專利名稱：噴出圖案數(shù)據(jù)生成方法、形成裝置、液滴噴出裝置、掃描裝置、液晶顯示裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及噴出圖案數(shù)據(jù)生成方法、噴頭動(dòng)作圖案數(shù)據(jù)生成方法、噴出圖案數(shù)據(jù)成成裝置、功能液滴噴出裝置、掃描裝置、液晶顯示裝置的制造方法、有機(jī)EL元件裝置的制造方法、電子釋放裝置的制造方法、PDP裝置的制造方法、電泳顯示裝置的制造方法、濾色器的制造方法、有機(jī)EL的制造方法、間隔(スペ—サ)形成方法、金屬配線形成方法、透鏡形成方法、抗蝕層形成方法和光擴(kuò)散體形成方法。
背景技術(shù)：
過(guò)去噴墨打印機(jī)等，是由以相同間距排列在噴墨頭(功能液滴噴頭)上的噴嘴列噴出油墨(功能液滴)形成點(diǎn)的功能液滴噴出裝置，以一個(gè)噴墨頭沿著主掃描方向和副掃描方向作對(duì)工件的相對(duì)移動(dòng)的方式進(jìn)行掃描。這種情況下，各噴嘴的噴出圖案數(shù)據(jù)(掃描圖案數(shù)據(jù))，由每列噴嘴(噴頭)生成，依次將生成的數(shù)據(jù)輸送給噴頭驅(qū)動(dòng)裝置，以這種方式進(jìn)行一列功能液滴的噴出(掃描)。
然而對(duì)大型打印機(jī)而言，考慮到功能液滴噴頭的成品率，并排(一行)的副掃描方向的噴嘴，不是由單一功能液滴噴頭，而是由多功能液滴噴頭構(gòu)成。因此，例如由具有兩列噴嘴的功能液滴噴頭六個(gè)并排排列構(gòu)成一行的情況下，必須全部生成12列的噴出圖案數(shù)據(jù)。但是要生成12列的噴出圖案數(shù)據(jù)，因數(shù)據(jù)量龐大而事實(shí)上不能用過(guò)去的那種每列噴嘴生成噴出圖案數(shù)據(jù)的方法生成。
本發(fā)明的課題在于，提供一種以由整列排列在多功能液滴噴頭上的噴嘴列向工件選擇性噴出功能液滴，以此方式進(jìn)行掃描的情況下，能夠由各噴嘴容易生成噴出圖案數(shù)據(jù)的噴出圖案數(shù)據(jù)生成方法、噴頭動(dòng)作圖案數(shù)據(jù)生成方法、噴出圖案數(shù)據(jù)生成裝置、功能液滴噴出裝置、掃描裝置、液晶顯示裝置的制造方法、有機(jī)EL元件裝置的制造方法、電子釋放裝置的制造方法、PDP裝置的制造方法、電泳顯示裝置的制造方法、濾色器的制造方法、有機(jī)EL的制造方法、間隔形成方法、金屬配線形成方法、透鏡形成方法、抗蝕層形成方法和光擴(kuò)散體形成方法。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的噴出圖案數(shù)據(jù)生成方法，是一種由按列設(shè)置在功能液滴噴頭上的多個(gè)噴嘴選擇性噴出功能液滴，對(duì)工件上的一個(gè)以上芯片形成區(qū)進(jìn)行掃描，生成各噴嘴的噴出圖案數(shù)據(jù)的噴出圖案數(shù)據(jù)生成方法，其特征在于其中包括設(shè)定與芯片形成區(qū)內(nèi)象素排列有關(guān)的象素信息的象素設(shè)定工序、設(shè)定與工件上芯片形成區(qū)的配置有關(guān)的芯片信息的芯片設(shè)定工序、設(shè)定與各噴嘴的配置有關(guān)的噴嘴信息的噴嘴設(shè)定工序、以及基于工件與功能液滴噴頭的位置關(guān)系，由設(shè)定的象素信息、芯片信息和噴嘴信息生成各噴嘴的噴出圖案數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)生成工序。
而且，本發(fā)明的噴出圖案數(shù)據(jù)生成裝置，是一種由按列設(shè)置在功能液滴噴頭上的多個(gè)噴嘴選擇性噴出功能液滴，對(duì)工件上的一個(gè)以上芯片形成區(qū)進(jìn)行掃描，生成各噴嘴的噴出圖案數(shù)據(jù)的噴出圖案數(shù)據(jù)生成裝置，其特征在于其中具有設(shè)定與芯片形成區(qū)內(nèi)象素排列有關(guān)的象素信息用的象素設(shè)定機(jī)構(gòu)，設(shè)定與工件上芯片形成區(qū)的配置有關(guān)的芯片信息用的芯片設(shè)定機(jī)構(gòu)，設(shè)定與各噴嘴的配置有關(guān)的噴嘴信息用的噴嘴設(shè)定機(jī)構(gòu)，存儲(chǔ)設(shè)定的象素信息、芯片信息和噴嘴信息的存儲(chǔ)機(jī)構(gòu)，以及基于工件與功能液滴噴頭的位置關(guān)系及存儲(chǔ)機(jī)構(gòu)存儲(chǔ)的各種信息，生成各噴嘴的噴出圖案數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)生成機(jī)構(gòu)。
根據(jù)這種構(gòu)成，能夠根據(jù)工件與功能液滴噴頭的位置關(guān)系以及設(shè)定的象素信息、芯片信息和噴嘴信息，為了生成噴出圖案數(shù)據(jù)，總體生成全部噴嘴的噴出圖案數(shù)據(jù)。也就是說(shuō)，與噴嘴數(shù)目無(wú)關(guān)，能夠容易而迅速地生成各噴嘴的噴出圖案數(shù)據(jù)。
這種情況下，象素信息中已經(jīng)包含功能液滴的顏色信息，在數(shù)據(jù)生成工序中優(yōu)選分色生成噴出圖案數(shù)據(jù)信息。
而且這種情況下，象素信息中已經(jīng)包含功能液滴的顏色信息，數(shù)據(jù)生成機(jī)構(gòu)優(yōu)選分色生成噴出圖案數(shù)據(jù)信息。
根據(jù)這種構(gòu)成，噴出圖案數(shù)據(jù)由于是分色生成的，所以根據(jù)多色象素對(duì)芯片形成區(qū)進(jìn)行掃描的情況(進(jìn)行彩色掃描的情況)下，容易進(jìn)行掃描處理。
這種情況下，多個(gè)噴嘴由在直線上整列排列的一列以上噴嘴列構(gòu)成，所以噴嘴信息優(yōu)選包含與噴嘴列基準(zhǔn)位置有關(guān)的信息。
根據(jù)這種構(gòu)成，由于多個(gè)噴嘴由在直線上整列排列的一列以上噴嘴列構(gòu)成，所以只要設(shè)定與噴嘴列基準(zhǔn)位置有關(guān)的信息，就能總體設(shè)定構(gòu)成噴嘴列的全部噴嘴的配置。因而能夠節(jié)省設(shè)定全部噴嘴位置所需的繁雜手續(xù)。
這種情況下，噴嘴信息優(yōu)選包含噴嘴列中有關(guān)不使用噴嘴位置的信息。
根據(jù)這種構(gòu)成，例如使用壓電式噴出功能液滴噴嘴的情況下等，因噴嘴在功能液滴噴頭上的位置而使噴出量產(chǎn)生波動(dòng)，當(dāng)不使用產(chǎn)生那種波動(dòng)位置上的噴嘴時(shí)能使噴出量穩(wěn)定。
這些情況下，噴嘴信息優(yōu)選包括與功能液滴噴頭的主掃描方向或副掃描方向上噴嘴的間距有關(guān)或者與噴嘴列相對(duì)于主掃描方向或副掃描方向的傾斜度有關(guān)的信息。
根據(jù)這種構(gòu)成，由于能夠設(shè)定與功能液滴噴頭的主掃描方向或副掃描方向上噴嘴間距有關(guān)或者與噴嘴列相對(duì)于主掃描方向或副掃描方向上的傾斜度有關(guān)的信息，因而能夠根據(jù)噴出對(duì)向物改變噴出間距。
這些情況下，功能液滴噴頭優(yōu)選由成列設(shè)置的噴嘴列的多個(gè)單位噴頭構(gòu)成。
根據(jù)這種構(gòu)成，功能液滴噴頭是由成列設(shè)置的噴嘴列的多個(gè)單位噴頭構(gòu)成的，所以能夠大量生產(chǎn)同型的單位噴頭，進(jìn)而能夠低價(jià)制造功能液滴噴頭。
這些情況下，象素信息優(yōu)選馬賽克排列、三角形排列和線條狀排列的象素排列中，各種排列都包括在內(nèi)的象素信息。
根據(jù)這種構(gòu)成，能夠設(shè)定作為一般象素排列的馬賽克排列、三角形排列和線條狀排列的象素排列中的各種排列。換句話說(shuō)，能夠生成用這些排列進(jìn)行掃描所得到的噴出圖案數(shù)據(jù)。
這種情況下，象素信息優(yōu)選包含與象素?cái)?shù)目、象素尺寸以及相鄰象素間間距有關(guān)的信息。
根據(jù)這種構(gòu)成，能夠生成在各種象素?cái)?shù)目、象素尺寸以及相鄰象素間間距(象素間距)下進(jìn)行掃描得到的噴出圖案數(shù)據(jù)。
這種情況下，芯片信息優(yōu)選包含與工件上芯片形成區(qū)域的配置方向、芯片形成的區(qū)域尺寸以及相鄰芯片形成區(qū)域之間的間距有關(guān)的信息。
根據(jù)這種構(gòu)成，能夠生成在各種工件上芯片形成區(qū)域的配置方向、芯片形成的區(qū)域尺寸以及相鄰芯片形成區(qū)域之間的間距(芯片形成間距)下進(jìn)行掃描得到的噴出圖案數(shù)據(jù)。
這些情況下，優(yōu)選還備有設(shè)定與一個(gè)象素內(nèi)的功能液滴噴出位置有關(guān)的噴出位置信息的噴出位置設(shè)定工序，在數(shù)據(jù)生成工序中可以根據(jù)噴出位置信息生成各噴嘴的噴出圖案數(shù)據(jù)。
而且這些情況下，還優(yōu)選備有設(shè)定與一個(gè)象素內(nèi)的功能液滴噴出位置有關(guān)的噴出位置信息的噴出位置設(shè)定機(jī)構(gòu)，數(shù)據(jù)生成機(jī)構(gòu)根據(jù)噴出位置信息生成各噴嘴的噴出圖案數(shù)據(jù)。
根據(jù)這種構(gòu)成，由于能夠設(shè)定一個(gè)象素內(nèi)功能液滴的噴出位置，所以能夠使功能液滴落在所希望的位置上。
這些情況下，優(yōu)選還備有設(shè)定與一個(gè)象素內(nèi)的功能液滴噴出次數(shù)有關(guān)的噴出次數(shù)信息的噴出次數(shù)設(shè)定工序，在數(shù)據(jù)生成工序中可以根據(jù)噴出次數(shù)信息生成各噴嘴的噴出圖案數(shù)據(jù)。
而且這些情況下，優(yōu)選還備有設(shè)定與一個(gè)象素內(nèi)的功能液滴噴出次數(shù)有關(guān)的噴出次數(shù)信息的噴出次數(shù)設(shè)定機(jī)構(gòu)，數(shù)據(jù)生成機(jī)構(gòu)根據(jù)噴出次數(shù)信息生成各噴嘴的噴出圖案數(shù)據(jù)。
根據(jù)這種構(gòu)成，能夠設(shè)定一個(gè)象素的功能液滴噴出次數(shù)。也就是說(shuō)，能夠?qū)⑴c一個(gè)象素相當(dāng)?shù)狞c(diǎn)數(shù)任意設(shè)定為4個(gè)、8個(gè)等。
上述的利用噴出次數(shù)設(shè)定工序?qū)姵龃螖?shù)設(shè)定為多數(shù)次的情況下，優(yōu)選進(jìn)一步備有設(shè)定噴嘴錯(cuò)開信息的噴嘴錯(cuò)開設(shè)定工序，分別用不同的噴嘴噴出功能液滴，在數(shù)據(jù)生成工序中可以根據(jù)噴嘴錯(cuò)開信息，生成各噴嘴的噴出圖案數(shù)據(jù)。
而且，上述的利用噴出次數(shù)設(shè)定機(jī)構(gòu)將噴出次數(shù)設(shè)定數(shù)次的情況下，優(yōu)選進(jìn)一步備有設(shè)定噴嘴錯(cuò)開信息分別使不同的噴嘴噴出功能液滴的噴嘴錯(cuò)開設(shè)定機(jī)構(gòu)，數(shù)據(jù)生成機(jī)構(gòu)根據(jù)噴嘴錯(cuò)開信息，生成各噴嘴的噴出圖案數(shù)據(jù)。
根據(jù)這種構(gòu)成，能對(duì)一個(gè)象素分?jǐn)?shù)次分別從不同的噴嘴噴出功能液滴。所以噴嘴功能液滴的噴出量即使有波動(dòng)的情況下，也能使對(duì)一個(gè)象素的功能液滴噴出量平均化。
上述的方案中，能用噴出次數(shù)設(shè)定工序?qū)姵龃螖?shù)設(shè)定為多數(shù)的情況下，優(yōu)選進(jìn)一步備有設(shè)定位置錯(cuò)開信息的位置錯(cuò)開設(shè)定工序，分別在不同噴出位置噴出功能液滴，在數(shù)據(jù)生成工序中可以根據(jù)位置錯(cuò)開信息生成各噴嘴的噴出圖案數(shù)據(jù)。
而且上述的方案中，能用噴出次數(shù)設(shè)定機(jī)構(gòu)將噴出次數(shù)設(shè)定為多次的情況下，優(yōu)選進(jìn)一步備有設(shè)定位置錯(cuò)開信息的位置錯(cuò)開設(shè)定機(jī)構(gòu)，分別在不同噴出位置噴出功能液滴，數(shù)據(jù)生成機(jī)構(gòu)可以根據(jù)位置錯(cuò)開信息生成各噴嘴的噴出圖案數(shù)據(jù)。
根據(jù)這種構(gòu)成，在一個(gè)象素內(nèi)由于能夠分?jǐn)?shù)次分別向不同噴出位置噴出功能液滴，所以能夠在沒(méi)有不均的條件下描繪一個(gè)象素。
本發(fā)明的噴頭動(dòng)作圖案數(shù)據(jù)生成方法，是一種噴頭動(dòng)作圖案數(shù)據(jù)生成方法，其中一邊使成列設(shè)置多個(gè)噴嘴的功能液滴噴頭作相對(duì)于工件的移動(dòng)，一邊驅(qū)動(dòng)功能液滴噴頭，自多個(gè)噴嘴選擇性噴出功能液滴，對(duì)工件上的一個(gè)以上芯片形成區(qū)域進(jìn)行描繪用的，生成功能液滴噴頭的噴頭動(dòng)作圖案數(shù)據(jù)，其特征在于包括設(shè)定與功能液滴噴頭的相對(duì)運(yùn)動(dòng)有關(guān)的噴頭移動(dòng)信息的噴頭移動(dòng)信息設(shè)定工序、設(shè)定與工件上芯片形成區(qū)的配置有關(guān)的芯片信息的芯片設(shè)定工序、設(shè)定與噴嘴的配置有關(guān)的噴嘴信息的噴嘴設(shè)定工序、以及由設(shè)定的噴頭移動(dòng)信息、芯片信息和噴嘴信息生成噴頭動(dòng)作圖案數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)生成工序。
根據(jù)這種構(gòu)成，基于噴頭移動(dòng)信息、芯片信息和噴嘴信息，由于生成一邊使功能液滴噴頭作相對(duì)于工件的移動(dòng)一邊進(jìn)行描繪的情況下的噴頭動(dòng)作圖案數(shù)據(jù)，所以能總體生成全部噴頭的噴頭動(dòng)作圖案數(shù)據(jù)。也就是說(shuō)，能夠容易而迅速生成各噴頭的噴頭動(dòng)作圖案數(shù)據(jù)而與噴頭數(shù)目無(wú)關(guān)。
這種情況下，多個(gè)噴嘴構(gòu)成在直線上整列配置的一列以上噴嘴，而噴嘴信息優(yōu)選包含有關(guān)噴嘴列基準(zhǔn)位置的信息。
根據(jù)這種構(gòu)成，多個(gè)噴嘴由于是由直線上整列配置的一列以上噴嘴構(gòu)成的，所以只要設(shè)定與噴嘴列的基準(zhǔn)位置有關(guān)的信息，就能總體設(shè)定構(gòu)成噴嘴列的全部噴嘴的配置。因此能夠省去設(shè)定全部噴嘴位置所需的繁雜手續(xù)。
這種情況下，功能液滴噴頭被事先設(shè)置在支承架上，噴嘴信息優(yōu)選包括與支承架上形成的成排標(biāo)記和與噴嘴列的基準(zhǔn)位置相對(duì)位置有關(guān)的信息。
