(shí)施例的濾色器600的模式剖視圖。
圖12-5是按制造工序順序表示的本實(shí)施例的濾色器600的模式剖視圖。
圖13是表示作為使用濾色器的液晶顯示裝置一例的無(wú)源矩陣型液晶顯示面板的第二例的概略結(jié)構(gòu)的主要局部剖視圖。
圖14是使用本實(shí)施例中制造的濾色器的液晶顯示面板第二例的概略結(jié)構(gòu)的主要局部剖視圖。
圖15表示使用應(yīng)用本發(fā)明的濾色器，構(gòu)成液晶顯示面板的第三例，是表示透射型的TFT(Thin Film Transistor)型液晶顯示面板的概略結(jié)構(gòu)的分解立體圖。
圖16是有機(jī)EL顯示裝置的顯示區(qū)的主要局部剖視圖。
圖17是表示有機(jī)EL顯示裝置的制造工序的程序流程圖。
圖18是表示有機(jī)EL顯示裝置的制造工序的說(shuō)明圖。
圖19是表示有機(jī)EL顯示裝置的制造工序的說(shuō)明圖。
圖20是表示有機(jī)EL顯示裝置的制造工序的說(shuō)明圖。
圖21是表示有機(jī)EL顯示裝置的制造工序的說(shuō)明圖。
圖22是表示有機(jī)EL顯示裝置的制造工序的說(shuō)明圖。
圖23是表示有機(jī)EL顯示裝置的制造工序的說(shuō)明圖。
圖24是表示有機(jī)EL顯示裝置的制造工序的說(shuō)明圖。
圖25是表示有機(jī)EL顯示裝置的制造工序的說(shuō)明圖。
圖26是等離子體型顯示裝置的主要部分分解立體圖。
圖27是電子發(fā)射顯示裝置的主要局部剖視圖。
圖28-1是表示第一元件電極、第二元件電極和導(dǎo)電性膜的形狀的平面圖。
圖28-2是表示第一元件電極、第二元件電極和導(dǎo)電性膜的成膜工序的平面圖。
符號(hào)的說(shuō)明。
1-基體材料；9-電子儀器；10a-濾色器基板；11-濾色器；20-濾色器保護(hù)膜(CF保護(hù)膜)；50、50a-液滴噴出裝置；52-液滴噴出頭；54-噴嘴；54p-噴嘴板；60-臺(tái)；65-控制裝置；100-電光面板。
具體實(shí)施例方式
下面，參照附圖詳細(xì)說(shuō)明本發(fā)明。須指出的是，本發(fā)明并不由用于實(shí)施本發(fā)明的最佳實(shí)施方式所限定。此外，在以下實(shí)施例的構(gòu)成要素中，包含本領(lǐng)域技術(shù)人員能容易想到的要素或?qū)嵸|(zhì)上同一的要素。
須指出的是，作為本發(fā)明的電光面板，能列舉出液晶顯示面板或DMD(Digital Micromirror Device)顯示面板或有機(jī)EL(ElectroLuminescence)顯示面板。在實(shí)施例1～3中，說(shuō)明使用濾色器的保護(hù)膜材料作為功能液，形成作為功能膜的濾色器保護(hù)膜的例子。在實(shí)施例4中，說(shuō)明形成其他功能膜的例子。
圖1是表示本發(fā)明的電光面板的構(gòu)造的局部剖視圖。該電光面板100的特征在于通過(guò)液滴噴出方式向形成了濾色器的濾色器基板上涂敷把粘度和表面張力調(diào)整在給定范圍的保護(hù)膜材料，形成濾色器的保護(hù)膜。
圖2是表示本發(fā)明的濾色器基板的局部剖視圖。在該濾色器基板10a的與對(duì)置基板10b相對(duì)的一側(cè)形成有濾色器11。在濾色器11間形成有黑底(black matrix)17。在濾色器11上，通過(guò)本發(fā)明的保護(hù)膜材料形成有濾色器保護(hù)膜20(以下稱作CF保護(hù)膜)。據(jù)此，保護(hù)形成在基板1上的濾色器11。
此外，在CF保護(hù)膜20上形成有ITO(Indium Tin Oxide)電極14和定向膜16。CF保護(hù)膜20具有從形成ITO14時(shí)的高溫保護(hù)濾色器11的功能、使濾色器11間的凹凸平坦化并且抑制ITO電極14的斷線和定向膜16的摩擦(rubbing)不良的功能。
在對(duì)置基板10B，在其內(nèi)表面，與濾色器11一側(cè)的電極正交，把多個(gè)電極15形成帶狀，在這些電極15上形成有定向膜16。須指出的是，所述濾色器11分別配置在各基板上的ITO電極14、電極15的交叉位置。還有，電極39也由ITO等透明導(dǎo)電材料形成。下面，說(shuō)明包含CF保護(hù)膜的形成方法的電光面板、包含該電光面板的制造方法的電子儀器的制造方法。
圖3-1～圖3-7是表示本發(fā)明的電光面板和電子儀器的制造方法的說(shuō)明圖。圖4是表示本發(fā)明的電光面板和電子儀器的制造方法的程序流程圖。圖5-1～圖5-5是表示本發(fā)明的液滴噴出裝置的說(shuō)明圖。首先，如圖3-1所示，在基體材料1上，通過(guò)光刻或噴墨或柱塞等的液滴噴出，形成濾色器11(步驟S101)。
接著，為了提高濾色器11與涂敷在其上的液態(tài)保護(hù)膜材料的浸濕性，如圖3-2所示，對(duì)濾色器11上實(shí)施表面改質(zhì)處理(步驟S102)，提高對(duì)保護(hù)膜材料的浸濕性。如果浸濕性差，則保護(hù)膜材料容易變成滴狀，所以無(wú)法向?yàn)V色器11上均勻涂敷保護(hù)膜材料。此外，保護(hù)膜材料難以浸透濾色器11間，有時(shí)向該部分產(chǎn)生氣泡，有可能使電光面板的顯示圖象質(zhì)量下降。在本實(shí)施例中，通過(guò)使用UV燈3照射紫外線，實(shí)施表面改質(zhì)處理，但是此外，也能應(yīng)用氧等離子體處理。根據(jù)氧等離子體處理，能除去濾色器11上的殘?jiān)?，所以CF保護(hù)膜20的質(zhì)量提高，是優(yōu)選的。
能用保護(hù)膜材料對(duì)于濾色器11的接觸角β規(guī)定濾色器11和涂敷在其上的液態(tài)保護(hù)膜材料的浸濕性(參照?qǐng)D3-3)。在本發(fā)明的電光面板的制造方法中，所述接觸角β優(yōu)選為10度以下。如果是該范圍，則能使保護(hù)膜材料充分浸透到濾色器11間，此外，能以均勻的厚度向?yàn)V色器11上形成保護(hù)膜材料，所以能形成高質(zhì)量的CF保護(hù)膜20。
表面改質(zhì)處理結(jié)束后，如圖3-4所示，通過(guò)液滴噴出向?yàn)V色器11上涂敷液態(tài)的保護(hù)膜材料(步驟S103)。這里，使用圖5說(shuō)明保護(hù)膜材料的涂敷。在本發(fā)明中，使用噴墨作為液滴噴出。液滴噴出裝置50具有液滴噴出頭52和臺(tái)60。從容器56通過(guò)供給管58向液滴噴出頭52供給液體的保護(hù)膜材料。
如圖5-2所示，液滴噴出頭52在排列寬度H之間以一定間隔P排列多個(gè)噴嘴54。此外，各噴嘴54具有壓電元件，根據(jù)來(lái)自控制裝置65的指令，從任意的噴嘴54噴出保護(hù)膜材料的液滴。此外，通過(guò)使提供給壓電元件的驅(qū)動(dòng)脈沖變化，能使從噴嘴54噴出的保護(hù)膜材料的噴出量變化。須指出的是，控制裝置65也可以使用個(gè)人電腦或工作站。
此外，如圖5-1所示，液滴噴出頭52以垂直于該頭中心的旋轉(zhuǎn)軸A為旋轉(zhuǎn)中心，圍繞旋轉(zhuǎn)軸A旋轉(zhuǎn)。如圖5-4、圖5-5所示，如果使液滴噴出頭52圍繞旋轉(zhuǎn)軸A旋轉(zhuǎn)，為噴嘴54的排列方向和X方向提供角度θ，則在表觀噴嘴54的間隔能為P’＝P×Sinθ。據(jù)此，能按照濾色器基板10a的涂敷區(qū)域或保護(hù)膜材料的種類等其他涂敷條件，變更噴嘴54的間隔。濾色器基板10a設(shè)置在臺(tái)60上。臺(tái)60能向Y方向(副掃描方向)移動(dòng)，此外，能以垂直于臺(tái)60的旋轉(zhuǎn)軸B為旋轉(zhuǎn)中心，圍繞旋轉(zhuǎn)軸B旋轉(zhuǎn)。
