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液體噴射頭、液體噴射裝置以及液體噴射頭的制造方法_2

文檔序號:9227757閱讀:來源:國知局
附近的油墨所產(chǎn)生的油墨中的水分的蒸發(fā)而引起的増粘的影響。此外,由于噴嘴板20只要覆蓋連通壓力產(chǎn)生室12和噴嘴開口 21的噴嘴連通通道16的開口即可,因此,能夠?qū)娮彀?0的面積設(shè)得較小,從而能夠?qū)崿F(xiàn)成本的削減。
[0093]此外,在連通板15上設(shè)置有構(gòu)成歧管100的一部分的第一歧管部17和第二歧管部18 (縮窄流道,節(jié)流孔流道)。
[0094]第一歧管部17被設(shè)置為在厚度方向上貫穿連通板15。在此所說的厚度方向是指,連通板15和流道形成基板10所層疊的第三方向Z。第二歧管部18被設(shè)置為不在厚度方向上貫穿連通板15,而在連通板15的噴嘴板20側(cè)開口。
[0095]在連通板15上,每個壓力產(chǎn)生室12獨立設(shè)置有與壓力產(chǎn)生室12的第二方向Y的一端部連通的供給連通通道19。該供給連通通道19與第二歧管部18和壓力產(chǎn)生室12連通。
[0096]作為這種連通板15可以使用不銹鋼或鎳(NI)等金屬,或者鋯(Zr)等陶瓷等。另夕卜,連通板15優(yōu)選為與流道形成基板10線膨脹系數(shù)相同的材料。即,在作為連通板15而使用了與流道形成基板10線膨脹系數(shù)具有較大差異的材料的情況下,會由于對其進行加熱或冷卻而在流道形成基板10及連通板15上發(fā)生扭曲。在本實施方式中,作為連通板15而使用與流道形成基板10相同的材料,S卩,由于使用單晶硅基板,因此能夠?qū)τ蔁崃恳鸬呐で蛴蔁崃恳鸬牧鸭y、剝離等的產(chǎn)生進行抑制。
[0097]在噴嘴板20上形成有,經(jīng)由各個壓力產(chǎn)生室12和噴嘴連通通道16而連通的噴嘴開口 21。這種噴嘴開口 21被并排設(shè)置于第一方向X上,并且,被并排設(shè)置于該第一方向X上的噴嘴開口 21的列在第二方向Y上形成有2列。此外,將噴嘴板20的兩個面之中噴出油墨滴的面、即與壓力產(chǎn)生室12相反的一側(cè)的面稱為液體噴射面20a。
[0098]作為這種噴嘴板20例如可以使用不銹鋼(SUS)等金屬、聚酰亞胺樹脂這樣的有機物或單晶硅基板等。另外,由于作為噴嘴板20而使用單晶硅基板,因此,使噴嘴板20和連通板15的線膨脹系數(shù)相等,從而能夠?qū)νㄟ^進行加熱或冷卻而引起的扭曲或由熱量而引起的裂紋、剝離等的產(chǎn)生進行抑制。
[0099]另一方面,在流道形成基板10的與連通板15相反的一面?zhèn)?,形成有振動?0。在本實施方式中,作為振動板50而設(shè)置有,由被設(shè)置于流道形成基板10側(cè)的氧化硅構(gòu)成的彈性膜51、和由被設(shè)置于彈性膜51上的氧化鋯構(gòu)成的絕緣體膜52。另外,壓力產(chǎn)生室12等液體流道通過從一面?zhèn)?與噴嘴板20接合的一面?zhèn)?對流道形成基板10進行各向異性蝕刻而形成,并且壓力產(chǎn)生室12等液體流道的另一面由彈性膜51而被劃分形成。
[0100]在流道形成基板10的振動板50上設(shè)置有作為本實施方式的壓力產(chǎn)生單元的、具有第一電極60、壓電體層70和第二電極80的壓電致動器130。在此,壓電致動器130是指,包括第一電極60、壓電體層70及第二電極80的部分。一般而言,將壓電致動器130的任意一個電極設(shè)為共同電極,并對每個壓力產(chǎn)生室12進行圖案形成從而構(gòu)成其他的電極。在本實施方式中,由于沿多個壓電致動器130而連續(xù)設(shè)置第一電極60并將其設(shè)為共同電極,并且通過對每個壓電致動器130而獨立設(shè)置第二電極80并將其設(shè)為個別電極。當(dāng)然,即使因驅(qū)動電路或配線的情況而進行相反設(shè)置也沒問題。另外,雖然在上述的示例中,例示了振動板50由彈性膜51及絕緣體膜52而構(gòu)成的示例,但是當(dāng)然并不限定于此,例如,也可以作為振動板50而設(shè)置彈性膜51及絕緣體膜52中的任意一個,此外,作為振動板50也可以不設(shè)置彈性膜51及絕緣體膜52,而僅使第一電極60作為振動板而發(fā)揮功能。此外,壓電致動器130本身也可以實質(zhì)上兼作振動板。
