專利名稱：噴墨頭的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及通過向打印面噴射微小液滴墨水形成圖像的噴墨頭的結(jié)構(gòu)。
背景技術(shù)：
以往公知的噴墨頭的一般結(jié)構(gòu)中，有形成多個(gè)壓力室的同時(shí)，在各壓力室中設(shè)置噴嘴，各噴嘴與對應(yīng)壓力室一端連接的結(jié)構(gòu)。
在這個(gè)結(jié)構(gòu)中，墨水供給源(例如，墨水容器)的墨水，首先供給于共用墨水室之后，從該共用墨水室被分配于多個(gè)壓力室。而且通過致動器向各壓力室選擇性附加壓力，從該壓力室對應(yīng)的噴嘴噴出墨水，在打印面形成圖像。
這種噴墨頭，一般由多個(gè)金屬等薄板層壓并粘合而形成。前述壓力室或共用墨水室，通過在該金屬板上實(shí)施蝕刻而形成。
另外，為了防止噴嘴或壓力室因雜質(zhì)等堵塞，在連接共用墨水室與墨水容器(墨水供給源)的墨水供給通路，或共用墨水室與壓力室之間的墨水通路上，設(shè)置過濾器，雜質(zhì)或不純物等到達(dá)壓力室或噴嘴之前可以將其除去的結(jié)構(gòu)也是公知的。
而且，在共用墨水室中設(shè)置減震器，噴出墨水時(shí)在壓力室內(nèi)產(chǎn)生的壓力波動傳播到共用墨水室時(shí)，通過減震器吸收該壓力波動，可以防止該壓力波動傳播到其他壓力室的現(xiàn)象(串音)的結(jié)構(gòu)也是公知的。
進(jìn)而，在共用墨水室與壓力室之間，設(shè)置具有縮小通路截面積結(jié)構(gòu)的限制通路，在墨水噴出時(shí)調(diào)整向壓力室供給的墨水量，具有防止過多的墨水噴出的結(jié)構(gòu)也是公知的。
因此近年來，根據(jù)噴墨記錄的高析像度化的需要，噴墨頭的結(jié)構(gòu)越來越微細(xì)化、高集成化，在這種狀況下，越發(fā)需要可以簡單制造上述內(nèi)部含有過濾器的噴墨頭。而且，也需要可以將上述減震器簡單設(shè)置在噴墨頭內(nèi)，以便可以進(jìn)一步達(dá)到制造工序的簡略化。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于，提供內(nèi)部含有過濾器及減震器(或限制通路及過濾器)，而且可以將制造工序簡略化的噴墨頭。
根據(jù)本發(fā)明的第一方面所提供的噴墨頭，含有多個(gè)噴嘴，用于噴出墨水；第一平板層，并排形成與各個(gè)前述噴嘴對應(yīng)且連通的多個(gè)壓力室，且至少由一個(gè)以上的平板構(gòu)成；第二平板層，在前述壓力室排列的方向上形成長形共用墨水室，且至少由一個(gè)以上的平板構(gòu)成；限制通路，一端與前述壓力室連通，另一端與前述共用墨水室連通；墨水供給通路，連接前述共用墨水室與墨水供給源；薄膜狀平板部件，位于前述第一平板層與前述第二平板層之間，且由樹脂或金屬構(gòu)成；過濾器，位于前述平板部件，過濾墨水；和減震室，位于相對前述平板部件，面向前述墨水盒的相反側(cè)的平板層。
這樣，在前述平板部件上，可以設(shè)置過濾墨水的過濾器，和吸收前述共用墨水室的壓力波動的減震器，從而可以達(dá)到制造工序的簡略化。
根據(jù)本發(fā)明的第二方面所提供的噴墨頭，含有多個(gè)噴嘴，用于噴出墨水；第一平板層，并排形成與各個(gè)前述噴嘴對應(yīng)且連通的多個(gè)壓力室，且至少由一個(gè)以上的平板構(gòu)成；第二平板層，在前述壓力室排列的方向上形成長形共用墨水室，且至少由一個(gè)以上的平板構(gòu)成；墨水供給通路，連接前述共用墨水室與墨水供給源；薄膜狀平板部件，位于前述第一平板層與前述第二平板層之間；限制通路，一端與前述壓力室連通，另一端與前述共用墨水室連通，調(diào)整前述壓力室與前述共用墨水室之間之間的墨水流量，且位于前述平板部件；和過濾器，前述限制通路。
這樣，在前述平板部件上，可以設(shè)置用于調(diào)整壓力室的墨水供給量的限制通路，和位于限制通路內(nèi)，用谷過濾墨水的過濾器，從而可以達(dá)到制造工序的簡略化。而且，可以形成小型通路結(jié)構(gòu)，通路的高集成化變得容易，有利于噴墨頭的小型化、高析像度化。


通過以下參照附圖所進(jìn)行的說明可以更加明了本發(fā)明的其他和進(jìn)一步的目的、特征和優(yōu)點(diǎn)，附圖中圖1為含有本發(fā)明實(shí)施例的噴墨頭的噴墨打印機(jī)的簡略圖。
圖2為噴墨頭的斜視圖。
圖3為圖2中III-III線的截面圖。
圖4為本發(fā)明實(shí)施例1的噴墨頭的平面圖。
圖5為表示圖4中P-P線截面的噴墨頭的斜視圖。
圖6為表示型腔板組的層壓結(jié)構(gòu)的分解斜視圖。
圖7為表示在平板部件上形成金屬膜形態(tài)的型腔板組的分解斜視圖。
圖8為在平板部件形成內(nèi)部過濾器的噴墨頭的平面圖。
圖9為在平板部件形成內(nèi)部過濾器的噴墨頭中，表示型腔板組的層壓結(jié)構(gòu)的分解斜視圖。
圖10為實(shí)施例2的噴墨頭的平面圖。
圖11為表示圖8中P-P線截面的噴墨頭的斜視圖。
圖12為表示型腔板組的層壓結(jié)構(gòu)的分解斜視圖。
圖13為表示在平板部件上形成金屬膜形態(tài)的型腔板組的分解斜視圖。
圖14為實(shí)施例3的噴墨頭平面圖。
圖15為表示圖14中P-P線截面的噴墨頭的斜視圖。
圖16為表示實(shí)施例3的型腔板組層壓結(jié)構(gòu)的分解斜視圖。
圖17為表示實(shí)施例3中第三平板的放大斜視圖。
圖18(a)為表示實(shí)施例3中限制通路結(jié)構(gòu)的主要部分放大斜視圖。
圖18(b)為表示在限制通路內(nèi)沒有設(shè)置突起的參照例的主要部分放大斜視圖。
圖19為表示限制通路的變形例的主要部分放大斜視圖。
圖20為實(shí)施例4的噴墨頭的平面圖。
圖21為表示圖20中P-P線截面的噴墨頭的斜視圖。
圖22為表示實(shí)施例4噴墨頭的型腔板組層壓結(jié)構(gòu)的分解斜視圖。
圖23為第四平板的放大斜視圖。
圖24為表示第四平板的制造工序的圖。
圖25為表示在第四平板形成的感光性樹脂層進(jìn)行曝光形態(tài)的圖。
圖26為表示在感光性樹脂層形成過濾器及連接通路形態(tài)的圖。
圖27為表示將實(shí)施例4的第四平板一側(cè)的樹脂去掉的變形例的噴墨頭的截面斜視圖。
圖28為實(shí)施例5的噴墨頭的平面圖。
圖29為表示圖28中P-P線截面的噴墨頭的斜視圖。
圖30為表示實(shí)施例5噴墨頭的型腔板組層壓結(jié)構(gòu)的分解斜視圖。
圖31為第四平板的放大斜視圖。
具體實(shí)施例方式圖1為含有本發(fā)明實(shí)施例的噴墨頭的噴墨打印機(jī)的簡略圖。圖1所示噴墨打印機(jī)901為含有四個(gè)噴墨頭1的噴墨打印機(jī)。該打印機(jī)901的結(jié)構(gòu)中，在圖中左側(cè)具有供紙部911，在圖中右側(cè)具有出紙部912。
在打印機(jī)901內(nèi)部，從供紙部911到出紙部912形成輸送路徑。在供紙部911的鄰近下方，設(shè)置一對輸送輥905a、905b，用于夾持輸送作為圖像記錄介質(zhì)的紙張。通過一對輸送輥905a、905b，紙張從圖中左方輸送到圖中右方。在紙張輸送路徑的中間部分，設(shè)置兩個(gè)皮帶輪906、907，和跨越兩個(gè)皮帶輪906、907卷繞的環(huán)形輸送帶908。在輸送帶908的外周面即輸送面上，實(shí)施硅處理，通過一對輸送輥905a、905b輸送的紙張，利用其粘合力保持在輸送帶908的輸送面上，并在此狀態(tài)下，通過一側(cè)皮帶輪906的如圖中順時(shí)針方向(箭頭904方向)的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動，可以向下游方向(右方)輸送。
在紙張相對皮帶輪906的插入及排出位置上，分別設(shè)置壓鎮(zhèn)構(gòu)件909a、909b。壓鎮(zhèn)構(gòu)件909，在輸送帶908的輸送面上壓鎮(zhèn)紙張使其牢固貼在輸送面上，以防止輸送帶908上的紙張脫離輸送面。
在沿紙張輸送路徑的輸送帶908的鄰近下游一側(cè)，設(shè)置剝離機(jī)構(gòu)910。剝離機(jī)構(gòu)910，可以將貼在輸送帶908的輸送面上的紙張從輸送面剝離，并向右方的出紙部912輸送。
四個(gè)噴墨頭1，在其下端具有噴墨頭本體1a(如同后述，形成包括壓力室20的墨的流路的流路單元(ink passage unit)，和在壓力室內(nèi)附加墨水壓力的執(zhí)行單元30粘合的部件)。噴墨頭本體1a，分別具有矩形截面，且相互鄰接設(shè)置，以便其在長度方向保持與紙張輸送方向垂直的方向(圖1的紙面垂直方向)。也就是說，該打印機(jī)901為行式打印機(jī)。四個(gè)噴墨頭本體1a的各底面對置于紙張輸送路徑，這些底面上設(shè)置了具有多個(gè)微小直徑墨水噴出口的噴嘴。從四個(gè)噴墨頭本體1a，分別噴出紅紫色、黃色、青綠色、黑色墨水。
噴墨頭本體1a，其下面與輸送帶908的輸送面之間具有少量間隙，在該間隙部分形成紙張輸送路徑。在該結(jié)構(gòu)中，被輸送到輸送帶908上的紙張依次通過四個(gè)噴墨頭本體1a的下方一側(cè)時(shí)，從噴嘴向該紙張的上面即印刷面噴出各種顏色的墨水，在紙張上形成所需彩色圖像。
噴墨打印機(jī)901，具有用于自動進(jìn)行噴墨頭1的維護(hù)的維護(hù)單元917。該維護(hù)單元917中，設(shè)置了覆蓋四個(gè)噴墨頭本體1a下面的四個(gè)護(hù)罩916，和未示出的清洗結(jié)構(gòu)等。
