本發(fā)明涉及流路構(gòu)件、液體噴出頭、記錄裝置以及流路構(gòu)件的制造方法。

背景技術(shù)：

以往，作為液體噴出頭，例如已知有通過將液體向記錄介質(zhì)上噴出而進(jìn)行各種印刷的噴墨頭。作為在液體噴出頭中使用的具備噴出孔、加壓室以及共用流路的流路構(gòu)件，已知有將形成有成為流路的孔或槽的金屬板層疊多個(gè)而成的結(jié)構(gòu)。上述的金屬板由粘合劑接合。為了在接合時(shí)抑制粘合劑流入孔或槽，在金屬板上形成有粘合劑的放泄槽(例如參照專利文獻(xiàn)1。)。

在先技術(shù)文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)1：日本特開2006-187967號(hào)公報(bào)

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

發(fā)明要解決的課題

即便使用專利文獻(xiàn)1所記載的粘合劑的放泄槽，由于受到制造條件的偏差等的影響，殘留在板間的粘合劑層的厚度變薄，由此粘合劑朝向流路的溢出增多，有時(shí)使噴出量、噴出速度等噴出特性的偏差增大、或者引起流路的堵塞。

因而，本發(fā)明的目的在于，提供噴出特性的偏差較少的流路構(gòu)件、液體噴出頭、記錄裝置以及流路構(gòu)件的制造方法。

用于解決課題的手段

本發(fā)明的流路構(gòu)件中，配置有成為流路的孔或者槽的多個(gè)板經(jīng)由粘合劑層而層疊，其特征在于，在至少一個(gè)所述板上配置有粘合劑的放泄槽，并且在該放泄槽的邊緣處配置有第一凸部，該第一凸部從配置有該放泄槽的所述板的主表面突起。

另外，本發(fā)明的液體噴出頭包括所述流路構(gòu)件和多個(gè)加壓部，其特征在于，所述流路構(gòu)件具有與所述流路相連的多個(gè)噴出孔，多個(gè)加壓部對(duì)所述流路內(nèi)的液體進(jìn)行加壓，由此從所述多個(gè)噴出孔分別噴出所述液體。

另外，本發(fā)明的記錄裝置的特征在于，具備所述液體噴出頭、相對(duì)于所述液體噴出頭輸送記錄介質(zhì)的輸送部、以及控制所述液體噴出頭的控制部。

另外，本發(fā)明的流路構(gòu)件的制造方法包括：第一工序，在該第一工序中，準(zhǔn)備配置有成為流路的孔或者槽的多個(gè)板；以及第二工序，在該第二工序中，向所述多個(gè)板之間供給粘合劑，將所述多個(gè)板粘合，其特征在于，在所述第一工序中準(zhǔn)備的所述多個(gè)板中的至少一個(gè)所述板上，配置有粘合劑的放泄槽，并且在該放泄槽的邊緣處配置有第一凸部，該第一凸部從配置有該放泄槽的所述板的主表面突起。

發(fā)明效果

根據(jù)本發(fā)明的液體噴出頭，能夠減小液體的噴出特性的偏差。

附圖說明

圖1(a)是包括本發(fā)明的一實(shí)施方式的液體噴出頭的記錄裝置的側(cè)視圖，圖1(b)是俯視圖。

圖2是圖1的液體噴出頭的主要部分即頭主體的俯視圖。

圖3是圖2的由單點(diǎn)劃線圍起的區(qū)域的放大圖，是為了說明而省略了一部分流路的圖。

圖4是圖2的由單點(diǎn)劃線圍起的區(qū)域的放大圖，是為了說明而省略了一部分流路的圖。

圖5是沿著圖3的V-V線的縱剖視圖。

圖6(a)是圖5的一部分的放大縱剖視圖，圖6(b)～圖6(d)是圖6(a)的一部分的制造過程中的放大縱剖視圖。

具體實(shí)施方式

圖1(a)是包括本發(fā)明的一實(shí)施方式的液體噴出頭2的記錄裝置、即彩色噴墨打印機(jī)1(以下有時(shí)僅稱為打印機(jī))的概要側(cè)視圖，圖1(b)是概要俯視圖。打印機(jī)1通過將作為記錄介質(zhì)的印刷紙張P從引導(dǎo)輥82A向輸送輥82B輸送，從而使印刷紙張P相對(duì)于液體噴出頭2相對(duì)地移動(dòng)。控制部88基于圖像、文字的數(shù)據(jù)來控制液體噴出頭2，使其朝向記錄介質(zhì)P噴出液體，使液滴噴射到印刷紙張P，從而在印刷紙張P上進(jìn)行印刷等記錄。

在本實(shí)施方式中，液體噴出頭2相對(duì)于打印機(jī)1固定，打印機(jī)1成為所謂的行式打印機(jī)。作為本發(fā)明的記錄裝置的其它實(shí)施方式，舉出所謂的串行打印機(jī)，在串行打印機(jī)中，交替地進(jìn)行使液體噴出頭2沿與印刷紙張P的輸送方向交叉的方向、例如大體正交的方向以往復(fù)等的方式移動(dòng)的動(dòng)作、以及印刷紙張P的輸送。

在打印機(jī)1中，以與印刷紙張P大體平行的方式固定有平板狀的頭搭載框架70(以下有時(shí)僅稱為框架)。在框架70上設(shè)有未圖示的20個(gè)孔，20個(gè)液體噴出頭2搭載于各個(gè)孔的部分，液體噴出頭2的、噴出液體的部位面對(duì)印刷紙張P。液體噴出頭2與印刷紙張P之間的距離例如為0.5～20mm左右。五個(gè)液體噴出頭2構(gòu)成一個(gè)頭組72，打印機(jī)1具有四個(gè)頭組72。

液體噴出頭2具有在從圖1(a)的近前朝里的方向、圖1(b)的上下方向上細(xì)長的長條形狀。有時(shí)將該較長的方向稱為長邊方向。在一個(gè)頭組72內(nèi)，三個(gè)液體噴出頭2沿著與印刷紙張P的輸送方向交叉的方向、例如大體正交的方向排列，其它兩個(gè)液體噴出頭2在沿著輸送方向偏移的位置分別逐一地排列在三個(gè)液體噴出頭2之間。液體噴出頭2配置為，由各液體噴出頭2能夠印刷的范圍在印刷紙張P的寬度方向(與印刷紙張P的輸送方向交叉的方向)上相連、或者端部重復(fù)，從而能夠?qū)崿F(xiàn)在印刷紙張P的寬度方向上沒有間隙的印刷。

四個(gè)頭組72沿著記錄紙張P的輸送方向進(jìn)行配置。在各液體噴出頭2中，被從未圖示的液體罐供給液體、例如墨。在屬于一個(gè)頭組72的液體噴出頭2中被供給相同顏色的墨，能夠利用四個(gè)頭組72印刷四種顏色的墨。從各頭組72噴出的墨的顏色例如為品紅色(M)、黃色(Y)、青色(C)以及黑色(K)。若由控制部88控制這樣的墨而進(jìn)行印刷，則能夠印刷彩色圖像。