[0101]壓電體層70由具有極化結(jié)構(gòu)的氧化物壓電材料構(gòu)成,例如,一般能夠由以ABO#表示的鈣鈦礦型氧化物構(gòu)成,并且可以使用包含鉛的鉛系壓電材料或不包含鉛的非鉛系壓電材料等。
[0102]在作為這種壓電致動器130的獨立電極的各個第二電極80分別與從與供給連通通道19相反的一側(cè)的端部附近被引出、并延伸設(shè)置至振動板50上的例如由金(AU)等構(gòu)成的引線電極90的一端部連接。
[0103]此外,引線電極90的另一端部,與設(shè)置有用于驅(qū)動壓電致動器130的驅(qū)動電路120的配線基板121連接。配線基板121為具有可撓性(彈性)的薄片狀的部件,例如,可以使用COF基板等。另外,也可以不在配線基板121上設(shè)置驅(qū)動電路120。換句話說,配線基板121并非限定于COF基板,也可以說FFC、FPC等。
[0104]具有與流道形成基板10大致相同大小的保護基板30,與流道形成基板10的壓電致動器130側(cè)的面接合。保護基板30具有用于保護壓電致動器130的空間亦即保持部31。保持部31不在作為厚度方向的第三方向Z上貫穿保護基板30,而具有向流道形成基板10側(cè)開口的凹形形狀。此外,保持部31z在由在第一方向X上并排設(shè)置的多個壓電致動器130構(gòu)成的列的每一列上獨立設(shè)置。即,保持部31被設(shè)置為,對在壓電致動器130的第一方向X上并排設(shè)置的列進行收容,并且針對每個壓電致動器130的列而在第二方向Y上并排設(shè)置,即第二方向Y上并排設(shè)置有2列。這種保持部31只要具有不會阻礙壓電致動器130的運動的程度的空間即可,該空間可以被密封,也可以不被密封。
[0105]保護基板30具有在作為厚度方向的第三方向Z上貫穿的貫穿孔32。貫穿孔32被設(shè)置為,在第二方向Y上并排設(shè)置的兩個保持部31之間跨及多個壓電致動器130的并排設(shè)置方向亦即第一方向X。換句話說,貫穿孔32被設(shè)置為,在多個壓電致動器130的并排設(shè)置方向上具有長邊的開口。引線電極90的另一端部以向該貫穿孔32內(nèi)露出的方式而延伸設(shè)置,并在貫穿孔32內(nèi)與引線電極90和配線基板121電連接。
[0106]作為這種保護基板30,優(yōu)選為使用與流道形成基板10的熱膨脹率大致相同的材料,例如,玻璃、陶瓷材料等,在本實施方式中,使用與流道形成基板10相同材料的單晶硅基板而形成。此外,流道形成基板10與保護基板30的接合方法并未特別限定,例如,在本實施方式中,流道形成基板10和保護基板30經(jīng)由粘合劑(未圖示)而接合。
[0107]在俯視觀察時,殼體部件40具有與上述的連通板15大致相同的形狀,并在與保護基板30接合的同時,也與上述的連通板15接合。具體而言,殼體部件40在保護基板30側(cè)具有收容流道形成基板10及保護基板30的深度的凹部41。該凹部41具有與被接合于保護基板30的流道形成基板10上的面相比而較大的開口面積。而且,在流道形成基板10等被收容于凹部41的狀態(tài)下,凹部41的噴嘴板20側(cè)的開口面通過連通板15而被密封。由此,在流道形成基板10的外周部上,通過殼體部件40而形成有第3歧管部42。而且,通過被設(shè)置于連通板15上的第一歧管部17及第二歧管部18、由殼體部件40所形成的第3歧管部42來構(gòu)成本實施方式的歧管100。S卩,歧管100具備第一歧管部17、第二歧管部18及第3歧管部42。
