專利名稱：圖案形成裝置和圖案形成方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種例如用于平面型圖像顯^a、布線鎌、ic豐礎(chǔ)等制造 的圖案形成，和圖案形成方法。
背景技術(shù)：
以前，作為在《#的表面形成細(xì)微圖案的技術(shù)光刻技術(shù)歸核心的作用。 可是，光刻技術(shù)提高了析像度或性能，卻必須要有巨大而昂貴的制造設(shè)備，同 時船隹再利用圖案以外涂敷的材料，難以將圖案形成需要的駄抑制徵艮低。與此相對，例如，作為具有所謂裝置的簡便性或非接觸式圖案制作的特征 的比,價的圖案制作技術(shù)，噴墨技術(shù)正在開始付諸實用?？墒牵@種噴墨技 術(shù)在高析像度<域高生產(chǎn)性方面也暴露出存在一定限度。艮口，在這些方面，電子照相技術(shù)、特別是4頓液體調(diào)色劑的電子照相技術(shù) 具有優(yōu)良的可能性。以前，提出了j頓這樣的電子照相技術(shù)來形成平板顯示器用的前面繊的 熒光體層或黑底、彩色濾色片等圖案形成方法。例如，有一種公知的圖案形成 裝置，作為在平面型圖像顯示裝置的前面 上形成熒光體屏幕的裝置，在熒 光體鼓的表面上形成圖案狀的靜電潛像，并向該靜電潛像供給帶了電的顯像劑 進(jìn)行顯像，把這樣顯像的各色顯像劑像依次復(fù)寫到復(fù)寫鼓上，再把重疊在復(fù)寫鼓上的各色顯像劑傲匚總復(fù)寫并定夢站 ± (例如，參照特開200冬30980號 公報(圖4))?？墒?，在使用這種采用多鼓的裝置中，由于在復(fù)寫鼓的彎曲圓周面上復(fù)寫 形成在感光體鼓的彎曲圓周面上的圖案狀的顯像劑像，而且向平坦 上復(fù)寫 該復(fù)寫鼓圓周面的圖案，高精度維持感光體鼓和復(fù)寫鼓之間的位置精度、復(fù)寫 鼓和Sfet間的^S精度極其困難，在S^h形成細(xì)微圖案t婦隹。另外，在該圖案形成裝置中，需要許多工銜巴圖案形成在基纟^i:，處理時 間就很長，處理效率差，成本高。4發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的目的在于iH共一種能夠簡化裝置結(jié)構(gòu)、減少圖案形成的工序數(shù)、并以高位置精度在短時間內(nèi)廉1iM:也形成高精細(xì)圖案的圖案形成裝置和圖案形成 方法。為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明的圖案形成體包括掩模版，該掩模版具有 相當(dāng)于在被印刷介質(zhì)的表面上形成的印刷圖案的圖皿的通 L，并被配置得接 近且面對，表面；以及顯像裝置，該顯{ 置向與上述掩模版的上述被印刷 介質(zhì)相間離的背面?zhèn)裙┙o在絕緣性液體中分散了帶電的顯像劑粒子的液體顯像 劑，形成M該通孔的電場，使上述顯像劑粒子聚驗Jl^il孔內(nèi)，從而使上 述印刷圖案在戰(zhàn)被印刷介質(zhì)表面上顯像。本發(fā)明的圖案形成方法包括將具有相當(dāng)于在被印刷介質(zhì)的表面上形成的 印刷圖案的圖案狀的通孔的掩*皿配置#^近并面對上述表面的面對工序；以 及向與上述掩模版的上述被印刷介質(zhì)相間離的背面?zhèn)裙┙o在絕緣性液體中分散了帶電的顯像劑粒子的液體顯像劑，形成通3iJJ^l孔的電場，使上述顯像劑粒子聚,iJ^ffl孔內(nèi)，從而使上述印刷圖案在上述被印刷介質(zhì)表面上顯像的 顯像工序。若采用上述發(fā)明，由于M:具有圖案伏的通孔的掩樹扳向被印刷介質(zhì)的表面供給液體顯像劑，并用電場^M像劑粒子聚tt通孔內(nèi)，使印刷圖案顯像， 所以能簡化裝置結(jié)構(gòu)，可減少圖案形成需要的工序數(shù)，能以較短的時間形成圖案，從而能實現(xiàn)低駄。由于M圖案狀的通 L把印刷圖案直接在被印刷介質(zhì)上顯像，所以能以高的位置精度、高精細(xì)地形成圖案。