維護(hù)單元917，在噴墨打印機(jī)901進(jìn)行印刷時(shí)，位于供紙部911的臨近下方位置(退避位置)。并且，在印刷完成之后并滿足規(guī)定條件時(shí)(例如，不進(jìn)行印刷操作的狀態(tài)持續(xù)至規(guī)定時(shí)間，或進(jìn)行打印機(jī)901的電源被關(guān)閉操作時(shí))，移動至四個(gè)噴墨頭本體1a的臨近下方位置，在該位置(護(hù)罩位置)上，通過護(hù)罩916覆蓋各個(gè)噴墨頭本體1a的下面，防止噴墨頭本體1a的噴嘴部分的墨水干燥。
皮帶輪906、907和輸送帶208由底座913支撐。底座913，設(shè)置在其下方的圓筒部件915上。圓筒部件915，以安裝在偏離其中心位置上的軸914為中心，可以旋轉(zhuǎn)。因此，隨著軸914的旋轉(zhuǎn)，圓筒部件915的上端高度發(fā)生變化時(shí)，底座913也隨著升降。維護(hù)單元917從退避位置移動到護(hù)罩位置時(shí)，首先將圓筒部件915旋轉(zhuǎn)適當(dāng)角度，使底座913、輸送帶908及皮帶輪906、907從圖1所示位置下降適當(dāng)距離，以便確保維護(hù)單元917移動所需空間。
被輸送帶908包圍的區(qū)域內(nèi)，設(shè)置近似長方體形狀(具有與輸送帶908相同的寬度)導(dǎo)架921，該導(dǎo)架921通過與噴墨頭1的對置位置上、也就是上側(cè)的輸送帶908的下面接觸而從內(nèi)周側(cè)將其支撐。
下面，進(jìn)一步詳細(xì)說明噴墨頭1的結(jié)構(gòu)。圖2為噴墨頭1的斜視圖。圖3為圖2中III-III線的截面圖。如圖2及圖3所示，本實(shí)施例的噴墨頭1，包括基部931，支撐單方向(主掃描方向)延伸的矩形平面狀噴墨頭本體1a；支撐噴墨頭本體1a的基部931。基部931，除了噴墨頭1a之外，還支撐后述的向個(gè)別電極等提供驅(qū)動信號的驅(qū)動器IC932及基板933。
基部931，如圖2及圖3所示，由部分地接觸噴墨頭本體1a上面而支撐打印頭本體1a的基塊938和與基塊938的上面接觸而支撐基塊938的支架939構(gòu)成?；鶋K938為具有與噴墨頭本體1a的長度方向的長度幾乎相同的近似長方體形狀構(gòu)件。由不銹鋼等金屬材料構(gòu)成的基塊938，具有作為加固支架939的輕量結(jié)構(gòu)的功能。支架939，由設(shè)置在噴墨頭本體1a側(cè)的支架本體941，和從支架本體941向噴墨頭本體1a的相反一側(cè)延伸的一對支架支撐部件942構(gòu)成。一對支架支撐部件942，任何一個(gè)都為平板狀構(gòu)件，相互以規(guī)定間隔沿著支架本體941的長度方向平行設(shè)置。
在支架本體941的副掃描方向(與主掃描方向垂直的方向)的兩端，設(shè)置向下方突出的一對套筒式構(gòu)件941a。在這里，一對套筒式構(gòu)件941a，均橫跨支架本體941長度方向的整個(gè)寬度而形成，所以，在支架本體941的下面，通過一對套筒式構(gòu)件941a形成近似長方體形狀的槽部941b。在該槽部941b內(nèi)，容納著基塊938?；鶋K938的上面和支架本體941的槽部241b的底面，通過粘合劑等粘合。基塊938的厚度，略大于支架本體941的槽部941b深度，所以基塊938的下端部，如圖3所示，比套筒式構(gòu)件還要向下方突出。
在基塊938的內(nèi)部，作為向噴墨頭本體1a供給墨水的通路，形成向其長度方向延伸的近似長方體形狀空隙(空心區(qū)域)的墨水儲存室903。在基塊938的下面945，形成與墨水儲存室903連通的開口903b。并且，墨水儲存室903，通過未示出的供給管與打印機(jī)本體內(nèi)未示出的主墨水容器(墨源)連接。因此，主墨水容器的墨水可以適當(dāng)補(bǔ)充到墨水儲存室903中。
基塊938的下面245，在開口903b的附近比周圍更加向下方突出。而且，基塊938，只在開口903b附近與噴墨頭本體1a的通路單元(后面所述空腔板組10x)接觸(參照圖3)。因此，基塊938的下面945的開口903b附近的以外區(qū)域與噴墨頭本體1a隔離，在該隔離部分中設(shè)置了執(zhí)行單元30。
在支架939的支架支撐部件942的外側(cè)面，通過泡沫材料等彈性構(gòu)件937固定驅(qū)動器IC932。在驅(qū)動器IC932的外側(cè)面，緊密設(shè)置散熱片934。散熱片934為近似長方體形狀的構(gòu)件，可以將驅(qū)動器IC932產(chǎn)生的熱量有效分散。在驅(qū)動器IC932中，連接作為供電部件的軟性印刷電路板(FPCFlexible Printed Circuit)936。連接在驅(qū)動器IC932的FPC936，通過軟焊與基板933及噴墨頭本體1a連接。驅(qū)動器IC932及散熱片934的上方，在FPC936的外側(cè)，設(shè)置基板933。在散熱片934的上面與基板933之間，及散熱片934的下面與FPC936之間，分別用密封構(gòu)件949粘結(jié)。
在支架本體941的套筒構(gòu)件941a的下面與通路單元10x上面之間，設(shè)置密封構(gòu)件950，以便夾持FPC936。也就是說，F(xiàn)PC936相對通路單元10x及支架本體941，通過密封構(gòu)件950被固定。這樣，可以防止噴墨頭本體1a長大化時(shí)的彎曲，防止執(zhí)行單元30與FPC936的連接部分附加應(yīng)力，且可以確保FPC936的牢固保持。
如圖2所示，在沿噴墨頭1的主掃描方向的下角附近，沿噴墨頭1的側(cè)壁以均等間隔設(shè)置6個(gè)凸部18a。這些凸部18a為設(shè)置在噴墨頭本體1a的最下層噴嘴板18(后述的第八平板)的副掃描方向的兩端部的部分。即，如圖3所示，噴嘴板18，沿凸部18a與其他部分之間的臨界線大約彎曲90度。凸部18a，設(shè)置在打印機(jī)901中的印刷用各種規(guī)格紙張的兩端部附近所對應(yīng)的位置。噴嘴板18的彎曲部分不是直角而形成弧形，從而不易導(dǎo)致向接近噴墨頭1的方向輸送的紙張前端部與噴墨頭1側(cè)面接觸而產(chǎn)生的紙張堵塞即卡紙。[實(shí)施例1]噴墨頭的打印頭本體1a，由如圖4所示的作為上述通路單元的空腔板組10，以及如圖5所示的固定在其上面的執(zhí)行單元30構(gòu)成。
該空腔板組10，具有將墨水供給口41的上面開口的結(jié)構(gòu)，用來從未示出的墨盒(墨源)供給墨水。該墨水供給口41，通過墨水供給通路42，與形成在空腔板組10內(nèi)部的共用墨室23連接。在墨水供給通路42的中部，設(shè)置第一過濾器61。
墨水供給口41，設(shè)置在上述基塊938下面945形成的開口903b(如圖3所示)的位置上。所以，上述墨水儲存室903內(nèi)的墨水可以酌量供給墨水供給口41。
在空腔板組10的上面，凹設(shè)菱形的壓力室20。壓力室20，在圖中作為代表只表示出了一個(gè)，實(shí)際上，在共用墨室23的長度方向(如圖4、圖5所示的Q方向)上并排設(shè)置了多個(gè)。該壓力室20，分別通過后述的陷波器70及限制流路56，與上述共用墨室23連通。
與各壓力室20對應(yīng)，用于噴出墨滴的噴嘴21開口在空腔板組10的下面。相對應(yīng)的壓力室20及噴嘴21通過聯(lián)絡(luò)通路22進(jìn)行連通。
如圖5中點(diǎn)劃線所示，平板狀的執(zhí)行單元30，粘結(jié)在空腔板組10的上面。執(zhí)行單元30，可以封閉上述多個(gè)并排設(shè)置的壓力室20的上側(cè)。
該執(zhí)行單元30，與日本特開平3-274159號公報(bào)中所公開的內(nèi)容相同。即，交替層疊壓電陶瓷層和電極，夾持壓電陶瓷層的電極中的至少一個(gè)(個(gè)別電極)形成為與壓力室20的平面形狀大致相似的形狀且略小于該形狀的平面形狀。該個(gè)別電極，與夾持壓電陶瓷層的其他電極一起，通過上述FPC936，與驅(qū)動器IC932電連接，可以對夾持壓電陶瓷層的2個(gè)電極間施加電壓。通過上述施加的電壓，使壓力室20的對應(yīng)部分的壓電陶瓷層變形，從而給壓力室20內(nèi)的墨水增加壓力，其結(jié)果，可以從噴嘴21噴出墨水。
但是，執(zhí)行單元30，除了上述壓電或電變形之外，也可以使用利用靜電、磁、熱引起的墨水的局部沸騰等的力而向墨水施加噴出壓力的部件。
空腔板組10，如圖5所示，其結(jié)構(gòu)為層疊并相互粘結(jié)8個(gè)薄板11～18。在圖6中，以分解斜視圖來表示空腔板組10的層疊結(jié)構(gòu)。
以下，為了便于說明該結(jié)構(gòu)，特定化各平板11～18時(shí)，從遠(yuǎn)離噴嘴的一側(cè)起稱之為[第○個(gè)平板]。在圖中最上側(cè)表示的平板11為第一平板，最下側(cè)表示的平板18為第八平板。另外，在該實(shí)施例中，集中敘述八張平板11～14中的第四平板14，有時(shí)稱之為“平板部件”。
在該實(shí)施例1中，平板11～18，除了第四平板14(平板構(gòu)件)之外，任何一個(gè)都由金屬構(gòu)成。第四平板14由聚酰亞胺樹脂構(gòu)成。
如圖5所示，在第一平板11中，通過蝕刻形成上述多個(gè)壓力室20。另外，在第八平板18中，通過沖壓穿設(shè)上述各壓力室20對應(yīng)的噴嘴21。
如圖6所示，第二到第七平板12～17分別設(shè)有貫通狀連通孔82～87。各連通孔82～87，在第一～第八平板11～18層疊時(shí)相互連接，如圖5所示，形成連接壓力室20和噴嘴21的聯(lián)絡(luò)通路22。
下面，說明共用墨室23的結(jié)構(gòu)。第六、第七平板16、17，都通過蝕刻而形成第一空間71。而且，其鄰近上方的第五平板15也通過蝕刻而形成比第一空間71窄的第二空間72。