[0108]本實施方式的歧管100在第二方向Y上被配置于2列壓力產(chǎn)生室12的兩個外側(cè),被設(shè)置于2列壓力產(chǎn)生室12的兩個外側(cè)的兩個歧管100在頭主體200內(nèi),以不連通的方式而各自獨立設(shè)置。即,本實施方式的壓力產(chǎn)生室12的每個列與一個歧管100連通而設(shè)置。換句話說,每個噴嘴組均設(shè)置有歧管100。當(dāng)然,也可以使兩個歧管100連通。
[0109]此外,殼體部件40具有與歧管100連通的導(dǎo)入口 44。油墨從導(dǎo)入口 44而被導(dǎo)入至歧管100中。另外,雖然詳細內(nèi)容將在后文敘述,但導(dǎo)入口 44與被形成于保持架部件210上的第一連接流道213、第二連接流道214連通,并且使油墨從第一連接流道213及第二連接流道214被供給至導(dǎo)入口 44。
[0110]此外,在殼體部件40上設(shè)置有,與保護基板30的貫穿孔32連通并供配線基板121貫穿插入的連接口 43。另外,連接口 43與被形成于保持架部件210上的第一配線插穿孔212及被形成于加固保持架部件210的第二矯正板280上的第二配線插穿孔282連通,詳細內(nèi)容將在后文敘述。即,連接口 43與第一配線插穿孔212及第二配線插穿孔282連通從而形成一個插穿孔,并且配線基板121貫穿插入于該插穿孔中。
[0111]作為殼體部件40的材料,可以使用例如樹脂或金屬等。另外,作為殼體部件40可以通過成形樹脂材料而以低成本進行批量生產(chǎn)。
[0112]在連通板15的第一歧管部17及第二歧管部18開口的面上,設(shè)置有可塑性基板45。在俯視觀察時,可塑性基板45具有與上述的連通板15大致相同的大小,并且設(shè)置有露出噴嘴板20的第一露出開口部45a。而且,在該可塑性基板45通過第一露出開口部45a而露出噴嘴板20的狀態(tài)下,對第一歧管部17和第二歧管部18的液體噴射面20a側(cè)的開口進行密封。即,可塑性基板45形成歧管100的一部分。
[0113]本實施方式所涉及的可塑性基板45具備密封膜46和固定基板47。密封膜46由具有可撓性的膜狀的薄膜(例如,由聚苯撐氧硫化物(PPS)等所形成的厚度為20 μπι以下的薄膜)構(gòu)成,固定基板47由不銹鋼(SUS)等金屬等硬質(zhì)的材料而形成。由于與該固定基板47的歧管100相對置的區(qū)域成為在厚度方向上完全被去除而形成的開口部48,因此,歧管100的一個面成為僅由具有可撓性的密封膜46所密封的可撓部亦即可塑性部49。在本實施方式中,對應(yīng)于一個歧管100而設(shè)置有一個可塑性部49。即,在本實施方式中,由于設(shè)置有兩個歧管100,因此,在夾持噴嘴板20的第二方向Y的兩側(cè)設(shè)置有兩個可塑性部49。
[0114]在這種結(jié)構(gòu)的頭主體200中,在噴射油墨時經(jīng)由導(dǎo)入口 44而吸取油墨,并使油墨在流道內(nèi)部從歧管100起充滿至噴嘴開口 21。之后,根據(jù)來自驅(qū)動電路120的信號,通過在與壓力產(chǎn)生室12相對應(yīng)的各個壓電致動器130上施加電壓,從而使壓電致動器130和振動板50同時彎曲變形。由此,壓力產(chǎn)生室12內(nèi)的壓力升高而使油墨滴從預(yù)定的噴嘴開口 21被噴射。
[0115]上述的頭主體200被保持于記錄頭2上。在此,參照圖3至圖6,以及圖7至圖17,對記錄頭2進行說明。圖7為記錄頭的俯視圖,圖8為記錄頭的仰視圖,圖9為取下記錄頭的罩部件后的俯視圖,圖10為取下記錄頭的罩部件以及流道部件后的俯視圖,圖11為沿圖9及圖10的B — Br線的剖視圖,圖12為沿圖7至圖9的C 一 C線的剖視圖,圖13為沿圖7至圖9的D — D'線的剖視圖,圖14(a)為固定了第二矯正板的保持架部件的仰視圖,圖14⑶為保持架部件的仰視圖,圖15為罩部件的仰視圖,圖16為沿圖7至圖9以及圖15的E — E'線的剖視圖,圖17為表示罩部件的剛性部分的主要部分剖視圖。另外,圖7、圖9、圖10的平面為第三方向Z上的Z2側(cè)的面,而圖8、圖14、圖15的底面為第三方向Z上的Zl側(cè)的面。
