專利名稱：制造印板的方法和通過使用該方法來形成薄膜圖案的方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及制造可以防止形成有缺陷的薄膜圖案的印板(clich6)的方法，以及 通過使用該方法來形成薄膜圖案的方法。
背景技術(shù)：
近來已開發(fā)出可以減少重量和體積(陰極射線管的不利之處)的各種平板顯示設(shè) 備。作為平板顯示設(shè)備，存在液晶顯示設(shè)備、場(chǎng)發(fā)射顯示設(shè)備、等離子體顯示板、電致發(fā)光EL 顯示設(shè)備等。平板顯示設(shè)備設(shè)置有通過掩模工藝而形成的多個(gè)薄膜，該掩模工藝包括沉積步 驟、曝光步驟、顯影步驟和蝕刻步驟等。但是，由于掩模工藝是復(fù)雜的制造工藝，所以掩模工 藝增加了生產(chǎn)成本。因此，正在進(jìn)行通過使用利用了印刷輥(printing roller)的印刷工 藝來形成薄膜的研究。印刷工藝是這樣一種工藝，其中，在印刷輥的橡皮布(blanket)上涂敷印刷液，通 過使用具有凹入圖案的印板在印刷輥上形成印刷液的圖案，并且將印刷液的圖案轉(zhuǎn)印到基 板上，由此形成期望的薄膜。參照?qǐng)D1A，在印板10上形成與第一薄膜層匹配的第一凹入圖案14和與第二薄膜 層匹配的第二凹入圖案16，用于形成相同材料的具有彼此不同線寬度的第一薄膜層和第二
薄膜層。參照?qǐng)D1B，如果印刷輥20在印板10上滾動(dòng)，印刷輥20與線寬度比第一凹入圖案 14大的第二凹入圖案16的底表面接觸A，以將印刷液22從印刷輥20轉(zhuǎn)印到第二凹入圖案 16的底表面，從而失去印刷液22。參照?qǐng)D1C，如果這樣失去的印刷液22被轉(zhuǎn)印到基板1，形成第一薄膜層M和在第 二薄膜層26中的沒有印刷有印刷液的針孔形式的區(qū)域A，如圖ID所示。具體地說，如果使 用第二薄膜層26作為黑底層或產(chǎn)生顏色的濾色器，則出現(xiàn)缺陷圖案，其中在第二薄膜層沈 中的區(qū)域A處顏色消失，表現(xiàn)為沒有顏色。

發(fā)明內(nèi)容
因此，本發(fā)明旨在一種制造印板的方法，以及通過使用該方法來形成薄膜圖案的 方法。本發(fā)明的目的是提供一種制造可以防止形成有缺陷的薄膜圖案的印板的方法，以 及通過使用該方法來形成薄膜圖案的方法。本公開的附加優(yōu)點(diǎn)、目的和特征將在下面的描述中被部分描述，且部分對(duì)于本領(lǐng) 域普通技術(shù)人員在研究下文后變得明顯，或可以通過本發(fā)明的實(shí)踐來了解。通過說明書及 其權(quán)利要求以及附圖中特別指出的結(jié)構(gòu)可以實(shí)現(xiàn)和獲得本發(fā)明的目的和其它優(yōu)點(diǎn)。為了實(shí)現(xiàn)這些目的和其它優(yōu)點(diǎn)，根據(jù)本發(fā)明的目的，如這里具體和廣義描述 的那樣，制造印板的方法包括以下步驟提供具有第一區(qū)域和第二區(qū)域的底基板(basesubstrate)；在所述第一區(qū)域處形成具有第一深度和第一寬度的第一凹入圖案并在所述第 二區(qū)域處形成具有比第一寬度更寬的第二寬度和與第一深度相同的深度的第二凹入圖案； 形成用于暴露所述第二區(qū)域并覆蓋所述第一區(qū)域的保護(hù)膜，所述保護(hù)膜具有粘附性；通過 使用具有粘附性的保護(hù)膜，將所述第二凹入圖案形成為具有比在所述第一區(qū)域處的所述第 一凹入圖案的所述第一深度更深的第二深度；以及去除所述保護(hù)膜。形成用于暴露第二區(qū)域并覆蓋第一區(qū)域的具有粘附性的保護(hù)膜的步驟包括下面 步驟將保護(hù)膜粘附到具有第一區(qū)域和第二區(qū)域的底基板；和通過切割選擇性地從第二區(qū) 域去除保護(hù)膜。