專利名稱：液滴噴出裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種液滴噴出裝置。
背景技術(shù)：
作為在基板上形成所希望的圖案的裝置，公知有將液狀體形成液滴并 噴出的液滴噴出裝置。液滴噴出裝置具備載置在臺(tái)架上的基板和將液狀體 形成液滴并噴出的液滴噴頭，在使基板相對(duì)于液滴噴頭掃描的同時(shí)使從液 滴噴頭噴出的液滴配置到基板上的所希望的位置，由此形成圖案。
為了利用液滴噴出裝置在基板上形成高精細(xì)的圖案，對(duì)從液滴噴頭的 各噴嘴噴出的液滴的噴出量要求高均勻性。因此，液滴噴出裝置中，在貯 存液狀體的墨液容器與液滴噴頭之間設(shè)置壓力調(diào)節(jié)閥，用于調(diào)節(jié)供給到液 滴噴頭的液狀體的壓力。作為設(shè)置壓力調(diào)節(jié)閥的方式，如專利文獻(xiàn)1所述， 提出了將壓力調(diào)節(jié)閥直接連接到液滴噴頭上來縮小裝置尺寸的方案。
專利文獻(xiàn)1:特開平9一277561號(hào)公報(bào)
但是，在大畫面顯示面板的制造等中使用的產(chǎn)業(yè)用大型液滴噴出裝置 中，為了降低大型基板的掃描次數(shù)，在一個(gè)滑架上排列了多個(gè)液滴噴頭。 搭載在滑架上的液滴噴頭為了能分別描繪幾十微米的微細(xì)圖案的微細(xì)化， 對(duì)液滴噴頭之間的相對(duì)位置和液滴噴頭相對(duì)于滑架的位置要求高的位置 精度。
在將上述液滴噴頭安裝到滑架上時(shí)，為了獲得這樣的位置精度，首先， 以光學(xué)方式檢測(cè)液滴噴頭相對(duì)于滑架的位置，并基于該檢測(cè)位置對(duì)液滴噴 頭的位置進(jìn)行微調(diào)。然后，在液滴噴頭的位置與目標(biāo)位置從光學(xué)上一致時(shí)， 利用粘接材料將液滴噴頭和滑架瞬間粘接起來。
另一方面，在將專利文獻(xiàn)1的液滴噴頭搭載到滑架上時(shí)，由于壓力調(diào) 節(jié)閥與液滴噴頭直接連接，因此液滴噴頭的負(fù)載增大，難以對(duì)液滴噴頭的 位置進(jìn)行微調(diào)。另外，由于液滴噴頭與滑架的粘接性大大受損，因此液滴噴頭的位置與目標(biāo)位置之間會(huì)產(chǎn)生大的偏差。因此，在上述產(chǎn)業(yè)用大型液 滴噴出裝置中，為了抑制這樣的液滴噴頭的位置偏差，需要使液滴噴頭與 壓力調(diào)節(jié)閥分離。
但是，在使液滴噴頭與壓力調(diào)節(jié)閥分離的情況下，在連接壓力調(diào)節(jié)閥 的導(dǎo)出口與液滴噴頭的導(dǎo)入口的連接導(dǎo)管中會(huì)產(chǎn)生液狀體的壓力損耗，因 此，向各液滴噴頭供給液狀體的供給壓力會(huì)在各導(dǎo)管中出現(xiàn)變動(dòng)。該問題 可通過使壓力調(diào)節(jié)閥的導(dǎo)出口與液滴噴頭的導(dǎo)入口之間的距離均勻化來 消除，但各液滴噴頭的位置和各壓力調(diào)節(jié)閥的位置會(huì)受到很大限制，因此 會(huì)導(dǎo)致裝置尺寸的大型化。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明為實(shí)現(xiàn)上述課題而實(shí)現(xiàn)，目的在于提供一種與各液滴噴頭的位 置無關(guān)地提高液滴噴頭之間的噴出量的均勻性的液滴噴出裝置。