[0116]如圖5、圖6及圖8所示,在本實施方式中,在一個記錄頭2上,4個頭主體200沿著第一方向X而被配置為交錯狀。具體而言,具有在第一方向X上隔開第一間隔203A而配置成的第一頭主體組202A,和在第一方向X上隔開第二間隔203B而配置成的第二頭主體組202B。各個頭主體200以噴嘴開口 21的并排設(shè)置方向成為記錄頭2的第一方向X的方式而被保持。
[0117]將被設(shè)置于Yl側(cè)的頭主體組202稱為第一頭主體組202A,而將被設(shè)置于Y2側(cè)的頭主體組202稱為第二頭主體組202B。此外,將第一頭主體組202A的Xl側(cè)的頭主體200稱為頭主體200A1,而將X2側(cè)的頭主體200稱為頭主體200A2。此外,將第二頭主體組202B的Xl側(cè)的頭主體200稱為頭主體200B1,而將X2側(cè)的頭主體200稱為頭主體200B2。
[0118]各頭主體200以如下方式進行設(shè)置,S卩,第一頭主體組202A和第二頭主體組202B被配置于,與第一方向X正交的第二方向Y上的不同的位置處,并且,第一頭主體組202A中的任意一個的頭主體200被配置于,第一方向X上設(shè)置第二間隔203B的位置處;第二頭主體組202B中的任意一個的頭主體200被配置于,設(shè)置第一間隔203A的位置處。
[0119]S卩,第一頭主體組202A和第二頭主體組202B在第一方向X上相互錯開配置。第一頭主體組202A與第二頭主體組202B的、向第一方向X的錯開量為,構(gòu)成頭主體組202的頭主體200的間距的一半。在本實施方式中,使第一頭主體組202A相對于第二頭主體組202B而向X2側(cè)錯開配置。即,在第一頭主體組202A中,于第一方向X上彼此相鄰的頭主體200的第一間隔203A,在第二方向Y上與構(gòu)成第二頭主體組202B的頭主體200相對置地設(shè)置,在本實施方式中在第二方向Y上與頭主體200B2相對置地設(shè)置。此外,在第二頭主體組202B中,于第一方向X上彼此相鄰的頭主體200的第二間隔203B,在第二方向Y上與構(gòu)成第一頭主體組202A的頭主體200相對置地設(shè)置,在本實施方式中,在第二方向Y上與頭主體200A1相對置地設(shè)置。通過以這種方式配置第一頭主體組202A及第二頭主體組202B,可以利用4個頭主體200而使噴嘴開口 21以相同間距跨第一方向X而連續(xù)地并排設(shè)置。
[0120]如圖9至圖14及圖28所示,保持架部件210在與記錄薄片S相對置的面、即第三方向Z的Zl側(cè)的面上,對多個頭主體200進行保持。具體而言,在保持架部件210的Zl側(cè)的面上,設(shè)置有頭保持部211,該頭保持部211具有向該Zl側(cè)開口的凹形形狀。頭保持部211對下文所述的第二矯正板280進行收容,并且,對由固定板260所固定的多個頭主體200進行收容。頭保持部211的開口通過固定板260而被密封。S卩,在由頭保持部211及固定板260所形成的內(nèi)部,收容有頭主體200及第二矯正板280。
[0121]頭保持部211成為能夠?qū)σ詷?gòu)成第一頭主體組202A及第二頭主體組202B的方式而配置的各個頭主體200進行收容的形狀。在本實施方式中,以與構(gòu)成第一頭主體組202A及第二頭主體組202B的頭主體200的位置相對置的方式,通過使具有與各頭主體200相比較大的長方形的開口的4個凹部連通,從而形成頭保持部211。換句話說,在具有大致呈長方形的外形的保持架部件210的Zl側(cè)的表面上,通過在下文所述的第一收容部215及第二收容部216以外的區(qū)域內(nèi)設(shè)置凹部來形成頭保持部211。
[0122]此外,在保持架部件210上設(shè)置有作為第一流道的一個示例的第一連接流道213A、213B、和第二連接流道214A、214B,詳細內(nèi)容將在后文敘述。第一流道為被設(shè)置于保持架部件210上的流道,并且為從流道部件240供給油墨,并將該油墨向頭主體200進行供給的流道。
