專利名稱：液晶顯示設(shè)備與基片組裝設(shè)備的制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及液晶顯示設(shè)備和基片組裝設(shè)備的組裝方法，其中層壓的一對(duì)基片被分別支撐并在真空腔體中彼此相對(duì)放置，且這些基片成面對(duì)面關(guān)系，在減壓狀態(tài)中基片間有狹窄間隙。
背景技術(shù)：
有兩種組裝液晶顯示器的方法。在一種方法中，以彼此面對(duì)面的關(guān)系以小到幾個(gè)μm的距離使用粘合劑(以下也稱為密封材料)把一對(duì)具有透明基片和薄膜晶體管陣列的玻璃基片結(jié)合在一起(完成的基片以下稱為單元)，并在這些基片之間形成的空氣間隔內(nèi)填以液晶材料。在另一方法中，液晶材料滴注到一個(gè)基片的表面，其上使用密封材料形成一種封閉的模樣，使得不形成填充物孔，另一基片放置在先前的基片上，并使這些基片以面對(duì)面的關(guān)系彼此非常靠近。至于用于把基片以面對(duì)面的關(guān)系組合在一起的液晶顯示設(shè)備的組裝設(shè)備，有這樣的基片組裝設(shè)備，用于在施加如日本專利(公開(kāi)號(hào)2001-133745(2001))中所公開(kāi)內(nèi)容中應(yīng)用的壓力之前支撐上側(cè)的基片，其中上側(cè)基片通過(guò)粘合裝置支撐，且基片以面對(duì)面的關(guān)系通過(guò)減小在基片間形成的距離被結(jié)合在一起。在其優(yōu)選實(shí)施例中，上述公開(kāi)的內(nèi)容中包括使用粘合片作為粘合裝置及一種結(jié)構(gòu)的方法，其中在加壓板側(cè)設(shè)有開(kāi)口，并在加壓板之上裝有一致動(dòng)器，以使得粘合部件可在開(kāi)口中上下流動(dòng)。
在以上先有技術(shù)的結(jié)構(gòu)中，基片被支撐以便在大氣壓中與粘合裝置接觸。在在大氣壓中使用粘合裝置支撐基片的情形下，可能有這樣的問(wèn)題，即由于基片的凹和/或凸表面和基片的變形，空氣通過(guò)基片與粘合裝置之間滲透，并在腔體的內(nèi)部壓力降低時(shí)，包含在基片與粘合裝置之間的空氣膨脹，在最壞情形下會(huì)導(dǎo)致不能支撐基片。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是要提供一種能夠以加壓板牢固支撐基片的基片層壓設(shè)備，用于層壓液晶基片的基片組裝設(shè)備，以及對(duì)于液晶顯示設(shè)備使用這種設(shè)備的組裝方法，以便以高精度在高真空壓力中層壓基片，其中即使試圖增加基片的尺寸并降低基片的厚度，在液晶顯示器中也不會(huì)出現(xiàn)缺陷。
為了實(shí)現(xiàn)以上目的，本發(fā)明的特征在于，提供了多個(gè)吸口用于抽吸加壓板以支撐基片之一；多個(gè)粘合裝置，用于通過(guò)粘合力支撐基片；以及壓力降低通道，用于降低由裝有所述粘合裝置和基片的開(kāi)口形成的空隙內(nèi)的壓力。此外，用于抽吸多個(gè)粘合裝置的多個(gè)吸口裝設(shè)在用于支撐另一基片以及加壓板的臺(tái)板上。而且，在降低了具有粘合裝置開(kāi)口和基片的開(kāi)口之間形成的空隙內(nèi)的壓力之后，使粘合裝置壓在基片上并以該基片支撐。
在另一實(shí)施例中，至少在加壓板中，基片被吸引并吸附以及粘附地支撐在大氣壓中，然后把基片在壓力下與粘合劑結(jié)合之后，通過(guò)在給定的減低氣壓中使得至放置在臺(tái)板上的基片的距離變得狹窄來(lái)提供基片之一，最后通過(guò)操作裝設(shè)在加壓板處用于去除粘合部件的多個(gè)去除機(jī)構(gòu)，粘合部件從層壓基片的表面去除。
使用裝設(shè)在真空腔體內(nèi)的加壓板以及放置在至所述加壓板某一距離相反位置處的臺(tái)板，液晶基片之一由多個(gè)粘合裝置支撐在所述加壓板處，且密封材料以環(huán)形涂敷在液晶基片上，其上液晶劑定量滴在由密封材料形成的封閉環(huán)形區(qū)域中的另一液晶基片被放置在所述臺(tái)板上，并被以負(fù)壓或粘合裝置支撐，真空腔體的內(nèi)部壓力降低，并在使兩個(gè)基片彼此定位之后，隨之通過(guò)使所述臺(tái)板和所述加壓板之間的距離變窄暫時(shí)層壓基片，然后把裝設(shè)在所述加壓板處的粘合裝置去除，最后液晶顯示設(shè)備完成，通過(guò)從基片之一分開(kāi)加壓板之后恢復(fù)真空腔體內(nèi)部對(duì)大氣壓的壓力使兩個(gè)基片牢固接觸。


從以下給出的本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例的詳細(xì)說(shuō)明及附圖，將更充分地理解本發(fā)明，然而它們不應(yīng)當(dāng)被看作是對(duì)本發(fā)明的限制，而僅是用于示例和理解。
這些圖中圖1是表示本發(fā)明的一實(shí)施例的基片組裝設(shè)備的示意剖視圖；圖2是粘附結(jié)合機(jī)構(gòu)一例的詳細(xì)視圖；圖3是層壓基片的流程圖；圖4是表示用于層壓上和下基片的過(guò)程的主要部件的剖視圖；圖5是用于表示通過(guò)粘附結(jié)合機(jī)構(gòu)進(jìn)行層壓操作的示意圖；圖6是用于表示由粘附結(jié)合機(jī)構(gòu)從基片表面去除操作的示意圖；圖7是表示在加壓板和臺(tái)板處裝設(shè)強(qiáng)化的粘附部件情形的一例的圖示；圖8是本發(fā)明另一實(shí)施例中基片層壓設(shè)備的一剖視圖；圖9是圖8中所示設(shè)備中層壓操作程序步驟的流程圖；圖10是表示形成真空腔體以用于施加圖8中所示基片層壓操作的狀態(tài)的圖示；圖11是表示從基片表面(液晶單元pc)去除圖8中所示粘附薄片過(guò)程的局部放大圖示；圖12是本發(fā)明另一實(shí)施例中粘附部件去除機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)圖。
具體實(shí)施例方式
以下將借助于根據(jù)本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例參照附圖詳細(xì)討論本發(fā)明。在以下的說(shuō)明中，要提供許多特別的細(xì)節(jié)以便提供對(duì)本發(fā)明徹底的理解。然而明顯的是，對(duì)于業(yè)內(nèi)專業(yè)人員來(lái)說(shuō)，本發(fā)明可在沒(méi)有這些細(xì)節(jié)的情況之下實(shí)施。有時(shí)，熟知的結(jié)構(gòu)沒(méi)有詳細(xì)示出以避免對(duì)理解本發(fā)明不必要的妨礙。
現(xiàn)在參照

本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例。圖1示出根據(jù)本發(fā)明的基片層壓設(shè)備一整體結(jié)構(gòu)。