本發(fā)明的液滴噴出裝置，包括貯存功能液的容器；多個(gè)壓力調(diào)節(jié)閥， 將從所述容器經(jīng)第一供給管供給的功能液調(diào)節(jié)到規(guī)定壓力后導(dǎo)出；多個(gè)液 滴噴頭，將來自所述壓力調(diào)節(jié)閥的功能液形成液滴并噴出；和多個(gè)第二供 給管，連接所述壓力調(diào)節(jié)閥的導(dǎo)出口與所述液滴噴頭的導(dǎo)入口之間，將來 自所述壓力調(diào)節(jié)閥的功能液供給到所述液滴噴頭，所述液滴噴出裝置的特 征在于，所述導(dǎo)出口與所述導(dǎo)入口之間的距離被配置為按每個(gè)所述第二供 給管而不同，各第二供給管為相同長(zhǎng)度，以使所述導(dǎo)出口與所述導(dǎo)入口之 間的流路阻力相等。
根據(jù)本發(fā)明的液滴噴出裝置，由于使各第二供給管的流路阻力相等， 因此從壓力調(diào)節(jié)閥向液滴噴頭供給的功能液的供給壓力在各液滴噴頭中 相等。因此，本發(fā)明的液滴噴出裝置能提高從液滴噴頭噴出的液滴的噴出 量的均勻性。
該液滴噴出裝置優(yōu)選所述容器按多個(gè)所述壓力調(diào)節(jié)閥供給不同種類 的功能液，所述各第二供給管的長(zhǎng)度按每種所述功能液的種類設(shè)為相同。
根據(jù)該液滴噴出裝置，由于壓力調(diào)節(jié)闊與液滴噴頭之間按每種功能液 的種類用相同流路長(zhǎng)度的第二供給管連接。因此，由于每種功能液的種類 的流路阻力均勻，故能以均勻的供給壓力向各液滴噴頭供給相同種類的功能液。結(jié)果，在相同種類的功能液中能提高噴出量的均勻性。
該液滴噴出裝置優(yōu)選所述各第二供給管的長(zhǎng)度在所述功能液的種類 之間相同。
根據(jù)該液滴噴出裝置，壓力調(diào)節(jié)閥與液滴噴頭之間在所有功能液的種 類中均通過相同流路長(zhǎng)度的第二供給管連接。因此，在功能液的種類之間 能提高噴出量的均勻性。
該液滴噴出裝置優(yōu)選所述各第二供給管的內(nèi)徑比連接所述容器與所 述壓力調(diào)節(jié)閥的第一供給管的內(nèi)徑大。
根據(jù)該液滴噴出裝置，與壓力調(diào)節(jié)閥的下游側(cè)連接的第二供給管比與 該壓力調(diào)節(jié)閥的上游側(cè)連接的第一供給管大。因此，在壓力調(diào)節(jié)閥的下游 側(cè)，與上游側(cè)的第一供給管相比能減小每單位長(zhǎng)度的壓力損耗。因此，能 將通過壓力調(diào)節(jié)閥調(diào)節(jié)到規(guī)定壓力的功能液在維持該壓力的狀態(tài)下供給 到各液滴噴頭。
該液滴噴出裝置優(yōu)選所述第二供給管與所述液滴噴頭之間在鉛垂方 向的最大分離距離按每個(gè)所述第二供給管相同。
根據(jù)該液滴噴出裝置，功能液相對(duì)于液滴噴頭的水頭壓在各第二供給 管中相等。因此，能與水頭壓的相等程度相應(yīng)地抑制功能液的供給壓力的 偏差。
該液滴噴出裝置優(yōu)選所述各液滴噴頭具備噴出所述液滴的多個(gè)噴 嘴；和連接所述多個(gè)噴嘴與所述導(dǎo)入口之間的多個(gè)流路，所述各流路的流 路阻力相同。
該液滴噴出裝置由于使導(dǎo)入口與各噴嘴之間的流路阻力相同，因此， 在多個(gè)液滴噴頭中能進(jìn)一步抑制各噴嘴的噴出量的偏差。
圖1是表示液滴噴出裝置的概略構(gòu)成的立體圖。
圖2是表示滑架板與滑架的關(guān)系的俯視圖。 圖3是表示滑架的概略構(gòu)成的立體圖。 圖4是表示滑架的概略構(gòu)成的剖視圖。 圖5是液滴噴頭的立體圖。圖6是液滴噴頭的剖視圖。
圖7是表示從連接針到噴嘴的流路長(zhǎng)度的示意圖。
圖中D、 Dl、 D2—內(nèi)徑；F —功能液；Fb —液滴；L —流路；1—液
滴噴出裝置；36 —壓力調(diào)節(jié)閥；36a—導(dǎo)出口； 37 —第一供給管；38 —第 二供給管；40 —液滴噴頭；42 —作為導(dǎo)入口的連接針；46 —噴嘴。
具體實(shí)施例方式
下面，參照?qǐng)D1 圖7，對(duì)將本發(fā)明具體化的一實(shí)施方式進(jìn)行說明。 其中，圖1 圖6所記載的X軸、Y軸、Z軸分別與圖1所示的X軸、Y 軸、Z軸為相同方向。
