專利名稱：制作液晶顯示器的方法
本申請要求2002年2月5日申請的第P2002-6414號(hào)韓國專利申請的權(quán)益，該申請?jiān)诒旧暾堉幸砸玫男问郊右越Y(jié)合。
LCD已最廣泛地作為移動(dòng)式顯示器使用，這種顯示器由于具有極好的圖像質(zhì)量、重量輕、外形薄和低能耗等特性和優(yōu)點(diǎn)而取代了CRT(陰極射線管)。除了移動(dòng)式LCD，例如筆記本電腦的監(jiān)視器之外，還開發(fā)了適用于計(jì)算機(jī)監(jiān)視器和電視機(jī)的LCD以便接收和顯示廣播信號(hào)。
盡管對在不同領(lǐng)域中作為顯示器使用的LCD進(jìn)行了各種技術(shù)開發(fā)，但是在為了提高作為顯示器的LCD圖像質(zhì)量的研究中，其某些方面與LCD很多方面的特性及優(yōu)點(diǎn)不相符。因此，為了把不同領(lǐng)域中的LCD作為普通顯示器使用，開發(fā)LCD的關(guān)鍵取決于LCD能否實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量圖像，例如高分辨率，高亮度和大尺寸屏幕，同時(shí)使LCD重量輕，外形薄和能耗低。
LCD設(shè)有顯示圖象的液晶顯示板，和向液晶顯示板提供驅(qū)動(dòng)信號(hào)的驅(qū)動(dòng)部分，其中液晶顯示板具有相互粘接的第一和第二玻璃基板，基板之間留有間隙，而且在第一和第二玻璃基板之間注入液晶。
在第一玻璃基板(TFT陣列基板)上，設(shè)有多條沿第一方向以固定間隔布置的柵極線，多條沿垂直于柵極線的第二方向以固定間隔布置的數(shù)據(jù)線，與在柵極線和數(shù)據(jù)線交叉點(diǎn)上形成的像素區(qū)相對應(yīng)并布置成矩陣的多個(gè)像素電極，可根據(jù)柵極線上的信號(hào)進(jìn)行開或關(guān)以便將數(shù)據(jù)線上的信號(hào)傳送給像素電極的多個(gè)薄膜晶體管。
第二玻璃基板(濾色器基板)包括把光與除像素區(qū)之外的部分隔開的黑底層(black matrix)，表現(xiàn)色彩的紅、綠、藍(lán)濾色層，和形成圖像的公用電極。
上述第一和第二基板由襯墊料隔開，并通過密封劑粘接，在密封劑上留有注射液晶的注入口，通過該注入口可注入液晶。
將相互粘接的兩個(gè)基板之間的間隙抽真空，然后將液晶注入口浸入液晶中，從而借助毛細(xì)管現(xiàn)象將液晶注入到間隙中。將液晶注入后，用密封劑將液晶注入口密封。
然而，現(xiàn)有技術(shù)中用于制造灌注液晶的LCD的方法存在以下問題。
首先，現(xiàn)有技術(shù)的方法生產(chǎn)效率低，這是因?yàn)?，在為灌注液晶而將基板切割成單元板后，需要在使兩個(gè)基板之間的間隙保持真空狀態(tài)的同時(shí)，將液晶注入口浸入液晶中，這要花費(fèi)很多時(shí)間。
第二，液晶注入，特別是大尺寸LCD的液晶注入容易引起液晶在顯示屏板中灌注不完整，這會(huì)導(dǎo)致產(chǎn)生有缺陷的液晶顯示屏板。
第三，復(fù)雜和很長的制作過程需要有很多液晶注入裝置，由此而占據(jù)了大量空間。
因此，最近正在研究用液晶滴加法來制作LCD的方法。日本的公開專利文獻(xiàn)第2000-147528號(hào)披露了下述液晶滴加方法。
下面將說明現(xiàn)有技術(shù)中用上述液晶滴加法制作LCD的方法。

圖1A-1F所示的剖面圖表示現(xiàn)有技術(shù)中制作LCD方法的步驟。
參見圖1A，將UV密封劑1涂敷在形成有薄膜晶體管陣列的第一玻璃基板3上，涂敷厚度約為30微米(μm)，并將液晶2滴加到密封劑1的內(nèi)側(cè)(薄膜晶體管陣列部分)。在密封劑1中不設(shè)置液晶注入口。
將第一玻璃基板3安裝在真空容器‘C’內(nèi)可沿水平方向移動(dòng)的工作臺(tái)4上，并通過第一吸附器5對第一玻璃基板3的整個(gè)底表面進(jìn)行真空吸附而使其固定。