通過層疊第五～第七平板15、16、17，連接第一空間71與第二空間72，構(gòu)成共用墨室23。
在該實(shí)施例中，如上所述，在第一平板11中形成壓力室20，所以該第一平板11，相當(dāng)于壓力室形成層A(以下，稱之為第一平板層)。而且，在第五～第七平板15、16、17中形成共用墨室23，所以該第五～第七平板15、16、17，相當(dāng)于共用墨室B(以下，稱之為第二平板層)。
平板部件第四平板14，處在該第一平板層A與第二平板層B之間。
在該實(shí)施例中，在第四平板(平板構(gòu)件)14上設(shè)置用來吸收共用墨室23的壓力變動的緩沖器。即，構(gòu)成共用墨室23的上述第二空間72，在第五平板上穿設(shè)了貫通狀，所以，共用墨室23在下側(cè)與平板構(gòu)件第四平板14面對。并且，在共用墨室23的相反一側(cè)(遠(yuǎn)離噴嘴21的一側(cè))，面向該平板構(gòu)件14的第三平板13也通過實(shí)施蝕刻而形成具有與上述第二空間72對應(yīng)的形狀的空間73。
該平板構(gòu)件14由一定彈性的材料構(gòu)成，通過形成上述空間73，以符號80所示的平板構(gòu)件14的部位(緩沖部)在共用墨室23一側(cè)及上述空間73的一側(cè)均可以自由地振動。
其結(jié)果是，在噴墨時(shí)由壓力室20所殘生的壓力變動被導(dǎo)向共用墨室23，即使如此，也可以通過該平板構(gòu)件14的緩沖器80的彈性變形振動而吸收并減弱該壓力變動(緩沖作用)，防止壓力變動傳導(dǎo)至其他壓力室的串音。即，上述空間73具有緩沖室的功能，該平板構(gòu)件14構(gòu)成緩沖室的至少一部分壁部(緩沖部80)。
下面，說明共用墨室23與壓力室20之間的墨的流路。
從共用墨室23向上述壓力室20導(dǎo)入墨水的導(dǎo)入孔51、52，穿設(shè)在第五平板15及平板部件14中。
在第三平板13中，其一端穿設(shè)連接上述導(dǎo)入孔51、52的過濾器連接孔53。該過濾器連接孔53形成近似三角形，且與穿設(shè)在第四平板(平板構(gòu)件)14的陷波器70連接。
如圖4和圖5所示，陷波器70具有三個(gè)細(xì)流路54并置的結(jié)構(gòu)。各流路54，在平板構(gòu)件14上穿孔加工貫通狀的細(xì)長孔，各個(gè)流路54的一端與上述過濾器連接孔53連接。如圖4所示，各流路54的中間部分拉延成特別細(xì)的形狀，使得該拉延部分可以捕捉墨水內(nèi)的雜質(zhì)。
這里，該平板構(gòu)件14與其他平板(11～13、15～18)相比具有相對薄的結(jié)構(gòu)，特別是，平板構(gòu)件14的厚度，比噴嘴21的直徑還要小。因此，堵塞噴嘴21的塵土或雜質(zhì)，通過在墨的流路的該平板構(gòu)件14中形成的陷波器70的上述拉延部，在到達(dá)噴嘴21之前就可以捕捉。所以，可以確保避免噴嘴21的堵塞，提供不易產(chǎn)生漏墨等打印質(zhì)量故障的噴墨頭。
陷波器70的三個(gè)流路54的另一端，均與穿設(shè)在第三平板13的限制流路連接孔55連接。該限制流路連接孔55進(jìn)而與穿設(shè)在第四平板(平板構(gòu)件)14的限制流路56連接。
該限制流路56為設(shè)置在上述陷波器70的側(cè)面位置上的呈貫通狀的長孔，通過在第三和第五平板13、15之間限制通過該限制流路56的墨流量，來調(diào)節(jié)壓力室20的墨水供給量，且適當(dāng)調(diào)節(jié)噴嘴21的噴墨量。
該限制流路56設(shè)置在上述第四平板14上，該第四平板(平板構(gòu)件)14的高度與形成壓力室20的第一平板以及形成共用墨室23的第五～第七平板15～17不同。其結(jié)果是，限制流路56在平板的層疊方向上與壓力室20以及共用墨室23的高度均不同。
并且，如圖5所示，該限制流路56，其在平板11～18的層疊方向上的投射區(qū)域被包含在上述共用墨室23的區(qū)域中。
如上，限制流路56的投射區(qū)域和共用墨室23的區(qū)域至少有大部分重疊，因此可以將共用墨室23、限制流路56和壓力室20配置在緊湊的空間內(nèi)。所以，可以滿足噴墨頭1的緊湊化的要求，同時(shí)滿足基于高清晰度化的壓力室20及限制流路56的密集配置的要求。
限制流路56的另一端，通過分別設(shè)置在第三平板13及第二平板12的連通孔57、58，連接在壓力室20的端部。
在這里，上述限制流路56的截面積，直接影響向壓力室20的供墨量(補(bǔ)充量)，甚至于噴嘴21的噴墨量，所以，要防止噴嘴21的噴墨量過?；虿蛔?，精確地形成限制流路56的尺寸形狀是極其重要的。
關(guān)于這一點(diǎn)，在通過對層疊平板中的一個(gè)進(jìn)行半蝕刻而進(jìn)行槽加工來構(gòu)成該限制流路時(shí)，由于蝕刻速度受腐蝕液的溫度及濃度等諸多條件的影響，所以半蝕刻的深度容易產(chǎn)生偏差，要精確地形成限制流路的尺寸是極為困難的。
鑒于上述情況，本實(shí)施例中，第四平板(平板構(gòu)件)14由聚酰亞胺樹脂形成為薄膜狀，同時(shí)，使用金屬掩模進(jìn)行激光加工而形成貫通狀孔，并由此形成上述限制流路56。其結(jié)果是，可以精確地形成限制流路56的形狀、大小，限制流路56的流路抵抗偏移消失而可以提高打印質(zhì)量。
在以上結(jié)構(gòu)中，共用墨室23內(nèi)的墨水，從導(dǎo)入孔51、52經(jīng)過過濾器連接孔53到達(dá)平板構(gòu)件14的內(nèi)部(陷波器70)，在此，墨水因流向平板構(gòu)件14的表面方向而被過濾，并被除去雜質(zhì)。而且經(jīng)過限制流路連接孔55到達(dá)限制流路56，調(diào)整其流量，同時(shí)，通過連接孔57、58被供給壓力室20。
即，如圖4～6所示的實(shí)施例中，上述上述陷波器70相當(dāng)于過濾由共用墨室20流向壓力室20的墨水的第二過濾器62。通過設(shè)置該陷波器70(第二過濾器62)，能夠在到達(dá)壓力室20之前除去共用墨室23的墨水內(nèi)含有的塵土或雜質(zhì)。
下面，說明從外部墨源向共用墨室23供給墨水的墨水供給通路42的結(jié)構(gòu)。
如圖6所示，連接共用墨室23，在第五平板15中穿設(shè)供給孔95。在其臨近上面的第四平板(平板構(gòu)件)14，在上述供給孔95的對應(yīng)位置上，并排穿設(shè)多個(gè)過濾孔59、59…，構(gòu)成上述第一過濾器61。
對應(yīng)第一過濾器61的位置，在第一～第三平板11～13上，分別形成連接孔91～93。通過該供給孔95、連接孔91～93，形成上述墨水供給通路42用來從外部向共用墨室23供給墨水。在該結(jié)構(gòu)中，通過設(shè)置上述過濾器61，可以除去該墨水供給通路42的墨水內(nèi)的塵土或雜質(zhì)。
在該實(shí)施例中，如圖6所明確的，限制流路56形成在第四平板(平板構(gòu)件)14上，并且，在第四平板(平板構(gòu)件)14上還形成了吸收共用墨室23的壓力變動的緩沖部80。所以，和分別在不同的平板上設(shè)置限制流路56及緩沖部80的結(jié)構(gòu)相比，該結(jié)構(gòu)被簡化，而且，由于可以同時(shí)對限制流路56及緩沖部80進(jìn)行設(shè)置，能夠進(jìn)一步簡化其加工工序。
并且，在該實(shí)施例中，在上述平板構(gòu)件14上還形成了過濾墨水的過濾器61、70。由此，除了限制流路56及緩沖器外，還同時(shí)對過濾器61、70進(jìn)行設(shè)置，能夠進(jìn)一步簡化其加工工序。
并且，如上所述，在平板構(gòu)件14上，設(shè)置使墨水流經(jīng)表面方向進(jìn)而過濾之的過濾器(陷波器70)；使墨水流經(jīng)厚度方向進(jìn)而過濾之的過濾器(第一過濾器61)。因此，使用過濾器的流路的配置具有很高的自由度，可以因此更為容易地實(shí)現(xiàn)流路的緊湊化和高集成化，以及噴墨頭的小型化。
另外，在平板構(gòu)件14上面的第三平板13上形成的上述空間73內(nèi)充滿了空氣，并且，平板構(gòu)件14由很薄的聚酰亞胺制品構(gòu)成，所以，其成為該空間內(nèi)的空氣透過在平板構(gòu)件14并在充滿了墨水的共用墨室23出現(xiàn)氣泡的原因。
圖7中揭示了實(shí)施例1的變形實(shí)施例a，為解決該問題的結(jié)構(gòu)。在圖7所示的空腔板組10xa中，在平板構(gòu)件14中，至少在其振動部分(上述緩沖部80)，通過蒸鍍或?yàn)R鍍形成金屬膜97，可以防止空氣透過平板構(gòu)件14。該金屬膜97，可以在平板構(gòu)件14的緩沖室(空間73)形成，也可以在共用墨室23形成，從避免墨水引起的腐蝕或金屬成分溶入墨水等角度考慮，優(yōu)選在緩沖室(空間73)形成。而且，該金屬膜，如果在形成上述限制流路56及過濾器61、62時(shí)與激光加工的圖像掩模的金屬膜同時(shí)形成，可以使制造工序簡略化。
即，由于上述平板構(gòu)件14由樹脂構(gòu)成，作為平板構(gòu)件14的加工方法可以采用激光加工等多種方法，同時(shí)可以防止上述緩沖室(空間73)部分中的空氣透過平板構(gòu)件14進(jìn)入共用墨室23內(nèi)形成氣泡。
在本實(shí)施例中，平板構(gòu)件14由聚酰亞胺樹脂制成，但也可以由環(huán)氧樹脂等制成。聚酰亞胺樹脂和環(huán)氧樹脂具有很強(qiáng)的抗墨水腐蝕性，所以適合做上述限制流路56及墨盒結(jié)構(gòu)的制作材料，可以提高噴墨頭1的耐用性能。這意味著擴(kuò)大了墨水種類的選擇范圍。
