專利名稱：噴液頭、噴液頭單元及噴液裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及從噴嘴開口噴射液體的噴液頭、噴液頭單元及噴液裝置，尤其涉及作為液體排出墨液的噴墨式記錄頭、噴墨式記錄頭單元及噴墨式記錄裝置。
背景技術(shù)：
作為噴液頭之一例的噴墨式記錄頭，例如，存在以下噴墨式記錄頭具備致動(dòng)器單元和流路單元，所述致動(dòng)器單元設(shè)置有壓電元件及壓力產(chǎn)生室；所述流路單元具有噴嘴板及歧管形成基板，所述噴嘴板連通于壓力產(chǎn)生室并設(shè)置有排出墨液的噴嘴開口 ；所述歧管形成基板設(shè)置有成為壓力產(chǎn)生室的共用的墨液室的歧管。在如此的噴墨式記錄頭中，提出如下方案通過噴嘴板對(duì)歧管進(jìn)行密封、并使得該噴嘴板的對(duì)歧管進(jìn)行密封的區(qū)域?yàn)橐蚱绻軆?nèi)的壓力變化而變形的柔性部(例如，參照專利文獻(xiàn)1)。并且，還具有以下方案在歧管形成基板的底面?zhèn)染邆湓O(shè)置有柔性部的柔性基板， 所述柔性部因歧管內(nèi)的壓力變化而變形(例如參照專利文獻(xiàn)2)。在該專利文獻(xiàn)2中，形成使得柔性基板的一部分的厚度變薄的凹部，并通過該凹部來設(shè)置柔性部。專利文獻(xiàn)1特開2006-95725號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)2特開2009-208461號(hào)公報(bào)可是，在如專利文獻(xiàn)1那樣在噴嘴板設(shè)置有柔性部的情況下，因?yàn)槿嵝圆康恼駝?dòng)原封不動(dòng)傳遞到噴嘴開口附近，所以存在對(duì)排出方向和/或排出特性產(chǎn)生不良影響的問題。并且，噴嘴板因?yàn)樵O(shè)置噴嘴開口所以無(wú)法使其較薄，并且，柔性基板為了使柔性部具有柔性而存在要使其比較薄的問題，故存在難以用1塊基板兼具作為噴嘴板的功能與作為柔性基板的功能這雙方的問題。并且，如專利文獻(xiàn)2等，作為柔性基板的柔性部?jī)H設(shè)置有凹部，這樣無(wú)法確保柔性部發(fā)生變形的充分空間，無(wú)法通過柔性部對(duì)歧管內(nèi)的壓力變動(dòng)進(jìn)行充分吸收，存在墨液排出特性低下的問題。并且，為了形成具有凹部的結(jié)構(gòu)而使得柔性基板變厚，所以從壓力產(chǎn)生室到噴嘴開口的連通部(流路)變長(zhǎng)，有時(shí)也成為不利于高頻驅(qū)動(dòng)的墨液排出特性。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明鑒于如此的情形，目的在于提供能夠可靠地使岐管具有柔性、并能夠?qū)σ后w排出特性的低下進(jìn)行抑制的噴液頭、噴液頭單元及噴液裝置。解決上述問題的本發(fā)明的方式是一種噴液頭，其特征在于順序疊層有并行設(shè)置有壓力產(chǎn)生室的流路形成基板、設(shè)置有連通于多個(gè)壓力產(chǎn)生室而成為共用液體室的歧管的岐管形成基板、對(duì)前述岐管進(jìn)行密封的柔性基板和連通于前述壓力產(chǎn)生室的設(shè)置有噴射液體的噴嘴開口的噴嘴板；在前述柔性基板的與前述岐管相對(duì)置的區(qū)域，設(shè)置有具有柔性的柔性部；在前述噴嘴板，設(shè)置有貫通于與前述柔性部相對(duì)置的區(qū)域的貫通孔。