參見圖1B，通過用第二吸附器7進(jìn)行的真空吸附將帶有濾色器陣列的第二玻璃基板6的整個(gè)底表面固定，將真空容器‘C’封閉并抽真空。使第二吸附器7沿垂直方向向下移動(dòng)，直到第一和第二玻璃基板3和6之間的間隙達(dá)到1毫米(mm)時(shí)為止，而工作臺(tái)4帶著其上的第一玻璃基板3沿水平方向移動(dòng)，將第一和第二玻璃基板3和6預(yù)對齊。
參見圖1C，第二吸附器7向下移動(dòng)到使第二玻璃基板6與液晶2或密封劑1接觸。
參見圖1D，帶有第一玻璃基板3的工作臺(tái)4沿水平方向移動(dòng)使得第一和第二玻璃基板3和6對齊。
參見圖1E，第二吸附器7向下移動(dòng)到使第二玻璃基板6和第一玻璃基板3通過密封劑1粘接，并下壓到使第二玻璃基板6和第二玻璃基板3之間的間隙達(dá)到5微米。
參見圖1F，從真空容器‘C’中取出預(yù)粘接的第一和第二玻璃基板3和6，用UV射線照射密封劑，使密封劑1固化，由此便完成了LCD的制作。
然而，上述現(xiàn)有技術(shù)中采用液晶滴加法制作LCD的方法存在以下問題。
首先，在兩個(gè)基板粘接之前，在同一基板上涂敷密封劑和滴加液晶需要很長的制作時(shí)間周期。
第二，在向第一基板涂敷密封劑和滴加液晶時(shí)，在第二基板上沒有動(dòng)作，從而使得第一和第二基板之間的制作工藝不平衡，這意味著生產(chǎn)線的工作效率很低。
第三，由于在第一基板上涂敷密封劑和滴加液晶，所以不能用超聲清洗器(USC)清洗第一基板。因此，由于不能清洗粘接兩個(gè)基板的密封劑，所以也就無法清除會(huì)引起粘接時(shí)與密封劑不良接觸的微粒。
本發(fā)明的目的是提供一種采用液晶滴加法制作LCD的方法，該方法能夠縮短制作的時(shí)間周期和最大限度地提高效率，從而提高生產(chǎn)率。
本發(fā)明的其它特征和優(yōu)點(diǎn)將在下面的說明中給出，其中一部分特征和優(yōu)點(diǎn)可以從說明中明顯得出或是通過本發(fā)明的實(shí)踐而得到。通過在文字說明部分、權(quán)利要求書以及附圖中特別指出的結(jié)構(gòu)，可以實(shí)現(xiàn)和獲得本發(fā)明的目的和其它優(yōu)點(diǎn)。
為了得到這些和其它優(yōu)點(diǎn)并根據(jù)本發(fā)明的目的，作為概括性的和廣義的描述，本發(fā)明所述的制作LCD的方法包括以下步驟(a)把滴加了液晶的第一基板和涂敷有密封劑的第二基板放到粘接室中，(b)借助可變壓力粘接第一和第二基板，和(c)取出經(jīng)粘接的第一和第二基板。
步驟(a)優(yōu)選包括的步驟有(aa)將第一基板和第二基板分別吸附到粘接室內(nèi)的下工作臺(tái)和上工作臺(tái)上，(ab)使粘接室內(nèi)的基板接受裝置與第二基板的底表面相接觸，(ac)將粘接室抽真空，和(ad)通過靜電吸盤(ESC)把第一和第二基板分別固定到工作臺(tái)上。
步驟(ac)優(yōu)選包括兩個(gè)階段的抽真空。
步驟(ac)優(yōu)選包括將第一基板和第二基板分別吸附到粘接室內(nèi)的下工作臺(tái)和上工作臺(tái)上之后進(jìn)行的第一抽真空步驟，和在基板接受裝置與第二基板接觸后進(jìn)行的第二抽真空步驟。
步驟(ad)優(yōu)選包括當(dāng)帶有導(dǎo)電層的基板表面面對工作臺(tái)時(shí)，施加0.1-1KV電壓的步驟，和當(dāng)帶有導(dǎo)電層的基板表面不面對工作臺(tái)時(shí)，施加3-4KV電壓的步驟。
步驟(aa)優(yōu)選包括的步驟有將第二基板放到粘接室中，使涂有密封劑的部分面向下，將上工作臺(tái)向下移動(dòng)到第二基板，通過上工作臺(tái)真空吸附第二基板，和向上移動(dòng)上工作臺(tái)，并將第一基板放到下工作臺(tái)上。
也可以不采用步驟(aa)，而是優(yōu)選通過ESC將第一和第二基板分別固定到下工作臺(tái)和上工作臺(tái)上。
步驟(ab)優(yōu)選包括的步驟有向下移動(dòng)上工作臺(tái)使第二基板與基板接受裝置相接觸。
步驟(ab)優(yōu)選包括的步驟有向上移動(dòng)基板接受裝置使基板接受裝置與第二基板相接觸。