圖1是g本發(fā)明實施方式的圖案形成裝置的框圖。圖2是表示圖1的圖案形成驢的控制系統(tǒng)的框圖。圖3是設(shè)置于圖1的圖案形成裝置的前面板的局部放大剖視圖和從掩t皿 側(cè)看該面板的平面圖。圖4是使圖1的圖案形成，的掩tl^面對前面板的狀態(tài)的局部放大剖豐見圖和從背面?zhèn)?面板的底面圖。圖5是用于說明圖1的圖案形成裝置的動作的流程圖。圖6是用于說明掩^fe和前面板的對位方法的立體圖。圖7是表示使前面板和掩豐離貼緊的狀態(tài)的局部放大咅艦圖。圖8是用于說明顯像單元的動作說明圖。圖9翻于說明顯像器的顯像動作的局部放大音艦圖。圖10是用于說明清洗機(jī)構(gòu)的動作說明圖。具體實施方式

以下，參照附圖詳細(xì)說明本發(fā)明實施方式的圖案形成裝置。這里，作為圖 案形成裝置的--例，說明用來在液晶顯^置或等離子體顯^置等的平面型圖像顯^置的前面板內(nèi)面上印刷熒光體屏幕的圖案形皿置畫。如圖1所示，圖案形成驢100具有吸附并保持前面板10 (被印刷介質(zhì)) 的背面10b的吸附板12、以水平姿勢配置在前面板10的圖中下方的掩模版20 和配置在掩，勢扳20的圖中下方并可沿圖中左右方向移動的3個單元(顯像單元 30、千燥單元40和清洗單元50)。如圖中虛線箭頭所示，3個單元30、 40、 50可沿相對掩模版20離開/接觸 的方向和與掩機(jī)坂20平行的方向，移動。圖中右側(cè)的顯像單元30作為本發(fā) 明的顯〗蝶置的發(fā)揮功能中央的千燥單元40作為本發(fā)明的千燥機(jī)構(gòu)的發(fā)揮功 能，圖中左側(cè)的清洗單元50作為本發(fā)明的清洗機(jī)構(gòu)的發(fā)揮功能。另外，也可使 前面板10沿7K平方向移動來代替使3個單元30、 40、 50沿前面板10移動。如圖2所示，在控制圖案形成驢謂的動作的控制部200戰(zhàn)，魏后 述的定位用的4臺照相機(jī)61、 62、 63、 64、對操作者顯示用這些照相機(jī)拍攝的 圖像的顯示板66、接收操作者的各種操^tf入的操作輸入部68、保持上述的吸 附板12的同日中沿面方向移動而^IU面板10對掩t繊20對^的對位機(jī)構(gòu)72> 保持在內(nèi)側(cè)鋪設(shè)有掩t鞭20的矩形框體21并沿著使掩禾離20相對前面板10 離開/接觸的方向升 體21的升降機(jī)構(gòu)74、為產(chǎn)生吸附板12的保持力而產(chǎn)生 對前面板10的吸附力的吸附機(jī)構(gòu)14、產(chǎn)生使前面板10的內(nèi)面10a和掩模版20 的內(nèi)面20a貼緊的磁力的電磁鐵16、以M述3個單元30、 40、 50。吸附機(jī)構(gòu)14也可以使靜電力作用在前面板10的背面10b上而把前面板10 吸附在吸附板12上，也可以使負(fù)壓從吸附板12作用于前面板10的背面10b上 而將其吸住。例如，電磁鐵16被內(nèi)裝在吸附板12中，具有本發(fā)明貼緊機(jī)構(gòu)的6功能，艮口， MJF面板10使磁力作用在具有用磁性體形成的部位的掩豐離20上，而把前面板10夾持在吸附板12和掩t離20之間，從而使前面板10和掩 織20貼緊。