圖1中，根據(jù)本發(fā)明的基片組裝設(shè)備100由下腔體T1和上腔體T2組成，且xyθ-方向驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)(未示出)裝設(shè)在下腔體T1之下。使用xyθ-方向驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，下腔體T1能夠在定義為左和右方向的x軸及與x方向垂直的y軸自由移動(dòng)。此外，使用θ-方向驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，其上裝有下基片的臺(tái)板4可在垂直平面上對(duì)于下腔體單元通過(guò)到真空密封的軸被驅(qū)轉(zhuǎn)。當(dāng)下基片1a安裝在臺(tái)板4上時(shí)，通過(guò)設(shè)在臺(tái)板4處的吸口7c施加抽吸操作。管路16a的一端連接到吸口7c，減壓(負(fù)壓)源通過(guò)閥門(未示出)連接到管路的另一端。所裝設(shè)的是這樣一種機(jī)構(gòu)，其使得下基片1a由這一負(fù)壓源提供的負(fù)壓被吸引到吸口7c。
上腔體T2通過(guò)裝設(shè)上腔體單元6及在其中安裝的加壓板7構(gòu)成，其中上腔體單元6和加壓板7能夠獨(dú)立地上下移動(dòng)。就是說(shuō)，上腔體單元6有一殼體8，其包括一直線襯套及內(nèi)部的真空密封，并由軸9導(dǎo)向，在垂直方向(在z-軸)由固定在框架10處的缸體11驅(qū)動(dòng)。加壓板7通過(guò)裝設(shè)在軸9處的驅(qū)動(dòng)設(shè)備(未示出)在垂直方向(z-軸方向)移動(dòng)。
上基片1b被吸引向裝設(shè)在加壓板7的下表面的吸口7d。管路16b的一端連接到吸口7d，一負(fù)壓源通過(guò)未示出的閥門連接到管路16b的另一端。在這一結(jié)構(gòu)中，通過(guò)從負(fù)壓源提供負(fù)壓，上基片1b被吸附到加壓板7上。
在xyθ-方向驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)上的下腔體部分T1直接在上腔體部分T2之下移動(dòng)，然后上腔體單元6向下移動(dòng)，該上腔體單元6的法蘭接觸到裝設(shè)在下腔體單元5周圍的O-環(huán)12。然后這些腔體單元結(jié)合為單個(gè)的單元作為真空腔體。裝設(shè)在下腔體單元5周圍的球軸承13用于調(diào)節(jié)在真空中的O-環(huán)12的彈性變形量，這可在水平和垂直的任意位置調(diào)節(jié)。球軸承13的位置被調(diào)節(jié)以便優(yōu)化O-環(huán)12的彈性變形量，以使得真空腔體內(nèi)部的壓力可保持在給定的減壓狀態(tài)，并可獲得最大彈性。通過(guò)降低腔體內(nèi)部的壓力產(chǎn)生的巨大的力由下腔體單元通過(guò)球軸承13支撐。由于這一結(jié)構(gòu)，當(dāng)層壓稍后將描述的上和下基片時(shí)，能夠易于通過(guò)在O-環(huán)12的彈性區(qū)域內(nèi)細(xì)調(diào)下腔體部分T1形成這些基片的精確定位。
殼體8具有內(nèi)置的真空密封以便可上下移動(dòng)，使得即使當(dāng)由連接上腔體單元6和下腔體單元5形成的真空腔體內(nèi)的壓力降低時(shí)上腔體單元變形，也不會(huì)出現(xiàn)壓力泄漏。由于這一結(jié)構(gòu)，由真空腔體變形造成的對(duì)軸9施加的壓力能夠被吸收，并一般能夠防止由軸9支撐的加壓板7的變形。這樣，上基片1b通過(guò)吸附部件18b被吸附到加壓板7的下表面，且由臺(tái)板4支撐的下基片1a能夠被層壓，同時(shí)能夠保持它們的水平狀態(tài)。加壓板7的上和下運(yùn)動(dòng)由安裝在軸9的上部分的驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)(未示出)執(zhí)行。
安裝在上腔體單元6表面的真空管路14通過(guò)未示出的真空閥門和軟管連接到負(fù)壓源。這些組件用來(lái)把真空腔體的內(nèi)部壓力降低到給定的壓力水平。裝設(shè)泄漏閥17是為了調(diào)節(jié)真空腔體內(nèi)的真空度(減壓水平)，以便在任意壓力水平增加壓力。氣體清洗閥和管路15連接到壓力源，諸如氮?dú)?N2)或清潔的干燥空氣，并用于把真空腔體內(nèi)部的壓力恢復(fù)到大氣壓。
安裝圖象識(shí)別攝相機(jī)22a和22b用于讀取裝設(shè)在上和下基片1a和1a上的定位標(biāo)記。用于圖象識(shí)別攝相機(jī)22a和22b的透明的觀察口23a和23b裝設(shè)在上腔體單元6中形成的孔6a和6b之上，以便建立真空密封防止空氣通過(guò)孔6a和6b流入腔體。在加壓板7上還設(shè)有小尺寸的孔7a和7b，圖象識(shí)別攝相機(jī)能夠通過(guò)孔7a和7b觀察在基片上形成的定位標(biāo)記。
以下參照?qǐng)D1和圖2，說(shuō)明支撐上基片1b及其驅(qū)動(dòng)部分的粘附部分的機(jī)構(gòu)。圖2展示了粘附和支撐結(jié)構(gòu)部分的詳細(xì)結(jié)構(gòu)。
如圖2中所示，在加壓板7或臺(tái)板4處設(shè)有開(kāi)口30，且具有粘附部件18的卡盒35安裝在轉(zhuǎn)軸33的一端部分的開(kāi)口30之內(nèi)，且這一卡盒可被更換。旋轉(zhuǎn)致動(dòng)器32裝設(shè)在轉(zhuǎn)軸33的另一端，且旋轉(zhuǎn)致動(dòng)器32固定在可活動(dòng)臺(tái)板36處。在垂直方向移動(dòng)的上和下驅(qū)動(dòng)軸38的一端連接到并固定在固定件37處，且用于在垂直方向驅(qū)動(dòng)的上和下致動(dòng)器裝設(shè)在上和下驅(qū)動(dòng)軸38的另一端。此外，連接到負(fù)壓源的腔體通路39裝設(shè)在加壓板7和臺(tái)板4內(nèi)部，并裝設(shè)多個(gè)吸口7d和7c以便從腔體通路39通向加壓板7和臺(tái)板4的表面。腔體通路39還連接到開(kāi)口30。
對(duì)于圖2所示的各致動(dòng)器31和32，符號(hào)“a”指定給與加壓板相關(guān)的致動(dòng)器，而符號(hào)“b”指定給與臺(tái)板相關(guān)的另一致動(dòng)器。響應(yīng)加壓板處的致動(dòng)器31b和32b的操作，粘附部件18b上下移動(dòng)并在開(kāi)口30b內(nèi)旋轉(zhuǎn)。軸33b由密封件33b密封以便直接在致動(dòng)器31b之下上下移動(dòng)并自由旋轉(zhuǎn)。開(kāi)口30b連接到腔體通路39b，并通過(guò)未示出的閥門連接到負(fù)壓源，這樣就建立了上基片1b能夠被吸附的結(jié)構(gòu)。替代如圖中所示在加壓板7內(nèi)彼此連接的開(kāi)口30b和吸口7d，允許這些部件通過(guò)在與基片接觸的加壓板7的表面上形成的用于在開(kāi)口30b和吸口7d之間連接的通道連接。
