透明阻氣膜的制造方法和透明阻氣膜的制造裝置制造方法
【專(zhuān)利摘要】本發(fā)明的透明阻氣膜的制造方法是使用卷對(duì)卷方式實(shí)施的。該制造方法包括在輸送長(zhǎng)條帶狀的樹(shù)脂基板(8)過(guò)程中將成分不同的多種薄膜分別在所述樹(shù)脂基板(8)上層疊多層的工序，在薄膜形成區(qū)域中設(shè)有數(shù)量與所述薄膜的種類(lèi)數(shù)量對(duì)應(yīng)的蒸發(fā)源(91、92)，使所述長(zhǎng)條帶狀的樹(shù)脂基板(8)交替地穿過(guò)所述薄膜形成區(qū)域和非薄膜形成區(qū)域，通過(guò)在所述薄膜形成區(qū)域中使所述多個(gè)蒸發(fā)源(91、92)中含有的材料分別附著在所述樹(shù)脂基板(8)上，從而在所述樹(shù)脂基板(8)上形成層疊了多層所述多種薄膜而成的透明阻氣層。
【專(zhuān)利說(shuō)明】透明阻氣膜的制造方法和透明阻氣膜的制造裝置

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種使用了卷對(duì)卷方式的透明阻氣膜的制造方法和其制造裝置。

【背景技術(shù)】
[0002]液晶顯示元件、有機(jī)此(此是電致發(fā)光的簡(jiǎn)稱(chēng))元件、電子紙、太陽(yáng)能電池以及薄膜鋰離子電池等各種電子器件近年一直在進(jìn)行輕質(zhì)化、薄型化。已知上述器件中的多數(shù)因大氣中的水蒸氣而蝕損劣化。
[0003]以往，在上述器件中作為其支承基板使用了玻璃基板。但是，基于輕質(zhì)性、耐沖擊性以及彎曲性等各種特性?xún)?yōu)異這樣的理由，研宄了使用樹(shù)脂基板來(lái)代替玻璃基板。上述樹(shù)脂基板通常具有水蒸氣等的氣體透過(guò)性明顯比由玻璃等無(wú)機(jī)材料形成的基板的氣體透過(guò)性大這樣的性質(zhì)。因此，對(duì)于上述器件所使用的樹(shù)脂基板而言，要求樹(shù)脂基板在維持光透過(guò)性的同時(shí)提高阻氣性。
[0004]然而，電子器件的阻氣性與食品包裝用途的阻氣性相比，要求極高的等級(jí)。阻氣性例如以水蒸氣透過(guò)速度11-81181111881011取11:6。以下記為驟狀)表示。以往的食品包裝用途的評(píng)伙值為18?—2 #也丫―1?10?…―2.也丫―1左右，與之相比，認(rèn)為例如薄膜硅太陽(yáng)能電池、化合物薄膜類(lèi)太陽(yáng)能電池用途的基板所需要的驟狀為1 X 10、.0 2.(1奶―1以下，另外，有機(jī)此元件用途的基板所需要的評(píng)伙為1X10—七，!!!—2—^1以下。為了應(yīng)對(duì)這樣非常高的阻氣性要求，提出了各種各樣在樹(shù)脂基板上形成阻氣層的方法(例如，參照專(zhuān)利文獻(xiàn)1和2)。但是，利用以這些方法所代表的真空工藝來(lái)形成的無(wú)機(jī)膜的阻氣性并沒(méi)有能夠滿(mǎn)足上述要求。
[0005]因此，提出了使用相同的真空工藝把成分不同的多個(gè)種類(lèi)的薄膜層疊起來(lái)并復(fù)合化而制得的阻氣性膜(例如，參照專(zhuān)利文獻(xiàn)3?5)。
[0006]為了以卷對(duì)卷方式形成這樣的具有多種薄膜的阻氣性膜，需要配置數(shù)量與該薄膜層數(shù)對(duì)應(yīng)的蒸發(fā)源(例如，蒸鍍坩禍、靶材等例如，在形成將由成分八構(gòu)成的薄膜和由成分8構(gòu)成的薄膜(八和8的成分不同)各三層交替層疊于基板上而成的阻氣性膜時(shí)，在輸送長(zhǎng)條帶狀的基板的過(guò)程中，需要以包含成分八的蒸發(fā)源、包含成分8的蒸發(fā)源、包含成分八的蒸發(fā)源、包含成分8蒸發(fā)源、包含成分八的蒸發(fā)源以及包含成分8的蒸發(fā)源的方式配置6個(gè)蒸發(fā)源。如果這樣來(lái)設(shè)置數(shù)量與層數(shù)對(duì)應(yīng)的蒸發(fā)源，則存在設(shè)備和管理成本增加這樣的冋題。
[0007]另一方面，還公知如下方法，即:將數(shù)量與薄膜的種類(lèi)數(shù)量對(duì)應(yīng)的蒸發(fā)源以與旋轉(zhuǎn)輥相對(duì)的方式設(shè)置并將基板以單片狀粘貼在上述旋轉(zhuǎn)輥上，一邊使該旋轉(zhuǎn)輥旋轉(zhuǎn)一邊使來(lái)自上述多個(gè)蒸發(fā)源的材料依次附著在基板上。該方法即所謂的批量生產(chǎn)式的方法。采用該方法，所設(shè)置的蒸發(fā)源的數(shù)量與薄膜的種類(lèi)數(shù)量對(duì)應(yīng)即可。例如，在上述例子中，能夠利用包含成分纟的蒸發(fā)源和包含成分8的蒸發(fā)源這兩個(gè)蒸發(fā)源在基板上交替層疊多層由成分八構(gòu)成的薄膜和由成分8構(gòu)成的薄膜。但是，在批量生產(chǎn)方式的情況下，需要進(jìn)行蒸發(fā)源的切換(例如，擋板的開(kāi)閉，蒸發(fā)的啟停等)，而且，因?yàn)槭褂脝纹瑺畹幕?，所以存在制造效率差這樣的問(wèn)題。
[0008]專(zhuān)利文獻(xiàn)1:日本特開(kāi)平8-164595號(hào)公報(bào)
[0009]專(zhuān)利文獻(xiàn)2:日本特開(kāi)2004-151528號(hào)公報(bào)
[0010]專(zhuān)利文獻(xiàn)3:日本特開(kāi)2006-68992號(hào)公報(bào)
[0011]專(zhuān)利文獻(xiàn)4:日本特開(kāi)2007-230115號(hào)公報(bào)
[0012]專(zhuān)利文獻(xiàn)5:日本特開(kāi)2009-23284號(hào)公報(bào)


【發(fā)明內(nèi)容】

[0013]發(fā)明要解決的問(wèn)題
[0014]本發(fā)明的目的在于提供一種高效制造阻氣性?xún)?yōu)異的透明阻氣膜的方法和其制造目.0
[0015]用于解決問(wèn)題的方案
[0016]本發(fā)明的透明阻氣膜的制造方法是使用卷對(duì)卷方式實(shí)施的。該制造方法包括在輸送長(zhǎng)條帶狀的樹(shù)脂基板過(guò)程中將成分不同的多種薄膜分別在所述樹(shù)脂基板上層疊多層的工序，在薄膜形成區(qū)域設(shè)有數(shù)量與所述薄膜的種類(lèi)數(shù)量對(duì)應(yīng)的蒸發(fā)源，使所述長(zhǎng)條帶狀的樹(shù)脂基板交替地穿過(guò)所述薄膜形成區(qū)域和非薄膜形成區(qū)域，并在所述薄膜形成區(qū)域中使所述多個(gè)蒸發(fā)源中含有的材料分別附著在所述樹(shù)脂基板上，從而在所述樹(shù)脂基板上形成層疊了多層所述多種薄膜而成的透明阻氣層。
[0017]本發(fā)明的優(yōu)選制造方法為，在所述薄膜形成區(qū)域中排列有多個(gè)所述蒸發(fā)源，在所述薄膜形成區(qū)域中，沿著所述蒸發(fā)源的排列方向輸送所述樹(shù)脂基板。
[0018]本發(fā)明的進(jìn)一步優(yōu)選的制造方法為，多個(gè)所述蒸發(fā)源所含有的材料各不相同，所述材料包含金屬和準(zhǔn)金屬中的至少一種。
[0019]本發(fā)明的進(jìn)一步優(yōu)選的制造方法為，利用從蒸鍍法、濺鍍法以及離子鍍法中選出的真空加工法，使所述材料附著于所述樹(shù)脂基板。
[0020]采用本發(fā)明的另一技術(shù)方案，提供一種用于制造透明阻氣膜的制造裝置，該透明阻氣膜具有成分不同的多種薄膜沿厚度方向?qū)盈B而成的透明阻氣層。
[0021]該制造裝置是一種透明阻氣膜的制造裝置，該透明阻氣膜具有成分不同的多種薄膜沿厚度方向?qū)盈B而成的透明阻氣層，該制造裝置具有:腔室，其具有薄膜形成區(qū)域和薄膜非薄膜形成區(qū)域；蒸發(fā)源，其含有金屬和準(zhǔn)金屬中的至少一種材料；以及輸送裝置，其用于輸送長(zhǎng)條帶狀的樹(shù)脂基板，在所述薄膜形成區(qū)域中設(shè)有數(shù)量與所述薄膜的種類(lèi)數(shù)量對(duì)應(yīng)的蒸發(fā)源，多個(gè)所述蒸發(fā)源各自獨(dú)立，且含有不同的材料，多個(gè)所述蒸發(fā)源沿著所述長(zhǎng)條帶狀的樹(shù)脂基板的輸送方向或者與輸送方向正交的方向并排配置，所述輸送裝置構(gòu)成為，以使所述樹(shù)脂基板交替地穿過(guò)所述薄膜形成區(qū)域和非薄膜形成區(qū)域的方式輸送所述樹(shù)脂基板。
[0022]在本發(fā)明的優(yōu)選的制造裝置中，所述輸送裝置以螺旋狀的輸送軌跡輸送所述長(zhǎng)條帶狀的樹(shù)脂基板。
[0023]在本發(fā)明的進(jìn)一步優(yōu)選的制造裝置中，多個(gè)所述蒸發(fā)源沿著所述長(zhǎng)條帶狀的樹(shù)脂基板的輸送方向并排設(shè)置。
[0024]在本發(fā)明的進(jìn)一步優(yōu)選的制造裝置中，在所述腔室內(nèi)還具有用于產(chǎn)生等離子體的等離子體源和用于供給反應(yīng)氣體的反應(yīng)氣體供給裝置。
[0025]發(fā)明的效果
[0026]采用本發(fā)明的制造方法和制造裝置，能夠高效地制造阻氣性?xún)?yōu)異的透明阻氣膜。
[0027]另外，采用本發(fā)明的優(yōu)選的制造方法和制造裝置，能夠高效地制造阻氣性?xún)?yōu)異且透明阻氣層的內(nèi)部應(yīng)力非常低的透明阻氣膜。

【專(zhuān)利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0028]圖1是表示本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式的透明阻氣膜的俯視圖。
[0029]圖2是以圖1的11-11線(xiàn)剖切而得到的放大剖視圖。
