專利名稱：感光性層疊體的制造系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種感光性層疊體的制造系統(tǒng)，其具備將基板預(yù)先加熱到 規(guī)定溫度的加熱裝置和在加熱到規(guī)定溫度的所述基板上貼合感光性板片 的層壓裝置。
背景技術(shù)：
例如，液晶面板用基板、印制布線用基板和PDP面板用基板通過將 具有感光材料(感光性樹脂)層的感光性片體(感光性板片)貼合在基板 表面上而構(gòu)成感光性層疊體。該感光性片體是在可撓性塑料支承體上依次 層疊感光材料層和保護(hù)膜。在制造上述感光性層疊體之際，通常，玻璃基板和樹脂基板等基板被 預(yù)先加熱到規(guī)定溫度。并且，保護(hù)膜部分或整體被剝離的感光性板片和加 熱過的基板被夾持在構(gòu)成層壓裝置的一對(duì)層壓輥之間進(jìn)行加熱，從而，感 光材料層被熱壓接在所述基板上。接下來，從基板剝離可撓性塑料支承體， 從而制造感光性層疊體。例如，特開平8—183146號(hào)公報(bào)所揭示的干抗蝕膜的層壓方法中，如 圖8所示，沿著由輸送部6形成的基板7的輸送方向配置基板預(yù)熱部1、 層壓部2、基板冷卻部3、基板上膜切斷部4及膜去除部5?；孱A(yù)熱部1在由預(yù)熱加熱器la將基板7加熱到規(guī)定溫度后，將該 基板7向?qū)訅翰?送出。在層壓部2中配置一對(duì)層壓輥2a、 2b，在所述層 壓輥2a、 2b間進(jìn)給基板7和干抗蝕膜8。從而，干抗蝕膜8被熱壓接在基 板7上。不過，上述現(xiàn)有技術(shù)中，在基板預(yù)熱部1和構(gòu)成層壓部2的層壓輥 2a、 2b的基板插入側(cè)之間(以下，也稱為過渡部分)，由于基板7被暴露 在室內(nèi)的空氣中，因而所述基板7的溫度容易降低。然而，層壓時(shí)基板-7
的面內(nèi)溫度分布會(huì)對(duì)層壓品質(zhì)造成影響，所述基板7的面內(nèi)溫度均勻性對(duì)于維持層壓品質(zhì)很重要。因而，考慮在層壓時(shí)必須確?；?為期望溫度，例如預(yù)估由室內(nèi)空 氣帶來的溫度降低，將所述基板7的設(shè)定溫度設(shè)定得高于目標(biāo)溫度。然而， 由于過渡部分的基板7的輸送速度變動(dòng)，同時(shí)所述基板7周緣部的溫度降 低大于中央部等原因，在所述過渡部分中的所述基板7的面內(nèi)溫度均勻性 降低。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的目的在于解決這種問題，提供一種感光性層疊體的制造系 統(tǒng)，其能夠有效地阻止加熱裝置和層壓裝置的過渡部分的基板的溫度降 低、同時(shí)能夠提高所述基板的面內(nèi)溫度均勻性。本發(fā)明所涉及的感光性層疊體的制造系統(tǒng)，具備將基板預(yù)先加熱到規(guī) 定溫度的加熱裝置和在加熱到規(guī)定溫度的所述基板上貼合感光性板片的 層壓裝置。并且，在加熱裝置和層壓裝置之間配置有用于將基板向所述層壓裝置 的貼合處理位置輸送的進(jìn)給機(jī)構(gòu)和用于將加熱到規(guī)定溫度的所述基板保 溫直到所述貼合處理位置附近的保溫機(jī)構(gòu)。本發(fā)明中，在加熱裝置和層壓裝置之間，基板由進(jìn)給機(jī)構(gòu)輸送到所述 層壓裝置的貼合處理位置，同時(shí)，由保溫機(jī)構(gòu)在規(guī)定溫度下保溫到所述貼 合處理位置附近。從而，能夠有效地阻止加熱裝置和層壓裝置的過渡部分 的基板的溫度降低、同時(shí)能夠提高所述基板的面內(nèi)溫度均勻性。從而能夠 良好且可靠地維持層壓品質(zhì)。通過附圖和以下最佳實(shí)施方式例的聯(lián)合說明，更進(jìn)一步闡明上述目的 及其他目的、特征及優(yōu)點(diǎn)。