上基片1b能夠被這樣支撐，使得由于其粘附作用而與粘附部件18b牢固接觸，無(wú)需使上基片被吸附到加壓板7的下表面。在這種結(jié)構(gòu)中，為了支撐上基片1b以便其與下基片1a水平地相對(duì)，在指定的位置裝有多個(gè)粘附部件18b，相應(yīng)地對(duì)于上基片1b的大小和形狀有它們間隔和粘附區(qū)。
在這一實(shí)施例中，其中由于旋轉(zhuǎn)粘附部件18b的旋轉(zhuǎn)致動(dòng)器32以及由于垂直驅(qū)動(dòng)粘附部件的上下致動(dòng)器31是獨(dú)立裝設(shè)的，這允許具有它們的功能的單獨(dú)的致動(dòng)器可使用球形螺栓等配置。這一實(shí)施例中的致動(dòng)器能夠通過(guò)或者使用壓縮空氣或其它使用電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)實(shí)現(xiàn)。
如上所述，下基片1a通過(guò)一種結(jié)構(gòu)吸引和吸附，其中下基片連接到臺(tái)板4上的管路16a，閥門和負(fù)壓源(都未示出)。在該實(shí)施例中，粘附部件18a裝設(shè)在與用于加壓板7類似的結(jié)構(gòu)中。致動(dòng)器31a和32a安裝在設(shè)在臺(tái)板4處的多個(gè)開(kāi)口30a之下。粘附部件18a裝設(shè)在從致動(dòng)器31a和32a向上延伸的軸33a的頂端。通過(guò)致動(dòng)器31a和32a的操作粘附部件18a上下運(yùn)動(dòng)并在開(kāi)口10a內(nèi)旋轉(zhuǎn)。類似于軸33b的方式，軸33a由密封件34a密封，以便可在直接致動(dòng)器31a之下上下運(yùn)動(dòng)并旋轉(zhuǎn)。開(kāi)口30a連接到吸口7c，并通過(guò)未示出的閥門連接到管路16a和負(fù)壓源，這樣建立了上基片1a能夠被吸引和吸附的結(jié)構(gòu)。
為了穩(wěn)固地支撐下基片1a，還在臺(tái)板4上指定位置裝設(shè)粘附部件18a，相應(yīng)地對(duì)于上基片1a的大小和形狀有它們的間隔和粘附區(qū)。代替使用粘附部件18a用于在臺(tái)板4上固定下基片1a，允許使用機(jī)械針和輥軸。有合理的基本原理解釋為什么代替使用吸引和吸附裝置而由針和輥軸固定下基片1a；在降低腔體內(nèi)部壓力的過(guò)程中，由于當(dāng)腔體內(nèi)的真空度(減壓水平)超過(guò)吸引和吸附下基片1a所需的真空度(減壓水平)時(shí)所產(chǎn)生的壓差，下基片1a不能固定在臺(tái)板4上。為了解決這一問(wèn)題，本實(shí)施例中的機(jī)構(gòu)通過(guò)機(jī)械針與輥軸支撐下基片1a，以防止由于諸如來(lái)自設(shè)備本身的各種驅(qū)動(dòng)源、地板和負(fù)壓源等激勵(lì)源產(chǎn)生的振動(dòng)，或當(dāng)層壓上和下基片時(shí)與密封件和液晶板接觸產(chǎn)生的阻力引起下基片1a的位移。
以下參照?qǐng)D3到6，所要描述的是用于在根據(jù)本發(fā)明基片組裝設(shè)備中制造液晶顯示設(shè)備的過(guò)程。圖3示出層壓液晶基片操作的流程圖。圖4示出在各程序步驟設(shè)備操作狀態(tài)。圖5示出層壓基片中粘附和支撐機(jī)構(gòu)的操作。圖6是對(duì)于在最初層壓操作之后從基片表面去除粘附支撐機(jī)構(gòu)的操作的示意圖。
首先，使用機(jī)械手等把上液晶顯示基片1b傳送到加壓板7之下(步驟S1)。然后，通過(guò)向在加壓板7處形成的吸引和吸附口提供負(fù)壓，上液晶基片1b被吸引和吸附并支撐(步驟S2)。下液晶基片1a由機(jī)械手等傳送到臺(tái)板4之上(步驟S3)，并在對(duì)于臺(tái)板4定位下液晶基片之后，下液晶基片1a通過(guò)吸引和吸附操作被固定(步驟S4)。密封劑19涂敷在下液晶基片1a的上表面周圍上的閉環(huán)模樣中，且液晶劑20定量滴入封閉模樣中。在本實(shí)施例中，其中密封劑19提供在下液晶基片1a處，這允許把密封劑提供到上液晶基片或兩個(gè)液晶基片上。直到這一步驟的處理狀態(tài)示于圖4(a)。
接下來(lái)，下腔體部分T1移動(dòng)到對(duì)于上腔體部分T2的位置(步驟S5)。圖4(b)表示其中在xyθ-方向驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)之上的下腔體部分T1向上腔體部分T2正下方移動(dòng)，以及下液晶基片1a和上液晶基片1b彼此相對(duì)定位的狀態(tài)。如上所述，上液晶基片1b通過(guò)抽吸口7d對(duì)于加壓板7的吸引和吸附被支撐。此外，由于在這一結(jié)構(gòu)中開(kāi)口30b還連接到負(fù)壓源，上液晶基片也被吸引和吸附到開(kāi)口30b。這時(shí)，上液晶基片1b的表面和粘合部件18b如圖5(a)中所示彼此分離定位，并且粘合部件18b的粘合表面與上液晶基片1b之間的空隙處于指定的減壓(真空)狀態(tài)。從這種狀態(tài)開(kāi)始，如圖5(b)所示，通過(guò)致動(dòng)器31b的操作粘合部件18b向上液晶基片1b表面移動(dòng)并被吸引到上液晶基片1b(步驟S6)。這樣，當(dāng)把粘合部件18b吸引到上液晶基片1b時(shí)，由于用于吸引和吸附操作的真空管16b的作用，在開(kāi)口30b與基片表面之間形成的空隙處于壓力降低狀態(tài)。這樣，將可看到，即使通過(guò)降低真空腔體內(nèi)的壓力而在基片與粘合部件之間沒(méi)有滲透的空氣，也能建立起指定的粘合力。例如，在空氣于基片和粘合部件之間滲透而沒(méi)有降低開(kāi)口30b與基片表面之間的空隙中的壓力的情形下，使真空腔體內(nèi)部的壓力降低，基片與粘合部件之間的空隙膨脹。這造成粘合力減小，這不能使基片被吸引和被支撐。
這一操作還幾乎同時(shí)施加到下液晶基片1a與粘合部件18a之間(步驟S6)，其中下液晶基片1a以重力方向被定位在臺(tái)板4上，這允許下液晶基片可由機(jī)械針和輥軸支撐，而不是與粘合部件18a固定。
在這樣固定上和下基片1b和1a之后，上腔體單元6如圖4(c)由缸體1向下移動(dòng)，然后使上腔體單元6的法蘭接觸到配置在下腔體單元6周邊的O-環(huán)12，上和下腔體部件T1和T2整合為單體(步驟S7)。然后，腔體內(nèi)的空氣通過(guò)真空管路14被抽出。由于通過(guò)整合上腔體單元6和下腔體單元5形成的真空腔體內(nèi)的壓力降低，用于把上液晶基片1b吸引到加壓板7的壓力降低程度與真空腔體內(nèi)部壓力降低程度之間的差別變得比較小，因而由加壓板7產(chǎn)生的吸引和吸附力消失，同時(shí)因?yàn)橛烧澈喜考?8b支撐上液晶基片1b不會(huì)下落。
這種狀態(tài)下，由于空氣不會(huì)在粘合部件18b的粘合表面與上基片1b之間滲透，它們的固定狀態(tài)能夠保持而不會(huì)有粘合力的變化。這樣，就不會(huì)有由于減壓的過(guò)程中空氣的膨脹所導(dǎo)致的粘合力降低以及上液晶基片1b下落這樣的問(wèn)題。至于下液晶基片1a，其中粘合部件18a的粘合表面與下液晶基片1a彼此粘合固定，它們之間沒(méi)有任何滲入空氣，因而粘合力不會(huì)由于空氣的膨脹而降低，或不會(huì)發(fā)生上液晶基片1b的位移。