關(guān)于搭載于打印機(jī)1的液體噴出頭2的個(gè)數(shù)，若要印刷單色且在能夠由一個(gè)液體噴出頭2印刷的范圍內(nèi)進(jìn)行印刷，則也可以為一個(gè)。頭組72所含的液體噴出頭2的個(gè)數(shù)、頭組72的個(gè)數(shù)能夠根據(jù)印刷的對(duì)象、印刷條件來適當(dāng)變更。例如，也可以為了進(jìn)行更多顏色的印刷而增加頭組72的個(gè)數(shù)。另外，若配置多個(gè)以同色印刷的頭組72且沿輸送方向交替地印刷，則即便使用相同性能的液體噴出頭2也能夠加快輸送速度。由此，能夠增大每單位時(shí)間的印刷面積。另外，也可以準(zhǔn)備多個(gè)以同色印刷的頭組72，沿與輸送方向交叉的方向偏移配置，從而提高印刷紙張P的寬度方向上的分辨率。

另外，除了印刷帶顏色的墨以外，為了進(jìn)行印刷紙張P的表面處理，也可以印刷涂敷劑等液體。

打印機(jī)1對(duì)作為記錄介質(zhì)的印刷紙張P進(jìn)行印刷。印刷紙張P處于卷繞于供紙輥80A的狀態(tài)，在穿過兩個(gè)引導(dǎo)輥82A之間以后，穿過搭載于框架70的液體噴出頭2的下側(cè)，之后穿過兩個(gè)輸送輥82B之間，最終被回收輥80B回收。在印刷時(shí)，通過使輸送輥82B旋轉(zhuǎn)而將印刷紙張P以恒定速度輸送，并利用液體噴出頭2進(jìn)行印刷。回收輥80B卷繞從輸送輥82B送出的印刷紙張P。輸送速度例如為75m/分。各輥可以由控制部88控制，也可以由人手動(dòng)地操作。

記錄介質(zhì)除了印刷紙張P以外也可以是卷狀的布等。另外，在打印機(jī)1中，也可以替代直接輸送印刷紙張P，而是直接對(duì)輸送帶進(jìn)行輸送，并將記錄介質(zhì)置于輸送帶上進(jìn)行輸送。如此一來，能夠?qū)螐埣埢虿脭嗪蟮牟?、木材、瓷磚等作為記錄介質(zhì)。另外，也可以從液體噴出頭2噴出包含導(dǎo)電性顆粒的液體，從而印刷電子儀器的布線圖案等。此外，也可以從液體噴出頭2朝向反應(yīng)容器等噴出規(guī)定量的液體的化學(xué)藥劑、包括化學(xué)藥劑的液體，并使其反應(yīng)等而制作化學(xué)藥品。

另外，也可以在打印機(jī)1上安裝位置傳感器、速度傳感器、溫度傳感器等，控制部88根據(jù)由來自各傳感器的信息知曉的打印機(jī)1各部分的狀態(tài)來控制打印機(jī)1的各部分。例如，在液體噴出頭2的溫度或液體罐的液體的溫度、液體罐的液體向液體噴出頭2施加的壓力等對(duì)噴出的液體的噴出量或噴出速度等噴出特性造成影響的情況下等，也可以根據(jù)上述的信息來改變使液體噴出的驅(qū)動(dòng)信號(hào)。

接下來，說明本發(fā)明的一實(shí)施方式的液體噴出頭2。圖2是表示圖1所示的液體噴出頭2的主要部分即頭主體2a的俯視圖。圖3是圖2的由單點(diǎn)劃線圍成的區(qū)域的放大俯視圖，是頭主體2a的一部分。在圖3中，為了便于說明而省略一部分流路進(jìn)行描繪。圖4是與圖3相同的位置的放大俯視圖，省略與圖3不同的一部分流路進(jìn)行描繪。圖5是沿著圖3的V-V線的縱剖視圖。需要說明的是，在圖3以及4中，為了便于理解附圖，將處于壓電致動(dòng)器基板21的下方且應(yīng)由虛線描繪的加壓室10、節(jié)流孔6以及噴出孔8等由實(shí)線描繪。

在液體噴出頭2中除了頭主體2a以外還包括向頭主體2a供給液體的貯存器或殼體。另外，頭主體2a包括流路構(gòu)件4、以及嵌入作為加壓部的位移元件30的壓電致動(dòng)器基板21。

構(gòu)成頭主體2a的流路構(gòu)件4具備作為共用流路的岐管5、與岐管5相連的多個(gè)加壓室10、以及與多個(gè)加壓室10分別相連的多個(gè)噴出孔8。加壓室10向流路構(gòu)件4的上表面開口，流路構(gòu)件4的上表面成為加壓室面4-2。另外，流路構(gòu)件4的上表面具有與岐管5相連的開口5a，從該開口5a供給液體。

另外，在流路構(gòu)件4的上表面接合有包含位移元件30的壓電致動(dòng)器基板21，各位移元件30以位于加壓室10上的方式配置。另外，在壓電致動(dòng)器基板21上連接有向各位移元件30供給信號(hào)的信號(hào)傳遞部60。在圖2中，為了理解兩個(gè)信號(hào)傳遞部60與壓電致動(dòng)器基板21相連的狀態(tài)，以虛線示出信號(hào)傳遞部60的與壓電致動(dòng)器基板21連接的附近的外形。與壓電致動(dòng)器基板21電連接的、信號(hào)傳遞部60所形成的電極呈矩形地配置在信號(hào)傳遞部60的端部。兩個(gè)信號(hào)傳遞部60以各自的端部到達(dá)壓電致動(dòng)器基板21的短邊方向的中央部的方式進(jìn)行連接。

頭主體2a具有平板狀的流路構(gòu)件4、以及包括在流路構(gòu)件4上接合的位移元件30的壓電致動(dòng)器基板21各一個(gè)。壓電致動(dòng)器基板21的平面形狀為長方形，壓電致動(dòng)器基板21以其長方形的長邊沿著流路構(gòu)件4的長邊方向的方式配置于流路構(gòu)件4的上表面。

在流路構(gòu)件4的內(nèi)部形成有兩根岐管5。岐管5具有從流路構(gòu)件4的長邊方向的一端部側(cè)向另一端部側(cè)延伸的細(xì)長形狀，在其兩端部形成有向流路構(gòu)件4的上表面開口的岐管5的開口5a。

另外，岐管5至少在與加壓室10相連的區(qū)域、即長邊方向上的中央部分處，被沿短邊方向隔開間隔設(shè)置的隔壁15分隔。隔壁15在與加壓室10相連的區(qū)域、即長邊方向的中央部分處，具有與岐管5相同的高度，將岐管5完全分隔成多個(gè)副岐管5b。如此一來，在俯視觀察下，能夠以與隔壁15重疊的方式設(shè)置噴出孔8以及從噴出孔8與加壓室10相連的流路。

