專利名稱：液滴噴出方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及通過液滴噴出頭向基板等工件噴出功能液的液滴噴出裝置及方法、成膜裝置及成膜方法、器件制造方法及電子儀器。
背景技術(shù)：
可進(jìn)行彩色印刷的噴墨打印機(jī)等的液滴噴出裝置在滑架上設(shè)有多個(gè)液滴噴出頭，在各個(gè)液滴噴出頭導(dǎo)入各種顏色的墨水(液滴)。在這種結(jié)構(gòu)的液滴噴出裝置中，通過按照打印數(shù)據(jù)對各個(gè)頭進(jìn)行獨(dú)立的驅(qū)動(dòng)，控制各種顏色液滴的噴出，進(jìn)行彩色打印。這樣，雖然設(shè)計(jì)出了具有多個(gè)液滴噴出頭的液滴噴出裝置，但該結(jié)構(gòu)的液滴噴出裝置中所設(shè)置的液滴噴出頭具有同樣的規(guī)格。關(guān)于具有多個(gè)液滴噴出頭的液滴噴出裝置的具體結(jié)構(gòu)，例如可參照以下的專利文獻(xiàn)1。
專利文獻(xiàn)1特開2001-277658但是，對應(yīng)不同的成為功能液噴出對象的工件，為了形成多種功能膜，有時(shí)需要噴出粘性不同的多種功能液。例如，在顯微鏡用標(biāo)本上的檢驗(yàn)體上涂敷染色體，用覆膜材料將其密封固定，從而可作成省去了玻璃蓋片的顯微鏡標(biāo)本。在這種技術(shù)中，需要由液滴噴出頭同時(shí)進(jìn)行低粘性檢驗(yàn)體染色劑(功能液)的噴出和高粘性覆膜材料(功能液)的噴出。
在噴出低粘性檢驗(yàn)體染色劑時(shí)和噴出高粘性覆膜材料時(shí)，需要使用規(guī)格不同的功能液滴噴出頭。為此，簡單地講，或者使用2臺分別配置有不同規(guī)格的液滴噴出頭的液滴噴出裝置，或者使用1臺可適當(dāng)更換液滴噴出頭(包括功能液供給系統(tǒng))的液滴噴出裝置。
但是，如果使用前者的液滴噴出頭，則需要將工件搬運(yùn)到其它液滴噴出裝置的時(shí)間，如果使用后者的液滴噴出裝置，則需要更換液滴噴出頭等的更換時(shí)間，因此，總體來說，使對各個(gè)工件的液滴噴出處理變得非常復(fù)雜。為了解決上述的問題點(diǎn)，則希望構(gòu)成在1個(gè)液滴噴出裝置中設(shè)置不同規(guī)格的液滴噴出頭，進(jìn)一步簡化裝置的結(jié)構(gòu)，因此，理想的是采用具有兼容的液滴噴出頭驅(qū)動(dòng)電路的結(jié)構(gòu)。
在液滴噴出頭的驅(qū)動(dòng)電路中設(shè)置有為了防止因寄生電容等導(dǎo)致的打印品質(zhì)下降的假負(fù)載電路。該假負(fù)載的最佳值雖然是根據(jù)不同的頭的規(guī)格而不同，但是，存在著如果如上述那樣地使用兼容的驅(qū)動(dòng)電路驅(qū)動(dòng)規(guī)格不同的液滴噴出頭，則不能針對不同頭的種類設(shè)定最佳的假負(fù)載值，因此導(dǎo)致打印品質(zhì)下降的問題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明就是為了解決上述的問題而提出的，其目的是，提供一種不會(huì)導(dǎo)致打印品質(zhì)下降、能夠噴出多種功能液液滴、可高效地進(jìn)行工件處理的液滴噴出裝置及方法、成膜裝置及方法、器件制造方法及電子儀器。
為了解決上述的問題，本發(fā)明之1的液滴噴出裝置是一種向工件噴出液滴的液滴噴出裝置，其特征在于包括多種液滴噴出頭；具有用于抑制施加與所述液滴噴出頭的驅(qū)動(dòng)波形的振蕩的電路的多個(gè)控制裝置；對應(yīng)從所述液滴噴出頭噴出的所述液滴的種類選擇出所述多個(gè)所述控制裝置其中之一的選擇裝置，通過由所述選擇裝置所選擇的所述控制裝置將所述驅(qū)動(dòng)波形施加于所述液滴噴出頭。
根據(jù)本發(fā)明，由于對應(yīng)噴出的液滴的種類選擇控制裝置，通過所選擇的控制裝置向液滴噴出頭施加驅(qū)動(dòng)波形，所以，對應(yīng)驅(qū)動(dòng)的液滴噴出頭選擇出用于抑制驅(qū)動(dòng)波形的振蕩的最佳的電路，不會(huì)導(dǎo)致打印品質(zhì)的下降，而且能夠?qū)崿F(xiàn)各種功能液的多樣化的液滴噴出。另外，由于不需要進(jìn)行更換液滴噴出頭的操作，從而可進(jìn)行高效率的工件處理。
這里，理想的是，所述選擇裝置具有與所述控制裝置和所述液滴噴出頭連接的多個(gè)電開關(guān)，通過切換該電開關(guān)的連接狀態(tài)，選擇與所述液滴噴出頭連接的多個(gè)所述控制裝置其中之一。
而且，所述選擇裝置最好具有切換與所述控制裝置和所述液滴噴出頭的電連接狀態(tài)的多個(gè)機(jī)械開關(guān)。
并且，所述電開關(guān)最好是模擬開關(guān)，所述機(jī)械開關(guān)最好是由用戶操作的撥動(dòng)開關(guān)。
而且，根據(jù)本發(fā)明之1的液滴噴出裝置的又一特征是具有配置有所述多種液滴噴出頭的滑架；分別向所述多種液滴噴出頭供給功能液的功能液供給機(jī)構(gòu)；通過所述滑架使所述多種液滴噴出頭相對所述工件移動(dòng)的移動(dòng)機(jī)構(gòu)；與所述移動(dòng)機(jī)構(gòu)同步地控制所述液滴噴出頭的某一個(gè)的噴出驅(qū)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)控制裝置。