形成用于暴露第二區(qū)域并覆蓋第一區(qū)域的的具有粘附性的保護(hù)膜的步驟包括下 面步驟將在與所述第二區(qū)域?qū)?yīng)的區(qū)域處具有開口區(qū)域的保護(hù)膜粘附到具有第一區(qū)域和 第二區(qū)域的底基板。將所述第二凹入圖案形成為具有比在所述第一區(qū)域處的所述第一凹入圖案的所 述第一深度更深的第二深度的步驟包括下面步驟通過使用具有粘附性的保護(hù)膜來選擇性 地蝕刻第二區(qū)域。保護(hù)膜包括粘合膏和在粘合膏上形成的耐酸膜，所述耐酸膜抵抗在蝕刻中使用的 蝕刻劑。耐酸膜由聚丙烯(PPpolypropylene)、聚乙烯(PE polyethylene)、特氟綸 (teflon)或氟素樹脂基(fluroricresion group)的材料形成。第一凹入圖案對(duì)應(yīng)于在液晶顯示設(shè)備的有源區(qū)域處形成的黑底，而第二凹入圖案 對(duì)應(yīng)于在圍繞液晶顯示設(shè)備的有源區(qū)域的外部區(qū)域處形成的外部黑底。在本發(fā)明的另一方面中，用于形成薄膜圖案的方法包括以下步驟提供印板，該印 板包括具有第一凹入圖案的第一區(qū)域和具有第二凹入圖案的第二區(qū)域，第一凹入圖案具有 第一深度和第一寬度，第二凹入圖案具有比第一深度更深的第二深度和比第一寬度更寬的 第二寬度；在印板上滾動(dòng)涂敷有印刷液的印刷輥，以在印刷輥上形成具有對(duì)應(yīng)于第一凹入 圖案的第一線寬度的第一印刷圖案和具有對(duì)應(yīng)于第二凹入圖案的第二線寬度的第二印刷 圖案；以及在基板上印刷形成于印刷輥的第一印刷圖案和第二印刷圖案，其中提供印板的 步驟包括下面步驟提供具有第一區(qū)域和第二區(qū)域的底基板；在第一區(qū)域處形成具有第一 深度和第一寬度的第一凹入圖案并在第二區(qū)域處形成具有比第一寬度更寬的第二寬度和 與第一深度相同的深度的第二凹入圖案；形成用于暴露第二區(qū)域并覆蓋第一區(qū)域的保護(hù) 膜，所述保護(hù)膜具有粘附性；通過使用具有粘附性的保護(hù)膜，將所述第二凹入圖案形成為具 有比在所述第一區(qū)域處的所述第一凹入圖案的所述第一深度更深的第二深度；以及去除保 護(hù)膜。應(yīng)當(dāng)理解，本發(fā)明的上述一般性描述和下述詳細(xì)描述是示例性和說明性的，且旨 在提供所要求保護(hù)的本發(fā)明的進(jìn)一步解釋。


附圖被包括以提供對(duì)本發(fā)明的進(jìn)一步理解，并結(jié)合到本申請(qǐng)中且構(gòu)成本申請(qǐng)的一 部分，這些附圖示出了本發(fā)明的實(shí)施方式，且與說明書一起用于解釋本發(fā)明的原理。在附圖 中
圖IA至圖ID例示了截面，這些截面示出通過使用現(xiàn)有技術(shù)印板的印刷工藝來形 成薄膜層的方法的步驟。圖2例示了根據(jù)本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式的用于形成薄膜圖案的裝置的立體圖。圖3例示了圖2中的印板的截面。圖4A至圖4G例示了截面，這些截面示出用于制造圖3中的印板的方法的步驟。圖5詳細(xì)地例示了圖4E中的保護(hù)膜的平面圖。圖6A至圖6C例示了截面，這些截面示出通過使用圖4E中的保護(hù)膜的構(gòu)圖工藝的步驟。圖7例示了用于說明在圖6A或圖6B中示出的保護(hù)膜的粘合膏的厚度的截面。圖8例示用于切割圖6C中的保護(hù)膜的切割機(jī)器的立體圖。圖9A至圖9D例示了截面，這些截面示出通過使用圖2中的印板來形成薄膜圖案 的方法的步驟。圖10例示了通過用于形成在圖9A至圖9D中示出的薄膜圖案的方法的步驟而形 成的黑底的平面圖。圖11例示了具有通過用于形成在圖9A至圖9D中示出的薄膜圖案的方法的步驟 而形成的薄膜圖案的液晶板的平面圖。