液滴噴出頭52在圖5-1中的X方向(主掃描方向)往返，其間，以噴嘴54的排列寬度H向?yàn)V色器基板10a上噴出保護(hù)膜材料的液滴。在一次掃描中，涂敷保護(hù)膜材料后，臺(tái)60只向Y方向移動(dòng)噴嘴54的排列寬度H，液滴噴出頭52向下一區(qū)域噴出保護(hù)膜材料。液滴噴出頭52的動(dòng)作、噴嘴54的噴出和臺(tái)60的動(dòng)作由控制裝置65控制。如果預(yù)先把這些動(dòng)作模式編程，就能按照濾色器基板10a的涂敷區(qū)域或保護(hù)膜材料的種類等其他涂敷條件，容易地變更涂敷圖案。重復(fù)所述動(dòng)作，能在濾色器基板10a的全部區(qū)域涂敷保護(hù)膜材料。與此同樣，當(dāng)臺(tái)60向Y方向移動(dòng)時(shí)，只使液滴噴出頭52向X方向移動(dòng)排列寬度H，能向下一區(qū)域噴出保護(hù)膜材料。
圖6-1、圖6-2是表示涂敷了保護(hù)膜材料的狀態(tài)的平面圖。在濾色器基板10a上，在主掃描方向(X方向)以10μm的間隔、在副掃描方向(Y方向)以140μm的間隔涂敷保護(hù)膜材料的液滴。副掃描方向的液滴的間隔y與噴嘴54的間隔P(在實(shí)施例1中，140μm)相同。主掃描方向的液滴的間隔x依存于液滴噴出頭52的掃描速度和噴出頻率。
在實(shí)施例1中，1滴保護(hù)膜材料的質(zhì)量m為20ng，但是在所述液滴間隔中，使保護(hù)膜材料的溶劑揮發(fā)后，能形成膜厚s＝1μm的CF保護(hù)膜20。當(dāng)保護(hù)膜材料相同時(shí)，能根據(jù)1滴保護(hù)膜材料的質(zhì)量、濾色器基板10a上的主、副掃描方向的液滴間隔x和y，控制CF保護(hù)膜20的膜厚。即能把所述m、x、y作為參數(shù)決定CF保護(hù)膜20的膜厚s。在本發(fā)明中，這些參數(shù)都能控制，所以通過(guò)調(diào)整它們中的至少一個(gè)，能控制膜厚s。
當(dāng)1滴保護(hù)膜材料的質(zhì)量m為20ng時(shí)，濾色器基板10a上的保護(hù)膜材料擴(kuò)展為直徑約200μm的圓形。因此，如果是所述x和y的值，則相鄰的保護(hù)膜材料的液滴全部連接，成為一體。如果濾色器基板10a上的保護(hù)膜材料的直徑為d，則如圖6-2所示，如果x和y都超過(guò) 則保護(hù)膜材料的液滴變?yōu)椴贿B接。因此，有必要在x和y都不超過(guò)d×2/2的范圍中決定濾色器基板10a上的保護(hù)膜材料的液滴間隔。即在濾色器基板10a上，相鄰配置、形成四邊形的4個(gè)液滴有必要位于重疊的位置。
這里，副掃描方向的液滴的間隔y依存于噴嘴54的間隔P，所以，如果減小它，則如果是相同的噴嘴數(shù)，噴嘴54的排列寬度H也減小。因此，如果減小噴嘴54的間隔，則只要不增加噴嘴數(shù)，保護(hù)膜材料的涂敷速度就變慢。在本發(fā)明中，x和y都為 以下，所以即使y為x的14倍，不變更主掃描方向的噴嘴54的間隔P，也能連接濾色器基板10a上的保護(hù)膜材料的液滴。據(jù)此，不降低保護(hù)膜材料的涂敷速度，就形成CF保護(hù)膜20。
這里，保護(hù)膜材料對(duì)于濾色器的接觸角β(圖3-3)優(yōu)選為10度以下。如果這樣，保護(hù)膜材料對(duì)于濾色器的浸濕性能充分提高，所以保護(hù)膜材料擴(kuò)展，與相鄰的液滴成為一體。據(jù)此，即使噴嘴的排列方向的液滴間隔比垂直于噴嘴的排列方向的方向大，也能以均勻的膜厚形成濾色器保護(hù)膜。
圖7-1、圖7-2是表示保護(hù)膜材料的涂敷圖案的說(shuō)明圖。參照?qǐng)D7說(shuō)明保護(hù)膜材料的涂敷圖案。圖7-1表示在母基體材料即濾色器基板10a”的整個(gè)面上涂敷保護(hù)膜材料的例子，圖7-2表示向形成了濾色器11的區(qū)域即濾色器基板10a”上局部涂敷保護(hù)膜材料的例子。當(dāng)為圖7-2所示的涂敷例時(shí)，只在必要的區(qū)域涂敷保護(hù)膜材料，所以保護(hù)膜材料的浪費(fèi)減少。而當(dāng)為圖7-2所示的涂敷例時(shí)，在濾色器基板10a”的整個(gè)面上涂敷保護(hù)膜材料。因此，在比濾色器基板10a”尺寸小的芯片15上，容易均勻地形成CF保護(hù)膜的厚度。能兼顧制造成本，選擇任意的涂敷圖案。這里，芯片15構(gòu)成一個(gè)電光面板。須指出的是，通過(guò)預(yù)先對(duì)控制裝置65輸入與這些涂敷圖案對(duì)應(yīng)的液滴噴出頭52和臺(tái)60的控制數(shù)據(jù)，能容易地用這些涂敷圖案涂敷保護(hù)膜材料。
在液滴噴出中，有必要從噴嘴54穩(wěn)定噴出保護(hù)膜材料的液滴。因此，保護(hù)膜材料被調(diào)整為適合于液滴噴出的物性值。具體而言，20℃的粘度為1～20mPa·s，20℃的表面張力為20～70mN/m的范圍。如果是該范圍，能穩(wěn)定地向噴嘴54供給保護(hù)膜材料，此外，噴嘴54的出口的保護(hù)膜材料液的彎液面也穩(wěn)定。據(jù)此，從噴嘴54穩(wěn)定噴出保護(hù)膜材料的液滴，能形成高質(zhì)量的CF保護(hù)膜20。此外，如果是該粘度和表面張力的范圍，則液滴噴出所需的能量也不會(huì)過(guò)分高，所以不會(huì)超過(guò)壓電元件的噴出能力。
更優(yōu)選20℃的粘度為4～8mPa·s，20℃的表面張力為25～35mN/m的范圍。如果是該范圍，就能穩(wěn)定地向噴嘴54供給保護(hù)膜材料，此外，噴嘴54出口的保護(hù)膜材料液的彎液面也穩(wěn)定。據(jù)此，從噴嘴54噴出的保護(hù)膜材料的液滴進(jìn)一步穩(wěn)定，能形成高質(zhì)量的CF保護(hù)膜20。
下面，說(shuō)明功能液之一的保護(hù)膜材料。在該保護(hù)膜材料中至少包含丙烯酸樹(shù)脂、環(huán)氧樹(shù)脂、亞胺樹(shù)脂、氟類樹(shù)脂中的至少一種。保護(hù)膜材料中的溶劑揮發(fā)后，這些樹(shù)脂變?yōu)闉V色器11的CF保護(hù)膜20。此外，作為樹(shù)脂的溶劑，包含丙三醇、二甘醇、甲醇、乙醇、水、1、3-二甲基-2-咪唑啉酮、乙氧基乙醇、N、N-二甲基甲酰胺、N-甲基-2-吡咯啉酮、乙二醇單甲醚乙酸酯、丙二醇單甲醚乙酸酯、乳酸乙酯、3-甲氧基丙酸甲酯、3-乙氧基丙酸乙酯、醋酸丁酯、2-庚酮、丙二醇單甲醚、γ-丁內(nèi)酯、醋酸二甘醇一丁醚、二甘醇二甲醚、二甘醇甲乙醚中的至少一個(gè)。根據(jù)所述樹(shù)脂和所述溶劑的混合比，調(diào)整粘度或表面張力。
這些溶劑中，優(yōu)選沸點(diǎn)高的。沸點(diǎn)高的溶劑干燥慢，所以當(dāng)向?yàn)V色器基板10a上涂敷保護(hù)膜材料時(shí)，不立刻干燥。結(jié)果，在濾色器基板10a上，能充分確保保護(hù)膜材料的厚度變?yōu)榫鶆虻臅r(shí)間，所以能使CF保護(hù)膜20的膜厚均勻。此外，在噴嘴附近，能防止固體成分的析出引起的噴嘴堵塞。若要取得這樣的結(jié)果，優(yōu)選溶劑的沸點(diǎn)為180℃以上，若要形成更均勻厚度的CF保護(hù)膜20，優(yōu)選為200℃以上。在所述溶劑中，醋酸二甘醇一丁醚的沸點(diǎn)為246℃，所以適合于本發(fā)明的電光面板的制造方法。此外，通過(guò)組合所述溶劑，可以調(diào)整到所需的沸點(diǎn)而使用。