有時(shí)將分成多個(gè)的部分的岐管5稱為副岐管5b。在本實(shí)施方式中，岐管5獨(dú)立地設(shè)置有兩根，在各自的兩端部設(shè)置開口5a。另外，在一根岐管5中設(shè)有七個(gè)隔壁15，并分成八個(gè)副岐管5b。副岐管5b的寬度大于隔壁15的寬度，由此能夠在副岐管5b中流動(dòng)較多的液體。

流路構(gòu)件4的多個(gè)加壓室10通過二維地?cái)U(kuò)展而形成。加壓室10是具有角部被實(shí)施倒角的大致菱形或橢圓形狀的平面形狀的中空區(qū)域。

加壓室10經(jīng)由節(jié)流孔6與一個(gè)副岐管5b相連。以沿著一個(gè)副岐管5b的方式與該副岐管5b相連的加壓室10的行、即加壓室行11在副岐管5b的兩側(cè)各設(shè)置一行，合計(jì)設(shè)置兩行。因而，相對(duì)于一根岐管5設(shè)有16行加壓室11，在頭主體2a整體中設(shè)有32行加壓室行11。各加壓室行11中的加壓室10的長邊方向的間隔相同，例如形成37.5dpi的間隔。

在各加壓室行11的端部設(shè)有一列虛設(shè)加壓室16的列。該虛設(shè)加壓室列的虛設(shè)加壓室16雖與岐管5相連，但不與噴出孔8相連。另外，在32行加壓室行11的外側(cè)，設(shè)有一行虛設(shè)加壓室16呈直線狀排列而成的虛設(shè)加壓室行。該虛設(shè)加壓室行的虛設(shè)加壓室16與岐管5以及噴出孔8均未相連。通過這些虛設(shè)加壓室16，從端部起向內(nèi)側(cè)的第一個(gè)加壓室10的周圍的構(gòu)造(剛性)與其它加壓室10的構(gòu)造(剛性)接近，由此能夠減小液體噴出特性的差異。需要說明的是，關(guān)于周圍的構(gòu)造的差異的影響，距離較近且沿長度方向鄰接的加壓室10的影響較大，因此沿長度方向在兩端設(shè)置虛設(shè)加壓室。寬度方向的影響比較小，因此僅設(shè)于靠近頭主體21a的端部的位置。由此，能夠減小頭主體21a的寬度。

與一根岐管5相連的加壓室10配置為形成沿著矩形狀的壓電致動(dòng)器基板21的各外邊的行以及列的格子狀。由此，從壓電致動(dòng)器基板21的外邊起，等距離地配置在加壓室10之上形成的獨(dú)立電極25，因此在形成獨(dú)立電極25時(shí)，不易使壓電致動(dòng)器基板21發(fā)生變形。在接合壓電致動(dòng)器基板21與流路構(gòu)件4時(shí)，當(dāng)該變形較大時(shí)向靠近外邊的位移元件30施加應(yīng)力，有可能使位移特性產(chǎn)生偏差，但通過減少變形，能夠降低該偏差。另外，由于在最靠近外邊的加壓室行11的外側(cè)設(shè)有虛設(shè)加壓室16的虛設(shè)加壓室行，因此能夠更加難以受到變形的影響。屬于加壓室行11的加壓室10以等間隔配置，與加壓室行11對(duì)應(yīng)的獨(dú)立電極25也以等間隔配置。加壓室行11沿短邊方向以等間隔配置，與加壓室行11對(duì)應(yīng)的獨(dú)立電極25的行也沿短邊方向以等間隔配置。由此，尤其能夠消除串?dāng)_的影響增大的部位。

在本實(shí)施方式中，加壓室10配置為格子狀，但也可以將加壓室10以相鄰的加壓室列11的加壓室10位于彼此之間的方式配置為鋸齒狀。這樣，屬于鄰接加壓室行11的加壓室10之間的距離變得更長，因此能夠進(jìn)一步抑制串?dāng)_。

與如何排列加壓室行11無關(guān)地，在俯視觀察流路構(gòu)件4時(shí)，通過將屬于一個(gè)加壓室行11的加壓室10配置為與屬于鄰接的加壓室行11的加壓室10在液體噴出頭2的長邊方向上不重疊，由此能夠抑制串?dāng)_。另一方面，當(dāng)分開加壓室行11之間的距離時(shí)，液體噴出頭2的寬度增大，因此液體噴出頭2相對(duì)于打印機(jī)1的設(shè)置角度的精度、使用多個(gè)液體噴出頭2時(shí)的液體噴出頭2的相對(duì)位置的精度對(duì)印刷結(jié)果造成的影響增大。對(duì)此，通過使隔壁15的寬度小于副岐管5b，能夠減小這些精度對(duì)印刷結(jié)果造成的影響。

與一個(gè)副岐管5b相連的加壓室10形成兩列加壓室行11，與屬于一個(gè)加壓室行11的加壓室10相連的噴出孔8形成一個(gè)噴出孔行9。與屬于兩行加壓室行11的加壓室10相連的噴出孔8分別向副岐管5b的不同側(cè)開口。在圖4中，在隔壁15上設(shè)有兩行噴出孔行9，但屬于各個(gè)噴出孔行9的噴出孔8經(jīng)由加壓室10而與靠近噴出孔8的一側(cè)的副岐管5b相連。當(dāng)配置為在液體噴出頭2的長邊方向上不與經(jīng)由加壓室行11而連結(jié)鄰接的副岐管5b的噴出孔8重疊時(shí)，能夠抑制連結(jié)加壓室10與噴出孔8的流路間的串?dāng)_，因此能夠進(jìn)一步減少串?dāng)_。當(dāng)將連結(jié)加壓室10與噴出孔8的流路整體配置為在液體噴出頭2的長邊方向上不重疊時(shí)，能夠進(jìn)一步減少串?dāng)_。

利用與一個(gè)岐管5相連的多個(gè)加壓室10來構(gòu)成加壓室組，岐管5具有兩根，因此加壓室組具有兩組。各加壓室組內(nèi)的與噴出相關(guān)的加壓室10的配置相同，配置在沿短邊方向平行移動(dòng)后的位置。這些加壓室10在流路構(gòu)件4的上表面中的與壓電致動(dòng)器基板21對(duì)置的區(qū)域具有加壓室組間等的間隔稍微擴(kuò)寬的部分，但是排列在大致整面范圍內(nèi)。換句話說，由這些加壓室10形成的加壓室組占有與壓電致動(dòng)器基板21大體相同的形狀的區(qū)域。另外，各加壓室10的開口通過向流路構(gòu)件4的上表面接合壓電致動(dòng)器基板21來堵塞。

從加壓室10的與連結(jié)節(jié)流孔6的角部對(duì)置的角部，延伸出與向流路構(gòu)件4的下表面的噴出孔面4-1開口的噴出孔8相連的流路。該流路在俯視觀察下向遠(yuǎn)離加壓室10的方向延伸。更具體來說，向沿著加壓室10的長對(duì)角線的方向分離，并且一邊相對(duì)于該方向左右錯(cuò)開一邊延伸。由此，加壓室10形成各加壓室行11內(nèi)的間隔為37.5dpi的格子狀的配置，并且能夠?qū)姵隹?整體以1200dpi的間隔配置。