為了解決上述的問題，本發(fā)明之2的液滴噴出裝置，是一種向工件噴出液滴的液滴噴出裝置，其特征在于包括具有各個(gè)規(guī)格互不相同的液滴噴出頭，并具有可更換的結(jié)構(gòu)的頭單元；對被設(shè)置在所配置的頭單元上的所述液滴噴出頭進(jìn)行驅(qū)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)裝置，各個(gè)所述頭單元包括具有用于抑制對應(yīng)所設(shè)置的所述液滴噴出頭的電特性而選擇的驅(qū)動(dòng)波形的振蕩的電路的多個(gè)控制裝置。
根據(jù)本發(fā)明，由于由液滴噴出頭和用于抑制對應(yīng)液滴噴出頭而選擇的驅(qū)動(dòng)波形的振蕩的電路構(gòu)成頭單元，并能夠?qū)︱?qū)動(dòng)裝置更換該頭單元，所以，只需更換(安裝)頭單元，便完成了液滴噴出頭及用于抑制驅(qū)動(dòng)波形的振蕩的電路與驅(qū)動(dòng)裝置的連接，從而，能夠進(jìn)行保證打印品質(zhì)的液滴噴出。而且，即使是具有各個(gè)特性互不相同的液滴噴出頭的頭單元，由于也能夠與同一驅(qū)動(dòng)裝置連接，所以可降低裝置的成本。
這里，在本發(fā)明之1及本發(fā)明之2的液滴噴出裝置中，所述控制裝置最好包括電阻成分和電容成分。
為了解決上述的問題，本發(fā)明之1的液滴噴出方法，是一種向工件噴出液滴的液滴噴出方法，其特征在于包括從規(guī)格互不相同的多個(gè)液滴噴出頭選擇出應(yīng)驅(qū)動(dòng)的液滴噴出頭的頭選擇工序；對應(yīng)從所述液滴噴出頭噴出的所述液滴的種類，從具有用于抑制施加于所述液滴噴出頭的驅(qū)動(dòng)波形的振蕩的電路的多個(gè)控制裝置中選擇某一個(gè)的控制裝置選擇工序；通過由所述控制裝置選擇工序所選擇的控制裝置向由所述頭選擇工序所選擇的液滴噴出頭供給驅(qū)動(dòng)信號，使其噴出所述液滴的驅(qū)動(dòng)工序。
為了解決上述的問題，本發(fā)明之2的液滴噴出方法，向工件噴出液滴，包括頭單元配置工序，配置頭單元，該頭單元具有液滴噴出頭和與該液滴噴出頭的電特性對應(yīng)的控制裝置；驅(qū)動(dòng)工序，通過在上述頭單元配置工序配置的頭單元所具有的上述控制裝置向上述液滴噴出頭供給驅(qū)動(dòng)信號，使上述液滴噴出。
本發(fā)明的成膜裝置，其特征是具有上述的任意一種液滴噴出裝置。
本發(fā)明的成膜方法，其特征在于包括使用上述的任意液滴噴出裝置或上述的任意液滴噴出方法，噴出液滴，進(jìn)行成膜的工序。
本發(fā)明的器件制造方法，是一種具有在規(guī)定的部位上形成具有功能性圖形的工件的器件制造方法，其特征在于包括在所述工件的規(guī)定部位上，使用上述的任意液滴噴出裝置或上述的任意液滴噴出方法，噴出液滴，在所述工件上形成所述圖形的工序。
本發(fā)明的電子儀器是通過使用上述的任意液滴噴出裝置或上述的任意液滴噴出方法制造而成。


圖1是表示本發(fā)明實(shí)施例1的液滴噴出裝置的概略構(gòu)成的方框圖。
圖2是表示具有本發(fā)明實(shí)施例1的液滴噴出裝置的頭單元6的構(gòu)成的圖。
圖3是表示使用本發(fā)明實(shí)施例1的液滴噴出裝置的第1基板處理例的圖。
圖4是表示使用本發(fā)明實(shí)施例1的液滴噴出裝置的第2基板處理例的圖。
圖5是表示具有本發(fā)明實(shí)施例1的液滴噴出裝置的頭驅(qū)動(dòng)器及液滴噴出頭的電路結(jié)構(gòu)的圖。
圖6是表示具有本發(fā)明實(shí)施例2的液滴噴出裝置的頭驅(qū)動(dòng)器及液滴噴出頭的電路結(jié)構(gòu)的圖。
圖7是表示具有本發(fā)明實(shí)施例3的液滴噴出裝置的頭驅(qū)動(dòng)器及液滴噴出頭的電路結(jié)構(gòu)的圖。
圖8是說明使用本發(fā)明的液滴噴出裝置制造的光內(nèi)部連接器裝置用的微透鏡陣列的說明圖。
圖9是說明使用本發(fā)明的液滴噴出裝置制造的光內(nèi)部連接器裝置用的微透鏡陣列的說明圖。
圖10是示意表示使用了運(yùn)用本發(fā)明的液滴噴出裝置制造的彩色濾色基板的液晶裝置的結(jié)構(gòu)的剖面圖。
圖11A及圖11B是表示在彩色濾色基板上的各色的配置狀態(tài)的說明圖。
圖12是表示有機(jī)EL裝置的構(gòu)成的一例的剖面圖。
圖13是表示等離子型顯示裝置的構(gòu)成的一部分的分解立體圖。
圖14A～14C是表示具有電場發(fā)射元件的電場發(fā)射顯示器(FED)的構(gòu)成的圖。
具體實(shí)施例方式
下面，參照附圖，對本發(fā)明的實(shí)施例的液滴噴出裝置及方法、成膜裝置及成膜方法、器件制造方法及電子儀器進(jìn)行詳細(xì)的說明。
(實(shí)施例1)圖1是表示本發(fā)明實(shí)施例1的液滴噴出裝置的概略構(gòu)成的方框圖。如圖1所示，本實(shí)施例的液滴噴出裝置1具有設(shè)置在機(jī)座2上的作為移動(dòng)機(jī)構(gòu)的X軸移動(dòng)臺3及Y軸移動(dòng)臺4。在X軸移動(dòng)臺3上安裝有移動(dòng)自如的主滑架5，在該主滑架5上設(shè)置有頭單元6。此外，雖然將在下面進(jìn)行詳細(xì)地說明，在頭單元6上通過副滑架7配置有規(guī)格不同的多種(在本實(shí)施例中為3種)液滴噴出頭8(8a、8b、8c)。另外，作為工件的基板W被配置在Y軸移動(dòng)臺4上。
另外，液滴噴出裝置1具有作為將功能液供給到多種液滴噴出頭8各個(gè)頭的功能液滴供給裝置的功能液供給裝置9，并且具有用于對X軸移動(dòng)臺3及Y軸移動(dòng)臺4以及多種液滴噴出頭8等的驅(qū)動(dòng)進(jìn)行控制的控制裝置10。該控制裝置10與為了生成多種液滴噴出頭8的噴出圖形數(shù)據(jù)的個(gè)人計(jì)算機(jī)11連接。