具體實(shí)施例方式下面將詳細(xì)描述本發(fā)明的具體實(shí)施方式

，在附圖中例示出了其示例。在可能的情 況下，在整個(gè)附圖中使用相同的附圖標(biāo)記來代表相同或類似部件。圖2例示了根據(jù)本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施方式的用于形成薄膜圖案的印刷裝置的立體圖。參照?qǐng)D2，該印刷裝置包括印刷液供應(yīng)單元146、印刷輥144、橡皮布142和印板 110。印刷液供應(yīng)單元146容納印刷液，用于將印刷液供應(yīng)到印刷輥144上的橡皮布 142。印刷輥144在印板110和基板101上滾動(dòng)(印板110和基板101在轉(zhuǎn)印單元118 上移動(dòng))，使得印刷輥144與印板110和基板101連續(xù)接觸。或者，另選地，印刷輥144可 以滾動(dòng)，以在印板110和基板101靜止的狀態(tài)下在印板110和基板101上移動(dòng)，使得印刷輥 144與印板110和基板101連續(xù)接觸。印刷輥144將來印刷液供應(yīng)單元146印刷液充入附在印刷輥144的外周的橡皮布 142。使印板110與印刷輥144接觸，使得在印刷輥144的橡皮布142中充入的印刷液 只留在所期望的區(qū)域。參照?qǐng)D3，為了在基板101上形成彼此具有不同線寬度的第一薄膜圖案和第二薄 膜圖案，印板110包括在第一區(qū)域Al處形成的第一凹入圖案114和突出圖案112以及在第 二區(qū)域A2處形成的第二凹入圖案116。當(dāng)印刷輥144在印板110上滾動(dòng)時(shí)，突出圖案112與在印刷輥144上涂敷的印刷 液接觸。據(jù)此，當(dāng)印刷輥144在印板110上滾動(dòng)時(shí)，將印刷液從印刷輥144轉(zhuǎn)印到突出圖案 112。
但是，即使印刷輥144在印板110上滾動(dòng)，第一凹入圖案114和第二凹入圖案116 不與印刷輥144上的印刷液接觸。據(jù)此，與凹入圖案114和凹入圖案116匹配的在印刷輥 144上的印刷液保留在印刷輥144上，以在基板101上形成第一薄膜圖案和第二薄膜圖案。由于第一凹入圖案114對(duì)應(yīng)于待形成在基板101上的第一薄膜圖案，第一凹入圖 案114形成為具有第一線寬度wl和第一深度dl。由于第二凹入圖案116對(duì)應(yīng)于待形成在基板101上的線寬度比第一薄膜圖案寬的 第二薄膜圖案，第二凹入圖案116形成為具有比第一線寬度wl大的第二線寬度w2。在該情 況下，具有第二線寬度《2的第二凹入圖案116形成為具有比第一凹入圖案114的第一深度 dl深幾個(gè)μ m的第二深度d2，用于防止當(dāng)印刷輥144與印板110接觸時(shí)印刷輥144與第二 凹入圖案116的底表面接觸。例如，第二凹入圖案116形成為具有65至70 μ m的最小深度 和小于印板110的底基板131的厚度的最大深度。圖4A至圖4G例示了截面，這些截面示出用于制造圖3中的印板的方法的步驟。參照?qǐng)D4A，金屬層132形成在具有第一區(qū)域Al和第二區(qū)域A2的底基板131上。 金屬層132是具有大約500至1500A的厚度的Mo、Al、AlNd, Cr、CrOx的單層或多層。例 如，如果金屬層132具有在液晶板的下基板上形成的多層，則金屬層132具有Mo/AINd的疊 層，或者如果金屬層132具有在液晶板的上基板上形成的多層，則金屬層132具有Cr/CrOx 的疊層。