[0030]圖3是其他實(shí)施方式的透明阻氣膜的放大剖視圖。
[0031]圖4是另一其他實(shí)施方式的透明阻氣膜的放大剖視圖。
[0032]圖5是表示第1實(shí)施方式所涉及的制造裝置的概要的主視圖。
[0033]圖6是該制造裝置的左視圖。
[0034]圖7是示意性地表示多種薄膜的形成過(guò)程的示意圖。
[0035]圖8是表示第1實(shí)施方式的變形例所涉及的制造裝置的概要的主視圖。
[0036]圖9是表示第2實(shí)施方式所涉及的制造裝置的概要的主視圖。
[0037]圖10是該制造裝置的左視圖。
[0038]圖11是表示第2實(shí)施方式的變形例所涉及的制造裝置的概要的主視圖。
[0039]圖12是該制造裝置的左視圖。

【具體實(shí)施方式】
[0040]以下，參照【專(zhuān)利附圖】

【附圖說(shuō)明】本發(fā)明。需要說(shuō)明的是，各附圖中的層厚和長(zhǎng)度等尺寸與實(shí)際情況不同。
[0041]另外，在本說(shuō)明書(shū)中，雖然在用語(yǔ)的開(kāi)頭標(biāo)有“第1”、“第2”，但該“第1”等僅僅是為了對(duì)用語(yǔ)進(jìn)行區(qū)分而添加的前綴，并不具有表示其順序、優(yōu)劣等特別的含義?！伴L(zhǎng)條帶狀”意味著一個(gè)方向的長(zhǎng)度與另一個(gè)方向的長(zhǎng)度相比足夠長(zhǎng)的大致長(zhǎng)方形形狀。上述長(zhǎng)條帶狀例如是上述一個(gè)方向的長(zhǎng)度為另一個(gè)方向的長(zhǎng)度的10倍以上的大致長(zhǎng)方形形狀，優(yōu)選的是30倍以上，更加優(yōu)選的是100倍以上?！伴L(zhǎng)度方向”指的是上述長(zhǎng)條帶狀的一個(gè)方向(與長(zhǎng)條帶狀的長(zhǎng)邊平行的方向),寬度方向”指的是上述長(zhǎng)條帶狀的另一個(gè)方向(與帶狀的短邊平行的方向)。？?㈨這樣的表述意味著？以上且㈨0以下”。
[0042](透明阻氣膜)
[0043]利用本發(fā)明的制造方法和制造裝置得到的透明阻氣膜具有樹(shù)脂基板和層疊在上述樹(shù)脂基板上的透明阻氣層。
[0044]上述透明阻氣層具有多層成分不同的多種薄膜。在多層上述薄膜中，至少2層薄膜的形成材料的成分不同。
[0045]以下，在需要對(duì)成分不同的多種薄膜進(jìn)行區(qū)分時(shí)，有時(shí)在該用語(yǔ)之前標(biāo)記第1、第2等。例如，將某種成分的一種薄膜稱(chēng)為“第1薄膜”，將成分與該薄膜(第1薄膜)的成分不同的一種薄膜稱(chēng)為“第2薄膜”，將成分與第1薄膜和第2薄膜的成分不同的一種薄膜稱(chēng)為“第3薄膜”。
[0046]上述各種薄膜含有金屬和準(zhǔn)金屬中的至少一種。優(yōu)選的是，上述金屬或者準(zhǔn)金屬中的至少一種是自氧化物、氮化物、碳化物、氮氧化物、碳氧化物、碳氮化物以及碳氮氧化物所構(gòu)成的組中選出的至少一種。作為上述金屬，例如能夠舉出鋁、鈦、銦、鎂等。作為上述準(zhǔn)金屬，例如能夠舉出硅、鉍、鍺等。為了提高阻氣性，優(yōu)選上述各種薄膜含有使透明阻氣層內(nèi)的網(wǎng)絡(luò)結(jié)構(gòu)(網(wǎng)眼狀的結(jié)構(gòu))致密那樣的碳、氮。為了使透明性進(jìn)一步提高，優(yōu)選上述各種薄膜含有氧。上述各種薄膜的成分特別優(yōu)選含有金屬和準(zhǔn)金屬中的至少一種、以及碳、氧及氮中的任一種。對(duì)于上述成分，典型的是金屬或者準(zhǔn)金屬的碳氮氧化物。
[0047]對(duì)于本發(fā)明的透明阻氣膜的構(gòu)成透明阻氣層的多種薄膜，至少其中兩種、優(yōu)選的是兩種或三種薄膜含有金屬和準(zhǔn)金屬中的至少一種，但這些薄膜的成分是彼此不同的。
[0048]作為成分不同的薄膜的例子，能夠舉出—種薄膜是由金屬的氧化物構(gòu)成，另一種薄膜是由準(zhǔn)金屬的氧化物構(gòu)成的情況；(8) —種薄膜是由金屬的碳氮氧化物構(gòu)成，另一種薄膜是由準(zhǔn)金屬的碳氮氧化物構(gòu)成情況；(0 —種薄膜是由金屬的氧化物構(gòu)成，另一種薄膜是由金屬的氮化物構(gòu)成的情況；(0) —種薄膜是由金屬的氧化物構(gòu)成，另一種薄膜是由準(zhǔn)金屬的氧化物構(gòu)成，第三種薄膜是由金屬的碳氮氧化物構(gòu)成的情況；等。
[0049]圖1是一個(gè)實(shí)施方式的透明阻氣膜的俯視圖，圖2是將該透明阻氣膜在厚度方向上切斷而得到的放大剖視圖。
[0050]該透明阻氣膜1在樹(shù)脂基板2上具有透明阻氣層3。透明阻氣層3依次具有第1薄膜3匕、第2薄膜321第1薄膜333、第2薄膜3仙、第1薄膜353、第2薄膜36匕該圖示例子中的透明阻氣膜1是將成分不同的多種(例如是兩種)薄膜交替層疊而成的。例如，將兩種薄膜交替層疊指的是，將由一種薄膜和成分與該薄膜的成分不同的一種薄膜構(gòu)成的層疊單元反復(fù)層疊多次。
[0051]具體而言，所有第1薄膜31^33^35^1都是相同的成分，所有第2薄膜32^34^366都是相同的成分。上述第1薄膜31^33^353的成分與第2薄膜32^34^366的成分互不相同。因此，上述透明阻氣層3成為將成分不同的兩種薄膜交替層疊多層(在該情況下為6層)而成的層疊結(jié)構(gòu)。
[0052]圖3是另一實(shí)施方式的透明阻氣膜的放大剖視圖(將另一實(shí)施方式的透明阻氣膜在與圖1的11-11線(xiàn)相同的位置切斷而得到的放大剖視圖)。
[0053]在圖3中，設(shè)在了樹(shù)脂基板2上的透明阻氣層3依次具有第1薄膜3化、第2薄膜32(1、第3薄膜336、第1薄膜3如、第2薄膜35(1、第3薄膜366、第1薄膜37(3、第2薄膜38(1、第3薄膜396。該圖示例子的透明阻氣膜1是將成分不同的多種(例如是三種)薄膜交替層疊而成的。例如，將三種薄膜交替層疊指的是，將由一種薄膜、成分與該薄膜的成分不同的一種薄膜以及成分與上述兩種薄膜的成分均不同的一種薄膜構(gòu)成的層疊單元反復(fù)層疊多次。
[0054]具體而言，所有第1薄膜310、34。、370都是相同的成分，所有第2薄膜32135(1、38(1都是相同的成分，所有第3薄膜336、366、396都是相同的成分。上述第1薄膜31(^34(3、370的成分、第2薄膜32135138(1的成分以及第3薄膜336、366、396的成分互不相同。因此，上述透明阻氣層3成為將成分不同的三種薄膜交替層疊多層(在該情況下為9層)而成的層疊結(jié)構(gòu)。
[0055]圖4是另一其他實(shí)施方式的透明阻氣膜的放大剖視圖(將其他實(shí)施方式的透明阻氣膜在與圖1的11-11線(xiàn)相同的位置切斷而得到的放大剖視圖)。
[0056]在圖4中，設(shè)在了樹(shù)脂基板2上的透明阻氣層3依次具有第1薄膜31？、第1薄膜32？、第2薄膜338、第2薄膜3知。該圖示例子的透明阻氣膜1具有成分不同的多種(例如是兩種)薄膜，且將相同成分的薄膜連續(xù)地層疊在一起。例如，具有兩種薄膜且將相同成分的薄膜連續(xù)地層疊在一起指的是，將一種薄膜層疊多層而成的層疊體設(shè)為第1層疊單元，將成分與該薄膜的成分不同的一種薄膜層疊多層而成的層疊體設(shè)為第2層疊單元，再將上述第1層疊單元和第2層疊單元層疊起來(lái)。
[0057]具體而言，第1薄膜31？、32？均為相同成分，第2薄膜338、348也均為相同成分。上述第1薄膜31？、32？的成分與第2薄膜33^3?的成分互不相同。因此，上述透明阻氣層3成為將成分不同的兩種薄膜以使相同種類(lèi)的薄膜層連續(xù)的方式層疊多層(該情況為2層)而成的層疊結(jié)構(gòu)。
[0058]另外，在圖示例子中，作為薄膜的種類(lèi)，能夠舉出成分不同的兩種薄膜或者三種薄膜，但并不限于以薄膜的種類(lèi)為多種作為條件。例如，采用本發(fā)明的制造方法和制造裝置，也能夠形成多層四種以上的薄膜。
[0059]另外，在圖2和圖3所示的例子中，舉出層疊3層同種成分的薄膜的情況，在圖4所示的例子中，舉出層疊2層同種成分的薄膜的情況，但并不限于以同種成分的薄膜的層數(shù)為多層作為條件。例如，采用本發(fā)明的制造方法和制造裝置，也能夠形成四層以上的同種成分的薄膜。
[0060]從阻氣性、透明性、成膜時(shí)間以及膜的內(nèi)部應(yīng)力的觀(guān)點(diǎn)考慮，上述透明阻氣層的厚度優(yōu)選為1 VIII以下，更加優(yōu)選為10011111?80011111的范圍，進(jìn)一步優(yōu)選為20011111?50011111的范圍。優(yōu)選上述各層薄膜的厚度各自獨(dú)立并在5011111?20011111的范圍內(nèi)，更加優(yōu)選的是在1011111?10011111的范圍內(nèi)。上述各層薄膜的厚度可以相同，或者也可以各不相同，但優(yōu)選的是，相同成分的薄膜形成為相同厚度，更加優(yōu)選的是，所有薄膜的厚度形成為相同。
[0061]另外，上述薄膜的總層數(shù)優(yōu)選在4層?20層的范圍，更加優(yōu)選在6層?16層的范圍。
[0062]上述樹(shù)脂基板具有柔性。柔性的樹(shù)脂基板是能夠卷成卷的、柔軟的片狀物。另外，樹(shù)脂基板使用透明的材料。
[0063]作為上述樹(shù)脂基板，如果考慮到由等離子體、蒸發(fā)源的輻射熱進(jìn)行加熱的影響，則優(yōu)選耐熱性高的基板、特別是作(?；瘻囟?高且不易熱收縮的基板。在使用作低或者易熱收縮的基板時(shí)，在形成透明阻氣層時(shí)，基板有可能發(fā)生變形而在透明阻氣層中產(chǎn)生裂紋等，阻氣性劣化。從這方面考慮，作為上述樹(shù)脂基板，優(yōu)選使用耐熱性高的透明膜。例如，作為上述樹(shù)脂膜，優(yōu)選寬度方向(10)和長(zhǎng)度方向(10)的收縮率均為0.5%以下的樹(shù)脂膜。
