專利名稱：液體噴射頭的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及通過(guò)壓力變動(dòng)從噴嘴噴射液滴的噴墨式記錄頭等液體噴射頭。
背景技術(shù)：
作為通過(guò)使壓力室內(nèi)的液體產(chǎn)生壓力變動(dòng)而從噴嘴噴射液滴的液體噴射頭，例如有噴墨式記錄裝置(以下簡(jiǎn)稱為打印機(jī))等圖像記錄裝置所使用的噴墨式記錄頭(以下簡(jiǎn)稱為記錄頭)、液晶顯示器等濾光器的制造所使用的色材噴射頭、有機(jī)EUElectro Luminescence)顯示器、FED(面發(fā)光顯示器)等的電極形成所使用的電極材噴射頭、生物芯片(生物化學(xué)元件)的制造所使用的生物體有機(jī)物噴射頭等。而且，在液體噴射頭中，有一種構(gòu)成為通過(guò)使與振動(dòng)板接合的壓電元件(壓力產(chǎn)生元件的一種)變形，來(lái)噴射液滴的噴射頭。在該液體噴射頭中，通過(guò)施加驅(qū)動(dòng)電壓(驅(qū)動(dòng)脈沖)來(lái)驅(qū)動(dòng)壓電元件，使得壓力室容積變化，讓壓力室內(nèi)貯存的液體產(chǎn)生壓力變動(dòng)，利用該壓力變動(dòng)從噴嘴噴射液滴。上述壓電元件與將COF (Chip On Film)、TCP (Tape Career Package)等用于驅(qū)動(dòng)壓電元件的IC安裝于聚酰亞胺等基體薄膜的薄膜狀布線部件(以下稱為可撓性線纜)電連接，經(jīng)由該可撓性線纜被提供驅(qū)動(dòng)電壓(例如參照專利文獻(xiàn)1)。壓電元件具有下電極膜、 壓電體層以及上電極膜，通常將一方電極(例如下電極膜)作為多個(gè)壓電元件共用的共用元件電極，將另一方電極(例如上電極膜)作為各壓電元件分別獨(dú)立地形成圖案的個(gè)別元件電極。被夾在共用元件電極與個(gè)別元件電極之間的壓電體層，是通過(guò)對(duì)兩個(gè)電極間施加驅(qū)動(dòng)電壓而產(chǎn)生壓電變形的壓電體有源部。[專利文獻(xiàn)1]日本特開(kāi)2004_03似93號(hào)公報(bào)然而，在近年的記錄頭中，期望實(shí)現(xiàn)噴嘴的高密度化，從壓力產(chǎn)生元件引出的引出布線被高密度排列。因此，其線寬也存在變細(xì)的趨勢(shì)，動(dòng)輒產(chǎn)生相鄰接的布線彼此發(fā)生短路而引起連接不良的問(wèn)題。另外，由聚酰亞胺等構(gòu)成的可撓性線纜，由于與壓電元件側(cè)的布線等接合時(shí)的加熱、吸濕，而導(dǎo)致在接合部分中特別是排列設(shè)置端子而成為長(zhǎng)條的端子排列設(shè)置方向上膨脹。因此，預(yù)先設(shè)定的可撓性線纜的端子與壓力產(chǎn)生元件側(cè)的端子之間的接合位置會(huì)錯(cuò)位，有可能引發(fā)連接不良。并且，在與形成了壓力室等液體流路的流路形成基板重疊的振動(dòng)板上，共用元件電極與個(gè)別元件電極電氣獨(dú)立地形成，用于檢測(cè)振動(dòng)板的龜裂(裂紋)的裂紋檢查圖案，被配置在比壓力產(chǎn)生元件側(cè)的端子列靠外側(cè)的位置。但是，裂紋檢查圖案也具有從該圖案引出的引出布線的線寬變細(xì)的趨勢(shì)，存在難以確保與可撓性線纜的端子的接合精度的趨勢(shì)。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明鑒于這樣的情況而提出，其目的在于，提供一種能維持端子接合時(shí)的連接可靠性，并且可實(shí)現(xiàn)小型化的液體噴射頭。本發(fā)明的液體噴射頭為了實(shí)現(xiàn)上述目的而提出，具備流路形成基板，其排列設(shè)置有與噴嘴連通的壓力室；壓力產(chǎn)生元件，其隔著振動(dòng)板被配置于上述流路形成基板，向上述壓力室內(nèi)的液體賦予壓力變動(dòng)；個(gè)別電極端子，其與構(gòu)成上述壓力產(chǎn)生元件的一部分的個(gè)別電極導(dǎo)通；共用電極端子，其與構(gòu)成上述壓力產(chǎn)生元件的一部分的共用電極導(dǎo)通；以及布線部件，其通過(guò)對(duì)具有可撓性的絕緣部件施以布線而構(gòu)成，具有分別與上述個(gè)別電極端子及共用電極端子接合的布線端子；上述個(gè)別電極端子及與該個(gè)別電極端子接合的布線部件的個(gè)別布線端子分別沿各壓力室的排列設(shè)置方向排列設(shè)置，位于上述端子排列設(shè)置方向的端部側(cè)的個(gè)別電極端子、和與該個(gè)別電極端子接合的個(gè)別布線端子中的至少一方，被以相對(duì)于位于上述端子排列設(shè)置方向的中央部的個(gè)別電極端子傾斜的狀態(tài)配置。