在如此的方式中，因?yàn)槿嵝曰迮c噴嘴板分體構(gòu)成，所以能夠?qū)θ嵝曰宓恼駝?dòng)傳遞到噴嘴開口這一情況進(jìn)行抑制，能夠?qū)υ谝旱蔚呐懦龇较蚝?或排出特性方面造成不良影響這一情況進(jìn)行抑制。并且，因?yàn)槟軌蚴谷嵝曰灞容^薄，所以能夠縮短壓力產(chǎn)生室與噴嘴開口的距離、提高液體排出特性。而且，因?yàn)椴粫?huì)由于貫通孔而限制柔性部的變形量， 所以能夠?qū)⑵绻軆?nèi)的壓力變動(dòng)通過柔性部充分地進(jìn)行吸收。在此，優(yōu)選前述噴嘴板以硅基板或金屬板所形成。依照于此，能夠高精度地形成噴嘴開口。并且，優(yōu)選在前述噴嘴板的噴液面?zhèn)仍O(shè)置有罩蓋頭，所述罩蓋頭設(shè)置有使前述噴嘴開口露出的噴嘴開口露出開口部。依照于此，通過罩蓋板，能夠保護(hù)噴嘴板，對(duì)噴嘴板的變形和/或損壞進(jìn)行抑制。而且，本發(fā)明的其他方式是一種噴液頭單元，其特征在于具備多個(gè)上述方式的噴液頭。在如此的方式中，能夠?qū)崿F(xiàn)提高了噴液特性的噴液頭單元。并且，本發(fā)明的其他方式是一種噴液裝置，其特征在于具備上述方式的噴液頭單元或噴液頭。在如此的方式中，能夠?qū)崿F(xiàn)噴液特性提高了的噴液裝置。并且，優(yōu)選進(jìn)一步具備對(duì)環(huán)境溫度進(jìn)行檢測(cè)的溫度檢測(cè)單元，并具有基于該溫度檢測(cè)單元檢測(cè)到的環(huán)境溫度對(duì)驅(qū)動(dòng)信號(hào)進(jìn)行校正的控制部，所述驅(qū)動(dòng)信號(hào)對(duì)于使前述壓力產(chǎn)生室內(nèi)的液體產(chǎn)生壓力變動(dòng)的壓力產(chǎn)生單元進(jìn)行驅(qū)動(dòng)。依照于此，則通過對(duì)環(huán)境溫度進(jìn)行測(cè)定，不用對(duì)噴液頭內(nèi)的液體的實(shí)際溫度進(jìn)行檢測(cè)，就能夠得到與噴液頭內(nèi)的液體的實(shí)際液體溫度相同的信息，能夠以適于液體實(shí)際溫度的驅(qū)動(dòng)信號(hào)使液體排出。從而，能夠降低由于溫度變化引起的液體排出特性的不均衡，能夠提高印刷質(zhì)量。


圖1是對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式1中的記錄頭的要部形成缺口的立體圖。圖2是本發(fā)明的實(shí)施方式1涉及的記錄頭的要部的剖視圖。圖3是本發(fā)明的實(shí)施方式1涉及的記錄頭的要部的俯視圖。圖4是本發(fā)明的其他實(shí)施方式涉及的記錄頭的俯視圖及剖視圖。圖5是本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式涉及的噴墨式記錄裝置的概略圖。符號(hào)說明10噴墨式記錄頭(噴液頭)，20致動(dòng)器單元，21壓力產(chǎn)生室，22流路形成基板，23 振動(dòng)板，24壓力產(chǎn)生室底板，25供給連通孔，30流路單元，31液體供給口形成基板，32歧管， 33歧管形成基板，34噴嘴開口，35噴嘴板，36噴嘴連通孔，37液體供給口，38液體導(dǎo)入口， 39噴嘴連通孔，40壓電元件，50柔性基板，51柔性部，60貫通孔，61梁部，70罩蓋板