在金屬層132上涂敷光刻膠，并經(jīng)歷具有曝光和顯影的光刻，以形成光刻膠圖案 134，如圖4B所示。如圖4C所示，通過使用光刻膠圖案134對(duì)金屬層132進(jìn)行構(gòu)圖來對(duì)金屬層132進(jìn) 行蝕刻，以形成金屬圖案136。通過使用金屬圖案136和光刻膠圖案134作為掩模來將底基板131向下第一次蝕 刻幾個(gè)Pm的深度，從而執(zhí)行蝕刻。在該情況下，利用具有2wt%至25wt%濃度的HF基蝕 刻劑(group etchant)來濕式蝕刻底基板131。據(jù)此，如圖4D所示，形成印板，其具有第一 凹入圖案114和第二凹入圖案116，第一凹入圖案114具有第一深度dl和第一寬度wl，第 二凹入圖案116具有第一深度dl和第二寬度w2。通過剝離(stripping)去除保留在印板 110上的光刻膠圖案134，并且通過蝕刻而去除金屬圖案136。接著，參照?qǐng)D4E和圖5，對(duì)于底基板131的第一區(qū)域Al和第二區(qū)域A2，在第一區(qū) 域Al處選擇性形成保護(hù)膜150，其詳細(xì)描述將參照?qǐng)D6A至圖6C來描述。通過使用如圖6A中所示的層壓輥156，將具有粘附性的保護(hù)摸150粘附到印板 110的全部表面(如圖6B所示)。保護(hù)膜150由粘合膏152和在粘合膏152上形成的耐酸 膜巧4構(gòu)成。在該情況下，耐酸膜巧4具有20至40 μ m厚度的聚丙烯(PP)、聚乙烯(PE)、 特氟綸或氟素樹脂基的材料，并且粘合膏152具有30至50 μ m的厚度。如圖7所示，如果 粘合膏152具有小于30 μ m的厚度，則位于在第一凹入圖案114或第二凹入圖案116的側(cè) 表面SS與底表面BS之間的保護(hù)膜150不能適當(dāng)?shù)貙碜詫訅狠?56的壓力傳遞到側(cè)表面 SS和底表面BS，并且由于與粘合膏152的厚度相比的較弱的粘附力而沒有適當(dāng)?shù)乇徽掣降?該側(cè)表面SS和底表面BS (C區(qū)域)。在該情況下，蝕刻劑在之后待執(zhí)行的第二次蝕刻中滲透 穿過保護(hù)膜150與第一凹入圖案114或第二凹入圖案116的側(cè)表面SS和底表面BS之間的 空的空間。如果粘合膏152具有超過50 μ m的厚度，使得粘合膏152的粘附力較強(qiáng)，則粘合膏152以后不能適當(dāng)?shù)貜牡谆?31分離。因此，為了防止蝕刻劑滲透在第一凹入圖案114或第二凹入圖案116的側(cè)表面SS 和底表面BS之間并且適當(dāng)?shù)貜牡谆?31分離粘合膏152，粘合膏152形成為具有30至 50 μ m的厚度。接著，參照?qǐng)D8，通過如圖8所示的切割機(jī)器如圖6C所示地選擇性地從第二區(qū)域 A2去除保護(hù)膜150。圖8中的切割機(jī)器包括支撐框架178、引導(dǎo)導(dǎo)軌176、刀具174、和臺(tái)架 172。支撐框架178支撐粘附有保護(hù)膜150的底基板131和在支撐框架178相對(duì)兩端處以 在上/下方向上可移動(dòng)的引導(dǎo)導(dǎo)軌176。裝配有刀具174的臺(tái)架172與引導(dǎo)導(dǎo)軌176接合， 并且臺(tái)架172沿引導(dǎo)導(dǎo)軌176移動(dòng)。刀具174沿引導(dǎo)導(dǎo)軌176移動(dòng)并切割保護(hù)膜150，使得 第二區(qū)域A2暴露。