專利名稱：一種平板顯示屏的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種顯示屏的制作方法，特別涉及一種平板顯示屏的制作方法。
背景技術(shù)：
電致發(fā)光顯示器，除了它有一個通過陰陽兩極之間的電場發(fā)光的發(fā)光層以外，很像等離子顯示器。其中它的發(fā)光層是通過固體材料(電子束蒸發(fā))形成的，所以電致發(fā)光顯示器比等離子顯示器易制成薄膜發(fā)光層。而電致發(fā)光顯示器和等離子顯示器都需要三基色，然而電致發(fā)光顯示器的藍(lán)色發(fā)光層很難獲得理想的亮度，這就限制了電致發(fā)光顯示器的發(fā)展。等離子顯示屏的藍(lán)粉易獲得理想的亮度，另外等離子顯示屏由于其工藝的局限性很難獲得高密度的彩色圖像，同樣也就限制了等離子顯示屏的發(fā)展。而電致發(fā)光顯示器易獲得高密度彩色圖像。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于克服上述現(xiàn)有技術(shù)的缺點，提供了一種能夠顯示高亮度、高密度彩色圖像的平板顯示屏的制作方法。
為達(dá)到上述目的，本發(fā)明采用的制作方法為電致發(fā)光顯示面板的制作首先在前基板上涂敷一層厚度為1000?！?000的透明電極層，利用光刻工藝形成透明電極；通過磁控濺射工藝在透明電極上涂敷一層厚度為300的絕緣層；通過電子束蒸發(fā)沉積在絕緣層上沉積厚度為3000～5000的紅色發(fā)光層，采用光刻工藝形成紅色線條；同樣再利用電子束蒸發(fā)沉積在絕緣層上和相鄰的紅色線條之間沉積厚度為3000～5000的綠色發(fā)光層，采用光刻工藝形成綠色線條，一組紅、綠線條與另外一組紅、綠線條形成一個發(fā)光間隙；通過磁控濺射工藝在絕緣層、綠色線條和紅色線條上沉積厚度約3000的第二個絕緣層，再在第二絕緣層上涂敷一層厚度為1000?！?000的透明電極層，采用光刻工藝形成與透明電極垂直交叉的第二透明電極；通過磁控濺射在第二個絕緣層和第二透明電極上沉積厚度為0.1μm～2μm的硬介質(zhì)層；在硬介質(zhì)層上涂敷一層厚度為2000?！?000的MgO保護(hù)層，即可得到電致發(fā)光顯示面板；等離子顯示面板的制作在后基板上沉積膜厚為4000鋁膜，再采用光刻工藝形成電極；通過絲網(wǎng)印刷工藝在電極上形成10～70μm藍(lán)色發(fā)光層；采用絲網(wǎng)印刷或厚膜光刻工藝形成高度為150μm的橫向障壁和豎向障壁，此豎向障壁的寬度與各組紅、綠線條形成的發(fā)光間隙相等，藍(lán)色發(fā)光層、橫向障壁和豎向障壁之間形成一放電空間，即可得到等離子顯示面板；將電致發(fā)光顯示面板與等離子顯示面板通過封接層組合在一起，且使等離子顯示面板的豎向障壁與電致發(fā)光顯示面板的發(fā)光間隙相對應(yīng)，并在放電空間中充入潘寧氣體即可。
本發(fā)明的絕緣層為非氧化材料Si3N4；硬介質(zhì)層為SrTiO3或BaTiO3。
由于等離子顯示屏的藍(lán)粉易獲得理想的亮度，電致發(fā)光顯示器易獲得高密度彩色圖像，本發(fā)明將電致發(fā)光顯示面板和等離子顯示面板組合制成平板顯示器，能夠顯示高亮度、高密度彩色圖像。


圖1是本發(fā)明電致發(fā)光顯示面板18的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是本發(fā)明等離子顯示面板19的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3是本發(fā)明的整體結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施例方式
下面結(jié)合附圖對本發(fā)明作進(jìn)一步詳細(xì)說明。
參見圖1，本發(fā)明電致發(fā)光顯示面板18的制作首先在前基板1上涂敷一層厚度為1000～3000的透明電極層，利用光刻工藝形成透明電極2；再通過磁控濺射工藝在透明電極2上涂敷一層厚度為300的Si3N4絕緣層3；通過電子束蒸發(fā)沉積在絕緣層3上沉積厚度為3000～5000的紅色發(fā)光層，采用光刻工藝形成紅色線條5；同樣再利用電子束蒸發(fā)沉積在絕緣層3上和相鄰的紅色線條5之間沉積厚度為3000?！?000的綠色發(fā)光層，采用光刻工藝形成綠色線條4，一組紅、綠線條5、4與另外一組紅、綠線條5、4形成一個發(fā)光間隙17；通過磁控濺射工藝在絕緣層3、綠色線條4和紅色線條5上沉積厚度約3000的第二個Si3N4絕緣層6，采用光刻工藝形成與透明電極2垂直交叉的第二透明電極7；通過磁控濺射在第二個絕緣層6和第二透明電極7上沉積厚度為0.1μm～2μm的BaTiO3硬介質(zhì)層8；在硬介質(zhì)層8上涂敷一層厚度為2000?！?