并且，平板構(gòu)件14的材料并不限于樹脂，比如也可以用金屬制成。此時(shí)，由于上述緩沖作用，選擇有適度彈性的金屬。另外，在平板構(gòu)件14上形成上述限制流路56及過濾器61、70時(shí)，優(yōu)選以蝕刻法形成為貫通狀，而非激光加工法。
另外，在上述實(shí)施例中，取代在平板構(gòu)件14上形成導(dǎo)入孔52，而在該位置形成多個(gè)微細(xì)貫通孔(與上述過濾器孔59、59.....同樣)，由此，也可以在該部分構(gòu)成過濾器。此時(shí)，導(dǎo)入孔52的過濾器，可以取代上述實(shí)施例的陷波器70，也可以和上述實(shí)施例的二個(gè)過濾器61、70并存。
作為實(shí)施例1的變形實(shí)施例b，圖8和圖9中揭示了三個(gè)過濾器并存的結(jié)構(gòu)。該空腔板組10xb，在上述平板構(gòu)件14｀中，取代上述導(dǎo)入孔52而形成多個(gè)微細(xì)貫通孔99.99.....，形成內(nèi)部過濾器98。和上述實(shí)施例完全相同地設(shè)置上述第一過濾器64、以及上述三個(gè)流路54(上述陷波器70)。
所以，由共用墨室23流向壓力室20的墨水，首先沿平板構(gòu)件14｀的厚度方向通過上述內(nèi)部過濾器98而被過濾，然后沿平板構(gòu)件14｀的表面方向通過由三個(gè)流路構(gòu)成的陷波器70而被過濾。即，在圖8和圖9中揭示的實(shí)施例1的變形實(shí)施例b中，用于過濾由共用墨室23流向壓力室20的墨水的第二過濾器62｀，由內(nèi)部過濾器98以及陷波器70構(gòu)成。
如此，通過設(shè)置內(nèi)部過濾器98、第一過濾器61以及陷波器70，可以有效防止塵土和雜質(zhì)到達(dá)壓力室20和噴嘴21。
并且，如上所述，在平板構(gòu)件14｀上，設(shè)置使墨水流經(jīng)表面方向進(jìn)而過濾之的過濾器(陷波器70)；使墨水流經(jīng)厚度方向進(jìn)而過濾之的過濾器(第一過濾器61和內(nèi)部過濾器98)。因此，使用過濾器的流路的配置具有很高的自由度，可以因此更為容易地實(shí)現(xiàn)流路的緊湊化和高度集成化，以及噴墨頭的小型化。
并且，作為其他的實(shí)施例，即，取代上述陷波器70而使用導(dǎo)入孔52的上述內(nèi)部過濾器98。其實(shí)現(xiàn)方式為通過僅僅形成一個(gè)流路54(其中間不窄的結(jié)構(gòu))并和限制流路56連接，從而形成新的限制流路，不形成限制流路聯(lián)絡(luò)孔55。
另外，上述實(shí)施例的第一過濾器61或陷波器70，可以形成為與平板構(gòu)件14不同的平板，該平板構(gòu)件14形成了限制流路56。但是，基于進(jìn)一步簡化加工工序來考慮，優(yōu)選的結(jié)構(gòu)是，將二個(gè)過濾器61、70都設(shè)置在平板構(gòu)件14上。[實(shí)施例2]下面，說明實(shí)施例2。該實(shí)施例2，略微變更實(shí)施例1的限制流路56和過濾器61、62的結(jié)構(gòu)。
圖10為實(shí)施例2的噴墨頭的平面圖。圖11為表示圖10中P-P線截面的噴墨頭的斜視圖。
在第二實(shí)施例中的噴墨頭的打印頭本體1a中，空腔板組10y，如圖11所示，其結(jié)構(gòu)為層疊并相互粘結(jié)8個(gè)薄板111～118。在圖12中，以分解斜視圖來表示空腔板組10y的層疊結(jié)構(gòu)。
另外，在該實(shí)施例2中，特定化各平板11～18時(shí)，也從遠(yuǎn)離噴嘴21的一側(cè)起稱之為[第○個(gè)平板]。另外，在該實(shí)施例中，集中敘述八張平板111～118中的第五平板115，有時(shí)稱之為“平板部件”。
在該實(shí)施例1中，平板111～118，除了第五平板115(平板構(gòu)件)之外，任何一個(gè)都由金屬構(gòu)成。第五平板115由聚酰亞胺樹脂構(gòu)成。
壓力室20與實(shí)施例1相同，形成為貫通第一平板111的菱形孔，在圖10、圖11所示的Q方向上并排設(shè)置多個(gè)。共用墨室23′，通過蝕刻第六和第七平板116、117而設(shè)置，且在上述壓力室20的排列方向即Q方向上形成為長條形。
因此，在實(shí)施例2中，第一平板111相當(dāng)于形成壓力室20的(第一平板層)A。而且，第六、第七平板116、117相當(dāng)于形成共用墨室23′的(第二平板層)B。平板構(gòu)件第五平板115，處在該第一平板層A與第二平板層B之間。
用于噴出墨水的噴嘴21開口在該第八平板118上。第二～第七平板112～117上，分別設(shè)置連通孔122～127，形成連接壓力室20和噴嘴21的連接通路22。
下面說明從共用墨室23′到壓力室20的墨的流路。
共用墨室23′，如上所述，設(shè)有第六和第七平板116、117，但是在其鄰近上面的第五平板(平板構(gòu)件)115中，并排穿設(shè)多個(gè)小徑過濾孔65、65…，構(gòu)成第二過濾器162。
該第二過濾器162的過濾孔65的對應(yīng)位置上，導(dǎo)入孔152開口在第四平板114上。
貫通第三平板113而形成長孔狀限制流路156，該限制流路的156的一端與上述導(dǎo)入孔152連接。該限制流路156與實(shí)施例1中的限制流路56一樣，可以限制通過該限制流路156的墨流量，調(diào)節(jié)壓力室20內(nèi)的供墨量。并且，連接限制流路156的另一端和上述壓力室20的連通孔157開口在第二平板112上。
在該結(jié)構(gòu)中，共用墨室23′內(nèi)的墨水，流經(jīng)上述第二過濾器162而被過濾，然后到達(dá)導(dǎo)入孔152。然后，墨水在限制流路156′被被限制流量的條件下，通過連通孔157向壓力室20供給。
下面，說明從外部墨源向共用墨室23供給墨水的墨水供給通路142的結(jié)構(gòu)。如圖12所示，連接共用墨室23′，在第五平板115中穿設(shè)多個(gè)過濾孔59、59…，構(gòu)成用于過濾墨水的第一過濾器161。然后，在第一過濾器161的對應(yīng)位置上，在第一～第四平板111～114中分別形成連接孔131～134。將上述平板111～118層疊時(shí)，連接孔131～134呈直線狀連接，形成上述墨水供給通路142。
這樣，配置在墨水供給通路142上的第一過濾器161、配置在共用墨室23′與壓力室20之間的墨水通路上的第二過濾器162，都設(shè)置在第五平板(平板部件)115上。
其結(jié)果是，可以在平板構(gòu)件115上一次形成兩個(gè)過濾器161、162，所以可以簡化制造工序。在本實(shí)施例中，相對由聚酰亞胺樹脂構(gòu)成的上述平板構(gòu)件115，使用形成了兩個(gè)過濾孔59、65圖像的金屬膜掩模進(jìn)行激光加工，一次進(jìn)行兩個(gè)過濾器161、162的過濾孔(59、65)的開孔。
共用墨水室23′，面向平板構(gòu)件115下側(cè)形成。而且，在共用墨室23′的相反一側(cè)與平板構(gòu)件115面隊(duì)的第四平板114上，通過蝕刻形成作為緩沖室的空間73，在該部分上平板構(gòu)件115彈性變形振動，形成緩沖結(jié)構(gòu)，該緩沖結(jié)構(gòu)的功能與實(shí)施例1相同。
另外，與實(shí)施例1一樣，可以通過蒸鍍法或?yàn)R鍍法，在與該空間73對應(yīng)的平板構(gòu)件115上形成防止空氣通過的金屬膜197(請參照圖13所示的作為實(shí)施例2的變形實(shí)施例a的空腔板組10ya)。該金屬膜197，可以形成在平板構(gòu)件115的任何一側(cè)，但是，基于避免因與墨水的化學(xué)反應(yīng)所產(chǎn)生的腐蝕及溶解等的不利情形，優(yōu)選的是，如圖13所示，形成在緩沖室(空間73)。
在實(shí)施例二中，也如上所述，在單獨(dú)的平板構(gòu)件115上同時(shí)設(shè)置兩個(gè)過濾器161、162，使該平板構(gòu)件115進(jìn)一步具有緩沖功能，所以，其結(jié)構(gòu)更為簡化，加工也更容易。[實(shí)施例3]下面，參照付圖14～19，說明噴墨頭的實(shí)施例3。
圖14為實(shí)施例3的噴墨頭的平面圖。
圖15為表示圖14中P-P線截面的噴墨頭的斜視圖。
圖16為表示實(shí)施例3的噴墨頭的空腔板組的層疊結(jié)構(gòu)的分解斜視圖。
圖17為表示實(shí)施例3的第3平板的擴(kuò)大斜視圖。
圖18(a)為表示實(shí)施例3的限制流路的結(jié)構(gòu)的主要部分?jǐn)U大斜視圖。
圖18(b)為表示限制流路內(nèi)未設(shè)置突起的參照實(shí)例的主要部分?jǐn)U大斜視圖。
圖19為表示限制流路的變形實(shí)例的主要部分?jǐn)U大斜視圖。
在第三實(shí)施例中的噴墨頭的打印頭本體1a中，空腔板組10z，如圖14所示，其結(jié)構(gòu)為層疊并相互粘結(jié)8個(gè)薄板211～218。在圖15中，以分解斜視圖來表示空腔板組10z的層疊結(jié)構(gòu)。
另外，在該實(shí)施例3中，特定化各平板211～218時(shí)，也從遠(yuǎn)離噴嘴的一側(cè)起稱之為[第○個(gè)平板]。另外，在該實(shí)施例中，集中敘述八張平板211～218中的第三平板213，有時(shí)稱之為“平板部件”。
在該實(shí)施例中，平板211～218，任何一個(gè)都由金屬構(gòu)成。
壓力室20與其他實(shí)施例相同，形成為貫通第一平板211的菱形孔，在圖14、圖15所示的Q方向上并排設(shè)置多個(gè)。共用墨室23′，通過蝕刻第五和第六平板216、217而設(shè)置，且在上述壓力室20的排列方向即Q方向上形成為長條形。