如圖3中局部放大戶標(biāo)，前面板10在矩形玻璃板1的表面具有透明的電極 層11和格子狀的黑矩陣13。換句話說，在前面板10的內(nèi)面10a上矩卩^t排列 形爐用來形成由黑矩陣13戈盼的3色熒光體層的大致矩形的多個凹部15。 即，各凹部15相當(dāng)于顯碟置的一個像素，其底部設(shè)置有電極層ll。另外，電 極層ll像圖l所示那樣接地。例如，在玻璃板1的表面上噴凃納戈賽纖維板(于力Mr^厶fV夕7)公 司制的DenatrronG-115S，干燥成膜為膜厚0.2[]nm]的膜，從而形成電極層ll。 或者，電極層11也可以用氧化銻的旋涂膜等無機(jī)材料來形成。如圖4中局部放大所示，掩模版20具有相當(dāng)于在前面板10上形成的3色 熒光體層的印刷圖案15的圖案沃的通孔22。在本實施方式中，為了用掩^& 20在前面板10的內(nèi)面10a上每次1色地印刷3色熒光體層，掩模版20具有形 成在內(nèi)面10a上的凹部15的數(shù)量的1/3數(shù)量的通孔22。然而，在1次印刷半導(dǎo) 體 等其它的圖案的情況下，掩樹坂20的通 L形汰為M和印刷圖案一致的 靴。另外，特征是一個通孔22具有比在掩l臃20的表面10a形成的凹部15 的開口面積小的開口面積。在本實施方式中，1色熒光體層的印刷結(jié)束后，根據(jù)需要清洗掩豐離20， 然后，錯開1色地使相同的撤飄20對前面板10沿著面方向相鄉(xiāng)動，運用 掩豐鞭20印刷下^fe的熒光體層。因此，掩禾離20只具有在前面板10的內(nèi)面 10a形成的凹部15的數(shù)量的l/3M的通孔22。另外，在省略衞紅序的情況 下，需準(zhǔn)備3種顏色的掩模版20。用t膽i跌艦50[Mm]厚的M-Fe合金板24開孔加工后，從其背面20b側(cè)噴 i^色緣性涂料，形成lO[nm]厚的絕緣被覆層26，由此就能形; 實施方式的掩 牛M20。絕緣被^M26被覆掩1i)fe20的^背面，并且既到 孔22內(nèi)，也 被覆通孔22的內(nèi)壁。只魏t離20包含會調(diào)上述的電磁鐵16吸附的材料而且 用能帶電的高電阻材料被覆表面就可以，不限定本實施方式的構(gòu)造?；蛘?，也 可以用能帶電的材料形成掩模版20。為了提高后述的顯像劑粒子的脫模性，也 可以在掩M^20的表面涂劍兌模材料。7接著，參照圖5所示的流程圖以及圖6至圖9，說明J^構(gòu)造的圖案形成裝 置100的圖案形成動作。首先，準(zhǔn)備在，板1的表Mf頁先形成了電極層11和黑矩陣13的前面板 10;然后，把吸附板12吸附在前面板10的背面10b上，將吸附板12設(shè)置于對 位機(jī)構(gòu)72 (圖5的步驟1)。這時，以前面板10的內(nèi)面10a向下方的姿艦吸 附板12安^W位機(jī)構(gòu)72上。由此，前面板10的內(nèi)面10a成為與設(shè)置在下方 的掩t繊20的內(nèi)面20a相面對的狀態(tài)。這時，前面板10的內(nèi)面10a和掩t繊 20的內(nèi)面20a之間有間隙(例如，圖4的狀態(tài))。在該狀態(tài)下，如圖6所示，M顯示板66顯示經(jīng)4臺照相機(jī)61、 62、 63、 64拍攝的圖像，看到了該顯示圖像的操作者操作對M位機(jī)構(gòu)72， JM面板IO 沿面方向移動，進(jìn)行對位(步驟2)。艮口，如圖1和圖6戶標(biāo)，預(yù)先在前面板IO 的4角形成對m位用的標(biāo)記M，在圖6中省略圖示的吸附板12的對應(yīng)部^f》 成通孔12h(圖l)。