[0064]具體而言，作為上述樹(shù)脂膜，可以舉出由環(huán)烯烴聚合物、聚萘二甲酸乙二醇酯、聚硫化乙烯、聚苯硫醚、聚碳酸酯、聚酰亞胺、聚酰胺等構(gòu)成的具有透明性的膜。
[0065]上述樹(shù)脂基板的厚度優(yōu)選為20 40?200 4%從處理性方面考慮，特別優(yōu)選50 V III ?150 V III 的厚度。
[0066]另外，上述樹(shù)脂基板的寬度并不特別限定，例如優(yōu)選以下。
[0067]上述樹(shù)脂基板可以在其表面(形成有透明阻氣層的面)進(jìn)行電暈放電處理、等離子體放電處理或者離子蝕刻￠12)處理等表面改性處理?；蛘撸部梢栽谏鲜鰳?shù)脂基板的表面形成作為平滑層和粘接層的、無(wú)機(jī)物的層或者聚合物的層。
[0068](透明阻氣膜的用途)
[0069]利用本發(fā)明的制造方法和制造裝置得到的透明阻氣膜能夠用于各種用途。特別是，本發(fā)明的透明阻氣膜在阻氣性方面優(yōu)異、柔性也很好，因此能夠優(yōu)選作為各種電子器件的結(jié)構(gòu)部件來(lái)使用。例如，本發(fā)明的透明阻氣膜能夠用于有機(jī)￡1元件的支承基板或者密封部件、太陽(yáng)能電池的包覆膜、薄膜電池的包覆膜等。
[0070]例如，上述有機(jī)此元件是由層疊體構(gòu)成的，該層疊體具有:支承基板、設(shè)在該支承基板上的陽(yáng)極層、設(shè)在該陽(yáng)極層上的有機(jī)￡1(電致發(fā)光)層以及設(shè)在該有機(jī)￡1層上的陰極層。在該層疊體上(陰極層上)設(shè)置密封部件。能夠?qū)⒈景l(fā)明的透明阻氣膜用于該支承基板和密封部件中的至少某一方。
[0071]作為上述陽(yáng)極層，例如能夠舉出作為透明的電極層的、110(111(1111111 XIII或者120(注冊(cè)商標(biāo)、111(1111111 21110 04(16)等。上述有機(jī)此層例如由空穴注入層、空穴傳輸層、發(fā)光層、電子傳輸層以及電子注入層構(gòu)成。作為陰極層能夠舉出鋁層、鎂/鋁層、鎂/銀層等。
[0072]上述密封部件可以是一層結(jié)構(gòu)，或者也可以是多層結(jié)構(gòu)。在密封部件是多層結(jié)構(gòu)的情況下，該多層結(jié)構(gòu)中的至少一層使用本發(fā)明的透明阻氣膜。
[0073]在將本發(fā)明的透明阻氣膜用作密封部件的情況下，通過(guò)使用粘接劑或者熱封等固定方法將透明阻氣膜固定在上述層疊體上，能夠構(gòu)成阻氣性?xún)?yōu)異的有機(jī)￡1元件。
[0074]另外，在作為上述有機(jī)￡1元件的支承基板使用本發(fā)明的透明阻氣膜時(shí)，能夠使有機(jī)此元件輕質(zhì)化、薄型化以及柔軟化。
[0075]作為支承基板使用了本發(fā)明的透明阻氣膜的上述有機(jī)￡1元件形成為柔性顯示器，也能夠?qū)⒃撊嵝燥@示器卷起來(lái)等以電子紙的方式使用。另外，在作為密封部件使用了本發(fā)明的透明阻氣膜的情況下，有機(jī)此層的密封容易，進(jìn)而能夠得到薄型的有機(jī)此元件。
[0076]例如，上述太陽(yáng)能電池包含太陽(yáng)能電池單元，該太陽(yáng)能電池單元由本發(fā)明的透明阻氣膜包覆。尤其是，上述透明阻氣膜也能夠優(yōu)選用作太陽(yáng)能電池的受光側(cè)前板和保護(hù)用后板。作為太陽(yáng)能電池的結(jié)構(gòu)的一例，可以舉出下述結(jié)構(gòu)，即、將由薄膜娃、0168(00^1)61-111(1111111 6&11111111 013616111(16)薄膜形成的太陽(yáng)能電池單元用乙稀-乙酸乙稀醋共聚物等樹(shù)脂密封，進(jìn)一步夾入本發(fā)明的透明阻氣膜之間。另外，也可以省略利用上述樹(shù)脂進(jìn)行的密封，而直接用本發(fā)明的透明阻氣膜將上述太陽(yáng)能電池單元夾入。
[0077]另外，例如上述薄膜電池由依次具有集電層、陽(yáng)極層、固體電解質(zhì)層、陰極層以及集電層的層疊體構(gòu)成，該層疊體由本發(fā)明的透明阻氣膜包覆。作為上述薄膜電池，能夠舉出薄膜鋰離子電池等。具體而言，上述薄膜電池是將設(shè)于基板上的由金屬構(gòu)成的集電層、由金屬無(wú)機(jī)膜構(gòu)成的陽(yáng)極層、固體電解質(zhì)層、陰極層以及由金屬構(gòu)成的集電層依次層疊而成的。也能夠?qū)⒈景l(fā)明的透明阻氣膜作為上述薄膜電池的基板來(lái)使用。
[0078](關(guān)于透明阻氣膜的制造方法以及其制造裝置)
[0079]本發(fā)明的透明阻氣膜的制造方法使用了卷對(duì)卷方式。該制造方法包括在輸送長(zhǎng)條帶狀的樹(shù)脂基板的過(guò)程中將成分不同的多種薄膜分別在上述樹(shù)脂基板上層疊多層的工序，在薄膜形成區(qū)域中設(shè)有數(shù)量與上述薄膜的種類(lèi)數(shù)量對(duì)應(yīng)的蒸發(fā)源(即、蒸發(fā)源的數(shù)量與所形成的薄膜的種類(lèi)數(shù)量相同)，使上述長(zhǎng)條帶狀的樹(shù)脂基板交替地穿過(guò)上述薄膜形成區(qū)域和非薄膜形成區(qū)域，并在上述薄膜形成區(qū)域中使上述多個(gè)蒸發(fā)源中含有的材料分別附著在上述樹(shù)脂基板上，從而在上述樹(shù)脂基板上形成層疊了多層上述多種薄膜的透明阻氣層。
[0080]使上述材料附著于樹(shù)脂基板的方法使用的是真空加工法。作為真空加工法，例如能夠舉出蒸鍍法、濺鍍法以及離子鍍法等。在本發(fā)明中，可以使用蒸鍍法、濺鍍法或者離子鍍法中的任一種方法，優(yōu)選使用蒸鍍法。
[0081]優(yōu)選的是，在上述薄膜形成區(qū)域中排列有上述多個(gè)蒸發(fā)源，并沿著上述蒸發(fā)源的排列方向輸送上述樹(shù)脂基板。
[0082]上述多個(gè)蒸發(fā)源所含有的材料是各層薄膜的形成材料。這些材料對(duì)應(yīng)于蒸發(fā)源的種類(lèi)而各不相同。這些材料優(yōu)選包含金屬和準(zhǔn)金屬中的至少一種，更加優(yōu)選包含自由金屬或者準(zhǔn)金屬的氧化物、氮化物、碳化物、氮氧化物、碳氧化物、碳氮化物以及碳氮氧化物構(gòu)成的組中選出的至少一種。
[0083]利用本發(fā)明的制造方法得到的透明阻氣膜的驟狀是0.018，111—2，(1奶―1以下，優(yōu)選的是，0.001?.111—2.己奶―1以下。
[0084]為了實(shí)施上述制造方法而使用本發(fā)明的制造裝置。
[0085]即、本發(fā)明的制造裝置是適用于制造透明阻氣膜的裝置，該透明阻氣膜具有成分不同的多種薄膜沿厚度方向?qū)盈B而成的透明阻氣層。
[0086]該制造裝置具有:腔室，其具有薄膜形成區(qū)域和薄膜非薄膜形成區(qū)域；蒸發(fā)源，其包含金屬和準(zhǔn)金屬中的至少一種材料；以及輸送裝置，其用于輸送長(zhǎng)條帶狀的樹(shù)脂基板，在上述薄膜形成區(qū)域中設(shè)有數(shù)量與上述薄膜的種類(lèi)數(shù)量對(duì)應(yīng)的蒸發(fā)源，多個(gè)上述蒸發(fā)源各自獨(dú)立且包含不同的材料，多個(gè)上述蒸發(fā)源沿著上述長(zhǎng)條帶狀的樹(shù)脂基板的輸送方向或者與輸送方向正交的方向并排配置，上述輸送裝置構(gòu)成為，以使上述樹(shù)脂基板交替地穿過(guò)上述薄膜形成區(qū)域和非薄膜形成區(qū)域的方式輸送上述樹(shù)脂基板。
[0087]以下進(jìn)行具體說(shuō)明，作為薄膜的形成法，圍繞使用蒸鍍法的情況進(jìn)行說(shuō)明。
[0088](本發(fā)明的制造方法和制造裝置的第1實(shí)施方式)
[0089]第1實(shí)施方式的制造方法和制造裝置用于制造在長(zhǎng)條帶狀的樹(shù)脂基板上交替層疊成分不同的多種薄膜而成的透明阻氣膜。
[0090]圖5和圖6表示第1實(shí)施方式的制造裝置的結(jié)構(gòu)例。
[0091]以下，在表示各制造裝置的各附圖中，為了方便，將與水平面正交的方向稱(chēng)為“2方向”、將與上述2方向相正交的方向稱(chēng)為“X方向”、將與上述2方向和X方向相正交的方向稱(chēng)為“V方向”。另外，將X方向一方側(cè)稱(chēng)為“XI側(cè)”、將與X方向相反的一側(cè)(與上述一方側(cè)相反的一側(cè))稱(chēng)為“乂2側(cè)”，將X方向一方側(cè)稱(chēng)為“VI側(cè)”、將與V方向相反的一側(cè)(與上述一方側(cè)相反的一側(cè))稱(chēng)為“^2側(cè)”，將2方向一方側(cè)稱(chēng)為“21側(cè)”、將與2方向相反的一側(cè)(與上述一方側(cè)相反的一側(cè))稱(chēng)為“22側(cè)”。
[0092]圖5是從側(cè)朝向X方向觀(guān)察制造裝置的主視圖，圖6是從VI側(cè)朝向V方向觀(guān)察制造裝置的左視圖。
[0093]該制造裝置4八具有:腔室51，其能夠?qū)?nèi)部保持為真空；輸送裝置6，其連續(xù)地輸送長(zhǎng)條帶狀的樹(shù)脂基板8 ；等離子體源52，其用于產(chǎn)生等離子體；多個(gè)蒸發(fā)源91、92，在該蒸發(fā)源91、92放置有用于進(jìn)行制膜的材料；反應(yīng)氣體供給裝置54，其用于向上述腔室51內(nèi)供給反應(yīng)氣體；放電氣體供給裝置55，其用于向上述腔室51內(nèi)供給放電氣體；真空泵56，其用于使上述腔室51內(nèi)形成為真空狀態(tài)。因?yàn)槔谜翦兎ㄖ颇?，所以上述蒸發(fā)源為蒸鍍?cè)础?br> [0094]上述輸送裝置6的主要部分被設(shè)于上述腔室51內(nèi)，上述等離子體源52和蒸發(fā)源被設(shè)于上述腔室51內(nèi)。