具體實(shí)施例方式以下基于實(shí)施方式詳細(xì)地對(duì)本發(fā)明進(jìn)行說明。實(shí)施方式1
圖1是對(duì)表示本發(fā)明的實(shí)施方式1中的噴液頭之一例的噴墨式記錄頭的要部形成缺口的立體圖，圖2是噴墨式記錄頭的剖視圖，圖3是噴墨式記錄頭的要部俯視圖。如圖示地，本實(shí)施方式的噴墨式記錄頭10包括致動(dòng)器單元20、和固定該致動(dòng)器單元20的流路單元30。致動(dòng)器單元20為具備壓電元件40的致動(dòng)器裝置，具有形成有壓力產(chǎn)生室21的流路形成基板22、設(shè)置于流路形成基板22的一方的面?zhèn)鹊恼駝?dòng)板23、和設(shè)置于流路形成基板 22的另一方的面?zhèn)鹊膲毫Ξa(chǎn)生室底板24。流路形成基板22例如由具有150 μ m程度的厚度的氧化鋁(Al2O3)和/或氧化鋯 (ZrO2)等陶瓷板形成，在本實(shí)施方式中，多個(gè)壓力產(chǎn)生室21沿其寬度方向并排設(shè)置。而且， 在該流路形成基板22的一方的面，固定有例如由厚度為10 12 μ m的不銹鋼(SUQ薄板形成的振動(dòng)板23，壓力產(chǎn)生室21的一方的面通過該振動(dòng)板23所密封。壓力產(chǎn)生室底板M固定于流路形成基板22的另一方的面?zhèn)榷鴮?duì)壓力產(chǎn)生室21 的另一方的面進(jìn)行密封，并具有設(shè)置于壓力產(chǎn)生室21的較長(zhǎng)方向的一方端部附近的、使壓力產(chǎn)生室21與后述的歧管相連通的供給連通孔25，和設(shè)置于壓力產(chǎn)生室21的較長(zhǎng)方向的另一方端部附近的、連通于后述噴嘴開口 34的噴嘴連通孔沈。而且，壓電元件40設(shè)置于振動(dòng)板23上的與各壓力產(chǎn)生室21相對(duì)的區(qū)域的各個(gè)。在此，各壓電元件40以設(shè)置于振動(dòng)板23上的下電極膜41、按各壓力產(chǎn)生室21的各個(gè)獨(dú)立設(shè)置的壓電體層42、和設(shè)置于各壓電體層42上的上電極膜43所構(gòu)成。壓電體層 42通過貼附或印刷由壓電材料形成的生片所形成。并且，下電極膜41在并排設(shè)置的壓電體層42的范圍內(nèi)設(shè)置而成為各壓電元件40的共用電極，作為振動(dòng)板的一部分而起作用。當(dāng)然，也可以按各壓電體層42的每個(gè)設(shè)置下電極膜41。還有，作為致動(dòng)器單元20的各層的流路形成基板22、振動(dòng)板23及壓力產(chǎn)生室底板 24通過將粘土狀陶瓷材料、即所謂生片成形為預(yù)定厚度，例如穿通設(shè)置壓力產(chǎn)生室21等之后進(jìn)行疊層燒制而無(wú)需粘接劑地一體化。而且，此后，在振動(dòng)板23上形成壓電元件40。另一方面，流路單元30包括接合于致動(dòng)器單元20的壓力產(chǎn)生室底板M的液體供給口形成基板31、形成成為多個(gè)壓力產(chǎn)生室21的共用墨液室的歧管32的歧管形成基板 33、設(shè)置于歧管形成基板33的與液體供給口形成基板31相反側(cè)的柔性基板50、和形成有噴嘴開口 34的噴嘴板35。液體供給口形成基板31由厚度為60μπι的不銹鋼(SUQ薄板構(gòu)成，穿通設(shè)置有 對(duì)噴嘴開口 34與壓力產(chǎn)生室21進(jìn)行連接的噴嘴連通孔36、和與前述供給連通孔25 —起對(duì)歧管32與壓力產(chǎn)生室21進(jìn)行連接的液體供給口 37，并且，設(shè)置有與各歧管32連通、并供給來自外部墨液箱的墨液的液體導(dǎo)入口 38。