換言之，以相對(duì)于與流路構(gòu)件4的長邊方向平行的假想直線正交的方式投影噴出孔8時(shí)，在圖4所示的假想直線的R的范圍內(nèi)，與各岐管5相連的16個(gè)噴出孔8、全部32個(gè)噴出孔8成為1200dpi的等間隔。由此，通過向全部岐管5供給相同顏色的墨，整體能夠沿長邊方向以1200dpi的分辨率來形成圖像。另外，與一個(gè)岐管5相連的一個(gè)噴出孔8在假想直線的R的范圍內(nèi)成為600dpi的等間隔。由此，通過向各岐管5供給不同顏色的墨，整體能夠沿長邊方向以600dpi的分辨率形成雙色的圖像。在這種情況下，若使用兩個(gè)液體噴出頭2，則能夠以600dpi的分辨率形成4色的圖像，與使用四個(gè)能夠以600dpi印刷的液體噴出頭相比，印刷精度提高，也能夠簡(jiǎn)化印刷的設(shè)置。需要說明的是，假想直線的R的范圍被噴出孔8覆蓋，該噴出孔8與屬于沿頭主體2a的短邊方向排列的一列加壓室列的加壓室10相連。

在壓電致動(dòng)器基板21的上表面的與各加壓室10對(duì)置的位置分別形成有獨(dú)立電極25。獨(dú)立電極25包括比加壓室10小一圈且具有與加壓室10大體相似的形狀的獨(dú)立電極主體25a、以及從獨(dú)立電極主體25a伸出的伸出電極25b，獨(dú)立電極25與加壓室10同樣地構(gòu)成獨(dú)立電極列以及獨(dú)立電極組。另外，在壓電致動(dòng)器基板21的上表面配置有共用電極用表面電極28。共用電極用表面電極28與共用電極24穿過配置于壓電陶瓷層21b的未圖示的貫通導(dǎo)體進(jìn)行電連接。

噴出孔8配置在避開如下區(qū)域的位置：該區(qū)域是與在流路構(gòu)件4的下表面?zhèn)扰渲玫尼?對(duì)置的區(qū)域。另外，噴出孔8配置在流路構(gòu)件4的下表面?zhèn)鹊呐c壓電致動(dòng)器基板21對(duì)置的區(qū)域內(nèi)。這些噴出孔8作為一個(gè)組而占有與壓電致動(dòng)器基板21大體相同的形狀的區(qū)域，通過使對(duì)應(yīng)的壓電致動(dòng)器基板21的位移元件30位移，能夠從噴出孔8噴出液滴。

頭主體2a所含的流路構(gòu)件4具有多個(gè)板經(jīng)由粘合劑層18層疊而成的層疊構(gòu)造。這些板從流路構(gòu)件4的上表面依次為空腔板4a、孔隙(節(jié)流孔)板4b、供應(yīng)板4c、岐管板4d～4i、蓋板4j以及噴嘴板4k。在這些板上形成有許多孔。通過使各板的厚度為10～300μm左右，能夠提高孔的形成精度。流路構(gòu)件4的厚度為500μm～2mm左右。各板進(jìn)行對(duì)位并層疊，以使得這些孔相互連通而構(gòu)成獨(dú)立流路12以及岐管5。在頭主體2a中具有如下結(jié)構(gòu)：加壓室10位于流路構(gòu)件4的上表面，岐管5位于內(nèi)部的下表面?zhèn)龋瑖姵隹?位于下表面，構(gòu)成獨(dú)立流路12的各部分在不同位置相互接近配設(shè)，經(jīng)由加壓室10將岐管5與噴出孔8相連。

對(duì)配置于各板的孔以及槽進(jìn)行說明。在這些孔以及槽中包含成為液體的流路的部分以及在成為流路的孔或者槽的周圍配置的粘合劑的放泄槽17。關(guān)于放泄槽17見后述。

成為流路的孔或者槽具有下述結(jié)構(gòu)。第一是形成于空腔板4a的加壓室10。第二是構(gòu)成從加壓室10的一端向岐管5相連的節(jié)流孔6的連通孔。該連通孔形成于從孔隙板4b(詳細(xì)來說加壓室10的入口)至供應(yīng)板4c(詳細(xì)來說岐管5的出口)的各板。

第三是構(gòu)成從加壓室10的與連結(jié)節(jié)流孔6的端相反的另一端向噴出孔8連通的流路的局部流路、即下伸部7。下伸部7形成于從基底板4b(詳細(xì)來說加壓室10的出口)至噴嘴板4k(詳細(xì)來說噴出孔8)的各板。

第四是構(gòu)成副岐管5a的連通孔。該連通孔形成于岐管板4c～4i。在岐管板4c～4i上，以殘留有為了構(gòu)成副岐管5b而成為隔壁15的分隔部的方式形成有孔。各岐管板4c～4i中的分隔部成為利用半蝕刻的支承部(在圖中省略)而與各岐管板4c～4i相連的狀態(tài)。

第一連通孔～第四連通孔彼此相連，構(gòu)成從來自岐管5的液體的流入口(岐管5的出口)到達(dá)噴出孔8的獨(dú)立流路12。供給至岐管5的液體沿以下的路線從噴出孔8噴出。首先，從岐管5朝向上方到達(dá)節(jié)流孔6的一端部。接下來，沿著節(jié)流孔6的延伸方向水平前進(jìn)，到達(dá)節(jié)流孔6的另一端部。自此朝向上方，到達(dá)加壓室10的一端部。進(jìn)而，沿著加壓室10的延伸方向水平前進(jìn)，到達(dá)加壓室10的另一端部。從加壓室10進(jìn)入下伸部7的液體在沿水平方向移動(dòng)的同時(shí)，主要朝向下方到達(dá)4在下表面開口的噴出孔8，向外部噴出。

壓電致動(dòng)器基板21具有由作為壓電體的兩片壓電陶瓷層21a、21b構(gòu)成的層疊構(gòu)造。這些壓電陶瓷層21a、21b分別具有20μm左右的厚度。壓電致動(dòng)器基板21的從壓電陶瓷層21a的下表面至壓電陶瓷層21b的上表面的厚度為40μm左右。壓電陶瓷層21a、21b中的任一層均以跨越多個(gè)加壓室10的方式延伸。這些壓電陶瓷層21a、21b例如由具有強(qiáng)介電性的鋯鈦酸鉛(PZT)系、NaNbO₃系、BaTiO₃系、(BiNa)NbO₃系、BiNaNb₅O₁₅系等陶瓷材料構(gòu)成。需要說明的是，壓電陶瓷層21a作為振動(dòng)板而動(dòng)作，并非必須是壓電體，取而代之，也可以使用并非壓電體的其它陶瓷層、金屬板。

壓電致動(dòng)器基板21具有由Ag-Pd系等金屬材料構(gòu)成的共用電極24以及由Au系等金屬材料構(gòu)成的獨(dú)立電極25。共用電極24的厚度為2μm左右，獨(dú)立電極25的厚度為1μm左右。