根據(jù)該構(gòu)成，由于個(gè)別電極端子以及與該個(gè)別電極端子接合的個(gè)別布線端子，分別沿各壓力室的排列設(shè)置方向排列設(shè)置，位于端子排列設(shè)置方向的端部側(cè)的個(gè)別電極端子、和與該個(gè)別電極端子接合的個(gè)別布線端子中的至少一方，被以相對(duì)于位于端子排列設(shè)置方向的中央部的個(gè)別電極端子在端子排列設(shè)置方向傾斜的狀態(tài)配置，所以在將布線部件的個(gè)別布線端子與壓力產(chǎn)生元件側(cè)的個(gè)別電極端子接合時(shí)，接合時(shí)的加熱、吸濕會(huì)導(dǎo)致布線部件在端子排列設(shè)置方向上膨脹，即便個(gè)別布線端子間的間隔增大，通過(guò)使布線部件與壓力產(chǎn)生元件側(cè)向與端子排列設(shè)置方向交叉的方向相對(duì)移動(dòng)，也能夠使端子的接合位置一致。由此，能使個(gè)別電極端子與個(gè)別布線端子以對(duì)位的狀態(tài)接合，可以維持接合時(shí)的連接可靠性，并且實(shí)現(xiàn)液體噴射頭的小型化。在上述構(gòu)成中，優(yōu)選上述共用電極端子被配置在上述端子排列設(shè)置方向的線上， 上述共用電極端子、和與該共用電極端子接合的共用布線端子中的至少一方，以相對(duì)于位于上述端子排列設(shè)置方向的中央部的個(gè)別電極端子傾斜的狀態(tài)被配置。根據(jù)該構(gòu)成，由于共用電極端子被配置在上述端子排列設(shè)置方向的線上，共用電極端子、和與共用電極端子接合的共用布線端子中的至少一方，以相對(duì)于位于端子排列設(shè)置方向的中央部的個(gè)別電極端子在端子排列設(shè)置方向傾斜的狀態(tài)被配置，所以當(dāng)通過(guò)熱熔敷將布線部件的共用布線端子與壓力產(chǎn)生元件側(cè)的共用電極端子接合時(shí)，即便熔敷時(shí)的加熱導(dǎo)致布線部件在端子排列設(shè)置方向上膨脹，通過(guò)使布線部件側(cè)與壓力產(chǎn)生元件側(cè)在與端子排列設(shè)置方向交叉的方向相對(duì)移動(dòng)，也能使端子的接合位置一致。由此，可將共用電極端子與共用電極布線端子以對(duì)位的狀態(tài)接合。在上述構(gòu)成中，優(yōu)選在上述振動(dòng)板上以與上述個(gè)別電極及共用電極電氣獨(dú)立的狀態(tài)形成有金屬層，上述金屬層在比位于上述端子排列設(shè)置方向的端部側(cè)的個(gè)別電極端子靠向上述端子排列設(shè)置方向的外側(cè)，具有與上述布線部件的金屬層布線端子接合的金屬層電極端子，上述金屬層電極端子與上述金屬層布線端子的至少一方，被以相對(duì)于位于上述端子排列設(shè)置方向的中央部的個(gè)別電極端子傾斜的狀態(tài)配置。根據(jù)該構(gòu)成，由于在振動(dòng)板上以與個(gè)別電極及共用電極電氣獨(dú)立的狀態(tài)形成有金屬層，金屬層在相比位于端子排列設(shè)置方向的端部側(cè)的個(gè)別電極端子靠端子排列設(shè)置方向的外側(cè)，具有與布線部件的金屬層布線端子接合的金屬層電極端子，金屬層電極端子與金屬層布線端子的至少一方，被以相對(duì)于位于端子排列設(shè)置方向的中央部的個(gè)別電極端子在端子排列設(shè)置方向傾斜的狀態(tài)配置，所以通過(guò)進(jìn)行共用電極以及金屬層與壓力室內(nèi)的液體的導(dǎo)通檢查，能確定連接不良的產(chǎn)生位置及其原因，具體而言，能確定是產(chǎn)生在振動(dòng)板上的龜裂(裂紋)，還是端子的接合不良。在上述構(gòu)成中，優(yōu)選上述端子的傾斜角度被設(shè)定為越遠(yuǎn)離位于上述端子排列設(shè)置方向的中央部的個(gè)別電極端子越大。根據(jù)該構(gòu)成，由于端子的傾斜角度被設(shè)定為越遠(yuǎn)離位于端子排列設(shè)置方向的中央部的個(gè)別電極端子越大，所以能夠使電極端子與布線端子的接合位置更正確地對(duì)位，可以將彼此以對(duì)位的狀態(tài)接合。


圖1是對(duì)打印機(jī)的構(gòu)成進(jìn)行說(shuō)明的立體圖。圖2是從斜上方觀察記錄頭的分解立體圖。圖3是頭單元的分解立體圖。圖4是頭單元的主要部分剖視圖。圖5是對(duì)壓電元件的元件電極以及電極端子的布局進(jìn)行說(shuō)明的示意圖。圖6是對(duì)可撓性線纜以及執(zhí)行元件單元的構(gòu)成進(jìn)行說(shuō)明的立體圖。圖7是對(duì)可撓性線纜與執(zhí)行元件單元接合時(shí)的校準(zhǔn)進(jìn)行說(shuō)明的示意圖。附圖標(biāo)記說(shuō)明1...打印機(jī)，3...記錄頭，16...頭單元，23...流路基板， 27...噴嘴，30...彈性體膜，31...壓力室，35...壓電元件，39...可撓性線纜，46...共用元件電極，47...個(gè)別元件電極，48...個(gè)別元件電極端子，49...共用元件電極端子， 50...金屬層，51...金屬層電極端子，53... —端側(cè)個(gè)別電極布線端子，55... —端側(cè)共用電極布線端子，57... —端側(cè)金屬層布線端子。