液體供給口 37與液體導(dǎo)入口 38設(shè)置為，在壓力產(chǎn)生室21的較長(zhǎng)方向、即與作為壓力產(chǎn)生室21的并排設(shè)置方向的一方向相正交的方向，分別連通于后述的歧管32的兩端部。還有，在本實(shí)施方式中，1個(gè)液體導(dǎo)入口 38設(shè)置為，連通于詳情后述的歧管32的作為壓力產(chǎn)生室21的并排設(shè)置方向的一方向的中央部。歧管形成基板33在適于構(gòu)成墨液流路(液體流路)的例如150 μ m的不銹鋼等具備耐腐蝕性的板材，具有從外部墨液箱(未圖示)接受墨液供給并對(duì)壓力產(chǎn)生室21供給墨液的歧管32、和使壓力產(chǎn)生室21與噴嘴開口 34相連通的噴嘴連通孔39。歧管32，在多個(gè)壓力產(chǎn)生室21的范圍內(nèi)、即在壓力產(chǎn)生室21的并排設(shè)置方向的范圍內(nèi)設(shè)置。柔性基板50接合于歧管形成基板33的與液體供給口形成基板31相反側(cè)的面， 對(duì)歧管32的底面進(jìn)行密封。如此的柔性基板50例如包括不銹鋼(SUS)等金屬、聚苯硫醚 (PPS)等樹脂和/或陶瓷等單體或它們的疊層體，至少對(duì)歧管32進(jìn)行密封的區(qū)域能夠采用具有柔性的材料。在本實(shí)施方式中，作為柔性基板50，例如采用厚度為12μπι的不銹鋼 (SUS)。還有，所謂柔性基板50包括疊層體例如是指，柔性基板50包括膜狀的彈性膜和厚度方向的一部分貫通而設(shè)置的支持基板。并且，在柔性基板50，貫通于厚度方向而設(shè)置有使設(shè)置于歧管形成基板33的噴嘴連通孔39與噴嘴開口 34相連通的噴嘴連通孔52。即，來自壓力產(chǎn)生室21的墨液通過在液體供給口形成基板31、歧管形成基板33及柔性基板50設(shè)置的噴嘴連通孔36、39及52從噴嘴開口 34排出。還有，雖然在本實(shí)施方式中，作為柔性基板50采用厚度均勻的基板，但是并非特別地限定于此，例如，也可以采用僅柔性基板50的對(duì)歧管32進(jìn)行密封的區(qū)域比其他區(qū)域薄的基板。但是，在柔性基板50，貫通于厚度方向而設(shè)置有使設(shè)置于歧管形成基板33的噴嘴連通孔39與噴嘴開口 34相連通的噴嘴連通孔52。從而，在作為柔性基板50采用僅使得對(duì)歧管32進(jìn)行密封的區(qū)域較薄的基板的情況下，因?yàn)閲娮爝B通孔52變長(zhǎng)，噴嘴開口 34與壓力產(chǎn)生室21的距離離開，所以并不優(yōu)選。此外，若噴嘴開口 34與壓力產(chǎn)生室21的距離離開，則有可能流路阻力增大等對(duì)墨液排出特性產(chǎn)生不良影響。噴嘴板35包括例如以不銹鋼等金屬和/或硅等陶瓷材料所形成的板狀構(gòu)件。在噴嘴板35，以與壓力產(chǎn)生室21相同的排列間距穿通設(shè)置地形成有噴嘴開口 34。并且，在噴嘴板35的與歧管相對(duì)的區(qū)域，設(shè)置有貫通于厚度方向的貫通孔60。由此，柔性基板50的通過貫通孔60所露出的區(qū)域作為柔性部51而起作用。換言之，在噴嘴板35的與柔性部51相對(duì)的區(qū)域，設(shè)置有貫通于厚度方向的貫通孔60。