圖1表示在玻璃基板上形成各色用(紅色用、綠色用、藍(lán)色用)的濾 色器的液滴噴出裝置1的概略構(gòu)成。在液滴噴出裝置1中，在沿主掃描方 向(X軸方向)延伸的基座2的上表面2a上，沿主掃描方向(X軸方向) 鋪設(shè)有一對(duì)X軸導(dǎo)軌11。在該一對(duì)X軸導(dǎo)軌11上搭載有能夠沿X軸導(dǎo)軌 11在主掃描方向上移動(dòng)的X軸移動(dòng)板12。在一對(duì)X軸導(dǎo)軌11上具備X 軸線性電機(jī)M1， X軸線性電機(jī)M1通過氣動(dòng)滑塊(省略圖示)使一對(duì)X 軸導(dǎo)軌11上載置的X軸移動(dòng)板12在X軸方向上往復(fù)移動(dòng)。
此外，在圖1中，將主掃描方向記作X軸方向，將與主掃描方向(X 軸方向)正交的副掃描方向記作Y軸方向，將與X軸方向和Y軸方向正
交的方向(鉛垂方向)記作z軸方向，將繞z軸方向的轉(zhuǎn)動(dòng)方向記作e方向。
在X軸移動(dòng)板12的上面設(shè)置有基板基座14。基板基座14是真空吸 附臺(tái)，在其上面吸附固定由玻璃基板構(gòu)成的濾色器基板(以下僅稱為CF 基板W)，對(duì)該CF基板W進(jìn)行輸送?；寤?4被X軸移動(dòng)板12和基 板基座14之間設(shè)置的由虛線表示的基座轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)16支承固定為能夠相對(duì)
于x軸移動(dòng)板12沿e方向轉(zhuǎn)動(dòng)。
基板基座14與X軸移動(dòng)板12 —起沿X軸方向移動(dòng)，從而在X軸方 向上輸送CF基板W。另外，基板基座14以z軸為旋轉(zhuǎn)中心在e方向上
轉(zhuǎn)動(dòng)，從而使CF基板w在該e方向上旋轉(zhuǎn)。
在X軸導(dǎo)軌ll的上方，按照在其Y軸方向上跨越的方式配設(shè)有一對(duì)Y軸導(dǎo)軌18。 一對(duì)Y軸導(dǎo)軌18的一端的支柱19a立設(shè)在基座2的上表面 2a的一側(cè)，另一端的支柱19b立設(shè)在與基座2分離的臺(tái)面上。 一對(duì)Y軸 導(dǎo)軌18在X軸方向上保持規(guī)定間隔地平行配設(shè)。此外，本實(shí)施方式中， 在與Y軸方向平行地延伸的一對(duì)Y軸導(dǎo)軌18中，將基座2的上方位置稱 為作業(yè)區(qū)域，將與基座2分離的位置稱為待機(jī)區(qū)域。
在一對(duì)Y軸導(dǎo)軌18之間，架設(shè)有多個(gè)滑架板21。各滑架板21被載 置為能夠沿Y軸導(dǎo)軌18在Y軸方向上移動(dòng)。在一對(duì)Y軸導(dǎo)軌18上具備 Y軸線性電機(jī)M2。 Y軸線性電機(jī)M2分別通過氣動(dòng)滑塊(省略圖示)使 一對(duì)Y軸導(dǎo)軌18上載置的各滑架板21在Y軸方向上往復(fù)移動(dòng)。各滑架 板21受到Y(jié)軸線性電機(jī)M2的驅(qū)動(dòng)力，在Y軸導(dǎo)軌18上的作業(yè)區(qū)域與待 機(jī)區(qū)域之間往復(fù)移動(dòng)。
在各滑架板21的上面載置有功能液供給單元22和噴頭用配電單元 23。功能液供給單元22貯存功能液F (參照?qǐng)D6)，向各液滴噴頭40 (參 照?qǐng)D5)供給功能液F。噴頭用配電單元23供給用于驅(qū)動(dòng)各液滴噴頭40 的驅(qū)動(dòng)信號(hào)。
此外，功能液F是指，用于形成上述各色用的濾色器的過濾器用墨液。 向各液滴噴頭40供給三種過濾器用墨液中的任一種。功能液F被噴出到 CF基板W上并干燥，從而形成各色用的濾色器。