具體實(shí)施例方式以下，參照附圖，對(duì)用于實(shí)施本發(fā)明的方式進(jìn)行說(shuō)明。其中，在以下描述的實(shí)施方式中，作為本發(fā)明的優(yōu)選具體例進(jìn)行了各種限定，但本發(fā)明的范圍只要在以下的說(shuō)明中未特別記載對(duì)本發(fā)明限定的內(nèi)容，便不局限于這些方式。而且，在以下的說(shuō)明中，作為本發(fā)明的液體噴射頭，以安裝于噴墨式打印機(jī)(本發(fā)明的液體噴射裝置的一種)的噴墨式記錄頭 (以下簡(jiǎn)稱為記錄頭)為例。首先，參照?qǐng)D1，對(duì)打印機(jī)的概略結(jié)構(gòu)進(jìn)行說(shuō)明。打印機(jī)1是向記錄紙等記錄介質(zhì) 2的表面噴射液體狀的墨水來(lái)進(jìn)行圖像等的記錄的裝置。該打印機(jī)1具備噴射墨水的記錄頭3、被安裝該記錄頭3的滑架4、使滑架4沿主掃描方向移動(dòng)的滑架移動(dòng)機(jī)構(gòu)5、沿副掃描方向移送記錄介質(zhì)2的壓印輥6等。這里，上述的墨水是本發(fā)明的液體的一種，被貯存在墨盒7中。該墨盒7相對(duì)記錄頭3被可裝卸地安裝。另外，還可以采用墨盒7被配置在打印機(jī)1的主體側(cè)，從該墨盒7經(jīng)由墨水供給管向記錄頭3供給墨水的構(gòu)成。上述的滑架移動(dòng)機(jī)構(gòu)5具備正時(shí)皮帶8。而且，該正時(shí)皮帶8被DC馬達(dá)等脈沖馬達(dá)9驅(qū)動(dòng)。因此，當(dāng)脈沖馬達(dá)9工作時(shí)，滑架4被架設(shè)在打印機(jī)1上的導(dǎo)向桿10引導(dǎo)，沿主掃描方向(記錄介質(zhì)2的寬度方向)上往復(fù)移動(dòng)。
圖2是表示上述記錄頭3的構(gòu)成的分解立體圖。本實(shí)施方式中的記錄頭3大致由殼體15、多個(gè)頭單元16、單元固定板17合頭罩18構(gòu)成。殼體15是在內(nèi)部收容頭單元16、匯聚流路(未圖示)的箱體狀部件，在上面?zhèn)刃纬捎嗅槺３旨?9。該針保持件19是用于安裝墨水導(dǎo)入針20的板狀部件，在本實(shí)施方式中， 與墨盒7的墨水色對(duì)應(yīng)地在該針保持件19上沿橫向排列配設(shè)了 8根墨水導(dǎo)入針20。該墨水導(dǎo)入針20是插入到墨盒7內(nèi)的中空針狀部件，從開(kāi)設(shè)于前端部的導(dǎo)入孔(未圖示)將墨盒7內(nèi)貯存的墨水經(jīng)由殼體15內(nèi)的匯聚流路導(dǎo)入到頭單元16側(cè)。而且，在殼體15的底面?zhèn)龋?個(gè)頭單元16以沿主掃描方向被橫向排列定位的狀態(tài)， 與具有和各頭單元16對(duì)應(yīng)的4個(gè)開(kāi)口部17'的金屬制單元固定板17接合，并且被開(kāi)設(shè)有同樣與各頭單元16對(duì)應(yīng)的4個(gè)開(kāi)口部18'的金屬制頭罩18固定。圖3是表示頭單元16 (比記錄頭3更狹義的液體噴射頭)的構(gòu)成的分解立體圖， 圖4是頭單元16的剖視圖。其中，為便于說(shuō)明，以各部件的層疊方向作為上下方向進(jìn)行說(shuō)明。本實(shí)施方式中的頭單元16大致由噴嘴板22、流路基板23(相當(dāng)于本發(fā)明的流路形成基板)、共用液室基板M以及柔性(compliance)基板25構(gòu)成，并以將這些部件層疊的狀態(tài)被安裝于單元?dú)んw26。噴嘴板22 (噴嘴形成部件的一種)是以與墨點(diǎn)形成密度對(duì)應(yīng)的間距列狀地開(kāi)設(shè)了多個(gè)噴嘴27的板狀部件。在本實(shí)施方式中，通過(guò)以180dpi的間距排列設(shè)置180個(gè)噴嘴27， 構(gòu)成了噴嘴列。對(duì)于流路基板23而言，在其上面(共用液室基板M側(cè)的面)通過(guò)熱氧化形成有由二氧化硅構(gòu)成的極薄的彈性膜30 (相當(dāng)于本發(fā)明的振動(dòng)板)。如圖4所示，在該流路基板23上以與各噴嘴27對(duì)應(yīng)地排列設(shè)置有多個(gè)的狀態(tài)，通過(guò)各向異性蝕刻處理形成了被多個(gè)隔壁劃分的壓力室31。在該流路基板23的壓力室31的列的外側(cè)形成有連通空部33，該連通空部33對(duì)各壓力室31的作為被導(dǎo)入共用墨水的室的共用液室32的一部分進(jìn)行劃分。 該連通空部33借助墨水供給路34與各壓力室31連通。