步驟(ab)優(yōu)選包括的步驟有將第二基板向下放到基板接受裝置上。
步驟(ac)優(yōu)選包括的步驟有將真空室抽真空，使之在IPS模式下的真空度達(dá)到1.0×10-3Pa-1Pa，和在TN模式下達(dá)到1.1×10-3Pa-102Pa。
步驟(a)優(yōu)選包括的步驟有通過ESC把第一基板和第二基板分別固定到粘接室中的下工作臺(tái)和上工作臺(tái)上，并將粘接室抽真空。
步驟(a)優(yōu)選包括的步驟有把滴加了液晶的第一基板放到粘接室中的下工作臺(tái)上，并把涂敷了密封劑的第二基板放到粘接室的上工作臺(tái)上。
步驟(b)優(yōu)選包括的步驟有移動(dòng)上工作臺(tái)或是下工作臺(tái)進(jìn)行粘接。
工作臺(tái)優(yōu)選以固定的速度移動(dòng)，直到達(dá)到兩個(gè)基板相互接觸的時(shí)間點(diǎn)時(shí)為止，而且在兩個(gè)基板接觸后，工作臺(tái)以可變速度移動(dòng)。
步驟(b)優(yōu)選包括的步驟有利用多個(gè)軸向上工作臺(tái)施壓。
步驟(b)優(yōu)選包括的步驟有使上工作臺(tái)向下移動(dòng)并利用多個(gè)軸向基板施壓，所述多個(gè)軸中的每個(gè)軸都具有各自的測力傳感器(load cell)，以便獨(dú)立施壓。
第一基板優(yōu)選包括薄膜晶體管陣列，而第二基板包括濾色器陣列。
優(yōu)選的是，采用滴加法制作LCD的方法進(jìn)一步包括在步驟(a)之前清洗第二基板的步驟。
清洗優(yōu)選用超聲清洗器USC進(jìn)行。
在步驟(b)的至少兩個(gè)階段優(yōu)選使用不同壓力。
優(yōu)選的是，第一階段的壓力是0.1ton或高于0.1ton，而第二階段的壓力是0.3ton或高于0.3ton。
步驟(b)優(yōu)選包括的步驟有以0.1ton的壓力向兩個(gè)玻璃基板施壓，直到兩個(gè)基板相互接觸，然后在中間階段的壓力為0.3ton，在結(jié)尾階段的壓力為0.4ton，在最后階段的壓力為0.5ton。
很顯然，上面的一般性描述和下面的詳細(xì)說明都是示例性和解釋性的，其意在對本發(fā)明的權(quán)利要求作進(jìn)一步解釋。
附圖中圖1A-1F所示的剖面圖示意性地表示現(xiàn)有技術(shù)中用液晶滴加法制作LCD的方法步驟；
圖2所示的流程圖示意性地表示按照本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例所述制作LCD的方法步驟；圖3A-3E所示的剖面圖示意性地表示按照本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例所述制作LCD的方法步驟；和圖4所示的流程圖表示本發(fā)明的粘接步驟。
在第一玻璃基板11上設(shè)置多個(gè)面板(panel)，并在每個(gè)面板上形成薄膜晶體管陣列(11S)，和在第一玻璃基板11的整個(gè)表面上形成第一取向膜并進(jìn)行摩擦(12S)。
在第二玻璃基板13上設(shè)置與第一玻璃基板11上的面板相對應(yīng)的多個(gè)面板，并在帶有黑底層、濾色層、公用電極等的每個(gè)面板上形成濾色器陣列(15S)，在第二基板13的整個(gè)表面上形成第二取向膜并進(jìn)行摩擦(16S)。
分別清洗所形成的第一和第二玻璃基板11和13(13S和17S)。
參見圖3A，將液晶12滴加到經(jīng)清洗的第一玻璃基板11上(14S)。在經(jīng)清洗的第二玻璃基板13上形成銀點(diǎn)(18S)，再在其上涂敷密封劑(19S)。
將第一和第二玻璃基板11和13放到真空粘接室10中進(jìn)行粘接，使得面板中均勻地充滿滴加的液晶，然后，將密封劑固化(20S)。
把粘接的第一和第二玻璃基板11和13切割成單塊面板(21S)。
對面板進(jìn)行拋光和檢查，從而完成LCD的制作(22S)。
下面將更詳細(xì)地說明粘接工藝。圖4所示流程圖表示了本發(fā)明的粘接步驟。
粘接工藝包括的步驟有把兩塊基板放到真空粘接室中，粘接兩塊基板，從真空室中取出經(jīng)粘接的兩塊基板。