而旦禾傭設(shè)置在吸附板12的背面?zhèn)鹊恼障鄼C(jī)61、 62、 63、 64重合檢測前面板10的f斜己M和掩樹政20對應(yīng)的對^M的+ti己M，由此來 檢測前面板10和掩模版20的面方向偏移，用對位機(jī)構(gòu)72實M面板10和掩 牛皿20的面方向?qū)ξ?。艮P，在步驟2的對^X序中，在用后述的貼緊工m吏前面板10和掩牛離20 貼緊時，使前面板10對掩模版20進(jìn)行比較粗的對位，以便使掩^f及20的通孔 22定位在前面板10應(yīng)顯像的顏色的凹部15的內(nèi)側(cè)(圖7的狀態(tài))。步驟2的對位后升降機(jī)構(gòu)74動作使掩模版20向著前面板10的內(nèi)面10a 上升，4頓面板10的內(nèi)面10a和掩t繊20的內(nèi)面20a貼緊(圖7)。這時，內(nèi) 裝在吸附板12上的電磁鐵16通電，用其磁性力使包含磁性材料的掩mi扳20與 前面板10的內(nèi)面10a貼緊(步驟3)。在用高電阻材料形成掩模版20情況下， 即使 iA磁性材料，由于不能產(chǎn)生充分的吸附力，也可以在在掩樹坂20的背面 20b側(cè)，在圖案形成區(qū)域的外側(cè)配置由框狀的磁性體構(gòu)成的夾具，在與電磁鐵 16之間夾持前面板10和掩纟M 20。由于掩模版20像J^f樣用薄的金屬板形成，板的尺寸越大，7jC平的姿勢 酉虔時彎曲難多，只用升Wl構(gòu)74使掩t離20上升就不能使掩牛繊20禾口前 面板10完全貼緊。因此，在本實施方式中，下工夫利用電磁鐵16的磁力使掩 模版20的內(nèi)面20a和前面板10的內(nèi)面10a貼緊。圖7中局部放大表示該狀態(tài)。艮P，在步驟3，使電磁鐵16通電，如圖7所示，i頓面板10的內(nèi)面10a 和掩模版20的內(nèi)面20a貼緊時，在步驟2對位好的前面板10的內(nèi)面10a上所 形成的凹部15和掩模版20的通孔22連接形成一個連續(xù)的顯像凹部82當(dāng)然 沒有形 孔22的掩模版20的部位面對的凹部15被掩模版20的內(nèi)面20a堵 住。
在本實施方式中，為后述的顯像工序而^itf面板10和掩樹政20像圖7那 樣貼緊時，必須把掩mife20的通孔22配置在前面板10對應(yīng)的凹部15的內(nèi)側(cè)， 但由于通孔22的開口比凹部15的開口小，所以在步驟2的對位時能斷氐其精 度。艮P，即4M位精度低到某種禾號，對應(yīng)的凹部15的內(nèi)側(cè)收容通孔22也沒 有問題。
然后控制部200使圖8所示的顯像單元30動作，使掩t繊20的背面20b 上被覆的絕緣被覆層26與顯像劑粒子同極性帶電(步驟4)。在本實施方式中， 使用電暈帶電器32作為帶電裝置。這里，在步驟3的貼緊工序后實施步驟4的 帶電工序，但帶電工序也可以在貼緊工序前的任一個定時實施。本實施方式中， 在步驟4的帶電工序內(nèi)，把絕緣被Sil26的表面電位設(shè)定為帶電400[V]。
如圖8所示，顯像單元30具有向掩模版20的背面20b開口的殼體31。如 圖6所示，顯像單元30具有和掩t離20誠相同的寬度。殼體31開口的上端 緣部能旋轉(zhuǎn)地安裝著沿與其移動方向(圖8的箭頭方向)正交的寬度方向延伸 的2個壓輥33 (貼緊機(jī)構(gòu)、按壓構(gòu)件)。這些壓輥33招^像單元30沿著圖8 的箭頭方向移動時按壓在掩豐，20的背面20b上同時與背面20b滾動接角^ 因此，頓像單元30M31的顯像區(qū)域，掩t離20用較強(qiáng)的力貼緊前面板10。