[0095]在上述腔室51內(nèi)設(shè)有隔壁511，該隔壁511用于劃分薄膜形成區(qū)域和非形成區(qū)域。上述薄膜形成區(qū)域是腔室51內(nèi)的一個(gè)區(qū)域，在上述薄膜形成區(qū)域中，能夠使材料附著在粘附體(即、長(zhǎng)條帶狀的樹(shù)脂基板8)上。上述非形成區(qū)域是不使材料附著在粘附體上的、腔室51內(nèi)的其他區(qū)域。在圖示例子中，以上述隔壁511為基準(zhǔn)，比隔壁511靠22側(cè)(下側(cè))的區(qū)域是薄膜形成區(qū)域，比隔壁511靠21側(cè)(上側(cè))的區(qū)域是非形成區(qū)域。
[0096]但是，上述隔壁511并非必須設(shè)置，也能夠省略隔壁511。
[0097]上述等離子體并不特別限定，例如能夠使用電弧放電等離子體、輝光放電等離子體等。與輝光放電等離子體等不同，電弧放電等離子體能夠得到非常高的電子密度，因而優(yōu)選使用電弧放電等離子體。通過(guò)使用電弧放電等離子體，能夠提高材料的反應(yīng)性，能夠在樹(shù)脂基板上形成非常致密的透明阻氣層。
[0098]作為電弧放電等離子體的產(chǎn)生源(等離子體源52),例如能夠使用壓力梯度型等離子體槍、直流放電等離子體產(chǎn)生裝置以及高頻放電等離子體產(chǎn)生裝置等。在這些裝置中，優(yōu)選使用壓力梯度型等離子體槍作為等離子體源52，其原因在于，壓力梯度型等離子體槍能夠在蒸鍍中穩(wěn)定地產(chǎn)生高密度的等離子體。
[0099]在圖示例子中，使用壓力梯度型等離子體槍作為等離子體源52。如圖5所示，該等離子體源52例如設(shè)于腔室51的第1側(cè)壁(打側(cè)的側(cè)壁)。以與上述壓力梯度型等離子體槍對(duì)置的方式，在腔室51的第2側(cè)壁(與上述第1側(cè)壁相反的一側(cè)的、12側(cè)的側(cè)壁)設(shè)有反射電極57。另外，在等離子體源52的周?chē)头瓷潆姌O57的周?chē)O(shè)有聚焦電極581、582、583、584。等離子體源52朝向反射電極57照射等離子體束？，該等離子體束？由聚焦電極581、582、583、584控制為所需要的形狀。
[0100]蒸發(fā)源91、92以與輸送裝置6相面對(duì)的方式(準(zhǔn)確來(lái)說(shuō)，是蒸發(fā)源91、92各自的上表面與穿過(guò)薄膜形成區(qū)域時(shí)的樹(shù)脂基板8相面對(duì)的方式)設(shè)置在腔室51的底部。在蒸發(fā)源91、92的上表面放置有用于制膜的材料。
[0101]在圖示例子中設(shè)有兩個(gè)蒸發(fā)源91、92。蒸發(fā)源91、92的數(shù)量與所形成的薄膜的種類(lèi)數(shù)量相同。因此，本實(shí)施方式的制造裝置能夠交替地形成成分不同的兩種薄膜。
[0102]上述兩個(gè)蒸發(fā)源91、92 (稱(chēng)為第1蒸發(fā)源91、第2蒸發(fā)源92)沿著樹(shù)脂基板8的輸送方向并排配置。在本實(shí)施方式中，樹(shù)脂基板8在薄膜形成區(qū)域中被朝向V方向(從VI側(cè)到12側(cè))輸送，所以第1和第2蒸發(fā)源91、92沿著V方向排列。例如，以?xún)?nèi)導(dǎo)輥611的旋轉(zhuǎn)軸63為基準(zhǔn)，第1蒸發(fā)源91配置在比旋轉(zhuǎn)軸63靠VI側(cè)的位置，第2蒸發(fā)源92配置在比上述旋轉(zhuǎn)軸63靠12側(cè)的位置。另外，第1蒸發(fā)源91和第2蒸發(fā)源92在X方向上的位置可以相同也可以錯(cuò)開(kāi)。優(yōu)選的是，第1蒸發(fā)源91和第2蒸發(fā)源92在X方向上的位置相同。例如，如圖6所示，第1蒸發(fā)源91和第2蒸發(fā)源92均以與多個(gè)內(nèi)導(dǎo)輥611的X方向的大致中央部對(duì)應(yīng)的方式配置。
[0103]在第1蒸發(fā)源91包含有從金屬、準(zhǔn)金屬、這些金屬或者準(zhǔn)金屬的氧化物、氮化物、碳化物、氮氧化物、碳氧化物、碳氮化物以及碳氮氧化物中選擇的至少一種材料。
[0104]在第2蒸發(fā)源92包含有從金屬、準(zhǔn)金屬、這些金屬或者準(zhǔn)金屬的氧化物、氮化物、碳化物、氮氧化物、碳氧化物、碳氮化物以及碳氮氧化物中選擇的至少一種材料，該材料與上述第1蒸發(fā)源91的材料不同。
[0105]如本實(shí)施方式那樣，在有反應(yīng)氣體存在的狀態(tài)下進(jìn)行蒸鍍時(shí)，能夠一邊將該反應(yīng)氣體的成分導(dǎo)入上述各蒸發(fā)源的材料一邊形成薄膜。
[0106]例如，在使用從金屬和準(zhǔn)金屬中選擇的至少一種材料作為上述材料的情況下，也能夠通過(guò)在有反應(yīng)氣體存在的狀態(tài)下產(chǎn)生等離子體并進(jìn)行蒸鍍來(lái)形成由上述氧化物、氮化物、碳化物、氮氧化物、碳氧化物、碳氮化物或者碳氮氧化物構(gòu)成的薄膜。但是，作為放置于上述各蒸發(fā)源91、92的材料，也可以使用上述氧化物、氮化物、碳化物、氮氧化物、碳氧化物、碳氮化物或者碳氮氧化物。
[0107]在上述薄膜形成區(qū)域內(nèi)豎立設(shè)有用于分隔開(kāi)第1蒸發(fā)源91和第2蒸發(fā)源92的分隔壁53。對(duì)此，在圖6中，用單點(diǎn)劃線(xiàn)示出分隔壁53的上端緣531。為了使從第1蒸發(fā)源91蒸發(fā)出來(lái)的材料與從第2蒸發(fā)源92蒸發(fā)出來(lái)的材料不混合在一起，上述分隔壁53設(shè)在了兩個(gè)蒸發(fā)源之間。通過(guò)設(shè)置分隔壁53，腔室51的薄膜形成區(qū)域被劃分為用于收納第1蒸發(fā)源91的第1室和用于收納第2蒸發(fā)源92的第2室。上述分隔壁53是板狀壁，其以壁面位于24面內(nèi)的方式配置。上述分隔壁53的兩側(cè)緣固定于腔室51的相面對(duì)的側(cè)壁。上述分隔壁53的下端緣固定于腔室51的底部或者配置在腔室51的底部附近。上述分隔壁53的上端緣531延伸到內(nèi)導(dǎo)輥611的下部附近。
[0108]如圖所示，分隔壁53以其上端緣531位于內(nèi)導(dǎo)輥611的旋轉(zhuǎn)軸63的正下方的方式設(shè)置。詳細(xì)而言，分隔壁53的上端緣531配置在內(nèi)導(dǎo)輥611的下部附近且位于穿過(guò)旋轉(zhuǎn)軸63的2方向上。通過(guò)在上述旋轉(zhuǎn)軸63的正下方配置分隔壁53，能夠使第1蒸發(fā)源91的材料與第2蒸發(fā)源92的材料大致均勻地附著在樹(shù)脂基板上。即、通過(guò)在上述旋轉(zhuǎn)軸63的正下方配置分隔壁53，能夠使第1蒸發(fā)源91的材料附著在基板上而成的薄膜和使第2蒸發(fā)源92的材料附著在基板上而成的薄膜的厚度形成得大致相同。
[0109]但是，分隔壁53并不限于設(shè)置在旋轉(zhuǎn)軸63的正下方的情況，也可以設(shè)置在偏離旋轉(zhuǎn)軸63的位置，例如，以旋轉(zhuǎn)軸63為基準(zhǔn)，設(shè)置在比旋轉(zhuǎn)軸63靠VI側(cè)的位置或者比旋轉(zhuǎn)軸63靠12側(cè)的位置。
[0110]作為使上述各蒸發(fā)源91、92的材料蒸發(fā)的方法，能夠使用上述等離子體，也可以使用電阻加熱、電子束等。
[0111]上述反應(yīng)氣體供給裝置54例如設(shè)于腔室51的第2側(cè)壁。在上述反應(yīng)氣體供給裝置54上連接有數(shù)量與反應(yīng)氣體的數(shù)量相對(duì)應(yīng)的反應(yīng)氣體收納罐541、542、543，反應(yīng)氣體供給裝置54將適度壓力的反應(yīng)氣體供給到上述腔室51內(nèi)。
[0112]作為上述反應(yīng)氣體，能夠舉出含氧氣體、含氮?dú)怏w、含烴氣體或者這些氣體的混合氣體等。作為上述含氧氣體，能夠舉出氧氣((^)、一氧化二氮0^0)、一氧化氮(勵(lì))等，作為上述含氮?dú)怏w，能夠舉出氮?dú)??)、氨氣(順3)、一氧化氮(顯)等，作為上述含烴氣體，能夠舉出甲烷(0?)、乙烷(--)、丙烷(￠3?)、丁烷(?)、乙烯(--)、乙炔(--)等。
[0113]上述放電氣體供給裝置55例如設(shè)置于腔室51的第2側(cè)壁。在上述放電氣體供給裝置55上連接有放電氣體收納罐551，放電氣體供給裝置55將適度壓力的放電氣體供給到上述腔室51內(nèi)。作為上述放電氣體，典型來(lái)說(shuō)，能夠使用氬氣等非活性氣體。
[0114]上述真空泵56例如設(shè)于腔室51的第2側(cè)壁。能夠通過(guò)使上述真空泵56工作而將上述腔室51內(nèi)減壓到真空狀態(tài)。
[0115]上述輸送裝置6以所謂的卷對(duì)卷方式將長(zhǎng)條帶狀的樹(shù)脂基板8沿著該樹(shù)脂基板8的長(zhǎng)度方向輸送。
[0116]輸送裝置6具有用于將長(zhǎng)條帶狀的樹(shù)脂基板8沿著長(zhǎng)度方向輸送的多個(gè)導(dǎo)輥611、621。為了將樹(shù)脂基板8引導(dǎo)至薄膜形成區(qū)域，上述多個(gè)導(dǎo)輥中的幾個(gè)導(dǎo)輥被設(shè)在薄膜形成區(qū)域中。
[0117]在本實(shí)施方式中，輸送裝置6以螺旋狀的輸送軌跡輸送上述長(zhǎng)條帶狀的樹(shù)脂基板8，并將該樹(shù)脂基板8交替地引導(dǎo)至薄膜形成區(qū)域和非形成區(qū)域。
[0118]作為這樣的以螺旋狀進(jìn)行輸送的輸送裝置6，例如能夠使用日本特許第4472962號(hào)中公開(kāi)的裝置等。
[0119]該輸送裝置6的基本結(jié)構(gòu)如圖5和圖6所示，具有多組可旋轉(zhuǎn)以將長(zhǎng)條帶狀的樹(shù)脂基板8沿著該樹(shù)脂基板8的長(zhǎng)度方向輸送的、成對(duì)的導(dǎo)輥611、621。