另外，保護(hù)膜材料和板狀構(gòu)件即噴嘴板54p的接觸角α(參照?qǐng)D5-2、圖5-3)優(yōu)選為30度～170度的范圍。如果保護(hù)膜材料和噴嘴板54p的接觸角α過(guò)小，則從噴嘴54噴出保護(hù)膜材料時(shí)，把保護(hù)膜材料拉向噴嘴板54p。結(jié)果，保護(hù)膜材料的液滴向?yàn)V色器基板10a上附著的位置偏移，有時(shí)CF保護(hù)膜20的膜厚變?yōu)椴痪鶆?。如果接觸角α是所述范圍，則不會(huì)把保護(hù)膜材料拉向噴嘴板54p，保護(hù)膜材料的液滴附著到濾色器基板10a上的給定位置。若要使保護(hù)膜材料的液滴穩(wěn)定附著到給定位置，所述接觸角α優(yōu)選為50度以上，更優(yōu)選為80度以上。
為了使保護(hù)膜材料和噴嘴板54p的接觸角α收斂在所述范圍中，對(duì)噴嘴板54p進(jìn)行防液處理。通過(guò)對(duì)噴嘴板54p涂敷防液材料，能實(shí)現(xiàn)防液處理。作為這樣的材料，能使用包含氟的有機(jī)硅烷偶合劑。具體而言，使用三氟丙基三氯硅烷作為防液材料，以乙醇為溶劑，把它稀釋為濃度0.1％后，向噴嘴板54p涂敷。還有，除了三氟丙基三氯硅烷，也能使用十七氟癸基三氯硅烷、三氟丙基三甲氧基硅烷、十七基三氟癸基三甲氧基硅烷等含氟的有機(jī)硅烷偶合劑作為表面改質(zhì)劑。此外，防液是指噴嘴板54p排斥保護(hù)膜材料，使兩者的浸濕性變差的處理是防液處理。
向?yàn)V色器基板10a上涂敷保護(hù)膜材料后，為了使保護(hù)膜材料中的溶劑揮發(fā)，使保護(hù)膜材料干燥(步驟S104)。在本實(shí)施例中，如圖3-5所示，把涂敷了保護(hù)膜材料液滴的基體材料1放到加熱板67上，使保護(hù)膜材料中的溶劑揮發(fā)。這時(shí)，為了使CF保護(hù)膜20的平面平滑，優(yōu)選在較低的溫度下，用某程度的時(shí)間進(jìn)行干燥。具體而言，優(yōu)選在70℃以下，用5分鐘以上的時(shí)間。為了進(jìn)一步使CF保護(hù)膜20的表面狀態(tài)平滑，優(yōu)選在50℃以下，用10分鐘以上的時(shí)間，更優(yōu)選在30℃以下，用1小時(shí)以上的時(shí)間。還有，干燥并不局限于加熱板67，也可以通過(guò)紅外線加熱器的加熱，使其干燥，或在爐子內(nèi)使其干燥。這樣，使保護(hù)膜材料中的溶劑揮發(fā)，向?yàn)V色器基板10a形成CF保護(hù)膜20。
接著，向CF保護(hù)膜20上形成ITO14和定向膜16(步驟S105)。然后，經(jīng)過(guò)定向膜16的摩擦(rubbing)工序、濾色器基板10a和對(duì)置基板10b的粘貼工序以及液晶的注入工序(步驟S106)，電光面板100完成。如圖3-6所示，在完成的電光面板100上安裝導(dǎo)線、FPC(Flexible PrintedCircuit)7或驅(qū)動(dòng)器IC5(步驟S107)。然后，如圖3-7所示，向移動(dòng)電話或PDA等電子儀器9安裝，完成這些電子儀器(步驟S108)。
以上，根據(jù)本發(fā)明，使噴嘴排列方向的液滴間隔比垂直于噴嘴排列方向的方向大。據(jù)此，不使保護(hù)膜材料的涂敷速度下降，就能形成濾色器保護(hù)膜，所以能提高電光面板的生產(chǎn)性。此外，在本發(fā)明中，使用液滴噴出形成CF保護(hù)膜，所以與以往的旋轉(zhuǎn)鍍膜相比，能減少保護(hù)膜材料的使用量。此外，不需要濾色器基板的背面洗凈工序，所以僅此就能縮短電光面板、電光儀器的制造時(shí)間，而且也不需要洗凈液。
圖8是表示實(shí)施例2的電光面板和電子儀器的制造方法的程序流程圖。此外，圖9是表示實(shí)施例2的電光面板的CF基板的說(shuō)明圖。
實(shí)施例2的電光面板和電子儀器的制造方法的不同點(diǎn)在于設(shè)置隔板(隔壁)，在其中形成濾色器11，向?yàn)V色器11上形成CF保護(hù)膜20。其他結(jié)構(gòu)與實(shí)施例1同樣，所以省略其說(shuō)明，并且對(duì)相同的構(gòu)成要素付與相同的符號(hào)。
首先，在基體材料1上形成隔板30(步驟S201)，生成形成濾色器11的區(qū)域。例如通過(guò)旋轉(zhuǎn)鍍膜，把排墨性的樹(shù)脂涂敷給定厚度，接著使用光刻等構(gòu)圖，通過(guò)把所述樹(shù)脂的薄膜劃分為格子狀，形成隔板30。排墨性是對(duì)于把著色的樹(shù)脂溶解于溶劑中的濾色器墨水的浸濕性差的性質(zhì)。
接著形成濾色器11(步驟S202)。通過(guò)使用液滴噴出方式，把在溶劑中溶解著色的樹(shù)脂的濾色器墨水向由隔板30劃分的區(qū)域內(nèi)涂敷，能形成濾色器11。即使向由隔板30劃分的區(qū)域內(nèi)稍微偏移噴出時(shí)，通過(guò)由排墨性的樹(shù)脂形成的隔板30，能向所述區(qū)域內(nèi)涂敷濾色器墨水。須指出的是，在液滴噴出中能使用實(shí)施例1中的液滴噴出裝置50(參照?qǐng)D5)。
在基體材料1上形成濾色器11后，對(duì)濾色器11實(shí)施表面改質(zhì)處理(步驟S203)。其理由如實(shí)施例1所述。特別是隔板30由疏液性的樹(shù)脂形成，所以為了能形成均勻厚度的CF保護(hù)膜20，充分地對(duì)隔板30的部分進(jìn)行表面改質(zhì)處理。表面改質(zhì)處理后，通過(guò)液滴噴出，在濾色器11上涂敷保護(hù)膜材料(步驟S204)。涂敷保護(hù)膜材料后，進(jìn)行干燥(步驟序S205)，形成ITO、定向膜(步驟S206)，完成濾色器基板10a’。此后的工序與實(shí)施例1的電光面板以及電子儀器的制造方法的步驟S106～S108同樣，所以省略說(shuō)明。
這樣，即使是在由隔板劃分的區(qū)域內(nèi)形成濾色器11的電光面板，也能應(yīng)用本發(fā)明。此外，與以往的旋轉(zhuǎn)鍍膜相比，能減少保護(hù)膜材料的使用量，此外，濾色器基板的背面洗凈工序變?yōu)椴灰牟糠帜芸s短電光面板、電光儀器的制造時(shí)間。

圖10-1～圖10-3是表示實(shí)施例3的液滴噴出裝置的說(shuō)明圖。該液滴噴出裝置50a的特征在于使用柱塞作為液滴噴出。柱塞70由在頂端設(shè)置噴嘴頭71的圓筒74、插入其中的活塞76構(gòu)成。噴嘴頭71如圖10-2所示，多個(gè)噴嘴72以給定間隔P排列。此外，在圓筒74內(nèi)保護(hù)膜材料存留，通過(guò)使活塞76向噴嘴頭71方向移動(dòng)，從噴嘴72噴出保護(hù)膜材料。
在活塞76上安裝有進(jìn)給螺絲78，通過(guò)安裝了進(jìn)給螺絲78的步進(jìn)電機(jī)73旋轉(zhuǎn)，活塞76向噴嘴頭71方向移動(dòng)。步進(jìn)電機(jī)73根據(jù)來(lái)自控制部80的指令，只旋轉(zhuǎn)給定轉(zhuǎn)數(shù)。如果進(jìn)給螺絲78旋轉(zhuǎn)，則活塞76只移動(dòng)進(jìn)給螺絲78的導(dǎo)程PS。此外，活塞76的移動(dòng)量和保護(hù)膜材料的噴出量成比例關(guān)系，所以根據(jù)進(jìn)給螺絲78的轉(zhuǎn)速，能控制保護(hù)膜材料的噴出量。
濾色器基板10a設(shè)置在X-Y臺(tái)82上，能向X以及Y方向移動(dòng)。向裝置主體50b安裝柱塞70，使噴嘴72的排列方向與Y方向平行。當(dāng)向?yàn)V色器基板10a上形成CF保護(hù)膜20時(shí)，首先，使X-Y臺(tái)移動(dòng)，決定對(duì)于濾色器基板10a的保護(hù)膜材料的涂敷開(kāi)始位置。接著根據(jù)來(lái)自控制部80的指令，使步進(jìn)電機(jī)73只旋轉(zhuǎn)給定量，從噴嘴72向配光基板上涂敷一定量的保護(hù)膜材料。