根據(jù)這種構(gòu)成，以承載功能液滴噴頭的支承架上形成的成排標(biāo)記為基準(zhǔn)的情況下，由于能夠設(shè)定噴嘴列基準(zhǔn)位置的相對(duì)位置，所以通過(guò)排列能夠向工件的正確位置噴出功能液滴。
這些情況下，噴嘴信息優(yōu)選包括與功能液滴噴頭的主掃描方向或副掃描方向上噴嘴的間距有關(guān)或者與噴嘴列相對(duì)于主掃描方向或副掃描方向的傾斜度有關(guān)的信息。
根據(jù)這種構(gòu)成，由于能夠設(shè)定與功能液滴噴頭的主掃描方向或副掃描方向上噴嘴的間距有關(guān)或者與噴嘴列相對(duì)于主掃描方向或副掃描方向的傾斜度有關(guān)的信息，所以能夠根據(jù)噴出對(duì)向物使噴出間距變更。
這些情況下功能液滴噴頭優(yōu)選由成列設(shè)置的噴嘴列的多個(gè)單位噴頭構(gòu)成。
根據(jù)這種構(gòu)成，功能液滴噴頭是由成列設(shè)置的噴嘴列的多個(gè)單位噴頭構(gòu)成的，所以能夠大量生產(chǎn)同型的單位噴頭，進(jìn)而能夠低價(jià)制造功能液滴噴頭。
這種情況下，芯片信息優(yōu)選包含與支承架上形成的成排標(biāo)記有關(guān)，以及與最初描繪的排頭芯片形成區(qū)域有關(guān)的信息。
根據(jù)這種構(gòu)成，以工件上形成的成排標(biāo)記為基準(zhǔn)的情況下，由于能夠設(shè)定最初描繪的排頭芯片形成區(qū)域的相對(duì)位置，所以通過(guò)進(jìn)行排列能在工件上的正確位置描繪芯片形成區(qū)域。
這些情況下，優(yōu)選進(jìn)一步備有設(shè)定與一個(gè)象素內(nèi)功能液滴的噴出位置有關(guān)的噴出位置信息的噴出位置設(shè)定工序，在數(shù)據(jù)形成工序中可以根據(jù)噴出位置信息生成噴頭動(dòng)作圖案數(shù)據(jù)。
根據(jù)這種構(gòu)成，由于能夠設(shè)定一個(gè)象素內(nèi)功能液滴的噴出位置，所以能使功能液滴落在所需的位置上。
這些情況下，優(yōu)選進(jìn)一步備有設(shè)定與對(duì)一個(gè)象素功能液滴噴出次數(shù)有關(guān)的噴出次數(shù)信息的噴出位置設(shè)定工序，在數(shù)據(jù)形成工序中可以根據(jù)噴出次數(shù)信息生成噴頭動(dòng)作圖案數(shù)據(jù)。
根據(jù)這種構(gòu)成，能夠設(shè)定一個(gè)象素內(nèi)功能液滴的噴出次數(shù)。也就是說(shuō)，能夠?qū)⑴c一個(gè)象素相當(dāng)?shù)狞c(diǎn)數(shù)任意設(shè)定成4個(gè)、8個(gè)等。
上述的方案中利用噴出次數(shù)設(shè)定工序，可以將噴出次數(shù)設(shè)定為多數(shù)次的情況下，優(yōu)選進(jìn)一步備有設(shè)定噴嘴錯(cuò)開信息的噴嘴錯(cuò)開設(shè)定工序，分別用不同的噴嘴噴出功能液滴，在數(shù)據(jù)生成工序中可以根據(jù)噴嘴錯(cuò)開信息，生成噴頭動(dòng)作圖案數(shù)據(jù)。
根據(jù)這種構(gòu)成，能夠?qū)σ粋€(gè)象素分?jǐn)?shù)次分別從不同的噴嘴噴出功能液滴。所以來(lái)自噴嘴的功能液滴的噴出量即使有波動(dòng)的情況下，也能使對(duì)一個(gè)象素的功能液滴噴出量平均化。
上述的方案中，能用噴出次數(shù)設(shè)定工序?qū)姵龃螖?shù)設(shè)定為多數(shù)次的情況下，優(yōu)選進(jìn)一步備有設(shè)定位置錯(cuò)開信息的位置錯(cuò)開設(shè)定工序，分別在不同噴出位置噴出功能液滴，在數(shù)據(jù)生成工序中可以根據(jù)位置錯(cuò)開信息生成噴頭動(dòng)作圖案數(shù)據(jù)。
根據(jù)這種構(gòu)成，由于能在一個(gè)象素內(nèi)分?jǐn)?shù)次分別向不同噴出位置噴出功能液滴，所以能在無(wú)不均的條件下描繪一個(gè)象素。
這些情況下，優(yōu)選進(jìn)一步備有設(shè)定與芯片形成區(qū)域中象素的排列有關(guān)的象素信息用的象素設(shè)定工序，在數(shù)據(jù)生成工序中可以根據(jù)象素信息生成噴頭動(dòng)作圖案數(shù)據(jù)。
根據(jù)這種構(gòu)成，能夠生成以各種象素排列描繪而成的噴頭動(dòng)作圖案數(shù)據(jù)。
這些情況下，優(yōu)選進(jìn)一步備有設(shè)定與工件周邊溫度有關(guān)信息的溫度設(shè)定工序，在數(shù)據(jù)生成工序中可以根據(jù)溫度信息生成噴頭動(dòng)作圖案數(shù)據(jù)。
根據(jù)這種構(gòu)成，能夠生成考慮了溫度引起伸縮的噴頭動(dòng)作圖案數(shù)據(jù)。因而能使功能液滴落在工件上所需的正確位置上。
本發(fā)明的功能液滴噴出裝置，其特征在于備有上述任何一項(xiàng)記載的噴出圖案數(shù)據(jù)生成裝置。
根據(jù)這種構(gòu)成，能夠提供一種與噴嘴數(shù)目(功能液滴噴頭數(shù)目)無(wú)關(guān)，可以容易而迅速生成各噴嘴的噴出圖案數(shù)據(jù)的功能液滴噴出裝置。
這種情況下，優(yōu)選進(jìn)一步備有設(shè)定與功能液滴噴頭相對(duì)于工件作相對(duì)移動(dòng)有關(guān)的噴頭移動(dòng)信息的噴頭移動(dòng)設(shè)定機(jī)構(gòu)，以及根據(jù)存儲(chǔ)機(jī)構(gòu)存儲(chǔ)的各種信息和噴頭移動(dòng)信息，生成功能液滴噴頭的噴頭動(dòng)作圖案數(shù)據(jù)的噴頭動(dòng)作圖案數(shù)據(jù)生成機(jī)構(gòu)。
根據(jù)這種構(gòu)成，能使各噴嘴噴出的圖案數(shù)據(jù)與使功能液滴噴頭移動(dòng)的噴頭動(dòng)作方式圖案數(shù)據(jù)一起容易而迅速地生成。
本發(fā)明的描繪裝置，其特征在于其中備有與多種顏色對(duì)應(yīng)的多個(gè)上述任何一項(xiàng)記載的功能液滴噴出裝置，備有根據(jù)分色噴出圖案數(shù)據(jù)由多個(gè)功能液滴噴出裝置描繪芯片形成區(qū)域的描繪機(jī)構(gòu)。
根據(jù)這種構(gòu)成，能夠根據(jù)分色噴出圖案數(shù)據(jù)由多個(gè)功能液滴噴出裝置描繪芯片形成區(qū)域。也就是說(shuō)，即使用一個(gè)功能液滴噴出裝置(功能液滴噴頭)進(jìn)行單色掃描的情況下，也能容易而迅速地總體生成多個(gè)分色的噴出圖案數(shù)據(jù)。
上述中可以備有多個(gè)功能液滴噴出裝置的各功能液滴噴頭，以相同數(shù)目和相同配置噴嘴列，將各噴嘴列的一端賦予相同編號(hào)的情況下，描繪機(jī)構(gòu)優(yōu)選不使用同一編號(hào)的噴嘴向互相相鄰的象素噴出功能液滴。
根據(jù)這種構(gòu)成，與多色對(duì)應(yīng)的多個(gè)功能液滴噴出裝置，在備有以相同數(shù)目和相同配置噴嘴列的功能液滴噴頭，自各噴嘴列一端賦予相同噴嘴編號(hào)的情況下，由于不使用相同編號(hào)的噴嘴向互相相鄰的象素噴出功能液滴，所以能使功能液滴的噴出量全體平均化。即，例如相鄰象素為R(紅色)和G(綠色)的情況下，使用編號(hào)(x)噴嘴對(duì)R象素噴出功能液滴的情況下，用編號(hào)(x+10)噴嘴對(duì)G象素噴出功能液滴，這樣一來(lái)即使噴出量因噴嘴位置而產(chǎn)生波動(dòng)，也\很難發(fā)現(xiàn)噴出不均。
本發(fā)明的液晶顯示裝置的制造方法，是一種使用上述的功能液滴噴出裝置，在濾色器的基板上形成多數(shù)濾色元件的液晶顯示裝置的制造方法，其特征在于將各種顏色的濾色器材料導(dǎo)入多個(gè)功能液滴噴頭中，使功能液滴噴頭相對(duì)于基板作相對(duì)掃描，選擇性噴出濾色器材料形成多個(gè)濾色元件。
本發(fā)明的有機(jī)EL裝置的制造方法，是一種使用上述的功能液滴噴出裝置，在基板上的多個(gè)象素象元(ピクセル)上分別形成EL發(fā)光層的有機(jī)EL裝置的制造方法，其特征在于將各種顏色的發(fā)光材料導(dǎo)入多個(gè)功能液滴噴頭中，使功能液滴噴頭相對(duì)于基板作相對(duì)掃描，選擇性噴出發(fā)光材料形成多個(gè)EL發(fā)光層。
本發(fā)明的電子釋放裝置的制造方法，是一種使用上述的功能液滴噴出裝置，在電極上形成多個(gè)熒光體的電子釋放裝置制造方法，其特征在于將各種顏色的熒光材料導(dǎo)入多個(gè)功能液滴噴頭中，使功能液滴噴頭相對(duì)于電極作相對(duì)掃描，選擇性噴出熒光材料形成多個(gè)熒光體。
本發(fā)明的PDP裝置的制造方法，是一種使用上述的功能液滴噴出裝置，在背面基板上的多個(gè)凹部分別形成熒光體的PDP裝置的制造方法，其特征在于將各種顏色的熒光材料導(dǎo)入多個(gè)功能液滴噴頭中，使功能液滴噴頭相對(duì)于背面基板作相對(duì)掃描，選擇性噴出熒光材料形成多個(gè)熒光體。
本發(fā)明的電泳顯示裝置的制造方法，是一種使用上述的功能液滴噴出裝置，在電極上的多個(gè)凹部分別形成電泳體的電泳顯示裝置的制造方法，其特征在于將各種顏色的電泳體材料導(dǎo)入多個(gè)功能液滴噴頭中，使功能液滴噴頭相對(duì)于電極作相對(duì)掃描，選擇性噴出電泳體材料形成多個(gè)電泳體。
綜上所述，通過(guò)在液晶顯示裝置的制造方法、有機(jī)EL(電致發(fā)光)裝置的制造方法、電子釋放裝置的制造方法、PDP(等離子顯示板)裝置的制造方方法和電泳顯示裝置的制造方法中使上述的功能液滴噴出裝置，能夠選擇性地向適當(dāng)位置供給各裝置要求的適量濾色器材料和發(fā)光材料等。其中液滴噴頭的掃描，雖然一般有主掃描和副掃描，但是當(dāng)由單一液滴噴頭構(gòu)成所謂一行的情況下僅有副掃描。而且電子釋放裝置這一概念，包括所謂FED(場(chǎng)致發(fā)射顯示)裝置在內(nèi)。
本發(fā)明的濾色器的制造方法，是一種使用上述的功能液滴噴出裝置，制造在基板上由多個(gè)濾色元件排列而成濾色器的濾色器的制造方法，其特征在于，將各種顏色的濾色器材料導(dǎo)入多個(gè)功能液滴噴頭中，使功能液滴噴頭相對(duì)于基板作相對(duì)掃描，選擇性噴出濾色器材料形成多個(gè)濾色元件。
這種情況下，優(yōu)選事先形成覆蓋多個(gè)濾色元件的表涂層膜，形成濾色元件后，將透光性涂料導(dǎo)入多個(gè)功能液滴噴頭中，使功能液滴噴頭相對(duì)于基板作相對(duì)掃描，選擇性噴出涂料形成表涂層膜。
本發(fā)明的有機(jī)EL的制造方法，是一種使用上述的功能液滴噴出裝置，使包含EL發(fā)光層的多個(gè)象素頂部網(wǎng)眼在基板上排列而成的有機(jī)EL裝置的制造方法，其特征在于，將各種顏色的發(fā)光材料導(dǎo)入多個(gè)功能液滴噴頭中，使功能液滴噴頭相對(duì)于基板作相對(duì)掃描，選擇性噴出發(fā)光材料形成多個(gè)EL發(fā)光層。
這種情況下，優(yōu)選在多個(gè)EL發(fā)光層與基板之間可以事先與EL發(fā)光層對(duì)應(yīng)形成多個(gè)的象素電極，將液體電極材料導(dǎo)入多個(gè)功能液滴噴頭中，使功能液滴噴頭相對(duì)于基板作相對(duì)掃描，選擇性噴出液體電極材料形成多個(gè)象素電極。
這種情況下，優(yōu)選事先形成對(duì)電極覆蓋多個(gè)EL發(fā)光層，EL發(fā)光層形成后，將液體電極材料導(dǎo)入多個(gè)功能液滴噴頭中，使功能液滴噴頭相對(duì)于基板作相對(duì)掃描，選擇性噴出液體電極材料形成多個(gè)對(duì)電極。
本發(fā)明的間隔形成方法，是一種使用上述的功能液滴噴出裝置，在兩塊基板之間形成應(yīng)能構(gòu)成微小單元間隙(cellgap)的多數(shù)顆粒狀間隔的間隔形成方法，其特征在于，將構(gòu)成間隔的顆粒狀材料導(dǎo)入多個(gè)功能液滴噴頭中，使功能液滴噴頭至少相對(duì)于一塊基板作相對(duì)掃描，選擇性噴出顆粒狀材料在基板上形成間隔。
本發(fā)明的金屬配線形成方法，是一種使用上述的功能液滴噴出裝置，在基板上形成金屬配線的金屬配線形成方法，其特征在于，將液態(tài)金屬材料導(dǎo)入多個(gè)功能液滴噴頭中，使功能液滴噴頭相對(duì)于基板作相對(duì)掃描，選擇性噴出液態(tài)金屬材料形成金屬配線。
本發(fā)明的透鏡形成方法，是一種使用上述的功能液滴噴出裝置，在基板上形成多個(gè)微透鏡的透鏡形成方法，其特征在于，將透鏡材料導(dǎo)入多個(gè)功能液滴噴頭中，使功能液滴噴頭相對(duì)于基板作相對(duì)掃描，選擇性噴出透鏡材料形成多個(gè)微透鏡。
本發(fā)明的抗蝕層形成方法，是一種使用上述的功能液滴噴出裝置，在基板上形成任意形狀抗蝕層的抗蝕層形成方法，其特征在于，將抗蝕層材料導(dǎo)入多個(gè)功能液滴噴頭中，使功能液滴噴頭相對(duì)于基板作相對(duì)掃描，選擇性噴出抗蝕層材料形成抗蝕層。
本發(fā)明的光擴(kuò)散體形成方法，是一種使用上述的功能液滴噴出裝置，在基板上形成多個(gè)光擴(kuò)散體的光擴(kuò)散體形成方法，其特征在于，將光擴(kuò)散材料導(dǎo)入多個(gè)功能液滴噴頭中，使功能液滴噴頭相對(duì)于基板作相對(duì)掃描，選擇性噴出光擴(kuò)散材料形成多個(gè)光擴(kuò)散體。
如此所述，通過(guò)在濾色器的制造方法、有機(jī)EL制造方法、間隔制造方法、金屬配線形成方法、透鏡形成方法、抗蝕層形成方法和光擴(kuò)散體形成方法中使用上述的功能液滴噴出裝置，能夠以適當(dāng)數(shù)量選擇性地將各種電子器件和各種光學(xué)器件所要求的濾色器材料和發(fā)光材料等供給適當(dāng)位置。


圖1是實(shí)施方式涉及的描繪裝置的示意圖。
圖2是實(shí)施方式涉及的功能液滴噴頭和基板的模式圖。
圖3是實(shí)施方式涉及的功能液滴噴頭控制系統(tǒng)的方框圖。
圖4是表示描繪數(shù)據(jù)和位置數(shù)據(jù)的生成方法概要的說(shuō)明圖。
圖5是表示實(shí)施方式中一個(gè)操作畫面實(shí)例的主菜單畫面的圖。
圖6是表示實(shí)施方式中一個(gè)操作畫面實(shí)例的機(jī)種文件選擇圖。
圖7是表示實(shí)施方式中一個(gè)操作畫面實(shí)例的單元圖案輸入畫面圖。
圖8是表示不同于圖7的單元圖案輸入畫面圖。
圖9是表示不同于圖7和圖8的單元圖案輸入畫面圖。
圖10是表示不同于圖7、圖8和圖9的單元圖案輸入畫面圖。
圖11是表示實(shí)施方式中一個(gè)操作畫面實(shí)例的CF設(shè)計(jì)值1的輸入畫面圖。
圖12是表示實(shí)施方式中一個(gè)操作畫面實(shí)例的工件設(shè)計(jì)值1的輸入畫面圖。
圖13是表示實(shí)施方式中一個(gè)操作畫面實(shí)例的工件設(shè)計(jì)值2的輸入畫面圖。