圖2中，在各滑架板21的下面的中央位置設(shè)置有懸吊機(jī)構(gòu)25，在該 懸吊機(jī)構(gòu)25的下端部安裝有滑架30。
懸吊機(jī)構(gòu)25具有懸吊基板26、懸吊轉(zhuǎn)動(dòng)框27和懸吊支承框28。懸 吊基板26連接固定在滑架板21的下面中央位置，其下端部與懸吊轉(zhuǎn)動(dòng)框 27連接。懸吊支承框28以能在9方向上轉(zhuǎn)動(dòng)的方式連接支承在懸吊轉(zhuǎn)動(dòng)
框27的下端部。懸吊轉(zhuǎn)動(dòng)框27具有e軸轉(zhuǎn)動(dòng)電機(jī)(省略圖示)，受到e
軸轉(zhuǎn)動(dòng)電機(jī)的驅(qū)動(dòng)力而使懸吊支承框28相對(duì)于懸吊基板26 (滑架板21) 在e方向上轉(zhuǎn)動(dòng)?；?0被支承固定在懸吊支承框28上，使垂設(shè)在懸吊 機(jī)構(gòu)25上的滑架30沿e方向轉(zhuǎn)動(dòng)。
接著，參照?qǐng)D3和圖4，對(duì)各滑架板21的下面中央位置設(shè)置的懸吊機(jī) 構(gòu)25所懸吊的滑架30進(jìn)行說明。此外，在圖3和圖4中，為了便于說明， 簡(jiǎn)化表示滑架30的內(nèi)部。在圖3和圖4中，滑架30具有大致長(zhǎng)方體形狀的滑架框31?；芸?31包括在X軸方向上相互對(duì)置配置的一對(duì)近似四邊框狀的滑架側(cè)框32、 將一對(duì)滑架側(cè)框32的上側(cè)兩端部之間連接固定的一對(duì)連接臂33 (僅圖示 一方而省略另一方)。 一對(duì)連接臂33連接固定在所述懸吊機(jī)構(gòu)25的懸吊 支承框28上。滑架框31在e軸電機(jī)(省略圖示)正轉(zhuǎn)或反轉(zhuǎn)時(shí)受到懸吊
支承框28沿e方向的轉(zhuǎn)動(dòng)而在e方向上轉(zhuǎn)動(dòng)。
在一對(duì)滑架側(cè)框32的下邊32a之間，通過固定螺栓35連接固定有單 元板34。在單元板34上，沿X軸方向排列的6個(gè)液滴噴頭40在Y軸方 向上排有兩列、即在XY平面內(nèi)排列有共計(jì)12個(gè)液滴噴頭40。各液滴噴 頭40相對(duì)于單元板34以高校準(zhǔn)精度固定。例如，在將這些多個(gè)液滴噴頭 40安裝到單元板34上時(shí)，首先，以光學(xué)方式檢測(cè)液滴噴頭40相對(duì)于單元 板34的位置，并基于該檢測(cè)位置對(duì)液滴噴頭40的位置進(jìn)行微調(diào)。然后， 在液滴噴頭40的位置與目標(biāo)位置從光學(xué)上一致時(shí)，利用粘接材料將液滴 噴頭40和單元板34瞬間粘接起來。
在本實(shí)施方式中，將上述12個(gè)液滴噴頭40中排列在X軸方向側(cè)的6 個(gè)液滴噴頭40稱作第一噴頭組，將上述12個(gè)液滴噴頭40中排列在X軸 方向側(cè)的相反側(cè)的6個(gè)液滴噴頭40稱作第二噴頭組。在第一噴頭組和第 二噴頭組中，分別設(shè)置有由沿Y軸方向排列的一對(duì)液滴噴頭40構(gòu)成的3 列噴頭列。第一噴頭組中的各噴頭列從X軸方向側(cè)開始依次與紅色用、綠 色用、藍(lán)色用相關(guān)聯(lián)。同樣，第二噴頭組中的各噴頭列從X軸方向側(cè)開始 依次與紅色用、綠色用、藍(lán)色用相關(guān)聯(lián)。
在一對(duì)滑架側(cè)框32的上邊32b，分別沿Y軸方向配設(shè)有6個(gè)壓力調(diào) 節(jié)閥36。在各壓力調(diào)節(jié)閥36上連接有從所述功能液供給單元22延伸的可 撓性的第一供給管37 (參照?qǐng)D2)，供給來自功能液供給單元22的功能液 F。各壓力調(diào)節(jié)閥36接受從功能液供給單元22供給的功能液F，將該功 能液F調(diào)壓到預(yù)定的規(guī)定壓力后導(dǎo)出。