貫通孔60在本實(shí)施方式中如示于圖3地，在壓力產(chǎn)生室21的并排設(shè)置方向上，按由多個(gè)壓力產(chǎn)生室21所構(gòu)成的每個(gè)壓力產(chǎn)生室組分割而設(shè)置。在本實(shí)施方式中，通過將貫通孔60沿歧管的較長(zhǎng)方向分割為4個(gè)而設(shè)置，在相鄰的貫通孔60之間設(shè)置與噴嘴板35 — 體化的梁部61。噴嘴板35整體的剛性通過該梁部61而提高，能夠?qū)τ捎趪娮彀?5的變形和/或噴嘴開口 34附近的振動(dòng)引起的墨液排出特性的下降進(jìn)行抑制。還有，因?yàn)閲娮扉_口 34附近必須為剛性，所以難以使噴嘴板35的厚度較薄。在本實(shí)施方式中，例如采用厚度為60 μ m的不銹鋼。因此，無(wú)法實(shí)現(xiàn)下述構(gòu)成不設(shè)置柔性基板 50，以未設(shè)置貫通孔60的噴嘴板的一部分對(duì)歧管32進(jìn)行密封，使噴嘴板的對(duì)歧管32進(jìn)行密封的部分作為柔性部。還有，柔性部51因?yàn)楸仨殲槿嵝裕圆荒茌^厚。從而，無(wú)法使噴嘴板35的一部分作為柔性部。如此的流路單元30通過將液體供給口形成基板31、歧管形成基板33、柔性基板50 及噴嘴板35通過粘接劑和/或熱熔粘膜等進(jìn)行固定而形成。還有，雖然在圖2中，僅例示對(duì)噴嘴板35與柔性基板50進(jìn)行粘接的粘接劑62，但是在構(gòu)成流路單元30的其他構(gòu)件之間，雖然未圖示，也可設(shè)置粘接劑。而且，如此的流路單元30與致動(dòng)器單元20通過粘接劑和/或熱熔粘膜而接合固定。而且，在如此構(gòu)成的噴墨式記錄頭10中，在通過液體導(dǎo)入口 38將墨液從墨液盒(貯存單元)取進(jìn)歧管32內(nèi)、以墨液充滿從歧管32到噴嘴開口 34為止的墨液流路內(nèi)之后， 按照來自未圖示的驅(qū)動(dòng)電路的記錄信號(hào)，對(duì)對(duì)應(yīng)于各壓力產(chǎn)生室21的各壓電元件40施加電壓而使振動(dòng)板23與壓電元件40 —起彎曲變形，由此使得各壓力產(chǎn)生室21內(nèi)的壓力升高而從各噴嘴開口 ；34噴射墨滴。并且，在對(duì)歧管32取進(jìn)墨液時(shí)的壓力變動(dòng)和/或從噴嘴開口 34排出墨液時(shí)向與噴嘴開口 34相反側(cè)的歧管32側(cè)的壓力變動(dòng)等，由通過噴嘴板35的貫通孔60所形成的柔性基板50的柔性部51所吸收。此時(shí)，在本實(shí)施方式中，因?yàn)槿嵝曰?0與噴嘴板35分體， 所以能夠抑制柔性基板50的振動(dòng)傳遞于噴嘴開口 34的情況，對(duì)在墨滴的排出方向和/或排出特性方面產(chǎn)生不良影響的情況進(jìn)行抑制。并且，通過使柔性基板50與噴嘴板35分體， 能夠使柔性基板50較薄，所以能夠縮短壓力產(chǎn)生室21與噴嘴開口 34的距離，提高墨液排出特性。而且，因?yàn)槿嵝圆?1的變形量并不因貫通孔60而受到限制，所以能夠通過柔性部 51充分吸收歧管32內(nèi)的壓力變動(dòng)。并且，因?yàn)槿嵝圆?1通過設(shè)置于噴嘴板35的貫通孔60而露出，所以能夠使噴墨式記錄頭10內(nèi)部的墨液溫度、尤其是接近壓力產(chǎn)生室21的貯存有墨液的歧管32內(nèi)的墨液溫度在短時(shí)間成為與噴墨式記錄頭10的外部溫度(環(huán)境溫度)基本相同的溫度。