在顯像單元30的殼體31內(nèi)，除了戰(zhàn)的電暈帶電器32以外，還配置有收 容顯像輥34 (供給構(gòu)件)和擠壓輥36 (除去構(gòu)件)的顯像器38。該顯像器38 也沿著寬度方向延伸，覆蓋圖案形成區(qū)域的整個寬度。圖9局部放大表示出顯 像器38的顯像輥34和擠壓輥3&顯像輥34和擠壓輥36相對掩模版20的背面 20b各自經(jīng)一定的間隙相面對。
下接步驟4的帶電工序，使前面板10的全部凹部15中1色的凹部15顯像 (步驟5)。在本實施方式中，由于顯像單元30把電暈帶電器32和顯像器38 — 起收^殼體31內(nèi)，育巨大致同時實施帶電工序和顯像工序。
在步驟5的顯像工序中，經(jīng)旋轉(zhuǎn)的顯像輥34的圓周面把用未圖示的供給系統(tǒng)供給的液體顯像劑^i共給掩t飄20的背面20b偵lj。這時，對顯像輥34施加 顯像偏壓，在顯像輥34和前面板10的電極層11之間形成電4腫。艮卩，前面板 10的電極層11像J:^那樣接地，由于對顯像輥34施加正電壓，所以使朝向顯 像凹部82的電場作用在帶正電的顯《斜立子上。因此，液體顯像劑中分散的顯像 劑粒子在絕緣性液體中游動而聚^M像凹部82內(nèi)。本實施方式中，在步驟5 的顯像工序中，設(shè)就顯像輥34施加300[V]的偏壓。
這時，被覆在掩t離20的背面20b和通孔22的內(nèi)側(cè)面的絕緣被SM 26的 表面也在上述的帶電工序中和顯像粒子帶同極性電，所以游動的顯像劑粒子不 會附著在掩t鞭20的表面。這時，控制顯像偏ffil;能控制聚敏顯像凹部15 內(nèi)的顯像劑粒子的填充量。此外，控制液體顯像劑中顯像劑粒子的濃度或顯像 單元30的移動速度也能控制使凹部15顯像的顯像劑粒子的數(shù)量。
這時，顯像器38的擠壓輥36逆方向旋轉(zhuǎn)，把1分刺余的顯像劑粒子與 絕緣性液體一起回TO來。以比顯像輥34低的電〗M擠壓輥36施加與顯像劑 粒子同極性的腿，形成從擠壓輥36朝向凹部15的電極層11的電場。因此， 聚 凹部15內(nèi)的顯像劑粒子更牢固地凝聚起來，同時在絕緣性液體中纟 的 剩余顯像劑粒子被擠壓輥36的表面吸附。本實施方式中，在步驟5的顯像工序 中，設(shè)就擠壓輥36施加200[V]的電壓。
可是，如Jl^那樣給掩tM20的背面20b側(cè)供給液體顯像劑時，向與通孔 22連接的前面板10的凹部15即顯像凹部82內(nèi)供會^6不勻的液體顯像齊lJ電泳 就能把顯像劑粒子供給到相應(yīng)的凹部15的角部。因此，若鄉(xiāng)本實施方式的圖 案形成方法，能形戯口凹部15 ^t幾乎一致的印刷圖案。艮口，例如，在使熒光 體粒子附著在黑矩陣的前面^h形成的凸緣構(gòu)造的內(nèi)面的情況下，可以說本發(fā) 明是有效的。
在該顯像工序中'使掩豐繊20貼緊前面板10是重要的。艮卩，若掩豐繊20 的表面20a和前面板10的表面10a之間有間隙液體顯像劑就會流到該間隙中 在前面板10上形成的印刷圖案的輪廓就會不清楚。因此本發(fā)明4頓電磁鐵16 由磁力^M面板10和掩t繊20貼緊，同日艦顯像單元30的按壓輥33壓在掩 樹坂20的背面20b上，至少在顯像區(qū)域^fl面板10和掩模版20牢固地貼緊。
步驟5的顯像工序后，控制部200使圖10所示的千燥單元40動作，{贓 步驟5向掩模版20的背面20b側(cè)供給的液體顯像劑中的絕緣性液體干燥(步驟
