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一種紫外-可見光譜范圍的寬透射帶濾光片的制作方法

文檔序號:2415193閱讀:295來源:國知局
專利名稱:一種紫外-可見光譜范圍的寬透射帶濾光片的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
本實用新型涉及光學技術(shù)領(lǐng)域,更具體的說,涉及ー種紫外-可見光譜范圍的寬透射帶濾光片。
背景技術(shù)
紫外-可見光譜范圍的寬透射帶濾光片作為重要的光學器件,廣泛應用于分光光度計、光學成像等領(lǐng)域?,F(xiàn)有的ー種紫外-可見寬透射帶濾光片的主要結(jié)構(gòu)如圖I所示在玻璃基片300的ー個表面鍍有三種膜料組成的干涉截止膜系100,在玻璃基片300的另ー個 表面鍍制減反射膜系200。如圖I中箭頭所示,光線從干涉截止膜系100進入玻璃基片300后從減反射膜系200射出。上述寬透射帶濾光片存在的缺點在干,エ藝難度很高,生產(chǎn)穩(wěn)定性欠佳,成品率低下。
發(fā)明內(nèi)容本實用新型所要解決的技術(shù)問題是提供一種低成本、エ藝簡單、成品率高的紫外-可見光譜范圍的寬透射帶濾光片。本實用新型的目的是通過以下技術(shù)方案來實現(xiàn)的ー種紫外-可見光譜范圍的寬透射帶濾光片,包括透光基片、透光基片的ー側(cè)設(shè)有第一子膜系,另ー側(cè)設(shè)有第二子膜系,所述第一子膜系包括兩種膜料。優(yōu)選的,所述透光基片具有相互對置的第一表面和第二表面,所述第一子膜系和第二子膜系分別設(shè)置在所述第一表面和第二表面上。優(yōu)選的,所述透光基片由硼硅玻璃制成。ー種透光基片的材料,使得紫外-可見光譜范圍的寬透射帶濾光片可應用在高溫環(huán)境中。優(yōu)選的,所述透光基片由熔凝石英玻璃制成。使得紫外-可見光譜范圍的寬透射帶濾光片可應用在高溫環(huán)境中。優(yōu)選的,其特征在于,所述第二子膜系也包括兩種膜料。第一子膜系采用兩種膜料的結(jié)構(gòu),這樣第二子膜系和第一子膜系的厚度接近,所述紫外-可見光譜范圍的寬透射帶兩邊產(chǎn)生的應カ也就相接近,其合成應カ接近為零。而現(xiàn)有的三種膜料組成的干涉截止膜系結(jié)構(gòu)復雜,膜層的總厚度很厚,而另ー個表面鍍制的減反射膜系則較為簡單,膜層總厚度很薄,造成基片兩個表面應カ失配,容易導致濾光片整體變形。因此,本技術(shù)方案解決了現(xiàn)有濾光片由于應カ失配造成濾光片變形的問題,可應用在成像光學系統(tǒng)等場合中,拓展了所述紫外-可見光譜范圍的寬透射帶濾光片的適用范圍及使用壽命。本實用新型中采用兩種膜料結(jié)構(gòu)的第一子膜系,相比現(xiàn)有的干涉截止膜系大幅度簡化,簡化了制造エ藝,明顯提高了成品率并降低了制造成本。

[0012]圖I是現(xiàn)有的濾光片結(jié)構(gòu)示意圖;圖2是本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖;其中100、干涉截止膜系;200、減反射膜系;300玻璃基片;400、透光基片;500、
第一子膜系;600、第二子膜系;700、膜料。
具體實施方式
以下結(jié)合附圖和較佳的實施例對本實用新型作進ー步說明。如圖2所示,ー種紫外-可見光譜范圍的寬透射帶濾光片,包括透光基片400、透光基片400的一側(cè)設(shè)有第一子膜系500,另ー側(cè)設(shè)有第二子膜系600,所述第一子膜系500包 括兩種膜料700。透光基片400具有相互對置的第一表面和第二表面,所述第一子膜系500和第二子膜系600分別設(shè)置在所述第一表面和第二表面上。所述透光基片400可以采用任何透光材料制作,優(yōu)選硼硅玻璃或熔凝石英玻璃制成,這樣紫外-可見光譜范圍的寬透射帶濾光片可應用在高溫環(huán)境中。