在此，墨液的粘度相應(yīng)于墨液的溫度發(fā)生變化。例如，若溫度高則墨液的粘度變低、若溫度低則墨液的粘度變高。因此，雖然通過以適于墨液溫度(粘度)的驅(qū)動(dòng)波形對(duì)壓電元件40進(jìn)行驅(qū)動(dòng)來使墨液排出，而能夠使墨液排出特性變得均一，但是墨液的溫度通常通過以溫度傳感器等溫度檢測(cè)單元對(duì)噴墨式記錄頭10的環(huán)境溫度(室溫)進(jìn)行測(cè)定而取得。在如此的情況下，有可能在噴墨式記錄頭10的流路內(nèi)部的實(shí)際的墨液溫度與環(huán)境溫度產(chǎn)生誤差，無(wú)法以適于實(shí)際的墨液溫度的驅(qū)動(dòng)波形使墨液排出，導(dǎo)致墨液排出特性下降。在本實(shí)施方式中， 通過在噴嘴板35設(shè)置貫通孔60，能夠使對(duì)歧管32進(jìn)行密封的柔性部51露出于外部，所以能夠使歧管32內(nèi)的墨液的溫度在短時(shí)間同步為基本與進(jìn)行溫度測(cè)定的環(huán)境溫度相同的溫度。即，因?yàn)槠绻?2內(nèi)的墨液并不通過較厚的噴嘴板35而僅以較薄的柔性基板50與外部隔離，所以歧管32內(nèi)的墨液溫度容易在短時(shí)間達(dá)到環(huán)境溫度。因此，僅通過對(duì)環(huán)境溫度進(jìn)行測(cè)定而確定驅(qū)動(dòng)波形，就能夠以適于實(shí)際的流路內(nèi)的墨液溫度的驅(qū)動(dòng)波形對(duì)壓電元件40 進(jìn)行驅(qū)動(dòng)，能夠使墨液排出特性提高。其他實(shí)施方式以上，雖然對(duì)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式進(jìn)行了說明，但是本發(fā)明的基本構(gòu)成并不限定于上述方式。例如，雖然在上述的實(shí)施方式1中，例示了 在噴嘴板35的與柔性基板50相反側(cè)未設(shè)置罩蓋板的噴墨式記錄頭，但是并非特別限定于此，也可以在噴嘴板35的外側(cè)、 即與柔性基板50相反側(cè)，設(shè)置罩蓋板。將如此的例示于圖4。還有，圖4是本發(fā)明的其他實(shí)施方式涉及的噴墨式記錄頭的俯視圖及剖視圖。如示于圖4地，在噴墨式記錄頭10的噴嘴板35側(cè)，設(shè)置覆蓋噴嘴板35的表面的罩蓋板70。在罩蓋板70，設(shè)置使多個(gè)噴嘴開口 34露出的噴嘴開口露出開口部71。并且，在罩蓋板70，設(shè)置連通于噴嘴板35的貫通孔60而使柔性部51露出的柔性部露出開口部72。 當(dāng)然，即使不在罩蓋板70設(shè)置柔性部露出開口部72，在柔性部51與罩蓋板70之間也可通過噴嘴板35的貫通孔60而確保空間，所以并不阻礙柔性部51的變形，但是通過在罩蓋板 70設(shè)置柔性部露出開口部72，柔性部51可以大幅度變形，并能夠通過柔性部51而使歧管32內(nèi)的墨液容易地同步為基本與外部溫度相同的溫度。