[0120]成對(duì)的導(dǎo)輥中的一個(gè)導(dǎo)輥配置于薄膜形成區(qū)域，另一個(gè)導(dǎo)輥配置于非形成區(qū)域。以下，為了方便，將配置于薄膜形成區(qū)域的導(dǎo)輥稱(chēng)為“內(nèi)導(dǎo)輥”，將配置于非形成區(qū)域的導(dǎo)輥稱(chēng)為“外導(dǎo)輥”，為了區(qū)分多個(gè)導(dǎo)輥，標(biāo)記第1、第2等前綴。
[0121]圖示例子的制造裝置4八是能夠在樹(shù)脂基板8上層疊第1薄膜?第10薄膜的裝置。輸送裝置6為了能夠使樹(shù)脂基板8從薄膜形成區(qū)域中穿過(guò)5次，而在薄膜形成區(qū)域設(shè)有數(shù)量與該穿過(guò)次數(shù)相同的內(nèi)導(dǎo)輥(第1內(nèi)導(dǎo)輥?第5內(nèi)導(dǎo)輥611612413411615)。
[0122]另外，設(shè)于薄膜形成區(qū)域中的內(nèi)導(dǎo)棍611，…(第1內(nèi)導(dǎo)棍611?第5內(nèi)導(dǎo)棍615)可以全部集中在薄膜形成區(qū)域內(nèi)，也可以如圖示那樣配置為將其一部分包含在薄膜形成區(qū)域中。
[0123]另一方面，外導(dǎo)輥621，…配置在比內(nèi)導(dǎo)輥611靠21側(cè)的位置，其數(shù)量比內(nèi)導(dǎo)輥611少一個(gè)。
[0124]各個(gè)第1內(nèi)導(dǎo)輥611?第5內(nèi)導(dǎo)輥615例如能夠使用同直徑同寬度的輥。各個(gè)第1外導(dǎo)輥?第4外導(dǎo)輥621、622、623、624例如也能夠使用同直徑同寬度的輥。
[0125]第1內(nèi)導(dǎo)棍611?第5內(nèi)導(dǎo)棍615以可旋轉(zhuǎn)的方式安裝于旋轉(zhuǎn)軸63，第1外導(dǎo)棍621?第4外導(dǎo)棍624也以可旋轉(zhuǎn)的方式安裝于旋轉(zhuǎn)軸64。這些旋轉(zhuǎn)軸63、64的延伸方向(軸向)均與X方向平行。
[0126]第1內(nèi)導(dǎo)輥611?第5內(nèi)導(dǎo)輥615隔開(kāi)需要的間隔沿旋轉(zhuǎn)軸63排列，第1外導(dǎo)輥621?第4外導(dǎo)輥624也一樣，隔開(kāi)需要的間隔沿旋轉(zhuǎn)軸64排列。為了能夠?qū)崿F(xiàn)裝置小型化，優(yōu)選相鄰的內(nèi)導(dǎo)輥611的間隔盡可能地小。
[0127]為了將樹(shù)脂基板8以螺旋狀輸送到各導(dǎo)輥，第1外導(dǎo)輥621?第4外導(dǎo)輥624以相對(duì)于旋轉(zhuǎn)軸64稍微傾斜狀態(tài)且可旋轉(zhuǎn)地安裝于旋轉(zhuǎn)軸64。
[0128]另外，在第1內(nèi)導(dǎo)輥611?第5內(nèi)導(dǎo)輥615附近設(shè)有兩個(gè)晶體監(jiān)視器59、59。上述晶體監(jiān)視器59、59是用于計(jì)測(cè)和控制第1蒸發(fā)源91和第2蒸發(fā)源92的材料的蒸鍍速度的裝置。一個(gè)晶體監(jiān)視器59配置在第1蒸發(fā)源91側(cè)且在第1內(nèi)導(dǎo)輥611?第5內(nèi)導(dǎo)輥615的下部附近，另一個(gè)晶體監(jiān)視器59配置在第2蒸發(fā)源92側(cè)且在第1內(nèi)導(dǎo)輥611?第5內(nèi)導(dǎo)輥615的下部附近。
[0129]另外，也可以根據(jù)需要使第1內(nèi)導(dǎo)輥611?第5內(nèi)導(dǎo)輥615附帶溫度控制部件(未圖示上述溫度控制部件被設(shè)為用于調(diào)整內(nèi)導(dǎo)輥611的表面溫度。作為上述溫度控制部件，例如能夠舉出使硅油等循環(huán)的熱媒循環(huán)裝置等。
[0130]從上游側(cè)的卷81拉出來(lái)的長(zhǎng)條帶狀的樹(shù)脂基板8被從21側(cè)向22側(cè)輸送，并在卷繞于第1內(nèi)導(dǎo)輥611的下部周面后被從22側(cè)向21側(cè)輸送，之后卷繞在第1外導(dǎo)輥621的上部周面。在樹(shù)脂基板8經(jīng)過(guò)上述第1內(nèi)導(dǎo)輥611的下部周面時(shí)，該樹(shù)脂基板8被從VI側(cè)向12側(cè)方向)輸送。另外，在樹(shù)脂基板8經(jīng)過(guò)上述第1外導(dǎo)輥621的上部周面時(shí)，該樹(shù)脂基板8被從12側(cè)向VI側(cè)0方向)輸送。
[0131]而且，上述長(zhǎng)條帶狀的樹(shù)脂基板8在卷繞于上述第1外導(dǎo)輥621的上部周面后，依次同樣地卷繞于第2內(nèi)導(dǎo)輥612、第2外導(dǎo)輥622、第3內(nèi)導(dǎo)輥613、第3外導(dǎo)輥623、第4內(nèi)導(dǎo)輥614、第4外導(dǎo)輥624、第5內(nèi)導(dǎo)輥615，然后，樹(shù)脂基板8被從22側(cè)向21側(cè)輸送，并卷繞成下游側(cè)的卷82。
[0132]因此，從XI側(cè)觀(guān)察，上述樹(shù)脂基板8整體地以順時(shí)針的螺旋軌跡被輸送。即、使樹(shù)脂基板8經(jīng)過(guò)前述那樣設(shè)于薄膜形成區(qū)域和非形成區(qū)域中的多個(gè)內(nèi)導(dǎo)輥611、…以及外導(dǎo)輥621而以螺旋狀被輸送。由此，輸送裝置6構(gòu)成為，一邊使樹(shù)脂基板8交替地穿過(guò)薄膜形成區(qū)域和非形成區(qū)域一邊進(jìn)行樹(shù)脂基板8的輸送。
[0133]其中，如圖5所示，在上述樹(shù)脂基板8經(jīng)過(guò)薄膜形成區(qū)域時(shí)，樹(shù)脂基板8被沿X方向(從打側(cè)向側(cè))輸送。在VI側(cè)配置有等離子體源52的本實(shí)施方式的制造裝置4八中，將樹(shù)脂基板8以在其經(jīng)過(guò)薄膜形成區(qū)域時(shí)自等離子體源52遠(yuǎn)離的方式輸送。
[0134]接著，說(shuō)明制造透明阻氣膜的方法。在以下的說(shuō)明中，對(duì)于使用圖5和圖6所示的制造裝置4八制造透明阻氣膜的方法進(jìn)行說(shuō)明，但本發(fā)明的制造方法并不限于使用該制造裝置4八進(jìn)行實(shí)施的情況。
[0135]通過(guò)使上述真空泵56工作而將腔室51的內(nèi)部保持為真空狀態(tài)。在樹(shù)脂基板8上形成薄膜時(shí)的腔室51內(nèi)的壓力為0.01？3?0.1？3的范圍內(nèi)，優(yōu)選在0.02？3?0.05？3的范圍內(nèi)。
[0136]在上述腔室51內(nèi)的薄膜形成區(qū)域中，將放電氣體自放電氣體供給裝置55導(dǎo)入作為電弧放電等離子體產(chǎn)生源52的壓力梯度型等離子體槍?zhuān)⑹┘雍愣妷?，從而朝向反射電極57照射等離子體。等離子體束？的形狀由聚焦電極581、582、583、584控制為所需要的形狀。電弧放電等離子體的輸出功率例如是1欣?10欣。另外，將反應(yīng)氣體從反應(yīng)氣體供給裝置54導(dǎo)入腔室51內(nèi)。另外，朝向放置于各蒸發(fā)源91、92的材料例如照射電子束911、921從而使上述材料朝向樹(shù)脂基板8蒸發(fā)。
[0137]上述反應(yīng)氣體的導(dǎo)入和上述等離子體的產(chǎn)生可以同時(shí)進(jìn)行，也可以在上述反應(yīng)氣體導(dǎo)入后產(chǎn)生上述等離子體，或者也可以在產(chǎn)生上述等離子體后導(dǎo)入反應(yīng)氣體。反應(yīng)氣體只要在透明阻氣層的形成時(shí)存在于薄膜形成區(qū)域內(nèi)即可。
[0138]另外，優(yōu)選的是，預(yù)先在蒸發(fā)源和樹(shù)脂基板8之間設(shè)置開(kāi)閉擋板(未圖示)，從材料的蒸發(fā)開(kāi)始到蒸鍍速度穩(wěn)定為止使上述擋板閉合，待蒸鍍速度穩(wěn)定后，將上述擋板打開(kāi)，使材料蒸鍍到樹(shù)脂基板8上。
[0139]上述各蒸發(fā)源91、92的材料的蒸鍍速度能夠適當(dāng)設(shè)定，例如是101^/分?30011111/分。
[0140]另一方面，將長(zhǎng)條帶狀的樹(shù)脂基板8從上游側(cè)的卷81拉出并引導(dǎo)至上述腔室51內(nèi)。另外，在圖示例子中，卷81、82配置在腔室51的外部，但也可以配置在腔室51內(nèi)的非形成區(qū)域。
[0141]長(zhǎng)條帶狀的樹(shù)脂基板8的寬度方向的長(zhǎng)度并不特別限定，能夠適當(dāng)?shù)卦O(shè)定，例如是幾臟?1000111111。
[0142]例如，在制造作為有機(jī)￡1元件的支承基板來(lái)使用的透明阻氣膜時(shí)，樹(shù)脂基板8的寬度方向的長(zhǎng)度例如設(shè)定為幾臟?100111111程度，優(yōu)選的是，10111111?401111110
[0143]將上述樹(shù)脂基板8卷繞在輸送裝置6的各導(dǎo)輥611、621上，并以螺旋軌跡輸送樹(shù)脂基板8而使該樹(shù)脂基板8交替地穿過(guò)薄膜形成區(qū)域和非形成區(qū)域。
[0144]樹(shù)脂基板8的輸送速度能夠考慮蒸鍍速度和所要形成的薄膜的厚度等適當(dāng)設(shè)定，例如是0.1111/分?20111/分。
[0145]在上述樹(shù)脂基板8依次穿過(guò)薄膜形成區(qū)域時(shí)(即、樹(shù)脂基板8經(jīng)過(guò)第1內(nèi)導(dǎo)輥611?第5內(nèi)導(dǎo)輥615的下部時(shí))，各蒸發(fā)源91、92的材料依次被蒸鍍?cè)跇?shù)脂基板8上，從而依次形成多層兩種薄膜。