接著，根據(jù)來(lái)自控制部80的指令，使X-Y臺(tái)82只向X方向移動(dòng)給定寬度，同樣，從噴嘴72向配光基板上涂敷一定量的保護(hù)膜材料。如果把它重復(fù)直到濾色器基板10a的寬度，就能以噴嘴72的排列寬度對(duì)濾色器基板10a的寬度方向(X方向)涂敷保護(hù)膜材料。接著，根據(jù)來(lái)自控制部80的指令，只以噴嘴72的排列寬度H使X-Y臺(tái)82向Y方向移動(dòng)，通過(guò)重復(fù)所述步驟，在Y方向的下一列涂敷保護(hù)膜材料。通過(guò)跨濾色器基板10a的Y方向重復(fù)以上的步驟，能向?yàn)V色器基板10a上形成CF保護(hù)膜20。這樣，即使在液滴噴出中使用柱塞，也能與噴墨同樣，向?yàn)V色器基板10a上形成CF保護(hù)膜20。
在實(shí)施例4中，作為使用本發(fā)明的電光面板的制造方法或電子儀器的制造方法制造的電光裝置(平板顯示器)，以濾色器、液晶顯示裝置、有機(jī)EL裝置、等離子體顯示器(PDP裝置)、電子發(fā)射裝置(FED裝置、SED裝置)、形成在這些顯示裝置上的有源矩陣基板等為例，說(shuō)明這些構(gòu)造及其制造方法。須指出的是，有源矩陣基板是指形成了薄膜晶體管、電連接在薄膜晶體管上的源線、數(shù)據(jù)線的基板。
首先，說(shuō)明組裝到液晶顯示裝置或有機(jī)EL裝置等中的濾色器的制造方法。這時(shí)，濾色器是功能膜，濾色器材料是功能液。
圖11是表示濾色器的制造工序的程序流程圖，圖12-1～圖12-5是按照制造工序順序表示的本實(shí)施例的濾色器600(濾色器基體600A)的模式剖視圖。首先，在黑底形成工序(步驟S301)中，如圖12-1所示，在基板(W)601上形成黑底602。黑底602由金屬鉻、金屬鉻和氧化鉻的層疊體、或樹(shù)脂黑等形成。為了形成由金屬薄膜構(gòu)成的黑底602，能使用濺射法或蒸鍍法等。此外，當(dāng)形成由樹(shù)脂薄膜構(gòu)成的黑底602時(shí)，能使用照相凹版印刷、光刻膠法、熱復(fù)制法等。
接著，在隔板形成工序(步驟S302)中，以重疊在黑底602上的狀態(tài)形成隔板603。即首先如圖12-2所示，覆蓋基板601以及黑底602形成由負(fù)片型的透明感光樹(shù)脂構(gòu)成的抗蝕劑層604。然后，在用形成矩陣圖案形狀的掩模605覆蓋它的上表面的狀態(tài)下，進(jìn)行曝光處理。此外，如圖12-3所示，通過(guò)對(duì)抗蝕劑層604的未曝光部分進(jìn)行蝕刻處理，把抗蝕劑層604構(gòu)圖，形成隔板603。還有，通過(guò)樹(shù)脂黑形成黑底時(shí)，能兼用黑底和隔板。該隔板603和其下的黑底602成為劃分各象素區(qū)域的劃分壁部607b，在以后的著色層形成工序中通過(guò)功能液滴噴出頭51形成著色層(成膜部)608R、608G、608B時(shí)，規(guī)定功能液滴的落下區(qū)域。
通過(guò)經(jīng)過(guò)以上的黑底形成工序和隔板形成工序，得到所述濾色器基體600A。此外，在本實(shí)施例中，作為隔板603的材料，使用了鍍膜表面為疏液(疏水)性的樹(shù)脂材料。而且，因?yàn)榛?玻璃基板)601的表面為親液(親水)性，所以在后面描述的著色層形成工序中，向由隔板603(劃分壁部607b)包圍的各象素區(qū)域607a內(nèi)的液滴落下位置精度提高。
接著，在著色層形成工序(步驟S303)中，如圖12-4所示，通過(guò)功能液滴噴出頭51噴出功能液滴，使之落到由劃分壁部607b包圍的各象素區(qū)域607a內(nèi)。這時(shí)，使用功能液滴噴出頭51，導(dǎo)入R、G、B等3色功能液(濾色器材料)，通過(guò)實(shí)施例1等中說(shuō)明的電光面板的制造方法，進(jìn)行功能液滴的噴出。須指出的是，作為R、G、B三色的排列圖案，有帶排列、鑲嵌排列、三角排列。
然后，經(jīng)過(guò)干燥處理(加熱等處理)使功能液固定，形成3色的著色層608R、608G、608B。如果形成了著色層608R、608G、608B，就轉(zhuǎn)移到保護(hù)膜形成工序(步驟S304)，如圖12-5所示，覆蓋基板601、劃分壁部607b、著色層608R、608G、608B的上表面形成保護(hù)膜609。即向基板601的形成著色層608R、608G、608B的面全體上噴出保護(hù)膜用涂敷液后，經(jīng)過(guò)干燥處理形成保護(hù)膜609。然后，通過(guò)實(shí)施例1等中說(shuō)明的電光面板的制造方法形成保護(hù)膜609后，轉(zhuǎn)移到濾色器600、下一工序的成為透明電極的ITO(Indium Tin Oxide)等的膜附加工序。
圖13是表示作為使用濾色器600的液晶顯示裝置一例的無(wú)源矩陣型液晶顯示面板(液晶顯示面板)的概略結(jié)構(gòu)的主要部分剖視圖。通過(guò)在該液晶顯示面板620上安裝液晶驅(qū)動(dòng)用IC、背光、支撐體等附帶元件，得到作為最終制品的透射型液晶顯示裝置。須指出的是，濾色器600與圖1 2所示的相同，所以對(duì)對(duì)應(yīng)的部位付與相同的符號(hào)，省略其說(shuō)明。
該液晶顯示面板620由濾色器600、由玻璃基板構(gòu)成的對(duì)置基板621、夾持在它們之間的由STN(Super Twisted Nematic)液晶組成物構(gòu)成的液晶層622組成，濾色器600配置在圖中上方(觀察者一側(cè))。還有，雖然未圖示，但是在對(duì)置基板621和濾色器600的外表面(與液晶層622一側(cè)相反一側(cè)的面)上分別配置偏振片，此外，在位于對(duì)置基板621一側(cè)的偏振片外側(cè)配置有背光。
在濾色器600的保護(hù)膜609上(液晶層一側(cè))，在圖13中，以給定間隔形成多個(gè)在左右方向長(zhǎng)的長(zhǎng)方形的第一電極623，覆蓋該第一電極623的與濾色器600一側(cè)相反一側(cè)的面，形成有第一定向膜624。而在對(duì)置基板621的與濾色器600相對(duì)的面上，以給定間隔形成多個(gè)在與濾色器600的第一電極623正交的方向上長(zhǎng)的長(zhǎng)方形的第二電極626，覆蓋該第二電極626的液晶層622一側(cè)的面形成第二定向膜627。這些第一電極623和第二電極626由ITO等透明導(dǎo)電材料形成。
設(shè)置在液晶層622內(nèi)的隔離塊628是用于把液晶層622的厚度(單元間隔)保持一定的構(gòu)件。此外，密封構(gòu)件629是用于防止液晶層622內(nèi)的液晶組成物向外部漏出的構(gòu)件。并且，第一電極623的一端部作為圍繞布線623a延伸到密封構(gòu)件629的外側(cè)。而且，第一電極623和第二電極626交叉的部分是象素，濾色器600的著色層608R、608G、608B位于該成為象素的部分。
在通常的制造工序中，進(jìn)行第一電極623的構(gòu)圖和第一定向膜624的涂敷，生成濾色器600一側(cè)的部分，并且此外，對(duì)對(duì)置基板621進(jìn)行第二電極626的構(gòu)圖和第二定向膜627的涂敷，生成對(duì)置基板621一側(cè)的部分。能通過(guò)實(shí)施例1中說(shuō)明的電光面板的制造方法形成所述第一定向膜624和第二定向膜627。然后，在對(duì)置基板621一側(cè)的部分形成隔離塊628和密封構(gòu)件629，在該狀態(tài)下，粘貼濾色器600一側(cè)的部分。再者，從密封構(gòu)件629的注入口注入構(gòu)成液晶層622的液晶，密封注入口。然后，層疊兩偏振片和背光。
