專利名稱：用于激光飛行標(biāo)刻激光擴束的拋物面擴束鏡的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及激光加工技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及用于激光飛行標(biāo)刻激光擴束的拋物面擴束鏡。
背景技術(shù)：
目前，在激光飛行標(biāo)刻設(shè)備上，對激光束的擴束均采用透射式逆望遠(yuǎn)系統(tǒng)中的物鏡7和目鏡8來對從激光光束進行擴束，壓縮激光束的發(fā)散角，使激光束更接近平行光，以便能更好的聚焦，以利于標(biāo)刻。其具體結(jié)構(gòu)圖2所示。該結(jié)構(gòu)的缺點是1.需要使用能透過CO2激光波長的晶體(硒化鋅，砷化鎵)制作鏡片，而該類晶體屬于稀有材料，在世界各國均被限制出口。2.晶體材料成本高，使產(chǎn)品成本增加。3.該結(jié)構(gòu)需要加工四個球面，并鍍以增透膜，生產(chǎn)成本高。4.激光束在透過晶體時會有少量的激光能量被吸收，并且在進入和射出晶體時均有一定的能量損失。

實用新型內(nèi)容本實用新型發(fā)明目的是提供一種用于激光飛行標(biāo)刻激光擴束的拋物面擴束鏡，以解決目前激光飛行標(biāo)刻設(shè)備上透射式逆望遠(yuǎn)系統(tǒng)存在的上述問題。為達到上述發(fā)明目的，本實用新型所采用的技術(shù)方案為一種用于激光飛行標(biāo)刻激光擴束的拋物面擴束鏡，包括拋物面反射鏡基底、全反射層和保護膜，其特征是所述拋物面反射鏡基底的一面設(shè)置有拋物面，所述拋物面上設(shè)置有全反射層，所述全反射層上設(shè)置有保護膜。作為優(yōu)選，所述拋物面反射鏡基底為硅片。作為優(yōu)選，所述全反射層為鍍金膜。綜上所述，本實用新型具有以下有益效果1、本實用新型是采用拋物面反射特點，使結(jié)構(gòu)簡化、減少加工量、可靠性增強。在通過拋物面焦平面內(nèi)任意角度的光線經(jīng)拋物面反射后均會以平行于拋物面對稱軸射出，因此只需加工一個拋物面就能達到目前使用的透射式逆望遠(yuǎn)系統(tǒng)所使用的四個球面的效果。2、不需要昂貴的晶體(硒化鋅，砷化鎵)制作鏡片，而是使用的材料為硅片，它是一種最常用的光學(xué)材料，不會由于原材料的控制而受影響。3、利用成熟的真空鍍金技術(shù)，使反射率達到99%以上，減少激光能量的損失。因此，本拋物面擴束鏡結(jié)構(gòu)簡單，可靠性強，加工相對容易，成本顯著降低。

圖1為本拋物面擴束鏡的裝配示意圖；圖2為本拋物面擴束鏡的結(jié)構(gòu)示意圖；[0018]圖3為現(xiàn)有激光飛行標(biāo)刻設(shè)備上對激光束的擴束的透射式逆望遠(yuǎn)系統(tǒng)結(jié)構(gòu)示意圖。其中，1、平行的出射激光束，2、拋物面擴束鏡，21、拋物面反射鏡基底(硅片)，22、 全反射層(鍍金膜)，23、保護膜(二氧化鋯或二氧化鉿)、3、帶發(fā)射角的入射激光束，4、拋物面的焦點，5、拋物面對稱軸，6、激光器，7、物鏡，8、目鏡。
具體實施方式
以下結(jié)合附圖1-2對本實用新型的具體實施方式
做詳細(xì)地描述該拋物面擴束鏡，由硅片作為拋物面反射鏡基底21、鍍金膜作為全反射層22和保護膜23，所述硅片的一面加工為拋物面，所述拋物面上鍍有鍍金膜，所述鍍金膜上鍍有保護膜23。所述保護膜23為常用材料制作，如二氧化鋯或二氧化鉿。加工時，根據(jù)光學(xué)設(shè)計，設(shè)計出所需大小的拋物面。將硅片加工成設(shè)計的形狀，并在硅片拋物面上鍍金膜和保護膜23。利用機械結(jié)構(gòu)將拋物面擴束鏡2固定在定拋物面對稱軸5的一側(cè)；激光器6固定在拋物面對稱軸5的另一側(cè)，帶發(fā)射角的入射激光束3的束腰與拋物面的焦點4平面重合。帶發(fā)射角的入射激光束3經(jīng)拋物面擴束鏡2反射后形成平行的出射激光束1。本拋物面擴束鏡可適用于(X)2激光。本實用新型并不限于上述實例，在本實用新型的權(quán)利要求書所限定的范圍內(nèi)，本領(lǐng)域技術(shù)人員不經(jīng)創(chuàng)造性勞動即可做出的各種變形或修改均受本專利的保護。
權(quán)利要求1.一種用于激光飛行標(biāo)刻激光擴束的拋物面擴束鏡，包括拋物面反射鏡基底(21)、全反射層(22)和保護膜(23)，其特征是所述拋物面反射鏡基底(21)的一面設(shè)置有拋物面， 所述拋物面上設(shè)置有全反射層(22 )，所述全反射層上設(shè)置有保護膜(23 )。
2.根據(jù)權(quán)利要求所述的用于激光飛行標(biāo)刻激光擴束的拋物面擴束鏡，其特征是所述拋物面反射鏡基底(21)為硅片。
3.根據(jù)權(quán)利要求所述的用于激光飛行標(biāo)刻激光擴束的拋物面擴束鏡，其特征是所述全反射層(22)為鍍金膜。
專利摘要本實用新型公開了一種用于激光飛行標(biāo)刻激光擴束的拋物面擴束鏡，涉及激光加工技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及用于激光飛行標(biāo)刻激光擴束的拋物面擴束鏡。該拋物面擴束鏡包括拋物面反射鏡基底、全反射層和保護膜，其特征是所述拋物面反射鏡基底的一面設(shè)置為拋物面，所述拋物面上鍍有全反射層，所述全反射層上設(shè)置有保護膜。本實用新型是利用拋物面反射特點，制造只需加工一個拋物面，使用的材料為硅片，利用成熟的真空鍍金技術(shù)，使反射率達到99%以上，減少激光能量的損失。因此，本拋物面擴束鏡結(jié)構(gòu)簡單，可靠性強，加工相對容易，成本顯著降低。
文檔編號B41J2/435GK202025130SQ201120119470
公開日2011年11月2日 申請日期2011年4月21日 優(yōu)先權(quán)日2011年4月21日
發(fā)明者何如 申請人:成都榮樂激光技術(shù)有限公司