在流路基板23的上面的彈性膜30上，按每一個(gè)壓力室31形成有壓電元件35 (相當(dāng)于本發(fā)明的壓力產(chǎn)生元件)，該壓電元件35通過(guò)依次層疊金屬制的下電極膜(共用元件電極46)、由鋯鈦酸鉛(PZT)等構(gòu)成的壓電體層(未圖示)、由金屬構(gòu)成的上電極膜(個(gè)別元件電極47)而形成。該壓電元件35是所謂撓曲模式的壓電元件，被形成為覆蓋壓力室 31的上部。電極端子48、49分別從壓電元件35的各元件電極47、46延伸突出到彈性膜30 上，可撓性線纜39的布線端子53、55與這些電極端子48、49電連接。而且，各壓電元件35 構(gòu)成為通過(guò)經(jīng)由可撓性線纜39向個(gè)別元件電極47及共用元件電極46間施加驅(qū)動(dòng)電壓而變形。在本實(shí)施方式中，上述彈性膜30、含有各電極46、47的壓電元件35、以及與壓電元件 35的各電極導(dǎo)通的電極端子48、49相當(dāng)于本發(fā)明的執(zhí)行元件單元45。其中，將在后邊針對(duì)電極端子、可撓性線纜39的詳細(xì)情況進(jìn)行描述。在形成有上述壓電元件35的流路基板23上，配置了具有沿厚度方向貫通的貫通空部36的共用液室基板M (保護(hù)基板)。該共用液室基板M與流路基板23、噴嘴板22同樣，使用單晶硅基板制成。而且，該共用液室基板M的貫通空部36與流路基板23的連通空部33連通而劃分共用液室32的一部分。
另外，在共用液室基板M的上面?zhèn)扰渲糜腥嵝曰?5。在該柔性基板25的與共用液室基板M的貫通空部36對(duì)置的區(qū)域，沿厚度方向貫通形成有墨水導(dǎo)入口 40，該墨水導(dǎo)入口 40用于將來(lái)自墨水導(dǎo)入針20側(cè)的墨水向共用液室32供給。而且，與該柔性基板25的墨水導(dǎo)入口 40對(duì)置的區(qū)域，成為以在內(nèi)部具有空部的狀態(tài)極薄地形成了隔壁的可撓部41， 該可撓部41作為對(duì)與墨水導(dǎo)入口 40連通的共用液室32內(nèi)的墨水的壓力變動(dòng)進(jìn)行吸收的柔性部發(fā)揮作用。單元?dú)んw沈是形成與墨水導(dǎo)入口 40連通、用于將從墨水導(dǎo)入針20側(cè)導(dǎo)入的墨水供給到共用液室32側(cè)的墨水導(dǎo)入路42，并且，在與可撓部41對(duì)置的區(qū)域形成允許該可撓部 41的膨脹的凹部43的部件。在該單元?dú)んw沈的中心部開(kāi)設(shè)有沿厚度方向貫通的空部44， 該空部44內(nèi)被插入可撓性線纜39的一端側(cè)，與執(zhí)行元件單元45的元件電極端子連接。而且，這些噴嘴板22、流路基板23、共用液室基板對(duì)、柔性基板25以及單元?dú)んw沈，通過(guò)將粘合劑、熱熔敷薄膜等配置于彼此間并以層疊的狀態(tài)進(jìn)行加熱而相互接合在一起。具備如上述那樣構(gòu)成的頭單元16的記錄頭3，以各噴嘴板22與壓板5對(duì)置的狀態(tài)被安裝在滑架4上，使得噴嘴列方向與副掃描方向一致。而且，各頭單元16將來(lái)自墨盒 7的墨水經(jīng)由墨水導(dǎo)入路42從墨水導(dǎo)入口 40取入到共用液室32側(cè)，用墨水充滿從共用液室32到噴嘴27的墨水流路(液體流路的一種)。然后，通過(guò)向壓電元件35供給來(lái)自可撓性線纜39的驅(qū)動(dòng)電壓，使該壓電元件35撓曲變形，由此使對(duì)應(yīng)的壓力室31內(nèi)的墨水產(chǎn)生壓力變動(dòng)，利用該墨水的壓力變動(dòng)從噴嘴27噴射墨水。圖5是對(duì)壓電元件35的元件電極以及從該元件電極延伸的元件電極端子(導(dǎo)線電極)的布局進(jìn)行說(shuō)明的示意圖。其中，在該圖中以斜線所示的部分是與各電極端子48接合的可撓性線纜39的布線端子。而且，在該圖中，橫方向?yàn)閲娮炫帕性O(shè)置方向(壓電元件排列設(shè)置方向)，主要圖示了與噴嘴列2列量對(duì)應(yīng)的構(gòu)成中的一個(gè)列的構(gòu)成，對(duì)于含有與該一個(gè)列的構(gòu)成相同的構(gòu)成的另一列則省略了電極端子以外的部分。在本實(shí)施方式中，使用了鉬或者金作為電極膜的材料。本實(shí)施方式中，在劃分形成壓力室31的一部分的彈性膜30上，各壓電元件35共用的共用元件電極46沿噴嘴列方向向同一方向連續(xù)形成為長(zhǎng)條的俯視矩形狀，其上依次層疊有壓電體層(未圖示)、個(gè)別元件電極47，并按每個(gè)壓電元件35被形成圖案。個(gè)別元件電極47的長(zhǎng)邊方向(與噴嘴列方向正交的方向)的尺寸比共用元件電極46的短邊方向的寬度稍長(zhǎng)。另外，個(gè)別元件電極47的寬度方向(短邊方向)的尺寸與壓力產(chǎn)生元件35 的寬度統(tǒng)一成相同程度。而且，在相鄰的噴嘴列之間，沿壓力室31的排列設(shè)置方向(噴嘴列方向)排列設(shè)置形成了多個(gè)與各個(gè)別元件電極47對(duì)應(yīng)并與該電極47導(dǎo)通的俯視為短?hào)艩畹膫€(gè)別元件電極端子48 (個(gè)別電極端子的一種)。