此外，雖然在圖1中未示出，但液滴噴出裝置1具有接受液滴噴出頭8的定期沖洗(從全部噴嘴舍棄噴出功能液)的沖洗單元、對液滴噴出頭8的噴嘴面進(jìn)行清洗的清洗單元及進(jìn)行液滴噴出頭8的功能液吸收及保管的清潔單元等。
X軸移動(dòng)臺3具有包括電機(jī)12、由電機(jī)12驅(qū)動(dòng)的X軸滑塊13而構(gòu)成的X軸方向的驅(qū)動(dòng)系，在其上移動(dòng)自如地配置主滑架5。另外，Y軸移動(dòng)臺4具有包括電機(jī)14、由電機(jī)14驅(qū)動(dòng)的X軸滑塊15而構(gòu)成的Y軸方向的驅(qū)動(dòng)系，在其上移動(dòng)自如地配置由吸附臺等構(gòu)成的裝載臺16。而且，在裝載臺16上將基板W保持成被定位的狀態(tài)。
本實(shí)施例的液滴噴出裝置1構(gòu)成了與通過X軸移動(dòng)臺3的驅(qū)動(dòng)的液滴噴出頭8的移動(dòng)同步地驅(qū)動(dòng)(功能液滴的選擇性的噴出)各個(gè)液滴噴出頭8的結(jié)構(gòu)。即，液滴噴出頭8的所謂的主掃描是在X軸移動(dòng)臺3的X方向上進(jìn)行往復(fù)的運(yùn)動(dòng)。而且，與之對應(yīng)，所謂的副掃描是由Y軸移動(dòng)臺4使基板W在Y軸方向上進(jìn)行往復(fù)運(yùn)動(dòng)。而且，與上述掃描同步進(jìn)行的各個(gè)液滴噴出頭8的驅(qū)動(dòng)是根據(jù)由上述的個(gè)人計(jì)算機(jī)11作成的噴出圖形數(shù)據(jù)而進(jìn)行。
功能液供給裝置9具有與各個(gè)液滴噴出頭8相對應(yīng)的3種副墨水盒17(17a、17b、17c)、與副墨水盒17連接的3種主墨水盒及將各個(gè)主墨水盒的功能液輸送到對應(yīng)的副墨水盒17的壓力液體輸送裝置(均未圖示)。各個(gè)主墨水盒的功能液分別被壓力輸送到對應(yīng)的第1副墨水盒17a、第2副墨水盒17b、第3副墨水盒17c。在各個(gè)副墨水盒17中被壓力擠出的功能液分別在對應(yīng)的各個(gè)液滴噴出頭8的泵作用下，被輸送到各個(gè)液滴噴出頭8。另外，雖省略了圖示，但上述的壓力液體輸送裝置也受上述的控制裝置10的控制。
下面，說明具有本實(shí)施例的液滴噴出裝置的頭單元6的結(jié)構(gòu)。圖2是表示具有本發(fā)明實(shí)施例1的液滴噴出裝置的頭單元6的構(gòu)成的圖。如圖2所示，頭單元6具有包括由不銹鋼等的厚板構(gòu)成的副滑架9和被高精度地定位固定在副滑架9上的3種液滴噴出頭8的結(jié)構(gòu)。
如圖2所示，液滴噴出頭8由第1噴出頭8a、第1噴出頭8b及第3噴出頭8c構(gòu)成。如果設(shè)位于第1噴出頭8a～第3噴出頭8c的各個(gè)最外端位置的噴嘴為基準(zhǔn)噴嘴N1～N3，則，設(shè)置在在第1噴出頭8a～第3噴出頭8c中的噴嘴被整列配置成在副操作方向(Y方向)上使基準(zhǔn)噴嘴N1～N3被排列在與主掃描方向(X方向)平行的點(diǎn)劃線L上。而且，在X方向上的副滑架9的中間位置的在Y方向上的兩端部上，設(shè)置有一對定位基準(zhǔn)銷P1、P2。
上述的基準(zhǔn)噴嘴N1～N3被用于例如第1噴出頭8a的兩噴嘴列之間的噴射位置的補(bǔ)償(噴出圖形數(shù)據(jù)的補(bǔ)償)或作為第1噴出頭8a、第2噴出頭8b及第3噴出頭8c相互之間的噴射位置補(bǔ)償?shù)鹊亩ㄎ换鶞?zhǔn)。另外，在將各個(gè)噴出頭8a、8b、8c固定在副滑架9上時(shí)，也把基準(zhǔn)噴嘴N1～N3作為基準(zhǔn)進(jìn)行定位。另外，上述的一對基準(zhǔn)銷P1、P2被用于作為頭單元6的定位基準(zhǔn)。
上述的3種液滴噴出頭8(第1噴出頭8a～第3噴出頭8c)其規(guī)格互不相同。例如，第1噴出頭8a為具有2列排列設(shè)置了180個(gè)噴嘴的噴嘴列的規(guī)格，而第2噴出頭8b為具有3列排列設(shè)置了96個(gè)噴嘴的噴嘴列的規(guī)格，第3噴出頭8c為具有1列排列設(shè)置了3個(gè)噴嘴的噴嘴列的規(guī)格。
這樣，之所以配備多個(gè)不同規(guī)格的液滴噴出頭8，是為了例如將不同種類的液滴，改變其液滴量(重量、體積)噴射到基板W上。
下面，對使用了液滴噴出裝置的基板處理進(jìn)行說明。圖3是表示使用本發(fā)明實(shí)施例1的液滴噴出裝置的第1基板處理例的圖。
如圖3所示，在向作為被設(shè)定了形成有堤岸B1的矩陣狀的繪圖區(qū)域R1的工件的基板W的各個(gè)凹部K1噴出揮發(fā)性的第1功能液D1的同時(shí)，向全體繪圖區(qū)域R1噴出覆膜用的第2功能液D2，將各個(gè)凹部K1中的第1功能液D1密封，并且在發(fā)生了第1功能液D1及第2功能液D2的噴射不良的情況下，作為不良品，可在標(biāo)記區(qū)域R2上使用第3功能液D3繪制表示不良的標(biāo)記。
在這種情況下，例如將上述的揮發(fā)性第1功能液D1導(dǎo)入第1噴出頭8a，將覆膜用第2功能液D2導(dǎo)入第2噴出頭8b，將標(biāo)記用第3功能液D3導(dǎo)入第3噴出頭8c，邊改變基板W與液滴噴出頭8之間的相對位置，邊將液滴從第1噴出頭8a～第3噴出頭8c噴出。另外，第1功能液D1使用粘度比較低的功能液，第2功能液D2使用粘度比較高的功能液，并且標(biāo)記用的第3功能液D3使用具有與第2功能液D2基本相同粘性的功能液。
圖4是表示使用本發(fā)明實(shí)施例1的液滴噴出裝置的第2基板處理例的圖。如圖4所示，在向作為被設(shè)定了形成有堤岸B1的矩陣狀的繪圖區(qū)域R1的工件的基板W的各個(gè)凹部K1順序地噴出成為2種類型的發(fā)光功能液(或彩色濾色片的濾色片功能液)的A功能液(發(fā)光劑)D11和B功能液(固化劑)的同時(shí)，與上述同樣地會(huì)存在在標(biāo)記區(qū)域R2上使用第3功能液D3繪制表示不良的標(biāo)記的情況。
