專利名稱：液體噴射頭及液體噴射裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種噴射液體的液體噴射頭及液體噴射裝置。
背景技術(shù)：
作為液體噴射頭，公知一種例如具備如下的流道形成基板的液體噴設(shè)頭，所述流道形成基板的一側(cè)表面與貫穿設(shè)置有多個(gè)噴嘴開(kāi)口的噴嘴板相接合，并且，所述流道形成基板形成有分別與各個(gè)噴嘴相連通的多個(gè)壓力產(chǎn)生室、和作為各個(gè)壓力產(chǎn)生室的共用的油墨室即歧管的貯液部(例如，參照專利文獻(xiàn)I)。在流道形成基板的另一側(cè)表面上形成有彈性膜，在隔著彈性膜而與壓力產(chǎn)生室對(duì)置的位置處，配置有作為使壓力產(chǎn)生室的壓力發(fā)生變化從而使液體從噴嘴開(kāi)口被噴射的壓力產(chǎn)生元件的壓電元件。此外，在流道形成基板的另一側(cè)表面上設(shè)置有用于保護(hù)壓電元件的保護(hù)基板。在保護(hù)基板上配置有具備密封膜及固定板的可塑性基板，并且在可塑性基板上配置有作為保持部件的殼蓋。在殼蓋上設(shè)置有作為向貯液部導(dǎo)入液體的液體導(dǎo)入通道的油墨導(dǎo)入通道。此外，在可塑性基板上形成有作為液體導(dǎo)入口的油墨導(dǎo)入口。在此，被導(dǎo)入的液體為了粘度的調(diào)節(jié)等而包含與溶質(zhì)相對(duì)應(yīng)的溶劑。此外，在壓電元件上連接有引線電極，并且在引線電極上，通過(guò)各向異性導(dǎo)電性粘接劑、例如 ACF(Anisotropic Conductive Film :各向異性導(dǎo)電膜)、ACP(AnisotropicConductive Paste :各向異性導(dǎo)電膠)等而連接有作為柔性配線基板的COF(Chip On Film 覆晶薄膜)基板，所述各向異性導(dǎo)電性粘接劑通過(guò)消耗導(dǎo)電性粒子而實(shí)施電連接。柔性配線基板穿過(guò)保護(hù)基板內(nèi)及殼蓋內(nèi)，通過(guò)壓電元件的驅(qū)動(dòng)1C、以及連接基板的端子，而與外部的控制部相連接。但是，液體的溶劑容易從被形成在可塑性基板上的液體導(dǎo)入口起，沿著可塑性基板而浸入到保護(hù)基板內(nèi)及殼蓋內(nèi)。由于所浸入的溶劑，而使被用于各向異性導(dǎo)電性粘接劑的樹(shù)脂分解或溶脹，從而產(chǎn)生引線電極與柔性配線基板之間的接觸不良，所述各向異性導(dǎo)電性粘接劑對(duì)壓電元件的引線電極和柔性配線基板進(jìn)行連接。專利文獻(xiàn)I :日本特開(kāi)2009-255517號(hào)公報(bào)

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型是為了解決上述課題而完成的，其能夠通過(guò)以下的方式或者應(yīng)用例而實(shí)現(xiàn)。應(yīng)用例I一種液體噴射頭，其特征在于，具備流道形成基板，其形成有與噴射液體的噴嘴開(kāi)口相連通的壓力產(chǎn)生室、以及與所述壓力產(chǎn)生室相連通的歧管；壓力產(chǎn)生元件，其對(duì)應(yīng)于每個(gè)所述壓力產(chǎn)生室而設(shè)置；保護(hù)基板，其對(duì)所述壓力產(chǎn)生元件進(jìn)行覆蓋；可塑性基板，其被設(shè)置在所述保護(hù)基板上，且在其與所述保護(hù)基板之間形成有所述歧管；引線電極，其從被形成在所述壓力產(chǎn)生元件上的電極引出，并露出于被形成在所述保護(hù)基板上的貫穿孔內(nèi)；保持部件，其被設(shè)置在所述保護(hù)基板上，且形成有與所述貫穿孔相連的保持孔、以及導(dǎo)入液體的液體導(dǎo)入通道；液體導(dǎo)入口，其被設(shè)置在所述可塑性基板上，且與所述液體導(dǎo)入通道和所述歧管相連通；開(kāi)口部，其以與所述貫穿孔及所述保持孔相對(duì)應(yīng)的方式而被形成在所述可塑性基板上；柔性配線基板，其穿過(guò)所述貫穿孔、所述保持孔及所述開(kāi)口部，并且端部通過(guò)各向異性導(dǎo)電性粘接劑而與所述引線電極相連接，其中，在所述貫穿孔的內(nèi)表面和所述保持孔的內(nèi)表面之間，以所述開(kāi)口部的內(nèi)表面為底面而形成有凹部，并且，在所述凹部?jī)?nèi)填充粘接劑，從而所述開(kāi)口部的內(nèi)表面通過(guò)所述粘接劑而被覆蓋。根據(jù)該應(yīng)用例，從與液體導(dǎo)入通道相連通的液體導(dǎo)入口起沿著可塑性基板，而從被形成在可塑性基板上的開(kāi)口部的內(nèi)表面朝向保持孔及貫穿孔的、液體的溶劑的流動(dòng)，通過(guò)對(duì)開(kāi)口部的內(nèi)表面進(jìn)行覆蓋的粘接劑而被阻礙，從而減少了向保持孔及貫穿孔泄漏的溶劑的量。因此，爭(zhēng)取了距溶劑泄漏至保持孔及貫穿孔的時(shí)間，從而與不存在對(duì)開(kāi)口部的內(nèi)表 面進(jìn)行覆蓋的粘接劑的結(jié)構(gòu)相比較，可獲得距引線電極和柔性配線基板之間發(fā)生接觸不良的時(shí)間較長(zhǎng)的液體噴射頭。