000的MgO保護(hù)層14，即可得到電致發(fā)光顯示面板20；參見圖2，本發(fā)明的等離子顯示面板19的制作在后基板9上沉積膜厚為4000鋁膜，再采用光刻工藝形成電極10；通過絲網(wǎng)印刷工藝在電極10上形成厚度為10～70μm的藍(lán)色發(fā)光層是11；采用絲網(wǎng)印刷或厚膜光刻工藝高度為150μm的橫向障壁13和豎向障壁12，此障壁的寬度與各組紅、綠線條5、4形成的發(fā)光間隙相等，藍(lán)色發(fā)光層是11、橫向障壁13和豎向障壁12之間形成一放電空間16，即可得到等離子顯示面板19；參見圖3，將電致發(fā)光顯示面板18與等離子顯示面板19通過封接層15組合在一起，且使等離子顯示面板19的障壁與電致發(fā)光顯示面板18的發(fā)光間隙17相對應(yīng)，并在放電空間16中充入潘寧氣體即可。
本發(fā)明通過電致發(fā)光顯示面板18發(fā)出紅光和綠光，通過氣體放電的方式使等離子顯示面板19發(fā)出藍(lán)光，并與紅光、綠光共同來進(jìn)行信息顯示，通過電致發(fā)光顯示面板18與等離子顯示面板19的結(jié)合，能夠顯示高亮度、高密度彩色圖像，徹底解決了電致發(fā)光顯示面板很難獲得理想的亮度藍(lán)色發(fā)光層，等離子顯示屏很難獲得高密度的彩色圖像。
權(quán)利要求
1.一種平板顯示屏的制作方法，其特征在于1)電致發(fā)光顯示面板[18]的制作a)首先在前基板[1]上涂敷一層厚度為1000?！?000的透明電極層，利用光刻工藝形成透明電極[2]；b)通過磁控濺射工藝在透明電極[2]上涂敷一層厚度為300的絕緣層[3]；c)通過電子束蒸發(fā)沉積在絕緣層[3]上沉積厚度為3000～5000的紅色發(fā)光層，采用光刻工藝形成紅色線條[5]；同樣再利用電子束蒸發(fā)沉積在絕緣層[3]上和相鄰的紅色線條[5]之間沉積厚度為3000～5000的綠色發(fā)光層，采用光刻工藝形成綠色線條[4]，一組紅、綠線條[5、4]與另外一組紅、綠線條[5、4]形成一個發(fā)光間隙[17]；d)通過磁控濺射工藝在絕緣層[3]、綠色線條[4]和紅色線條[5]上沉積厚度約3000的第二個絕緣層[6]，再在第二絕緣層[6]上涂敷一層厚度為1000?！?000的透明電極層，采用光刻工藝形成與透明電極[2]垂直交叉的第二透明電極[7]；e)通過磁控濺射在第二個絕緣層[6]和第二透明電極[7]上沉積厚度為0.1μm～2μm的硬介質(zhì)層[8]；f)在硬介質(zhì)層[8]上涂敷一層厚度為2000?！?000的MgO保護(hù)層[14]，即可得到電致發(fā)光顯示面板[20]；2)等離子顯示面板[19]的制作a)在后基板[9]上沉積膜厚為4000鋁膜，再采用光刻工藝形成電極[10]；b)通過絲網(wǎng)印刷工藝在電極[10]上形成10～70μm藍(lán)色發(fā)光層[11]；c)采用絲網(wǎng)印刷或厚膜光刻工藝形成高度為150μm的橫向障壁[13]和豎向障壁[12]，此豎向障壁[12]的寬度與各組紅、綠線條[5、4]形成的發(fā)光間隙相等，藍(lán)色發(fā)光層[11]、橫向障壁[13]和豎向障壁[12]之間形成一放電空間[16]，即可得到等離子顯示面板[19]；3)將電致發(fā)光顯示面板[18]與等離子顯示面板[19]通過封接層[15]組合在一起，且使等離子顯示面板[19]的豎向障壁[12]與電致發(fā)光顯示面板[18]的發(fā)光間隙[17]相對應(yīng)，并在放電空間[16]中充入潘寧氣體即可。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的平板顯示屏的制作方法，其特征在于所說的絕緣層[3、6]為非氧化材料Si3N4。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的平板顯示屏的制作方法，其特征在于所說的硬介質(zhì)層[8]為SrTiO3或BaTiO3。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種平板顯示屏的制作方法，它是通過將發(fā)出紅色光和綠色光的電致發(fā)光顯示面板與發(fā)出藍(lán)色光的等離子顯示面板封接在一起而獲得的，一個放電空間形成在電致發(fā)光顯示面板與等離子顯示面板之間。由于等離子顯示屏的藍(lán)粉易獲得理想的亮度，電致發(fā)光顯示器易獲得高密度彩色圖像，本發(fā)明將電致發(fā)光顯示面板和等離子顯示面板組合制成平板顯示器，能夠顯示高亮度、高密度彩色圖像。
文檔編號G09F9/00GK1655308SQ200410073
公開日2005年8月17日 申請日期2004年12月30日 優(yōu)先權(quán)日2004年12月30日
發(fā)明者魯開誠 申請人:彩虹集團(tuán)電子股份有限公司