同時(shí)，參照?qǐng)D6B，采用將保護(hù)膜150粘附到底基板131的全部表面并利用刀具174 來切割保護(hù)膜150作為示例，來描述對(duì)第二區(qū)域A2的暴露，為了簡化制造工藝，采用將具有 與第二區(qū)域A2匹配的開口區(qū)域的保護(hù)膜150粘附到底基板131作為另一示例以省略切割 步驟，而描述對(duì)第二區(qū)域A2的暴露。參照?qǐng)D4F，通過使用保護(hù)膜150作為掩模而對(duì)通過切割保護(hù)膜150而暴露的第二 區(qū)域A2的第二凹入圖案116進(jìn)行第二次蝕刻。在該情況下，利用具有2wt%至25wt%濃度 的HF基蝕刻劑而對(duì)底基板131進(jìn)行濕式蝕刻。據(jù)此，第二凹入圖案116變得具有比第一凹 入圖案114的第一深度dl深的第二深度d2。接著，人工地或使用機(jī)器自動(dòng)地去除在印板 110上保留的保護(hù)膜150。最后，完成對(duì)印板110的制造，該印板110具有在底基板131的 第一區(qū)域Al處形成的第一凹入圖案114和在底基板131的第二區(qū)域A2處形成的第二凹入 圖案116。圖9A至圖9D例示截面，這些截面示出根據(jù)本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施方式的通過使用附著 有橡皮布的印刷輥來對(duì)薄膜進(jìn)行構(gòu)圖的方法的步驟。參照?qǐng)D9A，提供附著有橡皮布142的印刷輥144。橡皮布142具有通過印刷液供 應(yīng)單元146而充入的印刷液148。接著參照?qǐng)D9B，其上涂敷有印刷液148的印刷輥144在具有第一凹入圖案114和 第二凹入圖案116的印板110上滾動(dòng)。與突出圖案112接觸的區(qū)域處的印刷液148被轉(zhuǎn)印 到突出圖案112，不與第一凹入圖案114和第二凹入圖案116接觸的印刷液148被保留在橡 皮布142的表面上，以形成第一印刷圖案140a和第二印刷圖案140b。參照?qǐng)D9C，其上形成有第一印刷圖案140a和第二印刷圖案140b的印刷輥144在 基板101上滾動(dòng)。據(jù)此，第一印刷圖案140a和第二印刷圖案140b被轉(zhuǎn)印到基板101上，被 干燥和固化以形成彼此具有不同線寬度的第一薄膜圖案141a和第二薄膜圖案141b。在該情況下，參照?qǐng)D10，使用薄膜圖案141a作為位于液晶板的有源區(qū)域Al處的黑 底，使用第二薄膜圖案141b作為位于包圍液晶板的有源區(qū)域Al的外部區(qū)域A2處的外部黑 底。此外，本發(fā)明的印刷裝置不僅可以在液晶板上而且可以在平面顯示設(shè)備(諸如等 離子體顯示板、電致發(fā)光EL顯示板、場(chǎng)發(fā)射顯示設(shè)備等)上形成薄膜或厚膜。詳細(xì)地，參照?qǐng)D11，本發(fā)明的液晶板包括彼此相對(duì)接合的薄膜晶體管基板180和 濾色器基板160，薄膜晶體管基板180和濾色器基板160之間具有液晶層171。
濾色器基板160包括黑底164、濾色器166、公共電極168、以及在上基板162上連 續(xù)形成的柱間隔體(未示出)。薄膜晶體管基板180包括在下基板182上形成為彼此交叉的選通線186和數(shù)據(jù)線 184、與每個(gè)交叉部分相鄰的薄膜晶體管188、和在每個(gè)通過交叉結(jié)構(gòu)形成的像素區(qū)域處形 成的像素電極170。本發(fā)明的印刷工藝可以形成有機(jī)材料的薄膜圖案和用作掩模的印刷圖案，該有機(jī) 材料的薄膜圖案諸如包括濾色器166、黑底164和液晶板的柱間隔體的有機(jī)薄膜層和有機(jī) 電致發(fā)光顯示設(shè)備的電致發(fā)光層，該印刷圖案用于對(duì)諸如液晶板的薄膜晶體管188、選通線 186、數(shù)據(jù)線184、像素電極170等無機(jī)材料的薄膜進(jìn)行構(gòu)圖。