此外，被填充在以開(kāi)口部的內(nèi)表面作為底面的凹部?jī)?nèi)的粘接劑，還對(duì)形成凹部的一部分的保護(hù)基板及保持部件的表面進(jìn)行覆蓋。對(duì)保護(hù)基板及保持部件的表面進(jìn)行覆蓋的粘接劑沿著可塑性基板和保護(hù)基板之間的界面、及可塑性基板和保持部件之間的界面滲出，從而對(duì)沿著保護(hù)基板及保持部件的表面而朝向保持孔及貫穿孔的溶劑的流動(dòng)進(jìn)行抑制。因此，爭(zhēng)取了距溶劑泄漏至保持孔及貫穿孔的時(shí)間，從而與不存在對(duì)保護(hù)基板及保持部件的表面進(jìn)行覆蓋的粘接劑的結(jié)構(gòu)相比較，可獲得距引線電極和柔性配線基板之間發(fā)生接觸不良的時(shí)間較長(zhǎng)的液體噴射頭。而且，由于粘接劑被填充在以開(kāi)口部的內(nèi)表面作為底面的凹部?jī)?nèi)，因此防止了粘接劑向保持孔及貫穿孔突出的情況。因此，可獲得使可塑性配線基板順利地穿過(guò)保持孔及貫穿孔的液體噴射頭。應(yīng)用例2如上文所述的液體噴射頭，其特征在于，所述可塑性基板由通過(guò)帖合粘接劑而被粘接在一起的多個(gè)層構(gòu)成。在該應(yīng)用例中，雖然因?yàn)榭伤苄曰逵赏ㄟ^(guò)貼合粘接劑而被粘接在一起的多個(gè)層構(gòu)成，所以溶劑容易穿過(guò)貼合粘接劑而向保持孔及貫穿孔泄漏，但是通過(guò)對(duì)開(kāi)口部的內(nèi)表面進(jìn)行覆蓋的粘接劑從而減少了向保持孔及貫穿孔泄漏的量。因此，爭(zhēng)取了距溶劑泄漏至保持孔及貫穿孔的時(shí)間，從而與不存在對(duì)開(kāi)口部的內(nèi)表面進(jìn)行覆蓋的粘接劑的結(jié)構(gòu)相比較，可獲得距引線電極和柔性配線基板之間發(fā)生接觸不良的時(shí)間較長(zhǎng)的液體噴射頭。應(yīng)用例3如上文所述的液體噴射頭，其特征在于，所述保持部件具備凸部，并且包圍所述開(kāi)口部的所述可塑性基板通過(guò)所述凸部和所述保護(hù)基板而被夾持。在該應(yīng)用例中，凸部對(duì)先于凸部而從凹部進(jìn)入的粘接劑的流動(dòng)進(jìn)行抑制，所述凹部以開(kāi)口部的內(nèi)表面作為底面。因此，因?yàn)檎辰觿┎灰捉胪共恐暗?、保持部件和可塑性基板之間，所以不易對(duì)可塑性基板的動(dòng)作造成影響。應(yīng)用例4[0021]如上文所述的液體噴射頭，其特征在于，所述凸部以包圍所述液體導(dǎo)入口的方式而形成。在該應(yīng)用例中，由于凸部以包圍液體導(dǎo)入口的方式而形成，因此可通過(guò)凸部來(lái)抑制朝向液體導(dǎo)入口的粘接劑的流動(dòng)。因此，粘接劑不易浸入并突出與液體導(dǎo)入口中，從而可獲得液體從液體導(dǎo)入通道順利地向歧管流動(dòng)的液體噴射頭。應(yīng)用例5一種液體噴射裝置，其特征在于，具備上述液體噴射頭。根據(jù)該應(yīng)用例，可獲得能夠?qū)崿F(xiàn)所述效果的液體噴射裝置。

圖I為表示實(shí)施方式中的打印機(jī)的簡(jiǎn)要結(jié)構(gòu)的圖。圖2為噴墨式記錄頭單元的立體圖。圖3(a) 圖3(c)為表示噴墨式記錄頭單元的分解立體圖。圖4為噴墨式記錄頭的局部分解立體圖。圖5為噴墨式記錄頭的局部分解剖視立體圖。圖6為噴墨式記錄頭的局部俯視圖。圖7為沿圖6中的A-A線的示意剖視圖。圖8為油墨導(dǎo)入口附近的放大剖視圖。圖9 (a)、圖9 (b)為沿圖6中的B_B線的放大剖視圖。
具體實(shí)施方式
下面，列舉將實(shí)施方式所涉及的液體噴射頭搭載在作為液體噴射裝置的打印機(jī)1000上的情況為例而進(jìn)行說(shuō)明。圖I為表示打印機(jī)1000的示意結(jié)構(gòu)的圖。在圖I中，X方向表示滑架2進(jìn)行移動(dòng)的主掃描方向，Y方向表不記錄介質(zhì)P被輸送的副掃描方向。Z方向?yàn)榕cX方向及Y方向正交的方向。如圖I所示，打印機(jī)1000具備噴墨式記錄頭單元11、滑架2、滑架移動(dòng)機(jī)構(gòu)3、壓紙輥4、墨盒5，所述噴墨式記錄頭單元11具備在圖I中未直接圖示的多個(gè)作為液體噴射頭的噴墨式記錄頭I。噴墨式記錄頭I被安裝在噴墨式記錄頭單元11的、記錄紙張等的記錄介質(zhì)P側(cè)(圖I中的Z方向下面)，并將油墨以液滴的方式而噴出在記錄介質(zhì)P的表面上?；芤苿?dòng)機(jī)構(gòu)3具備同步齒型帶6、驅(qū)動(dòng)滑輪7、從動(dòng)滑輪8、電機(jī)107。在同步齒型帶6上卡止有滑架2，并且同布齒型帶6被拉伸設(shè)置在驅(qū)動(dòng)滑輪7和從動(dòng)滑輪8上。驅(qū)動(dòng)滑輪7與電機(jī)107的輸出軸相連接。當(dāng)電機(jī)107工作時(shí)，滑架2將被架設(shè)在打印機(jī)1000上的導(dǎo)向桿9所引導(dǎo)，從而在作為主掃描方向的X方向上往復(fù)移動(dòng)。壓紙輥4受到來(lái)自電機(jī)104的驅(qū)動(dòng)力，并在作為副掃描方向的Y方向上對(duì)記錄介質(zhì)P進(jìn)行輸送。