106)。這時，海綿狀制品42首先與掩^離20的背面20b接觸，大部分絕緣性液 體被海綿狀制品42吸收而旦ilil千燥機(jī)44對掩模版20的背面20b吹空氣 使乘除的絕緣性液體千燥。也可以利用具有吸弓噴嘴的吸弓l體代替海綿狀制 品42，用空氣吸走大部分絕緣性液體。這時，也可以讓電場起作用，以便不吸 弓l顯像凹部82內(nèi)的顯像劑粒子。也可以不{頓海綿狀制品42或吸弓噴嘴，只 用^p燥機(jī)44吹空氣， 一直使絕緣性液體千燥到所希望的狀態(tài)。
控制部200在步驟6使絕緣性液體千燥后，4妍降機(jī)構(gòu)74動作，使掩t繊 20 (框體21)沿著離開前面板10的方向下降，把前面板10和掩模版20剝離開 (步驟7)。這時，掩模版20相對前面板10最好以緩優(yōu)的鵬逐漸拉開，最好稍 稍傾斜地從掩t賺20的一端側(cè)剝離。在步驟6的刊紅序中，由于使浸潤掩模 版20和前面板10的構(gòu)造物的絕緣性液體干燥到某種程度，所以在步驟7的剝 離工序中，不會因絕緣性液體的液流而使顯像劑粒子擴(kuò)散，無需擔(dān)心把顯像后 的顯像劑粒子破壞。
最后，控制部200使清洗單元50動作，清洗從前面板10剝離下來的掩模 版20上所殘留的液體顯像劑(步驟8)。這時，例如從掩t繊20的表面20a和 背面20b的麗，M^圖示的噴嘴向掩t離20噴針凊洗液。另外，可以根據(jù) 需要實施該步驟8的清洗工序，并非為必要的工序。例如，在不需要多色印刷 的圖案印刷的情況下，就沒有必要對 行清洗。在清洗工序中，例如，也可 以像鵬那樣噴 洗液，用刷子清洗撤繊20，或者也可以用超聲波清洗掩 微20。
在前面板10的表面10a上形成下一種顏色的熒光體層時，利用步驟8的清 紅序清洗好的掩t織20。這時，艦顯示板66觀察用照相機(jī)61、 62、 63、 64拍攝的^i己M， f樹位機(jī)構(gòu)72動作，{頓面板10在其面方向上稍稍移動， 使前面板10相對掩模版20錯開1個像素，把^g對齊。然后，使用包含下一 種顏色的顯像劑粒子的液體顯像劑形成下一種顏色的圖案。
如以上那樣，若采用本實施方式，由于經(jīng)由具有圖案形狀的通 L22的掩模 版20用液體顯像劑直接在前面板10上形成圖案，所以能使圖案形成需要的工 序數(shù)極少，那樣就能簡化裝置結(jié)構(gòu)，而且，會旨把顯像劑的使用量抑制到必要的 最小限度，肯鏘圖案形成所需要的成本抑制得極低。由于能簡化圖案形成驢 的結(jié)構(gòu)，也能縮小其設(shè)置空間。減少圖案形成的工微就能將圖案形成需要的
ii處理時間縮得極短，能提高處理效率，斷氐駄。
由于本實施方式的圖案形成方法經(jīng)由掩模版20 ^M像劑粒子在前面板10 的凹部15內(nèi)顯像所以適宜于熒光體層等比較厚的圖案的形成，也能充分對應(yīng)
于圖案的高精細(xì)化在前面板10的內(nèi)面形成凹部15時，由于能利用光刻技術(shù)， 若采用本實施方式的方法，能高精度形艦決于凹部15的<體和微的圖案。
本發(fā)明不限定于上述的實施方式，在實施階段，在不背離其宗旨的范圍內(nèi) 能使結(jié)構(gòu)要素變形并具體化。用，實施方式公開的多個結(jié)構(gòu)要素的適當(dāng)組合 就能形成各種各樣的發(fā)明。例如，也可以從Jl^的實施方式公開的全部結(jié)構(gòu)要 素中去掉幾個結(jié)構(gòu)要素。
例如，，的實施方式中說明了在平面型圖像顯^S的前面板io上制作
熒光體層圖案的情況，但不限于此，在制作黑矩陣或濾色片時也可以適用本發(fā)
明。半導(dǎo)體繊的印刷圖案或IC ^礎(chǔ)的制造中也會採用本發(fā)明的圖案形成體