[0123]第一連接流道213為相對于第三方向Z傾斜地被設(shè)置于保持架部件210上的流道。在本實施方式中,在保持架部件210上相對于Xl側(cè)的流道部件240、頭主體200A1及頭主體200B1而設(shè)置有作為第一連接流道213的第一連接流道213A及第一連接流道213B這兩個部件。此外,在保持架部件210上,對于X2側(cè)的流道部件240、頭主體200A2及頭主體200B2也同樣設(shè)置有作為第一連接流道213的第一連接流道213A及第一連接流道213B這兩個部件。
[0124]第一連接流道213A將流道部件240的第二供給通道323 (兩個之中的X2側(cè)的第二供給通道323a)與第一頭列202A的Xl側(cè)的頭主體200A1的Y2側(cè)的導(dǎo)入口 44連通。第一連接流道213B將流道部件240的第一供給通道313(兩個之中的Xl側(cè)的第一供給通道313B)與第二頭列202B的Xl側(cè)的頭主體200B1的Yl側(cè)的導(dǎo)入口 44連通。另外,對于對X2側(cè)的流道部件240與頭主體200A2及頭主體200B2進行連接的第一連接流道也是同樣的。
[0125]此外,在頭保持部211的底面上,設(shè)置有向第三方向Z的Zl側(cè)突出的突起部217,第一連接流道213A及213B的Zl側(cè)的開口向突起部217的頂面開口。第一連接流道213A的Z2側(cè)的開口,在下文所述的與流道部件240的第二供給通道323B相對置的位置處開口。第一連接流道213B的Z2側(cè)的開口,在下文所述的與流道部件240的第一供給通道313a相對置的位置處開口。另外,對于對X2側(cè)的流道部件240與頭主體200A2及頭主體200B2進行連接的第一連接流道也是同樣的。
[0126]第二連接流道214為沿著第三方向Z而被延伸設(shè)置于保持架部件210上的流道。在本實施方式中,在保持架部件210上相對于Xl側(cè)的流道部件240、頭主體200A1及頭主體200B1而設(shè)置有作為第二連接流道214的第二連接流道214A及第二連接流道214B這兩個部件。此外,在保持架部件210上,對于X2側(cè)的流道部件240、頭主體200A2及頭主體200B2也同樣設(shè)置有作為第二連接流道214的第二連接流道214A及第二連接流道214B這兩個部件。
[0127]第二連接流道214A將流道部件240的第一供給通道313 (兩個之中的X2側(cè)的第一供給通道313a)與第一頭列202A的Xl側(cè)的頭主體200A1的Yl側(cè)的導(dǎo)入口 44連通。第二連接流道214B將流道部件240的第二供給通道323(兩個之中的Xl側(cè)的第二供給通道323B)與第二頭列202B的Xl側(cè)的頭主體200B1的Y2側(cè)的導(dǎo)入口 44連通。另外,對于對X2側(cè)的流道部件240與頭主體200A2及頭主體200B2進行連接的第二連接流道也是同樣的。
[0128]此外,在頭保持部211的底面上,設(shè)置有向第三方向Z的Zl側(cè)突出的突起部217,第二連接流道214A及214B的Zl側(cè)的開口在突起部217的頂面開口。第二連接流道214A的Z2側(cè)的開口,在下文所述的與流道部件240的第一供給通道313a相對置的位置處開口。第二連接流道214B的Z2側(cè)的開口,在下文所述的與流道部件240的第二供給通道323B相對置的位置處開口。另外,對于對X2側(cè)的流道部件240與頭主體200A2及頭主體200B2進行連接的第一連接流道也是同樣的。
[0129]另外,在保持架部件210上,設(shè)置有在頭保持部211的底面上開口的第一配線插穿孔212。該第一配線插穿孔212為權(quán)利要求中的保持架部件上所形成的配線插穿孔。第一配線插穿孔212貫穿于頭保持部211和保持架部件210的Z2偵U。
[0130]在這種頭保持部211上,收容有第二矯正板280。第二矯正板280由被固定于保持架部件210的Zl側(cè)的面上的板狀部件構(gòu)成,并且以液體噴射面20a的面方向、即包括第一方向X及第二方向Y的方向成為面方向的方式而配置。在本實施方式中,在頭保持部211上形成有能夠進行收容的形狀,具體而言,以使在大致呈長方形的板狀部件之中、與第一收容部215及第二收容部216相對置的區(qū)域被切除的方式而形成。