實(shí)施例1的液滴噴出裝置50例如涂敷構(gòu)成所述單元間隔的隔離塊材料(功能液)，并且在對(duì)置基板621一側(cè)的部分粘貼濾色器600一側(cè)的部分前，在由密封構(gòu)件629包圍的區(qū)域中能均勻涂敷液晶(功能液)。此外，能用功能液滴噴出頭51進(jìn)行所述密封材料629的印刷。也能用功能液滴噴出頭51進(jìn)行第一和第二定向膜624、627的涂敷。當(dāng)噴出這些功能液時(shí)，使用實(shí)施例1中說(shuō)明的電光面板的制造方法。
圖14是表示使用本實(shí)施例中制造的濾色器600的液晶顯示面板的第二例的概略結(jié)構(gòu)的主要部分剖視圖。該液晶顯示面板630與所述液晶顯示面板620的巨大差異在于在圖中下方(與觀察者相反一側(cè))配置濾色器600。該液晶顯示面板630的結(jié)構(gòu)為在濾色器600和由玻璃基板構(gòu)成的對(duì)置基板631之間夾持著由STN液晶構(gòu)成的液晶層632。須指出的是，雖然未圖示，但是在對(duì)置基板631和濾色器600的外表面分別配置偏振片。
在濾色器600的保護(hù)膜609上(液晶層632一側(cè))，以給定間隔形成多個(gè)在圖中向里方向長(zhǎng)的長(zhǎng)方形第一電極633，覆蓋該第一電極633的液晶層632一側(cè)的面形成第一定向膜634。在對(duì)置基板631的與濾色器600相對(duì)的面上，以給定間隔形成在與濾色器600一側(cè)的第一電極633正交的方向上延伸的多個(gè)長(zhǎng)方形的第二電極636，覆蓋該第二電極636的液晶層632一側(cè)的面，形成第二定向膜637。
在液晶層632上設(shè)置有用于把該液晶層632的厚度保持一定的隔離塊638、用于防止液晶層632內(nèi)的液晶組成物向外部漏出的密封構(gòu)件639。而且，與所述液晶顯示面板620同樣，第一電極633和第二電極636交叉的部分是象素，濾色器600的著色層608R、608G、608B位于該成為象素的部位。
圖15表示使用應(yīng)用本發(fā)明的濾色器600構(gòu)成液晶顯示面板的第三例，是表示透射型的TFT(Thin Film Transistor)型液晶顯示面板的概略結(jié)構(gòu)的分解立體圖。該液晶顯示面板650在圖中上方(觀察者一側(cè))配置濾色器600。
該液晶顯示面板650大體由濾色器600、與它相對(duì)配置的對(duì)置基板651、夾在它們之間的未圖示的液晶層、配置在濾色器600的上面一側(cè)(觀察者一側(cè))的偏振片655、配置在對(duì)置基板651的下面一側(cè)的偏振片(未圖示)構(gòu)成。在濾色器600的保護(hù)膜609的表面(對(duì)置基板651一側(cè)的面)上形成有液晶驅(qū)動(dòng)用的電極656。
該電極656由ITO等透明導(dǎo)電材料構(gòu)成，成為覆蓋形成后面描述的象素電極660的區(qū)域全體的全面電極。此外，在覆蓋該電極656的與象素電極660相反一側(cè)的面的狀態(tài)下，設(shè)置有定向膜657。
在對(duì)置基板65 1的與濾色器600相對(duì)的面上形成有絕緣層658，在該絕緣層658上以彼此正交的狀態(tài)形成掃描線661和信號(hào)線662。而且，在由這些掃描線661和信號(hào)線662包圍的區(qū)域內(nèi)形成有象素電極660。須指出的是，在實(shí)際的液晶顯示面板中，在象素電極660上設(shè)置有定向膜，但是省略圖示。
此外，在由象素電極660的切口部、掃描線661和信號(hào)線662包圍的部分，設(shè)置具有源極、漏極、半導(dǎo)體和柵極的薄膜晶體管663。而且，通過(guò)對(duì)于掃描線661和信號(hào)線662外加信號(hào)，使薄膜晶體管663導(dǎo)通和斷開(kāi)，能進(jìn)行對(duì)象素電極660的通電控制。須指出的是，所述各例的液晶顯示面板620、630、650為透射型的結(jié)構(gòu)，但是也能設(shè)置反射層或半透過(guò)反射層，作為反射型的液晶顯示面板或半透反射型液晶顯示面板。下面，說(shuō)明有機(jī)EL裝置。
圖16是有機(jī)EL顯示裝置的顯示區(qū)域的主要部分剖視圖。該有機(jī)EL顯示裝置700大體以在基板(W)701上層疊電路元件部702、發(fā)光元件部703和陰極704的狀態(tài)下構(gòu)成。在該有機(jī)EL顯示裝置700中，從發(fā)光元件部703向基板701一側(cè)發(fā)出的光透過(guò)電路元件部702和基板701向觀察者一側(cè)出射，并且從發(fā)光元件部703向基板701的相反一側(cè)發(fā)出的光由陰極704反射后，透過(guò)電路元件部702和基板701，出射到觀察者一側(cè)。
在電路元件部702和基板701之間形成由氧化硅膜構(gòu)成的底層保護(hù)膜706，在該底層保護(hù)膜706(發(fā)光元件部703一側(cè))上形成有由多晶硅構(gòu)成的島狀的半導(dǎo)體膜707。在半導(dǎo)體膜707的左右區(qū)域分別通過(guò)高濃度陽(yáng)離子注入，形成源區(qū)707a和漏區(qū)707b。而且，未注入陽(yáng)離子的中央部成為溝道區(qū)707c。
此外，在電路元件部702上，形成覆蓋底層保護(hù)膜706和半導(dǎo)體膜707的透明的柵絕緣膜708，在該柵絕緣膜708上的與半導(dǎo)體膜707的溝道區(qū)707c對(duì)應(yīng)的位置形成例如由Al、Mo、Ta、Ti、W等構(gòu)成的柵電極709。在該柵電極709和柵絕緣膜708上形成有透明的第一層間絕緣膜711a和第二層間絕緣膜711b。此外，貫通第一、第二層間絕緣膜711a、711b，形成有分別與半導(dǎo)體膜707的源區(qū)707a、漏區(qū)707b連通的接觸孔712a、712b。柵電極709和柵絕緣膜708能通過(guò)實(shí)施例1等的電光面板的制造方法，通過(guò)噴出把構(gòu)成它們的材料溶解于溶劑中的功能液的液滴而形成。
然后，在第二層間絕緣膜711b上，構(gòu)圖形成給定圖案的由ITO等構(gòu)成的透明的象素電極713，該象素電極713通過(guò)接觸孔712a連接在源區(qū)707a上。此外，在第一層間絕緣膜711a上配置電源線714，該電源線714通過(guò)接觸孔712b連接在漏區(qū)707b上。
這樣，在電路元件部702上分別形成連接在各象素電極713上的驅(qū)動(dòng)用的薄膜晶體管715。所述發(fā)光元件部703大體由分別層疊在多個(gè)象素電極713上的功能層717、設(shè)置在各象素電極713和功能層717之間并且劃分各功能層717的隔板部718構(gòu)成。由這些象素電極713、功能層717、配置在功能層717上的陰極704構(gòu)成發(fā)光元件。須指出的是，象素電極713構(gòu)圖為平面視圖中的矩形，在各象素電極713之間形成隔板部718。
隔板部718例如由以下部分構(gòu)成由SiO、SiO2、TiO2等無(wú)機(jī)材料形成的無(wú)機(jī)物隔板層718a(第一隔板層)；層疊在無(wú)機(jī)物隔板層718a上，由丙烯酸樹(shù)脂、聚酰亞胺樹(shù)脂等耐熱性、耐溶劑性優(yōu)異的抗蝕劑形成的截面梯形的有機(jī)物隔板層718b(第二隔板層)。該隔板部718的一部分以跨在象素電極713的周圍部上的狀態(tài)形成。而且，在各隔板部718之間，形成對(duì)象素電極713，向上方逐漸擴(kuò)大的開(kāi)口部719。