當(dāng)真空腔體內(nèi)部的壓力達(dá)到指定的真空度時(shí)，如圖6(a)所示，通過(guò)軸上的上下操作未示出的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，使加壓板7向下移動(dòng)，同時(shí)定位上和下基片1b和1a。上下驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的操作可產(chǎn)生強(qiáng)度足夠的施加的壓力，使得上液晶基片1b能夠牢固地與涂敷在下液晶基片1a的上表面周邊的封閉環(huán)模樣中的密封劑19接觸或壓擠，因而上和下壓擠基片1b和1a以指定的間隙被層壓(步驟S9)。圖6(a)示出這一狀態(tài)的放大圖示。在這一步驟，下液晶基片1a與上液晶基片1b以密封劑19被牢固地層壓。這樣，在這一機(jī)構(gòu)中，即使真空腔體內(nèi)部的壓力增加，封閉的密封模樣內(nèi)部的空間的氣密性仍能夠保持在一定的程度，因而空氣向最終的層壓液晶基片之間的滲透量變得非常小。
然后，如上所述，小量的空氣通過(guò)泄漏閥17被引入真空腔體，真空腔體內(nèi)部的壓力增加到指定的高于吸口7d內(nèi)部負(fù)壓的減壓水平，且上和下液晶基片的支撐由它們之間的壓差建立(步驟S10)。進(jìn)一步的定位操作使用這一支撐力進(jìn)行，且施加的壓力由加壓板7產(chǎn)生，并獲得指定的最終壓力(步驟S11)。這一操作是需要的，因?yàn)槿绻谏匣?b接觸密封劑19之后在加壓過(guò)程中不進(jìn)行附加的定位操作，可能由于當(dāng)加壓時(shí)液晶和密封劑的阻力基片被移位。
在定位基片時(shí)，通過(guò)在上腔體單元6上形成的觀察口23a和23b使用圖象識(shí)別攝相機(jī)22a和22b讀取在上和下基片上形成的定位標(biāo)記，并通過(guò)圖象處理來(lái)測(cè)量它們的位置，并最終通過(guò)操作在下腔體T1處未示出的xyθ-方向驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)進(jìn)行高精度定位。在這一細(xì)調(diào)中，上和下腔體單元6和5之間的間隙通過(guò)球形軸承13保持為指定的距離，使得O-環(huán)12不會(huì)過(guò)分變形并可建立指定的減壓水平。
當(dāng)在層壓基片之后從上和下液晶基片1b和1a去除粘合標(biāo)記18b和18a時(shí)，進(jìn)行如圖6(b)所示的進(jìn)一步的操作。對(duì)于上液晶基片1b，使致動(dòng)器32b在由箭頭所示的方向旋轉(zhuǎn)，并在扭轉(zhuǎn)粘合部件18b同時(shí)或之后操作致動(dòng)器31b，以從基片表面剝離粘合部件18b。對(duì)于下液晶基片1a，以類似的方式使致動(dòng)器32b在由箭頭所示的方向旋轉(zhuǎn)，并在扭轉(zhuǎn)粘合部件18a同時(shí)或之后操作致動(dòng)器31a，從基片表面剝離粘合部件18a(步驟S12)。這一扭轉(zhuǎn)操作對(duì)于較易于從液晶基片去除粘合部件是必要的手段。這一扭轉(zhuǎn)操作可在與圖6(b)所示相反的方向進(jìn)行。當(dāng)剝離粘合部件時(shí)，各開(kāi)口30a和30b周圍部件阻擋液晶基片1b和1a的移動(dòng)。這樣，這些扭轉(zhuǎn)操作和提升操作使能夠易于從液晶基片去除粘合部件。
接下來(lái)，通過(guò)打開(kāi)氣體清洗閥門15向真空腔體引入氮?dú)?N2)或清潔干燥的空氣來(lái)等凈化真空腔體的內(nèi)部，并使其內(nèi)部壓力恢復(fù)到大氣壓(步驟S13)，并通過(guò)釋放吸口7d對(duì)液晶基片的吸引操作，使加壓板7上移(步驟S14)。然后，上腔體單元6上移且下腔體單元T1移動(dòng)到其原始位置(圖4(a)所示)(步驟S15)，然后從臺(tái)板4抽出層壓?jiǎn)卧猵c(步驟S16)。層壓的上和下基片即單元pc的上和下表面由環(huán)境大氣壓均勻加壓，并且它們之間的間隙精確地達(dá)到指定的單元間隙。在以上程序步驟結(jié)束時(shí)，完成了對(duì)于基片的層壓操作。在基片之間的間隙在大氣壓中達(dá)到指定的單元間隙之后，通過(guò)對(duì)密封劑曝光使密封劑硬化而結(jié)束層壓工作。在完成機(jī)械加壓操作之后(完成步驟S12之后)對(duì)于通過(guò)曝光暫時(shí)固定密封劑有另一種方式。本實(shí)施例中，其中在移動(dòng)下腔體T1之后基片由粘合部件支撐，允許在移動(dòng)下腔體之前進(jìn)行這一操作。此外，至于從基片表面去除粘合部件的操作，允許在恢復(fù)真空腔體內(nèi)部壓力到大氣壓之后進(jìn)行這一操作。
本實(shí)施例中，如上所述，是在由加壓板完成加壓最后階段之后進(jìn)行去除加壓板處粘合部件的操作。另外還允許在基片不能由吸引和吸附操作支撐(只通過(guò)使粘合部件接觸基片被支撐)的狀態(tài)下，對(duì)基片施加初步的加壓操作之后，在從基片表面去除粘合部件之后使用加壓板最后施加的壓力與基片的定位一同施加，同時(shí)在通過(guò)增加腔體內(nèi)部的壓力由吸引和吸附操作支撐基片的狀態(tài)扭轉(zhuǎn)粘合部件。
以下參照?qǐng)D6和7，說(shuō)明本發(fā)明的另一實(shí)施例中液晶顯示設(shè)備的制造方法。
本實(shí)施例中，在與先前所述的實(shí)施例類似的方式把上和下液晶基片放到加壓板和臺(tái)板上之后，真空腔體內(nèi)部的壓力降低到指定的減壓水平。然后，如參照?qǐng)D6(a)所述，通過(guò)上下操作未示出的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)加壓板7在軸9上被向下移動(dòng)，同時(shí)定位上和下基片1b和1a。上液晶基片1b向下液晶基片1a移動(dòng)，直到它牢固接觸或壓擠涂敷在下壓擠基片1a的上表面周邊的封閉環(huán)模樣中的密封劑19。在先前所述的實(shí)施例中，在這一操作之后，真空腔體內(nèi)部的壓力增加到指定的高于吸口7d內(nèi)部負(fù)壓的減壓水平，并且上和下壓擠基片的支撐通過(guò)它們之間的壓差建立，最后，施加的壓力通過(guò)加壓板7產(chǎn)生，同時(shí)進(jìn)行定位操作并獲得指定的最后壓力。
然而本實(shí)施例中，沒(méi)有使用由于增加真空腔體內(nèi)部的壓力所導(dǎo)致的壓差。本實(shí)施例中，如圖7中所示，在加壓板7和與基片接觸的臺(tái)板的表面上局部形成具有較大摩擦系數(shù)的樹(shù)脂24或橡膠25材料。當(dāng)施加定位和加壓操作時(shí)，液晶基片1a和1b在垂直于加壓板7和臺(tái)板4的方向的滑動(dòng)由摩擦力阻止。由于這一結(jié)構(gòu)，在腔體內(nèi)部壓力沒(méi)有增加而是保持其減壓水平的狀態(tài)下，最后，施加的壓力由加壓板7產(chǎn)生，同時(shí)進(jìn)行定位操作并獲得指定的最終壓力。以上的樹(shù)脂24或橡膠25材料可在接觸加壓板和臺(tái)板的表面的整個(gè)表面區(qū)域上形成。為了簡(jiǎn)化說(shuō)明，吸口，開(kāi)口，粘合部件及其周圍區(qū)域在圖7中沒(méi)有示出。
