專利名稱：模仁的制造方法及專用模具的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種模仁的制造方法，尤其是涉及一種用于壓印制程的模仁的制造方
法及專用模具。
背景技術(shù)：
壓 印技術(shù)(請參見Liang Ying-xin， Wang Tai-hong， "A New Technique forFabricat ion of Nanodevices-Nanoimprint Lithography", MicronanoelectronicTechnology， 2003， Vol. 4-5)是采用紫外光照射或加熱室溫的聚合物 實現(xiàn)固化成型的一種壓印技術(shù)，特別適用于大批量、重復性、精確制備微結(jié)構(gòu)。壓印技術(shù)是 首先制造具有微結(jié)構(gòu)的模仁，然后利用該模仁進行壓印，最后進行圖形轉(zhuǎn)移。
現(xiàn)有技術(shù)中模仁的制造方法包括如下步驟提供一透光基底和一個具有成型面 的模具；在該透光基底表面涂覆光固化材料層；利用該模具對該待固化材料層進行多次壓 印，形成模仁。然而，由于該模具壓印過程中，模具可能會發(fā)生傾斜，不能準確對準，從而降 低模仁的成型面的尺寸精度。
發(fā)明內(nèi)容
有鑒于此，有必要提供一種制程相對簡單、生產(chǎn)效率高的模仁的制造方法及專用 模具。 —種模仁的制造方法，其包括以下步驟提供一個透光基板，在該透光基板的表面 形成一層待固化材料層；提供一個模具，該模具具有一個第一成型面和至少一個第一對位 件，及一個具有通孔陣列的定位板，在每個通孔周圍設(shè)置至少一個與該第一對位件對應(yīng)的 第二對位件，將該定位板放置于該模具與該待固化材料層之間；將該模具的第一對位件與 該定位板的其中一個通孔的第二對位件對準后，將模具的第一成型面朝向待固化材料層壓 下，在該待固化材料層形成一個第二成型面，使該第二成型面所覆蓋的待固化材料層區(qū)域 固化；移開模具，將該模具與該定位板其余的每個通孔均重復上一個步驟，即得到具有多個 第二成型面的模仁。 —種用于實施上述模仁的制造方法的專用模具，該模具具有一底部，及一連接于 該底部的成型部，該成型部遠離該底部的一端具有所述一個第一成型面，該底部與該成型 部相接的表面設(shè)有所述至少一個第一對位件。 相較于現(xiàn)有技術(shù)，本發(fā)明的模仁的制造過程中，通過該模具的第一對位件與該定 位板的第二定位件對準后進行壓印，可提高模仁的第二成型面的尺寸精度。
圖1是本發(fā)明實施例提供的模仁的制造方法的流程圖。
圖2是本發(fā)明實施例提供的透光基板上形成有待固化材料層的剖視示意圖。
圖3是本發(fā)明實施例提供的模具和定位板的剖視示意圖。
圖4是圖3的模具的仰視示意圖。 圖5是圖3的定位板的俯視示意圖。 圖6是本發(fā)明實施例提供的形成一個第二成型面的狀態(tài)示意圖。 圖7是本發(fā)明實施例提供的模仁的剖視示意圖。
具體實施例方式
下面將結(jié)合附圖，對本發(fā)明實施例作進一步的詳細說明。 請參閱圖l，其為本發(fā)明實施例中模仁的制造方法的流程圖。該方法包括以下步 驟 提供一個透光基板，在該透光基板的表面形成一層待固化材料層； 提供一個模具，該模具具有一個第一成型面和至少一個第一對位件，及一個具有
通孔陣列的定位板，在每個通孔周圍設(shè)置至少一個與該第一對位件對應(yīng)的第二對位件，將
該定位板放置于該模具與該待固化材料層之間； 將該模具的第一對位件與該定位板的其中一個通孔的第二對位件對準后，將模具 的第一成型面朝向待固化材料層壓下，在該待固化材料層形成一個第二成型面，使該第二 成型面所覆蓋的待固化材料層區(qū)域固化； 移開模具，將該模具與該定位板其余的每個通孔均重復上一個步驟，即得到具有 多個第二成型面的模仁。 下面結(jié)合圖2至圖7對本發(fā)明實施例中模仁的制造方法進行詳細說明。
請參閱圖2，首先提供一透光基板30，該透光基板30的材料是一種透光材料，例如 玻璃，優(yōu)選地，可以是穿透率大于95%的光學玻璃。該透光基板30具有兩個相對的表面，即 第一表面302和第二表面304。 利用裂縫涂布(Slit Coat)或者自轉(zhuǎn)式涂布法或其它涂布法在該透光基板30的 第一表面302涂布一層粘性流體狀態(tài)的待固化材料層40。該待固化材料層40為光固化材 料層或熱固化材料層，優(yōu)選為光固化材料層。在本實施例中，該待固化材料為環(huán)氧樹脂。當 然，也可為丙烯酸系樹脂、聚氨基甲酸酯或聚硅氧樹脂。 請一并參閱圖3至圖5，提供一個模具10。該模具10由超精密加工技術(shù)制成，其 具有一底部ll，及一連接于該底部11的成型部14。該底部11與該成型部14相接的表面 112設(shè)有兩個呈中心對稱分布的第一對位件114。在本實施例中，該第一對位件114為"十" 字形，當然，也可以為其他形狀，如一字型。該第一對位件114可凸出形成或凹陷形成于該 表面112，在本實施例中，該第一對位件114凹陷形成于該表面112。該成型部14為一圓柱 體，該成型部14遠離該底部11的一端具有一個第一成型面141。該第一成型面141為內(nèi)凹 或外凸的球面或非球面。在本實施例中，該第一成型面141為外凸的非球面。