在這種情況下，例如將A功能液D11導(dǎo)入第1噴出頭8a，將B功能液D12導(dǎo)入第2噴出頭8b，將第3功能液D3導(dǎo)入第3噴出頭，邊改變基板W與液滴噴出頭8之間的相對位置，邊將液滴從第1噴出頭8a～第3噴出頭8c噴出。這樣，通過具備多個(gè)液滴噴出頭，可以點(diǎn)狀高精度地噴出微小的不同種類的液滴，因此，只要在功能液(噴出對象液)中使用特殊的墨水、發(fā)光性或感光性的樹脂，便可應(yīng)用于各種元器件的制造領(lǐng)域中。
另外，在圖3及圖4所示的基板處理例中，考慮到第1功能液D1～第3功能液D3的種類及其噴出的方式，采用了第1噴出頭8a的單位噴嘴的功能液滴噴出量少，第2噴出頭8b的單位噴嘴的功能液滴噴出量多，第3噴出頭8c的單位噴嘴的功能液滴噴出量極其多的規(guī)格。
再返回圖1，控制裝置10具有控制部18、頭驅(qū)動(dòng)器19、X軸電機(jī)驅(qū)動(dòng)器20及Y軸電機(jī)驅(qū)動(dòng)器21，對液滴噴出裝置1中的各個(gè)裝置進(jìn)行統(tǒng)一控制?？刂撇?8與個(gè)人計(jì)算機(jī)11連接，響應(yīng)從個(gè)人計(jì)算機(jī)11輸出的控制指令，驅(qū)動(dòng)頭驅(qū)動(dòng)器19、X軸電機(jī)驅(qū)動(dòng)器20及Y軸電機(jī)驅(qū)動(dòng)器21。頭驅(qū)動(dòng)器19驅(qū)動(dòng)液滴噴出頭8(第1噴出頭8a～第3噴出頭8c)。
下面，說明頭驅(qū)動(dòng)器19的內(nèi)部結(jié)構(gòu)。圖5是表示具有本發(fā)明實(shí)施例1的液滴噴出裝置的頭驅(qū)動(dòng)器及液滴噴出頭的電路結(jié)構(gòu)的圖。另外，在圖5中，只圖示了為了說明本發(fā)明的必要的構(gòu)成。如圖5所示，頭驅(qū)動(dòng)器19包括將用于驅(qū)動(dòng)液滴噴出頭8(第1噴出頭8a～第3噴出頭8c)的驅(qū)動(dòng)波形COM進(jìn)行放大的放大器30、成為假負(fù)載的控制裝置的假負(fù)載電路31a～31c及模擬開關(guān)32a～32c、33a～33c。
假負(fù)載電路31a是電阻與電容的串聯(lián)電路，對應(yīng)第1噴出頭8a～第3噴出頭8c的電特性設(shè)定其電阻值和電容值。模擬開關(guān)32a～32c、33a～33c是對應(yīng)打印數(shù)據(jù)DATA進(jìn)行開關(guān)的電開關(guān)，其相當(dāng)于本發(fā)明中的切換裝置的一部分。
將串聯(lián)連接模擬開關(guān)32a、33a的電路、串聯(lián)連接模擬開關(guān)32b、33b的電路、串聯(lián)連接模擬開關(guān)32c、33c的電路并聯(lián)連接，并連接放大器30和液滴噴出頭8(第1噴出頭8a～第3噴出頭8c)。此外，假負(fù)載電路31a與模擬開關(guān)32a、33a連接、假負(fù)載電路31b與模擬開關(guān)32b、33b連接、假負(fù)載電路31c與模擬開關(guān)32c、33c連接。
液滴噴出頭8(第1噴出頭8a～第3噴出頭8c)具有與設(shè)置的噴出頭數(shù)相同數(shù)量模擬開關(guān)35和壓電元件等的壓力發(fā)生元件36。全部的模擬開關(guān)35與設(shè)置在頭驅(qū)動(dòng)器19中的模擬開關(guān)33a～33c連接，通過假負(fù)載電路31a～31c將驅(qū)動(dòng)波形COM供給到壓力發(fā)生元件36。
另外，將打印數(shù)據(jù)DATA供給到各個(gè)模擬開關(guān)35，對應(yīng)該打印數(shù)據(jù)DATA控制其開狀態(tài)及關(guān)狀態(tài)。例如，被供給了作為打印數(shù)據(jù)DATA的值的[1]的模擬開關(guān)35成為開狀態(tài)，使通過假負(fù)載電路31a～31c的驅(qū)動(dòng)波形COM通過處于開狀態(tài)的模擬開關(guān)35被供給到壓力發(fā)生元件36，由此從壓力發(fā)生元件36噴出液滴。
如上所述，由于打印數(shù)據(jù)DATA被供給到液滴噴出頭8(第1噴出頭8a～第3噴出頭8c)所具有的全部模擬開關(guān)35，所以，根據(jù)該打印數(shù)據(jù)DATA的值可選擇出應(yīng)驅(qū)動(dòng)的液滴噴出頭8(第1噴出頭8a～第3噴出頭8c)。而且，打印數(shù)據(jù)DATA還被供給到上述的模擬開關(guān)32a～32c、33a～33c。
模擬開關(guān)32a～32c、33a～33c被設(shè)定成根據(jù)打印數(shù)據(jù)分別成為獨(dú)立的開關(guān)狀態(tài)。因此，通過使模擬開關(guān)32a、33a、模擬開關(guān)32b、33b及模擬開關(guān)32c、33c中的任意一對成為開狀態(tài)，可使液滴噴出頭8只與假負(fù)載電路31a～31c中的任意一個(gè)連接。
另外，通過使模擬開關(guān)32a、33a、模擬開關(guān)32b、33b及模擬開關(guān)32c、33c中的多對成為開狀態(tài)，可使液滴噴出頭8與假負(fù)載電路31a～31c中的多個(gè)連接。這樣，只要將液滴噴出頭8與假負(fù)載電路31a～31c中的多個(gè)連接，可將預(yù)先準(zhǔn)備好的電負(fù)載(假負(fù)載電路31a～31c的各個(gè)負(fù)載)以外的電負(fù)載與液滴噴出頭8連接。因此，即使在液滴噴出頭8的負(fù)載發(fā)生變化的情況下，也可以穩(wěn)定地噴出液滴。