進ー步的,第二子膜系600也可以選用兩種膜料700的結(jié)構(gòu)。第一子膜系500采用兩種膜料700的結(jié)構(gòu),這樣第二子膜系600和第一子膜系500的厚度接近,所述紫外-可見光譜范圍的寬透射帶兩邊產(chǎn)生的應カ也就相接近,其合成應カ接近為零。而現(xiàn)有的三種膜料700組成的干涉截止膜系結(jié)構(gòu)復雜,膜層的總厚度很厚,而另ー個表面鍍制的減反射膜系則較為簡單,膜層總厚度很薄,造成基片兩個表面應カ失配,容易導致濾光片整體變形。因此,本技術(shù)方案解決了現(xiàn)有濾光片由于應カ失配造成濾光片變形的問題,可應用在成像光學系統(tǒng)等場合中,拓展了所述紫外-可見光譜范圍的寬透射帶濾光片的適用范圍及使用壽命。如圖2中箭頭所示,紫外-可見光譜范圍的寬透射帶濾光片使用時,使光線依次穿過第一子膜系500、透光基片400和第二子膜系600后射出,實現(xiàn)選擇性濾光的目的。本實用新型所述的紫外-可見光譜范圍的寬透射帶濾光片可以選用以下方法制作第一子膜系500可以通過真空鍍膜的方法形成于透光基片400的第一個表面上,鍍膜過程可以在真空中進行,鍍膜的具體エ藝不受限制,可以在本實用新型的發(fā)明目的范圍內(nèi)進行調(diào)整。優(yōu)選的是真空蒸發(fā)、磁控濺射、離子束濺射等方式。第二子膜系600可以通過真空鍍膜的方法形成于透光基片400的第二個表面上,鍍膜過程可以在真空中進行,鍍膜的具體エ藝不受限制,可以在本實用新型的發(fā)明目的范圍內(nèi)進行調(diào)整。優(yōu)選的是真空蒸發(fā)、磁控濺射、離子束濺射等方式。當然,也可以將第一子膜系500設(shè)置在透光基片400的第二表面上,第二子膜系600設(shè)置在透光基片400的第一表面上。以上內(nèi)容是結(jié)合具體的優(yōu)選實施方式對本實用新型所作的進ー步詳細說明,不能認定本實用新型的具體實施只局限于這些說明。對于本實用新型所屬技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說,在不脫離本實用新型構(gòu)思的前提下,還可以做出若干簡單推演或替換,都應當視為屬于本實用新型的保護范圍。
權(quán)利要求1.ー種紫外-可見光譜范圍的寬透射帶濾光片,包括透光基片、透光基片的ー側(cè)設(shè)有第一子膜系,另ー側(cè)設(shè)有第二子膜系,其特征在于,所述第一子膜系包括兩種膜料。
2.如權(quán)利要求I所述的ー種紫外-可見光譜范圍的寬透射帶濾光片,其特征在于,所述透光基片具有相互對置的第一表面和第二表面,所述第一子膜系和第二子膜系分別設(shè)置在所述第一表面和第二表面上。
3.如權(quán)利要求I所述的ー種紫外-可見光譜范圍的寬透射帶濾光片,其特征在于,所述透光基片由硼娃玻璃制成。
4.如權(quán)利要求I所述的ー種紫外-可見光譜范圍的寬透射帶濾光片,其特征在于,所述透光基片由熔凝石英玻璃制成。
5.如權(quán)利要求I 4任一所述的ー種紫外-可見光譜范圍的寬透射帶濾光片,其特征在于,所述第二子膜系也包括兩種膜料。
專利摘要本實用新型公開一種紫外-可見光譜范圍的寬透射帶濾光片,包括透光基片、透光基片的一側(cè)設(shè)有第一子膜系,另一側(cè)設(shè)有第二子膜系,所述第一子膜系包括兩種膜料。本實用新型中采用兩種膜料結(jié)構(gòu)的第一子膜系,相比現(xiàn)有的干涉截止膜系大幅度簡化,簡化了制造工藝,明顯提高了成品率并降低了制造成本。
文檔編號B32B17/06GK202486343SQ20122007275
公開日2012年10月10日 申請日期2012年3月1日 優(yōu)先權(quán)日2012年3月1日
發(fā)明者趙福庭 申請人:北京京儀博電光學技術(shù)有限責任公司
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