噴出墨水的噴嘴21開口在第八平板218上。在第二～第七平板212～217上，設(shè)置連通孔222～227，形成連接壓力室20及噴嘴21的聯(lián)絡(luò)流路22。
蝕刻并貫穿第五、第六平板215.216，從而形成共用墨室23｀。該共用墨室23｀沿上述壓力室20的排列方向即Q方向形成為長條形。
在該實(shí)施例中，如上所述，在第一平板211中形成壓力室20，所以該第一平板211，相當(dāng)于上述第一平板層。而且，在第五、第六平板215、216中形成共用墨室23｀，所以該第五、第六平板215、216，相當(dāng)于上述第二平板層。
平板部件第三平板213，處在該第一平板層A與第二平板層B之間。
在上述共用墨室23｀的下側(cè)面隊(duì)的第七平板217上，對其下面進(jìn)行蝕刻，從而在其與第八平板218之間形成空間273。
該第七平板217由適度彈性的金屬板構(gòu)成，通過形成上述空間273，該處變薄的部位(緩沖部280)在共用墨室23｀及上述空間273均可以自由地振動。
其結(jié)果是，在噴墨時(shí)由壓力室20所殘生的壓力變動被導(dǎo)向共用墨室23｀，即使如此，也可以通過上述緩沖部280的彈性變形振動而吸收并減弱該壓力變動(緩沖作用)，防止壓力變動傳導(dǎo)至其他壓力室的串音。
下面說明從共用墨室23′到壓力室20的墨的流路。
如圖15.16所示，導(dǎo)入孔252穿設(shè)在第四平板214上，該導(dǎo)入孔252引導(dǎo)墨水由共用墨室23｀到上述壓力室20。并且，在位于鄰近上方的第三平板213上，凹設(shè)限制流路256，并將其一端連接在上述導(dǎo)入孔252上。
該限制流路256，如圖17所述，是對第三平板的上面以半蝕刻法進(jìn)行槽加工而形成，為細(xì)長形的凹部。
在該結(jié)構(gòu)中，在層疊平板211～218形成空腔板組10z時(shí)，相當(dāng)于該限制流路256的凹部部分因上側(cè)的第二平板而被封閉。所以，從導(dǎo)入孔252到達(dá)限制流路256一端的墨水，則朝向該限制流路256的另一端，流經(jīng)第二平板212的下面與上述凹部內(nèi)底面之間的空間。
另外，上述的半蝕刻法槽加工，通過下述公知技術(shù)進(jìn)行。
即，1.對第三平板213進(jìn)行前處理后，涂附適宜的感光樹脂并形成感光樹脂層。2.利用圖形掩膜對感光樹脂層進(jìn)行有選擇的曝光，該圖形掩膜形成了與上述限制流路256的輪廓形狀相當(dāng)?shù)男螤睢?.通過顯像去掉感光樹脂層的上述輪廓形狀，露出第三平板213的對應(yīng)部分。4.涂附蝕刻液，對第三平板213的上述露出部分進(jìn)行規(guī)定深度的腐蝕，形成該限制流路256。5.剝離并除去感光樹脂層。
如上所述，通過蝕刻平板213(內(nèi)部形成了后述的過濾器262)可以形成限制流路256，所以，較之于通過對該平板213進(jìn)行激光開孔加工來形成過濾器及限制流路，可以簡化加工工序。
在連接限制流路256一端的上述導(dǎo)入孔252的部分上，也可以對第三平板213的下面進(jìn)行蝕刻加工形成貫通孔263，墨水通過該孔263從導(dǎo)入孔252流到限制流路256。
限制流路256的另一端通過設(shè)置在第二平板212上的連通孔257和壓力室20的端部連接。
如圖18(a)所示，該限制流路256的流路寬度w及流路深度d1較小，流路截面小。通過該結(jié)構(gòu)，該限制流路256可以通過限制流經(jīng)該流路256的墨流量來調(diào)節(jié)壓力室20的供墨量，并適當(dāng)?shù)卣{(diào)整噴嘴21的噴墨量。
而且，在該限制流路256的內(nèi)側(cè)，形成上述的過濾器262，多個(gè)元柱狀突起(凸部)269以細(xì)小的間隔排列并形成為突起狀且是獨(dú)立的島狀。在該結(jié)構(gòu)中，共用墨室23｀內(nèi)的墨水所含的雜質(zhì)難以通過突起269之間的空隙而被捕捉。
在以半蝕刻法進(jìn)行槽加工而在第三平板213上形成上述限制流路256時(shí)，同時(shí)形成該突起269。
即，在上述半蝕刻法中所說明的選擇性曝光時(shí)的圖象掩膜上，也形成與多個(gè)上述突起269相當(dāng)?shù)膱D象，在其后的顯像工序中，即使是限制流路256的內(nèi)部部分，與該突起269相當(dāng)?shù)牟糠值母泄鈽渲瑢右膊粫怀ァＳ纱?，在其后的工序中涂附蝕刻液時(shí)，對與平板213的突起269相當(dāng)?shù)牟糠忠酝獾牟糠诌M(jìn)行腐蝕的結(jié)果是，該突起269將殘留為凸?fàn)?。如此，對第三平?13進(jìn)行限制流路256的槽加工以保留突起269部分，其結(jié)果是，突起269將一體地形成在限制流路256的內(nèi)部。
在上述結(jié)構(gòu)中，共用墨室23′內(nèi)的墨水，從導(dǎo)入孔252到達(dá)限制流路256，流經(jīng)該流路256內(nèi)的過濾器262時(shí)被過濾，被除去雜質(zhì)。并且，墨水在被限制流路256調(diào)節(jié)流量的條件下，通過連通孔257向壓力室20供給。
在此，上述限制流路256的流路阻力直接影響到壓力室20的供墨量()，甚至于噴嘴21的噴墨量。
因此，為了防止噴嘴21的噴墨量出現(xiàn)過多或過少的問題，必須適當(dāng)卻但該限制流路256的流路阻力。
該流路阻力，其和限制流路256的長度方向的長度L成正比，和流路截面面積(即流路寬度W和流路深度D之積)成反比。
但是在本實(shí)施例中，由于在限制流路256的內(nèi)部適當(dāng)?shù)夭⒘信渲昧松鲜龅亩鄠€(gè)呈島狀的突起269，所以，可以通過該突起269來流路阻力。即，除了通過使上述限制流路256的長度L、流路寬度W和流路深度D的數(shù)值相異，還可以通過使上述突起269的形成個(gè)數(shù)及排列方法等各不相同，從而來自由調(diào)節(jié)墨流阻滯(流路阻力)。
由此，能夠比較容易地精確設(shè)定限制流路256的最適當(dāng)?shù)牧髀纷枇?，噴?1的噴墨量也將實(shí)現(xiàn)最適化從而提高印刷質(zhì)量。
特別是，在按照本實(shí)施例以半蝕刻法形成上述限制流路256時(shí)，限制流路256內(nèi)配置突起269的結(jié)構(gòu)是極其有用的。
即，關(guān)于上述限制流路256的形狀尺寸中的長度方向的長度L及流路寬度W，針對上述選擇性曝光的掩膜，利用自動繪圖裝置來精確繪制通過CAD制作的曝光圖象，由此可以將其誤差降低到最小。
另一方面，在半蝕刻法中，由于蝕刻速度受腐蝕液的溫度及濃度等諸多條件的影響而難以控制，所以半蝕刻的深度容易產(chǎn)生偏差。因此，關(guān)于限制流路256的流路深度D，與上述長度L及流路寬度W等數(shù)據(jù)相比較，則難以避免相對較大的誤差的產(chǎn)生。
如上所述，流路深度D的大小直接影響著流路阻力，所以，如果限制流路256的流路阻力產(chǎn)生誤差，其中一個(gè)噴嘴21的噴墨量過大，而其他噴嘴21的噴墨量則過小，從而導(dǎo)致印刷質(zhì)量的下降。
關(guān)于這一點(diǎn)，在圖18(a)所示的實(shí)施例的限制流路256內(nèi)設(shè)突起269的結(jié)構(gòu)中，由于設(shè)置了突起256，所以墨流的難度(流路阻力)將增大。因此，即使在以相同長度L及流路寬度W來得到相同的流路阻力時(shí)，和未設(shè)置突起269的圖18(b)的結(jié)構(gòu)相比而言，如果通過圖18(a)的結(jié)構(gòu)，可以增加流路深度d，使其與由上述突起269導(dǎo)致的流路阻力的增大部分相當(dāng)(d1＞d2)。
半蝕刻的腐蝕深度誤差(相當(dāng)于流路深度d的誤差)Δd可以控制在正負(fù)多少μm的絕對值的范圍以內(nèi)。因此，根據(jù)可以增大流路深度d的本實(shí)施例，能相對減少對該流路深度的誤差Δd，也可以減少限制流路256的流路阻力誤差。這樣，可以控制各噴嘴21的噴墨量，提高印刷質(zhì)量。
并且，可以在限制流路256內(nèi)部形成用來除去由共用墨室23｀流向壓力室20的墨水中的雜質(zhì)的過濾器262，所以，包括有限制流路256及過濾器262的流路結(jié)構(gòu)得以簡化，適于節(jié)省空間。因此，可以高密度地集成配置多個(gè)噴嘴21、壓力室20及流路，也可以較容易地滿足圖象高清晰化及噴墨頭小型化的要求。
并且，在本實(shí)施例中，構(gòu)成過濾器262的突起269一體地形成在平板213上，該平板213形成了限制流路256。因此，和設(shè)置了由其他構(gòu)件所形成的過濾器的結(jié)構(gòu)相比而言，可以減少部件數(shù)量，減少加工工序和成本。
在本實(shí)施例中，上述突起269與上述“凸部”相當(dāng)，其形狀并不限于元柱形狀，可以為棱柱等的任意形狀。而且，多個(gè)凸部并不一定相互為同一形狀，各個(gè)凸部可以選擇各種形狀。
另外，突起269之間的間隔以及突起269與限制流路256之間的間隔與上述限制流路256保持均衡，但是，優(yōu)選小于噴嘴21的直徑長度。如此，堵塞噴嘴21的較大的塵土及雜質(zhì)必定被突起269的部分(所述過濾器262)捕捉，可以切實(shí)防止噴嘴21的堵塞。
在本實(shí)施例中，限制流路256形成在第三平板上，但不限于此，可以結(jié)合流路結(jié)構(gòu)上的具體情況而形成在其他平板上。
并且，也不限于在平板213的上面(遠(yuǎn)離噴嘴21的面)形成限制流路256的凹部，也可以形成在下面(臨近噴嘴21的面)。此時(shí)，凹部被位于第三平板213的鄰近下面的第四平板所封閉。