在本實(shí)施方式中，將上述12個(gè)(6個(gè)X2)壓力調(diào)節(jié)閥36中排列在X 軸方向側(cè)的6個(gè)壓力調(diào)節(jié)閥稱作第一閥組，將上述12個(gè)壓力調(diào)節(jié)閥36中 排列在X軸方向側(cè)的相反側(cè)的6個(gè)壓力調(diào)節(jié)閥36稱作第二閥組。
在第一閥組的各壓力調(diào)節(jié)閥36中，朝向Y軸方向依次從功能液供給單元22供給藍(lán)色用、綠色用、紅色用、紅色用、綠色用、藍(lán)色用的過濾 器用墨液。另外，在第二閥組的各壓力調(diào)節(jié)閥36中，朝向Y軸方向依次 從功能液供給單元22供給紅色用、綠色用、藍(lán)色用、藍(lán)色用、綠色用、 紅色用的過濾器用墨液。
所述第二供給管38的一端與各壓力調(diào)節(jié)閥36的導(dǎo)出口 36a連接。各 第二供給管38的另一端在液滴噴頭40側(cè)分支為兩路，分別與液滴噴頭40 的兩個(gè)連接針42 (參照?qǐng)D5)連接。第二供給管38的內(nèi)徑D由比第一供 給管37的內(nèi)徑D1大的內(nèi)徑D2形成。由此，第二供給管38中的功能液F 與第一供給管37相比能降低其流速，從而與第一供給管37相比，能降低 每單位長(zhǎng)度的壓力損耗。即，對(duì)于來自壓力調(diào)節(jié)閥36的功能液F而言， 與內(nèi)徑D2比內(nèi)徑D1大的程度相應(yīng)地能維持向液滴噴頭40的供給壓力。
在第一閥組中與藍(lán)色用對(duì)應(yīng)的兩個(gè)壓力調(diào)節(jié)閥36分別通過第二供給 管38與第一噴頭組中的藍(lán)色用的噴頭列連接。在第一閥組中與綠色用對(duì) 應(yīng)的兩個(gè)壓力調(diào)節(jié)閥36分別通過第二供給管38與第一噴頭組中的綠色用 的噴頭列連接。另外，在第一閥組中與紅色用對(duì)應(yīng)的兩個(gè)壓力調(diào)節(jié)閥36 分別通過第二供給管38與第一噴頭組中的紅色用的噴頭列連接。
與上述同樣地，在第二閥組中與藍(lán)色用對(duì)應(yīng)的兩個(gè)壓力調(diào)節(jié)閥36分 別通過第二供給管38與第二噴頭組中的藍(lán)色用的噴頭列連接。在第二閥 組中與綠色用對(duì)應(yīng)的兩個(gè)壓力調(diào)節(jié)閥36分別通過第二供給管38與第二噴 頭組中的綠色用的噴頭列連接。另外，在第二閥組中與紅色用對(duì)應(yīng)的兩個(gè) 壓力調(diào)節(jié)閥36分別通過第二供給管38與第二噴頭組中的紅色用的噴頭列連接。
由于各壓力調(diào)節(jié)閥36在Y軸方向上排列，在Y軸方向上排列的各色 用的噴頭列在X軸方向上排列，因此，壓力調(diào)節(jié)閥36的導(dǎo)出口 36a與液 滴噴頭40的連接針42之間的距離按過濾器用墨液的顏色而不同。對(duì)于各 第二供給管38的長(zhǎng)度而言，是按照使導(dǎo)出口 36a與連接針42之間的流路 阻力在各顏色之間相同的方式對(duì)上述的導(dǎo)出口 36a與連接針42之間的距 離差異進(jìn)行補(bǔ)償?shù)拈L(zhǎng)度、即相同長(zhǎng)度。由此，來自各壓力調(diào)節(jié)閥36的過 濾器用墨液，能夠與第二供給管38中的流路阻力相同的程度對(duì)應(yīng)地使各 液滴噴頭40的供給壓力相等，而與液滴噴頭40無關(guān)。在一對(duì)滑架側(cè)框32之間設(shè)置有定位構(gòu)件39。在定位構(gòu)件39上設(shè)置有 具有與XY平面平行的上表面且沿Y軸方向延伸的一對(duì)安裝部39a。與各 壓力調(diào)節(jié)閥36的導(dǎo)出口 36a連接的第二供給管38分別在安裝部39a的上 面由固定部件39b固定。由此，各第二供給管38能夠?qū)⑴c液滴噴頭40之 間在Z方向(鉛垂方向)上的最大分離距離規(guī)定在安裝部39a的位置。艮口， 能與液滴噴頭40的位置無關(guān)地使各第二供給管38與液滴噴頭40之間的 最大分離距離相等。并且，能使來自各第二供給管38的過濾器用墨液相 對(duì)于液滴噴頭40的水頭壓相等。