通常的打印數(shù)據(jù)DATA雖然只用于控制壓力發(fā)生元件36的壓力發(fā)生動(dòng)作，進(jìn)行液滴的噴出控制，但在本實(shí)施例中，除此以外，還根據(jù)打印數(shù)據(jù)DATA的內(nèi)容，進(jìn)行應(yīng)驅(qū)動(dòng)的液滴噴出頭8的選擇、與液滴噴出頭8連接的假負(fù)載電路31a～31c的切換。此外，應(yīng)注意的是，在進(jìn)行液滴噴出的過程中，不能進(jìn)行根據(jù)打印數(shù)據(jù)DATA的液滴噴出頭8及假負(fù)載電路31a～31c的切換。
在上述的構(gòu)成中，在開始進(jìn)行向基板W噴出液滴的動(dòng)作之前，從控制部18向頭驅(qū)動(dòng)器19輸出選擇液滴噴出頭8的控制信號。根據(jù)該控制信號，頭驅(qū)動(dòng)器19輸出表示選擇(切換)液滴噴出頭8(第1噴出頭8a～第3噴出頭8c中的任意頭)的打印數(shù)據(jù)DATA。當(dāng)該打印數(shù)據(jù)DATA被輸出后，應(yīng)被驅(qū)動(dòng)的液滴噴出頭便被選擇(頭選擇工序)。這里被選擇的是第1噴出頭8a。
當(dāng)選擇了液滴噴出頭后，接下來頭驅(qū)動(dòng)器19根據(jù)從控制部18輸出的控制信號，想被選擇的液滴噴出頭輸出表示選擇(切換)應(yīng)連接的假負(fù)載電路含義的打印數(shù)據(jù)DATA(假負(fù)載選擇工序)。根據(jù)該打印數(shù)據(jù)DATA，模擬開關(guān)32a、33a、模擬開關(guān)32b、33b及模擬開關(guān)32c、33c中的一對或多對成為開狀態(tài)，使假負(fù)載電路31a～31c中的一個(gè)或多個(gè)與液滴噴出頭構(gòu)成電連接。
當(dāng)完成了液滴噴出頭8及假負(fù)載電路的選擇后，例如在圖3所示的基板上，通過驅(qū)動(dòng)電機(jī)使頭單元6沿X方向進(jìn)行掃描，將驅(qū)動(dòng)波形COM經(jīng)過被選擇的假負(fù)載電路供給到第1噴出頭8a，從而將第1功能液D1噴出到各個(gè)凹部K1中(驅(qū)動(dòng)工序)。然后，與上述同樣地按照從控制部18輸出的控制信號，進(jìn)行根據(jù)打印數(shù)據(jù)DATA的液滴噴出頭8及假負(fù)載電路的選擇。這里，令第2噴出頭8b被選擇。當(dāng)選擇結(jié)束后，接著由第2噴出頭8b在繪圖區(qū)域R1上實(shí)施第2功能液D2的粘稠涂抹式的噴涂。
另外，在圖4所示的基板處理中，在頭單元6的掃描過程中，使第1噴出頭8a先于第2噴出頭8b進(jìn)行掃描(只向一個(gè)方向的掃描)，由第1噴出頭8a向各個(gè)凹部K1噴出A功能液D11，然后立即由第2噴出頭8b在A功能液D11上噴涂B功能液D12。此外，標(biāo)記用的第3噴出頭8c，是在上述的基板處理之后，由未圖示的基板識別照相機(jī)進(jìn)行缺墨點(diǎn)的圖像識別，由該識別結(jié)果進(jìn)行適當(dāng)?shù)尿?qū)動(dòng)。由第3噴出頭8c所做的標(biāo)記是用于區(qū)分不良品的圖像識別，通過功能液噴出量極多的第3噴出頭8c，能夠在短時(shí)間內(nèi)完成繪制。
如以上的說明，在本發(fā)明實(shí)施例1中，由于可對應(yīng)被選擇的液滴噴出頭選擇最佳的假負(fù)載，將驅(qū)動(dòng)波形COM通過該假負(fù)載供給到液滴噴出頭，所以，不會(huì)導(dǎo)致噴出量不均等的打印品質(zhì)的下降，可進(jìn)行功能液的多樣化的噴出。其結(jié)果，可進(jìn)行效率良好的基板處理。特別是在圖3所示的基板處理中，可在揮發(fā)性的第1功能液D1揮發(fā)之前將其用第2功能液D2密封。另外，在圖4的示例中，可將2液類型的功能液的A功能液D11和B功能液D12基本在同一時(shí)間進(jìn)行混合。
以上，說明了本發(fā)明實(shí)施例1的液滴噴出裝置。在上述實(shí)施例中，雖然舉出了以模擬開關(guān)作為電開關(guān)的例子，但本發(fā)明并不局限于模擬開關(guān)，也可以是晶體管、FET等電開關(guān)。
(實(shí)施例2)其次，說明本發(fā)明實(shí)施例2的液滴噴出裝置。圖6是表示具有本發(fā)明實(shí)施例2的液滴噴出裝置的頭驅(qū)動(dòng)器及液滴噴出頭的電路結(jié)構(gòu)的圖。此外，在圖6中，與圖5相同，只圖示了為了說明本發(fā)明的必要的構(gòu)成。而且，由于本發(fā)明實(shí)施例2的液滴噴出裝置的全體結(jié)構(gòu)及液滴噴出頭的結(jié)構(gòu)與圖1及圖2所示的結(jié)構(gòu)相同，故省略其說明。
設(shè)置在圖6所示的本發(fā)明實(shí)施例2的液滴噴出裝置中的頭驅(qū)動(dòng)器19與設(shè)置在圖5所示的本發(fā)明實(shí)施例1的液滴噴出裝置中的頭驅(qū)動(dòng)器的不同點(diǎn)在于，取代圖5中的模擬開關(guān)32a～32c、33a～33c，而設(shè)置撥動(dòng)開關(guān)40a～40c、41a～41c。撥動(dòng)開關(guān)40a～40c、41a～41c相當(dāng)于本發(fā)明所述的機(jī)械開關(guān)，通過用戶的操作來設(shè)定開狀態(tài)和關(guān)狀態(tài)。通過設(shè)定這些撥動(dòng)開關(guān)40a～40c、41a～41c的開狀態(tài)和關(guān)狀態(tài)，可選擇與液滴噴出頭連接的假負(fù)載。