墨盒5忙留油墨，并以能夠拆裝的方式安裝在滑架2上。墨盒5向噴墨式記錄頭I供給油墨。當(dāng)供給的油墨為多種顏色時(shí)，則安裝多個(gè)墨盒5。在圖I中，安裝有十個(gè)墨盒50以如上方式被構(gòu)成的打印機(jī)1000通過(guò)在利用滑架移動(dòng)機(jī)構(gòu)3而使滑架2于X方向上往復(fù)移動(dòng)，且利用壓紙輥4于Y方向上對(duì)記錄介質(zhì)P進(jìn)行輸送的同時(shí)，從被安裝在滑架2上的噴墨式記錄頭I噴出油墨，從而能夠在記錄介質(zhì)P上進(jìn)行圖像等的記錄。根據(jù)圖2及圖3(a) 圖3 (C)，對(duì)噴墨式記錄頭I及噴墨式記錄頭單元11進(jìn)行說(shuō)明。在圖2中，圖示了實(shí)施方式所涉及的噴墨式記錄頭單元11的立體圖。此外，圖3(a) 圖3(c)為表示噴墨式記錄頭單元11的分解立體圖。在此，在圖3(c)中，以組裝之前的狀態(tài)而僅對(duì)一個(gè)噴墨式記錄頭I進(jìn)行放大表示。實(shí)際上，五個(gè)噴墨式記錄頭I被組裝在噴墨式記錄頭單元11上。在圖2及圖3(a) 圖3(c)中，一個(gè)噴墨式記錄頭I對(duì)應(yīng)兩種油墨的噴出，在實(shí)施方式中使用五個(gè)噴墨式記錄頭I而噴出十種顏色的油墨。另外，根據(jù)噴出的油墨的種類，被組裝在噴墨式記錄頭單元11上的噴墨式記錄頭I的數(shù)量并不限于五個(gè)。噴墨式記錄頭單元11具備支架部件400和中繼基板500。在支架部件400上，以對(duì)應(yīng)于五個(gè)噴墨式記錄頭I的方式而在十個(gè)部位處形成有作為液體導(dǎo)入通道的油墨導(dǎo)入通道410。此外，在中繼基板500上形成有用于供油墨導(dǎo)入通道410穿過(guò)的孔510。中繼基板500在使油墨導(dǎo)入通道410穿過(guò)了孔510的狀態(tài)下，從支架部件400的一側(cè)被嵌入支架部件400中。在圖3(c)中，噴墨式記錄頭I具備作為保持部件的殼蓋110、和作為柔性配線基板的一對(duì)COF(Chip On Film :覆晶薄膜)基板210。COF基板210具備多個(gè)配線220及驅(qū)動(dòng)電路200。在圖2及圖3(a) 圖3(c)中，噴墨式記錄頭I從中繼基板500被嵌入側(cè)的相反偵U、即記錄介質(zhì)P側(cè)(圖I中的Z方向下面)被插入在支架部件400內(nèi)。在支架部件400上，以對(duì)應(yīng)于被插入的噴墨式記錄頭I的方式而在五個(gè)部位處形成有作為開(kāi)口部的狹縫420，并且在中繼基板500上，于五個(gè)部位處形成有作為開(kāi)口部的狹縫520。一對(duì)COF基板210穿過(guò)狹縫420及狹縫520，并且配線220分別與中繼基板500的端子530相連接。此外，在圖3(c)中，在殼蓋110上形成有作為液體導(dǎo)入通道的油墨導(dǎo)入通道111，所述油墨導(dǎo)入通道111與油墨導(dǎo)入通道410相連接，并向噴墨式記錄頭I內(nèi)導(dǎo)入油墨。圖4為噴墨式記錄頭I的局部分解立體圖，且圖示了噴墨式記錄頭I被組裝于支架部件400及中繼基板500之前的狀態(tài)。圖5為噴墨式記錄頭I的局部分解剖視立體圖。在圖5中，省略了殼蓋110。此外，圖6為噴墨式記錄頭I的局部俯視圖，圖7為沿圖6中的A-A線的示意剖視圖，且為圖2中的噴墨式記錄頭單元11的沿A-A線的示意剖視圖。在圖4、圖5及圖7中，噴墨式記錄頭I具備流道形成基板10、噴嘴板20、保護(hù)基板30、可塑性基板40、安裝了驅(qū)動(dòng)電路200的一對(duì)COF基板210。流道形成基板10、噴嘴板20和保護(hù)基板30，以通過(guò)噴嘴板20和保護(hù)基板30夾持流道形成基板10的方式而被重疊，并且在保護(hù)基板30上設(shè)置有可塑性基板40。[0058]COF基板210具備第一端部211和位于第一端部211的相反側(cè)的第二端部212。在圖7中，COF基板 210的第一端部211被插入到保護(hù)基板30中，第二端部212與中繼基板500相連接。流道形成基板10由例如面方位(110)的單晶硅板構(gòu)成。在其一側(cè)的面上，形成有例如由二氧化硅構(gòu)成的彈性膜50。另外，流道形成基板10也可以為單晶硅基板之外的材料，例如金屬板或陶瓷板
坐寸ο在流道形成基板10上，被隔板劃分的多個(gè)壓力產(chǎn)生室12以在其寬度方向上并排設(shè)置的列的形式而設(shè)置有兩列。在此，壓力產(chǎn)生室12在列間以成對(duì)的方式而被設(shè)置。此外，在各個(gè)列的壓力產(chǎn)生室12的長(zhǎng)度方向外側(cè)的區(qū)域內(nèi)形成有連通通道13，并且連通通道13和各個(gè)壓力產(chǎn)生室12經(jīng)由油墨供給通道14而連通，所述油墨供給通道14對(duì)應(yīng)于每個(gè)壓力產(chǎn)生室12而設(shè)置。連通通道13構(gòu)成歧管100的一部分，所述歧管100成為在壓力產(chǎn)生室12的每列中共用的油墨室。之后對(duì)歧管100進(jìn)行詳細(xì)敘述。