接著，參照?qǐng)D5 圖7對(duì)液滴噴頭40進(jìn)行說明。圖5是從基板基座 14側(cè)觀察液滴噴頭的外觀立體圖，圖6是表示液滴噴頭40的泵部44的內(nèi) 部的圖。圖7是表示從液滴噴頭40的連接針42到各噴嘴46的流路長(zhǎng)度 的示意圖。
液滴噴頭40具備具有兩個(gè)連接針42的液體導(dǎo)入部41、與液體導(dǎo)入 部41的側(cè)方相連的噴頭基板43、與液體導(dǎo)入部41相連的泵部44、與泵 部44相連的噴嘴板45。在本實(shí)施方式中，由泵部44和噴嘴板45構(gòu)成方 形的噴頭主體40A。
液體導(dǎo)入部41的連接針42上連接有第二供給管38(參照?qǐng)D3和圖4)。 噴頭基板43上安裝有一對(duì)噴頭連接器43A，通過該噴頭連接器43A連接 未圖示的柔性扁平電纜。
在噴嘴板45的噴嘴形成面45a上形成有由噴出液滴Fb的噴嘴46構(gòu) 成的兩條噴嘴列47。兩條噴嘴列47相互平行排列，各噴嘴列47由等間距 并排設(shè)置的180個(gè)噴嘴46構(gòu)成。g卩，在噴頭主體40A的噴嘴形成面45a 上，兩條噴嘴列47隔著其中心線以線對(duì)稱的方式配置。
在各噴嘴46的上側(cè)設(shè)置有腔室52、振動(dòng)板53和壓電元件PZ。各腔 室52分別通過第二供給管38、壓力調(diào)節(jié)閥36、第一供給管37與功能液 供給單元22連接。各腔室52收納來自功能液供給單元22的功能液F (過 濾器用墨液)，并向噴嘴46供給該過濾器用墨液。振動(dòng)板53通過使與各 腔室52對(duì)置的區(qū)域在Z方向上振動(dòng)，從而擴(kuò)大或縮小該腔室52的容積， 伴隨于此使噴嘴46的彎液面振動(dòng)。各壓電元件PZ分別在接受規(guī)定的驅(qū)動(dòng) 信號(hào)時(shí)，沿Z方向收縮、伸展，從而使振動(dòng)板53的各區(qū)域在Z方向上振動(dòng)。各腔室52在各自的振動(dòng)板53沿Z方向振動(dòng)時(shí)，將所收容的濾色器用 墨液的一部分作為液滴Fb從噴嘴46噴出。
在泵部44的基部側(cè)即噴頭主體40A的基部側(cè)，形成有由上述單元板 34承受液體導(dǎo)入部41的、方形凸緣狀的凸緣部48。在該凸緣部48上， 形成有將液滴噴頭40臨時(shí)固定在單元板34上的小螺釘用的螺紋孔49。液 滴噴頭40在臨時(shí)固定于單元板34上的狀態(tài)下進(jìn)行上述位置調(diào)節(jié)。
如圖7所示，在液滴噴頭40中，對(duì)連接針42和各腔室52進(jìn)行連接 的流路L按照使從連接針42到腔室52的流路阻力相等的方式形成為相同 長(zhǎng)度。因此，液滴噴出裝置1能使從壓力調(diào)節(jié)閥36到各噴嘴46的流路阻 力相等，因此，能提高過濾器用墨液相對(duì)于各噴嘴46的供給壓力的均勻 性。結(jié)果，液滴噴出裝置1能提高從各噴嘴46噴出的液滴Fb的噴出量的 均勻性。
根據(jù)上述實(shí)施方式，可獲得下述效果。
(1) 上述實(shí)施方式的液滴噴出裝置1分別用相同長(zhǎng)度的第二供給管 38來連接各壓力調(diào)節(jié)閥36與各液滴噴頭40之間。因此，在各壓力調(diào)節(jié)閥 36與各連接針42之間，能提高第二供給管38內(nèi)的流路阻力的均勻性。結(jié) 果，液滴噴出裝置1能在液滴噴頭40之間提高關(guān)于過濾器用墨液的供給 壓力的均勻性。進(jìn)而能提高液滴噴頭40之間液滴Fb的噴出量的均勻性。