并且，在本實(shí)施例中，限制流路256的寬度W是一定的，但是，通過使具有突起269的部分和不具有突起269的部分的寬度發(fā)生變化，也可以調(diào)整流路阻力。另外，如圖19的限制流路256｀(過濾器262｀)，即使是在具有突起269的部分，也可以根據(jù)突起269的排列及形狀，在限制流路256｀的側(cè)壁形成凹凸。
如圖16所示，在第一～第四平板211～214上，分別形成聯(lián)絡(luò)孔231～234并使其位置相互對應(yīng)。所以，在層疊上述平板211～218時(shí)，如圖15所示聯(lián)絡(luò)孔231～234連接成直線狀，形成墨水供給通路242。該墨水供給通路242，在空腔板組10z的上面(與形成噴嘴21的一側(cè)的相反一側(cè)的面)上形成上述墨水供給通路241。
另外，如果是采取這樣一種結(jié)構(gòu)配置過濾器使得覆蓋上述墨水供給41，或者在上述墨水供給通路242的中間配置過濾器，則該墨水內(nèi)的雜質(zhì)在到達(dá)共用墨室23｀之前就被捕捉。[實(shí)施例4]下面，參照付圖20～23，說明噴墨頭的實(shí)施例4。該實(shí)施例4的特征在于其限制流路及該限制流路部分的過濾器的形成方法。
圖20為實(shí)施例4的噴墨頭的平面圖。
圖21為表示圖20中P-P線截面的噴墨頭的斜視圖。
圖22為表示實(shí)施例4的噴墨頭的空腔板組的層疊結(jié)構(gòu)的分解斜視圖。
圖23為表示第4平板的擴(kuò)大斜視圖。
在實(shí)施例四的噴墨頭的打印頭本體1a中，空腔板組10v，如圖21所示，其結(jié)構(gòu)為層疊并相互粘結(jié)7個(gè)薄板311～318。在圖22中，以分解斜視圖來表示空腔板組10v的層疊結(jié)構(gòu)。
另外，在該實(shí)施例4中，在特定化各平板311～317時(shí)，也從遠(yuǎn)離噴嘴21的一側(cè)起稱之為“第○)個(gè)平板”。
該實(shí)施例層疊的平板311～317都由金屬構(gòu)成。但是，在第四平板314中，分別在金屬平板的下面及上面配置樹脂層314a及樹脂層314b。另外，在該實(shí)施例中，集中敘述第四平板314的上面一側(cè)的樹脂層314b，有時(shí)稱之為“平板構(gòu)件”。
壓力室20與其他實(shí)施例相同，如圖20所示，形成為貫通第一平板311的菱形孔。該壓力室20在圖20、圖21所示的Q方向上并排設(shè)置多個(gè)。
如圖21所示，用于噴墨的噴嘴21開口在第七平板317上。如圖22所示，在第二～第六平板312～316上，設(shè)置連通孔322～326，并按照圖21所示形成連接壓力室20及噴嘴21的聯(lián)絡(luò)流路22。
下面，說明共用墨室23的結(jié)構(gòu)。
第五、第六平板315、316，都通過蝕刻而形成第一空間71。而且，其鄰近上方的第四平板314也進(jìn)行蝕刻，同時(shí)除去其下側(cè)的樹脂層314a，而形成比第一空間71窄的第二空間72。
在此結(jié)構(gòu)中，通過層疊第四～第六平板314～316，連接第一空間71與第二空間72，構(gòu)成共用墨室23。該共用墨室23，在上述壓力室20的排列方向即Q方向上形成為長條形。
在該實(shí)施例四中，如上所述，在第一平板311上形成壓力室，所以該第一平板311，相當(dāng)于上述第一平板層。而且，在第四～第六平板314～316上形成共用墨室23，所以該第四～第六平板314～316(包括第四平板314下面的樹脂層314a)，相當(dāng)于上述第二平板層。
第四平板314上面的樹脂層(平板構(gòu)件)314b，處在該第一平板層A與第二平板層B之間。
下面，說明從共用墨室23到壓力室20的墨的流路。
導(dǎo)入孔352(第一通路)穿設(shè)在第四平板314上，該導(dǎo)入孔352引導(dǎo)墨水由共用墨室23到上述壓力室20。并且，在配置在第四平板314上面的相同厚度的連續(xù)的平板狀的樹脂層314b上，穿設(shè)限制流路367(第二通路)，并將其一端連接在上述導(dǎo)入孔352上。
該限制流路256，是通過采用下面的方法在上述樹脂層314b中剔除其厚度部分而形成的，為細(xì)長形的凹部。在層疊平板平板311～317時(shí)，相當(dāng)于該限制流路367的樹脂層314b的上述凹部被上側(cè)的第三平板313所封閉。所以，到達(dá)限制流路367的墨水沿該限制流路367流經(jīng)第三及第四平板313.314之間的空間。
限制流路367的另一端，通過設(shè)置在第三平板313的連通孔357以及設(shè)置在第二平板312上的連通孔358與壓力室20的端部連接。
如圖20所示，該限制流路367，導(dǎo)入孔367形成為寬幅狀，在該寬幅狀的部分上(及限制流路367的內(nèi)部)，形成上述的第二過濾器362，元柱狀突起369以細(xì)小的間隔排列并形成為突起狀且是獨(dú)立的島狀。在該結(jié)構(gòu)中，共用墨室23內(nèi)的墨水所含的雜質(zhì)難以通過突起369之間的空隙而被捕捉。
限制流路367的連通孔357構(gòu)成調(diào)節(jié)部356。該調(diào)節(jié)部356，其流路寬度較小，通過在第三及第四平板313.314之間限制流經(jīng)該限制流路356的墨流量來調(diào)節(jié)壓力室20的供墨量，并適當(dāng)?shù)卣{(diào)整噴嘴21的噴墨量。
在上述結(jié)構(gòu)中，共用墨室23內(nèi)的墨水，從導(dǎo)入孔352到達(dá)限制流路367，流經(jīng)該流路367內(nèi)的第二過濾器362時(shí)被過濾，被除去雜質(zhì)。并且，墨水到達(dá)限制流路367內(nèi)的調(diào)節(jié)部356，其流量被調(diào)整，同時(shí)，通過連通孔357.358向壓力室20供給。
下面，說明墨水供給通路342的結(jié)構(gòu)，該墨水供給通路342用于從墨源向共用墨室23供給墨水。
如圖21～23中點(diǎn)線所示，在第四平板314上，連接供給孔334，該供給孔334連接共用墨室23。在位于第四平板314上面的樹脂層314b上，在相當(dāng)于上述供給孔334的位置上并列穿設(shè)多個(gè)過濾孔59，構(gòu)成第一過濾器361。
如圖22所示，在第一～第三平板311～313上，分別形成聯(lián)絡(luò)孔331～333，并使其位置與第一過濾器361相對應(yīng)。通過該供給孔334、聯(lián)絡(luò)孔331～333共抽上述墨水供給通路342，該墨水供給通路342用于從外部向共用墨室23供應(yīng)墨水。
另外，在本實(shí)施例中，包含上述的墨水供給通路342、共用墨室23、導(dǎo)入孔352、限制流路367(包括調(diào)節(jié)部356)、連通孔357.358、壓力室20以及聯(lián)絡(luò)通路22的整個(gè)通路，相當(dāng)于連接噴嘴21及墨源的“墨水通路”。通過該“墨水通路”連接噴嘴21及墨源的結(jié)果是，由該墨源供給的墨水從噴嘴21噴出，并在打印紙上形成圖象。
下面對吸收共用墨室23的壓力變動的緩沖結(jié)構(gòu)進(jìn)行說明。
構(gòu)成共用墨室23的上述第二空間，是如上述通過對第四平板314進(jìn)行欠設(shè)，同時(shí)除去第四平板314下面的樹脂層而形成的。另一方面，配置在第四平板314上面的樹脂層314b，即使是在相當(dāng)于上述第二空間72的部分內(nèi)，也不進(jìn)行任何剔除而予以保留。
并且，對在與共用墨室23相反的一側(cè)(遠(yuǎn)離噴嘴21的一側(cè))面對上述樹脂層314b的第三平板13也實(shí)施蝕刻，并形成具有與上述第二空間72對應(yīng)的形狀的空間373。
該樹脂層(平板構(gòu)件)314b具備適度的彈性，通過在形成上述的空間373，該處的樹脂層314b(緩沖部380)在共用墨室23及上述空間373均可以自由振動。
其結(jié)果是，在噴墨時(shí)由壓力室20所殘生的壓力變動被導(dǎo)向共用墨室23，即使如此，也可以通過上述緩沖部380的彈性變形振動而吸收并減弱該壓力變動(緩沖作用)，防止壓力變動傳導(dǎo)至其他壓力室20的串音。
下面，對本實(shí)施例的二個(gè)過濾器361.362、限制流路367、及緩沖部380的形成工序進(jìn)行說明。上述均形成在第四平板314上面所配置的樹脂層(平板構(gòu)件)314b上。
圖24為表示第4平板的制造工序的擴(kuò)大斜視圖。
圖25為表示對形成在第4平板的感光樹脂層進(jìn)行曝光的狀態(tài)圖。
圖26為表示在感光樹脂層形成過濾器及聯(lián)絡(luò)流路的狀態(tài)圖。
圖24(p1)中揭示了成為第四平板的材料的金屬平板314。在此形態(tài)下，對該平板314的上、下面進(jìn)行洗凈、研磨等前處理后，如(p2)所示，在其中一側(cè)的面上涂附感光樹脂，在另一面上涂附蝕刻用抗蝕材料。感光樹脂及蝕刻用抗蝕材料，有很多種可以考慮，但是基于耐墨性的考慮，優(yōu)選亞胺系和環(huán)氧系樹脂。作為涂附方法，例如可以采用滾涂法和旋涂法等。
其后，將平板314置于高溫環(huán)境下，除去感光樹脂及蝕刻用抗蝕材料內(nèi)的溶劑(前烘)。結(jié)果是，如圖24(p2)所示，蝕刻用抗蝕材料層314a及感光樹脂層314b形成在平板314上。以下，將314a的樹脂層稱為“第一感光樹脂層”，將314b的樹脂層稱為“第二感光樹脂層”。
另外，為方便說明，在圖24～26中第四平板314以上下相反的狀態(tài)進(jìn)行表示，在圖21～23中，其上下關(guān)系則相反。
下面，如圖25(p3)所示，利用光掩膜對該平版14的上下面進(jìn)行選擇性曝光。