當(dāng)粘合部件分別從層壓的上和下基片去除時(shí)以及此后的操作與先前所述的實(shí)施例相同。
本發(fā)明不限于以上所述實(shí)施例，而是還可按以下方式實(shí)現(xiàn)。
(1)在以上實(shí)施例的結(jié)構(gòu)中，粘合部件18b的粘合表面與上液晶基片1b可被層壓而在其中沒(méi)有空氣滲入。不使用這一結(jié)構(gòu)，而是允許用于吸引液晶基片的一個(gè)或多個(gè)吸引和吸附口也裝設(shè)在粘合部件18b的粘合表面，并在使粘合表面與液晶基片接觸并使用在大氣壓中的吸引吸附操作支撐這些組件之后，以便防止通過(guò)突然抽取粘合表面與基片之間當(dāng)在由粘合表面的吸引和吸附裝置在減壓的過(guò)程中產(chǎn)生的膨脹的空氣而使液晶基片脫落。這種情形下，使開(kāi)口30b連接到真空腔體內(nèi)部。該結(jié)構(gòu)對(duì)于下液晶基片1a與以上所述類似。此外，它允許開(kāi)口30b不連接到吸口7d，而是連接到另一負(fù)壓源。
(2)至于方法(1)的另一方式，它允許粘合部件18b的粘合表面在凹凸表面上形成，以防止當(dāng)在大氣壓中層壓基片時(shí)空氣停留在粘合表面的凸出部分中，并允許停留在粘合表面凸出部分和液晶基片之間的在減壓過(guò)程中產(chǎn)生的膨脹空氣突然從凹陷部分向真空腔體內(nèi)部釋放，以防止上液晶基片脫落。這種情形下，使開(kāi)口30b連接到真空腔體內(nèi)部。下液晶基片1a的結(jié)構(gòu)與以上所述相同。
(3)允許吸口功能通過(guò)在加壓板7或臺(tái)板4表面上形成的凹坑實(shí)現(xiàn)，以便使用在凹坑之間形成的通道吸引和吸附各液晶基片。
以下參照?qǐng)D8，將說(shuō)明本發(fā)明的另一實(shí)施例。
圖1中，包括多個(gè)粘合部件和驅(qū)動(dòng)部件的基片支撐機(jī)構(gòu)裝設(shè)在加壓板7或臺(tái)板4中。反之，圖8所示的結(jié)構(gòu)中，形成基片支撐機(jī)構(gòu)的粘合部件裝設(shè)在加壓板7和臺(tái)板4整個(gè)表面。此外，在這一結(jié)構(gòu)中，為了去除在加壓板7和臺(tái)板4整個(gè)表面上裝設(shè)的粘合部件，裝設(shè)了多個(gè)用于從基片去除粘合部件的粘合部件去除機(jī)構(gòu)，以便從粘合部件表面延伸并接觸到基片的表面。
以下將說(shuō)明本實(shí)施例中的基片支撐機(jī)構(gòu)。
本實(shí)施例中在臺(tái)板4處的基片支撐機(jī)構(gòu)包括鐵板41a和作為固定在并粘合在鐵板上的粘合部件的粘合薄片42a。在以下說(shuō)明中，基片支撐機(jī)構(gòu)還稱為層壓和支撐機(jī)構(gòu)。吸口7c裝設(shè)在鐵板4處，且這一吸口7c被裝設(shè)成使其通過(guò)鐵板41a及基片支撐機(jī)構(gòu)的粘合薄片42a連接。下基片1a加載到裝設(shè)在鐵板4上的基片支撐機(jī)構(gòu)。加載的下基片1a由在粘合薄片處形成的吸口7c吸引和吸附，并粘合固定在粘合薄片42a上。管路16a的一端連接到吸口7c，而管路另一端通過(guò)未示出的閥門連接到減壓(負(fù)壓)源。這一結(jié)構(gòu)中，下基片1a由負(fù)壓源提供的負(fù)壓被吸引和吸附到吸口7c。
先前所述的基片支撐機(jī)構(gòu)是通過(guò)把鐵板42a一端壓向裝設(shè)在臺(tái)板4表面一端的止動(dòng)器44a而定位的，并且其位置由壓力螺栓45a對(duì)鐵板41a的另一端通過(guò)裝設(shè)在臺(tái)板4的表面另一端上的支架44a加壓而保持。多個(gè)磁體43a裝設(shè)在臺(tái)板4的內(nèi)部，且鐵板41由磁力吸引并支撐。在這一結(jié)構(gòu)中，基片支撐機(jī)構(gòu)由磁體的磁力和加壓螺栓45a的力支撐在臺(tái)板4上。
用于加壓板的基片支撐機(jī)構(gòu)裝設(shè)在面向臺(tái)板4的加壓板7的表面。這一基片支撐機(jī)構(gòu)在其用于加壓板7的部分具有鐵板41b，其用于臺(tái)板側(cè)的部分類似于此，以及在其用于臺(tái)板4的部分具有粘合薄片42。
用于吸引和吸附操作的吸口7d裝設(shè)在加壓板7處，且吸口7d通過(guò)基片支撐機(jī)構(gòu)的鐵板41b和粘合薄片42b被連接。上基片1b被吸引和吸附到裝設(shè)在粘合薄片42b的下表面的吸口7d。管路16b的一端連接到這一吸口7d，且一負(fù)壓源通過(guò)未示出的閥門連接到管路16b的另一端。在這一結(jié)構(gòu)中，通過(guò)施加來(lái)自這一負(fù)壓源的負(fù)壓，上基片1b被吸引和吸附到粘合薄片42b的表面，并被粘合固定。
以類似于先前對(duì)于臺(tái)板4所述情形的方式，基片支撐機(jī)構(gòu)由配置在加壓板7內(nèi)的多個(gè)磁體43b，用于定位基片的止動(dòng)器44b，及加壓板7，通過(guò)用于對(duì)鐵板41b端面加壓的壓力螺栓45b經(jīng)過(guò)裝設(shè)在加壓板7處的支架46b定位并支撐。
多個(gè)去除機(jī)構(gòu)裝設(shè)在臺(tái)板4和加壓板7上，以便從基片的表面去除粘合薄片42a和42b。這些去除機(jī)構(gòu)包括壓力軸(壓力部件)48a和48b，及用于形成在垂直方向驅(qū)動(dòng)壓力軸的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的致動(dòng)器47a和47b。在這一結(jié)構(gòu)中，壓力軸48a和48b在其中移動(dòng)的開(kāi)口30a和30b連接到吸口7c和7d的流體通道，這樣可在開(kāi)口30a和30b處形成吸引和吸附力。替代如圖所示在加壓板7內(nèi)使開(kāi)口30b和吸口7d彼此連接，允許在與基片接觸的加壓板7的表面上形成用于橋接開(kāi)口30b和吸口7d的通道，以便使開(kāi)口30b和吸口7d彼此連接。在不施加通過(guò)開(kāi)口30b進(jìn)行吸引和吸附操作及加壓和分離操作的情形下，允許開(kāi)口30b延伸到加壓板7之外，而不是以密封件34b密封，以便使開(kāi)口30b內(nèi)的壓力等于腔體內(nèi)的壓力。
上基片1b能夠以其粘合行為牢固地被支撐在粘合薄片42b的下表面，而無(wú)需把基片吸引和吸附在加壓板7的下表面上。相應(yīng)于上基片1b的大小和形狀粘合薄片42b按它們的間隔和粘合面積裝設(shè)，使其水平地面向下基片1a來(lái)支撐上基片1b。在這一實(shí)施例中，下基片1a相對(duì)于以上所述的臺(tái)板4有相同的結(jié)構(gòu)。