更具體而言，個(gè)別元件電極端子48中位于端子排列設(shè)置方向(與噴嘴列方向相同的方向，圖5中用附圖標(biāo)記X表示)的中央部的中央部個(gè)別元件電極端子48A，沿與端子排列設(shè)置方向X正交的方向延伸。另一方面，位于端子排列設(shè)置方向X的端部側(cè)的端部側(cè)個(gè)別元件電極端子48B的與個(gè)別元件電極47連接一側(cè)的根部分， 沿與端子排列設(shè)置方向X正交的方向延伸，從其中途彎曲而相對(duì)中央部個(gè)別元件電極端子 48A傾斜，從該彎曲起到前端部分沿與端子排列設(shè)置方向X交叉的方向傾斜延伸。更具體而言，與一方的噴嘴列對(duì)應(yīng)的端部側(cè)個(gè)別元件電極端子48B，按照前端側(cè)比根側(cè)靠近中央部個(gè)別元件電極端子48A(當(dāng)未在端子排列設(shè)置方向的中央形成端子時(shí)為端子排列設(shè)置方向的中間地點(diǎn)。以下相同)的方式向內(nèi)側(cè)傾斜，和其相鄰圖示的與另一方噴嘴列對(duì)應(yīng)的端部側(cè)個(gè)別元件電極端子48M48B)，按照前端側(cè)比根側(cè)遠(yuǎn)離中央部個(gè)別元件電極端子48A的方式向外側(cè)傾斜。其中，對(duì)于端部側(cè)個(gè)別元件電極端子48B的傾斜方向而言，也可以形成為與例示的構(gòu)成相反。即，還可以采用下述的構(gòu)成與一方的噴嘴列對(duì)應(yīng)的端部側(cè)個(gè)別元件電極端子48B，按照前端側(cè)比根側(cè)遠(yuǎn)離中央部個(gè)別元件電極端子48A的方式向外側(cè)傾斜，與另一方噴嘴列對(duì)應(yīng)的端部側(cè)個(gè)別元件電極端子48B，按照前端側(cè)比根側(cè)靠近中央部個(gè)別元件電極端子48A的方式向內(nèi)側(cè)傾斜。該情況下，后述的共用元件電極端子49、金屬層電極端子51 及可撓性線纜39的各布線端子的傾斜方向也同樣與本實(shí)施方式的情況反向。而且，端部側(cè)個(gè)別元件電極端子48B是指將從中央部個(gè)別元件電極端子48A起位于端子排列設(shè)置方向兩側(cè)的規(guī)定個(gè)數(shù)的端部側(cè)個(gè)別元件電極端子48作為中央側(cè)個(gè)別元件電極端子組，位于比該中央側(cè)個(gè)別元件電極端子組靠端子排列設(shè)置方向外側(cè)的個(gè)別元件電極端子48?；蛘撸部梢匀绾笫龅牡?實(shí)施方式那樣，將中央部個(gè)別元件電極端子48A以外的(當(dāng)未在端子排列設(shè)置方向的中央形成電極端子時(shí)，位于比端子排列設(shè)置方向的中間地點(diǎn)靠端子排列設(shè)置方向外側(cè))個(gè)別元件電極端子48，設(shè)為端部側(cè)個(gè)別元件電極端子48B。S卩，從整體看，兩噴嘴列的個(gè)別元件電極端子48被配置成以在偏向另一方噴嘴列側(cè)的位置設(shè)定的虛擬原點(diǎn)(圖5中用附圖標(biāo)記0表示)為中心(基準(zhǔn))的放射線狀。該個(gè)別元件電極端子48的長(zhǎng)度方向的尺寸，被設(shè)定為不與相鄰的共用元件電極46接觸程度的長(zhǎng)度。而個(gè)別元件電極端子48的寬度方向(短邊方向)的尺寸與個(gè)別元件電極47的寬度統(tǒng)一成相同程度。而且，與一方(圖中上側(cè))的噴嘴列對(duì)應(yīng)的個(gè)別元件電極端子48a、和與另一方(圖中被省略的下側(cè))噴嘴列對(duì)應(yīng)的個(gè)別元件電極端子48b，以一定的間距被以列狀配置，使得彼此在噴嘴列方向不同。這些個(gè)別元件電極端子48是與可撓性線纜39的一端側(cè)個(gè)別電極布線端子53(參照?qǐng)D6)電連接的部分。另外，在與噴嘴列對(duì)應(yīng)的各共用元件電極46的噴嘴列方向兩側(cè)，分別在端子排列設(shè)置方向X的線上形成了俯視為長(zhǎng)方形的共用元件電極端子49(共用電極端子的一種)。 更具體而言，共用元件電極端子49的根部分沿著與端子排列設(shè)置方向X正交的方向延伸， 從其中途按照相對(duì)中央部個(gè)別元件電極端子48A傾斜的方式彎曲，從該彎曲部分到前端沿著與端子排列設(shè)置方向X交叉的方向斜向延伸。更具體而言，與一方的噴嘴列對(duì)應(yīng)的共用元件電極端子49a，按照前端部分比根部分靠近中央部個(gè)別元件電極端子48A的方式向內(nèi)側(cè)傾斜，與另一方噴嘴列對(duì)應(yīng)的共用元件電極端子49b，按照該前端部分比根部分遠(yuǎn)離中央部個(gè)別元件電極端子48A的方式向外側(cè)傾斜。