在上述的構(gòu)成中，在開始進(jìn)行向基板W噴出液滴的動(dòng)作之前，用戶通過操作撥動(dòng)開關(guān)中的一個(gè)(一對)或多個(gè)(多對)，選擇出與液滴噴出頭8連接的假負(fù)載(假負(fù)載選擇工序)。然后，從控制部18向頭驅(qū)動(dòng)器19輸出選擇液滴噴出頭8的控制信號。此外，該控制信號是表示選擇與在上述的工序中所選擇的假負(fù)載相適應(yīng)的液滴噴出頭8的含義的信號。換言之，用戶預(yù)先決定預(yù)先選擇的液滴噴出頭8，在上述的工序中通過操作撥動(dòng)開關(guān)選擇出與該液滴噴出頭相適應(yīng)的液滴噴出頭8，從控制部18輸出選擇預(yù)先決定的液滴噴出頭8的控制信號。
根據(jù)該控制信號，頭驅(qū)動(dòng)器19輸出表示選擇(切換)液滴噴出頭8(第1噴出頭8a～第3噴出頭8c中的任意)的打印數(shù)據(jù)DATA。當(dāng)輸出該打印數(shù)據(jù)DATA后，應(yīng)驅(qū)動(dòng)的液滴噴出頭被選擇出(頭選擇工序)。在這里，設(shè)第1噴出頭8a被選擇。
當(dāng)應(yīng)驅(qū)動(dòng)的液滴噴出頭8a被選擇后，與上述實(shí)施例1同樣地在圖3所示的基板處理中，通過驅(qū)動(dòng)電機(jī)12使頭單元6向X方向掃描，將驅(qū)動(dòng)波形COM通過被選擇的假負(fù)載電路供給到第1噴出頭8a，將第1功能液噴出到各個(gè)凹部K1中(驅(qū)動(dòng)工序)。接下來，與上述同樣地按照從控制部18輸出的控制信號，進(jìn)行根據(jù)打印數(shù)據(jù)DATA的液滴噴出頭8及假負(fù)載電路的選擇。這里，設(shè)第2噴出頭8b被選擇。當(dāng)選擇結(jié)束后，接下來由第2噴出頭8b在繪圖區(qū)域R1上進(jìn)行第2功能液D2的粘稠涂抹式的噴涂。
另外，在圖4所示的基板處理中，在頭單元6的掃描過程中，使第1噴出頭8a先于第2噴出頭8b進(jìn)行掃描(只向一個(gè)方向的掃描)，由第1噴出頭8a向各個(gè)凹部K1噴出A功能液D11，然后立即由第2噴出頭8b在A功能液D11上噴涂B功能液D12。這樣，能夠使應(yīng)驅(qū)動(dòng)的液滴噴出頭8(第1噴出頭8a～第3噴出頭8c中的任意)與最適合的假負(fù)載連接，能夠進(jìn)行穩(wěn)定的液滴噴出。
以上，說明了本發(fā)明實(shí)施例2的液滴噴出裝置。在上述的實(shí)施例中，舉例說明了作為機(jī)械開關(guān)而設(shè)置撥動(dòng)開關(guān)的情況。但本發(fā)明不限于使用撥動(dòng)開關(guān)，只要能夠?qū)儇?fù)載電路與液滴噴出頭之間的電連接狀態(tài)進(jìn)行切換，可使用任意的開關(guān)。而且，在上述實(shí)施例中，例舉了由用戶通過手動(dòng)操作撥動(dòng)開關(guān)的情況，但也可以使用電機(jī)、驅(qū)動(dòng)裝置等，通過機(jī)械設(shè)定開關(guān)的開、關(guān)狀態(tài)。
(實(shí)施例3)下面說明本發(fā)明實(shí)施例3的液滴噴出裝置。圖7是表示具有本發(fā)明實(shí)施例3的液滴噴出裝置的頭驅(qū)動(dòng)器及液滴噴出頭的電路結(jié)構(gòu)的圖。此外，在圖7中，與圖5及圖6同樣，只圖示了為了說明本發(fā)明所必要的結(jié)構(gòu)。
在上述的實(shí)施例1及實(shí)施例2中，在頭單元6上設(shè)置不同規(guī)格的多種液滴噴出頭8(8a、8b、8c)，并且在頭驅(qū)動(dòng)器19中設(shè)置了假負(fù)載31a～31c，由模擬開關(guān)32a～32c、33a～33c或撥動(dòng)開關(guān)40a～40c、41a～41c選擇與應(yīng)驅(qū)動(dòng)的液滴噴出頭對應(yīng)連接的假負(fù)載。
而在本實(shí)施例中，省略了頭驅(qū)動(dòng)器19的假負(fù)載電路及模擬開關(guān)等，由與噴嘴數(shù)相等數(shù)量的模擬開關(guān)35及壓電元件等的壓力發(fā)生元件36構(gòu)成的1個(gè)液滴噴出頭45，并且將具有假負(fù)載電路46的頭單元47與頭驅(qū)動(dòng)器19連接。各個(gè)頭驅(qū)動(dòng)器47所具有的液滴噴出頭45具有相互不同的規(guī)格，并設(shè)置與液滴噴出頭45的規(guī)格相匹配的假負(fù)載電路46。
這樣，在本實(shí)施例中，通過在頭單元47側(cè)設(shè)置與液滴噴出頭45的規(guī)格相匹配的假負(fù)載電路46，配置(更換)設(shè)置了迎娶懂得液滴噴出頭45的頭單元47，使液滴噴出頭45與頭驅(qū)動(dòng)器19構(gòu)成電連接。根據(jù)該構(gòu)成，只需要配置用戶所選擇的液滴噴出頭45便可在頭驅(qū)動(dòng)器19與液滴噴出頭45之間連接最適合液滴噴出頭45的假負(fù)載電路46，可穩(wěn)定地進(jìn)行液滴的噴出。
在上述的結(jié)構(gòu)中，在開始進(jìn)行向基板W噴出液滴的動(dòng)作之前，用戶對應(yīng)需要噴出液滴的噴出量選擇出應(yīng)安裝的頭單元47，然后把其安裝在主滑架5(參照圖1)上(頭單元安裝工序)。通過執(zhí)行該操作，使頭驅(qū)動(dòng)器19與假負(fù)載電路46及液滴噴出裝置45電連接。在安裝完頭單元47后，通過由控制部18驅(qū)動(dòng)電機(jī)12使頭單元6在X方向上進(jìn)行掃描，將驅(qū)動(dòng)波形COM通過假負(fù)載電路供給到頭單元47，在工件W上噴出液滴(驅(qū)動(dòng)工序)。