以下將參照?qǐng)D9描述用于制造液晶顯示設(shè)備的過(guò)程。圖9示出層壓過(guò)程的流程圖。首先，使用機(jī)械手等把上液晶顯示基片1b裝入(步驟100)，并通過(guò)在加壓板7之下的粘合薄片42b處的粘合動(dòng)作和吸引與吸附操作被支撐(步驟S102)。在通過(guò)向吸口施加負(fù)壓使基片被吸引和吸附，并通過(guò)粘合薄片42b的粘合動(dòng)作使其被支撐時(shí)，由于用于吸引工件的負(fù)壓，空隙殘留在液晶基片和粘合薄片之間的可能性，與基片只由粘合動(dòng)作而沒(méi)有吸引和吸附操作的情形比較可被降低。在使液晶基片周圍區(qū)域的壓力降低同時(shí)在液晶基片與粘合薄片之間殘留有任何空隙的情形下，殘留在粘合薄片42b與上液晶基片1b之間的空隙可能膨脹，因而存在降低的粘合力引起上液晶基片1b脫落的潛在可能。在上述實(shí)施例中，與液晶基片接觸的粘合薄片表面是制成為平坦的。為了進(jìn)一步增加可靠性防止上液晶基片脫落，通過(guò)在粘合薄片表面上的區(qū)域中形成比液晶基片面積更寬的凹凸部分或通道，防止由于向粘合表面施加的負(fù)壓導(dǎo)致的殘留空隙的增長(zhǎng)，并可允許形成凹凸部分，使得即使可能出現(xiàn)殘留空隙并且由于周圍區(qū)域壓力降低該殘留的空隙可能膨脹，包含的空氣也可通過(guò)粘合表面的凸起部分釋放到基片之外。在用于實(shí)現(xiàn)這一結(jié)構(gòu)的一中方法中，在凸起表面形成用于吸引和吸附液晶基片的吸口。在用于實(shí)現(xiàn)這一結(jié)構(gòu)的的另一方法中，使對(duì)于凹凸部分以及各通道的區(qū)域稍微小于基片的外圍，并在凸起表面形成吸口以便從凸起表面抽取空氣，應(yīng)當(dāng)看到這能夠防止液晶基片脫落。這種情形下，在凸起表面上吸口的形成能夠更有效從凸起表面以及從凹陷表面吸取殘留在凸起表面中的膨脹的空氣。
下液晶基片1a也是由機(jī)械手等裝入(步驟S103)，并由粘合作用和真空吸附操作固定在位于臺(tái)板4之上的粘合薄片42a(步驟S104)。本實(shí)施例中，液晶劑20滴到下液晶基片上，且用于密封周圍區(qū)域的粘合劑19涂敷在下液晶基片上。由于存在著殘留在粘合薄片42a和下液晶基片1a之間空隙可能膨脹的可能，并在降低液晶基片周圍區(qū)域壓力情形時(shí)下液晶基片1a可能發(fā)生位移，因而以類似對(duì)于上液晶基片1b情形的方式在粘合薄片上形成凹凸部分和通道。由于下液晶基片1a在重力方向位于臺(tái)板4之上，因而允許以機(jī)械針和輥軸而不是使用粘合薄片42a固定下液晶基片1a。本實(shí)施例中，粘合劑19涂敷在下液晶基片1a上，這允許在上液晶基片1b上涂敷粘合劑19。
如圖8中所示，從步驟S104結(jié)束狀態(tài)開(kāi)始，在xy-方向驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)之上的下腔體部分T1移動(dòng)到上腔體部分T2正下方的位置(步驟S105)。下液晶基片1a和上液晶基片1b彼此面對(duì)，且缸體11使上腔體單元6向下移動(dòng)，上腔體單元6的法蘭接觸配置在下腔體單元5周圍的O-環(huán)12，且最后上和下腔體T1和T2合成為單體(步驟S106)。然后，腔體內(nèi)的壓力降低且排出的空氣從真空管路14導(dǎo)出(步驟S107)。在以上腔體單元6和下腔體單元5合成到一起形成為單體的真空腔體內(nèi)部的壓力降低時(shí)，用于在加壓板7處吸附上液晶基片1b的減壓水平與真空腔體內(nèi)減壓水平之間的差變小，然后在加壓板7處的吸引和吸附作用消失。然而，粘合薄片42粘合地支撐上液晶基片1b。這時(shí)，由于上述的凹凸面和通道在粘合薄片42b的粘合表面上形成，所以不會(huì)出現(xiàn)由于在壓力降低操作中空氣膨脹所導(dǎo)致的粘合力降低或上液晶基片1b脫落的問(wèn)題。此外，由于上述的凹凸面和通道還在用于下液晶基片1a的粘合薄片42a的粘合表面上形成，所以絕不會(huì)發(fā)生由于壓力降低操作中空氣膨脹所導(dǎo)致的下液晶基片1a的吸附力降低或移位。
現(xiàn)在真空腔體內(nèi)部的壓力達(dá)到指定的減壓水平，通過(guò)操作未示出的在軸9上的上和下驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)使加壓板7向下移動(dòng)，同時(shí)使上和下液晶基片1b和1a定位，然后以指定施加的壓力使上和下液晶基片1b和1a被層壓(步驟S108)。
在定位基片時(shí)，首先通過(guò)在上腔體單元6處形成的觀察口23a和23b以圖象識(shí)別攝相機(jī)22a和22b讀取在上和下液晶基片上形成的定位標(biāo)記。在圖象處理部件中，從攝相機(jī)發(fā)送的圖象信號(hào)被處理并估計(jì)定位標(biāo)記的位置，然后通過(guò)最后操作未示出的在下腔體T1處的xyθ-方向驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)進(jìn)行高精度定位。在這一細(xì)調(diào)中，上和下腔體單元6和5之間的間隙由球軸承13保持為指定的距離，以使得O-環(huán)12不會(huì)過(guò)分變形，并可建立指定的減壓水平。
在層壓基片之后，程序步驟進(jìn)入用于從上和下液晶基片即單元pc去除粘合部件42b和42a的操作。這一操作按圖10和11所示的過(guò)程進(jìn)行。圖10和圖11(a)示出在其內(nèi)部壓力降低的腔體中層壓基片之后的狀態(tài)。在這一狀態(tài)中，如圖所示，開(kāi)口30b和30a內(nèi)的壓力軸48b和48a(以下也稱為壓力針)定位于與單元pc的液晶基片1b和1a分開(kāi)。然后，如圖11(b)所示，對(duì)于形成單元pc的上液晶基片1b，通過(guò)操作致動(dòng)器47b使壓力軸48b在箭頭所示的方向移動(dòng)，并對(duì)被層壓的上液晶基片1b表面以指定的壓力水平加壓(步驟S109)，且加壓板在這一狀態(tài)被上移(步驟S110)。這時(shí)，用于壓力軸48b以指定的壓力對(duì)單元pc的上液晶基片1b下壓，因而能夠從上液晶基片1b去除粘合薄片42b(這一去除方法以下也稱為加壓去除)(步驟S111)。然后壓力軸48b被上移并設(shè)置在離開(kāi)上液晶基片1b之處(步驟S112)。然后，腔體內(nèi)的壓力恢復(fù)到大氣壓，且上腔體單元6上移(步驟S113)。通過(guò)上移下壓力軸48a能夠把其余的單元pc從粘合薄片42a去除(步驟S114)。最后，通過(guò)在水平方向移動(dòng)下腔體把層壓的液晶基片(液晶單元pc)移出(步驟S115)。
對(duì)于從單元pc的上液晶基片1b去除粘合薄片42b的步驟，以上實(shí)施例中所描述的是壓力去除過(guò)程，其中壓力軸48b對(duì)上液晶基片1b施加指定的壓力水平。另外，當(dāng)壓力軸48b下移并接觸到上液晶基片1b時(shí)還允許軸48b的停止位置被暫時(shí)固定，然后加壓板7上移，且壓力軸48b按等于上移加壓板7長(zhǎng)度的長(zhǎng)度被同步下移，以便去除粘合薄片而不改變它們的位置(這一去除方法以下也稱為位置固定去除)。