圖14是表示實(shí)施方式中一個(gè)操作畫面實(shí)例的圖像設(shè)定的輸入畫面圖。
圖15是表示實(shí)施方式中一個(gè)操作畫面實(shí)例的掃描信息的輸入畫面圖。
圖16是表示實(shí)施方式中一個(gè)操作畫面實(shí)例的象素內(nèi)描繪的輸入畫面圖。
圖17是表示實(shí)施方式中一個(gè)操作畫面實(shí)例的任選項(xiàng)的輸入畫面圖。
圖18是表示實(shí)施方式中一個(gè)操作畫面實(shí)例的噴頭文件的輸入畫面圖。
圖19是表示實(shí)施方式中一個(gè)操作畫面實(shí)例的噴頭設(shè)計(jì)值的輸入畫面圖。
圖20是表示實(shí)施方式中一個(gè)操作畫面實(shí)例的噴頭支承架設(shè)計(jì)值1的輸入畫面圖。
圖21是表示實(shí)施方式中一個(gè)操作畫面實(shí)例的噴頭支承架設(shè)計(jì)值2的輸入畫面圖。
圖22是表示實(shí)施方式中一個(gè)操作畫面實(shí)例中畫像設(shè)定的輸入畫面圖。
圖23是表示實(shí)施方式中一個(gè)操作畫面實(shí)例中任選項(xiàng)的輸入畫面圖。
圖24是表示實(shí)施方式中一個(gè)操作畫面實(shí)例中機(jī)械設(shè)計(jì)值1的輸入畫面圖。
圖25是表示實(shí)施方式中一個(gè)操作畫面實(shí)例中機(jī)械設(shè)計(jì)值2的輸入畫面圖。
圖26是表示實(shí)施方式中一個(gè)操作畫面實(shí)例中軸參數(shù)的輸入畫面圖。
圖27是表示實(shí)施方式中一個(gè)操作畫面實(shí)例中點(diǎn)檢查參數(shù)的輸入畫面圖。
圖28是表示實(shí)施方式中一個(gè)操作畫面實(shí)例中錯(cuò)開進(jìn)行的輸入畫面圖。
圖29是表示實(shí)施方式中一個(gè)操作畫面實(shí)例中往返進(jìn)行的輸入畫面圖。
圖30是表示實(shí)施方式中一個(gè)操作畫面實(shí)例中位標(biāo)志文件形式的輸入畫面圖。
圖31A-C是表示實(shí)施方式中象素排列方式實(shí)例的圖。
圖32是實(shí)施方式中芯片內(nèi)一種R.G.B.象素排列實(shí)例的示意圖。
圖33是實(shí)施方式中基板上一種芯片排列實(shí)例的示意圖。
圖34A-C是實(shí)施方式中一種相鄰象素實(shí)例的示意圖。
圖35是實(shí)施方式中功能液滴噴頭的一種驅(qū)動(dòng)方式實(shí)例的示意圖。
圖36是實(shí)施方式中噴嘴位置與功能液噴出量之間關(guān)系的示意圖。
圖37是實(shí)施方式中一種基板排列標(biāo)志實(shí)例的示意圖。
圖38A，B是用實(shí)施方式中濾色器制造方法制造的濾色器的局部放大圖。
圖39是示意說(shuō)明實(shí)施方式中濾色器制造方法的制造工序斷面圖。
圖40是用實(shí)施方式中濾色器制造方法制造的也具有顯示裝置的斷面圖。
圖41是實(shí)施方式的有機(jī)EL裝置制造方法中存儲(chǔ)部(bank)形成工序(無(wú)機(jī)物存儲(chǔ)體)的斷面圖。
圖42是實(shí)施方式的有機(jī)EL裝置制造方法中存儲(chǔ)形成工序(有機(jī)物存儲(chǔ)體)的斷面圖。
圖43是實(shí)施方式的有機(jī)EL裝置制造方法中等離子處理工序(親水處理)的斷面圖。
圖44是實(shí)施方式的有機(jī)EL裝置制造方法中等離子處理工序(疏水處理)的斷面圖。
圖45是實(shí)施方式的有機(jī)EL裝置制造方法中空穴注入層形成工序(功能液滴噴出)的斷面圖。
圖46是實(shí)施方式的有機(jī)EL裝置制造方法中空穴注入層形成工序(干燥)的斷面圖。
圖47是實(shí)施方式的有機(jī)EL裝置制造方法中表面改質(zhì)工序(功能液滴噴出)的斷面圖。
圖48是實(shí)施方式的有機(jī)EL裝置制造方法中空穴注入層形成工序(干燥)的斷面圖。
圖49是實(shí)施方式的有機(jī)EL裝置制造方法中B發(fā)光層形成工序(功能液滴噴出)的斷面圖。
圖50是實(shí)施方式的有機(jī)EL裝置制造方法中B發(fā)光層形成工序(干燥)的斷面圖。
圖51是實(shí)施方式的有機(jī)EL裝置制造方法中R·G·B發(fā)光層形成工序的斷面圖。
圖52是實(shí)施方式的有機(jī)EL裝置制造方法中對(duì)電極形成工序的斷面圖。
圖53是實(shí)施方式的有機(jī)EL裝置制造方法中密封工序的斷面圖。
具體實(shí)施例方式
以下參照

本發(fā)明的實(shí)施方式。構(gòu)成描繪裝置的功能液滴噴出裝置，由于能夠從配置排列在該功能液滴噴頭上的多個(gè)噴嘴，以到精度噴出點(diǎn)狀微小液滴，所以通過(guò)在功能液中使用特殊油墨以及感光性發(fā)光性樹脂等，可以期待在各種產(chǎn)品制造領(lǐng)域中的應(yīng)用。
本實(shí)施方式的噴出圖案數(shù)據(jù)生成裝置、噴頭動(dòng)作圖案數(shù)據(jù)生成裝置、功能液滴噴出裝置和描繪裝置，可以用在例如液晶顯示裝置和有機(jī)EL裝置等所謂平面顯示裝置的制造中，自該多功能液滴噴頭噴出濾色器材料和發(fā)光材料等功能液(噴墨方式)，形成也具有顯示裝置中的R(紅)、G(綠)、B(藍(lán))色濾色元件，以及有機(jī)EL裝置中各象素的EL發(fā)光層和空穴注入層。其中在本實(shí)施方式中，將以組裝在液晶顯示裝置的制造裝置等中的描繪裝置為例，說(shuō)明該噴出圖案數(shù)據(jù)生成方法、噴頭動(dòng)作圖案數(shù)據(jù)生成方法等。
如圖1和圖2所示，構(gòu)成描繪裝置1的功能液滴噴出裝置10，具有X軸臺(tái)架23和與其正交的Y軸臺(tái)架24，設(shè)置在Y軸臺(tái)架24上的主拖架25，以及搭載在主拖架25上的噴頭組件26。其細(xì)節(jié)詳見后述，多個(gè)功能液滴噴頭7通過(guò)次拖架41搭載在噴頭組件26上。而且與這多個(gè)功能液滴噴頭7對(duì)應(yīng)地將基板(工件)W設(shè)置在X軸臺(tái)架23的吸附臺(tái)架28上。
在本實(shí)施方式的功能液滴噴出裝置10中，在驅(qū)動(dòng)功能液滴噴頭7(選擇性噴出功能液滴)的同時(shí)使基板W移動(dòng)，功能液滴噴頭7的所謂主掃描，沿著X軸臺(tái)架23的X軸方向以往復(fù)運(yùn)動(dòng)方式進(jìn)行。而且與此對(duì)應(yīng)，所謂副掃描通過(guò)Y軸臺(tái)架24使功能液滴噴頭7沿著Y軸方向以往復(fù)運(yùn)動(dòng)方式進(jìn)行。其中也可以使上述的主掃描僅僅沿著X軸臺(tái)架23的X軸方向以往動(dòng)(或復(fù)動(dòng))的方式進(jìn)行。
噴頭組件26備有副拖架41，以及搭載在副拖架41上的多個(gè)(12個(gè))功能液滴噴頭7。12個(gè)功能液滴噴頭7，各六個(gè)一組左右排列得與主掃描方向成預(yù)定角度傾斜。其中本實(shí)施方式的功能液滴噴頭7，可以使用利用壓電效果的精密噴頭，在著色層形成區(qū)域選擇性噴出微小液滴。
而且每組六個(gè)功能液滴噴頭7，相對(duì)于副掃描方向被設(shè)置得位置互相錯(cuò)開，使12個(gè)功能液滴噴頭7的全噴出噴嘴38沿副掃描方向上連續(xù)(部分重復(fù))。也就是說(shuō)實(shí)施方式中的噴頭設(shè)置，是在副拖架41上排列有兩列沿同一方向傾斜設(shè)置六個(gè)功能液滴噴頭7。這樣一來(lái)，通過(guò)在預(yù)定角度(相對(duì)于副掃描方向成θ角)的傾斜狀態(tài)下進(jìn)行主掃描，能使多個(gè)噴嘴的噴嘴間間距與基板W上象素的間距互相吻合。而且在各功能液滴噴頭7上互相平行排列兩列噴嘴37和37，每列噴嘴37由等間距排列的180個(gè)(圖中以示意方式表示)噴嘴38構(gòu)成。
然而這種排列圖案只是其中一例，例如各列噴頭中相鄰的功能液滴噴頭7和7之間以90°角排列(相鄰噴頭間成“八”字形)，或者各列噴頭間的功能液滴噴頭7以90°角排列(列間噴頭間成“八”字形)等也是可能的。但是無(wú)論哪種情況，12個(gè)功能液滴噴頭7中的全噴出噴嘴38的噴頭，可以沿副掃描方向連續(xù)。
而且對(duì)各種基板W而言，若以功能液滴噴頭7作為專用部件，則根本不比將功能液滴噴頭7傾斜設(shè)置，可以設(shè)置成交錯(cuò)式和階梯形。進(jìn)一步講，只要能構(gòu)成預(yù)定長(zhǎng)度的噴嘴列(點(diǎn)列)，既可以由單一的功能液滴噴頭7構(gòu)成，也可以由多個(gè)功能液滴噴頭7構(gòu)成，而且其排列圖案也是任意的。
以下簡(jiǎn)單說(shuō)明描繪裝置1的一系列動(dòng)作。首先在準(zhǔn)備階段，將供操作的基板W用的噴頭組件26裝入功能液滴噴出裝置10中，將其固定在主拖架25上。噴頭組件26在主拖架25上固定后，Y軸臺(tái)架24使噴頭組件26移動(dòng)到圖外的噴頭識(shí)別相機(jī)的位置上，由噴頭識(shí)別相機(jī)檢查噴頭排列標(biāo)記，對(duì)噴頭組件26作位置確認(rèn)。在此根據(jù)此確認(rèn)的結(jié)果，對(duì)噴頭組件26作θ補(bǔ)正，而且噴頭組件26的X軸方向和Y軸方向上的位置補(bǔ)正以數(shù)據(jù)進(jìn)行。位置補(bǔ)正后，噴頭組件(主拖架25)26返回到室內(nèi)位置上。
另一方面，從料盤中取出的基板(這種情況下被導(dǎo)入的每塊基板)W一旦被導(dǎo)入X軸臺(tái)架23的吸附臺(tái)架28上，就會(huì)在此位置(交接位置)上由圖外的基板識(shí)別相機(jī)檢查基板排列標(biāo)記(參見圖37)，對(duì)基板W作位置確認(rèn)。在這里根據(jù)此確認(rèn)結(jié)果，對(duì)基板W作θ補(bǔ)正，而且基板W的X軸方向和Y軸方向上的位置補(bǔ)正以數(shù)據(jù)進(jìn)行。位置補(bǔ)正后，基板(吸附臺(tái)桌28)W返回到原來(lái)位置(homeposition)上。
一旦這樣完成準(zhǔn)備后，在實(shí)際液滴噴出操作中，就會(huì)首先驅(qū)動(dòng)X軸臺(tái)架23，使基板W沿著主掃描方向作往復(fù)運(yùn)動(dòng)，同時(shí)驅(qū)動(dòng)多個(gè)功能液滴噴頭7，進(jìn)行功能液滴向基板W選擇性噴出動(dòng)作(象素E的形成)。當(dāng)基板W復(fù)動(dòng)后，這次驅(qū)動(dòng)Y軸臺(tái)桌24，使噴頭組件26沿著副掃描方向移動(dòng)一個(gè)間距，然后再進(jìn)行基板W向主掃描方向的往復(fù)運(yùn)動(dòng)和功能液滴噴頭7的驅(qū)動(dòng)。于是以數(shù)次重復(fù)此過(guò)程的方式進(jìn)行全部芯片區(qū)域C的描繪(按區(qū)段進(jìn)行；參見圖35)。
綜上，構(gòu)成芯片形成區(qū)域C的R.G.B.三色中例如有關(guān)R的描繪一旦終止，就會(huì)將基板W移送到例如噴出G功能液滴的功能液滴噴出裝置10進(jìn)行G的描繪。于是最后移送至噴出B功能液滴的功能液滴噴出裝置10進(jìn)行B的描繪，通過(guò)分別描繪出彩色描繪的全部芯片形成區(qū)域C，能夠得到一個(gè)芯片形成區(qū)域C。
另一方面，在上述動(dòng)作的同時(shí)，以空氣供給裝置42作為壓力供給源連續(xù)將功能液供給液滴噴出裝置10的功能液滴噴頭7，而且在吸附臺(tái)桌28中由能吸附基板W的真空抽吸裝置15抽吸空氣。此外，在液滴噴出操作之前，噴頭組件26面臨圖外的清潔組件和擦拭組件受到來(lái)自功能液滴噴頭7的全噴噴嘴38的功能液的吸引，然后對(duì)噴嘴形成面進(jìn)行擦拭。而且在液滴噴出操作中，適當(dāng)?shù)膰婎^組件26面臨沖洗組件進(jìn)行沖洗(參見圖24)。
此外，本實(shí)施方式中雖然使作為該對(duì)象物的基板W沿著主掃描方向(X軸方向)移動(dòng)，但是也可以具有使噴頭組件26沿著主掃描方向移動(dòng)的結(jié)構(gòu)。而且還可以具有將噴頭組件26固定，使基板W沿著主掃描方向和副掃描方向移動(dòng)的結(jié)構(gòu)。
以下參照?qǐng)D3說(shuō)明功能液滴噴出裝置10的控制結(jié)構(gòu)。功能液滴噴出裝10，由具有功能液滴噴頭7(壓電元件驅(qū)動(dòng)油墨噴頭)、和與其連接用噴頭界面基板11的噴頭部分110；具有波形圖案存儲(chǔ)電路基板121、與其連接用界面基板122、和向波形圖案存儲(chǔ)電路基板121輸送觸發(fā)電路脈沖的觸發(fā)電路基板123，驅(qū)動(dòng)功能液滴噴頭7的驅(qū)動(dòng)部分120；具有直流電源131，向波形圖案存儲(chǔ)電路基板121供給電源的電源部分130；具有線型標(biāo)度141，掃描進(jìn)給量檢出的進(jìn)給量檢出部分140；以及具有控制裝置全體的第一PC151；和主要控制功能液滴噴頭7驅(qū)動(dòng)用的第二PC152的控制部分150所構(gòu)成。
噴頭部分110的功能液滴噴頭7具有上述結(jié)構(gòu)，使用兩列每個(gè)噴頭有180個(gè)噴嘴的噴嘴列。噴頭界面基板111，自波形圖案存儲(chǔ)電路基板121送來(lái)的信號(hào)進(jìn)行差動(dòng)信號(hào)變換后，將驅(qū)動(dòng)功能液滴噴出用的驅(qū)動(dòng)壓電元件的壓電元件驅(qū)動(dòng)信號(hào)、噴出圖案數(shù)據(jù)和噴頭動(dòng)作圖案數(shù)據(jù)輸送給功能液滴噴頭7。
驅(qū)動(dòng)部分120的波形圖案存儲(chǔ)電路基板121，接受來(lái)自第二PC152的壓電元件驅(qū)動(dòng)信號(hào)生成驅(qū)動(dòng)波形。而且，根據(jù)線性標(biāo)度141發(fā)出的信號(hào)由對(duì)功能液滴噴出距離計(jì)數(shù)的觸發(fā)電路基板123調(diào)制成觸發(fā)電路脈沖，波形圖案存儲(chǔ)電路基板121接受此觸發(fā)電路脈沖后預(yù)先由第PC152輸送，依次取出存儲(chǔ)的噴出圖案數(shù)據(jù)和噴頭動(dòng)作圖案數(shù)據(jù)。此外波形圖案存儲(chǔ)電路基板121，與觸發(fā)電路脈沖同期生成和預(yù)先由第PC152輸送、存儲(chǔ)的波形圖案數(shù)據(jù)對(duì)應(yīng)的壓電元件驅(qū)動(dòng)波形。而且波形圖案存儲(chǔ)電路基板121，由電源部分131的直流電源131(噴頭驅(qū)動(dòng)用)供給電源。
進(jìn)給量檢出部分141，以0.5微米檢出掃描的進(jìn)給量，將位置脈沖輸送到觸發(fā)電路基板123。而且控制部分150的第二PC152，通過(guò)RS-232C與第一PC151連接，接受第一PC151發(fā)出的指令回送關(guān)于功能液滴噴頭7的驅(qū)動(dòng)結(jié)果等。而且第二PC152生成噴出圖案數(shù)據(jù)，通過(guò)界面基板122將轉(zhuǎn)送的控制信號(hào)送到波形圖案存儲(chǔ)電路基板121的同時(shí)，向觸發(fā)電路基板123輸送觸發(fā)電路控制信號(hào)和噴出控制信號(hào)。