[0146]為了在薄膜形成區(qū)域中促進(jìn)蒸鍍，樹(shù)脂基板8的表面溫度設(shè)為例如201:?2001，優(yōu)選801:?150。〇。
[0147]具體而言，如圖7所示，首先，在樹(shù)脂基板8的表面形成第1薄膜31匕接著，形成第2薄膜321。
[0148]形成有上述第1薄膜311！和第2薄膜321的樹(shù)脂基板8在經(jīng)過(guò)第1外導(dǎo)輥621的周面而穿過(guò)非薄膜形成區(qū)域后，經(jīng)過(guò)第2內(nèi)導(dǎo)輥612的下部周面，并再次被導(dǎo)入薄膜形成區(qū)域。此時(shí)，如圖7所示，使第1蒸發(fā)源91的材料附著在第2薄膜321的表面而形成第1薄膜33匕接著，使第2蒸發(fā)源92的材料附著在該第1薄膜33卜的表面而形成第2薄膜341。
[0149]接下來(lái)，同樣地，在自非形成區(qū)域起經(jīng)過(guò)薄膜形成區(qū)域時(shí)，如圖7所示，在上述第2薄膜341的表面形成第1薄膜35卜和第2薄膜361，在上述第2薄膜361的表面形成第1薄膜37卜和第2薄膜381，在上述第2薄膜381的表面形成第1薄膜39卜和第2薄膜3101。
[0150]由此，能夠在樹(shù)脂基板8上形成將成分不同的多種薄膜(第1薄膜和第2薄膜)交替地反復(fù)層疊多次(在圖示例子中反復(fù)5次)而成的透明阻氣層。
[0151]上述多種薄膜的反復(fù)層疊次數(shù)與經(jīng)過(guò)薄膜形成區(qū)域的次數(shù)相同。在使用本實(shí)施方式例示的制造裝置的情況下，上述反復(fù)層疊次數(shù)與內(nèi)導(dǎo)輥的數(shù)量相同。
[0152]采用本發(fā)明的制造裝置和制造方法，能夠在沿著長(zhǎng)度方向輸送長(zhǎng)條帶狀的樹(shù)脂基板的過(guò)程中，在該樹(shù)脂基板的表面上形成將多種薄膜層疊多層而成的透明阻氣層，因此，能夠高效地制造透明阻氣膜。另外，在本發(fā)明的制造裝置和制造方法中，所使用的蒸發(fā)源的數(shù)量與所形成的薄膜的種類(lèi)的數(shù)量相同即可。因此，蒸發(fā)源的設(shè)置成本和蒸發(fā)源的控制相對(duì)減少，從而能夠較便宜地制造透明阻氣膜。
[0153]該透明阻氣膜是層疊多種薄膜而成，因此阻氣性?xún)?yōu)異。
[0154](第1實(shí)施方式的變形例)
[0155]另外，在上述第1實(shí)施方式中，例示了交替地形成有兩種薄膜的透明阻氣膜的制造方法和制造裝置，但在本發(fā)明中，也能夠制造交替地形成有三種以上的薄膜的透明阻氣膜。
[0156]圖8是從似側(cè)朝向X方向觀(guān)察能夠交替地形成三種薄膜的制造裝置的主視圖。
[0157]在該制造裝置48中，除了設(shè)有3個(gè)蒸發(fā)源以外，其余構(gòu)造與上述第1實(shí)施方式相同。在圖8中，對(duì)于與上述第1實(shí)施方式相同的結(jié)構(gòu)標(biāo)記相同的附圖標(biāo)記。
[0158]該制造裝置48的3個(gè)蒸發(fā)源91、92、93〈稱(chēng)為第1蒸發(fā)源91、第2蒸發(fā)源92以及第3蒸發(fā)源93)沿著樹(shù)脂基板8的輸送方向并排配置。例如，以?xún)?nèi)導(dǎo)輥611的旋轉(zhuǎn)軸63為基準(zhǔn)，第1蒸發(fā)源91配置在比旋轉(zhuǎn)軸63靠VI側(cè)的位置，第2蒸發(fā)源92配置在上述旋轉(zhuǎn)軸63的正下方，第3蒸發(fā)源93配置在比上述旋轉(zhuǎn)軸63靠12側(cè)的位置。另外，優(yōu)選的是，第1蒸發(fā)源91?第3蒸發(fā)源93在X方向上的配置位置相同。例如，第1蒸發(fā)源91?第3蒸發(fā)源93中的任一個(gè)蒸發(fā)源都配置在與多個(gè)內(nèi)導(dǎo)輥611的X方向的大致中央部對(duì)應(yīng)的位置。
[0159]上述第1蒸發(fā)源91包含有金屬、準(zhǔn)金屬以及它們的氧化物等材料，上述第2蒸發(fā)源92包含有與上述第1蒸發(fā)源91的材料不同的材料，上述第3蒸發(fā)源92包含有與上述第1蒸發(fā)源91和第2蒸發(fā)源92的材料不同的材料。
[0160]而且，為了將第1蒸發(fā)源91和第2蒸發(fā)源92之間以及第2蒸發(fā)源92和第3蒸發(fā)源93之間分隔開(kāi)，與上述第1實(shí)施方式一樣，分別設(shè)有分隔壁53、53。
[0161]上述變形例所涉及的制造裝置48能夠與上述第1實(shí)施方式同樣地工作。采用變形例的制造方法和制造裝置，在樹(shù)脂基板經(jīng)過(guò)薄膜形成區(qū)域時(shí)，將第1蒸發(fā)源91的材料附著在樹(shù)脂基板上而形成第1薄膜，接著，在該第1薄膜的表面附著第2蒸發(fā)源92的材料而形成第2薄膜，再接著，在該第2薄膜的表面附著第3蒸發(fā)源9的材料而形成第3薄膜。形成有該第1薄膜?第3薄膜的樹(shù)脂基板在再次從非形成區(qū)域經(jīng)過(guò)薄膜形成區(qū)域時(shí)，形成第1薄膜?第3薄膜。這樣一來(lái)，能夠形成圖3所示那樣的、使成分不同的多種薄膜(第1薄膜、第2薄膜以及第3薄膜)交替地反復(fù)層疊多次而成的透明阻氣膜。
[0162]另外，在制造交替形成有成分不同的4種薄膜的透明阻氣膜的情況下，同樣地，設(shè)置4個(gè)蒸發(fā)源即可，對(duì)于5種以上薄膜也同樣地，設(shè)置5個(gè)以上的蒸發(fā)源即可。
[0163]另外，在上述第1實(shí)施方式的制造方法和制造裝置中，設(shè)定為使樹(shù)脂基板5次經(jīng)過(guò)薄膜形成區(qū)域，但該次數(shù)并不特別限定，2次以上即可。例如，當(dāng)設(shè)定使樹(shù)脂基板3次經(jīng)過(guò)薄膜形成區(qū)域時(shí)，能夠形成將由多種薄膜構(gòu)成的層疊單元反復(fù)層疊3次而成的透明阻氣膜。為了使樹(shù)脂基板經(jīng)過(guò)薄膜形成區(qū)域3次，例如使用3個(gè)上述內(nèi)導(dǎo)輥即可。
[0164]另外，在上述第1實(shí)施方式中，使用了直徑相同的多個(gè)內(nèi)導(dǎo)輥611，但也能夠使用直徑不同的輥(未圖示)作為一部分內(nèi)導(dǎo)輥。舉個(gè)例子，作為第1內(nèi)導(dǎo)輥?第3內(nèi)導(dǎo)輥611、612、613分別使用直徑較小的導(dǎo)輥，作為第4內(nèi)導(dǎo)輥614和第5內(nèi)導(dǎo)輥615分別使用直徑較大的導(dǎo)輥。在該情況下，將樹(shù)脂基板經(jīng)過(guò)直徑較大的內(nèi)導(dǎo)輥的下部周面時(shí)的情況與樹(shù)脂基板經(jīng)過(guò)直徑較小的內(nèi)導(dǎo)輥的下部周面時(shí)的情況相比，在經(jīng)過(guò)直徑較大的內(nèi)導(dǎo)輥的下部周面時(shí)，樹(shù)脂基板8經(jīng)過(guò)薄膜形成區(qū)域的時(shí)間較長(zhǎng)，因此，能夠形成厚度較大的薄膜。
[0165]另外，在上述第1實(shí)施方式中，使用了具有上下成對(duì)的導(dǎo)輥(內(nèi)導(dǎo)輥和外導(dǎo)輥)的輸送裝置，也能夠使用利用一個(gè)導(dǎo)輥就能夠以螺旋狀輸送樹(shù)脂基板的輸送裝置。
[0166](本發(fā)明的制造方法和制造裝置的第2實(shí)施方式)
[0167]第2實(shí)施方式的制造方法和制造裝置用于制造透明阻氣膜，該透明阻氣膜具有成分不同的多種薄膜，并且該透明阻氣膜是在長(zhǎng)條帶狀的樹(shù)脂基板上將相同成分的薄膜連續(xù)地層疊而成的。
[0168]以下，對(duì)第2實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明，對(duì)于與第1實(shí)施方式相同的結(jié)構(gòu)和效果，將其視為已說(shuō)明過(guò)的內(nèi)容而省略其說(shuō)明，并直接引用其用語(yǔ)和附圖標(biāo)記。
[0169]圖9是從又2側(cè)朝向X方向觀(guān)察第2實(shí)施方式的制造裝置的主視圖，圖10是從VI側(cè)朝向X方向觀(guān)察同一制造裝置的左視圖。
[0170]該制造裝置扣與上述第1實(shí)施方式一樣，具有:腔室51 ；以螺旋狀的輸送軌跡輸送長(zhǎng)條帶狀的樹(shù)脂基板8的輸送裝置6 ；等離子體源52 ；反射電極57 ；聚焦電極581、582、583,584 ；蒸發(fā)源；反應(yīng)氣體供給裝置54 ；放電氣體供給裝置55 ；以及真空泵56。
[0171]本實(shí)施方式的輸送裝置6為了能夠使樹(shù)脂基板8經(jīng)過(guò)薄膜形成區(qū)域6次而具有:第1內(nèi)導(dǎo)棍?第6內(nèi)導(dǎo)棍611、612、613、614、615、616和第1外導(dǎo)棍?第5外導(dǎo)棍621、622、623、624、625。
[0172]蒸發(fā)源設(shè)有例如兩個(gè)。
[0173]第1蒸發(fā)源91和第2蒸發(fā)源92以與輸送裝置6相面對(duì)的方式(準(zhǔn)確來(lái)說(shuō)，是蒸發(fā)源91、92各自的上表面與經(jīng)過(guò)薄膜形成區(qū)域時(shí)的樹(shù)脂基板8相面對(duì)的方式)設(shè)置在腔室51的底部。