可以看到，如果在從單元pc的上基片1b以壓力軸48b的壓力操作去除粘合薄片42b之前，通過(guò)從吸口7d和開(kāi)口30b向上液晶基片1b的表面噴射正壓力空氣或氣體，使粘合薄片的表面局部地從粘合薄片42b和上液晶基片1b分開(kāi)，則只要推動(dòng)壓力軸48b而無(wú)需施加任何作用于上液晶基片額外的壓力，基片就能夠被去除。當(dāng)從粘合薄片42a去除單元pc下液晶基片1a時(shí)，可以看到，如果在以壓力軸48a的推動(dòng)操作之前，通過(guò)從吸口7c和開(kāi)口30a向下液晶基片1a的表面噴射正壓力空氣或氣體，使粘合薄片的表面局部地從粘合薄片42a和下液晶基片1a分離，則只要推動(dòng)壓力軸48a而無(wú)需施加任何作用于下液晶基片額外的壓力，基片就能夠被去除。在以上實(shí)施例中，其中粘合部件由單個(gè)的粘合薄片組成，這允許在被層壓的基片尺寸較大即加壓板7和臺(tái)板4較大的情形下，可在加壓板7和臺(tái)板4的表面上裝設(shè)多個(gè)分開(kāi)的粘合薄片。
此外，本實(shí)施例中，其中粘合機(jī)構(gòu)借助于帶有鐵板41和41b的臺(tái)板4裝設(shè)在加壓板7上，但允許裝設(shè)諸如塑料或陶瓷的板件而替代使用鐵板。這種情形下，需要在加壓板7和鐵板4處形成彈性機(jī)構(gòu)用于固定由塑料或陶瓷制成的板件。此外，本實(shí)施例中的粘合機(jī)構(gòu)還還可作為另一方法實(shí)現(xiàn)，其中粘合部件直接裝設(shè)在臺(tái)板或加壓板表面。
允許嵌入在加壓板7內(nèi)部的致動(dòng)器44b配置為用于驅(qū)動(dòng)多個(gè)壓力軸48b的單個(gè)單元。嵌入在臺(tái)板4中的致動(dòng)器44a可以類似的結(jié)構(gòu)配置。
以下參照?qǐng)D12將進(jìn)而描述本發(fā)明的另一實(shí)施例。
本實(shí)施例中，修改了用于從基片表面去除粘合部件的去除機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)。在本實(shí)施例的去除機(jī)構(gòu)中，其上裝有多個(gè)向加壓表面延伸的壓力針(壓力軸)48的針支撐板55(固定板)，與裝設(shè)在加壓板7的加壓面板7n上的壓簧支撐針56，壓簧54和針支撐板止動(dòng)器53配合，以便在加壓板7內(nèi)上下自由移動(dòng)。支撐板57裝設(shè)在針支撐板55之上(在與加壓面相對(duì)的表面)，并且使用推動(dòng)上液晶基片1表面的壓簧48，借助于支撐板57推動(dòng)由安裝在設(shè)置于驅(qū)動(dòng)加壓板的軸9處的驅(qū)動(dòng)板上的缸體50所膨脹的針支撐推動(dòng)軸51，從上液晶基片表面去除粘合部件42。風(fēng)箱58裝設(shè)在軸9的驅(qū)動(dòng)板與上腔體6之間，這使得即使降低了腔體內(nèi)的壓力，也能夠在腔體內(nèi)保持減壓狀態(tài)。此外，密封件52也裝設(shè)在針支撐板推動(dòng)軸51與上腔體單元6之間，它使得能夠保持腔體內(nèi)部的減壓狀態(tài)。
臺(tái)板4側(cè)有幾乎與加壓板側(cè)相同的結(jié)構(gòu)。與加壓板側(cè)不同在于，用作為上下移動(dòng)針支撐板推動(dòng)軸62的驅(qū)動(dòng)源的缸體60裝設(shè)在下腔體單元。雖然允許缸體50也可裝設(shè)在上腔體單元6處加壓板側(cè)，但對(duì)于針支撐板推動(dòng)軸51需要通過(guò)加壓板7的位移對(duì)其補(bǔ)償形成較大的行程，因?yàn)檫@種情形下加壓板7上下移動(dòng)。
如上所述，本實(shí)施例中，有這樣的優(yōu)越的效果，即對(duì)于各推動(dòng)針不需要裝設(shè)各驅(qū)動(dòng)源，并且設(shè)備的結(jié)構(gòu)得以簡(jiǎn)化。
如上所述，本實(shí)施例中，包括多個(gè)吸附孔的吸引和吸附機(jī)構(gòu)，以及具有在薄片內(nèi)形成的一粘合部件的粘合支撐機(jī)構(gòu)裝設(shè)在加壓板或臺(tái)板之一處，且基片被吸引和支撐以及在大氣壓中被粘合和支撐，即使吸引和吸附力在腔體內(nèi)減壓的過(guò)程中被降低基片也能由粘合力支撐，通過(guò)對(duì)基片以指定的減壓水平加壓使基片被層壓，最后，在層壓基片之后，使用包括裝設(shè)在加壓板和臺(tái)板處的多個(gè)推動(dòng)軸的去除機(jī)構(gòu)，從被層壓的基片的表面去除粘合部件。
如上所述，通過(guò)組合吸引力和粘合力兩者，可以看到，即使腔體的壓力降低也能夠支撐液晶基片而不會(huì)有位移，同時(shí)液晶基片在大氣壓下被支撐，且能夠形成高精度的層壓工件，并在層壓工件完成之后粘合部件能夠從液晶基片表面去除。
在以上說(shuō)明中，假設(shè)基片用于液晶顯示設(shè)備，但顯然本發(fā)明可用于等離子顯示器和電發(fā)光(EL)顯示設(shè)備的基片以及這些顯示設(shè)備的組裝過(guò)程。
根據(jù)本發(fā)明，可以看到，即使液晶基片的尺寸較大且其厚度較小，也能夠避免在真空處理環(huán)境中制造過(guò)程的故障，并且能夠以高精度層壓液晶基片雖然已經(jīng)就其示例性實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)行了解釋，專業(yè)人員應(yīng)當(dāng)理解，在不背離本發(fā)明的精神和范圍之下可以在這里或那里作出上述的及各種其他的變化，簡(jiǎn)化和添加。因而，本發(fā)明不應(yīng)當(dāng)理解為限制在以上提出的特定的實(shí)施例，而是包括對(duì)于在所附權(quán)利要求中提出的特征函蓋的范圍內(nèi)及其等價(jià)物能夠?qū)嵤┑乃锌赡艿膶?shí)施例。
權(quán)利要求
1.一種液晶顯示設(shè)備制造方法，其中待層壓的液晶基片之一由裝設(shè)在加壓板處的粘合與支撐機(jī)構(gòu)支撐，其上定量滴有液晶劑的待層壓的另一液晶基片被支撐在臺(tái)板上，且所述液晶基片彼此面向，所述液晶基片通過(guò)提供在所述液晶基片兩者之一處的粘合劑在減壓環(huán)境中以狹窄間隙層壓，其中所述液晶基片之一通過(guò)在大氣壓中施加吸引和吸附力被吸引和吸附；以及液晶基片通過(guò)在吸引和吸附狀態(tài)下操作所述粘合與支撐機(jī)構(gòu)由粘合部件支撐。
2.根據(jù)權(quán)利要求1的液晶顯示設(shè)備制造方法，其中在以裝設(shè)在所述加壓板處的粘合與支撐機(jī)構(gòu)的粘合部件支撐液晶基片之一，且以指定的施加壓力層壓兩片液晶基片之后，在扭轉(zhuǎn)所述粘合部件的同時(shí)或之后所述粘合部件從液晶基片表面被去除。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2的液晶顯示設(shè)備制造方法，其中兩片液晶基片在具有其指定的減壓水平的腔體內(nèi)被層壓，然后在在所述腔體內(nèi)通過(guò)對(duì)所述腔體內(nèi)部加壓形成大氣壓條件以使得吸引和吸附力可以起作用后，通過(guò)驅(qū)動(dòng)所述粘合與支撐機(jī)構(gòu)同時(shí)激活加壓力，所述粘合件從所述液晶基片表面被去除。