以下，就由功能液滴噴頭7向工件(基板W)選擇性噴出功能液滴描繪用噴出圖案數(shù)據(jù)的生成方法以及功能液滴噴頭7的噴頭動(dòng)作圖案數(shù)據(jù)生成方法進(jìn)行說(shuō)明。這些噴出圖案數(shù)據(jù)和噴頭動(dòng)作圖案數(shù)據(jù)，可以根據(jù)與作用戶設(shè)定的描繪對(duì)象用的基板W和功能液滴噴頭7等有關(guān)的各種信息，按預(yù)定算法一并生成。
如圖4所示，用戶根據(jù)與基板W有關(guān)的信息(象素信息、芯片信息基板數(shù)據(jù))、有關(guān)功能液滴噴頭7的信息(噴嘴信息、噴頭移動(dòng)信息噴頭數(shù)據(jù))和其他信息(編輯任選項(xiàng))，結(jié)合裝置類別(R.G.B)的信息(裝置數(shù)據(jù))，通過(guò)編輯可以生成各裝置(各顏色)的噴出圖案數(shù)據(jù)(描繪數(shù)據(jù))和噴頭動(dòng)作圖案數(shù)據(jù)(位置數(shù)據(jù))。這樣，由于噴出圖案數(shù)據(jù)和噴頭動(dòng)作圖案數(shù)據(jù)可以按裝置類別(顏色)生成，所以容易進(jìn)行描繪處理。而且一旦設(shè)定了與基板W有關(guān)的信息和與功能液滴噴頭7有關(guān)的信息，由于各裝置的噴出圖案數(shù)據(jù)和噴頭動(dòng)作圖案數(shù)據(jù)一并生成，因而能容易而迅速地生成這些數(shù)據(jù)。
以下參照附圖(圖5～圖30)，根據(jù)操作順序進(jìn)行說(shuō)明，其中這些附圖表示由存儲(chǔ)了噴出圖案數(shù)據(jù)和噴頭動(dòng)作圖案數(shù)據(jù)的程序的第二PC152所顯示的畫面。其中這些操作不一定由第二PC152進(jìn)行，也可以用其他PC進(jìn)行，將生成的噴出圖案數(shù)據(jù)和噴頭動(dòng)作圖案數(shù)據(jù)記錄在記錄介質(zhì)(CD-ROM等)上，將其讀到第二PC152之中。
如圖5所示，首先選擇使用描繪裝置的機(jī)種。然后選擇該機(jī)種中每種顏色描繪裝置和使用的功能液滴噴頭7。其中由于使用的噴頭都相同(“噴頭1”)，所以以后設(shè)定的噴頭數(shù)據(jù)(參照附圖18至23)可以僅輸入與這種“噴頭1”有關(guān)的信息。反之，若其中使用的功能液滴噴頭7完全不同，則應(yīng)當(dāng)分別輸入三種噴頭數(shù)據(jù)。
接著，如圖6所示，選擇描繪裝置1(機(jī)種名稱“646all-4d-200”)中使用的機(jī)種文件。其中附圖7至17，是表示在這里選擇的機(jī)種文件(機(jī)種文件名稱“646all-4d-200”)的編輯畫面。
附圖7至10是選擇單元圖案(象素E的排列)的畫面，圖7、圖8與圖9，和圖10所示的分別是選擇馬賽克排列，三角形排列，和條狀排列的實(shí)例。其中除選擇單元圖案之外，還可以事先選擇單元(象素E)的配色，能夠?qū)δ膫€(gè)單元E設(shè)定噴出哪種顏色的功能液滴。
其中在“單元的配色”一欄所示的字母“A”，表示芯片形成區(qū)域C的基準(zhǔn)位置。而且三角形排列中的“A型”和“B型”，是指以最接近基準(zhǔn)位置“A”的象素E作為全部象素(圖8)，還作為半象素(圖9)之間可能選擇的差別。
而且各種排列的一個(gè)實(shí)例如圖31A至圖31C所示，分別有圖31A的馬賽克排列，圖31B的三角形排列，和圖31C的條狀排列實(shí)例。正如其中所示的那樣，條狀排列是基體的縱列或橫列完全同色的排列；馬賽克排列是縱和橫并排的任意三個(gè)象素以R.G.B三種顏色的排列。而且三角形排列是使象素排列形成階梯狀，任意相鄰的三個(gè)象素以R.G.B三種顏色的排列。因此，各種顏色的選擇，例如圖7中馬賽克排列的情況下，一旦將右上方的象素設(shè)定為“R”，同圖所示的另外兩個(gè)象素也被設(shè)定為“R”。而且，無(wú)論將哪個(gè)場(chǎng)所設(shè)定為“G”或“B”，必將決定其中所示的全部象素的配色。
圖11是設(shè)定濾色器(CF芯片形成區(qū)域)的設(shè)計(jì)值1的畫面，可以設(shè)定象素?cái)?shù)目、象素尺寸、象素間距和CF相對(duì)于工件的設(shè)置方向。CF相對(duì)于工件的設(shè)置方向，應(yīng)當(dāng)使工件基準(zhǔn)(參見圖33)處于右上方。因此在這里設(shè)定的設(shè)置方向下描繪的CF將處于圖33所示的方向上。
圖12是設(shè)定工件(基板W)設(shè)計(jì)值1的畫面，可以設(shè)定(選擇)CF數(shù)目、CF尺寸、CF間距、CF的中央間距(圖中a)、工件(WF)尺寸和軟盤盒間距。其中這里所述的“橫”是指工件W的縱向。而且在圖中示出的情況下，CF的中央間距被設(shè)定為“無(wú)”(在“有中央間距”項(xiàng)未核實(shí))。這表示全部CF沿橫向等間距排列(參見圖33)。而且工件尺寸可以選擇兩種中任何一種，當(dāng)然只要能輸入數(shù)值，也可以設(shè)定成任意尺寸。此外所謂軟盤盒間距是指放置工件W的軟盤盒隔板的間隔，由于其撓曲量因工件W(玻璃材料制)厚度而異，所以可以選擇兩種間距。
圖13是設(shè)定工件(基板)W的設(shè)計(jì)值2的畫面，可以設(shè)定主基板排列標(biāo)記與排頭網(wǎng)眼間的距離以及主基板排列標(biāo)記與輔助基板排列標(biāo)記之間的距離。輔助基板排列標(biāo)記雖然可以設(shè)計(jì)為多個(gè)，但是這里示出的是設(shè)計(jì)一個(gè)輔助基板排列標(biāo)記的情況。其中這里所示的“描繪方向”是指上述的“主掃描方向(X方向)”，所述的“改行方向”是指上述的“副掃描方向(Y方向)”。而且，工件W有縱置和橫置兩種情況，為了在各種情況下都能識(shí)別出主基板排列標(biāo)記與輔助基板排列標(biāo)記，所以識(shí)別這些標(biāo)記用的基板識(shí)別用照相機(jī)總計(jì)設(shè)置四臺(tái)。
圖14是進(jìn)行(與工件W排列有關(guān)的)圖像設(shè)定的畫面，可以設(shè)定WF(工件W)排列用圖像處理裝置的設(shè)定值。這是因?yàn)闃?biāo)記的形狀(圖案)因工件W不同而異的緣故。如上所述，排列用的標(biāo)記有兩種，必須就其每一種分別設(shè)定圖案名稱、精度、復(fù)雜程度、中途的下限值和最終下限值。本實(shí)施方式中，如圖37所示，主基板排列標(biāo)記和輔助基板排列標(biāo)記形狀相同。其中所述的圖案名稱是事先設(shè)定的圖案名稱。因此必須實(shí)現(xiàn)登錄多個(gè)圖案。而且所謂精度是指選擇該圖案應(yīng)當(dāng)具有的精度等級(jí)，所謂復(fù)雜程度是指將標(biāo)記形狀的復(fù)雜程度數(shù)字化后，從1至10中選出的數(shù)值(圖37中所示的排列標(biāo)記，復(fù)雜程度為“5”，比其更復(fù)雜的情況下復(fù)雜程度將變成6～10)。
所謂中途下限值，是指用基板識(shí)別照相機(jī)識(shí)別時(shí)，若有一定程度的一致性，識(shí)別該標(biāo)記時(shí)作為判斷用基準(zhǔn)的數(shù)值；所謂“中途下限值6500”是指一致性達(dá)到65％以上時(shí)能識(shí)別標(biāo)記的數(shù)值。之所以設(shè)定中途下限值和最終下限值的原因在于，為了使處理高速化，將標(biāo)記的識(shí)別(圖案匹配)分成兩個(gè)階段進(jìn)行。也就是說(shuō)，第一階段找到視為相似的圖案(可以發(fā)現(xiàn)候補(bǔ)點(diǎn))，在第二階段將評(píng)價(jià)該候補(bǔ)點(diǎn)是否是真正匹配的圖案。因此第一階段中，若顯示超過(guò)“中途下限值”的相關(guān)數(shù)值，則判斷為“好像存在與此相當(dāng)?shù)膱D案”，交給第二階段處理，在第二階段若顯示超過(guò)“最終下限值”，則判斷該候補(bǔ)點(diǎn)是否真正匹配的圖案。因此，由于“中途下限值”低的情況下出現(xiàn)的候補(bǔ)點(diǎn)多，所以第二階段的處理將會(huì)增加。反之，提高“中途下限值”雖然處理速度增高，但是一旦過(guò)高會(huì)使本來(lái)不應(yīng)發(fā)現(xiàn)的圖案也被發(fā)現(xiàn)，所以設(shè)定值優(yōu)選處于6000～7000左右。而且“最終下限值”由于是最終判斷為“發(fā)現(xiàn)了”的閾值，所以這并不意味著其數(shù)值比“中途下限值”低，一般而言是在設(shè)想設(shè)定檢索圖像的最差狀態(tài)。而且，若事先將該值設(shè)定得過(guò)低，則由于不能像預(yù)期那樣檢索圖案，所以優(yōu)選設(shè)定在8000以上。
圖15是設(shè)定描繪信息的畫面，能夠設(shè)定噴出分辨率和X軸描繪速度作為每種描繪顏色(R.G.B)的描繪信息，而且還能設(shè)定沖洗次數(shù)作為各種描繪顏色所共有的描繪信息。噴出分辨率和X軸描繪速度，根據(jù)功能液體的種類，或者根據(jù)選擇的功能液滴噴頭7的特性變更，在本實(shí)施方式的情況下，由于使用同一種功能液滴和功能液滴噴頭7，所以任何條件都是一樣的。而且沖洗次數(shù)是，在描繪方向前后設(shè)置的沖洗區(qū)域內(nèi)(參見圖24)，對(duì)每個(gè)噴嘴分別設(shè)定前后各噴出(沖洗)若干次功能液滴的次數(shù)。
圖16是設(shè)定象素內(nèi)描繪設(shè)計(jì)的畫面，可以設(shè)定油墨液滴在每此通過(guò)的象素內(nèi)開始滴落的位置和油墨滴(功能液滴)的數(shù)目。這種情況下，第一和第二次通過(guò)時(shí)自滴落位置(噴出位置)向(描繪方向的)正方向噴出油墨，在第三和第四次通過(guò)時(shí)朝負(fù)方向噴出油墨。這是因?yàn)閲姵龇椒ú捎盟^“區(qū)塊方式進(jìn)行”的緣故(參見圖35)，當(dāng)噴頭相對(duì)于工件W沿正方向作相對(duì)移動(dòng)時(shí)(即工件W沿負(fù)方向移動(dòng)時(shí))，第一次和第二次通過(guò)噴出功能液滴，而且當(dāng)噴頭沿負(fù)方向相對(duì)移動(dòng)時(shí)(即工件W沿正方向移動(dòng)時(shí))，第三次和第四次通過(guò)噴出功能液滴。這樣一來(lái)，在一個(gè)象素內(nèi)分多次噴出功能液滴的情況下，由于能夠設(shè)定得在各自不同的噴出位置上噴出功能液滴，所以能夠在無(wú)不均的條件下描繪一個(gè)象素。
圖17是進(jìn)行任選項(xiàng)設(shè)定的畫面，可以設(shè)定溫度。這種情況下的溫度專指工件W周圍的溫度，事先將補(bǔ)正工件W因溫度變化而伸縮用的補(bǔ)正表存儲(chǔ)起來(lái)，根據(jù)所設(shè)定的溫度適當(dāng)補(bǔ)正X軸臺(tái)架23和/或Y軸臺(tái)架24(功能液滴噴頭7)的進(jìn)給量。因此由于考慮了溫度造成基板的伸縮，所以能使功能液滴落在工件W的所需的正確位置上。
另外，在供給工件W的吸附臺(tái)架28附近備有溫度計(jì)，每個(gè)一定時(shí)間用此溫度計(jì)測(cè)定或者供給工件W時(shí)測(cè)定溫度，根據(jù)此測(cè)定的溫度可以對(duì)噴頭動(dòng)作圖案數(shù)據(jù)進(jìn)行補(bǔ)正。根據(jù)這種構(gòu)成，能夠節(jié)省用戶設(shè)定的時(shí)間，同時(shí)還能進(jìn)行正確的溫度補(bǔ)正。而且優(yōu)選使裝載工件W的料盤周圍溫度，與向吸附臺(tái)架28上供給時(shí)的周圍溫度相同。根據(jù)這種構(gòu)成，能夠進(jìn)行更正確的溫度補(bǔ)正。
圖18是選擇噴頭文件的畫面，可以選擇與圖5選擇使用的噴頭(“噴頭1”)對(duì)應(yīng)的文件。以下圖19至圖23是表示其中選擇的噴頭文件(噴頭文件名稱“噴頭1”)的編輯畫面。另外，在沒(méi)有預(yù)先存儲(chǔ)噴頭文件的情況下，這里必須輸入重新有關(guān)噴頭文件的數(shù)據(jù)。
圖19是輸入噴頭設(shè)計(jì)值的畫面，可以設(shè)定每個(gè)噴頭所相當(dāng)?shù)膰娮鞌?shù)目、噴頭在噴頭拖架上安裝的角度以及安裝噴頭拖架時(shí)噴嘴的間距。在每個(gè)噴頭所相當(dāng)?shù)膰娮鞌?shù)目中可以選擇自排頭噴嘴不使用噴嘴的數(shù)目和距最末尾噴嘴不使用噴嘴的數(shù)目，這是因?yàn)?，如圖36所示，因壓電式功能液滴噴頭7的特性而特別使噴嘴列37兩端的油墨噴出量具有增多的傾向，在不使用這兩端附近噴嘴的情況下使噴出量平均化的緣故。
而且這里所述的“噴頭拖架”是指子拖架41，但在這種子拖架41上噴頭的安裝角度和拖架安裝時(shí)噴嘴的間距中只要一方設(shè)定，另一方的數(shù)值也確定，因而可以只需輸入其中任何一方的數(shù)值。另外，這里設(shè)定的噴嘴間距，優(yōu)選設(shè)定成與象素間距不同的數(shù)值。本實(shí)施方式的情況下，使用與R.G.B描繪顏色對(duì)應(yīng)的三個(gè)裝置(設(shè)計(jì)相同、噴嘴排列相同)，雖然每個(gè)裝置噴出油墨的位置各異，但是根據(jù)這種構(gòu)成應(yīng)當(dāng)使用盡可能多的噴嘴使這三個(gè)著色圖案著色。也就是說(shuō)，能夠極大地減少噴出不均(描繪不均)(假定在條狀排列下考慮間距時(shí)，各種顏色只能使用1/3的噴嘴。)圖20是輸入噴頭拖架設(shè)計(jì)值1的畫面，可以設(shè)定以噴頭1A列為基準(zhǔn)時(shí)各噴嘴列間的間距(至各噴嘴列37的距離)。其中噴頭安裝中的所謂“通?！焙汀胺崔D(zhuǎn)”，分別表示安裝噴頭7至噴頭12，以及使噴頭1至噴頭6中的功能液滴噴頭7旋轉(zhuǎn)180°后安裝。
圖21是輸入噴頭拖架設(shè)計(jì)值2的畫面，可以設(shè)定噴頭排列標(biāo)記間的距離以及各標(biāo)記與主噴嘴間的距離。噴頭排列標(biāo)記是用激光腐蝕設(shè)法等在子拖架41上形成的，以主噴頭排列標(biāo)記和輔助噴頭排列標(biāo)記形式分別在每處形成。而且所述的主噴嘴是指噴頭1A列的端部噴嘴(圖中用黑圓點(diǎn)表示)。
圖22是進(jìn)行噴頭排列用圖像設(shè)定的畫面，可以設(shè)定噴頭排列用圖像處理裝置的設(shè)定值。這是因?yàn)闃?biāo)記形狀因拖架而異的緣故。如上所述，排列用的標(biāo)記有兩種，但這兩種都必須設(shè)定圖案名稱、精度、復(fù)雜程度、中途下限值、最終下限值、雙值化水準(zhǔn)、面積下限值和面積上限值。其中關(guān)于圖案名稱、精度、復(fù)雜程度、中途下限值和最終下限值，因?yàn)榕c圖14中的“WF排列用圖像處理裝置的設(shè)定”相同而省略其說(shuō)明。