所述功能層717由在開(kāi)口部719內(nèi)以層疊狀態(tài)形成在象素電極713上的空穴注入/輸送層717a、形成在該空穴注入/輸送層717a上的發(fā)光層717b構(gòu)成。須指出的是，還可以與該發(fā)光層717b相鄰形成具有其他功能的其他功能層。例如，也能形成電子輸送層?？昭ㄗ⑷?輸送層717a具有從象素電極713一側(cè)輸送空穴，注入發(fā)光層717b中的功能。通過(guò)噴出包含空穴注入/輸送層形成材料的第一組成物(功能液)，形成該空穴注入/輸送層717a。當(dāng)噴出第一組成物(功能液)時(shí)，使用實(shí)施例1中說(shuō)明的電光面板的制造方法。作為空穴注入/輸送層的形成材料，使用公開(kāi)的材料。
發(fā)光層717b發(fā)出紅色(R)、綠色(G)、或藍(lán)色(B)中的任意顏色的光，通過(guò)噴出包含發(fā)光層的形成材料(發(fā)光材料)的第二組成物(功能液)而形成。噴出第二組成物(功能液)時(shí)，能使用實(shí)施例1中說(shuō)明的電光面板的制造方法。作為第二組成物的溶劑(非極性溶劑)，優(yōu)選使用對(duì)于空穴注入/輸送層717a不溶解的公知的材料，通過(guò)對(duì)發(fā)光層717b的第二組成物使用這樣的非極性溶劑，使空穴注入/輸送層717a不再溶解，形成發(fā)光層717b。
然后，在發(fā)光層717b中，由空穴注入/輸送層717a注入的空穴和由陰極704注入的電子在發(fā)光層再結(jié)合，發(fā)光。以覆蓋發(fā)光元件部703的全面的狀態(tài)形成陰極704，與象素電極713成對(duì)，完成使電流流向功能層717的作用。須指出的是，在該陰極704的上部配置未圖示的密封構(gòu)件。
圖17是表示有機(jī)EL顯示裝置的制造工序的程序流程圖。圖18～圖25是表示有機(jī)EL顯示裝置的制造工序的說(shuō)明圖。下面，參照?qǐng)D17～圖25說(shuō)明所述有機(jī)EL顯示裝置700的制造工序。該有機(jī)EL顯示裝置700如圖17所示，經(jīng)過(guò)隔板部形成工序(步驟S401)、表面處理工序(步驟S402)、空穴注入/輸送層形成工序(步驟S403)、發(fā)光層形成工序(步驟S404)、對(duì)置電極形成工序(步驟S405)，制造。須指出的是，制造工序并不局限于例示的，按照必要，有時(shí)去掉工序，或追加工序。
首先，在隔板部形成工序(步驟S401)中，如圖18所示，在第二層間絕緣膜711b上形成無(wú)機(jī)物隔板層718a。在形成位置形成無(wú)機(jī)物膜后，通過(guò)光刻技術(shù)對(duì)該無(wú)機(jī)物膜構(gòu)圖，形成該無(wú)機(jī)物隔板層718a。這時(shí)，無(wú)機(jī)物隔板層718a的一部分與象素電極713的周圍部重疊形成。如果形成了無(wú)機(jī)物隔板層718a，則如圖19所示，在無(wú)機(jī)物隔板層718a上形成有機(jī)物隔板層718b。與無(wú)機(jī)物隔板層718a同樣，通過(guò)光刻技術(shù)，構(gòu)圖形成該有機(jī)物隔板層718b。這樣，就形成隔板部718。
此外，伴隨著此，在各隔板部718之間，形成對(duì)于象素電極713，向上方開(kāi)口的開(kāi)口部719。該開(kāi)口部719規(guī)定象素區(qū)域。
在表面處理工序(工序S402)中，進(jìn)行親液化處理和疏液化處理。進(jìn)行親液化處理的區(qū)域是無(wú)機(jī)物隔板層718a的第一層疊部718aa和象素電極713的電極面713a，這些區(qū)域通過(guò)以氧為處理氣體的等離子體處理，表面處理成親液性。該等離子體處理也兼任象素電極713的ITO的洗凈。此外，疏液化處理對(duì)有機(jī)物隔板層718b的壁面718s和有機(jī)物隔板層718b的上表面718t進(jìn)行，通過(guò)以四氟化甲烷為處理氣體的等離子體處理，對(duì)表面進(jìn)行氟化處理(處理為疏液性)。通過(guò)進(jìn)行該表面處理工序，在使用功能液滴噴出頭51形成功能層717時(shí)，能更可靠地使功能液滴落在象素區(qū)域中，此外，能防止落在象素區(qū)域中的功能液滴從開(kāi)口部719溢出。
而且，經(jīng)過(guò)上述的工序，獲得顯示裝置基體700A。把該顯示裝置基體700A安放在圖3所示的實(shí)施例1的液滴噴出裝置50的臺(tái)60上，通過(guò)使用實(shí)施例1中說(shuō)明的電光面板的制造方法，進(jìn)行以下的空穴注入/輸送層形成工序(步驟S403)、發(fā)光層形成工序(步驟S404)。如圖20所示，在空穴注入/輸送層形成工序(步驟S403)中，從功能液滴噴出頭51向象素區(qū)域即各開(kāi)口部719內(nèi)噴出包含空穴注入/輸送層形成材料的第一組成物。然后，如圖21所示，進(jìn)行干燥處理和熱處理，使第一組成物中包含的極性溶劑蒸發(fā)，在象素電極(電極面713a)713上形成空穴注入/輸送層717a。
接著，說(shuō)明發(fā)光層形成工序(步驟S404)，在該發(fā)光層形成工序中，如上所述，為了防止空穴注入/輸送層717a的再溶解，作為在發(fā)光層的形成時(shí)使用的第二組成物的溶劑，使用對(duì)于空穴注入/輸送層717a不溶解的非極性溶劑?？墒?，空穴注入/輸送層717a對(duì)于非極性溶劑的親和性低，所以即使對(duì)空穴注入/輸送層717a上噴出包含非極性溶劑的第二組成物，也無(wú)法使空穴注入/輸送層717a和發(fā)光層717b緊貼，或無(wú)法均勻涂敷發(fā)光層717b。
因此，為了提高空穴注入/輸送層717a表面對(duì)于非極性溶劑以及發(fā)光層形成材料的親和性，優(yōu)選在發(fā)光層的形成前進(jìn)行表面處理(表面改質(zhì)處理)。把與發(fā)光層的形成時(shí)使用的第二組成物的非極性溶劑相同的溶劑或與它類似的溶劑即表面改質(zhì)材料涂敷在空穴注入/輸送層717a上，使它干燥，進(jìn)行該表面處理。通過(guò)進(jìn)行這樣的表面處理，空穴注入/輸送層717a的表面容易與非極性溶劑親和，在以后的工序中，使用實(shí)施例1等中說(shuō)明的電光面板的制造方法，把包含發(fā)光層形成材料的第二組成物的均勻涂敷在空穴注入/輸送層717a上。
然后，如圖22所示，把包含與各色中的任意(在圖22的例子中，藍(lán)色(B))對(duì)應(yīng)的發(fā)光層形成材料的第二組成物作為功能液滴，向象素區(qū)域(開(kāi)口部719)內(nèi)注入給定量。注入到象素區(qū)域內(nèi)的第二組成物擴(kuò)散到空穴注入/輸送層717a上，充滿開(kāi)口部719內(nèi)。須指出的是，萬(wàn)一第二組成物從象素區(qū)域偏移，落在隔板部718的上表面718t上，該上表面718t如上所述，進(jìn)行了疏液處理，所以第二組成物容易落入開(kāi)口部719內(nèi)。
然后，通過(guò)進(jìn)行干燥工序等，對(duì)噴出后的第二組成物進(jìn)行干燥處理，使第二組成物中包含的非極性溶劑蒸發(fā)，如圖23所示，在空穴注入/輸送層717a上形成發(fā)光層717b。本圖的時(shí)候，形成與藍(lán)色(B)對(duì)應(yīng)的發(fā)光層717b。同樣，使用功能液滴噴出頭51，使用實(shí)施例1等中說(shuō)明的電光面板的制造方法，如圖24所示，依次進(jìn)行與所述藍(lán)色(B)所對(duì)應(yīng)的發(fā)光層717b的情況同樣的工序，形成與其它顏色(紅色(R)以及綠色(G))對(duì)應(yīng)的發(fā)光層717b。須指出的是，發(fā)光層717b的形成順序并不局限于例示的順序，也可以用任意順序形成。例如，能按照發(fā)光層形成材料決定形成的順序。此外，作為R、G、B三色的配列圖案，有帶排列、鑲嵌排列、三角排列。