4.一種液晶顯示設(shè)備制造方法，其中待層壓的液晶基片之一由裝設(shè)在加壓板處的粘合與支撐機(jī)構(gòu)支撐，待層壓的另一液晶基片支撐在一臺(tái)板上，且所述液晶基片彼此面向，所述液晶基片通過(guò)提供在所述液晶基片兩者之一處的粘合劑在減壓環(huán)境中以狹窄間隙被層壓，其中基片之一由裝設(shè)在加壓板內(nèi)的一粘合裝置支撐；以及當(dāng)層壓兩片基片之后一粘合部件在加壓板內(nèi)被向后移動(dòng)時(shí)，在相對(duì)于一基片表面扭轉(zhuǎn)所述粘合部件的同時(shí)或此后所述粘合件被向后移動(dòng)。
5.根據(jù)權(quán)利要求4的液晶顯示設(shè)備制造方法，其中在對(duì)所述兩片基片層壓的過(guò)程中，在把腔體內(nèi)部減壓到指定減壓水平之后，操作所述減壓板，并通過(guò)壓擠提供在所述基片任何之一上的粘合劑層壓所述兩片基片，然后增加所述腔體內(nèi)部的壓力直到達(dá)到能夠通過(guò)吸引和吸附來(lái)支撐所述基片所需的減壓水平，在吸引和吸附狀態(tài)觀察定位標(biāo)記，然后在定位的同時(shí)加壓板施加所施加的壓力，直到獲得指定的壓力施加水平，接下來(lái)所述粘合部件被扭轉(zhuǎn)并向后移動(dòng)。
6.一種基片組裝設(shè)備，包括用于支撐待層壓的液晶基片之一的加壓板，裝設(shè)在所述加壓板處的粘合與支撐機(jī)構(gòu)，以及支撐待層壓的另一液晶基片的臺(tái)板，其中具有由裝設(shè)在所述加壓板或臺(tái)板至少之一的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)形成的基片之間的間隙，且所述基片在減壓的氣氛中以提供在所述基片至少之一處的粘合劑被層壓，其中多個(gè)吸口被裝設(shè)在所述加壓板處用于以負(fù)壓支撐基片；以及從所述吸口到開(kāi)口連接的氣流通道，其中所述粘合和支撐機(jī)構(gòu)的粘合部件。
7.根據(jù)權(quán)利要求6的基片組裝設(shè)備，其中所述粘合和支撐機(jī)構(gòu)具有用于支撐基片的粘合部件，以及用于從基片表面扭轉(zhuǎn)和后移所述粘合部件的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)。
8.根據(jù)權(quán)利要求6或7的基片組裝設(shè)備，其中所述粘合與支撐機(jī)構(gòu)還裝設(shè)在所述臺(tái)板處。
9.一種液晶顯示設(shè)備制造方法，其中待層壓的液晶基片之一由一加壓板支撐，其上定量滴有液晶劑的待層壓的另一液晶基片被支撐在一臺(tái)板上，且所述液晶基片彼此面向，所述液晶基片通過(guò)提供在所述液晶基片兩者之一處的粘合劑在真空壓力中以狹窄間隙被層壓，其中所述液晶基片之一由裝設(shè)在所述加壓板處以便可拆卸的粘合部件支撐，并且在層壓兩片液晶基片之后，通過(guò)從所述加壓板延伸至少一個(gè)或多個(gè)推動(dòng)部件以便推動(dòng)所述液晶基片，所述粘合部件從液晶基片去除。
10.根據(jù)權(quán)利要求9的液晶顯示設(shè)備制造方法，其中所述另一液晶基片由裝設(shè)在所述臺(tái)板處的粘合部件支撐，在層壓兩片液晶基片之后，通過(guò)向液晶基片表面延伸至少一個(gè)或多個(gè)裝設(shè)在所述臺(tái)板處的推動(dòng)部件以便推動(dòng)所述液晶基片，所述粘合部件從一液晶基片被去除。
11.一種基片組裝設(shè)備，其中基片之一被支撐在一真空腔體的上部區(qū)域，另一待層壓基片被支撐在真空腔體的下部區(qū)域，且兩片基片彼此面對(duì)，使用提供在兩片基片至少之一處的粘合劑并在減壓氣氛中使兩片基片間的間隙變窄來(lái)層壓兩片基片，包括一粘合與支撐機(jī)構(gòu)，其具有以薄片形式構(gòu)成的粘合部件，以便添加到所述加壓板并從該加壓板上去除；以及一去除機(jī)構(gòu)，包括一基片推動(dòng)軸，用于從由所述粘合和支撐機(jī)構(gòu)支撐的基片表面去除所述粘合部件，以及一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，用于驅(qū)動(dòng)所述基片推動(dòng)軸。
12.根據(jù)權(quán)利要求11的基片組裝設(shè)備，其中所述臺(tái)板包括所述粘合與支撐機(jī)構(gòu)，且去除機(jī)構(gòu)包括基片推動(dòng)軸和用于驅(qū)動(dòng)所述推動(dòng)軸的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)。
13.根據(jù)權(quán)利要求11或12的基片組裝設(shè)備，其中所述粘合和支撐機(jī)構(gòu)是其中粘合部件被結(jié)合到一鐵板上的結(jié)構(gòu)，且支撐作用是通過(guò)裝設(shè)在所述加壓板或所述臺(tái)板處的磁體建立的。
14.根據(jù)權(quán)利要求11或12的基片組裝設(shè)備，其中在所述粘合與支撐機(jī)構(gòu)中所述去除機(jī)構(gòu)的基片推動(dòng)軸可移動(dòng)的部分處設(shè)有滲透孔。
15.根據(jù)權(quán)利要求11的基片組裝設(shè)備，其中用于吸引和吸附操作的吸口裝設(shè)在所述加壓板處，并在所述粘合與支撐機(jī)構(gòu)處設(shè)有用于吸引和吸附操作的滲透孔，以便連續(xù)地連接到用于在基片上吸引操作的與所述吸口相關(guān)的表面，并且裝設(shè)一粘合部件以便從所述滲透孔向外延伸。
16.根據(jù)權(quán)利要求11的基片組裝設(shè)備，其中所述去除機(jī)構(gòu)包括裝設(shè)有多個(gè)推動(dòng)軸的固定板和用于驅(qū)動(dòng)所述固定板的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)。
全文摘要
基片之一通過(guò)吸引和吸附操作及裝設(shè)在加壓板內(nèi)的粘合裝置支撐；其上滴有液晶劑的另一基片通過(guò)吸引和吸附操作或通過(guò)粘合裝置被支撐在一臺(tái)板上，腔體內(nèi)的壓力被降低直到獲得指定的減壓水平，然后在使基片牢固接觸位于下面的另一基片上的粘合劑之后增加壓力，且各基片由加壓板和臺(tái)板吸引和吸附，在定位基片的同時(shí)基片被層壓，然后當(dāng)后移在加壓板或臺(tái)板中的粘合裝置時(shí)，在扭轉(zhuǎn)粘合部件的同時(shí)或之后從基片表面去除粘合部件。
文檔編號(hào)G02F1/1341GK1455287SQ0312043
公開(kāi)日2003年11月12日 申請(qǐng)日期2003年3月14日 優(yōu)先權(quán)日2002年3月14日
發(fā)明者八幡聡, 今泉潔, 遠(yuǎn)藤政智, 山本立春 申請(qǐng)人:日立產(chǎn)業(yè)有限公司, 夏普株式會(huì)社