光掩膜，有上面用光掩膜和下面用光掩膜，在圖25的上面的掩膜381上形成與上述連通孔324、導(dǎo)入孔352、供給孔334及第二空間72對應(yīng)的圖象(324p、352p、334p、72p)。
在圖25的下面的掩膜382上形成與連通孔324、第一過濾器361的過濾孔59及限制流路367對應(yīng)的圖象(324p、59p、367p)。另外，與構(gòu)成限制流路367的一部分的調(diào)節(jié)部356、第二過濾器362的突起369相對應(yīng)的圖象也形成在下面一側(cè)的掩膜382上(356p、369p)。
相對于平板314，正確地定位上述兩個(gè)掩膜381.382，然后，從上下兩面照射具有適當(dāng)波長的紫外線。由此，上側(cè)的掩膜381上的圖象以及下側(cè)的掩膜382上的圖象被分別復(fù)制轉(zhuǎn)印到第一感光樹脂層314a以及第二感光樹脂層314b。
接著，采用噴射法等將顯像液涂附在用在第一感光樹脂層314a上，除去該樹脂層314a的非曝光部分并顯像。其結(jié)果是，如圖26的(p4)所示，與形成在上面一側(cè)的掩膜381上的圖象324p、352p、334p、72p相對應(yīng)的部分的樹脂被除去，并在該處露出平板314的表面。
其后，在第一感光樹脂層314a涂附蝕刻液，對露出的部分進(jìn)行腐蝕，如圖26的(p5)所示，形成連通孔324、導(dǎo)入孔352、供給孔334及第二空間。另外，在第二空間72的第二感光樹脂層314b成為上述緩沖部380。
最后，在第二感光樹脂層314b上涂附顯像液后，在與上述下面的掩膜382上所形成的圖象324p、356p、59p、367p對應(yīng)的地方除去該樹脂層314b。
其結(jié)果是，如圖26的(p6)所示，形成過濾孔59并構(gòu)成第一過濾器361。進(jìn)而，包含調(diào)節(jié)部356的限制流路367形成在第二感光樹脂層314b上，并和上述導(dǎo)入孔352連接。另外，與該樹脂層314b的上述圖象369p相當(dāng)?shù)牡胤奖黄毓舛幢怀ィ浣Y(jié)果是，在限制流路367內(nèi)部，上述突起369被保留為凸?fàn)睿⑿纬傻诙^濾器362。
通過上述工序完成第四平板，其后，如圖22所示，通過與其他平板(311～313，315～317)重疊粘結(jié)，構(gòu)成噴墨頭的空腔板組10v。
另外，在第四平板以外的平板(311～313，315～317)上，和過去一樣，在各金屬板層的兩面形成感光樹脂層，然后，利用其形成了與壓力室20、連通孔324、共用墨室23等對應(yīng)的圖象的掩膜進(jìn)行兩面曝光并顯像，對露出的平板的襯底進(jìn)行蝕刻，形成上述的墨的流路。蝕刻工序結(jié)束后，剝離并除去感光樹脂層。
在本實(shí)施例中，通過如上所示的加工工序，在第四平板314的兩面上形成感光樹脂層314a和314b，第一感光樹脂層314a用于選擇性的蝕刻，通過該選擇性蝕刻，在平板314上形成導(dǎo)入孔(第一通路)352，第二感光樹脂層314b通過顯像在平板314上形成過濾器362及限制流路(第二通路)367，因此，和利用其他構(gòu)件設(shè)置過濾器，或在其他的金屬平板上形成過濾器及上述流路的結(jié)構(gòu)相比而言，可以簡化部件結(jié)構(gòu)，并減少加工工序數(shù)。
特別是，在該結(jié)構(gòu)中，不僅是過濾器362，而且將構(gòu)成墨的流路的一部分的限制流路367也設(shè)置在第二感光樹脂層314b，所以，可以簡化流路結(jié)構(gòu)，減少層疊的平板數(shù)量。
并且，第二過濾器362必須對應(yīng)于各個(gè)壓力室20(噴嘴21)來形成，在本實(shí)施例所示的多個(gè)壓力室20并列設(shè)置的結(jié)構(gòu)中，也必須構(gòu)成多個(gè)第二過濾器362，但是，如果使用其中形成了多個(gè)該過濾器362的圖形(突起部369的圖象369p)的掩膜382，可以通過一次曝光.顯像而一次形成多個(gè)過濾器362，加工非常容易。
在掩膜382上，形成上述第二過濾器(即，配置在連接上述壓力室及上述共用墨室23的流路上的過濾器)362，同時(shí)形成上述第一過濾器(即，配置在上述墨水供給通路342上的過濾器)361。所以，可以通過第一過濾器361來防止混入共用墨室23內(nèi)的雜質(zhì)，同時(shí)還能通過第二過濾器362來阻止雜質(zhì)到達(dá)壓力室20及噴嘴21。并且，二個(gè)過濾器361.362都可以通過掩膜382的圖象來形成，所以簡化了加工工序。
而且，在本實(shí)施例中，采用了限制流路367內(nèi)設(shè)第二過濾器362的結(jié)構(gòu)，所以可以在較小的空間內(nèi)統(tǒng)括配置限制流路367和過濾器362，簡化了流路結(jié)構(gòu)，對噴墨頭的小型化作出了貢獻(xiàn)。并且，適于流路的高密度配置，也比較容易適于需要高度集成化地配置噴嘴21的高清晰度的印刷形態(tài)。
并且，限制流路367調(diào)整流向壓力室20的墨流，其作為上述第二流路構(gòu)成在上述第二感光樹脂層314b，所以，可以比較容易地精確設(shè)定該限制流路367的流路阻力。
即，限制流路367的流路阻力直接影響到壓力室20的供墨量(接力傳送)，甚至于噴嘴21的噴墨量。因此，為了防止噴嘴21的噴墨量出現(xiàn)過多或過少的問題，必須適當(dāng)確定該限制流路367的流路阻力。
在這一點(diǎn)上，根據(jù)本實(shí)施例的結(jié)構(gòu)，通過選擇適當(dāng)?shù)耐扛綏l件可以精確設(shè)定第二感光樹脂層314b的厚度，所以，在顯像工序中，限制流路367的輪廓形狀對應(yīng)于曝光工序中的掩膜圖象形狀，在其厚度范圍內(nèi)完全除去該限制流路367的輪廓形狀，由此，可以形成尺寸精確的限制流路367。即，例如對金屬平板進(jìn)行蝕刻法槽加工并形成限制流路，和這種結(jié)構(gòu)(如上述實(shí)施例三的結(jié)構(gòu))相比而言，可以提高限制流路367的深度的精確度，所以，能夠減少流路阻力的誤差或偏差，提高印刷質(zhì)量。
另外，與實(shí)施例同樣，通過使上述突起369的形成個(gè)數(shù)及排列方法等各不相同，從而來自由調(diào)節(jié)墨流阻滯(流路阻力)。由此，能夠比較容易地精確設(shè)定限制流路367的最適當(dāng)?shù)牧髀纷枇?，噴?1的噴墨量也將實(shí)現(xiàn)最適化從而提高印刷質(zhì)量。
另外，如圖22所示，作為平板構(gòu)件的第二感光樹脂層314b(構(gòu)成上述“墨流通路”的一部分)面對共用墨室23，在剔除部的空間373形成在相反一側(cè)的平板(第三平板313)并夾持該樹脂層314b，所以，可以通過空間373與墨流通路之間的第二感光樹脂層314b的振動來吸收并減弱傳導(dǎo)至墨流通路的壓力變動。因此，通過控制給噴嘴21的噴墨質(zhì)量帶來惡劣影響的壓力變動，可以實(shí)現(xiàn)適宜的印刷控制。在本實(shí)施例中，在第二感光樹脂層(上述平板構(gòu)件)314b上還加入了上述的緩沖部380，其結(jié)果是，可以進(jìn)一步簡化部件結(jié)構(gòu)和安裝工序。
在本實(shí)施例中，感光樹脂.蝕刻用抗蝕液采用正型(光硬化型)材料，但不限于上述，也可以使用負(fù)型(光分解型)材料。此時(shí)，曝光部分在顯像時(shí)被逆向除去，如果將形成了曝光部分和非曝光部分被替換的圖象的掩膜作為掩膜381.382使用的話，可以形成和上述相同的結(jié)構(gòu)。
另外，工序的進(jìn)行并不一定非得按照上述順序。比如，也可以在形成第二感光樹脂層314b后再形成第一感光樹脂層314a。而且，也可以不遵循圖25所示一次曝光平板314的兩面，而逐面進(jìn)行曝光。
在本實(shí)施例中，在上述第二感光樹脂層314b上還形成了第一過濾器361的過濾孔59，但不限于此，也可以形成在其他的平板上。但，在本實(shí)施例的結(jié)構(gòu)中，第二感光樹脂層314b還配置了第一過濾器361，如果根據(jù)該結(jié)構(gòu)，只要通過曝光.顯像，就能在第二感光樹脂層314b上一次形成第二過濾器362及限制流路367，但不僅僅如此，還能同時(shí)一次形成第一過濾器361，所以，可以進(jìn)一步簡化加工工序。
在上述的實(shí)施例4中，在保留第一感光樹脂層314a的狀態(tài)下層疊平板11～17、形成噴墨頭，但是，也可以至少在層疊前除去該第一感光樹脂層314a。在作為實(shí)施例4的變形實(shí)施例a的空腔板組10va中揭示除去了第一感光樹脂層314a的結(jié)構(gòu)?？梢栽趯盈B前馬上除去該第一感光樹脂層314a，但是，在圖24～26的工序中，可以在(p5)和(p6)之間追加除去第一感光樹脂層314a的工序。
此時(shí)，可以通過適當(dāng)選擇第一感光樹脂層314a和第二感光樹脂層314b的材質(zhì)，以免用于顯像(根據(jù)曝光.未曝光的選擇性去除)第一感光樹脂層314a的顯像液(溶劑)浸入曝光前或曝光后的第二感光樹脂層314b，從而實(shí)現(xiàn)上述追加工序。[實(shí)施例5]下面，參照附圖28～31來說明實(shí)施例5。本實(shí)施例與上述實(shí)施例4的不同在于，形成在第二感光樹脂層314b上的流路(第二通路)和形成在第四平板314上的流路(第一通路)不直接相連。
圖28為實(shí)施例5的噴墨頭的平面圖。
圖29為表示圖28中P-P線截面的噴墨頭的斜視圖。
圖30為表示實(shí)施例5的噴墨頭的空腔板組的層疊結(jié)構(gòu)的分解斜視圖。
圖31為表示第4平板的擴(kuò)大斜視圖。
圖28～31所示的實(shí)施例5的噴墨頭，在形成在空腔板組10w內(nèi)的共用墨室23至壓力室20的流路結(jié)構(gòu)方面和上述實(shí)施例4不同。