而且，與一方(圖中上側(cè))的噴嘴列對(duì)應(yīng)的共用元件電極端子49a、和與另一方 (圖中被省略的下側(cè))的噴嘴列對(duì)應(yīng)的共用元件電極端子49b，按照相互空余間隔而成對(duì)的方式被配置在比端部側(cè)個(gè)別元件電極端子48B靠端子排列設(shè)置方向X的外側(cè)。這些共用元件電極端子49是與可撓性線纜39的一端側(cè)共用電極布線端子55(參照?qǐng)D6)電連接的部分。并且，本實(shí)施方式在彈性膜30上以包含個(gè)別元件電極端子48的個(gè)別元件電極47 以及包含共用元件電極端子49的共用元件電極46彼此電氣獨(dú)立的狀態(tài)形成了金屬層50。金屬層50以與共用元件電極46空余一定間隙的狀態(tài)被設(shè)置成覆蓋在比共用元件電極46 靠外側(cè)的彈性板30上。在與噴嘴列對(duì)應(yīng)的各金屬層50的噴嘴列方向一側(cè)(圖中左側(cè))，俯視為短?hào)艩畹慕饘賹与姌O端子51被設(shè)置在比個(gè)別元件電極端子靠端子排列設(shè)置方向X的外側(cè)。更具體而言，金屬層電極端子51的根部分沿著與端子排列設(shè)置方向X正交的方向延伸，從其中途按照相對(duì)中央部個(gè)別元件電極端子48A傾斜的方式彎曲，從該彎曲部分到前端沿著與端子排列設(shè)置方向X交叉的方向斜向延伸。即，金屬層電極端子51被以與金屬層 50相反一側(cè)的彎曲部分相對(duì)中央部個(gè)別元件電極端子48A傾斜的狀態(tài)配置。而且，金屬層電極端子51是與可撓性線纜39的一端側(cè)金屬層布線端子57 (參照?qǐng)D6)電連接的部分。圖6是對(duì)可撓性線纜(相當(dāng)于本發(fā)明的布線部件)以及執(zhí)行元件單元45的構(gòu)成進(jìn)行說(shuō)明的立體圖?？蓳闲跃€纜39在聚酰亞胺等的矩形狀基體薄膜的一面(表面)安裝有用于控制對(duì)壓電元件35施加的驅(qū)動(dòng)電壓的控制IC52，并且形成與該控制IC52連接的個(gè)別電極布線、 共用電極布線和金屬層布線的圖案(均未圖示)。另外，在可撓性線纜39的一端部(圖6 中的下側(cè)的端部)，與執(zhí)行元件單元45的各個(gè)別元件電極端子48 G8a、48b)對(duì)應(yīng)，排列設(shè)有多個(gè)一端側(cè)個(gè)別電極布線端子53 (本發(fā)明的個(gè)別電極布線端子的一種)。而且，在該一端部，在一端側(cè)個(gè)別電極布線端子53組的排列設(shè)置方向外側(cè)，與執(zhí)行元件單元45的各共用元件電極端子49 (49a、49b)對(duì)應(yīng)，一端側(cè)共用電極布線端子55 (本發(fā)明中的共用電極布線端子的一種)在避開(kāi)了個(gè)別元件電極端子48的位置排列設(shè)置了多個(gè)。并且，在該一端部，在比一端側(cè)共用電極布線端子55靠一端側(cè)個(gè)別電極布線端子53組的排列設(shè)置方向外側(cè)，與執(zhí)行元件單元45的各金屬層電極端子51對(duì)應(yīng)，設(shè)置有一端側(cè)金屬層布線端子57 (本發(fā)明中的金屬層布線端子的一種)。在可撓性線纜39的另一端部(圖6中的上側(cè)的端部)的表面?zhèn)?，排列設(shè)置有多個(gè)用于對(duì)來(lái)自打印機(jī)主體側(cè)的信號(hào)進(jìn)行中繼的與基板(未圖示)的基板端子部連接的另一端側(cè)個(gè)別電極布線端子M。而且，在該另一端部，與上述基板的基板端子部連接的另一端側(cè)共用電極布線端子58分別形成在另一端側(cè)個(gè)別電極布線端子M組的排列設(shè)置方向兩側(cè)。并且，在該另一端部，與上述基板的基板端子部連接的另一端側(cè)金屬層布線端子58形成在比另一端側(cè)共用電極布線端子58靠另一端側(cè)個(gè)別電極布線端子M組的排列設(shè)置方向外側(cè)。 而且，可撓性線纜39被抗蝕劑覆蓋了布線端子(個(gè)別電極布線端子53、54、共用電極布線端子55、56和金屬層布線端子55)以外的布線圖案、控制IC52。在對(duì)執(zhí)行元件單元45進(jìn)行布線(接合)作業(yè)時(shí)，可撓性線纜39的一端部成為在布線端子形成區(qū)域與布線圖案形成區(qū)域之間朝向與布線圖案等形成面?zhèn)认喾匆粋?cè)彎曲成近似直角的狀態(tài)(參照?qǐng)D3、4以及6)。在該狀態(tài)下，形成各布線端子53、55、57的部分當(dāng)被安裝到執(zhí)行元件單元45時(shí)，與執(zhí)行元件單元45側(cè)的各電極端子48、49、51對(duì)置。當(dāng)該接合時(shí)，在本實(shí)施方式中如圖5所示那樣，一端側(cè)個(gè)別電極布線端子53中與中央部個(gè)別元件電極端子48A接合的一端側(cè)個(gè)別電極布線端子53A，沿與端子排列設(shè)置方向X正交的方向延伸。