雙值化水準(zhǔn)、面積下限值和面積上限值，能用圖案搭配法檢出排列標(biāo)記后，計(jì)算標(biāo)記重心時(shí)使用的參數(shù)，雙值化水準(zhǔn)是將排列標(biāo)記的亮度分解為256級(jí)的情況下，作為雙值化基準(zhǔn)點(diǎn)用的。也就是說(shuō)，將低于其中設(shè)定的設(shè)定值之處將變成“黑”。而且面積下限值和面積上限值，是用雙值化水準(zhǔn)法分成“白”和“黑”區(qū)后，排列標(biāo)記的“黑區(qū)面積”處于下限之上和上限之下的情況下，計(jì)算“黑區(qū)”的重心用的參數(shù)。因此，這種情況下當(dāng)“黑區(qū)的面積”處于10％以上和35％以下的情況下，可以計(jì)算出排列標(biāo)記的重心。
圖23是進(jìn)行任選項(xiàng)的設(shè)定，可以設(shè)定噴頭驅(qū)動(dòng)頻率。根據(jù)這種噴頭驅(qū)動(dòng)頻率和描繪方向的移動(dòng)速度，雖然可以決定一個(gè)噴嘴噴出的可能的間距，但是卻不一定輸入(不是必須輸入的項(xiàng)目)。
進(jìn)而列舉所用功能液滴噴出裝置10的1至3中的裝置1為例，以下在圖24至圖27中表示裝置1數(shù)據(jù)文件的編輯操作。圖24是輸入機(jī)械設(shè)計(jì)值1的畫面，可以設(shè)定裝置尺寸。如上所述，工件W有縱置和橫置兩種情況，在各種情況下為了能檢出主基板排列標(biāo)記和輔助基板排列標(biāo)記，總計(jì)設(shè)置四臺(tái)基板識(shí)別照相機(jī)。以這四臺(tái)照相機(jī)中的照相機(jī)1(以粗加號(hào)表示)作為基準(zhǔn)，設(shè)定前后沖洗區(qū)的區(qū)域。另外，這里所示的圖是從上方觀察工件時(shí)的平面視圖，表示與照相機(jī)1描繪方向的相對(duì)位置。
圖25是輸入機(jī)械涉及值2的畫面，可以設(shè)定作基準(zhǔn)用的照相機(jī)1與各照相機(jī)間在描繪方向上的距離。其中用照相機(jī)1和3識(shí)別工件W縱置情況下的標(biāo)記，而用照相機(jī)2和4識(shí)別工件橫置情況下的標(biāo)記。
圖26是輸入軸參數(shù)的畫面，可以設(shè)定描繪軸(X軸)的參數(shù)和改行軸(Y軸)的參數(shù)。作為描繪軸(X軸)的參數(shù)，輸入分辨率、起動(dòng)頻率和最高速度穩(wěn)定等待時(shí)間；其中分辨率等于線型標(biāo)度的分辨率。而且，所謂最高速度穩(wěn)定等待時(shí)間，是指噴頭在描繪方向上掃描時(shí)，達(dá)到最高速度之前(能夠達(dá)到穩(wěn)定掃描之前)的等待時(shí)間。此外所述的起動(dòng)頻率，是指生成X和Y兩軸的噴頭動(dòng)作圖案數(shù)據(jù)的情況下，計(jì)算起動(dòng)時(shí)的加速區(qū)(速度不穩(wěn)定區(qū)域)用的頻率。另一方面，改行軸(Y軸)參數(shù)的最高頻率，可以用于以下說(shuō)明的點(diǎn)丟失檢查中。所謂點(diǎn)丟失檢查是指，邊使功能液滴噴頭7移動(dòng)邊噴出功能液滴的方式進(jìn)行檢查，使用這里設(shè)定的最高頻率，設(shè)定該時(shí)刻功能液滴噴頭7的移動(dòng)速度，以便計(jì)算出在什么位置上由哪個(gè)噴嘴38噴出功能液滴。
圖27是輸入點(diǎn)檢查參數(shù)的畫面，可以設(shè)定點(diǎn)檢查時(shí)掃描區(qū)長(zhǎng)度、點(diǎn)敏感元件1和敏感元件2之間的距離、點(diǎn)檢查開始時(shí)排頭噴嘴與敏感元件之間的距離、點(diǎn)檢查敏感元件檢出的寬度和點(diǎn)檢查噴出時(shí)的噴出分辨率。這種“點(diǎn)檢查參數(shù)”用于檢查噴嘴堵塞，圖示的雙線長(zhǎng)方形表示功能液滴的承受皿。而且之所以使用敏感元件1和敏感元件2兩個(gè)敏感元件，是因?yàn)橥霞?1上的噴頭列有兩列，分別用于檢查其中每列用的緣故。
以下參照?qǐng)D28至圖30，就通過(guò)點(diǎn)擊(click)主菜單中的“編輯任選項(xiàng)”欄(ICON)，能夠設(shè)定編輯任選項(xiàng)的設(shè)定操作進(jìn)行說(shuō)明。圖28是設(shè)定錯(cuò)開方式的畫面，可以設(shè)定描繪顏色錯(cuò)開和掃描錯(cuò)開。所謂描繪顏色錯(cuò)開是指用多色(彩色)芯片形成區(qū)C進(jìn)行描繪的情況，對(duì)裝置1至3的功能液滴噴頭7的各自噴嘴列37自一端開始賦予同一噴嘴符號(hào)時(shí)(由于噴嘴數(shù)為180，所以決定賦予編號(hào)1至180)，對(duì)于相鄰象素(圖32中R1與G1、G1與B1等)設(shè)定得不用同一編號(hào)的噴嘴38噴出功能液滴。這里由于錯(cuò)開的噴嘴數(shù)為“10”，所以用裝置1的20號(hào)噴嘴噴出R1象素的情況下，決定用裝置2的10號(hào)或30號(hào)噴嘴噴出G1的象素。而且，用裝置1的1號(hào)噴嘴噴出R1的象素的情況下，決定用裝置2的11號(hào)或相鄰的噴嘴列37或功能液滴噴頭7的171號(hào)噴嘴噴出G1的象素。因此，即使噴出量因噴嘴38的位置而產(chǎn)生波動(dòng)的情況下(參見圖36)，為了使與一個(gè)象素相當(dāng)?shù)墓δ芤旱蔚膰姵隽科骄?，也能使噴出不均難以辨認(rèn)出來(lái)。
其中所謂各種排列(馬賽克排列、三角形排列、條狀排列)中相鄰的象素是指，如圖34A至圖34C所示，象素β相對(duì)于象素α的排列。但是在圖34C的條狀排列中，作為與象素α相鄰的象素除象素β之外還包括象素γ，也可以不用同一編號(hào)的噴嘴38噴出功能液滴。
另一方面，所謂掃描錯(cuò)開，通過(guò)多次噴出功能液滴描繪一個(gè)象素的情況下(本實(shí)施方式的情況下分四次描繪，參見圖16)，能夠分別用不同的噴嘴噴出功能液滴。其中由于錯(cuò)開的噴嘴數(shù)為80，所以用10號(hào)噴嘴對(duì)某個(gè)象素第一次通過(guò)噴出的情況下，第二次通過(guò)決定用90號(hào)噴嘴、第三次通過(guò)決定用170號(hào)噴嘴，第四次通過(guò)決定用相鄰噴嘴列37或者功能液滴噴頭7的70號(hào)噴嘴噴出。因此，因噴嘴38的位置而使功能液滴的噴出量即使產(chǎn)生波動(dòng)的情況下(參見圖36)，也能使對(duì)一個(gè)象素的功能液滴噴出量平均化。
圖29是作為功能液滴噴頭7對(duì)工件W(X階段23)一種驅(qū)動(dòng)方式的“逆向進(jìn)行”進(jìn)行設(shè)定用的畫面，可以設(shè)定“逆向進(jìn)行”或者“同向進(jìn)行”。其中只要這里沒(méi)有特別指定(本實(shí)施方式的情況下)，將變成“區(qū)塊進(jìn)行”。各種驅(qū)動(dòng)方式如圖35所示。
圖30是對(duì)位標(biāo)志文形式件(保存形式)進(jìn)行設(shè)定的畫面，可以設(shè)定“通常(BIN文本)”或者“調(diào)試(デバツク)(TXT文本)”中任何一種文本。其中“通常(BIN文本)”是形成功能液滴噴頭7的驅(qū)動(dòng)數(shù)據(jù)的二進(jìn)制數(shù)據(jù)，而“調(diào)試(TXT文本)”是能用測(cè)試編輯程序表示的測(cè)試數(shù)據(jù)。
如上所述，對(duì)圖7至圖17表示的機(jī)種文件(基板數(shù)據(jù))、圖19至圖23表示的噴頭文件(噴頭數(shù)據(jù))、以及圖24至圖27表示的裝置文件(裝置數(shù)據(jù))進(jìn)行編輯后，必要時(shí)對(duì)圖28至圖30表示的編輯任選項(xiàng)進(jìn)行設(shè)定后，通過(guò)點(diǎn)擊圖5所示的主菜單中的編輯欄可以進(jìn)行編輯，生成每種描繪顏色(每個(gè)裝置)的描繪數(shù)據(jù)(噴出圖案數(shù)據(jù))和位置數(shù)據(jù)(噴頭動(dòng)作圖案數(shù)據(jù))(參見圖4)。這樣一來(lái)，基于任意設(shè)定的象素信息和芯片信息(基板數(shù)據(jù))，以及噴嘴信息和噴頭移動(dòng)信息(噴頭數(shù)據(jù))，由于用預(yù)定算法生成噴出圖案數(shù)據(jù)和噴頭動(dòng)作圖案數(shù)據(jù)，所以能夠容易而迅速地一并生成全部噴嘴38的噴出圖案數(shù)據(jù)和全部裝置(功能液滴噴頭7)的噴頭動(dòng)作圖案數(shù)據(jù)。
然而本發(fā)明的描繪裝置1和功能液滴噴出裝置10，如上所述，也能用于各種平板顯示器的制造方法、以及各種電子器件和光學(xué)器件的制造方法。其中以液晶顯示裝置的制造方法和有機(jī)EL裝置的制造方法為例，說(shuō)明使用這種描繪裝置1和功能液滴噴出裝置10的制造方法。
圖38A-B是液晶顯示裝置中濾色器的部分放大圖。圖381是平面圖，圖38B是圖38A的B-B’線斷面圖。斷面視圖各部分的斷面線部分省略。
如圖38A所示，濾色器400具有矩陣狀排列的象素412(濾色元件)，象素與象素間的交界處由隔板413隔開。在一個(gè)一個(gè)象素412中導(dǎo)入紅(R)、綠(G)、藍(lán)(B)色中任何顏色的油墨(濾色材料)。本例中雖然是將紅、綠和藍(lán)配置成所謂三角形排列，但是也可以呈條狀、馬賽克等其他形狀排列。
如圖38B所示，濾色器400具有透過(guò)性基板411和遮光性隔板413。未形成隔板413(除去)的部分構(gòu)成上述象素。導(dǎo)入這種象素412中的各色油墨構(gòu)成著色層421。在隔板413和著色層421的上面形成表涂層422和電極層423。
圖39是說(shuō)明本發(fā)明實(shí)施方式的濾色器制造方法用的制造工序的斷面視圖。斷面視圖各部分的斷面線部分省略。
使用熱濃硫酸中添加了1重量％雙氧水的洗滌液，洗滌由膜厚0.7毫米、長(zhǎng)38厘米、寬30厘米的無(wú)堿玻璃制成的透明基板411的表面，用純水漂洗后進(jìn)行空氣干燥，獲得清潔表面。用濺射法在此表面上形成平均0.2微米膜厚的鉻膜，得到金屬層414’(圖39LS1)。
在電熱板上80℃下將此基板干燥5分鐘后，用旋涂法在金屬表面414上形成抗蝕層(圖中未示出)。使描繪了所需矩陣圖案形狀的掩膜濾色器于此基板表面貼緊，用紫外線進(jìn)行曝光。接著將其浸漬在含有8重量的氫氧化鉀的堿性顯影液中，除去未曝光部分的抗蝕層，使抗蝕層形成圖案。進(jìn)而使用以鹽酸為主要成分的腐蝕液腐蝕除去露出的金屬層。這樣能夠得到具有預(yù)定矩陣圖案的遮光層(黑矩陣)414(圖39S2)。遮光層414的膜厚大約0.2微米，遮光層414的寬度大約22微米。
再同樣用旋涂法在此基板上涂布負(fù)片型透明丙烯酸系感光性樹脂組合物415(圖39S3)。在100℃下將其預(yù)焙20分鐘后，使用描繪了預(yù)定矩陣圖案形狀的掩膜濾色器進(jìn)行紫外線曝光。同樣用堿性顯影液使未曝光部分的樹脂顯影，經(jīng)純水洗滌后旋轉(zhuǎn)干燥。作為最終干燥的后焙在200℃下進(jìn)行30分鐘，通過(guò)使樹脂部分固化形成存儲(chǔ)層415，形成由遮光層414和存儲(chǔ)層415構(gòu)成的隔板413(圖39S4)。此存儲(chǔ)層415的膜厚平均2.7微米，而且存儲(chǔ)層415的寬度大約14微米。
為了改善由得到的遮光層414和存儲(chǔ)層415所區(qū)分的著色層形成區(qū)(特別是玻璃基板411的露出面)對(duì)油墨的潤(rùn)濕性，進(jìn)行干式蝕刻處理，即等離子處理。具體講對(duì)氦氣中加入20％氧氣的混合氣體施加高電壓，在等離子氣氛中形成腐蝕輝點(diǎn)，使基板在這種蝕刻輝點(diǎn)下通過(guò)，以此方式進(jìn)行蝕刻。
然后用油墨噴射方式向被隔板413隔開形成的象素412內(nèi)，導(dǎo)入上述R、G、B各色油墨(圖39S5)。功能液滴噴頭7(油墨噴頭)使用采用壓電效果的精密噴頭，向每個(gè)著色層形成區(qū)選擇性噴吐10滴微小油墨滴。驅(qū)動(dòng)頻率設(shè)定為14.4kHz，即每滴油墨噴出間隔69.5微秒。噴頭與靶間距離設(shè)定為0.3毫米。為了防止噴頭在向作為靶的著色層形成區(qū)的運(yùn)動(dòng)過(guò)程中出現(xiàn)飛翔速度、飛行彎曲和被稱為衛(wèi)星的分裂散亂液滴，油墨的性質(zhì)、不用說(shuō)驅(qū)動(dòng)噴頭壓電元件的波形(包括電壓)是重要的。因此，將事先設(shè)定條件的波形制成程序，同時(shí)涂布紅、綠、藍(lán)三色油墨液滴，根據(jù)預(yù)定配色圖案涂布油墨。
作為油墨(濾色材料)，例如將無(wú)機(jī)顏料在聚氨酯樹脂低聚物之中分散后，加入作低沸點(diǎn)溶劑用的環(huán)己酮和乙酸丁酯，以及作高沸點(diǎn)溶劑用的丁基卡必醇乙酸酯，進(jìn)而添加0.01重量％非離子型表面活性劑作為分散劑，制成粘度6～8厘泊的物質(zhì)后使用。
接著使涂布的油墨干燥。首先在天然氣體氣氛中放置3小時(shí)，使油墨層416固化后，于80℃的電熱板上加熱40分鐘，最后在烘箱中200℃下加熱30分鐘，對(duì)油墨進(jìn)行固化處理，得到了著色層421(圖39S6)。
在上述基板上旋涂透明丙烯酸系樹脂涂料，形成具有平滑表面的表面涂層422。進(jìn)而在其上面根據(jù)所需圖案形成由ITO(Indium Tin Oxide)形成的電極層423，制成濾色器400(圖39S7)。其中，這種表面涂層422，也可以借助于功能液滴噴頭7(油墨噴頭)以油墨噴射方式形成。
圖40是用本發(fā)明的制造方法制造的作為電光學(xué)裝置(平板顯示器)一種實(shí)例的彩色液晶顯示裝置的斷面圖。斷面圖各部分的斷面線有部分省略。
這種彩色液晶顯示裝置450，是將濾色器400與對(duì)向基板466組合后，在二者間封入液晶組合物465的方法制造的。液晶顯示裝置450的一個(gè)基板466的內(nèi)側(cè)面上，以矩陣狀形成有TFT(薄膜晶體管)元件(圖中未示出)和象素電極463。而且作為另一基板，設(shè)置有濾色器400，使與象素電極463相對(duì)的為止上排列有紅、綠、藍(lán)著色層421。
在基板466和濾色器400相對(duì)的每個(gè)表面上，形成有取向膜461和464。這些取向膜461和464，事先經(jīng)摩擦處理可以使液晶分子根據(jù)一定方向排列。而且在基板466和濾色器400的外側(cè)面上，分別粘結(jié)有偏光板462和467。作為背光一般使用熒光燈(圖中未示出)與散射板的組件，利用使液晶組合物465具有使背光的透過(guò)率發(fā)生變化的功能進(jìn)行顯示。
另外，本發(fā)明的電光學(xué)裝置，并不限于上述的彩色液晶顯示裝置，也可以利用例如薄型陰極射線管、或采用液晶光欄等的小型電視機(jī)、EL顯示裝置、等離子顯示器、CRT顯示器、FED(場(chǎng)致發(fā)射顯示器)板等各種電光學(xué)裝置。