如已描述的，本發(fā)明的制造印板的方法和通過使用該方法來形成薄膜圖案的方法 具有下面的優(yōu)點(diǎn)。在印板中通過形成比與具有小的線寬度的薄膜圖案對(duì)應(yīng)的凹入圖案更深的與具 有大的線寬度的薄膜圖案對(duì)應(yīng)的凹入圖案，可以防止印刷輥與印板的底表面的接觸。因此， 制造印板的方法和通過使用該方法來形成薄膜圖案的方法可以防止缺陷圖案(具體為顏 色消失)的產(chǎn)生。通過使用光刻膠圖案和由光刻和蝕刻而形成的金屬圖案來第一次蝕刻底基板，以 及通過使用保護(hù)膜作為掩模而第二次蝕刻底基板，這允許形成具有至少兩個(gè)不同線寬度和 至少兩個(gè)不同深度的印板。由于具有各種圖案線寬度和蝕刻深度的印板可以通過一次光刻 和兩次蝕刻而形成，因此可以節(jié)省掩模步驟的成本，并可以簡化制造工藝。很明顯地，對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員而言，在不偏離本發(fā)明的精神或范圍的條件下，可 以在本發(fā)明中做出各種修改和變型。因而，本發(fā)明旨在涵蓋落入所附權(quán)利要求及其等同物 的范圍內(nèi)的本發(fā)明的修改和變型。本申請(qǐng)要求2009年12月7日提交的韓國專利申請(qǐng)No. 10-2009-0120473的優(yōu)先 權(quán)，此處以參引的方式并入其內(nèi)容，就像在此進(jìn)行了完整闡述一樣。
權(quán)利要求
1.一種制造印板的方法，該方法包括以下步驟 提供具有第一區(qū)域和第二區(qū)域的底基板；在所述第一區(qū)域處形成具有第一深度和第一寬度的第一凹入圖案，并在所述第二區(qū)域 處形成具有比所述第一寬度更寬的第二寬度和與所述第一深度相同的深度的第二凹入圖 案；形成用于暴露所述第二區(qū)域并覆蓋所述第一區(qū)域的保護(hù)膜，所述保護(hù)膜具有粘附性； 通過使用具有粘附性的所述保護(hù)膜，將所述第二凹入圖案形成為具有比在所述第一區(qū) 域處的所述第一凹入圖案的所述第一深度更深的第二深度；以及 去除所述保護(hù)膜。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中形成用于暴露所述第二區(qū)域并覆蓋所述第一區(qū)域 的保護(hù)膜的所述步驟包括以下步驟將所述保護(hù)膜粘附到具有所述第一區(qū)域和所述第二區(qū)域的所述底基板；和 通過切割選擇性地從所述第二區(qū)域去除所述保護(hù)膜。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中形成用于暴露所述第二區(qū)域并覆蓋所述第一區(qū)域 的保護(hù)膜的所述步驟包括以下步驟將在與所述第二區(qū)域?qū)?yīng)的區(qū)域處具有開口區(qū)域的所述保護(hù)膜粘附到具有所述第一 區(qū)域和所述第二區(qū)域的所述底基板。
4.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的方法，其中將所述第二凹入圖案形成為具有比在所述第 一區(qū)域處的所述第一凹入圖案的所述第一深度更深的第二深度的步驟包括以下步驟通過使用具有粘附性的所述保護(hù)膜來選擇性地蝕刻所述第二區(qū)域。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的方法，其中所述保護(hù)膜包括 粘合膏，和在所述粘合膏上形成的耐酸膜，所述耐酸膜抵抗在蝕刻中使用的蝕刻劑。