在本實(shí)施例中，由于伴隨有頭單元47的更換，所以不適合進(jìn)行圖3及圖4所示的一邊切換液滴噴出頭一邊連續(xù)地噴出第1功能液D1～第3功能液D3的動(dòng)作。但是，例如在制造微透鏡陣列等的在中途不需更換液滴噴出頭的器件的情況下，可穩(wěn)定地進(jìn)行液滴的噴出。
(成膜裝置及方法、器件制造方法、電子儀器)以上對本發(fā)明的液滴噴出裝置的實(shí)施例進(jìn)行了說明，該液滴噴出裝置也可以作為形成膜的成膜裝置或作為微透鏡陣列、液晶顯示裝置、有機(jī)EL裝置，等離子顯示裝置、電場放射顯示器(FED；Field Emission Display)等的器件制造裝置而使用。圖8及圖9分別是是說明使用本發(fā)明的液滴噴出裝置制造的光內(nèi)部連接器裝置用的微透鏡陣列的說明圖。在液滴噴出裝置中在圖8及圖9所示的由透明基板構(gòu)成的對象物W1的規(guī)定的位置上從液滴噴出頭噴出感光性的透明樹脂(液狀粘性物)，然后進(jìn)行紫外線固化，只要在透明基板上的規(guī)定的位置上形成了具有規(guī)定大小的微透鏡L，便可制造出光內(nèi)部連接器裝置用的微透鏡陣列50a、50b。
這里，在圖8所示的微透鏡陣列50a中，微透鏡L在X方向和Y方向上被排列成矩陣狀。而在圖9所示的微透鏡陣列50b中，微透鏡L在X方向和Y方向上形成不規(guī)則的分散。另外，微透鏡陣列除了用于光內(nèi)部連接器裝置，還可用于液晶顯示板，但是即使在制造液晶顯示用的微透鏡時(shí)，只要使用應(yīng)用本發(fā)明的噴墨式裝置，由于不需要使用光刻技術(shù)，所以可提高微透鏡陣列的生產(chǎn)效率。
圖10是示意表示使用了運(yùn)用本發(fā)明的液滴噴出裝置制造的彩色濾色基板的液晶裝置的結(jié)構(gòu)的剖面圖，圖11A及圖11B是分別表示在彩色濾色基板上的各色的配置狀態(tài)的說明圖。在圖10中，在液晶裝置60中，例如是將彩色濾色基板61與TFT陣列基板62在中間間隔規(guī)定的間隙進(jìn)行貼合，且在這兩基板之間封填作為電光物質(zhì)的液晶63。在TFT陣列基板62中，在透明基板64的內(nèi)側(cè)面上矩陣狀地配置像素切換用的TFT(未圖示)及像素電極65，在其表面上形成取向膜66。對此，在彩色濾色基板61中，在透明基板67上在與像素電極65對向的位置上形成R、G、B的彩色濾色層72R、72G、72B，在其表面上形成平坦化膜68、對向電極70及取向膜71。
在彩色濾色基板61上，彩色濾色層71R、72G、72B形成在堤岸68的內(nèi)側(cè)，四周由豎直的或階梯狀的堤岸68包圍。這里，彩色濾色層72R、72G、72B被配置成如圖11A所示的交錯(cuò)排列，或者如圖11B所示的直線排列等的規(guī)定的形狀。
在制造具有這樣結(jié)構(gòu)的彩色濾色基板61時(shí)，首先，在透明基板67的表面上形成堤岸68，然后使用在上述的實(shí)施例1～實(shí)施例3中說明的液滴噴出裝置，向各個(gè)堤岸68的內(nèi)側(cè)填充規(guī)定的顏色的樹脂(液狀粘性物)，之后進(jìn)行紫外線固化或熱固化，由此形成彩色濾色層72R、72G、72B。從而，由于不需使用光刻技術(shù)便可形成彩色濾色層72R、72G、72B，所以，可提高彩色濾色基板的生產(chǎn)效率。
圖12是表示有機(jī)EL裝置的構(gòu)成的一例的剖面圖。如圖12所示，有機(jī)EL裝置301在由基板311、電路元件部321、像素電極331、堤岸部341、發(fā)光元件351、陰極361(對向電極)及密封用基板371構(gòu)成的有機(jī)EL元件302上連接有柔性基板(未圖示)的布線及驅(qū)動(dòng)IC(未圖示)。電路元件部321形成在基板311上，在電路元件部321上整齊排列多個(gè)像素電極331。而且，在各個(gè)像素電極331之間形成格子狀的堤岸部341，在由堤岸部341構(gòu)成的凹部開口344內(nèi)，形成發(fā)光元件351。陰極361形成在堤岸部341及發(fā)光元件351的上部的全體面上，在陰極361的上面疊層密封用基板371。
包含有機(jī)EL元件的有機(jī)EL裝置301的制造工序包括形成堤岸部341的堤納部形成工序、為了準(zhǔn)確地形成發(fā)光元件351的等離子處理工序、形成發(fā)光元件351的發(fā)光元件形成工序、形成陰極361的對向電極形成工序和在陰極361上疊層密封用基板371構(gòu)成密封的密封工序。
發(fā)光元件形成工序是通過在凹部開口344，即，像素電極331上形成空穴注入/輸送層352及發(fā)光層353而形成發(fā)光元件351，因此具有空穴注入/輸送層形成工序和發(fā)光層形成工序。而且，空穴注入/輸送層具有將為了形成空穴注入/輸送層352的第1組成物(功能液)噴吐到各個(gè)像素電極331上的第1液滴噴出工序和使噴出的第1組成物干燥，形成空穴注入/輸送層352的第1干燥工序，發(fā)光層形成工序具有將為了形成發(fā)光層353的第2組成物(功能液)噴吐到空穴注入/輸送層352上的第2液滴噴出工序和使噴出的第2組成物干燥，形成發(fā)光層353的第2干燥工序。在該發(fā)光元件形成工序中，使用液滴噴出裝置形成上述發(fā)光元件。
圖13是表示等離子型顯示裝置的構(gòu)成的一部分的分解立體圖。如圖13所示，等離子型顯示裝置400包括相互向配置的基板401、402及形成在基板401、402之間的放電顯示部410。放電顯示部410是多個(gè)放電室416的集合。在多個(gè)放電室416中，將紅色放電室416(R)、綠色放電室416(G)、蘭色放電室416(B)的3個(gè)放電室416配置成1組，構(gòu)成1個(gè)像素。