以下參照?qǐng)D41至圖53說(shuō)明有機(jī)EL裝置(有機(jī)EL顯示裝置)及其制造方法。
圖41至圖53同時(shí)表示包括有機(jī)EL元件的有機(jī)EL裝置的制造方法及其結(jié)構(gòu)。這種制造方法由存儲(chǔ)部分形成工序、等離子處理工序、空穴注入/輸送層形成工序和發(fā)光層形成工序組成的發(fā)光元件形成工序，以及對(duì)電極形成工序、密封工序構(gòu)成。
在存儲(chǔ)層形成工序中，利用在事先于基板501上形成了電路元件部分502上和電極511(也叫作象素電極)上的預(yù)定位置處層疊無(wú)機(jī)物存儲(chǔ)層512a和有機(jī)物存儲(chǔ)層512b的方法，形成具有開口部分512g的存儲(chǔ)部分512。因此，存儲(chǔ)部分形成工序包括在電極511的一部分上形成無(wú)機(jī)物存儲(chǔ)層512a的工序，和在無(wú)機(jī)物存儲(chǔ)層上形成有機(jī)物存儲(chǔ)層512b的工序。
在無(wú)機(jī)物存儲(chǔ)層512a的形成工序中，如圖41所示，在電路元件部分502的第二層間絕緣膜544b上和象素電極511上形成無(wú)機(jī)物存儲(chǔ)層512a。無(wú)機(jī)物存儲(chǔ)層512a，例如用CVD法、涂敷法、濺射法、蒸鍍法等在第二層間絕緣膜544b及象素電極511的全表面上形成SiO2、TiO2等無(wú)機(jī)物膜。
進(jìn)而用蝕刻法等將此無(wú)機(jī)物膜圖案化，設(shè)置與電極511的電極面511a的形成位置對(duì)應(yīng)的下部開口部分。此時(shí)，必須事先形成無(wú)機(jī)物存儲(chǔ)層512a，使之與電極511的周圍部分重疊。因此以這種方式形成無(wú)機(jī)物存儲(chǔ)層512a，使電極511的周圍部分(一部分)與無(wú)機(jī)物存儲(chǔ)層512a重疊，能夠控制發(fā)光層510B的發(fā)光區(qū)域。
然后在有機(jī)物存儲(chǔ)層512b的形成工序中，如圖42所示，在無(wú)機(jī)物存儲(chǔ)層512a上形成有機(jī)物存儲(chǔ)層512b。利用光刻技術(shù)蝕刻有機(jī)物存儲(chǔ)層512b，形成有機(jī)物存儲(chǔ)層512b的上部開口部分512d。上部開口部分512d，設(shè)在與電極面511a和下部開口部分511c對(duì)應(yīng)的位置上。
上部開口部分512d，如圖42所示，優(yōu)選形成得比下部開口部分511c寬，比電極面511a窄。這樣包圍無(wú)機(jī)物存儲(chǔ)層512a下部開口部分512c的第一層疊部分512e，將會(huì)形成比有機(jī)物存儲(chǔ)層512b還要向電極511的中央部分延伸的形狀。這樣一來(lái)通過(guò)使上部開口部分512d與下部開口部分512c連通，可以形成貫通無(wú)機(jī)物存儲(chǔ)層512a和有機(jī)物存儲(chǔ)層512b的開口部分512g。
接著在等離子處理工序中，于存儲(chǔ)部分512的表面和象素電極的表面511a上形成顯示親油墨性的區(qū)域和顯示疏油墨性的區(qū)域。這種等離子處理工序，可以大致分為預(yù)熱工序，使存儲(chǔ)部分512的上面(512f)和開口部分512g的壁面以及象素電極511的電極面511a具有親油墨性的親油墨化加工工序，使有機(jī)物存儲(chǔ)層512b的上面512f和上部開口部分512d的壁面以具有疏油墨性的疏油墨化加工工序，冷卻工序。
首先在預(yù)熱工序中，將包含存儲(chǔ)部分512的基板501加熱至預(yù)定溫度。加熱，例如可以在裝載基板501的階段安裝加熱器，用該加熱器在該每個(gè)階段加熱基板501的方式進(jìn)行。具體講，優(yōu)選將基板501的預(yù)熱溫度設(shè)定在例如70～80℃范圍內(nèi)。
接著在親油墨化工序中，在大氣氣氛中以氧氣作處理氣體進(jìn)行等離子處理(O2等離子處理)。通過(guò)這種O2等離子處理，如圖43所示，可以使象素電極511的電極面511a、無(wú)機(jī)物存儲(chǔ)層512a的第一層疊部分512e以及有機(jī)物存儲(chǔ)層512b的上部開口部分512d的壁面和上面512f親油墨化。利用這種親油墨處理，這些表面的各面因被導(dǎo)入羥基而被賦予親油墨性。圖43中，親油墨處理的部分用點(diǎn)劃線表示。
然后在疏油墨工序中，在大氣氣氛中以四氟化碳作處理氣體進(jìn)行等離子處理(CF4等離子處理)。通過(guò)這種CF4等離子處理，如圖44所示，可以使上部開口部分512d的壁面和有機(jī)物存儲(chǔ)層的上面512f疏油墨化。利用這種疏油墨處理，這些表面的各面因被導(dǎo)入氟原子而被賦予疏油墨性。圖44中，疏油墨處理的部分用雙點(diǎn)劃線表示。
進(jìn)而在冷卻工序中，將為等離子處理而加熱的基板501冷卻到室溫或者噴墨工序(功能液滴噴出)的管理溫度下。通過(guò)將等離子處理后的基板501冷卻到室溫或者預(yù)定溫度(例如進(jìn)行噴墨工序所需的管理溫度)下，能夠使其后的空穴注入/輸送層形成工序在一定溫度下進(jìn)行。
然后在發(fā)光元件形成中，利用在象素電極511上形成空穴注入/輸送層和發(fā)光層的方法形成發(fā)光元件。發(fā)光元件形成工序包含四個(gè)工序。即在各象素電極上噴出形成空穴注入/輸送層用第一組合物的第一功能液滴噴出工序，使噴出的第一組合物干燥在象素電極上形成空穴注入/輸送層的空穴注入/輸送層形成工序，在空穴注入/輸送層上噴出形成發(fā)光層用第二組合物的第二功能液滴噴出工序，以及使噴出的第二組合物干燥在空穴注入/輸送層上的形成發(fā)光層的發(fā)光層形成工序。
首先在第一功能液滴噴出工序中，用噴墨法(功能液滴噴出法)在電極面511a上噴出含有空穴注入/輸送層形成材料的第一組合物。其中在此第一功能液滴噴出工序以后，優(yōu)選在無(wú)水和氧的氮?dú)?、氬氣等惰性氣體氣氛中進(jìn)行。(其中在象素電極上僅形成空穴注入/輸送層的情況下，可以不形成與有機(jī)物存儲(chǔ)層相鄰形成的空穴注入/輸送層)
如圖45所示，將含有空穴注入/輸送層形成材料的第一組合物充填在油墨噴頭(功能液滴噴頭7)H中，使油墨噴頭H的噴嘴與處于下部開口部分512c內(nèi)的電極面511a相對(duì)，一邊使油墨噴頭H與基板501作相對(duì)移動(dòng)，一邊從噴嘴向電極面511a噴出每滴液量得到控制的第一組合物液滴510c。
這里使用的第一組合物，例如可以使用將聚乙烯二氧代噻吩(PEDOT)等聚噻吩衍生物與聚乙烯磺酸(PSS)等混合物溶解在極性溶劑中的組合物。作為極性溶劑，例如可以舉出異丙醇(IPA)、正丁醇、γ-丁內(nèi)酯、N-甲基吡咯烷酮(NMP)、1，3-二甲基-2-咪唑二酮(DMI)及其衍生物、卡必醇乙酸酯、丁基卡必醇乙酸酯等乙二醇醚類等。其中空穴注入/輸送層形成材料，既可以使用對(duì)于R·G·B各發(fā)光層510b來(lái)說(shuō)是相同的材料，也可以隨著每個(gè)發(fā)光層而改變。
如圖45所示，被噴出的第一組合物510c，在經(jīng)過(guò)親油墨處理的電極面511a、和第一層疊部分512e上擴(kuò)展，在下部、上部開口部分512c、512d內(nèi)充滿。在電極面511a上噴出的第一組合物量，取決于下部、上部開口部分512c和512d的大小、欲形成的空穴注入/輸送層厚度、第一組合物中空穴注入/輸送層形成材料的濃度等。而且第一組合物510c，不僅一次，也可以分?jǐn)?shù)次噴出在同一電極面511a上。
接著在空穴注入/輸送層形成工序中，如圖46所示，對(duì)噴出后的第一組合物進(jìn)行干燥處理和熱處理，使第一組合物中所含的極性溶劑蒸發(fā)，在電極面511a上形成空穴注入/輸送層510a。一旦進(jìn)行干燥處理，第一組合物液滴510c中所含極性溶劑的蒸發(fā)，就主要發(fā)生在靠近無(wú)機(jī)物存儲(chǔ)層512a和有機(jī)物存儲(chǔ)層512b之處，在使極性溶劑蒸發(fā)的同時(shí)，空穴注入/輸送層形成材料因濃縮而析出。
這樣一來(lái)，如圖46所示，即使電極面511a上因干燥處理而引起極性溶劑蒸發(fā)，也能用這種方法在電極面511a上形成由空穴注入/輸送層形成材料構(gòu)成的平坦部分510a。由于電極面511a上極性溶劑的蒸發(fā)速度大體均勻，所以空穴注入/輸送層形成材料在電極面511a上被均勻濃縮，因而能形成均勻厚度的平坦部分510a。
然后在第二功能液滴噴出工序中，用噴墨法(功能液滴噴出法)在空穴注入/輸送層510a上噴出含有發(fā)光層形成材料的第二組合物。在此第二功能液滴噴出工序中，為了防止空穴注入/輸送層510a再溶解，作為發(fā)光層形成時(shí)用第二組合物的溶劑，使用對(duì)于空穴注入/輸送層510a來(lái)說(shuō)不溶性非極性溶劑。
但是從另一方面來(lái)看，空穴注入/輸送層510a由于對(duì)非極性溶劑的親和性低，即使在空穴注入/輸送層510a上噴出含有非極性溶劑的第二組合物，既不能使空穴注入/輸送層510a與發(fā)光層510b緊密附著，也不能均勻涂布發(fā)光層510b。因此為了提高非極性溶劑以及發(fā)光層形成材料與空穴注入/輸送層510a表面的親和性，優(yōu)選在形成發(fā)光層之前進(jìn)行表面改質(zhì)工序。
為此首先說(shuō)明表面改質(zhì)工序。表面改質(zhì)工序進(jìn)行如下用噴墨法(功能液滴噴出法)、旋涂法或浸涂法，在空穴注入/輸送層510a上涂布表面改質(zhì)用溶劑后，進(jìn)行干燥。所述的表面改質(zhì)用溶劑，是與發(fā)光層形成時(shí)用第一組合物中的非極性溶劑同一溶劑或者與之同類的溶劑。
例如用噴墨法涂布進(jìn)行如下，如圖47所示，將表面改質(zhì)用溶劑填充在油墨噴頭H中，使油墨噴頭H的噴嘴與基板(即形成有空穴注入/輸送層510a的基板)相對(duì)，一邊使油墨噴頭H與基板510作相對(duì)移動(dòng)，一邊從噴嘴H向空穴注入/輸送層510a上噴出表面改質(zhì)用溶劑510d。于是如圖48所示，將表面改質(zhì)用溶劑510d干燥。
接著在第二功能液滴噴出工序中，用噴墨法(功能液滴噴出法)在空穴注入/輸送層510a上噴出含有發(fā)光層形成材料的第二組合物。如圖49所示，將含有藍(lán)色(B)發(fā)光層形成材料的第二組合物填充在油墨噴頭H中，使油墨噴頭H的噴嘴與處于下部、上部開口部分512c和512d內(nèi)的向空穴注入/輸送層510a相對(duì)，一邊使油墨噴頭H與基板501作相對(duì)移動(dòng)，一邊從噴嘴噴出每滴液量得到控制的第二組合物液滴510e，在空穴注入/輸送層510a上形成這種第二組合物液滴510e。
作為發(fā)光層形成材料，可以使用聚烯烴系高分子衍生物、以及(聚)對(duì)苯撐乙烯醇衍生物、聚苯撐衍生物、聚乙烯醇卡必醇、聚噻吩衍生物、二萘嵌苯系色料、香豆素系色料、繞丹寧系色料、或者在上述高分子中摻雜有機(jī)EL材料后使用。例如可以在摻雜紅熒烯、二萘嵌苯、9，10-二苯基蒽、四苯基丁二烯、尼羅紅、香豆素6、喹吖酮等后使用。
作為非極性溶劑，優(yōu)選使用對(duì)空穴注入/輸送層510a不溶性的溶劑，例如可以使用環(huán)己基苯、二氫苯并呋喃、三甲基苯、四甲基苯等。通過(guò)在發(fā)光層510b的第二組合物中使用這樣的非極性溶劑，能夠在不使空穴注入/輸送層510a再溶解的條件下涂布第二組合物。
如圖49所示，被噴出的第二組合物510e，在空穴注入/輸送層510a上擴(kuò)展，在下部、上部開口部分512c、512d內(nèi)充滿。第二組合物510e，不僅一次，也可以分?jǐn)?shù)次在空穴注入/輸送層510a上噴出。這種情況下，各次噴出的第二組合物量，既可以相同，也可以每次改變第二組合物的噴出量。
接著在發(fā)光層形成工序中，噴出第二組合物后通過(guò)實(shí)施干燥處理和熱處理，在空穴注入/輸送層510a上形成發(fā)光層510b。干燥處理，通過(guò)對(duì)噴出后的第二組合物進(jìn)行干燥處理使第二組合物中所含的非極性溶劑蒸發(fā)，形成圖50所示的藍(lán)色(B)發(fā)光層510b。
進(jìn)而，如圖51所示，與藍(lán)色(B)發(fā)光層510b的情況同樣形成紅色(R)發(fā)光層510b，最后形成綠色(G)發(fā)光層510b。其中，發(fā)光層510b的形成順序，并不限于上述的順序，也可以根據(jù)發(fā)光層形成材料決定形成順序。
其次在對(duì)電極形成工序中，如圖52所示，在發(fā)光層510b和有機(jī)物存儲(chǔ)層512b的全部表面上形成陰極503(對(duì)電極)。其中陰極503也可以層疊形成多數(shù)材料。例如靠近發(fā)光層一側(cè)優(yōu)選形成功函數(shù)小的材料，例如可以使用鈣、鋇等，而且有時(shí)也可以根據(jù)材料在下層形成LiF等薄層。此外，上部一側(cè)(密封側(cè))優(yōu)選形成功函數(shù)比下部一側(cè)高的材料層。這些陰極(陰極層)503，例如優(yōu)選用蒸鍍法、濺射法、CVD法等形成，從能夠防止發(fā)光層510b的熱損傷的角度來(lái)看，特別優(yōu)選用蒸鍍法形成。
另外，氟化鋰，既可以僅在發(fā)光層510b上形成，也可以僅在藍(lán)色(B)發(fā)光層510b上形成。這種情況下，由LiF形成的上部陰極層將于其他的紅色(R)發(fā)光層和綠色(G)發(fā)光層510b、510b連接。而且在陰極12的上部，優(yōu)選使用通過(guò)蒸鍍法、濺射法、CVD法等形成的Al膜、Ag膜。此外在陰極層503上，也可以設(shè)有防止氧化用的SiO2、SiN等保護(hù)膜。
最后，在圖53所示的密封工序中，在氮?dú)?、氬氣、氦氣等惰性氣體氣氛中，在有機(jī)EL元件504上層疊密封用板505。密封工序優(yōu)選在氮?dú)狻鍤?、氦氣等惰性氣體氣氛中進(jìn)行。若在大氣中進(jìn)行，當(dāng)陰極503上產(chǎn)生了針孔等缺陷的情況下，水份和氧氣等就會(huì)從這些缺陷部分侵入，有導(dǎo)致陰極503氧化之危險(xiǎn)而不優(yōu)選。最后，將陰極503與柔性基板的配線連接，同時(shí)通過(guò)將電路元件部分502的配線與驅(qū)動(dòng)IC連接，可以得到本實(shí)施方式的有機(jī)EL裝置500。
在象素電極511和陰極(對(duì)電極)503的形成中，也可以采用油墨噴頭H的噴墨方式。也就是說(shuō)，分別將液體電極材料導(dǎo)入油墨噴頭H中，用油墨噴頭H將其噴出，分別形成象素電極511和陰極(對(duì)電極)503(包括干燥工序)。
同樣，本實(shí)施方式的功能液滴噴出裝置10，也能用于電子釋放裝置的制造方法、PDP裝置的制造方法和電泳顯示裝置的制造方法等中。
在電子釋放裝置的制造方法中，將R、G、B各色熒光材料導(dǎo)入多個(gè)功能液滴噴頭7之中，使多個(gè)功能液滴噴頭7作主掃描和副掃描，選擇性噴出熒光材料，在電極上形成多個(gè)熒光體。其中電子釋放裝置，是包括FED(場(chǎng)致釋放顯示器)在內(nèi)的上位概念。