另一方面，與端部側(cè)個(gè)別元件電極端子48B接合的一端側(cè)個(gè)別電極布線端子53B，被以相對(duì)中央部個(gè)別元件電極端子48A傾斜的狀態(tài)配置。另外，與共用元件電極端子49接合的一端側(cè)共用電極布線端子55、以及與金屬層電極端子51接合的一端側(cè)金屬層布線端子57， 被以相對(duì)中央部個(gè)別元件電極端子48A傾斜的狀態(tài)配置。這些布線端子53B、55、57的傾斜方向與執(zhí)行元件單元側(cè)對(duì)應(yīng)的端子的傾斜方向一致。而且，對(duì)各布線端子53、55、57預(yù)先實(shí)施焊錫鍍覆，這些布線端子53、55、57通過(guò)被釬焊在執(zhí)行元件單元45側(cè)對(duì)應(yīng)的電極端子48、49、51而實(shí)現(xiàn)電連接，可撓性線纜39被安裝于執(zhí)行元件單元45。S卩，可撓性線纜39的各一端側(cè)個(gè)別電極布線端子53與執(zhí)行元件單元 45側(cè)對(duì)應(yīng)的個(gè)別元件電極端子48分別連接，可撓性線纜39的一端側(cè)共用電極布線端子55 與執(zhí)行元件單元45側(cè)對(duì)應(yīng)的共用元件電極端子49a、49b分別連接。另外，各布線端子M、 56,58通過(guò)被釬焊在上述基板的對(duì)應(yīng)的基板端子而實(shí)現(xiàn)電連接。接下來(lái)，對(duì)向壓電元件35側(cè)接合時(shí)，可撓性線纜39膨脹的情況進(jìn)行說(shuō)明。圖7是對(duì)可撓性線纜39與執(zhí)行元件單元45接合時(shí)的校準(zhǔn)進(jìn)行說(shuō)明的示意圖?？蓳闲跃€纜39如上述那樣由聚酰亞胺等基體薄膜構(gòu)成，因通過(guò)釬焊等向壓電元件35側(cè)接合時(shí)的加熱、吸濕，該基體薄膜尤其在排列設(shè)置端子而成為長(zhǎng)條的端子排列設(shè)置方向X上膨脹，形成在基體薄膜上的各布線端子M、56、58彼此的間隔擴(kuò)大。由此，各布線端子M、56、58相對(duì)于各電極端子48、49、51的接合位置，在端子排列設(shè)置方向X上錯(cuò)移(圖7 中以虛線表示)。在接合位置如此發(fā)生錯(cuò)移后，通過(guò)利用圖像處理等檢測(cè)端子的接合位置， 并且使可撓性線纜39朝向與端子排列設(shè)置方向X正交的方向、即遠(yuǎn)離虛擬原點(diǎn)0的方向， 相對(duì)壓電元件35進(jìn)行相對(duì)移動(dòng)(滑動(dòng))(移動(dòng)方向在圖中用附圖標(biāo)記P表示)，能夠使各電極端子48、49、51與各布線端子M、56、58對(duì)位。另外，在可撓性線纜39因溫度降低、濕度降低而收縮的情況下，也可以使可撓性線纜39朝移動(dòng)方向P的相反一側(cè)相對(duì)壓電元件35 進(jìn)行相對(duì)移動(dòng)。這樣，在本實(shí)施方式的記錄頭3中，由于壓電元件35側(cè)的端部側(cè)個(gè)別元件電極端子48B、共用元件電極端子49以及金屬層電極端子51，和與它們接合的可撓性線纜39的一端側(cè)個(gè)別電極布線端子53B、一端側(cè)共用電極布線端子55以及一端側(cè)金屬層布線端子57， 沿端子排列設(shè)置方向X被排列設(shè)置，并且以相對(duì)中央部個(gè)別元件電極端子48A端子排列設(shè)置方向A傾斜的狀態(tài)配置，所以在將可撓性線纜39的布線端子53、55、57與壓電元件35側(cè)的電極端子48、49、51接合時(shí)，即使因接合時(shí)的加熱，吸濕使得可撓性線纜39在端子排列設(shè)置方向X上膨脹，布線端子53、55、57間的間隔增大，通過(guò)使可撓性線纜39相對(duì)于壓電元件 35朝與端子排列設(shè)置方向X正交的方向、即遠(yuǎn)離虛擬原點(diǎn)0的移動(dòng)方向P相對(duì)移動(dòng)，也能夠使布線端子53、55、57與電極端子48、49、51的接合位置對(duì)位。由此，可使布線端子53、55、 57與電極端子48、49、51對(duì)位而以確保了接合面積的狀態(tài)接合，能夠維持接合時(shí)的連接可靠性，且實(shí)現(xiàn)記錄頭3的小型化。另外，由于在彈性體膜30上，以個(gè)別元件電極47以及共用元件電極46電氣獨(dú)立的狀態(tài)形成金屬層50，金屬層50在比位于端子排列設(shè)置方向X的端部側(cè)的端部側(cè)個(gè)別元件電極端子48B靠端子排列設(shè)置方向X的外側(cè)，具有與可撓性線纜39的一端側(cè)金屬層布線端子57接合的金屬層電極端子51，金屬層電極端子51與一端側(cè)金屬層布線端子57的至少一方，以相對(duì)位于端子排列設(shè)置方向X的中央部的中央部個(gè)別元件電極端子48A端子排列設(shè)置方向X傾斜的狀態(tài)配置，所以通過(guò)進(jìn)行共用元件電極46以及金屬層50與壓力室31內(nèi)的墨水的導(dǎo)通檢查，能夠確定連接不良的產(chǎn)生位置以及其原因，具體可確定是產(chǎn)生于彈性體膜30的裂紋(裂紋)，還是端子的接合不良。本發(fā)明并不局限于上述的實(shí)施方式，能夠根據(jù)技術(shù)方案中的記載進(jìn)行多種變形。