和圖案形成方法。
在戰(zhàn)的實施方式中，i細(xì)了具有相當(dāng)于在被印刷介質(zhì)(前面板10)上印 刷的印刷圖案的圖案形狀的通 L的掩，離，但所謂"相當(dāng)"也包含印刷圖案和通 孔的圖案一致的情況。艮P，在被印刷介質(zhì)表面不形成圖皿凹部15的情況下， 掩模版20的通孔22的,原原本本地構(gòu)成為印刷圖案的皿。
反之，如戰(zhàn)的實施方刻P樣，所謂"相當(dāng)"也可以是具有比印刷圖案(即， 凹部15)的輪廓小的開口的通孔22。艮口，如圖7戶標(biāo)，在ftfr面板10和掩模 版20貼緊時，只要是凹部15的內(nèi)側(cè)收容通孔22的開口的狀態(tài)，就能正常形成 圖案。還可以說，通孔22的開口皿沒有必要形成為與凹部15的皿吻合的 矩形，例如，也可以是圓形等。
在凹部15的微不《鉢實施例的那樣的點汰例如像布線圖凝,是更加 復(fù)雜的形狀的情況下，也可以在沿圖案間離開的多處配置多個通 L來供給液體 顯像劑。由于使用液體顯像劑，在凹部內(nèi)流動，遍及到各個角落，所以通孔的 形狀自由度比較高。換句話說，在把通孔的開口部定位到圖案凹部的內(nèi)側(cè)時， 如上述的那樣，無需高的位置配合精度。
由于本發(fā)明的圖案形成裝置具有上述那樣的結(jié)構(gòu)和作用，所以能簡化裝置 結(jié)構(gòu)，能減少圖案形成的工序數(shù)，能以高的位置精度、短時間、廉價地形成高 精細(xì)的圖案。
權(quán)利要求
1.一種圖案形成裝置，其特征在于，包括掩模版，該掩模版具有相當(dāng)于在被印刷介質(zhì)的表面上形成的印刷圖案的圖案狀的通孔，并被配置得接近且面對上述表面；以及顯像裝置，該顯像裝置向與上述掩模版的上述被印刷介質(zhì)相間離的背面?zhèn)裙┙o在絕緣性液體中分散了帶電的顯像劑粒子的液體顯像劑，形成通過該通孔的電場，使上述顯像劑粒子聚集在上述通孔內(nèi)，從而使上述印刷圖案在上述被印刷介質(zhì)表面上顯像。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1記載的圖案形成體其特征在于，戰(zhàn)顯^^S具有供 給戰(zhàn)液體顯像劑的供給構(gòu)件和除掉乘蜍的顯像齊啦子的去除構(gòu)件。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1記載的圖案形成^S其特征在于，還具有使，被印刷 介質(zhì)和掩豐Ilfe沿面方向相X^多動^it行對位的對位機(jī)構(gòu)。
4. 根據(jù)權(quán)利要求3記載的圖案形成體其特征在于，還有使戰(zhàn)被印刷介 質(zhì)和掩綱占緊的貼緊機(jī)構(gòu)。
5. 根據(jù)權(quán)利要求4記載的圖案形成m其特征在于，上述貼緊機(jī)構(gòu)具有用磁力使J^被印刷介質(zhì)和掩模版貼緊的磁鐵。
6. 根據(jù)權(quán)利要求4記載的圖案形成體其特征在于，戰(zhàn)貼緊機(jī)構(gòu)具有在 ，顯^^置的顯像區(qū)域按Rh^被印刷介質(zhì)和掩^lfe的按壓構(gòu)件。
7. 根據(jù)權(quán)利要求i記載的圖案形成m其特征在于，還具有為使上3^f模版上不附著上述顯像齊鵬子而^il述掩樹坂與上述顯像劑粒子同極性帶電的帶
8.根據(jù)權(quán)禾腰求1記載的圖案形成體其特征在于，在±^掩*艦的表面 涂敷有用來提高J^M像劑粒子的脫模性的脫模材料。