在PDP裝置的制造方法中，將R、G、B各色熒光材料導(dǎo)入多個(gè)功能液滴噴頭7之中，使多個(gè)功能液滴噴頭7作主掃描和副掃描，選擇性噴出熒光材料，在背面基板上的多個(gè)凹部分別形成電泳體。其中優(yōu)選將由帶電微粒和染料形成的電泳體，封入微膠囊中。
另一方面，本實(shí)施方式的功能液滴噴出裝置10，也能用于間隔形成方法、金屬配線形成方法、透鏡形成方法、抗蝕層形成方法和光擴(kuò)散體形成方法等。
間隔形成方法是在兩塊基板間形成應(yīng)當(dāng)構(gòu)成微小的單元(cell)間隙的多個(gè)數(shù)微粒狀間隔的方法，將構(gòu)成間隔的材料導(dǎo)入多個(gè)功能液滴噴頭7之中，使多個(gè)功能液滴噴頭7作主掃描和副掃描，選擇性噴出粒狀材料，至少在一塊基板上形成間隔。例如，用于上述液晶顯示裝置和電泳顯示裝置中的兩塊基板之間構(gòu)成單元間隙的情況，當(dāng)然也可以用于其他以這種微小間隙為必要條件的半導(dǎo)體制造技術(shù)之中。
在金屬配線方法中，將液體金屬材料導(dǎo)入多個(gè)功能液滴噴頭7之中，使多個(gè)功能液滴噴頭7作主掃描和副掃描，選擇性噴出液體金屬材料，在基板上形成配線的方法。例如可以用于連接上述液晶顯示裝置中的末級(jí)前置放大器和各電極的金屬配線、以及用于連接上述有機(jī)EL裝置中的TFT等與各電極的金屬配線。而且除這種平板顯示器之外，當(dāng)然還可以用于一般的半導(dǎo)體制造技術(shù)之中。
在透鏡形成方法中，將透鏡材料導(dǎo)入多個(gè)功能液滴噴頭7之中，使多個(gè)功能液滴噴頭7作主掃描和副掃描，選擇性噴出透鏡材料，在透明基板上形成多個(gè)微小透鏡的方法。例如可以用作上述的FED裝置中電子束聚焦用器件。而且當(dāng)然還可以用于各種光學(xué)器件之中。
在抗蝕層形成方法中，將抗蝕層材料導(dǎo)入多個(gè)功能液滴噴頭7之中，使多個(gè)功能液滴噴頭7作主掃描和副掃描，選擇性噴出抗蝕層材料，在基板上形成任意形狀抗蝕層的方法。例如上述各種顯示裝置中存儲(chǔ)的形成，在以半導(dǎo)體制造技術(shù)為主體的光刻法中，當(dāng)然能夠廣泛用于抗蝕層的涂布。
在光擴(kuò)散體形成方法，是在基板上形成多個(gè)光擴(kuò)散體的一種光擴(kuò)散體形成方法，其中將光擴(kuò)散材料導(dǎo)入多個(gè)功能液滴噴頭7之中，使多個(gè)功能液滴噴頭7作主掃描和副掃描，選擇性噴出光擴(kuò)散材料形成多個(gè)光擴(kuò)散體方法。這種情況下當(dāng)然也能適用于各種光學(xué)器件。
綜上所述，根據(jù)本發(fā)明的噴出圖案數(shù)據(jù)生成方法、噴出圖案數(shù)據(jù)生成裝置、功能液滴噴出裝置和描繪裝置，由于噴出圖案數(shù)據(jù)是根據(jù)用戶任意設(shè)定的象素信息、芯片信息和噴嘴信息生成的，所以全部噴嘴的噴出圖案數(shù)據(jù)能夠一并生成。也就是說(shuō)，具有能在與噴嘴數(shù)目無(wú)關(guān)的情況下，容易而迅速地生成各噴嘴的噴出圖案數(shù)據(jù)等效果。
而且，根據(jù)本發(fā)明的噴頭動(dòng)作圖案數(shù)據(jù)生成裝置，由于功能液滴噴頭的噴頭動(dòng)作圖案數(shù)據(jù)是根據(jù)用戶設(shè)定的芯片信息和噴嘴信息生成的，所以能夠容易而迅速地生成各種條件的噴頭動(dòng)作圖案數(shù)據(jù)。
另外，根據(jù)本發(fā)明的液晶顯示裝置的制造方法、有機(jī)EL裝置的制造方法、電子釋放裝置的制造方法、PDP裝置的制造方法和電泳顯示裝置的制造方法，由于能夠簡(jiǎn)單地將適于各裝置使用的濾色器材料和發(fā)光材料等導(dǎo)入功能液滴噴頭之中，因而能夠提高制造效率。
而且根據(jù)本發(fā)明的濾色器的制造方法、有機(jī)EL的制造方法、間隔形成方法、金屬配線形成方法、透鏡形成方法、抗蝕層形成方法和光擴(kuò)散體形成方法，由于能簡(jiǎn)單地將適于電子器件和光學(xué)器件中用的濾色器材料和發(fā)光材料等導(dǎo)入功能液滴噴頭之中，因而能夠提高制造效率。
權(quán)利要求
1.一種噴出圖案數(shù)據(jù)生成方法，是一種由按列設(shè)置在功能液滴噴頭上的多個(gè)噴嘴選擇性噴出功能液滴，對(duì)工件上的一個(gè)以上芯片形成區(qū)進(jìn)行掃描，生成各噴嘴的噴出圖案數(shù)據(jù)的噴出圖案數(shù)據(jù)生成方法，其特征在于，其中包括設(shè)定與所述芯片形成區(qū)內(nèi)象素排列有關(guān)的象素信息的象素設(shè)定工序，設(shè)定與所述工件上的所述芯片形成區(qū)的配置有關(guān)的芯片信息的芯片設(shè)定工序，設(shè)定與所述噴嘴的配置有關(guān)的噴嘴信息的噴嘴設(shè)定工序，以及基于所述工件與所述功能液滴噴頭的位置關(guān)系，由設(shè)定的所說(shuō)的象素信息、所述芯片信息和所述噴嘴信息，生成各噴嘴的噴出圖案數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)生成工序。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的噴出圖案數(shù)據(jù)生成方法，其特征在于所述象素信息包括所述功能液滴的顏色信息，在所述數(shù)據(jù)生成工序中可以生成分色的噴出圖案數(shù)據(jù)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的噴出圖案數(shù)據(jù)生成方法，其特征在于其中所述多個(gè)噴嘴由在直線上按列排列的一個(gè)以上噴嘴列構(gòu)成，所述噴嘴信息包括與所述噴嘴列的基準(zhǔn)位置有關(guān)的信息。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的噴出圖案數(shù)據(jù)生成方法，其特征在于其中所述噴嘴信息，包括與所述噴嘴列中不使用噴嘴的位置有關(guān)的信息。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的噴出圖案數(shù)據(jù)生成方法，其特征在于其中所述噴嘴信息，包括與所述功能液滴噴頭的主掃描方向或副掃描方向上的噴嘴間距，或者所述噴嘴列相對(duì)于主掃描方向或副掃描方向傾斜度有關(guān)的信息。
6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的噴出圖案數(shù)據(jù)生成方法，其特征在于其中所述功能液滴噴頭，由所述噴嘴列按列設(shè)置的多個(gè)單位噴頭構(gòu)成。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的噴出圖案數(shù)據(jù)生成方法，其特征在于其中所述象素信息中包括象素排列的馬賽克排列、三角形排列和條狀排列中任何一種排列的信息。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的噴出圖案數(shù)據(jù)生成方法，其特征在于其中所述象素信息中包括有關(guān)象素?cái)?shù)目、象素尺寸和相鄰象素間間距的信息。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的噴出圖案數(shù)據(jù)生成方法，其特征在于其中所述芯片信息中包括與所述工件上芯片形成區(qū)域的設(shè)置方向、芯片形成區(qū)域數(shù)目、芯片形成區(qū)域尺寸和相鄰芯片形成區(qū)域間間距有關(guān)的信息。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的噴出圖案數(shù)據(jù)生成方法，其特征在于其中還備有設(shè)定與一個(gè)象素內(nèi)功能液滴的噴出位置有關(guān)的噴出位置信息的噴出位置設(shè)定工序，所述數(shù)據(jù)形成工序中，可以根據(jù)所述噴出位置信息生成各噴嘴的噴出圖案數(shù)據(jù)。
11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的噴出圖案數(shù)據(jù)生成方法，其特征在于其中還備有設(shè)定與一個(gè)象素內(nèi)功能液滴的噴出次數(shù)有關(guān)的噴出次數(shù)信息的噴出次數(shù)設(shè)定工序，所述數(shù)據(jù)形成工序中，可以根據(jù)所述噴出次數(shù)信息生成各噴嘴的噴出圖案數(shù)據(jù)。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的噴出圖案數(shù)據(jù)生成方法，其特征在于其中還備有利用所述噴出次數(shù)設(shè)定工序，將噴出次數(shù)設(shè)定為多次的情況下，設(shè)定噴嘴錯(cuò)開信息的噴嘴錯(cuò)開信息設(shè)定工序，以便分別從不同的噴嘴噴出功能液滴，所述數(shù)據(jù)形成工序中，可以根據(jù)所述噴嘴錯(cuò)開信息生成各噴嘴的噴出圖案數(shù)據(jù)。
13.根據(jù)權(quán)利要求11所述的噴出圖案數(shù)據(jù)生成方法，其特征在于其中還備有利用所述噴出次數(shù)設(shè)定工序，將噴出次數(shù)設(shè)定為多次的情況下，設(shè)定位置錯(cuò)開信息的位置錯(cuò)開信息設(shè)定工序，以便分別在不同的噴出位置上噴出功能液滴，所述數(shù)據(jù)形成工序中，可以根據(jù)所述位置錯(cuò)開信息生成各噴嘴的噴出圖案數(shù)據(jù)。
14.一種噴頭動(dòng)作圖案數(shù)據(jù)生成方法，是一種噴頭動(dòng)作圖案數(shù)據(jù)生成方法，其中一邊使成列設(shè)置多個(gè)噴嘴的功能液滴噴頭作相對(duì)于工件的移動(dòng)，一邊驅(qū)動(dòng)所述功能液滴噴頭，自所述多個(gè)噴嘴選擇性噴出功能液滴，對(duì)所述工件上的一個(gè)以上芯片形成區(qū)域進(jìn)行描繪用的，生成所述功能液滴噴頭的噴頭動(dòng)作圖案數(shù)據(jù)，其特征在于，其中包括設(shè)定與所述功能液滴噴頭相對(duì)運(yùn)動(dòng)有關(guān)的噴頭移動(dòng)信息的噴頭移動(dòng)設(shè)定工序，設(shè)定與所述工件上所述芯片形成區(qū)的配置有關(guān)的芯片信息的芯片設(shè)定工序，設(shè)定與所述噴嘴配置有關(guān)的噴嘴信息的噴嘴設(shè)定工序，以及由設(shè)定的所述噴頭移動(dòng)信息、所述芯片信息和所述噴嘴信息，生成所述噴頭動(dòng)作圖案數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)生成工序。
15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的噴頭動(dòng)作圖案數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)生成方法，其特征在于所述多個(gè)噴嘴由在直線上按列配置的一個(gè)以上噴嘴列構(gòu)成，所述噴嘴信息包括與所述噴嘴列的基準(zhǔn)位置有關(guān)的信息。
16.根據(jù)權(quán)利要求15所述的噴頭動(dòng)作圖案數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)生成方法，其特征在于所述功能液滴噴頭設(shè)置在拖架上，所述噴嘴信息包括在所述拖架上形成的排列標(biāo)記，和與所述噴嘴列基準(zhǔn)位置的相對(duì)位置有關(guān)的信息。
17.根據(jù)權(quán)利要求14所述的噴頭動(dòng)作圖案數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)生成方法，其特征在于所述噴嘴信息包括與所述功能液滴噴頭在主掃描方向或副掃描方向上的噴嘴間距有關(guān)的信息，或者與所述噴嘴列相對(duì)于主掃描方向或副掃描方向的傾斜度有關(guān)的信息。
18.根據(jù)權(quán)利要求14所述的噴頭動(dòng)作圖案數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)生成方法，其特征在于其中所述功能液滴噴頭由按列排列的所述噴嘴列的多個(gè)單位噴頭構(gòu)成。
19.根據(jù)權(quán)利要求14所述的噴頭動(dòng)作圖案數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)生成方法，其特征在于其中所述芯片信息包括與所述工件上形成排列標(biāo)記，以及最初描繪的排頭芯片形成區(qū)域的相對(duì)位置有關(guān)的信息。
20.根據(jù)權(quán)利要求14所述的噴頭動(dòng)作圖案數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)生成方法，其特征在于還備有設(shè)定與一個(gè)象素內(nèi)功能液滴噴出位置有關(guān)的噴出位置信息的噴出位置設(shè)定工序，在所述數(shù)據(jù)生成工序中，可以根據(jù)所述噴出位置信息生成噴頭動(dòng)作圖案數(shù)據(jù)。
21.根據(jù)權(quán)利要求14所述的噴頭動(dòng)作圖案數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)生成方法，其特征在于還備有設(shè)定與一個(gè)象素內(nèi)功能液滴噴出次數(shù)有關(guān)的噴出次數(shù)信息的噴出次數(shù)設(shè)定工序，在所述數(shù)據(jù)生成工序中，可以根據(jù)所述噴出次數(shù)信息生成噴頭動(dòng)作圖案數(shù)據(jù)。
22.根據(jù)權(quán)利要求21所述的噴頭動(dòng)作圖案數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)生成方法，其特征在于其中還備有通過(guò)所述噴出次數(shù)設(shè)定工序，將噴出次數(shù)設(shè)定為多次的情況下，設(shè)定噴嘴錯(cuò)開信息的噴嘴錯(cuò)開信息設(shè)定工序，以便分別從不同的噴嘴噴出功能液滴，所述數(shù)據(jù)形成工序中，可以根據(jù)所述噴嘴錯(cuò)開信息生成噴頭圖案數(shù)據(jù)。
23.根據(jù)權(quán)利要求22所述的噴頭動(dòng)作圖案數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)生成方法，其特征在于其中還備有通過(guò)所述噴出次數(shù)設(shè)定工序，將噴出次數(shù)設(shè)定為多次的情況下，設(shè)定位置錯(cuò)開信息的位置錯(cuò)開信息設(shè)定工序，以便分別在不同的噴出位置上噴出功能液滴，所述數(shù)據(jù)形成工序中，可以根據(jù)所述位置錯(cuò)開信息生成噴頭動(dòng)作圖案數(shù)據(jù)。