獨(dú)立電極25分別配置在壓電致動(dòng)器基板21的上表面的與各加壓室10對(duì)置的位置。獨(dú)立電極25包括平面形狀比加壓室主體10a小一圈且具有與加壓室主體10a大體相似的形狀的獨(dú)立電極主體25a、以及從獨(dú)立電極主體25a伸出的伸出電極25b。在伸出電極25b的一端的、向與加壓室10對(duì)置的區(qū)域外伸出的部分配置有連接電極26。連接電極26是例如包含銀顆粒等導(dǎo)電性顆粒的導(dǎo)電性樹脂，以5～200μm左右的厚度形成。另外，連接電極26與設(shè)于信號(hào)傳遞部60的電極電接合。

詳見后述，從控制部88通過信號(hào)傳遞部60向獨(dú)立電極25供給驅(qū)動(dòng)信號(hào)。驅(qū)動(dòng)信號(hào)與印刷介質(zhì)P的輸送速度同步地以恒定的周期被供給。

共用電極24在面方向的大體整面范圍內(nèi)形成于壓電陶瓷層21b與壓電陶瓷層21a之間的區(qū)域。即，共用電極24以覆蓋與壓電致動(dòng)器基板21對(duì)置的區(qū)域內(nèi)的全部加壓室10的方式延伸。共用電極24經(jīng)由貫穿壓電陶瓷層21b形成的貫通導(dǎo)體而與共用電極用表面電極28相連，該共用電極用表面電極28形成在壓電陶瓷層21b上避開由獨(dú)立電極44構(gòu)成的電極組的位置。另外，共用電極24經(jīng)由共用電極用表面電極28接地，保持為接地電位。共用電極用表面電極28與獨(dú)立電極25同樣地與控制部88直接或者間接地連接。

壓電陶瓷層21b的被獨(dú)立電極25與共用電極24夾持的部分在厚度方向上極化，成為當(dāng)向獨(dú)立電極25施加電壓時(shí)位移的單晶片構(gòu)造的位移元件30。更具體來說，在將獨(dú)立電極25設(shè)為與共用電極24不同的電位而相對(duì)于壓電陶瓷層21b沿其極化方向施加電場(chǎng)時(shí)，被施加該電場(chǎng)的部分作為因壓電效果而變形的活性部發(fā)揮作用。在該結(jié)構(gòu)中，以使電場(chǎng)與極化成為同方向的方式利用控制部88將獨(dú)立電極25設(shè)為相對(duì)于共用電極24正或負(fù)的規(guī)定電位時(shí)，壓電陶瓷層21b的被電極夾持的部分(活性部)沿面方向收縮。另一方面，由于非活性層的壓電陶瓷層21a不受到電場(chǎng)的影響，因此不會(huì)自發(fā)地收縮而要限制活性部的變形。其結(jié)果是，在壓電陶瓷層21a與壓電陶瓷層21b之間朝向極化方向的變形產(chǎn)生差，壓電陶瓷層21a以朝向加壓室10側(cè)凸出的方式變形(單晶片變形)。

接著，說明液體的噴出動(dòng)作。通過在控制部88的控制下經(jīng)由驅(qū)動(dòng)器IC等向獨(dú)立電極25供給的驅(qū)動(dòng)信號(hào)，使位移元件30驅(qū)動(dòng)(位移)。在本實(shí)施方式中，能夠以各種驅(qū)動(dòng)信號(hào)使液體噴出，在此，說明所謂的吸入噴射驅(qū)動(dòng)方法。

預(yù)先將獨(dú)立電極25設(shè)為比共用電極24高的電位(以下稱作高電位)，每當(dāng)具有噴出請(qǐng)求時(shí)，將獨(dú)立電極25設(shè)為與共用電極24暫時(shí)相同的電位(以下稱作低電位)，之后在規(guī)定的時(shí)機(jī)再次設(shè)為高電位。由此，在獨(dú)立電極25成為低電位的時(shí)機(jī)，壓電陶瓷層21a、21b恢復(fù)成原始(扁平)形狀(開始)，加壓室10的容積與初始狀態(tài)(兩電極的電位不同的狀態(tài))相比而增加。由此，向加壓室10內(nèi)的液體賦予負(fù)壓。于是，加壓室10內(nèi)的液體以固有振動(dòng)周期開始振動(dòng)。具體來說，最初，加壓室10的體積開始增加，負(fù)壓漸漸地減小。接著，加壓室10的體積成為最大，壓力大致為零。接下來，加壓室10的體積開始減少，壓力增高。之后，在壓力大致成為最大的時(shí)機(jī)，將獨(dú)立電極25設(shè)為高電位。于是，最初施加的振動(dòng)與接下來施加的振動(dòng)重疊，向液體施加更大的壓力。該壓力在下伸部7內(nèi)傳遞，使液體從噴出孔8噴出。

換句話說，以高電位為基準(zhǔn)，將恒定期間為低電位的脈沖的驅(qū)動(dòng)信號(hào)向獨(dú)立電極25供給，由此能夠噴出液滴。當(dāng)將該脈沖寬度設(shè)為加壓室10的液體的固有振動(dòng)周期的一半時(shí)間、即AL(Acoustic Length)時(shí)，在原理上，能夠使液體的噴出速度以及噴出量成為最大。加壓室10的液體的固有振動(dòng)周期受到液體的物理性質(zhì)、加壓室10的形狀的影響較大，但除此以外，也受到來自壓電致動(dòng)器基板21的物理性質(zhì)、與加壓室10相連的流路的特性的影響。

需要說明的是，由于還存在將噴出的液滴匯集在一起等其它要考慮的重要因素，因此脈沖寬度實(shí)際上設(shè)為0.5AL～1.5AL左右的值。另外，通過將脈沖寬度設(shè)為偏離AL的值，能夠減少噴出量，因此為了減少噴出量而設(shè)為偏離AL的值。

在經(jīng)由粘合劑層18將板4a～4k層疊時(shí)，若粘合劑不足遍及板4a～4k之間的整面的量，則產(chǎn)生沒有粘合的部分。在粘合劑遍及板4a～4k之間的整面的狀態(tài)下，當(dāng)為了粘合進(jìn)行加壓時(shí)，粘合劑的一部分向流路之中流入。

對(duì)此，在成為流路的孔或槽的周圍配置粘合劑的放泄槽17。放泄槽17是基本上形成于板4a～4j的槽，通過對(duì)板4a～4j進(jìn)行半蝕刻等來形成。但是，放泄槽17也可以通過貫穿板4a～4j來形成，包含這樣的結(jié)構(gòu)在內(nèi)均稱作放泄槽17。

在此，說明圖6(a)～圖6(d)。圖6(a)是圖5的局部放大縱剖視圖。圖6(b)～圖6(d)是圖6(a)的局部放大縱剖視圖，是相同部位的分別不同工序下的狀態(tài)。