在放置基板之前，在超聲清洗器(USC)中清洗涂有密封劑的第二玻璃基板13，以便除去在制作期間形成的微粒。也就是說，由于在第二玻璃基板13上沒有滴加液晶，而是涂敷密封劑和銀點(diǎn)，所以可以清洗第二玻璃基板13。
參見圖3B，在放置步驟中，把涂有密封劑14的第二玻璃基板13吸附和固定到真空粘接室10內(nèi)的上工作臺(tái)15上，使涂有密封劑的部分面向下(31S)，并將滴加了液晶12的第一玻璃基板11吸附和固定到真空室10內(nèi)的下工作臺(tái)16上(32S)。使真空粘接室10處于準(zhǔn)備狀態(tài)。
下面將進(jìn)行更加詳細(xì)的說明。
借助機(jī)器人(未示出)的拿取器夾住涂有密封劑14的第二玻璃基板13，使涂有密封劑14的部分面向下，并且將其送入真空粘接室10中。在這種狀態(tài)下，使真空粘接室10中的上工作臺(tái)15向下移動(dòng)，吸附和固定第二玻璃基板13，然后向上移動(dòng)。也可以不用真空吸附，而代之以使用靜電吸附。
然后，使機(jī)器人的拿取器移出真空粘接室10，并通過機(jī)器人的拿取器將滴加了液晶12的第一玻璃基板11放在真空粘接室10中的下工作臺(tái)16上。
盡管以上表明的是將液晶12滴加在帶有薄膜晶體管陣列的第一玻璃基板11上，將密封劑涂敷在第二玻璃基板13上，但是也可以將密封劑涂敷在第一玻璃基板11上，而將液晶滴加在第二基板上，或是在兩個(gè)玻璃基板中的一個(gè)上既滴加液晶又涂敷密封劑，只要滴加了液晶的一個(gè)基板位于下工作臺(tái)上，而另一個(gè)基板位于上工作臺(tái)上即可。
在將第一和第二基板真空吸附到下工作臺(tái)和上工作臺(tái)上之后，可以將第一和第二基板對齊。
然后，使基板接受裝置(未示出)與第二玻璃基板13的底表面相接觸(33S)。通過下述方法使基板接受裝置與第二基板的底表面相接觸。
首先，通過向下移動(dòng)上工作臺(tái)或向上移動(dòng)基板接受裝置使得第二玻璃基板和基板接受裝置彼此靠近。然后，上工作臺(tái)15釋放第二玻璃基板13使得第二玻璃基板13的底表面與基板接受裝置相接觸。
第二，首先使上工作臺(tái)向下移動(dòng)一定距離，然后使基板接受器向上移動(dòng)，使第二玻璃基板13和基板接受裝置彼此靠近。隨后，上工作臺(tái)15釋放第二玻璃基板13，使第二玻璃基板13的底表面與基板接受裝置相接觸。
第三，通過向下移動(dòng)上工作臺(tái)和向上移動(dòng)基板接受裝置，或是首先向下移動(dòng)上工作臺(tái)，然后在上工作臺(tái)吸附第二玻璃基板的狀態(tài)下向上移動(dòng)基板接受裝置使得第二玻璃基板13和基板接受裝置彼此靠近。
使基板接受裝置位于第二玻璃基板13的下側(cè)，以便防止吸附在上工作臺(tái)上的第二玻璃基板因喪失工作臺(tái)的吸附力而從上工作臺(tái)上掉下并落到第一玻璃基板11上，所述工作臺(tái)吸附力喪失是在工作臺(tái)15和16分別真空吸附第一和第二玻璃基板的狀態(tài)下對真空粘接室10抽真空的過程中，真空粘接室的真空度高于工作臺(tái)的真空度時(shí)而導(dǎo)致的。
因此，可以在對真空粘接室抽真空之前將吸附在上工作臺(tái)上的第二玻璃基板13向下放到基板接受裝置上，或者使吸附有第二玻璃基板的上工作臺(tái)和基板接受裝置處在一定距離上，從而在對真空室抽真空時(shí)，實(shí)際上將第二玻璃基板13從上工作臺(tái)放到基板接受裝置上。此外，在開始對真空粘接室抽真空時(shí)，如果真空室在起始階段可能存在使基板抖動(dòng)的氣流，則可以另外設(shè)置用于固定基板的裝置。
對真空粘接室10抽真空(34S)。盡管與將要粘接的液晶模式有關(guān)，但是真空粘接室10內(nèi)的真空度范圍在IPS模式下為1.0×10-3Pa-1Pa，而在TN模式下為1.1×10-3Pa-102Pa。