油墨供給通道14以窄于壓力產(chǎn)生室12的寬度而被形成，從而將從連通通道13向壓力產(chǎn)生室12流入的油墨的流道阻力保持為固定。另外，雖然在實(shí)施方式中，通過(guò)從一側(cè)縮小流道的寬度的方式而形成了油墨供給通道14，但是也可以通過(guò)從兩側(cè)縮小流道的寬度的方式而形成油墨供給通道。此外，也可以不縮小流道的寬度，而以從厚度方向上進(jìn)行縮小的方式而形成油墨供給通道14。此外，在流道形成基板10的開(kāi)口面?zhèn)?，通過(guò)粘接劑或熱熔敷薄膜等而粘合有貫穿設(shè)置了噴嘴開(kāi)口 21的噴嘴板20，所述噴嘴開(kāi)口 21與各個(gè)壓力產(chǎn)生室12的油墨供給通道14的相反側(cè)的端部附近相連通。在實(shí)施方式中，由于在流道形成基板10上設(shè)置有兩列由壓力產(chǎn)生室12并排設(shè)置而成的列，因此在一個(gè)噴墨式記錄頭I上設(shè)置有兩列由噴嘴開(kāi)口 21并排設(shè)置而成的噴嘴列。另外，噴嘴板20由例如玻璃陶瓷、單晶硅基板或者不銹鋼等構(gòu)成。另一方面，在這種流道形成基板10的開(kāi)口面的相反側(cè)，如上文所述形成有彈性膜50，并且在該彈性膜50上形成有絕緣體膜55。而且，在該絕緣體膜55上形成有下電極60、鈣鈦礦結(jié)構(gòu)的壓電體層70、上電極80，從而構(gòu)成作為壓力產(chǎn)生元件的壓電元件300，所述下電極60由鉬(Pt)等的金屬或釕酸銀(SrRuO)等的金屬氧化物構(gòu)成,所述上電極80由Au、Ir等金屬構(gòu)成。在此，壓電元件300是指包括下電極60、壓電體層70及上電極80的部分。壓電元件300與壓力產(chǎn)生室12相對(duì)應(yīng)而成對(duì)構(gòu)成。另外，在此，將壓電元件300和振動(dòng)板結(jié)合在一起而稱為致動(dòng)裝置，所述振動(dòng)板通過(guò)該壓電元件300的驅(qū)動(dòng)而產(chǎn)生位移。另外，雖然在上述示例中，彈性膜50、絕緣體膜55及下電極60作為振動(dòng)板而發(fā)揮作用，但是當(dāng)然并不限定于此，例如，還可以不設(shè)置彈性膜50及絕緣體膜55，而僅使下電極60作為振動(dòng)板來(lái)發(fā)揮作用。此外，還可以使壓電元件300自身實(shí)質(zhì)上兼作振動(dòng)板。通常情況下，將壓電元件300中的某一方電極設(shè)定為共用電極，而將另一方電極及壓電體層70定型在各個(gè)壓力產(chǎn)生室12上而構(gòu)成。并且，在此將如下部分稱為壓電體能動(dòng)部，所述部分為，由被定型的某一方電極及壓電體層70構(gòu)成，并通過(guò)向兩個(gè)電極的電壓的施加而發(fā)生壓電變形的部分。另外，雖然在實(shí)施方式中，將下電極60設(shè)定為壓電元件300的共用電極，而將上電極80設(shè)定為壓電元件300的獨(dú)立電極，但是根據(jù)驅(qū)動(dòng)電路或配線的情況，也可以將其相反設(shè)定。在任一種情況下，均對(duì)應(yīng)于每個(gè)壓力產(chǎn)生室12內(nèi)而形成有壓電體能動(dòng)部。此外，在作為壓電元件300的獨(dú)立電極的各個(gè)上電極80上，連接有延伸設(shè)置至絕緣體膜55上的、例如由金(Au)等構(gòu)成的引線電極90。引線電極90與壓電元件300相對(duì)應(yīng)而成對(duì)構(gòu)成。引線電極90的一端部被連接在上電極80上，且另一端部側(cè)以被引出至并排設(shè)置的壓電元件300的列與列之間的方式而延伸設(shè)置。此外，在形成了壓電元件300的流道形成基板10上，通過(guò)粘接劑35等而接合有具 備壓電元件保持部31的保護(hù)基板30，所述壓電元件保持部31在與壓電元件300對(duì)置的區(qū)域內(nèi)具有不會(huì)妨礙壓電元件300的運(yùn)動(dòng)的程度的空間。由于壓電元件300被設(shè)置在該壓電元件保持部31內(nèi)，因此以幾乎不受外部環(huán)境的影響的狀態(tài)而被保護(hù)。另外，壓電元件保持部31既可以被密封，也可以不被密封。此外，壓電元件保持部31既可以相對(duì)于各個(gè)壓電元件300而獨(dú)立設(shè)置，也可以橫跨多個(gè)壓電元件300而連續(xù)設(shè)置。在實(shí)施方式中，以橫跨多個(gè)壓電元件300的方式而連續(xù)設(shè)置壓電元件保持部31。另外，在保護(hù)基板30上的與壓電元件保持部31相對(duì)置的區(qū)域內(nèi)，設(shè)置有歧管100的一部分，所述歧管100成為多個(gè)獨(dú)立流道的共用的油墨室(液體室)。在實(shí)施方式中，歧管100的一部分，通過(guò)被設(shè)置在保護(hù)基板30和流道形成基板10的接合面的相反側(cè)的面上的凹部而形成。保護(hù)基板30的與流道形成基板10相反的面以凹部方式而開(kāi)口，并且開(kāi)口被可塑性基板40密封。另外，歧管100以橫跨多個(gè)獨(dú)立流道的短邊方向(寬度方向)的方式而連續(xù)地設(shè)置。