在上述實(shí)施方式中，相對(duì)于中央部個(gè)別元件電極端子48A傾斜的端子的角度一定，但在本發(fā)明中，也可以設(shè)定成使端子的傾斜角度越遠(yuǎn)離位于端子排列設(shè)置方向X的中央部的中央部個(gè)別元件電極端子48A越大(第2實(shí)施方式)。由此，能夠更準(zhǔn)確地將布線端子53、55、57與電極端子48、49、51的接合位置對(duì)位，可以使彼此以對(duì)位的狀態(tài)接合。例如，在上述實(shí)施方式中，作為壓力產(chǎn)生單元，例示了所謂撓曲振動(dòng)模式的壓電元件35，但并非局限于此。例如，在使用所謂縱振動(dòng)模式壓電元件、發(fā)熱元件的情況下也能夠應(yīng)用本發(fā)明。而且，本發(fā)明并不局限于打印機(jī)，也可以應(yīng)用到繪圖機(jī)、傳真裝置、復(fù)印機(jī)等各種噴墨式記錄裝置、記錄裝置以外的液體噴射裝置，例如顯示器制造裝置、電極制造裝置、芯片制造裝置等中。
權(quán)利要求
1.一種液體噴射頭，其特征在于，具備流路形成基板，其排列設(shè)置有與噴嘴連通的壓力室；壓力產(chǎn)生元件，其隔著振動(dòng)板被配置于上述流路形成基板，向上述壓力室內(nèi)的液體賦予壓力變動(dòng)；個(gè)別電極端子，其與構(gòu)成上述壓力產(chǎn)生元件的一部分的個(gè)別電極導(dǎo)通；共用電極端子，其與構(gòu)成上述壓力產(chǎn)生元件的一部分的共用電極導(dǎo)通；以及布線部件，其通過(guò)對(duì)具有可撓性的絕緣部件施以布線而構(gòu)成，具有分別與上述個(gè)別電極端子及共用電極端子接合的布線端子；上述個(gè)別電極端子及與該個(gè)別電極端子接合的布線部件的個(gè)別布線端子分別沿各壓力室的排列設(shè)置方向排列設(shè)置，位于上述端子排列設(shè)置方向的端部側(cè)的個(gè)別電極端子、和與該個(gè)別電極端子接合的個(gè)別布線端子中的至少一方，被以相對(duì)于位于上述端子排列設(shè)置方向的中央部的個(gè)別電極端子傾斜的狀態(tài)配置。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的液體噴射頭，其特征在于，上述共用電極端子被配置在上述端子排列設(shè)置方向的線上，上述共用電極端子、和與該共用電極端子接合的共用布線端子中的至少一方，被以相對(duì)于位于上述端子排列設(shè)置方向的中央部的個(gè)別電極端子傾斜的狀態(tài)配置。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的液體噴射頭，其特征在于，在上述振動(dòng)板上以與上述個(gè)別電極及共用電極電氣獨(dú)立的狀態(tài)形成有金屬層，上述金屬層在比位于上述端子排列設(shè)置方向的端部側(cè)的個(gè)別電極端子靠向上述端子排列設(shè)置方向的外側(cè)，具有與上述布線部件的金屬層布線端子接合的金屬層電極端子，上述金屬層電極端子與上述金屬層布線端子的至少一方，被以相對(duì)于位于上述端子排列設(shè)置方向的中央部的個(gè)別電極端子傾斜的狀態(tài)配置。
4.根據(jù)權(quán)利要求1 3中任意一項(xiàng)所述的液體噴射頭，其特征在于，上述端子的傾斜角度被設(shè)定為越遠(yuǎn)離位于上述端子排列設(shè)置方向的中央部的個(gè)別電極端子越大。
全文摘要
本發(fā)明涉及液體噴射頭，其能夠維持端子接合時(shí)的連接可靠性，并且實(shí)現(xiàn)小型化。個(gè)別電極端子(48)以及與該個(gè)別電極端子接合的柔性線纜的一端側(cè)個(gè)別電極布線端子(53)分別沿著各壓力室的排列設(shè)置方向排列設(shè)置，位于端子排列設(shè)置方向(X)的端部側(cè)的端部側(cè)個(gè)別電極端子(48B)、和與該端部側(cè)個(gè)別電極端子接合的一端側(cè)個(gè)別布線端子(53B)中的至少一方，以相對(duì)位于端子排列設(shè)置方向的中央部的個(gè)別電極端子(48A)傾斜的狀態(tài)被配置。
文檔編號(hào)B41J2/14GK102161270SQ2011100402
公開(kāi)日2011年8月24日 申請(qǐng)日期2011年2月16日 優(yōu)先權(quán)日2010年2月19日
發(fā)明者宮田佳直, 福澤祐馬, 高岳 申請(qǐng)人:精工愛(ài)普生株式會(huì)社