對真空粘接室10抽真空可以分兩個(gè)階段進(jìn)行。也就是說，在將基板吸附到上下工作臺(tái)上之后，將真空室的門關(guān)閉，開始對真空粘接室進(jìn)行第一次抽真空。然后，在將基板接受裝置移到第二玻璃基板下方并將吸附在上工作臺(tái)上的基板向下放到基板接受裝置上之后，或是在上工作臺(tái)吸附第二玻璃基板的狀態(tài)下使基板接受裝置移到第二玻璃基板下方之后，開始對真空粘接室進(jìn)行第二次抽真空。在這種情況下，第二次抽真空進(jìn)行的比第一次抽真空快，并且在第一次抽真空時(shí)使得真空粘接室中的真空度不高于上工作臺(tái)的真空吸附力。
或者，不將抽真空分成第一次和第二次，而是在將基板吸附到相應(yīng)的工作臺(tái)上并關(guān)閉真空室的門之后，開始以固定的速率抽真空，并在抽真空期間將基板接受裝置移到固定在上工作臺(tái)15上的第二玻璃基板13的下側(cè)。將基板接受裝置移到第二玻璃基板13下側(cè)的時(shí)間要求在真空粘接室的真空度高于上工作臺(tái)的真空吸附力之前。
分兩個(gè)階段對真空粘接室抽真空，可防止因?qū)φ婵照辰邮铱焖俪檎婵斩鴮?dǎo)致真空粘接室內(nèi)的基板出現(xiàn)變形或抖動(dòng)。
一旦將真空粘接室10抽成真空后，上下工作臺(tái)15和16可通過ESC(靜電吸盤)分別固定第一和第二玻璃基板11和13(35S)，將基板接受裝置移到起始位置(36S)，由此，便完成了放置工序。
用ESC進(jìn)行的吸附是通過向兩個(gè)或多于兩個(gè)形成在工作臺(tái)上的平板電極施加負(fù)/正DC電壓實(shí)現(xiàn)的。即，當(dāng)將正電壓或負(fù)電壓施加到平板電極上時(shí)，在工作臺(tái)上將感應(yīng)出負(fù)電荷或正電荷，從而通過在基板上的導(dǎo)電層(透明電極，例如公用電極或像素電極)和工作臺(tái)之間產(chǎn)生的庫侖力吸附基板。當(dāng)帶有導(dǎo)電層的基板表面面對工作臺(tái)時(shí)，向平板電極施加0.1-1KV電壓，而當(dāng)帶有導(dǎo)電層的基板表面不面對工作臺(tái)時(shí)，向平板電極施加3-4KV電壓。在上工作臺(tái)上可設(shè)置彈性片。
參見圖3C，在通過ESC將兩個(gè)玻璃基板11和13固定于各工作臺(tái)15和16上的狀態(tài)下，向下移動(dòng)上工作臺(tái)，并向下壓迫第一和第二玻璃基板11和13，從而粘接兩個(gè)基板11和13(37S)。通過沿垂直方向移動(dòng)上工作臺(tái)15或下工作臺(tái)16，同時(shí)改變各工作臺(tái)的速度和壓力，對第一和第二玻璃基板11和13施壓。即，在第一玻璃基板11上的液晶12與第二玻璃基板13接觸之前，或是在第一玻璃基板11和第二玻璃基板13上的密封劑接觸之前，工作臺(tái)以固定的速度或在固定的壓力下運(yùn)動(dòng)，從開始接觸時(shí)起壓力逐漸增大，直到達(dá)到最后的壓力。也就是說，接觸時(shí)間可通過安裝在可運(yùn)動(dòng)的工作臺(tái)軸上的測力傳感器(load cell)檢測，在開始接觸時(shí)，兩個(gè)玻璃基板11和13受壓的壓力為0.1ton，然后在中間階段的壓力為0.3ton，在結(jié)尾階段的壓力為0.4ton，在最后階段的壓力為0.5ton(參見圖3D)。
雖然上工作臺(tái)借助于一個(gè)軸向下壓迫基板，但也可以設(shè)置多個(gè)軸，每個(gè)軸上都裝有各自的測力傳感器，以便各軸獨(dú)立施壓。據(jù)此，當(dāng)下工作臺(tái)和上工作臺(tái)因沒有達(dá)到水平狀態(tài)而不能均勻施壓時(shí)，相關(guān)的軸可以以較低或較高的壓力壓下從而使密封劑均勻粘接。
參見圖3E，在完成了施壓和基板粘接，并撤下ESC之后，向上移動(dòng)上工作臺(tái)15，使之與相互粘接的兩個(gè)玻璃基板11和13脫離。然后，取出粘接的基板(38S)。
如上所述，本發(fā)明所述制作LCD的方法具有以下優(yōu)點(diǎn)。
首先，由于把液晶滴加在第一基板上而把密封劑涂敷在第二基板上，所以縮短了粘接兩個(gè)基板之前的制作周期并提高了LCD的生產(chǎn)率。
第二，將液晶滴加在第一基板上而將密封劑涂敷在第二基板上，使得第一和第二基板的制作工序平衡地進(jìn)行，從而使生產(chǎn)線能有效地運(yùn)行。