[0174]上述第1蒸發(fā)源91和第2蒸發(fā)源92沿著與樹(shù)脂基板8的輸送方向正交的方向并排配置。在本實(shí)施方式中，樹(shù)脂基板8在薄膜形成區(qū)域中被向V方向(從VI側(cè)向12側(cè))輸送，因此，第1和第2蒸發(fā)源91、92沿著X方向排列。例如，以多個(gè)內(nèi)導(dǎo)輥611的X方向的大致中央部為基準(zhǔn)，第1蒸發(fā)源91配置在比大致中央部靠XI側(cè)的位置，第2蒸發(fā)源92配置在比大致中央部靠側(cè)的位置。另外，第1蒸發(fā)源91和第2蒸發(fā)源92在V方向上的位置可以相同也可以錯(cuò)開(kāi)，但優(yōu)選位置相同。
[0175]第1蒸發(fā)源91和第2蒸發(fā)源92分別包含有不同的材料。
[0176]分隔壁53介于第1蒸發(fā)源91和第2蒸發(fā)源92之間。在該實(shí)施方式中，分隔壁53以其壁面位于24平面內(nèi)的方式配置。
[0177]接著，說(shuō)明制造透明阻氣膜的方法。
[0178]在使本實(shí)施方式的制造裝置扣工作而使樹(shù)脂基板8經(jīng)過(guò)第1內(nèi)導(dǎo)輥611的周面而經(jīng)過(guò)薄膜形成區(qū)域時(shí)，在樹(shù)脂基板8的表面上附著第1蒸發(fā)源91的材料而形成第1薄膜。
[0179]形成了上述第1薄膜的樹(shù)脂基板8在經(jīng)過(guò)第1外導(dǎo)輥621的周面而經(jīng)過(guò)非形成區(qū)域后，經(jīng)過(guò)第2內(nèi)導(dǎo)輥612的下部周面而再次被導(dǎo)入薄膜形成區(qū)域。此時(shí)，在上述第1薄膜的表面上再次附著第1蒸發(fā)源的材料，從而形成第二層的第1薄膜。同樣，在樹(shù)脂基板8經(jīng)過(guò)了第3內(nèi)導(dǎo)輥613的下部周面時(shí)，在第二層的第1薄膜的表面形成第三層的第1薄膜。
[0180]接著，在樹(shù)脂基板8經(jīng)過(guò)第4內(nèi)導(dǎo)輥614的下部周面時(shí)，在第三層的第1薄膜的表面形成第一層的第2薄膜，接下來(lái)，以同樣的方式在第一層的第2薄膜的表面形成第二層的第2薄膜，在第二層的第2薄膜的表面形成第三層的第2薄膜。
[0181]采用本實(shí)施方式，能夠在樹(shù)脂基板8上形成具有成分不同的多種薄膜(第1薄膜和第2薄膜)的透明阻氣層。
[0182](第2實(shí)施方式的變形例)
[0183]在上述第2實(shí)施方式中，例示了以螺旋狀的輸送軌跡輸送長(zhǎng)條帶狀的樹(shù)脂基板的情況，例如，也能夠以曲折狀的輸送軌跡輸送長(zhǎng)條帶狀的樹(shù)脂基板而制造上述透明阻氣膜。
[0184]圖11是從側(cè)朝向X方向觀(guān)察第2實(shí)施方式的變形例的制造裝置的主視圖，圖12是從VI側(cè)朝向X方向觀(guān)察同一制造裝置的左視圖。
[0185]該變形例的輸送裝置7在以卷對(duì)卷方式將長(zhǎng)條帶狀的樹(shù)脂基板8沿著長(zhǎng)度方向輸送這一點(diǎn)上與上述第1實(shí)施方式的輸送裝置6相同，但輸送機(jī)構(gòu)與上述第1實(shí)施方式不同。
[0186]具體而言，該輸送裝置7具有用于將長(zhǎng)條帶狀的樹(shù)脂基板8沿著長(zhǎng)度方向輸送的多個(gè)導(dǎo)輥711、721。為了將樹(shù)脂基板8導(dǎo)入薄膜形成區(qū)域，上述多個(gè)導(dǎo)輥中的幾個(gè)導(dǎo)輥被設(shè)在薄膜形成區(qū)域中。
[0187]上述輸送裝置7以曲折狀來(lái)輸送上述樹(shù)脂基板8，且將該樹(shù)脂基板8交替地導(dǎo)入薄膜形成區(qū)域和非形成區(qū)域。該輸送裝置7的基本結(jié)構(gòu)如圖11和圖12所示，具有多組可旋轉(zhuǎn)以將長(zhǎng)條帶狀的樹(shù)脂基板8沿著該樹(shù)脂基板8的長(zhǎng)度方向輸送的、成對(duì)的導(dǎo)輥(內(nèi)導(dǎo)輥711和外導(dǎo)輥721)。
[0188]圖示例子的制造裝置40是能夠在樹(shù)脂基板8上層疊兩層第1薄膜和兩層第2薄膜的裝置，數(shù)量與該薄膜的數(shù)量相同的內(nèi)導(dǎo)輥711，…(第1內(nèi)導(dǎo)輥?第4內(nèi)導(dǎo)輥711、712、713,714)被設(shè)在薄膜形成區(qū)域。另外，對(duì)于被設(shè)在薄膜形成區(qū)域中的內(nèi)導(dǎo)輥711，可以將全部?jī)?nèi)導(dǎo)輥集中在薄膜形成區(qū)域內(nèi)，也可以如圖示那樣，以將內(nèi)導(dǎo)輥的一部分包含在薄膜形成區(qū)域中的方式配置。
[0189]另一方面，外導(dǎo)輥721配置在比內(nèi)導(dǎo)輥711靠21側(cè)的位置，外導(dǎo)輥的數(shù)量比內(nèi)導(dǎo)輥711少一個(gè)。
[0190]各個(gè)第1內(nèi)導(dǎo)輥711?第4內(nèi)導(dǎo)輥714例如能夠使用直徑相同寬度相同的輥。各個(gè)第1外導(dǎo)輥?第3外導(dǎo)輥721、722、723例如也能夠使用直徑相同寬度相同的輥。
[0191]第1內(nèi)導(dǎo)輥711?第4內(nèi)導(dǎo)輥714具有各自獨(dú)立的旋轉(zhuǎn)軸731、732、733、734，且分別可旋轉(zhuǎn)地安裝在該旋轉(zhuǎn)軸731、732、733、734上，第1外導(dǎo)輥?第3外導(dǎo)輥721、722、723也具有各自獨(dú)立的旋轉(zhuǎn)軸741、742、743，且分別可旋轉(zhuǎn)地安裝在該旋轉(zhuǎn)軸741、742、743上。上述的全部旋轉(zhuǎn)軸731、741的延伸方向(軸向)均與X方向平行。
[0192]第1內(nèi)導(dǎo)輥711?第4內(nèi)導(dǎo)輥714各自隔開(kāi)所需間隔地沿V方向排列，第1外導(dǎo)輥?第3外導(dǎo)輥721、722、723也同樣地隔開(kāi)所需間隔地沿V方向排列。從能夠?qū)⒀b置小型化的角度考慮，優(yōu)選的是，相鄰的內(nèi)導(dǎo)輥711的間隔盡可能地小。
[0193]另外，在第1內(nèi)導(dǎo)輥711?第4內(nèi)導(dǎo)輥714上分別設(shè)有晶體監(jiān)視器59以及根據(jù)需要附設(shè)溫度控制裝置，這些方面與上述第1實(shí)施方式相同。
[0194]從上游側(cè)的卷81拉出來(lái)的長(zhǎng)條帶狀的樹(shù)脂基板8被從21側(cè)向22側(cè)輸送，并在卷繞于第1內(nèi)導(dǎo)輥711的下部周面后被從22側(cè)向21側(cè)輸送，之后卷繞在第1外導(dǎo)輥721的上部周面。在樹(shù)脂基板8經(jīng)過(guò)上述第1內(nèi)導(dǎo)輥711的下部周面時(shí)，該樹(shù)脂基板8被從VI側(cè)向12側(cè)方向)輸送。另外，在樹(shù)脂基板8經(jīng)過(guò)上述第1外導(dǎo)輥的上部周面時(shí)，該樹(shù)脂基板8被從VI側(cè)向12側(cè)方向)輸送。
[0195]上述長(zhǎng)條帶狀的樹(shù)脂基板8在卷繞于上述第1外導(dǎo)輥721的上部周面后，依次同樣地卷繞于第2內(nèi)導(dǎo)輥712、第2外導(dǎo)輥722、第3內(nèi)導(dǎo)輥713、第3外導(dǎo)輥723、第4內(nèi)導(dǎo)輥714，然后，樹(shù)脂基板8被從22側(cè)向21側(cè)輸送并卷繞成下游側(cè)的卷82。
[0196]因此，從XI側(cè)觀(guān)察(參照?qǐng)D11),上述樹(shù)脂基板8整體地以上下曲折的軌跡被輸送。即、輸送裝置7構(gòu)成為以曲折的輸送軌跡輸送樹(shù)脂基板8，且使樹(shù)脂基板8交替地穿過(guò)薄膜形成區(qū)域和非形成區(qū)域。
[0197]蒸發(fā)源例如設(shè)有兩個(gè)。
[0198]第1蒸發(fā)源91和第2蒸發(fā)源92以與輸送裝置6相面對(duì)的方式(準(zhǔn)確來(lái)說(shuō)，以蒸發(fā)源91、92各自的上表面與經(jīng)過(guò)薄膜形成區(qū)域時(shí)的樹(shù)脂基板8相面對(duì)的方式)設(shè)在腔室51的底部。
[0199]上述第1蒸發(fā)源91和第2蒸發(fā)源92沿著樹(shù)脂基板8的輸送方向并排配置。在本變形例中，樹(shù)脂基板8在薄膜形成區(qū)域中被向V方向(從VI側(cè)朝向12側(cè))輸送，因此，第1蒸發(fā)源91和第2蒸發(fā)源92沿著V方向排列。例如，以多個(gè)內(nèi)導(dǎo)輥611的V方向的大致中央部為基準(zhǔn)，第1蒸發(fā)源91配置在比大致中央部靠VI側(cè)的位置，第2蒸發(fā)源92配置在比大致中央部靠12側(cè)的位置。另外，第1蒸發(fā)源91和第2蒸發(fā)源92在X方向上的位置可以相同也可以錯(cuò)開(kāi)，但優(yōu)選位置相同。
[0200]第1蒸發(fā)源91和第2蒸發(fā)源92分別包含有不同的材料。
[0201]分隔壁53介于第1蒸發(fā)源91和第2蒸發(fā)源92之間。在該實(shí)施方式中，分隔壁53以其壁面位于24平面內(nèi)的方式配置。
[0202]接著，說(shuō)明制造透明阻氣膜的方法。
[0203]在使本實(shí)施方式的制造裝置40工作而使樹(shù)脂基板8依次經(jīng)過(guò)薄膜形成區(qū)域時(shí)(即、樹(shù)脂基板8經(jīng)過(guò)第1內(nèi)導(dǎo)輥711?第4內(nèi)導(dǎo)輥714時(shí))，樹(shù)脂基板8從VI側(cè)向12側(cè)移動(dòng)。