此外，歧管100在壓力產(chǎn)生室12的長(zhǎng)邊方向上被設(shè)置至保護(hù)基板30的兩端部附近，并且歧管100的一端部側(cè)被設(shè)置至與獨(dú)立流道的端部相對(duì)置的區(qū)域。由此，通過(guò)將歧管100設(shè)置在壓電元件保持部31的上方(俯視時(shí)與壓電元件保持部31重疊的區(qū)域)，從而無(wú)需將歧管100加寬至壓力產(chǎn)生室12的長(zhǎng)邊方向上的外側(cè)，由此能夠減小噴墨式記錄頭I的壓力產(chǎn)生室12的長(zhǎng)邊方向上的寬度，進(jìn)而實(shí)現(xiàn)小型化。在保護(hù)基板30上設(shè)置有在厚度方向上貫穿的貫穿孔、即供給部101，所述供給部101的一端與作為獨(dú)立流道的連通通道13的端部相連通，且構(gòu)成歧管100的一部分。在實(shí)施方式中，以橫跨多個(gè)作為獨(dú)立流道的連通通道13的方式而設(shè)置有一個(gè)供給部101。而且，油墨經(jīng)由供給部101而向各個(gè)作為獨(dú)立流道的連通通道13、油墨供給路14、及壓力產(chǎn)生室12被供給。即，在實(shí)施方式中，供給部101也作為歧管100的一部分而發(fā)揮作用。另外，雖然在實(shí)施方式中，在流道形成基板10上設(shè)置成為歧管100的連通通道13，但是并非特別限定于此，例如，也可以對(duì)應(yīng)于每個(gè)壓力產(chǎn)生室12而將流道形成基板10的連通通道13分割成多個(gè)，以作為歧管100。此外，在保護(hù)基板30的大致中央部、即與一對(duì)壓力產(chǎn)生室12對(duì)置的區(qū)域內(nèi)，形成有在厚度方向上貫穿保護(hù)基板30的貫穿孔32。而且，在貫穿孔32的中心處設(shè)置有分隔部33。被延伸設(shè)置的引線電極90中，與被連接于上電極80上的端部相反的另一端部側(cè)露出于貫穿孔32的底部。露出于貫穿孔32內(nèi)的引線電極90與配線220通過(guò)第一端部211而被電連接，所述配線220被形成在插入到貫穿孔32中的COF基板210上。連接例如通過(guò)作為各向異性導(dǎo)電性粘接劑的ACP600而被實(shí)施。由于能夠通過(guò)使用ACP600而將多個(gè)引線電極90連接在一個(gè)COF基板210上，因此與通過(guò)引線搭接而與各個(gè)引線電極90依次連接的情況相比，能夠縮短作業(yè)時(shí)間，從而能夠降低成本。COF基板210為具有撓性的基板，并且與引線電極90相連接的第一端部211被彎曲成大致L字型。第一端部211以朝向?qū)χ玫膲弘娫?00的方式而配置。通過(guò)被安裝在COF基板210上的驅(qū)動(dòng)電路200，從而對(duì)各個(gè)壓電元件300進(jìn)行驅(qū)動(dòng)。 雖然作為保護(hù)基板30的材料，可列舉出例如玻璃、陶瓷材料、金屬、樹(shù)脂等，但是優(yōu)選通過(guò)與流道形成基板10的熱膨脹系數(shù)大致相同的材料而形成，在實(shí)施方式中，使用與流道形成基板10相同材料的單晶娃基板?？伤苄曰?0具備密封膜41及固定板42。密封膜41由剛性較低而具有撓性的材料，例如厚度為幾μ m左右的聚苯硫醚(PPS)薄膜等構(gòu)成。此外，固定板42由例如厚度為幾十μ m左右的不銹鋼(SUS)等的金屬等硬質(zhì)材料構(gòu)成。在圖7中，密封膜41和固定板42通過(guò)貼合粘接劑700而被粘接在一起。固定板42以圍繞保護(hù)基板30的歧管100的周圍的方式而設(shè)置，從而與歧管100相對(duì)置的區(qū)域成為在厚度方向上完全被去除的固定板開(kāi)口部43。此外，在圖5及圖6中，在固定板42上設(shè)置有向固定板開(kāi)口部43側(cè)突出的突出部44，且在該突出部44上設(shè)置有作為液體導(dǎo)入口的油墨導(dǎo)入口 45，所述油墨導(dǎo)入口 45在厚度方向上貫穿，且用于向歧管100供給來(lái)自貯留了油墨的、圖I所示的墨盒5的油墨。在圖4、圖5及圖6中，在實(shí)施方式中，在供給部101的相反側(cè)，且以使在壓力產(chǎn)生室12的并排設(shè)置方向上的一部分突出至與歧管100相對(duì)置的區(qū)域?yàn)橹沟姆绞蕉O(shè)置了突出部44。因此，油墨導(dǎo)入口 45被設(shè)置在如下的端部上，S卩，在壓力產(chǎn)生室12的長(zhǎng)邊方向上與被設(shè)置于保護(hù)基板30上的供給部101處于相反側(cè)的端部。由此，通過(guò)將油墨導(dǎo)入口 45設(shè)置在與保護(hù)基板30的供給部101處于相反側(cè)的端部上，從而能夠減少由于從圖I所示的墨盒5導(dǎo)入的油墨的動(dòng)壓而產(chǎn)生的影響經(jīng)由供給部101而波及到壓力產(chǎn)生室12。而且，通過(guò)這種固定板42的固定板開(kāi)口部43，從而歧管100的一側(cè)表面成為通過(guò)具有撓性的密封膜41及貼合粘接劑700而被密封的、能夠撓曲變形的可撓部46。在此，可撓部46可以只由密封膜41構(gòu)成。