構(gòu)成作為液體流路的副岐管5a以及獨(dú)立流路12的孔以及槽是通過對(duì)板4a～4j進(jìn)行蝕刻來形成的。在圖5中，省略描繪通過由蝕刻形成而產(chǎn)生的形狀的細(xì)節(jié)部分。另外，在圖5中，也省略描繪粘合劑層18。貫穿板4a～4j的孔是通過從兩面對(duì)板4a～4j進(jìn)行蝕刻來形成的。在上述孔中，板4a～4j的厚度的中央附近的尺寸比開口部的尺寸窄。板4a～4j的大體一半的深度的槽是通過從單面對(duì)板4a～4j進(jìn)行半蝕刻來形成的。在上述槽中，槽的底部附近的尺寸比開口部的尺寸窄。

需要說明的是，形成于板4k的、一方的開口成為噴出孔8的貫通孔通過沖孔來開設(shè)。

圖6(a)是表示形成有放泄槽17的板4e與板4f經(jīng)由粘合劑層18層疊的狀態(tài)的放大縱剖視圖。粘合劑層18是通過轉(zhuǎn)印涂敷于板4e側(cè)的主表面的粘合劑固化而成的。粘合劑通過轉(zhuǎn)印而被涂敷，因此沒有向放泄槽17的內(nèi)部涂敷粘合劑。在放泄槽17的內(nèi)部有時(shí)也存在有在粘合層疊時(shí)流入的粘合劑，但在此，示出沒有發(fā)生該情況的部分。在放泄槽17的邊緣配置有比形成有放泄槽17的板4e的主表面突起的第一凸部17a。

放泄槽17配置在成為流路的孔或槽的周圍。放泄槽17基本上配置為呈環(huán)狀包圍成為流路的孔或槽的周圍。當(dāng)放泄槽17存在時(shí)，在層疊時(shí)，粘合劑的一部分流入放泄槽17。因此，能夠減少向流路流入的粘合劑的量，能夠減輕流路的堵塞或流路特性的變動(dòng)。粘合劑從流路的周圍整體流入，但通過以包圍流路的方式配置放泄槽17，能夠進(jìn)一步抑制粘合劑的流入。

在基于放泄槽17抑制粘合劑朝向流路流入時(shí)，以下的兩個(gè)作用發(fā)揮影響。第一個(gè)作用是，不使粘合劑越過放泄槽17流動(dòng)。通常不會(huì)供給由粘合劑填滿放泄槽17的程度的大量的粘合劑。因此，一旦流入到放泄槽17的粘合劑幾乎不會(huì)越過放泄槽17進(jìn)行流動(dòng)并向流路流入。若利用放泄槽17無縫隙地包圍流路的周圍，則粘合劑幾乎不會(huì)從放泄槽17的外部流入至流路。因此，有可能流入到流路的粘合劑能夠僅是供給至由放泄槽17圍成的區(qū)域的粘合范圍的粘合劑。

第二個(gè)作用是，被供給至位于放泄槽17與流路之間的粘合范圍的粘合劑向放泄槽17以及流路中的距離較近的一方流入。通過該作用，即使沒有利用放泄槽17無縫隙地包圍流路的周圍，也能夠減少向流路流入的粘合劑的量。

向流路流入的粘合劑的量受到粘合劑的涂敷量或?qū)盈B時(shí)的溫度、壓力等的影響。通過工序管理等，上述因素受到控制，但也產(chǎn)生偏差。在使用熱固化的粘合劑的情況下，在粘合層疊時(shí)，在高溫下加壓，使粘合劑低粘度化。在涂敷所設(shè)計(jì)的粘合劑或更多的粘合劑、以及因粘合劑的組成、物理性質(zhì)的偏差或粘合層疊的溫度的偏差而使粘合層疊時(shí)的粘合劑的粘度變得更低的情況等，有時(shí)粘合劑層18的厚度變薄，粘合劑朝向流路的溢出增多與之相應(yīng)的量。

對(duì)此，在放泄槽17的邊緣配置從板4a～4j的主表面突起的第一凸部17a而使粘合劑層18難以變薄。第一凸部17a的距離板4a～4j的主表面的高度大于粘合劑層18的平均厚度。另外，第一凸部17a與同配置有第一凸部17a的板4a～4j層疊的其它板4a～4k接觸。第一凸部17a無需連續(xù)地設(shè)置在放泄槽17的邊緣，也可以設(shè)置在放泄槽17的邊緣的一部分。另外，第一凸部17a的高度無需一樣，只要是第一凸部17a之中高度較高的部位大于粘合劑層18的平均厚度即可。另外，只要是第一凸部17a之中高度較高的部位與層疊的其它板4a～4k接觸即可。

粘合劑層18的平均厚度例如為0.1μm以上且2.5μm以下，第一凸部17a的高度例如為0.5μm以上且3μm以下。若第一凸部17a的高度大于粘合劑層18的平均厚度，則第一凸部17a的一部分與層疊的其它板4a～4k接觸。需要說明的是，在此第一凸部17a的高度是指，剝離了層疊于第一凸部17a的板4a～4k時(shí)的第一凸部17a的高度，能夠利用剝離后的板4a～4j的剖面進(jìn)行測(cè)定。另外，粘合劑層18的平均厚度是指，配置有第一凸部17a的粘合劑層18的平均厚度，關(guān)于該粘合劑層18的厚度，在流路構(gòu)件4的剖面中，在任意部位測(cè)定4～6處左右進(jìn)行平均即可。有時(shí)因位于周圍的孔或槽等構(gòu)造使粘合劑層18的厚度存在差異，因此在測(cè)定時(shí)，可以使密集配置孔或槽的部分與幾乎不配置孔或槽的部分各占一半進(jìn)行測(cè)定。另外，孔或槽的變緣有時(shí)如第一凸部17a那樣局部變形，因此測(cè)定沒有發(fā)生上述變形的部分。

在層疊有板4a～4j的狀態(tài)下，第一凸部17a的周圍的粘合劑層18的厚度比粘合劑層18的平均厚度厚、或者第一凸部17a的前端陷入被層疊的其它板4a～4k、或者配置有第一凸部17a的放泄槽17的邊緣以朝向放泄槽17的中央傾倒的方式局部變形，由此第一凸部17a收納于板4a～4k的層間。

在粘合層疊中，第一凸部17a與層疊的板4a～4k接觸，抑制粘合劑層18變得過薄，因此能夠抑制粘合劑朝向流路的溢出。另外，在制造工序中粘合劑的供給過少的情況下，第一凸部17a的前端被壓壞變形，放泄槽17的邊緣發(fā)生變形，由此使粘合的板4a～4k間的距離變窄，因此不易增加由粘合劑較少引起的粘合不良。當(dāng)?shù)谝煌共?7a變得極高時(shí)粘合劑量較少的情況下，有可能引起粘合不良，因此第一凸部17a的高度優(yōu)選為3μm以下。