第三，將液晶滴加在第一基板上而不將液晶滴加在第二基板上可以使密封劑在最大程度上不受微粒污染，這是因?yàn)闆]有滴加液晶的基板(涂有密封劑的基板)可以在粘接之前用超聲清洗器(USC)進(jìn)行清洗。
第四，基板接受裝置在基板下方與基板接觸，然后對真空粘接室抽真空，可以防止吸附到上工作臺(tái)上的基板從上工作臺(tái)上落下和摔斷。
第五，檢測兩個(gè)基板接觸時(shí)的時(shí)間和改變兩個(gè)基板粘接時(shí)的壓力可以最大限度地減小因液晶作用于取向膜而導(dǎo)致的損害。
第六，由于上工作臺(tái)可借助于多個(gè)可單獨(dú)施壓的軸向下壓迫基板，所以當(dāng)下工作臺(tái)和上工作臺(tái)因無法達(dá)到水平狀態(tài)而使密封劑不能均勻粘接時(shí)，可以通過相應(yīng)的軸施加較低或較高的壓力使密封劑實(shí)現(xiàn)均勻粘接。
第七，分兩個(gè)階段對真空粘接室抽真空，可以防止基板變形和因突然變成真空而在腔室中產(chǎn)生氣流。
對于熟悉本領(lǐng)域的技術(shù)人員來說，很顯然，在不脫離本發(fā)明構(gòu)思或范圍的情況下，可以對本發(fā)明所述制作LCD的方法做出各種改進(jìn)和變型。因此，本發(fā)明意在覆蓋那些落入所附權(quán)利要求及其等同物范圍內(nèi)的改進(jìn)和變型。
權(quán)利要求
1.制作LCD的方法，包括以下步驟(a)把滴加了液晶的第一基板和涂敷有密封劑的第二基板放到粘接室中；(b)借助施加到第一和第二基板上的可變壓力粘接第一和第二基板，和(c)取出經(jīng)粘接的第一和第二基板。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中步驟(a)包括的步驟有(aa)將第一基板和第二基板分別吸附到粘接室內(nèi)的下工作臺(tái)和上工作臺(tái)上，(ab)使粘接室內(nèi)的基板接受裝置與第二基板的底表面相接觸，(ac)將粘接室抽真空，和(ad)通過靜電吸盤把第一和第二基板分別固定到工作臺(tái)上。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法，其中步驟(ac)包括兩個(gè)階段的抽真空。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的方法，其中步驟(ac)包括的步驟有將第一基板和第二基板分別吸附到粘接室內(nèi)的下工作臺(tái)和上工作臺(tái)上之后進(jìn)行第一次抽真空，和在將基板接受裝置放到固定于上工作臺(tái)上的第二基板下方后進(jìn)行第二次抽真空。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法，其中步驟(ad)包括的步驟有當(dāng)帶有導(dǎo)電層的基板表面面對工作臺(tái)時(shí)，施加0.1-1KV電壓，和當(dāng)帶有導(dǎo)電層的基板表面不面對工作臺(tái)時(shí)，施加3-4KV電壓。
6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法，其中步驟(aa)包括的步驟有將第二基板放到粘接室中，使涂有密封劑的部分面向下，將上工作臺(tái)向下移動(dòng)，通過上工作臺(tái)真空吸附第二基板，和向上移動(dòng)上工作臺(tái)，并且將第一基板放到粘接室中的下工作臺(tái)上。
7.根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法，其中將步驟(aa)代之以通過靜電吸盤(ESC)將第一和第二基板分別固定到下工作臺(tái)和上工作臺(tái)上。
8.根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法，其中步驟(ab)包括的步驟有將上工作臺(tái)向下移動(dòng)到基板接受裝置。
9.根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法，其中步驟(ab)包括的步驟有將基板接受裝置向上移動(dòng)到上工作臺(tái)。