圖1是本發(fā)明第一實(shí)施方式的制造系統(tǒng)的概略構(gòu)成圖。圖2是所述制造系統(tǒng)中所使用的長條狀感光性板片的剖視圖?！D3是在所述長條狀感光性板片上粘接了粘接標(biāo)簽的狀態(tài)的說明圖。圖4是所述制造系統(tǒng)的主要部分說明圖。圖5是所述制造系統(tǒng)的主要部分俯視說明圖。圖6是本發(fā)明的第二實(shí)施方式的制造系統(tǒng)的概略構(gòu)成圖。圖7是本發(fā)明的第三實(shí)施方式的制造系統(tǒng)的概略構(gòu)成圖。圖8是特開平8 — 183146號(hào)公報(bào)所揭示的干抗蝕膜的層壓方法的說明圖。具體實(shí)施方式

如圖1所示，本發(fā)明第一實(shí)施方式的感光性層疊體的制造系統(tǒng)20，在 液晶或有機(jī)EL用彩色濾波器的制作過程中，進(jìn)行的作業(yè)是將長條狀感光 性板片22的感光性樹脂層28 (后述)熱轉(zhuǎn)印到玻璃基板24上。如圖2所示，制造系統(tǒng)20中使用的感光性板片22是將可撓性基體薄 膜(支承體)26、感光性樹脂層(感光材料層)28和保護(hù)膜30層疊而構(gòu) 成。如圖1所示，制造系統(tǒng)20包括板片輸出機(jī)構(gòu)32，其收容有將感光 性板片22巻繞成輥狀的感光性板片輥22a、并從該感光性板片輥22a輸出 所述感光性板片22;加工機(jī)構(gòu)36，其在輸出的所述感光性板片22的保護(hù) 膜30上形成能夠橫向切斷的半切部位34 (參照?qǐng)D2);標(biāo)簽粘接機(jī)構(gòu)40， 其將一部分具有非粘接部38a的粘接標(biāo)簽38 (參照?qǐng)D3)粘接到保護(hù)膜30 上。在標(biāo)簽粘接機(jī)構(gòu)40的下游配置有用于將感光性板片22從間歇進(jìn)給 變成連續(xù)進(jìn)給的貯存機(jī)構(gòu)42、從所述感光性板片22以規(guī)定長度間隔剝離 保護(hù)膜30的剝離機(jī)構(gòu)44、將玻璃基板24以加熱到規(guī)定溫度的狀態(tài)向貼合 位置輸送的加熱裝置45和將由于所述保護(hù)膜30的剝離而露出的感光性樹 脂層28貼合在所述玻璃基板24上的層壓裝置46。還有，以下將利用層壓 裝置46在玻璃基板24上貼合有感光性板片22的被處理物只稱為貼合基 板24a。在層壓裝置46的貼合位置的上游附近，配置檢測(cè)機(jī)構(gòu)47，其直接檢　　測(cè)作為感光性板片22的邊界位置的半切部位34，同時(shí)在所述層壓裝置46 的下游配置切斷各玻璃基板24間的所述感光性板片22的基板間板片切斷 機(jī)構(gòu)48。在該基板間板片切斷機(jī)構(gòu)48的上游設(shè)置在運(yùn)轉(zhuǎn)開始時(shí)及運(yùn)轉(zhuǎn)結(jié) 束時(shí)使用的板片切斷機(jī)構(gòu)48a。在板片輸出機(jī)構(gòu)32的下游附近，配置將大致使用完的感光性板片22 的后端和新使用的感光性板片22的前端接合在一起的接合臺(tái)49。在該接 合臺(tái)49的下游配置膜端位置檢測(cè)器51，用來控制由于感光性板片輥22a 的巻繞偏離而造成的橫向的偏離。加工機(jī)構(gòu)36配置在輥對(duì)50的下游，輥對(duì)50用來計(jì)算收容巻繞在板 片輸出機(jī)構(gòu)32中的感光性板片輥22a的輥直徑。該加工機(jī)構(gòu)36具備單個(gè) 的圓形刀片52，該圓形刀片52沿感光性板片22的橫向移動(dòng)，在所述感光 性板片22的規(guī)定位置形成半切部位34。