成為流路的孔或槽的邊緣也可以具有從板4a～4j的主表面突起的第二凸部。第二凸部具有與第一凸部17a相同的效果，能夠抑制粘合劑的溢出。另一方面，在如下伸部7那樣孔構(gòu)成為一點(diǎn)點(diǎn)偏移地相連的流路中，在孔偏移配置的部分，第二凸部成為向流路的內(nèi)側(cè)露出的狀態(tài)。另外，即使沒有如下伸部7那樣進(jìn)行有意偏移的設(shè)計(jì)，通過層疊的位置偏移，也使第二凸部處于向流路的內(nèi)側(cè)露出的狀態(tài)。當(dāng)?shù)诙共肯蛄髀返膬?nèi)側(cè)露出時(shí)，可能因突起的部分使液體的流動(dòng)紊亂。因此，在成為流路的孔或槽的邊緣，不存在突起的第二凸部，或者即便存在第二凸部，也使第二凸部的高度低于第一凸部17a。而且，不存在第二凸部或者存在高度比第一凸部17a低的第二凸部的情況能夠通過包括第一凸部17a的流路構(gòu)件4的縱剖面來確認(rèn)。在該縱剖面中，若不存在第二凸部或者存在高度比第一凸部17a低的第二凸部，則在該剖面的流路中具有上述的效果。

另外，在第二凸部的高度具有偏差的情況下，有時(shí)粘合劑的溢出集中在具有高度低的第二凸部的部分。由于粘合劑的溢出方式，有時(shí)成為局部溢出的粘合劑成塊而向流路內(nèi)突出的狀態(tài)。在這樣的狀態(tài)下，與在流路的周圍整體溢出而使流路的尺寸略微變小的情況相比，也存在相對(duì)于液體的流動(dòng)的影響增大的情況。為了不易產(chǎn)生上述的情況，優(yōu)選不存在第二凸部，或者即使存在也使其高度低于第一凸部。

另外，成為流路的槽有時(shí)用于高精度地形成流路阻力高的流路，尤其優(yōu)選使這樣的槽的第二凸部的高度比配置在該槽的周圍的放泄槽17的突起17a的高度低，或者原本就沒有突起。而且，不存在第二凸部或者存在高度比第一凸部17a低的第二凸部的情況能夠通過包括第一凸部17a的流路構(gòu)件4的縱剖面來確認(rèn)。

作為成為流路的槽的例子，具有節(jié)流孔6之中沿板4b的平面方向延伸的節(jié)流孔主體6a。節(jié)流孔6是在吸入噴射方式的噴出中擔(dān)負(fù)反射施加于加壓室10的壓力而提高噴出的壓力的作用的部分，謀求高且精度優(yōu)良的流路阻力。在其它噴出方法中，由于節(jié)流孔6影響到施加于加壓室10的壓力是朝向噴出孔8還是向副岐管5a逸出，因此也謀求比較高且精度優(yōu)良的流路阻力。

節(jié)流孔6包括沿板4b的平面方向延伸的節(jié)流孔主體6a、以及沿板4a～4k的層疊方向延伸的流入孔6b和流出孔6c。節(jié)流孔6的流路阻力受到流路阻力高的節(jié)流孔主體6a的影響較大。節(jié)流孔主體6a通過半蝕刻形成為沒有貫穿板4b的槽。因此，節(jié)流孔主體6a的高度、即深度也較小，因此當(dāng)在其邊緣存在第二凸部時(shí)，因其高度的偏差而改變流路的剖面面積，由此噴出特性的影響較大。因此，優(yōu)選在節(jié)流孔主體6a的邊緣不存在第二凸部、或者即使存在其高度也低于第一凸部17a。另外，由于粘合劑朝向節(jié)流孔主體6a流入的影響相對(duì)較大，因此優(yōu)選在成為節(jié)流孔主體6a的槽的周圍配置放泄槽17。然后，在包含配置于放泄槽17的邊緣的第一凸部17a的縱剖面中，在成為與第一凸部17a相鄰的流路的槽中，通過存在第一凸部17a，能夠減少粘合劑的溢出。

接著，說明流路構(gòu)件4的制造方法。流路構(gòu)件4的制造方法包括：準(zhǔn)備配置有成為流路的孔或者槽的板4a～4k的第一工序；以及在板4a～4k之間供給成為粘合劑層18的粘合劑而將板4a～4k粘合的第二工序。在第一工序中準(zhǔn)備的板4a～4k中的、至少一個(gè)板也使用如下結(jié)構(gòu)：配置有粘合劑的放泄槽17，并且在放泄槽17的邊緣配置有從配置有放泄槽17的板的主表面突起的第一凸部17a。

作為粘合層疊工序的第二工序例如以如下方式進(jìn)行。在規(guī)定的夾具之上放置板4k。接著，在板4j的噴出孔面4-1側(cè)通過轉(zhuǎn)印等涂敷熱固化性的粘合劑。對(duì)涂敷有粘合劑的板4j進(jìn)行對(duì)位，并重疊在板4k之上。之后，從板4i至板4a依次涂敷粘合劑進(jìn)行重疊，從而制作層疊體。通過沿層疊方向?qū)盈B體進(jìn)行加壓并加熱，使粘合劑固化而成為粘合劑層18，能夠制作板4a～4k彼此粘合而成的流路構(gòu)件4。

需要說明的是，也可以在制作層疊體時(shí)，進(jìn)一步向壓電致動(dòng)器基板21涂敷粘合劑而將其重疊在板4a之上。包含壓電致動(dòng)器基板21來進(jìn)行加熱加壓。如此一來能夠制作頭主體2a。然后，若在板4a的壓電致動(dòng)器基板21側(cè)配置具備第一凸部17a的放泄槽17，則在板4a與壓電致動(dòng)器基板21的粘合中獲得上述的效果。即，能夠抑制粘合劑向配置于板4a的加壓室等流入。

在第一工序中準(zhǔn)備的具有第一凸部17a的放泄槽17例如按照以下方式制作。作為板4a～4j，具備不銹鋼等金屬制的構(gòu)件。為了在板4a～4j上蝕刻成為流路以及放泄槽17的孔或槽，使要溶解的部分露出并涂敷抗蝕劑。接著，將板4a～4j浸漬于蝕刻液，使板4a～4j的一部分溶解，形成成為流路以及放泄槽17的孔或者槽。

需要說明的是，在板4k上通過沖孔開設(shè)有一方的開口成為噴出孔8的貫通孔。

由于孔或者槽從板4a～4j的主表面形成，因此基本上主表面?zhèn)鹊某叽绫葍?nèi)部大。另外，為了使形成的孔或者槽的精度優(yōu)良，對(duì)板4a～4j的厚度的大致一半進(jìn)行蝕刻。成為孔的部分從兩側(cè)各自大約一半地被蝕刻，在中央附近相連而成為孔。

在縮窄放泄槽17的寬度的情況下，粘合區(qū)域的面積增大，除了難以產(chǎn)生來自流路的液體的泄漏之外，粘合強(qiáng)度也增大，因此是優(yōu)選的。當(dāng)在上述的條件下縮窄的放泄槽17時(shí)，放泄槽17在板4a～4j的厚度方向上的剖面成為半圓狀。