9. 根據(jù)權(quán)利要求1記載的圖案形成^S， ^f寺征在于，還具有千^JJ^M^^a供給的液體顯像劑中的絕緣性液體的千燥機(jī)構(gòu)。
10. 根據(jù)權(quán)利要求9記載的圖案形^S，其特征在于，戰(zhàn)千燥機(jī)構(gòu)具有 用空氣吸弓(JJ^色緣性液體的吸弓I，。
11. 根據(jù)權(quán)利要求9記載的圖案形成體，其特征在于，戰(zhàn)千燥機(jī)構(gòu)具有 吸收上3^色緣性液體的海綿狀制品。
12.根據(jù)權(quán)禾腰求9記載的圖案形成體，其特征在于，戰(zhàn)千燥機(jī)構(gòu)還具有用空氣吹風(fēng)好m^色緣性液體的千燥機(jī)。
13.根據(jù)權(quán)利要求1記載的圖案形成裝置，其特征在于，還具有在Jl^顯像 裝置顯像后清^±3^^，的清洗機(jī)構(gòu)。
14. 根據(jù)權(quán)利要求1記載的圖案形成M，其特征在于，，被印刷介質(zhì)表 面上形成有與希望的印刷圖案大體一致的圖案狀的凹部，上述掩模版的印刷圖 案狀的通 L有比上述凹部的開口小的開口 。
15. —種圖案形成方法，其特征在于，包括將具有相當(dāng)于在被印刷介質(zhì)的表面上形成的印刷圖案的圖案狀的通孔的掩 木皿配置得接近并面對，表面的面對工序；以及向與上述掩模版的上述被印刷介質(zhì)相間離的背面?zhèn)裙┙o在絕緣性液體中分 散了帶電的顯像劑粒子的液體顯像劑，形成通31±艦孔的電場，使戰(zhàn)顯像 劑粒子聚敏± 孔內(nèi)，從而使戰(zhàn)印刷圖案在戰(zhàn)被印刷介質(zhì)表面上顯像 的顯像工序。
16. 根據(jù)權(quán)利要求15記載的圖案形成方法，^#征在于，±^面對工序包含〈^h^被印刷介質(zhì)和掩ti^沿面方向相對移動^a行對位的對位工序。
17. 根據(jù)權(quán)禾腰求16記載的圖案形成方法，其特征在于，還具有在Jl^M像 工序前^m被印刷介質(zhì)和撤M貼緊的貼緊工序。
18. 根據(jù)權(quán)利要求15記載的圖案形成方法，其特征在于，還具有在上皿像 工序前^i^掩1i^與，顯像劑粒子同極性帶電的帶電工序。
19. 根據(jù)權(quán)利要求15記載的圖案形成方法其特征在于，還具有在上腿像工序后使，顯像xm共給的液體顯像劑中的絕緣性液體千燥的千MX序。
20. 根據(jù)權(quán)禾腰求19記載的圖案形成方法，其特征在于，還具被戰(zhàn)千燥 工序后剝離J^^II^和上述被印刷介質(zhì)的剝離工序。
21. 根據(jù)權(quán)利要求20記載的圖案形成方法，其特征在于，還具有在戰(zhàn)千燥 工序后清洗J^掩1t^的清^X序。
全文摘要
一種圖案形成裝置，能把具有圖案狀的通孔(22)的掩模版(20)貼緊在前面板(10)的內(nèi)面上，使通孔(22)與前面板(10)的凹部(15)的內(nèi)側(cè)對位。在該狀態(tài)下，通過顯像輥(34)供給液體顯像劑，形成通過凹部(15)和通孔(22)連續(xù)的起來顯像凹部(82)的電場。因此，帶電的顯像粒子被聚集在顯像凹部(82)內(nèi)，使前面板(10)的凹部(15)顯像。
文檔編號B41M1/42GK101541548SQ2008800000
公開日2009年9月23日 申請日期2008年1月29日 優(yōu)先權(quán)日2007年2月6日
發(fā)明者五百井俊雄, 小野寺誠, 川村信雄, 平原祥子, 石井浩一 申請人:株式會社東芝