24.根據(jù)權(quán)利要求14所述的噴頭動(dòng)作圖案數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)生成方法，其特征在于還備有設(shè)定與所述芯片形成區(qū)域中象素的排列有關(guān)的象素信息的象素信息設(shè)定工序，在所述數(shù)據(jù)形成工序中，可以根據(jù)所述象素信息生成噴頭動(dòng)作圖案數(shù)據(jù)。
25.根據(jù)權(quán)利要求14所述的噴頭動(dòng)作圖案數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)生成方法，其特征在于還備有設(shè)定與所述工件周邊溫度有關(guān)信息的溫度設(shè)定工序，在所述數(shù)據(jù)形成工序中，可以根據(jù)所述溫度信息生成噴頭動(dòng)作圖案數(shù)據(jù)。
26.一種噴頭圖案數(shù)據(jù)生成裝置，是一種由按列設(shè)置在功能液滴噴頭上的多個(gè)噴嘴選擇性噴出功能液滴，對(duì)工件上的一個(gè)以上芯片形成區(qū)進(jìn)行掃描，生成各噴嘴的噴出圖案數(shù)據(jù)的噴出圖案數(shù)據(jù)生成裝置，其特征在于其中具有設(shè)定與所述芯片形成區(qū)內(nèi)象素排列有關(guān)的象素信息用的象素設(shè)定機(jī)構(gòu)，設(shè)定與所述工件上的所述芯片形成區(qū)配置有關(guān)的芯片信息用的芯片設(shè)定機(jī)構(gòu)，設(shè)定與所述各噴嘴的配置有關(guān)的噴嘴信息用的噴嘴設(shè)定機(jī)構(gòu)，存儲(chǔ)設(shè)定的所述象素信息、所述芯片信息和所述噴嘴信息的存儲(chǔ)機(jī)構(gòu)，以及基于所述工件與所述功能液滴噴頭間的位置關(guān)系以及所述存儲(chǔ)機(jī)構(gòu)存儲(chǔ)的各種信息，生成各噴嘴的噴出圖案數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)生成機(jī)構(gòu)。
27.根據(jù)權(quán)利要求26所述的噴出圖案數(shù)據(jù)生成裝置，其特征在于其中所述數(shù)據(jù)生成機(jī)構(gòu)生成分色的噴出圖案數(shù)據(jù)。
28.根據(jù)權(quán)利要求27所述的噴出圖案數(shù)據(jù)生成裝置，其特征在于其中所述多個(gè)噴嘴，由在直線上整列配置的一列以上噴嘴列，所述噴嘴信息包括與所述噴嘴列的基準(zhǔn)位置有關(guān)的信息。
29.根據(jù)權(quán)利要求28所述的噴出圖案數(shù)據(jù)生成裝置，其特征在于其中所述噴嘴列信息包括與所述噴嘴列中不使用的噴嘴位置有關(guān)的信息。
30.根據(jù)權(quán)利要求28所述的噴出圖案數(shù)據(jù)生成裝置，其特征在于其中所述噴嘴列信息，包括與所述功能液滴噴頭的主掃描方向或副掃描方向上的噴嘴間距，或者所述噴嘴列相對(duì)于主掃描方向或副掃描方向傾斜度有關(guān)的信息。
31.根據(jù)權(quán)利要求28所述的噴出圖案數(shù)據(jù)生成裝置，其特征在于其中所述功能液滴噴頭，由所述噴嘴列按列設(shè)置的多個(gè)單位噴頭構(gòu)成。
32.根據(jù)權(quán)利要求27所述的噴出圖案數(shù)據(jù)生成裝置，其特征在于其中所述象素信息中包括象素排列的馬賽克排列、三角形排列和條狀排列中任何一種排列信息。
33.根據(jù)權(quán)利要求27所述的噴出圖案數(shù)據(jù)生成方裝置，其特征在于其中所述象素信息中包括與象素?cái)?shù)目、象素尺寸和相鄰象素間間距有關(guān)的信息。
34.根據(jù)權(quán)利要求27所述的噴出圖案數(shù)據(jù)生成裝置，其特征在于其中所述芯片信息中包括與所述工件上芯片形成區(qū)域的設(shè)置方向、芯片形成區(qū)域數(shù)目、芯片形成區(qū)域尺寸和相鄰芯片形成區(qū)域間間距有關(guān)的信息。
35.根據(jù)權(quán)利要求27所述的噴出圖案數(shù)據(jù)生成裝置，其特征在于其中還備有設(shè)定與一個(gè)象素內(nèi)功能液滴的噴出位置有關(guān)的噴出位置信息的噴出位置設(shè)定機(jī)構(gòu)，所述數(shù)據(jù)形成機(jī)構(gòu)，可以根據(jù)所述噴出位置信息生成各噴嘴的噴出圖案數(shù)據(jù)。
36.根據(jù)權(quán)利要求27所述的噴出圖案數(shù)據(jù)生成裝置，其特征在于其中還備有設(shè)定與一個(gè)象素內(nèi)功能液滴的噴出次數(shù)有關(guān)的噴出次數(shù)信息的噴出次數(shù)設(shè)定機(jī)構(gòu)，所述數(shù)據(jù)形成機(jī)構(gòu)，可以根據(jù)所述噴出次數(shù)信息生成各噴嘴的噴出圖案數(shù)據(jù)。
37.根據(jù)權(quán)利要求36所述的噴出圖案數(shù)據(jù)生成裝置，其特征在于其中還備有利用所述噴出次數(shù)設(shè)定機(jī)構(gòu)，將噴出次數(shù)設(shè)定為多次的情況下，設(shè)定噴嘴錯(cuò)開信息的噴嘴錯(cuò)開信息設(shè)定機(jī)構(gòu)，以便分別從不同的噴嘴噴出功能液滴，所述數(shù)據(jù)形成機(jī)構(gòu)，可以根據(jù)所述噴嘴錯(cuò)開信息生成各噴嘴的噴出圖案數(shù)據(jù)。
38.根據(jù)權(quán)利要求36所述的噴出圖案數(shù)據(jù)生成裝置，其特征在于其中還備有利用所述噴出次數(shù)設(shè)定機(jī)構(gòu)，將噴出次數(shù)設(shè)定為多次的情況下，設(shè)定位置錯(cuò)開信息的位置錯(cuò)開信息設(shè)定機(jī)構(gòu)，以便分別在不同的噴出位置上噴出功能液滴，所述數(shù)據(jù)形成機(jī)構(gòu)，可以根據(jù)所述位置錯(cuò)開信息生成各噴嘴的噴出圖案數(shù)據(jù)。
39.一種功能液滴噴出裝置，其特征在于其中備有權(quán)利要求27所述噴出圖案數(shù)據(jù)生成裝置。
40.根據(jù)權(quán)利要求39所述的功能液滴噴出裝置，其特征在于其中還備有設(shè)定與所述功能液滴噴頭相對(duì)于所述工件相對(duì)移動(dòng)有關(guān)的噴頭移動(dòng)信息的噴頭移動(dòng)設(shè)定機(jī)構(gòu)，和基于所述存儲(chǔ)機(jī)構(gòu)存儲(chǔ)的各種信息以及所述噴頭移動(dòng)信息，生成所述功能液滴噴頭的噴頭動(dòng)作圖案數(shù)據(jù)的噴頭動(dòng)作圖案數(shù)據(jù)生成機(jī)構(gòu)。
41.一種描繪裝置，其特征在于其中備有與所述多種顏色對(duì)應(yīng)數(shù)目的權(quán)利要求39中所述功能液滴噴出裝置，以及基于所述分色的噴出圖案數(shù)據(jù)，由所述多功能液滴噴出裝置描繪所述芯片形成區(qū)域的描繪機(jī)構(gòu)。
42.根據(jù)權(quán)利要求41所述的描繪裝置，其特征在于在所述多功能液滴噴出裝置所具有的各功能液滴噴頭上，配置有相同數(shù)目、相同配置的噴嘴列，從各自的噴嘴列一端賦予同一噴嘴編號(hào)的情況下，所述描繪機(jī)構(gòu)并不用同一編號(hào)的噴嘴對(duì)相鄰象素噴出所述功能液滴。
43.一種液晶顯示裝置的制造方法，是使用權(quán)利要求39所述的功能液滴噴出裝置，在濾色器基板上形成多個(gè)濾色元件的一種液晶顯示裝置的制造方法，其特征在于向多個(gè)的所述功能液滴噴頭導(dǎo)入各種顏色的濾色材料，使所述功能液滴噴頭對(duì)所述基板作相對(duì)掃描，選擇性噴出所述濾色材料，形成多個(gè)的所述濾色元件。
44.一種有機(jī)EL裝置的制造方法，是使用權(quán)利要求39所述的功能液滴噴出裝置，在基板上多個(gè)象素象元上分別形成發(fā)光層的一種有機(jī)EL裝置的制造方法，其特征在于向多個(gè)的所述功能液滴噴頭導(dǎo)入各種顏色的發(fā)光材料，使所述功能液滴噴頭對(duì)所述基板作相對(duì)掃描，選擇性噴出所述發(fā)光材料，形成多個(gè)的所述EL發(fā)光層。
45.一種電子釋放裝置的制造方法，其特征在于是使用權(quán)利要求39所述的功能液滴噴出裝置，在基板上形成多個(gè)熒光體的一種電子釋放裝置的制造方法，其特征在于向多個(gè)所述功能液滴噴頭導(dǎo)入各種顏色的熒光材料，使所述功能液滴噴頭對(duì)所述電極作相對(duì)掃描，選擇性噴出所述熒光材料，形成多個(gè)的所述熒光體。
46.一種PDP裝置的制造方法，是使用權(quán)利要求39所述的功能液滴噴出裝置，在背面基板上的多個(gè)凹部分別形成多個(gè)熒光體的一種PDP裝置的制造方法，其特征在于向多個(gè)所述功能液滴噴頭導(dǎo)入各種顏色的熒光材料，使所述功能液滴噴頭對(duì)所述背面基板作相對(duì)掃描，選擇性噴出所述熒光材料，形成多個(gè)的所述熒光體。
47.一種電泳顯示裝置的制造方法，是使用權(quán)利要求39所述的功能液滴噴出裝置，在電極上的多個(gè)凹部形成電泳體的一種電泳顯示裝置的制造方法，其特征在于向多個(gè)的所述功能液滴噴頭導(dǎo)入各種顏色的電泳體材料，使所述功能液滴噴頭對(duì)所述電極作相對(duì)掃描，選擇性噴出所述電泳體材料，形成多個(gè)的所述電泳體。
48.一種濾色器的制造方法，是使用權(quán)利要求39所述的功能液滴噴出裝置，制造在基板上由多個(gè)濾色元件排列而成濾色器的一種濾色器的制造方法，其特征在于向多個(gè)的所述功能液滴噴頭導(dǎo)入各種顏色的濾色材料，使所述功能液滴噴頭對(duì)所述基板作相對(duì)掃描，選擇性噴出所述濾色材料，形成多個(gè)的所述彩色濾色元件。
49.根據(jù)權(quán)利要求48所述的濾色器的制造方法，其特征在于事先形成表涂層膜覆蓋所述多個(gè)的濾色元件，所述濾色元件形成后，向多個(gè)的所述功能液滴噴頭導(dǎo)入透光性涂敷材料，使所述功能液滴噴頭對(duì)所述基板作相對(duì)掃描，選擇性噴出所述涂敷材料，形成所述表涂層膜。
50.一種有機(jī)EL的制造方法，是使用權(quán)利要求39所述的功能液滴噴出裝置，制造由含有EL發(fā)光層的多個(gè)的象素部象元在基板上排列而成有機(jī)EL的制造方法，其特征在于向多個(gè)的所述功能液滴噴頭導(dǎo)入各種顏色的發(fā)光材料，使所述功能液滴噴頭對(duì)所述基板作相對(duì)掃描，選擇性噴出所述發(fā)光材料，形成多個(gè)的所述EL發(fā)光層。
51.根據(jù)權(quán)利要求50所述的有機(jī)EL的制造方法，其特征在于在多個(gè)的所述EL發(fā)光層與所述基板之間事先與所述EL發(fā)光層對(duì)應(yīng)地形成多個(gè)象素電極，向多個(gè)的所述功能液滴噴頭導(dǎo)入液體電極材料，使所述功能液滴噴頭對(duì)所述基板作相對(duì)掃描，選擇性噴出所述液體電極材料，形成多個(gè)的所述象素電極。
52.根據(jù)權(quán)利要求51所述的有機(jī)EL的制造方法，其特征在于事先形成對(duì)電極覆蓋多個(gè)的所述EL發(fā)光層，所述EL發(fā)光層形成后，向多個(gè)的所述功能液滴噴頭導(dǎo)入液體電極材料，使所述功能液滴噴頭對(duì)所述基板作相對(duì)掃描，選擇性噴出所述液體電極材料，形成所述對(duì)電極。
53.一種間隔的形成方法，是使用權(quán)利要求39所述的功能液滴噴出裝置，在兩塊基板間形成應(yīng)當(dāng)構(gòu)成微小的單元間隙的多個(gè)顆粒狀間隔的一種間隔的形成方法，其特征在于向多個(gè)的所述功能液滴噴頭導(dǎo)入構(gòu)成間隔的顆粒材料，使所述功能液滴噴頭至少對(duì)一塊所述基板作相對(duì)掃描，選擇性噴出所述顆粒材料，在所述基板上形成所述間隔。
54.一種金屬配線的形成方法，是使用權(quán)利要求39所述的功能液滴噴出裝置，在基板上形成金屬配線的一種金屬配線形成方法，其特征在于向多個(gè)的所述功能液滴噴頭導(dǎo)入液體金屬材料，使所述功能液滴噴頭對(duì)所述基板作相對(duì)掃描，選擇性噴出所述液體金屬材料，形成所述金屬配線。
55.一種透鏡的形成方法，是使用權(quán)利要求39所述的功能液滴噴出裝置，在基板上形成多個(gè)微透鏡的一種透鏡形成方法，其特征在于向多個(gè)的所述功能液滴噴頭導(dǎo)入透鏡材料，使所述功能液滴噴頭對(duì)所述基板作相對(duì)掃描，選擇性噴出所述透鏡材料，形成多個(gè)所述微透鏡。
56.一種抗蝕層的形成方法，是使用權(quán)利要求39所述的功能液滴噴出裝置，在基板上形成任意形狀的抗蝕層的一種抗蝕層形成方法，其特征在于向多個(gè)的所述功能液滴噴頭導(dǎo)入抗蝕層材料，使所述功能液滴噴頭對(duì)所述基板作相對(duì)掃描，選擇性噴出所述抗蝕層材料，形成所述抗蝕層。
57.一種光擴(kuò)散體的形成方法，是使用權(quán)利要求39所述的功能液滴噴出裝置，在基板上形成多個(gè)的光擴(kuò)散體的一種光擴(kuò)散體形成方法，其特征在于向多個(gè)的所述功能液滴噴頭導(dǎo)入光擴(kuò)散材料，使所述功能液滴噴頭對(duì)所述基板作相對(duì)掃描，選擇性噴出所述光擴(kuò)散材料，形成多個(gè)的所述光擴(kuò)散體。
全文摘要
一種噴出圖案數(shù)據(jù)生成方法，是由多個(gè)噴嘴(38)選擇性噴出功能液滴，對(duì)工件(W)上一個(gè)以上芯片形成區(qū)進(jìn)行掃描，生成各噴嘴(38)的噴出圖案數(shù)據(jù)的一種噴出圖案數(shù)據(jù)生成方法，其中備有設(shè)定與芯片形成區(qū)(C)中象素(E)的排列有關(guān)的象素信息的象素設(shè)定工序，設(shè)定與工件(W)上的芯片形成區(qū)(C)的配置有關(guān)的芯片信息的芯片設(shè)定工序，設(shè)定與各噴嘴(38)的配置有關(guān)的噴嘴信息的噴嘴設(shè)定工序，以及基于工件(W)與功能液滴噴頭(7)的位置關(guān)系，由設(shè)定的象素信息、芯片信息和噴嘴信息生成各噴嘴(38)的噴出圖案數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)生成工序。按列設(shè)置在多功能液滴噴頭上的各噴頭的噴出圖案數(shù)據(jù)能容易而迅速地生成。
文檔編號(hào)B41J2/145GK1445086SQ031054
公開日2003年10月1日 申請(qǐng)日期2003年2月21日 優(yōu)先權(quán)日2002年3月14日
發(fā)明者加藤剛, 小川政彥 申請(qǐng)人:精工愛(ài)普生株式會(huì)社