在蝕刻中，由于與通常相比增強(qiáng)蝕刻條件等，也能夠蝕刻被抗蝕劑覆蓋的部分的板4a～4j的內(nèi)部。在這樣形成的放泄槽17的邊緣，如圖6(b)那樣，能夠形成開口部比內(nèi)部窄的伸出(overhang)部17b。伸出部17b優(yōu)選向放泄槽17的內(nèi)側(cè)突出20μm以下的程度，突出量更優(yōu)選為2μm以上且15μm以下、特別優(yōu)選為5μm以上且10μm以下。另外，伸出部17b的內(nèi)壁面的角度優(yōu)選向放泄槽17的內(nèi)側(cè)傾斜1度以上且10度以下，進(jìn)一步優(yōu)選傾斜2度以上且7度以下。

另外，為了形成這樣的形狀，板4a～4j的厚度優(yōu)選為50μm以上且150μm以下。另外，放泄槽17的深度優(yōu)選為板4a～4j的厚度的40％以上且60％以下。

接著，將剝離了抗蝕劑的板4a～4j浸在水或者異丙醇等醇類中，并施加超聲波。超聲波例如以頻率42kHz、輸出600W施加10分鐘。通過施加超聲波，能夠引起氣蝕。氣蝕是指，在液體的內(nèi)部產(chǎn)生局部被減壓的部分，并通過溶于液體的液體成分以外的氣體或者從成為飽和蒸氣壓力以下的液體產(chǎn)生的氣體而產(chǎn)生氣泡。若在放泄槽17的內(nèi)部、特別是邊緣的附近引起氣蝕，則能夠使伸出部17b的邊緣的一部分以從放泄槽17向外擴(kuò)展的方式變形，如圖6(c)那樣能夠形成第一凸部17a。需要說明的是，在產(chǎn)生了氣蝕的部分處成為高壓，但產(chǎn)生的氣泡可以再次溶于液體或者液體化，因此成為高壓的是局部的部分。

由于預(yù)先形成有伸出部17b，因此通過以適當(dāng)?shù)臈l件施加超聲波，能夠形成第一凸部17a。第一凸部17a的高度能夠?yàn)?.5μm以上。在未形成伸出部17b的情況下，即使施加上述的超聲波，也無法實(shí)際上形成第一凸部17a。在此，無法實(shí)際上形成是指，第一凸部17a的高度不會(huì)成為0.1μm以上。即使形成有伸出部17b，當(dāng)伸出的程度較小或者超聲波的施加方法較弱時(shí)，也不會(huì)實(shí)際上形成第一凸部17a。另外，在為了形成高度0.5μm以上的第一凸部17a而形成有伸出部17b的情況下，在施加超聲波之后，在放泄槽17的邊緣之中也殘留伸出的部分。因而，基于蝕刻的伸出部17b的形成優(yōu)選為，即使在粘合層疊有流路構(gòu)件4的狀態(tài)下，也存在伸出部17b。

若縮窄放泄槽17的寬度，則氣蝕的壓力難以在放泄槽17之中擴(kuò)展，容易集中施加于邊緣。因此，優(yōu)選使放泄槽17的寬度為300μm以下，進(jìn)一步優(yōu)選為200μm以下，特別優(yōu)選為100μm以下。

在放泄槽17的邊緣的外側(cè)引起氣蝕時(shí)，相反也可能將邊緣向放泄槽17的內(nèi)側(cè)壓入，但在外側(cè)的氣蝕中，由于壓力向外側(cè)擴(kuò)展，因此壓力難以集中于邊緣，難以引起朝向內(nèi)側(cè)的變形。另外，即使一部分的邊緣向內(nèi)側(cè)變形，在其它部分也存在向外側(cè)變形的部分，因此在該部分能夠形成第一凸部17a。另外，由于第一凸部17a像這樣一定程度隨機(jī)形成，因此在放泄槽17的邊緣也具有突起的高度低的部分或未突起的部分。通過具有這樣的部分，在粘合層疊時(shí)，多余的粘合劑容易從這樣的部分向放泄槽17流入，因此是優(yōu)選的。通過利用沖孔等形成成為流路以及放泄槽17的孔或槽，借助沖孔時(shí)所產(chǎn)生的變形也能夠使邊緣突起，但突起的高度相對(duì)一樣，因此優(yōu)選通過基于蝕刻的加工來形成第一凸部17a。

在孔和槽中，槽具有底，壓力難以朝向底的方向逸出，因此在槽的情況下，壓力容易向邊緣集中，邊緣的突起的高度容易升高。因此，能夠使成為放泄槽17的槽的邊緣的第一凸部17a的高度高于成為流路的孔的邊緣的第二凸部的高度。另外，在槽中，在槽的體積、剖面面積較小的情況下，壓力也容易向邊緣集中，因此邊緣的突起的高度容易升高。因此，通過使放泄槽17的剖面面積小于成為流路的槽的剖面面積，能夠使放泄槽17的邊緣的第一凸部17a的高度高于成為流路的槽的邊緣的突起的高度。也可以在不同的蝕刻條件下進(jìn)行放泄槽17與成為流路的孔或槽的形成，將放泄槽17的邊緣設(shè)為伸出的狀態(tài)，將成為流路的孔或槽的邊緣設(shè)為沒有伸出的狀態(tài)。

圖6(d)是進(jìn)行粘合層疊之后的、圖6(a)的板4e的放大縱剖視圖。第一凸部17a的前端在粘合層疊時(shí)在與板4f接觸之后被施加壓力，成為前端被壓壞的頭頂部17aa。在頭頂部17aa中前端不尖銳，而是成為接近平坦的狀態(tài)。頭頂部17aa成為這樣的狀態(tài)的情況能夠通過在板4e與板4f之間剝離而觀察剖面來確認(rèn)。然后，通過確認(rèn)頭頂部17aa可知，突起17a與板4f發(fā)生了接觸。

附圖標(biāo)記說明：

1…彩色噴墨打印機(jī)；

2…液體噴出頭；

2a…頭主體；

4…流路構(gòu)件；

4a～4k…(流路構(gòu)件的)板；

4-1…噴出孔面；

4-2…加壓室面；

5…岐管；

5a…(岐管的)開口；

5b…副岐管(共用流路)；

6…節(jié)流孔；

6a…節(jié)流孔主體；

6b…流入孔；

6c…流出孔；

7…下伸部(局部流路)；

8…噴出孔；

9…噴出孔行；

10…加壓室；

11…加壓室行；

12…獨(dú)立流路；

15…隔壁；

16…虛設(shè)加壓室；

17…放泄槽；

17a…(放泄槽的邊緣的)第一凸部；

17aa…(第一凸部的)頭頂部；

17b…(放泄槽的邊緣的)伸出部；18…粘合劑層；

21…壓電致動(dòng)器基板；

21a…壓電陶瓷層(振動(dòng)板)；

21b…壓電陶瓷層；

24…共用電極；

25…獨(dú)立電極；

25a…獨(dú)立電極主體；

25b…伸出電極；

26…連接電極；

28…共用電極用表面電極；

30…位移元件；

60…信號(hào)傳遞部；

70…頭搭載框架；

72…頭組；

80A…供紙輥；

80B…回收輥；

82A…引導(dǎo)輥；

82B…輸送輥；

88…控制部；

P…印刷紙張。