在實(shí)施方式中，可撓部46被設(shè)置在，與對(duì)置于歧管100的區(qū)域內(nèi)的、保護(hù)基板30的供給部101相對(duì)置的區(qū)域，和與歧管100相對(duì)置的區(qū)域內(nèi)的、固定板42的油墨導(dǎo)入口 45的周圍，而且，撓部46以遍布與這些供給部101相對(duì)置的區(qū)域和油墨導(dǎo)入口 45的周圍的方式而被連續(xù)設(shè)置。由此，通過(guò)以遍布與供給部101相對(duì)置的區(qū)域和油墨導(dǎo)入口 45的周圍的方式而連續(xù)設(shè)置可撓部46，從而能夠以較大的面積形成可撓部46，由此能夠使歧管100內(nèi)的可塑性增大，進(jìn)而可靠地減少因壓力變動(dòng)的不良影響而導(dǎo)致的相互干擾的產(chǎn)生。此外，在圖4、圖5及圖6中，在可塑性基板40上，與貫穿孔32相對(duì)應(yīng)而形成有開(kāi)口部47。開(kāi)口部47的內(nèi)表面48通過(guò)粘接劑120而被覆蓋。下面，對(duì)開(kāi)口部47的內(nèi)表面48附近的情況詳細(xì)地進(jìn)行說(shuō)明。在圖8中圖示了油墨導(dǎo)入口 45附近的放大剖視圖。在圖8中，在貫穿孔32的內(nèi)表面320和保持孔113的內(nèi)表面115之間，以開(kāi)口部47的內(nèi)表面48為底面而形成有凹部49，在凹部49內(nèi)填充有粘接劑120，從而開(kāi)口部47的內(nèi)表面48通過(guò)粘接劑120而被覆蓋。此外，被填充在凹部49內(nèi)的粘接劑120，也對(duì)形成凹部49的一部分的保護(hù)基板30及殼蓋110的表面進(jìn)行覆蓋。作為粘接劑120，優(yōu)選使用例如硅粘接劑。在圖7中，在可塑性基板40上設(shè)置有殼蓋110。在殼蓋110上設(shè)置有油墨導(dǎo)入通道111，所述油墨導(dǎo)入通道111向歧管100供給圖I所示的墨盒5的油墨。此外，在殼蓋110上，于與固定板開(kāi)口部43對(duì)置的區(qū)域內(nèi)形成有凹部112，從而可適當(dāng)?shù)剡M(jìn)行固定板開(kāi)口部43的彎曲變形。 另外，在殼蓋110上設(shè)置有保持孔113，所述保持孔113與被設(shè)置在保護(hù)基板30上的貫穿孔32相連通。COF基板210的第一端部211被插穿在保持孔113及貫穿孔32內(nèi)，并且第一端部211的配線220與引線電極90相連接。另外，COF基板210也可以由被填充于貫穿孔32及保持孔113內(nèi)的塑型劑支承。此外，在圖8中，殼蓋110具備凸部114，并且圍繞開(kāi)口部47的可塑性基板40由凸部114和保護(hù)基板30所夾持。而且，凸部114以包圍油墨導(dǎo)入口 45的方式而形成。作為殼蓋110的材料，可列舉出例如PPS為主要成分的樹(shù)脂材料、金屬材料等。在圖7中，位于COF基板210的第一端部211的相反側(cè)的第二端部212，穿過(guò)支架部件400的狹縫420及中繼基板500的狹縫520，并且第二端部212的配線220被接合在中繼基板500的端子530上。在圖9(a)及圖9(b)中，圖示了沿圖6中的B-B線的放大剖視圖，所述圖6圖示了通過(guò)粘接劑120而將保護(hù)基板30和殼蓋110粘接在一起的狀態(tài)。圖9 (a)表示粘接前的狀態(tài)，而圖9(b)表不粘接后的狀態(tài)。在圖9(a)中，使粘接劑120附著在凸部114的保持孔113側(cè)，所述凸部114形成在殼蓋110上。在圖9(b)中，使殼蓋110靠近保護(hù)基板30。此時(shí)，粘接劑120在覆蓋可塑性基板40的開(kāi)口部47的內(nèi)表面48的同時(shí)，被填充在凹部49內(nèi)。在嗔墨式記錄頭I中，從圖I所不的墨盒5犾取油墨，并使油墨芽過(guò)油墨導(dǎo)入通道410、油墨導(dǎo)入通道11及油墨導(dǎo)入口 45，以使從歧管100至噴嘴開(kāi)口 21由油墨填滿了內(nèi)部之后，根據(jù)來(lái)自驅(qū)動(dòng)電路200的驅(qū)動(dòng)信號(hào)，而向與壓力產(chǎn)生室12相對(duì)應(yīng)的各個(gè)下電極60和上電極80之間施加電壓。通過(guò)電壓的施加，彈性膜50及壓電體層70發(fā)生彎曲變形，從而各壓力產(chǎn)生室12內(nèi)的壓力增加，進(jìn)而使油墨從噴嘴開(kāi)口 21噴出。作為油墨的溶劑，可以使用例如二乙二醇二乙醚、二乙二醇甲乙醚等。驅(qū)動(dòng)信號(hào)除了包括例如用于使驅(qū)動(dòng)電源信號(hào)等的驅(qū)動(dòng)IC驅(qū)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)信號(hào)之夕卜，還包括串行信號(hào)(SI)等的各種控制系統(tǒng)信號(hào)，配線由被供給各種信號(hào)的多個(gè)配線構(gòu)成。根據(jù)這種實(shí)施方式，具有以下效果。(I)從與油墨導(dǎo)入通道111、410相連通的油墨導(dǎo)入口 45起沿著可塑性基板40，而從被形成在可塑性基板40上的開(kāi)口部47的內(nèi)表面48朝向保持孔113及貫穿孔32的、油墨的溶劑的流動(dòng)，通過(guò)對(duì)開(kāi)口部47的內(nèi)表面48進(jìn)行覆蓋的粘接劑120而被阻礙，從而能夠減少向保持孔113及貫穿孔32泄漏的溶劑的量。