10.根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法，其中步驟(ab)包括的步驟有將第二基板向下放到基板接受裝置上。
11.根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法，其中步驟(ac)包括的步驟有將真空室抽真空，使之在IPS模式下的真空度達(dá)到1.0×10-3Pa-1Pa，而在TN模式下達(dá)到1.1×10-3Pa-102Pa。
12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中步驟(a)包括的步驟有通過靜電吸盤(ESC)把第一基板和第二基板分別固定到粘接室中的下工作臺(tái)和上工作臺(tái)上，和將粘接室抽真空。
13.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中步驟(a)包括的步驟有把滴加了液晶的第一基板放到粘接室中的下工作臺(tái)上，和把涂敷了密封劑的第二基板放到粘接室的上工作臺(tái)上。
14.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中步驟(b)包括的步驟有移動(dòng)上工作臺(tái)或是下工作臺(tái)進(jìn)行粘接。
15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的方法，其中在兩個(gè)基板相互接觸的時(shí)間點(diǎn)之前，工作臺(tái)優(yōu)選以固定的速度移動(dòng)，而在兩個(gè)基板接觸后，工作臺(tái)以一變速移動(dòng)。
16.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中步驟(b)包括的步驟有用多個(gè)軸向上工作臺(tái)施壓。
17.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中步驟(b)包括的步驟有使上工作臺(tái)向下移動(dòng)并利用多個(gè)軸向基板施壓，所述多個(gè)軸中的每個(gè)軸都具有各自的測力傳感器(load cell)，以便獨(dú)立施壓。
18.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中第一基板包括薄膜晶體管陣列，而第二基板包括濾色器陣列。
19.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，進(jìn)一步包括在步驟(a)之前清洗第二基板的步驟。
20.根據(jù)權(quán)利要求19所述的方法，其中清洗用超聲清洗器(USC)進(jìn)行。
21.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中在步驟(b)的至少兩個(gè)階段使用不同壓力。
22.根據(jù)權(quán)利要求21所述的方法，其中第一階段的壓力是0.1ton或高于0.1ton，而第二階段的壓力是0.3ton或高于0.3ton。
23.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中步驟(b)包括的步驟有以0.1ton的壓力向兩個(gè)玻璃基板施壓，直到兩個(gè)基板相互接觸，然后在中間階段的壓力為0.3ton，在結(jié)尾階段的壓力為0.4ton，在最后階段的壓力為0.5ton。
全文摘要
采用液晶滴加法制作LCD的方法包括以下步驟(a)把滴加了液晶的第一基板和涂敷有密封劑的第二基板放到粘接室中，(b)借助可變壓力粘接第一和第二基板，和(c)取出經(jīng)粘接的第一和第二基板。
文檔編號(hào)G02F1/13GK1437043SQ0212340
公開日2003年8月20日 申請日期2002年6月26日 優(yōu)先權(quán)日2002年2月5日
發(fā)明者李相碩, 樸相昊 申請人:Lg.菲利浦Lcd株式會(huì)社