在基板401的上面以規(guī)定的間隔，直線狀地形成地址電極411，形成覆蓋在地址電極411和基板401的上面的介電體層419。在介電體層419上位于地址電極411、411之間且沿著各個(gè)地址電極411形成隔壁415。隔壁415具有鄰接于地址電極411的寬度方向左右兩側(cè)的隔壁和在與地址電極411直角交叉方向上延伸設(shè)置的隔壁。而且，對應(yīng)由隔壁415分隔的長方形狀的區(qū)域形成放電室416。另外，在由隔壁415劃分的長方形狀的區(qū)域的內(nèi)側(cè)配置有熒光體417。熒光體417可發(fā)出紅、綠、蘭的任意色的熒光，分別在紅色放電室416(R)的底部配置有紅色熒光體417(R)、在綠色放電室416(G)的底部配置有綠色熒光體417(G)、在蘭色放電室416(B)的底部配置有蘭色熒光體417(B)。
另一方面，在基板402上，在上述的與地址電極411直角交叉的方向上直線狀地以規(guī)定的間隔形成多個(gè)顯示電極412。并且，形成覆蓋這些的由介電體層413及MgO等構(gòu)成的保護(hù)膜414。基板401與基板402使地址電極411與顯示電極412相互直角交叉地相互對向地相互帖合。地址電極411及顯示電極412與未圖示的交流電源連接。通過向各個(gè)電極通電，使在放電顯示部410中的熒光體417激勵(lì)發(fā)光，從而實(shí)現(xiàn)彩色顯示。本發(fā)明實(shí)施例的液滴噴出裝置用于在由隔壁415劃分的長方形狀的區(qū)域內(nèi)側(cè)配置熒光體417。
圖14A～14C是表示具有電場發(fā)射元件的電場發(fā)射顯示器(FED)的構(gòu)成的圖。圖14A是簡要表示構(gòu)成FED的陰極基板與陽極基板的配置關(guān)系分解立體圖。圖14B是表示設(shè)置在FED的陰極基板上的驅(qū)動(dòng)電路的主要結(jié)構(gòu)的電路圖。圖14C是表示陰極基板的主要部分的立體圖。如圖14A所示，F(xiàn)ED500為將陰極基板500a與陽極基板500b對向配置的結(jié)構(gòu)。
如圖14A、14B所示，陰極基板500a具有由柵極線501、發(fā)射極線502、與柵極線501及發(fā)射極線502連接的電場發(fā)射元件503構(gòu)成的所謂的純矩陣驅(qū)動(dòng)電路。向柵極線501供給柵極信號V1、V2、...、Vm，向發(fā)射極線502供給發(fā)射極信號W1、W2、...、Wm。另外，陽極基板500b具備具有通過受電子的撞擊而發(fā)光的性質(zhì)的熒光體，作為該熒光體，設(shè)置有可發(fā)出紅、綠、蘭的任意色的熒光的熒光體。
如圖14所示，電場發(fā)射元件503包括與發(fā)射極線502連接的發(fā)射極電極503a、與柵極線501連接的柵極電極503b。另外，發(fā)射極電極503a具有從發(fā)射極電極503a側(cè)朝向柵極電極503b其直徑變小的被稱為發(fā)射極端子505的突起部，在柵極電極503b的對應(yīng)該發(fā)射極端子505的位置上形成孔部504，將發(fā)射極端子505的前端配置在該孔部504內(nèi)。
當(dāng)將電壓供給在被設(shè)置在電場發(fā)射元件503上的發(fā)射極電極503a與柵極電極503b之間，在電場的作用下電子510從發(fā)射極端子505向孔部504移動(dòng)，電子510從發(fā)射極端子505被發(fā)射出來。通過使發(fā)射出來的電子510撞擊與陰極基板500a對向配置的陽極基板500b的熒光體，使熒光體發(fā)光。由此，只要通過控制柵極線501的柵極信號V1、V2、...、Vm及發(fā)射極線502的發(fā)射極信號W1、W2、...、Wm，驅(qū)動(dòng)FED500，便可進(jìn)行所希望的色彩顯示。本發(fā)明實(shí)施例的液滴噴出裝置用于在陽極基板500b上配置熒光體。
上述的液晶裝置、有機(jī)EL裝置、等離子型顯示裝置、FED等的器件可配置在筆記本型計(jì)算機(jī)及移動(dòng)電話機(jī)等的電器儀器中。但是，本發(fā)明所指的電器儀器，不限于上述的筆記本型計(jì)算機(jī)及移動(dòng)電話機(jī)，可應(yīng)用于各種的電器儀器中。例如，可應(yīng)用于液晶投影儀、多媒體個(gè)人計(jì)算機(jī)(PC)及工程工作站(EWS)、尋呼機(jī)、文字處理機(jī)、電視機(jī)、尋像型或監(jiān)視器直視型的錄象機(jī)、電子記事本、臺式計(jì)算機(jī)、車輛導(dǎo)航裝置、POS終端、具有觸摸屏的裝置等的電子儀器。
權(quán)利要求
1.一種液滴噴出方法，向工件噴出液滴，包括頭單元配置工序，配置頭單元，該頭單元具有液滴噴出頭和與該液滴噴出頭的電特性對應(yīng)的控制裝置；驅(qū)動(dòng)工序，通過在所述頭單元配置工序配置的頭單元所具有的所述控制裝置向所述液滴噴出頭供給驅(qū)動(dòng)信號，使所述液滴噴出。
全文摘要
本發(fā)明提供一種液滴噴出方法，向工件噴出液滴，包括頭單元配置工序，配置頭單元，該頭單元具有液滴噴出頭和與該液滴噴出頭的電特性對應(yīng)的控制裝置；驅(qū)動(dòng)工序，通過在所述頭單元配置工序配置的頭單元所具有的所述控制裝置向所述液滴噴出頭供給驅(qū)動(dòng)信號，使所述液滴噴出。
文檔編號B41J2/07GK1775526SQ200510128
公開日2006年5月24日 申請日期2003年9月8日 優(yōu)先權(quán)日2002年9月11日
發(fā)明者臼田秀范, 中村真一, 高野豐, 山田善昭 申請人:精工愛普生株式會(huì)社