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的方法，其中所述耐酸膜由聚丙烯PP、聚乙烯PE、特氟綸或氟素 樹脂基的材料形成。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中所述第一凹入圖案對(duì)應(yīng)于在液晶顯示設(shè)備的有源 區(qū)域處形成的黑底，而所述第二凹入圖案對(duì)應(yīng)于在圍繞所述液晶顯示設(shè)備的所述有源區(qū)域 的外部區(qū)域處形成的外部黑底。
8.一種用于形成薄膜圖案的方法，該方法包括以下步驟提供印板，該印板包括具有第一凹入圖案的第一區(qū)域和具有第二凹入圖案的第二區(qū) 域，所述第一凹入圖案具有第一深度和第一寬度，所述第二凹入圖案具有比所述第一深度 更深的第二深度和比所述第一寬度更寬的第二寬度；在所述印板上滾動(dòng)涂敷有印刷液的印刷棍，以在所述印刷輥上形成具有對(duì)應(yīng)于所述第 一凹入圖案的第一線寬度的第一印刷圖案和具有對(duì)應(yīng)于所述第二凹入圖案的第二線寬度 的第二印刷圖案；以及在基板上印刷形成于所述印刷輥上的所述第一印刷圖案和所述第二印刷圖案， 其中提供印板的所述步驟包括下面步驟 提供具有第一區(qū)域和第二區(qū)域的底基板；在所述第一區(qū)域處形成具有第一深度和第一寬度的第一凹入圖案，并在所述第二區(qū)域處形成具有比所述第一寬度更寬的第二寬度和與所述第一深度相同的深度的第二凹入圖 案；形成用于暴露所述第二區(qū)域并覆蓋所述第一區(qū)域的保護(hù)膜，所述保護(hù)膜具有粘附性； 通過使用具有粘附性的所述保護(hù)膜，將所述第二凹入圖案形成為具有比在所述第一區(qū) 域處的所述第一凹入圖案的所述第一深度更深的第二深度；以及 去除所述保護(hù)膜。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的方法，其中所述第一印刷圖案對(duì)應(yīng)于在液晶顯示設(shè)備的有源 區(qū)域處形成的黑底，而所述第二印刷圖案對(duì)應(yīng)于在圍繞所述液晶顯示設(shè)備的所述有源區(qū)域 的外部區(qū)域處形成的外部黑底。
10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的方法，其中所述保護(hù)膜包括 具有粘附性的粘合膏，和在粘合膏上的對(duì)蝕刻劑具有抵抗性的耐酸膜，所述耐酸膜由聚丙烯PP、聚乙烯PE、特 氟綸或氟素樹脂基的材料形成。
全文摘要
制造印板的方法和通過使用該方法來形成薄膜圖案的方法。本發(fā)明的目的是提供用于制造可以防止形成有缺陷的薄膜圖案的印板的方法，以及通過使用該方法來形成薄膜圖案的方法。制造印板的方法包括以下步驟提供具有第一區(qū)域和第二區(qū)域的底基板；在第一區(qū)域處形成具有第一深度和第一寬度的第一凹入圖案并在第二區(qū)域處形成具有比第一寬度更寬的第二寬度和與第一深度相同的深度的第二凹入圖案；形成用于暴露第二區(qū)域并覆蓋第一區(qū)域的保護(hù)膜，所述保護(hù)膜具有粘附性；通過使用具有粘附性的保護(hù)膜，將所述第二凹入圖案形成為具有比在所述第一區(qū)域處的所述第一凹入圖案的所述第一深度更深的第二深度；以及去除所述保護(hù)膜。
文檔編號(hào)B41N1/00GK102087472SQ201010278520
公開日2011年6月8日 申請(qǐng)日期2010年9月9日 優(yōu)先權(quán)日2009年12月7日
發(fā)明者丁相哲, 李政訓(xùn), 梁準(zhǔn)詠, 金南國, 金喆鎬, 鞠允鎬 申請(qǐng)人:樂金顯示有限公司