下面說明該流路結(jié)構(gòu)。如圖29所示，作為第一通路的導(dǎo)入孔352｀形成在第四平板314｀上，并連接共用墨室23。并且，與該導(dǎo)入孔352｀的位置相對應(yīng)，將多個(gè)過濾孔365并列穿設(shè)在第四平板314｀上面所配置的樹脂層314b，從而構(gòu)成第二過濾器362｀。并且，在該樹脂層314b上，長孔狀的限制流路(第二通路)356｀形成在該第二過濾器362｀的旁邊的位置，該限制流路356｀的一端和上述導(dǎo)入孔352通過形成在第三平板313｀上的連接流路353來連接。限制流路356｀的另一端通過連通孔357｀、358連接在壓力室20。
另外，在實(shí)施例5中，過濾器未形成在限制流路356｀內(nèi)，上述第二過濾器362｀被配置在導(dǎo)入孔352｀上。
即使是在該噴墨頭上，上述第二過濾器362｀的過濾孔365以及限制流路356｀也是通過使用掩膜進(jìn)行曝光顯像而形成在第二感光樹脂層314b上的。其他結(jié)構(gòu)及第四平板314｀的制造方法和上述第四實(shí)施例的噴墨頭完全相同。
另外，也可以用以下工序來代替圖25～27的工序，即1.對第四平板314實(shí)施與上述實(shí)施例相同的前處理；2.在第四平板314的一面上僅僅形成第一感光樹脂層314a；3.對其進(jìn)行圖象曝光；4.對第一感光樹脂層314a實(shí)施與上述實(shí)施例(p5)同樣的顯像；5.與上述實(shí)施例(p5)相同，通過蝕刻形成流路；6.在第四平板314的另一面上形成第二感光樹脂層314b；7.對其進(jìn)行圖象曝光8.與上述實(shí)施例(p6)相同，通過顯像形成過濾器等。
此時(shí)，第二感光樹脂層314b，為了不堵塞由上述5.的蝕刻工序所形成的流路，優(yōu)選采用膠片狀材料的粘合來形成，但是，如果調(diào)整用于形成第二感光樹脂層314b的抗蝕材料的黏度和干燥性能等的物理特性(流體特性)，也可以采用液狀材料。
在上述實(shí)施例1～5中，第一平板層A由一個(gè)平板構(gòu)成，第二平板層B由多個(gè)平板構(gòu)成，但不限于此。即，第一平板層A可以由多個(gè)平板構(gòu)成，第二平板層B也可以僅由一個(gè)平板構(gòu)成。
盡管參考上述具體實(shí)施例說明了本發(fā)明，但是對于本領(lǐng)域技術(shù)人員來說各種改變、修改和變形是顯而易見的。因此，如上所述的本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例目的在于說明，而不是限制?？梢赃M(jìn)行各種修改而不脫離如所附權(quán)利要求確定的本發(fā)明的實(shí)質(zhì)和范圍。
權(quán)利要求
1.一種噴墨頭，含有多個(gè)噴嘴，用于噴出墨水；第一平板層，并排形成與各個(gè)所述噴嘴對應(yīng)并連通的多個(gè)壓力室，且至少由一個(gè)以上的平板構(gòu)成；第二平板層，在所述壓力室排列的方向上形成長形共用墨水室，且至少由一個(gè)以上的平板構(gòu)成；墨水通路，一端與所述壓力室連通，另一端與所述共用墨水室連通；墨水供給通路，連接所述共用墨水室與墨水供給源；薄膜狀平板部件，位于所述第一平板層與所述第二平板層之間；過濾器，位于所述平板部件上用于過濾墨水；和減震室，位于相對所述平板部件，面向所述墨水盒的相反側(cè)的平板層。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的噴墨頭，其特征在于，所述平板部件進(jìn)一步含有調(diào)整所述壓力室與所述共用墨水室之間的墨水流量的限制通路。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的噴墨頭，其特征在于，所述平板部件在平板層壓方向上，既不同于所述壓力室的高度，也不同于所述共用墨水室的高度，而且，所述限制通路在平板層壓方向上的投影區(qū)域與所述共用墨水室至少大部分重疊。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的噴墨頭，其特征在于，所述限制通路在平板層壓方向上的投影區(qū)域與所述共用墨水室重疊。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的噴墨頭，其特征在于，所述過濾器設(shè)置在所述墨水供給通路上。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的噴墨頭，其特征在于，所述過濾器設(shè)置在所述墨水通路上。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的噴墨頭，其特征在于，所述平板部件的厚度小于所述噴嘴的直徑。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的噴墨頭，其特征在于，所述平板部件中，同時(shí)設(shè)置位于所述墨水供給通路的過濾器和位于墨水通路的過濾器。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的噴墨頭，其特征在于，所述平板部件的厚度小于所述噴嘴的直徑。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的噴墨頭，其特征在于，在所述平板部件中，所述減震室與所述共用墨水室重疊的部分形成可以振動的減震部。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的噴墨頭，其特征在于，所述平板部件由樹脂構(gòu)成，同時(shí)，所述平板部件中，在至少包括所述減震室的區(qū)域中實(shí)施金屬膜的電鍍或蒸鍍。
12.根據(jù)權(quán)利要求10所述的噴墨頭，其特征在于，所述平板部件由聚酰亞胺樹脂或環(huán)氧樹脂構(gòu)成。
13.一種噴墨頭，含有多個(gè)噴嘴，用于噴出墨水；第一平板層，并排形成與各個(gè)所述噴嘴對應(yīng)并連通的多個(gè)壓力室，且至少由一個(gè)以上的平板構(gòu)成；第二平板層，在所述壓力室排列的方向上形成長形共用墨水室，且至少由一個(gè)以上的平板構(gòu)成；墨水供給通路，連接所述共用墨水室與墨水供給源；薄膜狀平板部件，位于所述第一平板層與所述第二平板層之間；限制通路，在平板部件上形成，一端與所述壓力室連通，另一端與所述共用墨水室連通，以便調(diào)整所述壓力室與所述共用墨水室之間的墨水流量；過濾器，使墨水在所述平板部件的厚度方向上流淌而將墨水過濾；過濾器，除了前述過濾器額外在該平板部件上形成，使墨水在所述平板部件中沿層面方向流淌而將墨水過濾；和減震室，位于相對所述平板部件，面向所述墨水盒的相反側(cè)的平板層。
14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的噴墨頭，其特征在于，使墨水在所述平板部件的厚度方向上流淌而將墨水過濾的過濾器設(shè)置在所述墨水供給通路上。
15.根據(jù)權(quán)利要求13所述的噴墨頭，其特征在于，使墨水在所述平板部件的厚度方向上流淌而將墨水過濾的過濾器設(shè)置在一端與所述壓力室連通，另一端與所述共用墨水室連通的墨水通路上。
16.根據(jù)權(quán)利要求13所述的噴墨頭，其特征在于，使墨水在所述平板部件中沿層面方向流淌而將墨水過濾的過濾器設(shè)置在一端與所述壓力室連通，另一端與所述共用墨水室連通的墨水通路上。
17.一種噴墨頭，含有多個(gè)噴嘴，用于噴出墨水；第一平板層，并排形成與各個(gè)所述噴嘴對應(yīng)并連通的多個(gè)壓力室，且至少由一個(gè)以上的平板構(gòu)成；第二平板層，在所述壓力室排列的方向上形成長形共用墨水室，且至少由一個(gè)以上的平板構(gòu)成；墨水供給通路，連接所述共用墨水室與墨水供給源；平板部件，位于所述第一平板層與所述第二平板層之間；限制通路，一端與所述壓力室連通，另一端與所述共用墨水室連通，在平板部件上形成，以便調(diào)整所述壓力室與所述共用墨水室之間的墨水流量；和過濾器，在所述限制通路內(nèi)形成。
18.根據(jù)權(quán)利要求17所述的噴墨頭，其特征在于，所述限制通路具有在所述平板部件上形成凹部，利用其他平板將該凹部封閉的結(jié)構(gòu)，另外，在所述平板部件的所述凹部內(nèi)側(cè)形成島狀凸起部，這個(gè)凸起部構(gòu)成所述過濾器。
19.根據(jù)權(quán)利要求17所述的噴墨頭，其特征在于，所述凹部通過在所述平板部件上實(shí)施半蝕刻而形成。
20.根據(jù)權(quán)利要求17所述的噴墨頭，其特征在于，吸收所述共用墨水室的壓力波動的減震室設(shè)置在所述平板部件上。
全文摘要
本發(fā)明提供一種噴墨頭，含有多個(gè)用于噴出墨水的噴嘴；第一平板層，并排形成與各個(gè)前述噴嘴對應(yīng)并連通的多個(gè)壓力室，且至少由一個(gè)以上的平板構(gòu)成；第二平板層，在前述壓力室排列的方向上形成長形共用墨水室，且至少由一個(gè)以上的平板構(gòu)成；墨水通路，一端與前述壓力室連通，另一端與前述共用墨水室連通；墨水供給通路，連接前述共用墨水室與墨水供給源；薄膜狀平板部件，位于前述第一平板層與前述第二平板層之間；過濾器，位于前述平板部件上用于過濾墨水；和減震室，位于相對前述平板部件，面向前述共用墨水室的相反側(cè)的平板。
文檔編號B41J2/055GK1481993SQ031041
公開日2004年3月17日 申請日期2003年2月14日 優(yōu)先權(quán)日2002年2月15日
發(fā)明者廣田淳, 巖尾直人, 坂井田惇夫, 人, 夫 申請人:兄弟工業(yè)株式會社