并且，雖然在上述的實(shí)施方式1中，對(duì)具有厚膜型壓電元件40的噴墨式記錄頭10 進(jìn)行了例示，但是作為使壓力變化產(chǎn)生于壓力產(chǎn)生室21的壓力產(chǎn)生單元，并非特別限定于此，即使是具備例如具有通過溶膠-凝膠法、MOD法、濺射法等所形成的壓電材料的薄膜型壓電元件、使壓電材料與電極形成材料交替疊層而伸縮于軸向方向的縱向振動(dòng)型壓電元件、隔開預(yù)定間隙配置振動(dòng)板和電極并以靜電力對(duì)振動(dòng)板的振動(dòng)進(jìn)行控制的所謂靜電致動(dòng)器、在壓力產(chǎn)生室內(nèi)配置發(fā)熱元件并通過以發(fā)熱元件的發(fā)熱所產(chǎn)生的氣泡而使液滴從噴嘴開口排出的構(gòu)件等的噴墨式記錄頭，也能起到同樣的效果。并且，本實(shí)施方式的噴墨式記錄頭構(gòu)成具備與墨液盒等相連通的墨液流路的記錄頭單元的一部分，搭載于噴墨式記錄裝置。圖5是表示該噴墨式記錄裝置之一例的概略圖。如示于圖5地，噴墨式記錄裝置I具備具有噴墨式記錄頭10的記錄頭單元IA及 1B。記錄頭單元IA及IB可以裝卸地設(shè)置有構(gòu)成墨液供給單元的盒體2A及2B，搭載有該記錄頭單元IA及IB的滑架3沿軸向方向移動(dòng)自如地設(shè)置于安裝于裝置主體4的滑架軸5。 該記錄頭單元IA及IB例如分別排出黑色墨液組成物及彩色墨液組成物。并且，通過使得驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)6的驅(qū)動(dòng)力通過未圖示的多個(gè)齒輪及同步帶7傳遞于滑架3，使得搭載有記錄頭單元IA及IB的滑架3沿滑架軸5移動(dòng)。另一方面，在裝置主體 4沿滑架軸5設(shè)置壓板8，通過未圖示的供紙滾筒等所供給的紙等的作為記錄介質(zhì)的記錄片 S卷掛于壓板8被輸送。還有，雖然未特別圖示，但是也可以在裝置主體4的內(nèi)側(cè)或外側(cè)，設(shè)置對(duì)作為環(huán)境溫度的室溫進(jìn)行測(cè)定的溫度傳感器等溫度檢測(cè)單元。而且，這些驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)6和/或記錄頭單元IA及IB的壓力產(chǎn)生單元等通過以未圖示的CPU和/或存儲(chǔ)器等所構(gòu)成的控制部控制而進(jìn)行工作。并且，控制部基于溫度檢測(cè)單元檢測(cè)到的環(huán)境溫度，將施加于噴墨式記錄頭10的作為壓力產(chǎn)生單元的壓電元件40的驅(qū)動(dòng)信號(hào)校正為適合環(huán)境溫度的驅(qū)動(dòng)信號(hào)。在此，如上述地，在本實(shí)施方式中，通過在噴嘴板 35設(shè)置貫通孔60，能夠使對(duì)歧管32進(jìn)行密封的柔性部51露出于外部，所以能夠使歧管32 內(nèi)的墨液的溫度在短時(shí)間同步為基本與進(jìn)行溫度測(cè)定的環(huán)境溫度相同的溫度。從而，僅通過對(duì)環(huán)境溫度進(jìn)行測(cè)定并對(duì)作為驅(qū)動(dòng)信號(hào)的驅(qū)動(dòng)波形進(jìn)行校正，就能夠以適于實(shí)際流路內(nèi)的墨液溫度的驅(qū)動(dòng)信號(hào)(驅(qū)動(dòng)波形)對(duì)壓電元件40進(jìn)行驅(qū)動(dòng)，能夠使墨液排出特性提高。還有，雖然在上述的實(shí)施方式中，作為噴液頭之一例舉出噴墨式記錄頭進(jìn)行了說明，但是本發(fā)明廣泛地以噴液頭全體為對(duì)象，當(dāng)然也能夠應(yīng)用于噴射墨液以外的液體的噴液頭。作為其他的噴液頭，例如，可舉出用于打印機(jī)等圖像記錄裝置的各種記錄頭，用于液晶顯示器等濾色器制造的色材噴射頭，用于有機(jī)EL顯示器、FED (場(chǎng)致發(fā)射顯示器)等的電極形成的電極材料噴射頭，用于生物芯片制造的生物體有機(jī)物噴射頭等。