提供一個具有通孔陣列202的定位板20，該每個通孔202的直徑與該成型部14的 直徑相當，每個通孔202周圍設(shè)有兩個與該第一對位件114相對應(yīng)的第二對位件204。在本 實施例中，該第二對位件204是凸出形成于該定位板20的表面。 請參閱圖6，該定位板20位于該待固化材料層40及該模具10之間。將該模具10 的兩個第一對位件114與該定位板20的其中一個通孔的兩個第二對位件204在顯微鏡(圖 未示)下對準后，將模具10的第一成型面141朝向待固化材料層40壓下，從而在該待固化材料層40形成一第二成型面402，該第二成型面402與該第一成型面141相匹配，為內(nèi)凹的 非球面。隨后從透光基板30的第二表面304向該第二成型面402照射紫外光使該第二成 型面402所覆蓋的待固化材料層區(qū)域固化。 移開模具IO，將該模具10的兩個第一對位件114依次與該定位板20其余的每個 通孔的兩個第二對位件204對準后，重復上一個步驟，即可得到如圖7所示的具有多個第二 成型面402的模仁60。在形成每一個第二成型面402的過程中，要控制好紫外光線，避免其 他未形成第二成型面402的待固化材料層區(qū)域被固化。 相較于現(xiàn)有技術(shù)，本發(fā)明的模仁60的制造過程中，通過該模具10的第一對位件 114與該定位板20的第二定位件204對準后進行壓印，可提高模仁60的第二成型面402的 尺寸精度。 另外，對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，可以根據(jù)本發(fā)明的技術(shù)方案和技術(shù)構(gòu)思 做出其他各種相應(yīng)的變化，而所有這些變化都應(yīng)屬于本發(fā)明權(quán)利要求的保護范圍。
權(quán)利要求
一種模仁的制造方法，其包括以下步驟提供一個透光基板，在該透光基板的表面形成一層待固化材料層；提供一個模具，該模具具有一個第一成型面和至少一個第一對位件，及一個具有通孔陣列的定位板，在每個通孔周圍設(shè)置至少一個與該第一對位件對應(yīng)的第二對位件，將該定位板放置于該模具與該待固化材料層之間；將該模具的第一對位件與該定位板的其中一個通孔的第二對位件對準后，將模具的第一成型面朝向待固化材料層壓下，在該待固化材料層形成一個第二成型面，使該第二成型面所覆蓋的待固化材料層區(qū)域固化；移開模具，將該模具與該定位板其余的每個通孔均重復上一個步驟，即得到具有多個第二成型面的模仁。
2. 如權(quán)利要求1所述的模仁的制造方法，其特征在于，利用裂縫涂布法或自轉(zhuǎn)式涂布 法在該透光基板表面形成待固化材料層。
3. 如權(quán)利要求1所述的模仁的制造方法，其特征在于，該定位板的每個通孔周圍設(shè)有 兩個第二對位件。
4. 如權(quán)利要求1所述的模仁的制造方法，其特征在于，該待固化材料為光固化材料。
5. 如權(quán)利要求4所述的模仁的制造方法，其特征在于，該待固化材料為環(huán)氧樹脂、丙烯 酸系樹脂、聚氨基甲酸酯或聚硅氧樹脂。
6. 如權(quán)利要求1所述的模仁的制造方法，其特征在于，該模具由超精密加工方法制成。
7. —種用于實施如權(quán)利要求1所述模仁的制造方法的專用模具，該模具具有一底部， 及一連接于該底部的成型部，該成型部遠離該底部的一端具有所述第一成型面，其特征在 于，該底部與該成型部相接的表面設(shè)有所述至少一個第一對位件。
8. 如權(quán)利要求7所述的模具，其特征在于，該第一對位件的數(shù)目為兩個，兩個第一對位 件呈中心對稱分布。
9. 如權(quán)利要求7所述的模具，其特征在于，該第一對位件凸出形成或凹陷形成于該底 部與該成型部相接的表面。
10. 如權(quán)利要求7所述的模具，其特征在于，該第一對位件為"十"字型。
全文摘要
本發(fā)明提供一種模仁的制造方法，包括以下步驟提供一個透光基板，在其表面形成一層待固化材料層；提供一個模具，該模具具有一個第一成型面和至少一個第一對位件，及一個具有通孔陣列的定位板，在每個通孔周圍設(shè)置至少一個與該第一對位件對應(yīng)的第二對位件，將定位板放置于該模具與該待固化材料層之間；將該模具的第一對位件與該定位板的其中一個通孔的第二對位件對準后，將模具的第一成型面朝向待固化材料層壓下，在該待固化材料層形成一個第二成型面，使該第二成型面所覆蓋的待固化材料層區(qū)域固化；移開模具，將該模具與該定位板其余的每個通孔均重復上一個步驟，即得到具有多個第二成型面的模仁。本發(fā)明還提供一種用于制造上述模仁的專用模具。
文檔編號B41C3/00GK101746105SQ20081030589
公開日2010年6月23日 申請日期2008年12月1日 優(yōu)先權(quán)日2008年12月1日
發(fā)明者駱世平 申請人:鴻富錦精密工業(yè)(深圳)有限公司;鴻海精密工業(yè)股份有限公司