如圖2所示，半切部位34必須至少切斷保護(hù)膜30，實(shí)際上為了可靠 地切斷該保護(hù)膜30，而將圓形刀片52的切入深度設(shè)定到足以切入到感光 性樹脂層28乃至可撓性基體薄膜26。半切部位34用來設(shè)定玻璃基板24的間隔，例如設(shè)定在向兩側(cè)的所述 玻璃基板24分別深入各10mm的位置。玻璃基板24間的由半切部位34 夾持的部分在后述的層壓裝置46中作為將感光性樹脂層28呈框狀貼合在 所述玻璃基板24上之際的掩模發(fā)揮作用。標(biāo)簽粘接機(jī)構(gòu)40是為了與玻璃基板24間對(duì)應(yīng)地保留保護(hù)膜30的殘 留部分30b，而供給將剝離側(cè)前方的剝離部分30aa和剝離側(cè)后方的剝離部 分30ab連結(jié)的粘接標(biāo)簽38。如圖2所示，保護(hù)膜30夾著殘留部分30b 將先剝離的部分作為前方的剝離部分30aa，另一方面將后剝離的部分作為 后方的剝離部分30ab。如圖3所示，粘接標(biāo)簽38呈長方形構(gòu)成，由例如與保護(hù)膜30相同的 樹脂材料形成。粘接標(biāo)簽38在中央部具有沒有涂布粘接劑的非粘接部(包 括微粘接)38a,同時(shí)在該非粘接部38a兩側(cè)、即所述粘接標(biāo)簽38的縱向 兩端部，具有與前方的剝離部分30aa粘接的第一粘接部38b和與后方的 剝離部分30ab粘接的第二粘接部38c?！?如圖1所示，標(biāo)簽粘接機(jī)構(gòu)40具備能夠每隔規(guī)定間隔地貼合最多7 張粘接標(biāo)簽38的吸附襯墊54a 54g，同時(shí)，在基于所述吸附襯墊54a 54g 形成的所述粘接標(biāo)簽38的貼合位置，升降自如地配置用于從下方保持感 光性板片22的支承臺(tái)56。貯存機(jī)構(gòu)42具備浮輥61，其可吸收上游側(cè)的感光性板片22的間歇輸 送和下游側(cè)的所述感光性板片22的連續(xù)輸送的速度差，不過為了進(jìn)一步 防止張力變動(dòng)，由擺動(dòng)自如的2串輥60構(gòu)成。還有，輥60對(duì)應(yīng)于貯存量 可以為1串或3串以上。配置在貯存機(jī)構(gòu)42下游的剝離機(jī)構(gòu)44具備吸入筒62，其是用來降低 感光性板片22的輸出側(cè)的張力變動(dòng)，穩(wěn)定層壓時(shí)的張力。在吸入筒62的 附近配置剝離輥63，同時(shí)經(jīng)由該剝離輥63從感光性板片22以銳角的剝離 角剝離的保護(hù)膜30，除殘留部分30b以外，纏繞在保護(hù)膜巻繞部64上。在剝離機(jī)構(gòu)44的下游側(cè)配置有能夠向感光性板片22施與張力的張力 控制機(jī)構(gòu)66。張力控制機(jī)構(gòu)66具備汽缸68，在該汽缸68的驅(qū)動(dòng)作用下 使張力調(diào)節(jié)器70擺動(dòng)變位，從而能夠調(diào)整該張力調(diào)節(jié)器70滑動(dòng)接觸的感 光性板片22的張力。還有，張力控制機(jī)構(gòu)66可以根據(jù)需要進(jìn)行使用，也 可以刪除。檢測(cè)機(jī)構(gòu)47具備激光傳感器和光電傳感器等光電傳感器72，所述光 電傳感器72直接檢測(cè)半切部位34的楔狀槽形狀部和由于保護(hù)膜30的厚 度而產(chǎn)生的階梯差、或由于這些的組合而產(chǎn)生的變化等，將該檢測(cè)信號(hào)作 為邊界位置信號(hào)。光電傳感器72與支承輥73對(duì)置配置。還有，可以取代 光電傳感器72而配置非接觸變位計(jì)和CCD照相機(jī)等圖像檢測(cè)手段等。加熱裝置45如圖4所示，包括用于將玻璃基板24沿箭頭C方向輸送 的輸送機(jī)構(gòu)74、沿著所述輸送機(jī)構(gòu)74的輸送方向配置的多個(gè)、至少是第 一加熱機(jī)構(gòu)76及第二加熱機(jī)構(gòu)78。輸送機(jī)構(gòu)74具備沿箭頭C方向排列的多個(gè)樹脂制圓盤狀輸送輥80， 所述輸送輥80配置在構(gòu)成第一加熱機(jī)構(gòu)76的主體部76a內(nèi)及構(gòu)成第二加 熱機(jī)構(gòu)78的主體部78a內(nèi)。第一加熱機(jī)構(gòu)76比第二加熱機(jī)構(gòu)78靠箭頭C方向上游側(cè)，設(shè)有載置