[0131]此外,在相對于液體噴射面20a而俯視觀察時,第二矯正板280具有覆蓋所有的頭主體200的液體噴射面20a即噴嘴板20的大小。這種第二矯正板280例如通過粘合劑而被收容于并被粘合頭保持部211中。當(dāng)然,頭保持部211也可以不通過粘合劑,而通過例如彈簧等固定單元而被固定在保持架部件210上,也可以通過夾持于保持架部件210與其他部件(例如,頭主體200等)之間從而被固定在保持架部件上。
[0132]在第二矯正板280上形成有,與被設(shè)置在保持架部件210上的第一配線插穿孔212連通的第二配線插穿孔282。通過使第一配線插穿孔212和第二配線插穿孔282連通而形成一個連通孔。被保持于頭保持部211內(nèi)的頭主體200的配線基板121,經(jīng)由第一配線插穿孔212及第二配線插穿孔282而向保持架部件210的Z2側(cè)引出,從而使配線基板121的被引出的端部與電路基板220相連接。
[0133]此外,在第二矯正板280上設(shè)置有在第三方向Z上貫穿的開口 281。開口 281被設(shè)置為,使被設(shè)置于保持架部件210上的突起部217貫穿插入程度的開口形狀。該貫穿插入開口 281的突起部217被粘合于頭主體200的殼體部件40上,并且向突起部217的頂面開口的第一連接流道213及第二連接流道214與頭主體200的導(dǎo)入口 44連通。
[0134]由此,在保持架部件210上,第二連接流道214沿著第三方向Z而延伸設(shè)置為直線狀。此外,在第二矯正板280上設(shè)置有在第三方向Z上貫穿的開口 281。通過使第二連接流道214開口的突起部217沿著第三方向Z而被貫穿插入于開口 281,可以使第二連接流道214與頭主體的導(dǎo)入口 44連通。根據(jù)這種結(jié)構(gòu)的第二矯正板的開口 281,由于只要作為沿著第三方向Z的貫穿孔而形成即可,因此第二矯正板280的加工較為容易。即,不需要與第二連接流道214同樣地相對于第三方向Z傾斜而設(shè)置。
[0135]第二矯正板280由具有與保持架部件210相比剛性較高的材料、例如金屬板等構(gòu)成,并通過使其與保持架部件210接合,從而對包括保持架部件210的第一方向X及第二方向Y的平面上的歪斜或扭曲進行矯正。換句話說,即使在保持架部件210的制造時或加熱時發(fā)生歪斜或扭曲,但由于以矯正了保持架部件210的歪斜或扭曲的狀態(tài)而使第二矯正板280與保持架部件210接合,因此能夠維持矯正了保持架部件210的歪斜或扭曲的狀態(tài)。由此,能夠提高與保持架部件210的頭主體200接合的Zl側(cè)的面的平面度,從而對向記錄薄片S的油墨的噴落位置偏移進行抑制。
[0136]此外,如上所述,第二矯正板280具有覆蓋所有的頭主體200的液體噴射面20a亦即噴嘴板20的大小,并與保持架部件210接合。S卩,由于第二矯正板280被粘合于對所有的頭主體200進行保持的保持架部件210上,因此能夠更可靠地對制造時等的歪斜或扭曲進行矯正。并且,能夠通過第二矯正板280來提高記錄頭2的剛性。
[0137]如圖3、圖5、圖6、圖8及圖28所示,在將第二矯正板280及頭主體200保持在頭保持部211上的保持架部件210的Zl側(cè)的面上,設(shè)置有覆蓋頭保持部211的開口的固定板260。
[0138]固定板260為對頭主體200進行固定的部件。在本實施方式中,固定板260通過折彎平板狀的部件而形成,并具備被設(shè)置于液體噴射面20a側(cè)的噴嘴面形成部263、和噴嘴面形成部263的外緣的一部分向第三方向Z的Z2側(cè)彎曲而設(shè)置的折彎部261。
[0139]此外,在固定板260的噴嘴面形成部263上,形成有使頭主體200的液體噴射面20a露出的第二露出開口部262。第二露出開口部262以使各頭主體200的液體噴射面20
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