(2) 上述實(shí)施方式的液滴噴出裝置1在滑架30上設(shè)置了定位構(gòu)件39， 使各第二供給管38與各液滴噴頭40之間在Z方向上的最大分離距離相 等。因此，液滴噴出裝置1能在與第二供給管38對(duì)應(yīng)的液滴噴頭40之間 進(jìn)一步提高關(guān)于過濾器用墨液的供給壓力的均勻性。進(jìn)而能進(jìn)一步提高各 液滴噴頭40之間液滴Fb的噴出量的均勻性。
(3) 上述實(shí)施方式的液滴噴出裝置1使第二供給管38的內(nèi)徑D2大 于第一供給管37的內(nèi)徑D1。因此，液滴噴出裝置1能與使第二供給管38 的壓力損耗比第一供給管37小的程度相應(yīng)地維持由壓力調(diào)節(jié)閥36調(diào)壓的 過濾器用墨液的供給壓力。結(jié)果，液滴噴出裝置1能在液滴噴頭40之間 進(jìn)一步提高關(guān)于過濾器用墨液的供給壓力的均勻性。
(4) 上述實(shí)施方式的液滴噴出裝置1，使對(duì)連接針42和各腔室52 進(jìn)行連接的流路L按照使從連接針42到各腔室52的流路阻力相等的方式形成為相同長(zhǎng)度。因此，液滴噴出裝置1能使從壓力調(diào)節(jié)閥36到各噴嘴
46的流路阻力相等，因此，能提高過濾器用墨液相對(duì)于各噴嘴46的供給 壓力的均勻性。結(jié)果，液滴噴出裝置1能提高從各噴嘴46噴出的液滴Fb 的噴出量的均勻性。
此外，上述實(shí)施方式可進(jìn)行以下變更。
上述實(shí)施方式中，在液滴噴頭40內(nèi)使流路L的長(zhǎng)度相等，但在提 高液滴噴頭40之間的供給壓力的均勻性方面，也可采用流路L的長(zhǎng)度不 同的構(gòu)成。
上述實(shí)施方式中，使第二供給管38的內(nèi)徑D2大于第一供給管的內(nèi) 徑D1，但在提高第二供給管38中的流路阻力的均勻性方面，也可釆用第 二供給管38的內(nèi)徑D2與第一供給管的內(nèi)徑D1相等或比第一供給管的內(nèi) 徑D1小的構(gòu)成。
*上述實(shí)施方式中，使所有第二供給管38的長(zhǎng)度相等，但并不限定 于此，可按功能液的種類使第二供給管的長(zhǎng)度相等。因此，在相同種類的 功能液F中提高噴出量的均勻性方面，也可省去在不同種類的功能液之間 使第二供給管的長(zhǎng)度相等的構(gòu)成。
上述實(shí)施方式中，使第二供給管38與液滴噴頭40之間在Z方向上 的最大分離距離在各液滴噴頭40之間相等，但在能夠確保壓力調(diào)節(jié)閥36 與液滴噴頭40之間的密封性的情況下，也可省去該構(gòu)成。
上述實(shí)施方式中，從一個(gè)壓力調(diào)節(jié)閥36向一個(gè)液滴噴頭40供給功 能液F。但并不限定于此，也可采用從一個(gè)壓力調(diào)節(jié)閥36向多個(gè)液滴噴頭 40供給功能液F的構(gòu)成。由此，能夠減少壓力調(diào)節(jié)閥36的數(shù)量，實(shí)現(xiàn)裝 置尺寸的小型化。
上述實(shí)施方式中，具體化成了作為功能液從各液滴噴頭40將三種 過濾器用墨液中的任一種形成液滴并噴出的液滴噴出裝置1。但并不限定 于此，例如，也可具體化成從各液滴噴頭40噴出同種功能液的液滴噴出裝置。
.上述實(shí)施方式中，液滴噴出裝置1在滑架30上搭載了 12個(gè)液滴噴 頭40。而且，在一對(duì)Y軸導(dǎo)軌18上搭載了6個(gè)滑架。但并不限定于此， 液滴噴出裝置1可適當(dāng)變更在滑架上搭載的液滴噴頭的配置和數(shù)量以及滑架的數(shù)量。即，液滴噴出裝置只要是具備多個(gè)壓力調(diào)節(jié)閥36和多個(gè)液滴