權(quán)利要求
1.一種噴液頭，其特征在于，順序疊層有流路形成基板，其形成有連通于噴射液體的噴嘴開口的壓力產(chǎn)生室；壓力產(chǎn)生元件，其使前述噴嘴開口及前述壓力產(chǎn)生室內(nèi)的液體產(chǎn)生壓力變化；岐管形成基板，其設(shè)置有連通于多個(gè)壓力產(chǎn)生室而成為共用的液體室的岐管；柔性基板，其對(duì)前述岐管進(jìn)行密封；和噴嘴板，其連通于前述壓力產(chǎn)生室，設(shè)置有前述噴嘴開口 ；在前述柔性基板的與前述岐管相對(duì)置的區(qū)域，設(shè)置有具有柔性的柔性部；在前述噴嘴板設(shè)置有貫通孔，所述貫通孔貫通于與前述柔性部相對(duì)置的區(qū)域。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的噴液頭，其特征在于 前述噴嘴板以硅基板或金屬板所形成。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的噴液頭，其特征在于在前述噴嘴板的噴液面?zhèn)仍O(shè)置有罩蓋頭，所述罩蓋頭設(shè)置有使前述噴嘴開口露出的噴嘴開口露出開口部。
4.一種噴液頭單元，其特征在于 具備多個(gè)權(quán)利要求1所述的噴液頭。
5.一種噴液裝置，其特征在于 具備權(quán)利要求4所述的噴液頭單元。
6.一種噴液裝置，其特征在于 具備權(quán)利要求1所述的噴液頭。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的噴液裝置，其特征在于還具備對(duì)環(huán)境溫度進(jìn)行檢測(cè)的溫度檢測(cè)單元，并具有基于該溫度檢測(cè)單元檢測(cè)到的環(huán)境溫度對(duì)驅(qū)動(dòng)信號(hào)進(jìn)行校正的控制部，所述驅(qū)動(dòng)信號(hào)，對(duì)使前述壓力產(chǎn)生室內(nèi)的液體產(chǎn)生壓力變動(dòng)的壓力產(chǎn)生單元進(jìn)行驅(qū)動(dòng)。
全文摘要
本發(fā)明提供能夠可靠地使岐管具有柔性、并能夠?qū)σ后w排出特性的下降進(jìn)行抑制的噴液頭、噴液頭單元及噴液裝置。順序疊層有并排設(shè)置有壓力產(chǎn)生室(21)的流路形成基板(22)、設(shè)置有連通于多個(gè)壓力產(chǎn)生室(21)而成為共用液體室的歧管(32)的岐管形成基板(31)、對(duì)前述岐管(32)進(jìn)行密封的柔性基板(50)、和連通于前述壓力產(chǎn)生室(21)而設(shè)置有噴射液體的噴嘴開口(34)的噴嘴板(35)；在前述柔性基板(50)的與前述岐管(32)相對(duì)的區(qū)域，設(shè)置具有柔性的柔性部(51)；在前述噴嘴板(35)，設(shè)置有貫通于與前述柔性部(51)相對(duì)的區(qū)域的貫通孔(60)。
文檔編號(hào)B41J2/045GK102328508SQ2011101953
公開日2012年1月25日 申請(qǐng)日期2011年7月12日 優(yōu)先權(quán)日2010年7月12日
發(fā)明者張俊華 申請(qǐng)人:精工愛普生株式會(huì)社