如上所述，在象素電極713上形成功能層717即空穴注入/輸送層717a和發(fā)光層717b。然后，轉(zhuǎn)移到對(duì)置電極形成工序(步驟S405)。在對(duì)置電極形成工序(步驟S405)中，如圖25所示，在發(fā)光層717b和有機(jī)物隔板層718b的全面上，通過(guò)蒸鍍法、濺射法、CVD法等形成陰極704(對(duì)置電極)。在本實(shí)施例中，層疊鈣層和鋁層，構(gòu)成該陰極704。在陰極704的上部適當(dāng)設(shè)置作為電極的Al膜、Ag膜、用于防止其氧化的SiO2、SiN等的保護(hù)層。這樣形成陰極704后，進(jìn)行通過(guò)密封構(gòu)件密封該陰極704的上部的密封處理或布線處理等其他處理，得到有機(jī)EL顯示裝置700。
圖26是等離子體型顯示裝置的主要部分分解立體圖。須指出的是，在圖26中，在切其一部分的狀態(tài)下表示等離子體型顯示裝置(以下稱作PDP顯示裝置)。該P(yáng)DP顯示裝置800大體包含彼此相對(duì)配置的第一基板801、第二基板802、形成在它們之間的放電顯示部803。放電顯示部803由多個(gè)放電室805構(gòu)成。多個(gè)放電室805中，紅色放電室805R、綠色放電室805G、藍(lán)色放電室805B等3個(gè)放電室805成組，構(gòu)成一個(gè)象素。
在第一基板801的上表面，以給定間隔把地址電極806形成條紋狀，覆蓋該地址電極806和第一基板801的上表面形成介質(zhì)層807。在介質(zhì)層807上直立設(shè)置隔板808，它位于各地址電極806之間，并且沿著各地址電極806。該隔板808如圖所示，包含沿著地址電極806的寬度方向兩側(cè)延伸的和在與地址電極806正交的方向延伸的未圖示的。而且，由該隔板808劃分的區(qū)域成為放電室805。
在放電室805內(nèi)配置有熒光體809。熒光體809發(fā)出紅色(R)、綠色(G)、或藍(lán)色(B)中的任意顏色的光，在紅色放電室805R的底部配置有紅色熒光體809R，在綠色放電室805G的底部配置綠色熒光體809G，在藍(lán)色放電室805B的底部配置藍(lán)色熒光體809B。
在第二基板802的圖中下方的面上，以給定間隔在與所述地址電極806正交的方向把多個(gè)顯示電極811形成條紋狀。然后，覆蓋它們形成介質(zhì)層812、由MgO等構(gòu)成的保護(hù)膜813。在地址電極806和顯示電極811彼此正交的狀態(tài)下，把第一基板801和第二基板802貼在一起。須指出的是，所述地址電極806和顯示電極811連接在未圖示的交流電源上。而且，通過(guò)對(duì)各電極806、811通電，在放電顯示部803中，熒光體809激勵(lì)發(fā)光，能進(jìn)行彩色顯示。
在本實(shí)施例中，能使用實(shí)施例1等中說(shuō)明的電光面板的制造方法，形成所述地址電極806、顯示電極811、熒光體809。下面，例示第一基板801的地址電極806的形成工序。這時(shí)，在把第一基板801安放在液滴噴出裝置50的臺(tái)60上的狀態(tài)下，進(jìn)行以下的工序。首先，通過(guò)功能液滴噴出頭51，把包含導(dǎo)電膜布線形成用材料的液體材料(功能液)作為功能液滴，使用實(shí)施例1等中說(shuō)明的電光面板的制造方法，使其落在地址電極形成區(qū)域中。該液體材料是把金屬等的導(dǎo)電性微粒作為導(dǎo)電膜布線形成用材料分散到分散劑。作為導(dǎo)電性微粒，可以使用包含金、銀、銅、鈀、或鎳的金屬微粒、導(dǎo)電性聚合物。
關(guān)于成為補(bǔ)充對(duì)象的全部地址電極形成區(qū)域，如果液體材料的補(bǔ)充結(jié)束，就對(duì)噴出后的液體材料進(jìn)行干燥處理，通過(guò)使液體材料中包含的分散劑蒸發(fā)，形成地址電極806?？墒?，在所述中，例示了地址電極806的形成，但是關(guān)于所述顯示電極811和熒光體809，經(jīng)過(guò)所述工序，也能形成。顯示電極811的形成時(shí)與地址電極806時(shí)同樣，把包含導(dǎo)電膜布線形成用材料的液體材料(功能液)作為功能液滴，使用實(shí)施例1等中說(shuō)明的電光面板的制造方法，使其落在顯示電極形成區(qū)域中。此外，熒光體809的形成時(shí)，從功能液滴噴出頭51把包含與各色(R、G、B)對(duì)應(yīng)的熒光材料的液體材料(功能液)作為液滴噴出。這時(shí)，使用實(shí)施例1等中說(shuō)明的電光面板的制造方法，使其落在對(duì)應(yīng)的顏色的放電室805內(nèi)。
下面，圖27是電子發(fā)射顯示裝置的主要部分剖視圖。須指出的是，在圖27中，使其一部分為剖面，表示電子發(fā)射顯示裝置(也稱作FED裝置或SED裝置，下面，僅稱作FED顯示裝置900)900。該FED顯示裝置900大體包含彼此相對(duì)配置的第一基板901、第二基板902、形成在它們之間的場(chǎng)致發(fā)射顯示部903。場(chǎng)致發(fā)射顯示部903由配置為矩陣狀的多個(gè)電子發(fā)射部905構(gòu)成。
在第一基板901的上表面，構(gòu)成陰極906的第一元件電極906a和第二元件電極906b彼此正交形成。此外，在由第一元件電極906a和第二元件電極906b劃分的部分形成產(chǎn)生間隔908的導(dǎo)電性膜907。即由第一元件電極906a、第二元件電極906b和導(dǎo)電性膜907構(gòu)成多個(gè)電子發(fā)射部905。導(dǎo)電性膜907例如由氧化鈀(PdO)等構(gòu)成，此外，在形成導(dǎo)電性膜907后，由成形等形成間隔908。
在第二基板902的下表面形成與陰極906對(duì)峙的陽(yáng)極909。在陽(yáng)極909的下表面形成格子狀的隔板部911，在由該隔板部911包圍的向下的各開(kāi)口部912中，與電子發(fā)射部905對(duì)應(yīng)配置熒光體913。熒光體913發(fā)出紅色(R)、綠色(G)、或藍(lán)色(B)中的任意顏色的光，在各開(kāi)口部912中，以所述給定圖案配置紅色熒光體913R、綠色熒光體913G、藍(lán)色熒光體913B。
然后，保持微小的間隔把這樣構(gòu)成的第一基板901、第二基板902貼在一起。在該FED顯示裝置900中，通過(guò)導(dǎo)電性膜(間隔908)907，從陰極即第一元件電極906a或第二元件電極906b飛出的電子撞擊形成在陽(yáng)極即陽(yáng)極909上的熒光體913上，激勵(lì)發(fā)光，能進(jìn)行彩色顯示。
這時(shí)，也能使用實(shí)施例1的液滴噴出裝置50形成第一元件電極906a、第二元件電極906b、導(dǎo)電性膜907、陽(yáng)極909，并且能使用實(shí)施例1等中說(shuō)明的電光面板的制造方法，形成各色的熒光體913R、913G、913B。
圖28-1是表示第一元件電極、第二元件電極、和導(dǎo)電性膜的形狀的平面圖。