[0204]而且，從上游側(cè)的卷81將長(zhǎng)條帶狀的樹(shù)脂基板8拉出，在樹(shù)脂基板8經(jīng)過(guò)第1內(nèi)導(dǎo)輥711的下部周面而經(jīng)過(guò)薄膜形成區(qū)域時(shí)，在樹(shù)脂基板8的表面附著第1蒸發(fā)源91的材料而形成第1薄膜。形成了上述第1薄膜的樹(shù)脂基板8在經(jīng)過(guò)第1外導(dǎo)輥721的周面而經(jīng)過(guò)非薄膜形成區(qū)域后，經(jīng)過(guò)第2內(nèi)導(dǎo)輥712的下部周面而再次被導(dǎo)入薄膜形成區(qū)域。此時(shí)，在上述第1薄膜的表面再次附著第1蒸發(fā)源的材料而形成第二層的第1薄膜。之后，在第二層第1薄膜的表面形成第一層的第2薄膜，在第一層的第2薄膜的表面形成第二層的第2薄膜(這就是圖4所示的層結(jié)構(gòu))。
[0205]采用本變形例，也能夠在樹(shù)脂基板8上形成具有成分不同的多種薄膜(第1薄膜和第2薄膜)的透明阻氣層。
[0206]另外，在上述第2實(shí)施方式的制造方法和制造裝置中，使樹(shù)脂基板經(jīng)過(guò)薄膜形成區(qū)域的次數(shù)能夠適當(dāng)?shù)刈兏?br> [0207]另外，在上述第2實(shí)施方式中，使用了直徑相同的多個(gè)內(nèi)導(dǎo)輥711，也能夠使用直徑各不相同的內(nèi)導(dǎo)輥711。
[0208]而且，在上述第2實(shí)施方式的圖示例子中，是將一根樹(shù)脂基板8導(dǎo)入腔室51內(nèi)來(lái)進(jìn)行制膜的，例如，也可以在腔室51內(nèi)沿X方向并排配置多個(gè)上述輸送裝置7，從而一次在多個(gè)樹(shù)脂基板8上形成透明阻氣層。
[0209](本發(fā)明的制造方法和制造裝置的第3實(shí)施方式)
[0210]上述第1實(shí)施方式和第2實(shí)施方式的方法和裝置能夠在本發(fā)明的主旨的范圍內(nèi)進(jìn)行適當(dāng)?shù)刈兏?br> [0211]例如，將第1實(shí)施方式所示的多個(gè)蒸發(fā)源的配置和第2實(shí)施方式所示的多個(gè)蒸發(fā)源的配置組合起來(lái)，例如，也能夠制造出具有如下透明阻氣層的透明阻氣膜，該透明阻氣層由第1層疊單元和第2層疊單元構(gòu)成，該第1層疊單元是將由一種薄膜和成分與該薄膜的成分不同的一種薄膜構(gòu)成的層疊單元反復(fù)層疊多次而成的，該第2層疊單元是將由成分與以上兩種薄膜的成分不同的一種薄膜和成分與該薄膜成分不同的一種薄膜構(gòu)成的層疊單元反復(fù)層疊多次而成的。
[0212]另外，在上述蒸鍍法中，并不限于利用等離子體源照射等離子體來(lái)進(jìn)行蒸鍍的情況，也可以不使用等離子體。
[0213]實(shí)施例
[0214]以下示出實(shí)施例來(lái)對(duì)本發(fā)明進(jìn)行進(jìn)一步詳細(xì)描述。但是，本發(fā)明并不限于下述的實(shí)施例。另外，實(shí)施例的各種特性和物性的測(cè)定以及評(píng)價(jià)是通過(guò)下述方法來(lái)實(shí)施的。
[0215](水蒸氣透過(guò)速度)
[0216]水蒸氣透過(guò)速度是使用了13 1(7126規(guī)定的水蒸氣透過(guò)速度測(cè)定裝置社制、產(chǎn)品名稱(chēng)“？、在溫度401、濕度90%冊(cè)的環(huán)境下進(jìn)行測(cè)定而得到的。另外，上述水蒸氣透過(guò)率測(cè)定裝置的測(cè)定范圍是0.0058 ? ！:！—2 ?也7—1以上。
[0217](構(gòu)成透明阻氣層的各層薄膜的厚度)
[0218]構(gòu)成透明阻氣膜的各層薄膜的厚度是使用日本電子株式會(huì)社制的掃描型電子顯微鏡(產(chǎn)品名稱(chēng)^131-66101觀(guān)察透明阻氣膜的截面，分別測(cè)量從基板(膜)表面到各層薄膜的表面為止的長(zhǎng)度并進(jìn)行計(jì)算而得到的。
[0219](實(shí)施例)
[0220]作為透明樹(shù)脂膜(樹(shù)脂基板)，準(zhǔn)備了帝人杜邦膜社制的聚萘二甲酸乙二醇酯薄膜(厚度100 V II1、產(chǎn)品名稱(chēng)“亍才氺、;/夕只”)。
[0221]接著，將上述聚萘二甲酸乙二醇酯薄膜裝載于圖5和圖6所示那樣的制造裝置的輸送裝置。
[0222]作為該制造裝置的第1蒸發(fā)源的材料，使用硅粒(純度:99.9% )，作為第2蒸發(fā)源的材料，使用鈦粒(純度相:99.9% )。
[0223]將氬氣(純度5吣以308(^111的流量導(dǎo)入等離子體槍內(nèi)來(lái)作為放電氣體，以108(3(3111 (10 XI 69X10—^1 IV秒)的流量將氧氣(純度訓(xùn):99.999 % )導(dǎo)入腔室內(nèi)來(lái)作為反應(yīng)氣體，在該狀態(tài)下，向上述娃粒照射電子束(加速電壓:6”、施加電流:50-),使上述娃以10011111/111111的蒸鍍速度蒸發(fā)。同時(shí)，向上述鈦粒照射電子束(加速電壓:6”、施加電流:50-)，使上述鈦以100鹽?111的蒸鍍速度蒸發(fā)。此時(shí)的腔室內(nèi)的壓力為2.0父10—2？3。
[0224]利用輸送裝置在腔室內(nèi)以螺旋狀輸送上述聚萘二甲酸乙二醇酯薄膜，如圖7所示，能夠制作出具有將5層第1薄膜31匕、33卜、35卜、37卜、39匕和5層第2薄膜321、341、361、3813101交替層疊而成的透明阻氣層的透明阻氣膜。
[0225]在該實(shí)施例中形成的第1薄膜全都是310膜，第2薄膜全都是110膜。
[0226]所得到的透明阻氣膜的各第1薄膜(310膜)和各第2薄膜(110膜)的厚度均是50歷。
[0227]另外，透明阻氣膜的是0.005^⑶―2 # ^ 1 (所使用的水蒸氣透過(guò)率測(cè)定裝置的測(cè)定極限)。
[0228]附圖標(biāo)記說(shuō)明
[0229]1透明阻氣膜
[0230]2樹(shù)脂基板
[0231]3透明阻氣層
[0232]4^,48,40,40透明阻氣膜的制造裝置
[0233]51 腔室
[0234]52等離子體源
[0235]91,92 蒸發(fā)源
[0236]54反應(yīng)氣體供給裝置
[0237]6、7輸送裝置
[0238]611、621、711、721 導(dǎo)輥
[0239]8長(zhǎng)條帶狀的樹(shù)脂基板
【權(quán)利要求】
1.一種透明阻氣膜的制造方法，在該制造方法中采用了卷對(duì)卷方式，其中， 該透明阻氣膜的制造方法包括在輸送長(zhǎng)條帶狀的樹(shù)脂基板的過(guò)程中，將成分不同的多種薄膜分別在所述樹(shù)脂基板上層疊多層的工序， 在薄膜形成區(qū)域設(shè)有數(shù)量與所述薄膜的種類(lèi)數(shù)量對(duì)應(yīng)的蒸發(fā)源， 使所述長(zhǎng)條帶狀的樹(shù)脂基板交替地穿過(guò)所述薄膜形成區(qū)域和非形成區(qū)域，并在所述薄膜形成區(qū)域中使多個(gè)所述蒸發(fā)源中含有的材料分別附著在所述樹(shù)脂基板上，從而在所述樹(shù)脂基板上形成層疊了多層所述多種薄膜而成的透明阻氣層。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的透明阻氣膜的制造方法，其中， 在所述薄膜形成區(qū)域中排列有多個(gè)所述蒸發(fā)源， 在所述薄膜形成區(qū)域，沿著所述蒸發(fā)源的排列方向輸送所述樹(shù)脂基板。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的透明阻氣膜的制造方法，其中， 多個(gè)所述蒸發(fā)源所含有的材料各不相同，所述材料包含金屬和半金屬中的至少一種。
4.根據(jù)權(quán)利要求1?3中任一項(xiàng)所述的透明阻氣膜的制造方法，其中， 利用從蒸鍍法、濺鍍法以及離子鍍法中選出的真空加工法，使所述材料附著于所述樹(shù)脂基板。
5.一種透明阻氣膜的制造裝置，該透明阻氣膜具有成分不同的多種薄膜沿厚度方向?qū)盈B而成的透明阻氣層，該透明阻氣膜的制造裝置的特征在于， 具有:腔室，其具有薄膜形成區(qū)域和薄膜非形成區(qū)域；蒸發(fā)源，其含有金屬和半金屬中的至少一種材料；以及輸送裝置，其用于輸送長(zhǎng)條帶狀的樹(shù)脂基板， 在所述薄膜形成區(qū)域中設(shè)有數(shù)量與所述薄膜的種類(lèi)數(shù)量對(duì)應(yīng)的蒸發(fā)源， 多個(gè)所述蒸發(fā)源各自獨(dú)立，且含有不同的材料， 多個(gè)所述蒸發(fā)源沿著所述長(zhǎng)條帶狀的樹(shù)脂基板的輸送方向或者與輸送方向正交的方向并排配置， 所述輸送裝置構(gòu)成為，以使所述樹(shù)脂基板交替地穿過(guò)所述薄膜形成區(qū)域和非形成區(qū)域的方式輸送所述樹(shù)脂基板。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的透明阻氣膜的制造裝置，其中， 所述輸送裝置構(gòu)成為，以螺旋狀的輸送軌跡輸送所述長(zhǎng)條帶狀的樹(shù)脂基板。
7.根據(jù)權(quán)利要求5或6所述的透明阻氣膜的制造裝置，其中， 多個(gè)所述蒸發(fā)源沿著所述長(zhǎng)條帶狀的樹(shù)脂基板的輸送方向并排配置。
8.根據(jù)權(quán)利要求5?7中任一項(xiàng)所述的透明阻氣膜的制造裝置，其中， 在所述腔室內(nèi)還具有用于產(chǎn)生等離子體的等離子體源和用于供給反應(yīng)氣體的反應(yīng)氣體供給裝置。
【文檔編號(hào)】B32B9/00GK104428440SQ201480001820
【公開(kāi)日】2015年3月18日 申請(qǐng)日期:2014年1月22日 優(yōu)先權(quán)日:2013年2月8日
【發(fā)明者】山田泰美 申請(qǐng)人:日東電工株式會(huì)社