噴頭40的構(gòu)成即可。
，上述實(shí)施方式中，液滴噴出裝置1是用于形成濾色器的裝置。但并 不限定于此，液滴噴出裝置也可是形成金屬布線的裝置、形成絕緣層的裝 置、形成液晶層或取向膜的裝置、形成有機(jī)EL顯示裝置的發(fā)光層或輸送 層等的裝置。也就是說，液滴噴出裝置只要是將功能液形成液滴并噴出到 對(duì)象物上的裝置、即由配置到該對(duì)象物上的液滴來實(shí)現(xiàn)功能的裝置即可。
*上述實(shí)施方式中，具體化成了壓電元件驅(qū)動(dòng)方式的液滴噴頭40。但 并不限定于此，也可具體化成電阻加熱方式或靜電驅(qū)動(dòng)方式的液滴噴頭。
權(quán)利要求
1、一種液滴噴出裝置，包括貯存功能液的容器；多個(gè)壓力調(diào)節(jié)閥，將從所述容器經(jīng)第一供給管供給的功能液調(diào)節(jié)到預(yù)定的壓力后導(dǎo)出；多個(gè)液滴噴頭，將來自所述壓力調(diào)節(jié)閥的功能液形成液滴并噴出；和多個(gè)第二供給管，連接所述壓力調(diào)節(jié)閥的導(dǎo)出口與所述液滴噴頭的導(dǎo)入口之間，將來自所述壓力調(diào)節(jié)閥的功能液供給到所述液滴噴頭，所述液滴噴出裝置的特征在于，所述導(dǎo)出口與所述導(dǎo)入口之間的距離被配置為按每個(gè)所述第二供給管而不同，各第二供給管為相同長(zhǎng)度，以使所述導(dǎo)出口與所述導(dǎo)入口之間的流路阻力相等。
2、 根據(jù)權(quán)利要求l所述的液滴噴出裝置，其特征在于， 所述容器按多個(gè)所述壓力調(diào)節(jié)閥供給不同種類的功能液， 所述各第二供給管的長(zhǎng)度按每種所述功能液的種類設(shè)為相同。
3、 根據(jù)權(quán)利要求2所述的液滴噴出裝置，其特征在于， 所述各第二供給管的長(zhǎng)度在所述功能液的種類之間相同。
4、 根據(jù)權(quán)利要求1 3中任一項(xiàng)所述的液滴噴出裝置，其特征在于， 所述各第二供給管的內(nèi)徑比連接所述容器與所述壓力調(diào)節(jié)閥的第一供給管的內(nèi)徑大。
5、 根據(jù)權(quán)利要求1 4中任一項(xiàng)所述的液滴噴出裝置，其特征在于，所述第二供給管與所述液滴噴頭之間在鉛垂方向的最大分離距離按 每個(gè)所述第二供給管相同。
6、 根據(jù)權(quán)利要求1 5中任一項(xiàng)所述的液滴噴出裝置，其特征在于， 所述各液滴噴頭具備噴出所述液滴的多個(gè)噴嘴；和連接所述多個(gè)噴嘴與所述導(dǎo)入口之間的多個(gè)流路，所述各流路的流路阻力相同。
全文摘要
本發(fā)明提供一種與各液滴噴頭的位置無關(guān)地提高液滴噴頭之間的噴出量的均勻性的液滴噴出裝置。按照使壓力調(diào)節(jié)閥(36)的導(dǎo)出口(36a)與液滴噴頭(40)的連接針之間的距離不同的方式配置壓力調(diào)節(jié)閥(36)，通過相同長(zhǎng)度的第二供給管(38)對(duì)各壓力調(diào)節(jié)閥(36)與各液滴噴頭(40)之間進(jìn)行連接，由此，使得在各壓力調(diào)節(jié)閥(36)與各液滴噴頭(40)之間，針對(duì)功能液的流路阻力相等。另外，在滑架(30)上設(shè)置定位構(gòu)件(39)，使液滴噴頭(40)與第二供給管(38)之間在Z方向上的最大分離距離于液滴噴頭(40)間相等。
文檔編號(hào)B41J2/175GK101544108SQ20091012969
公開日2009年9月30日 申請(qǐng)日期2009年3月26日 優(yōu)先權(quán)日2008年3月26日
發(fā)明者川瀨智己 申請(qǐng)人:精工愛普生株式會(huì)社