圖28-2是表示第一元件電極、第二元件電極、和導(dǎo)電性膜的成膜工序的平面圖。第一元件電極906a、第二元件電極906b、導(dǎo)電性膜907具有圖28-1所示的平面形狀，當(dāng)形成它們時(shí)，如圖28-2所示，預(yù)先剩下生成第一元件電極906a、第二元件電極906b、導(dǎo)電性膜907的部分，形成隔板部BB(光刻法)。接著，在由隔板部BB構(gòu)成的溝部分形成第一元件電極906a、第二元件電極906b(實(shí)施例1等中說(shuō)明的電光面板的制造方法)，使它的溶劑干燥，進(jìn)行成膜后，形成導(dǎo)電性膜907(實(shí)施例1等中說(shuō)明的電光面板的制造方法)。然后，形成導(dǎo)電性膜907后，除去隔板部BB(灰化剝離處理)，轉(zhuǎn)移到所述成形處理。須指出的是，與所述有機(jī)EL裝置同樣，優(yōu)選進(jìn)行對(duì)于第一基板901、第二基板902的親液化處理、對(duì)于隔板部911、BB的疏液化處理。
此外，作為其他電光裝置，考慮到金屬布線的形成、透鏡的形成、抗蝕劑的形成以及光擴(kuò)散體的形成等的裝置。以上，在實(shí)施例4中，在各種電光裝置(器件)的制造中使用實(shí)施例1等中說(shuō)明的電光面板的制造方法。即噴嘴排列方向的功能液液滴間隔比垂直于噴嘴排列方向的方向功能液液滴間隔大，噴出功能液，所以能抑制作為電光裝置的構(gòu)成而使用的功能膜形成材料的涂敷速度下降。據(jù)此，能高效制造各種電光裝置。
(本發(fā)明的適用對(duì)象)作為能應(yīng)用本發(fā)明的電光面板的電子儀器，除了移動(dòng)電話，能列舉出例如稱作PDA(Personal Digital Assistants)的便攜式信息儀器、便攜式個(gè)人電腦、個(gè)人電腦、數(shù)碼相機(jī)、車載用監(jiān)視器、數(shù)字?jǐn)z影機(jī)、液晶電視、尋象器型、監(jiān)視器直視型的錄像機(jī)、汽車導(dǎo)航裝置、尋呼機(jī)、電子記事本、計(jì)算器、字處理器、工作站、電視電話機(jī)、POS終端機(jī)、使用電光裝置即電光面板的儀器。因此，即使是這些電子儀器中的電連接構(gòu)造，當(dāng)然也能應(yīng)用本發(fā)明。
此外，該電光面板是透射型或反射型的電光面板，把未圖示的照明裝置作為背光使用。須指出的是，即使是有源矩陣型的彩色電光面板，也是同樣。例如在以上說(shuō)明的各實(shí)施例中，都例示無(wú)源矩陣型的電光面板，但是作為本發(fā)明的電光裝置，也同樣能應(yīng)用于有源矩陣型的電光面板(例如，把TFT(薄膜晶體管)或TFD(薄膜二極管)作為開(kāi)關(guān)元件的電光面板)。此外，不僅是透射型或反射型的電光面板，象場(chǎng)致發(fā)光裝置、無(wú)機(jī)場(chǎng)致發(fā)光裝置、等離子體顯示裝置、電泳顯示裝置、場(chǎng)致發(fā)射顯示裝置、LED(發(fā)光二極管)顯示裝置那樣，也能應(yīng)用于對(duì)多個(gè)象素分別控制顯示狀態(tài)的各種電光裝置中。對(duì)于在形成矩陣狀的發(fā)光元件的前表面上配置濾色器基板的電光面板，也能應(yīng)用本發(fā)明。
如上所述，本發(fā)明的電光面板的制造方法和電子儀器的制造方法、電光面板、電光裝置和電子儀器對(duì)于通過(guò)液滴噴出形成濾色器保護(hù)膜、定向膜、絕緣膜等其他功能膜是有用的，特別適合于抑制所述功能膜形成材料的涂敷速度下降。
權(quán)利要求
1.一種電光面板的制造方法，其特征在于在基體材料上形成功能膜時(shí)，通過(guò)把噴嘴排列在一個(gè)方向上的液滴噴出機(jī)構(gòu)使功能液噴出，形成功能膜時(shí)，所述噴嘴排列方向上的所述功能液的液滴間隔比垂直于所述噴嘴排列方向的方向上的所述功能液的液滴間隔大。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電光面板的制造方法，其特征在于所述功能液是濾色器的保護(hù)膜材料，所述功能膜是濾色器的保護(hù)膜；該制造方法包含在基體材料上形成濾色器的濾色器形成工序；通過(guò)把噴嘴排列在一個(gè)方向上的液滴噴出機(jī)構(gòu)向所述濾色器上涂敷保護(hù)膜材料的液滴的保護(hù)膜材料涂敷工序；使所述保護(hù)膜材料干燥的干燥工序；所述噴嘴排列方向上的所述液滴間隔比垂直于所述噴嘴排列方向的方向上的所述液滴間隔大。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的電光面板的制造方法，其特征在于在所述濾色器形成工序之后，包含把所述濾色器表面改質(zhì)，提高所述濾色器表面的浸濕性的表面改質(zhì)工序。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的電光面板的制造方法，其特征在于在形成了所述濾色器的所述基體材料整個(gè)面上涂敷所述保護(hù)膜材料。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的電光面板的制造方法，其特征在于在形成了所述濾色器的所述基體材料中，只在芯片上涂敷所述保護(hù)膜材料。
6.根據(jù)權(quán)利要求3～5中的任意一項(xiàng)所述的電光面板的制造方法，其特征在于通過(guò)使向所述濾色器上噴出的所述保護(hù)膜材料的液滴間隔或液滴的質(zhì)量中的至少一方變化，控制所述濾色器的膜厚。
7.一種電子儀器的制造方法，其特征在于包括在基體材料上形成濾色器的濾色器形成工序；把該濾色器表面改質(zhì)的表面改質(zhì)工序；通過(guò)把噴嘴向一個(gè)方向排列的液滴噴出機(jī)構(gòu)向所述濾色器上涂敷包含樹(shù)脂和溶劑的保護(hù)膜材料液滴的保護(hù)膜材料涂敷工序；使所述溶劑干燥，形成所述濾色器的保護(hù)膜的保護(hù)膜形成工序；在形成了保護(hù)膜后的所述基體材料上安裝給定構(gòu)件或部件，制造電光面板的工序；把安裝部件向所述電光面板安裝的工序；所述噴嘴排列方向上的所述液滴間隔比垂直于所述噴嘴排列方向的方向上的所述液滴間隔大。
8.一種電光面板，其特征在于包括在進(jìn)行了表面改質(zhì)處理的濾色器上使第一方向的液滴間隔和垂直于第一方向的方向的液滴間隔不同，涂敷包含樹(shù)脂和溶劑的保護(hù)膜材料而形成的濾色器基板；與該濾色器基板相對(duì)配置的基板；保持在相對(duì)配置的所述基板之間的液晶。
9.一種電光面板，其特征在于具有在進(jìn)行了表面改質(zhì)處理的濾色器上使第一方向的液滴間隔和垂直于第一方向的方向的液滴間隔不同，涂敷包含樹(shù)脂和溶劑的保護(hù)膜材料而形成的濾色器基板；把發(fā)光元件形成矩陣狀的發(fā)光裝置；在所述發(fā)光元件的前表面配置所述濾色器基板而成。
10.一種電光裝置，其特征在于包括權(quán)利要求8或9所述的電光面板。
11.一種電子儀器，其特征在于包括權(quán)利要求10所述的電光裝置。
全文摘要
一種電光面板、電子儀器的制造方法及電光面板、電光裝置和電子儀器，液滴噴出頭(52)在圖中X方向(主掃描方向)往返，其間，以噴嘴(54)的排列寬度H向?yàn)V色器基板(10a)上噴出功能液即保護(hù)膜材料的液滴。在濾色器基板(10a)上，在副掃描方向(Y方向)，以140μm的間隔涂敷保護(hù)膜材料的液滴。此外，在主掃描方向(X方向)，以10μm間隔涂敷保護(hù)膜材料的液滴。在一次的掃描中，涂敷保護(hù)膜材料后，濾色器基板(10a)只移動(dòng)噴嘴(54)的排列寬度H，液滴噴出頭(52)向下一區(qū)域噴出保護(hù)膜材料。根據(jù)本發(fā)明，可抑制功能液的涂敷速度下降。
文檔編號(hào)G02F1/1333GK1530227SQ20041003965
公開(kāi)日2004年9月22日 申請(qǐng)日期2004年3月12日 優(yōu)先權(quán)日2003年3月13日
發(fā)明者櫻田和昭 申請(qǐng)人:精工愛(ài)普生株式會(huì)社