因此，能夠爭(zhēng)取距油墨的溶劑泄漏至保持孔113及貫穿孔32的時(shí)間，從而與不存在對(duì)開(kāi)口部47的內(nèi)表面48進(jìn)行覆蓋的粘接劑120的結(jié)構(gòu)相比較，能夠獲得距引線電極90和COF基板210之間發(fā)生接觸不良的時(shí)間較長(zhǎng)的噴墨式記錄頭I。此外，被填充在以開(kāi)口部47的內(nèi)表面48為底面的凹部49內(nèi)的粘接劑120，也對(duì)形成凹部49的一部分的保護(hù)基板30及殼蓋110的表面進(jìn)行覆蓋。對(duì)保護(hù)基板30及殼蓋110的表面進(jìn)行覆蓋的粘接劑120沿著可塑性基板40和保護(hù)基板30之間的界面、及可塑性基板40和殼蓋110之間的界面滲出，從而能夠?qū)ρ刂Ｗo(hù)基板30及殼蓋110的表面而朝向保持孔113及貫穿孔32的溶劑的流動(dòng)進(jìn)行抑制。因此，能夠進(jìn)一步減少向保持孔113及貫穿孔32泄漏的溶劑的量，從而能夠獲得進(jìn)一步減少了引線電極90和COF基板210之間的接觸不良的噴墨式記錄頭I。因此，能夠爭(zhēng)取距油墨的溶劑泄漏至保持孔133及貫穿孔32的時(shí)間，從而與不存在對(duì)保護(hù)基板30及殼蓋110進(jìn)行覆蓋的表面粘接劑120的結(jié)構(gòu)相比較，能夠獲得距引線電極90和COF基板210之間發(fā)生接觸不良的時(shí)間較長(zhǎng)的噴墨式記錄頭I。 而且，由于粘接劑120被填充在以開(kāi)口部47的內(nèi)面48為底面的凹部49內(nèi)，因此能夠防止粘接劑120朝向保持孔113及貫穿孔32突出的情況。因此，能夠獲得使COF基板210順利地穿過(guò)保持孔113及貫穿孔32的噴墨式記錄頭I。(2)雖然因?yàn)榭伤苄曰?0由通過(guò)貼合粘接劑700而被粘接在一起的多個(gè)層構(gòu)成，所以溶劑容易穿過(guò)貼合粘接劑700而向保持孔113及貫穿孔32泄漏，但是能夠通過(guò)對(duì)開(kāi)口部47的內(nèi)表面48進(jìn)行覆蓋的粘接劑120來(lái)減少向保持孔113及貫穿孔32泄漏的量。因此，能夠爭(zhēng)取距油墨的溶劑泄漏至保持孔113及貫穿孔32的時(shí)間，從而與不存在對(duì)開(kāi)口部47的內(nèi)表面48進(jìn)行覆蓋的粘接劑120的結(jié)構(gòu)相比較，能夠獲得距引線電極90和COF基板210之間發(fā)生接觸不良的時(shí)間較長(zhǎng)的噴墨式記錄頭I。(3)凸部114能夠?qū)ο扔谕共?14而從凹部49進(jìn)入的粘接劑120的流動(dòng)進(jìn)行抑制，所述凹部49以開(kāi)口部47的內(nèi)表面48作為底面。因此，能夠使粘接劑120不易浸入凸部114之前的、殼蓋110和可塑性基板40之間，從而能夠獲得不易對(duì)可塑性基板40的可撓部46的動(dòng)作造成影響的噴墨式記錄頭I。(4)由于凸部114以包圍油墨導(dǎo)入口 45的方式而形成，因此能夠通過(guò)凸部114來(lái)抑制朝向油墨導(dǎo)入口 45的粘接劑120的流動(dòng)。因此，粘接劑120不易浸入并突出于油墨導(dǎo)入口 45中，從而能夠獲得油墨從油墨導(dǎo)入通道111、410向歧管100順利地流動(dòng)的噴墨式記錄頭I。(5)能夠獲得可以實(shí)現(xiàn)所述效果的打印機(jī)1000。以上，雖然對(duì)實(shí)施方式進(jìn)行了說(shuō)明，但是并不限于上述方式。例如，雖然在實(shí)施方式中，對(duì)具備多個(gè)噴墨式記錄頭I的噴墨式記錄頭單元11進(jìn)行了說(shuō)明，但是也可以為具備一個(gè)噴墨式記錄頭I的噴墨式記錄頭單元。此外，柔性配線基板并不限于COF基板210，也可以為未安裝驅(qū)動(dòng)電路的柔性基板。而且，雖然在上述的實(shí)施方式中，在可塑性基板40上設(shè)置有一個(gè)可撓部46，但是并非特別限定于此，還可以采用如下方式，即，例如通過(guò)在固定板42上設(shè)置多個(gè)固定板開(kāi)口部43，從而設(shè)置多個(gè)可撓部46。另外，雖然在上述實(shí)施方式中，列舉噴墨式記錄頭以作為液體噴射頭的一個(gè)示例，此外還列舉打印機(jī)以作為液體噴射裝置的一個(gè)示例而進(jìn)行了說(shuō)明，但是本實(shí)用新型廣義上是以全部液體噴射頭及液體噴射裝置為對(duì)象的實(shí)用新型，從而當(dāng)然也能夠適用于噴射油墨之外的液體的液體噴射頭和液體噴射裝置。作為其他的液體噴射頭，可以列舉出例如，被用于液晶顯示器等的濾色片的制造的顏色材料噴射頭、被用于有機(jī)電致發(fā)光顯示器、FED(場(chǎng)致發(fā)射顯示器)等的電極形成的電極材料噴射頭、被用于生物芯片制造的生體有機(jī)物噴射頭，并且，還能夠適用于具備所涉及的液體噴射頭的液體噴射裝置。符號(hào)說(shuō)明I…作為液體噴射頭的噴墨式記錄頭；2…滑架；3…滑架移動(dòng)機(jī)構(gòu)； 4…壓紙輥；5…墨盒；6…同步齒型帶；7…驅(qū)動(dòng)滑輪；8…從動(dòng)滑輪；9…導(dǎo)向桿；10…流道形成基板；1L···噴墨式記錄頭單元；12…壓力產(chǎn)生室；13…連通通道；14…油墨供給通道；20…噴嘴板；21…噴嘴開(kāi)口； 30…保護(hù)基板；31…壓電元件保持部；32…貫穿孔；33…分隔部；35、120…粘接劑；40…可塑性基板；41…密封膜；42…固定板；43…固定板開(kāi)口部；44…突出部；45…作為液體導(dǎo)入口的油墨導(dǎo)入口； 46…可撓部；47…開(kāi)口部；48…開(kāi)口部的內(nèi)表面；49…凹部；50…彈性膜；55…絕緣體膜；60…下電極；70…壓電體層；80…上電極；90…引線電極；100…歧管；101…供給部；104、107…電機(jī)；110…作為保持部件的殼蓋；111、410…作為液體導(dǎo)入通道的油墨導(dǎo)入通道；112…凹部；113…保持孔；114…凸部；115…保持孔的內(nèi)表面；200…驅(qū)動(dòng)電路；210…作為柔性配線基板的COF基板；211…第一端部；212…第二端部；220…配線；300…作為壓力產(chǎn)生元件的壓電元件；320…貫穿孔的內(nèi)表面；400…支架部件；420、520…狹縫；500…中繼基板；510…孔；530…端子；600···作為各向異性導(dǎo)電性粘接劑的ACP ;700…貼合粘接劑；1000…作為液體噴射裝置的打印機(jī)。
權(quán)利要求1.一種液體噴射頭，其特征在于， 具備 流道形成基板，其形成有與噴射液體的噴嘴開(kāi)口相連通的壓力產(chǎn)生室、以及與所述壓力產(chǎn)生室相連通的歧管； 壓力產(chǎn)生元件，其對(duì)應(yīng)于每個(gè)所述壓力產(chǎn)生室而設(shè)置； 保護(hù)基板，其對(duì)所述壓力產(chǎn)生元件進(jìn)行覆蓋； 可塑性基板，其被設(shè)置在所述保護(hù)基板上，且在其與所述保護(hù)基板之間形成有所述歧管； 引線電極，其從被形成在所述壓力產(chǎn)生元件上的電極引出，并露出于被形成在所述保護(hù)基板上的貫穿孔內(nèi)； 保持部件，其被設(shè)置在所述保護(hù)基板上，且形成有與所述貫穿孔相連的保持孔、以及導(dǎo)入液體的液體導(dǎo)入通道； 液體導(dǎo)入口，其被設(shè)置在所述可塑性基板上，且與所述液體導(dǎo)入通道和所述歧管相連通； 開(kāi)口部，其以與所述貫穿孔及所述保持孔相對(duì)應(yīng)的方式而被形成在所述可塑性基板上； 柔性配線基板，其穿過(guò)所述貫穿孔、所述保持孔及所述開(kāi)口部，并且端部通過(guò)各向異性導(dǎo)電性粘接劑而與所述弓I線電極相連接， 在所述貫穿孔的內(nèi)表面和所述保持孔的內(nèi)表面之間，以所述開(kāi)口部的內(nèi)表面為底面而形成有凹部， 在所述凹部?jī)?nèi)填充有粘接劑，從而所述開(kāi)口部的內(nèi)表面通過(guò)所述粘接劑而被覆蓋。
2.如權(quán)利要求I所述的液體噴射頭，其特征在于， 所述可塑性基板由通過(guò)貼合粘接劑而被粘接在一起的多個(gè)層構(gòu)成。
3.如權(quán)利要求I或權(quán)利要求2所述的液體噴射頭，其特征在于， 所述保持部件具備凸部， 包圍所述開(kāi)口部的所述可塑性基板通過(guò)所述凸部和所述保護(hù)基板而被夾持。
4.如權(quán)利要求3所述的液體噴射頭，其特征在于， 所述凸部以包圍所述液體導(dǎo)入口的方式而形成。
5.一種液體噴射裝置，其特征在于， 具備權(quán)利要求I至權(quán)利要求4中任一項(xiàng)所述的液體噴射頭。
專利摘要本實(shí)用新型涉及液體噴射頭及液體噴射裝置，其距發(fā)生由液體的溶劑而導(dǎo)致的引線電極和柔性配線基板之間的接觸不良的時(shí)間較長(zhǎng)。從與油墨導(dǎo)入通道(111)、(410)相連通的油墨導(dǎo)入口(45)起沿著可塑性基板(40)，而從被形成在可塑性基板(40)上的開(kāi)口部(47)的內(nèi)表面(48)朝向保持孔(113)及貫穿孔(32)的、油墨的溶劑的流動(dòng)，通過(guò)對(duì)開(kāi)口部(47)的內(nèi)表面(48)進(jìn)行覆蓋的粘接劑(120)而被阻礙，從而能夠減少向保持孔(113)及貫穿孔(32)泄漏的溶劑的量。因此，能夠爭(zhēng)取距油墨的溶劑泄漏至保持孔(113)及貫穿孔(32)的時(shí)間，從而與不存在對(duì)開(kāi)口部(47)的內(nèi)表面(48)進(jìn)行覆蓋的粘接劑(120)的結(jié)構(gòu)相比，能夠獲得距引線電極(90)和COF基板(210)之間發(fā)生接觸不良的時(shí)間較長(zhǎng)的噴墨式記錄頭(1)。
文檔編號(hào)B41J2/14GK202640997SQ201220120379
公開(kāi)日2013年1月2日 申請(qǐng)日期2012年3月27日 優(yōu)先權(quán)日2011年3月29日
發(fā)明者大久保勝弘 申請(qǐng)人:精工愛(ài)普生株式會(huì)社