在基臺(tái)82上的固定臺(tái)84。在固定臺(tái)84上如圖4及圖5所示，設(shè)置相互平 行、沿箭頭C方向延伸的一對(duì)導(dǎo)軌86，主體部76a配置成能夠在該導(dǎo)軌 86上沿箭頭C方向進(jìn)退規(guī)定距離Ll 。主體部76a在箭頭C方向前端部及箭頭C方向后端部分別設(shè)置聯(lián)鎖 裝置(沒有圖示)，所述主體部76a被保持在進(jìn)退位置。在主體部76a的 后退位置、即玻璃基板24的入口側(cè)設(shè)置機(jī)器人護(hù)欄88。在主體部76a內(nèi) 設(shè)有位于輸送輥80上方、例如面板式的第一紅外線加熱器卯a(chǎn)。第二加熱機(jī)構(gòu)78具備主體部78a，所述主體部78a設(shè)有進(jìn)給機(jī)構(gòu)92， 其延伸到層壓裝置46附近、用于將玻璃基板24輸送到所述層壓裝置46 的貼合處理位置；第三紅外線加熱器(保溫機(jī)構(gòu))90c,其用于保溫加熱 到規(guī)定溫度的所述玻璃基板24直到所述貼合處理位置附近；退避機(jī)構(gòu)94， 其能夠使所述主體部78a相對(duì)于所述層壓裝置46移動(dòng)。在主體部78a上形成與后述框體96內(nèi)連通的開口 98，同時(shí)在該主體 部78a內(nèi)沿箭頭C方向延伸設(shè)有位于多個(gè)輸送輥80上方、例如面板式的 第二紅外線加熱器90b。此外，第一及第二紅外線加熱器90a、卯b也可以 使用熱風(fēng)加熱器。在主體部78a的箭頭C方向前端側(cè)的側(cè)面，固定有沿玻璃基板24橫 向(圖5中，箭頭D方向)延伸的框體96。在框體96內(nèi)沿箭頭C方向配 置構(gòu)成進(jìn)給機(jī)構(gòu)92的多個(gè)樹脂制圓盤狀輸送輥80a，同時(shí)設(shè)有位于所述輸 送輥80a上方、面板式第三紅外線加熱器90c (或熱風(fēng)加熱器)。在框體 96上形成用于將玻璃基板24向?qū)訅貉b置46輸出的開口 96a。退避機(jī)構(gòu)94具備在基臺(tái)82上相互平行并沿箭頭D方向延伸的一對(duì)第 二導(dǎo)軌100，在該第二導(dǎo)軌100上能夠沿箭頭D方向進(jìn)退地配置可動(dòng)臺(tái) 102。在可動(dòng)臺(tái)102的箭頭D方向的進(jìn)退位置設(shè)置沒有圖示的聯(lián)鎖裝置， 能夠在兩位置保持所述可動(dòng)臺(tái)102。在可動(dòng)臺(tái)102上設(shè)置相互平行并沿箭頭C方向延伸的一對(duì)導(dǎo)軌104， 在所述導(dǎo)軌104上能夠沿箭頭C方向進(jìn)退地配置主體部78a。主體部78a 在箭頭C方向前端位置接近層壓裝置46而固定，另一方面，在箭頭C方 向后端位置能夠固定。
主體部78a在箭頭Cl方向移動(dòng)規(guī)定距離LI后，能夠沿導(dǎo)軌100向箭 頭D方向移動(dòng)。沿箭頭Cl方向的移動(dòng)距離LI設(shè)定為進(jìn)給機(jī)構(gòu)92向箭頭 D方向移動(dòng)之際不與層壓裝置46干涉的尺寸，同時(shí)，沿箭頭D方向的移 動(dòng)距離L2設(shè)定為作業(yè)者對(duì)所述層壓裝置46進(jìn)行各種維修作業(yè)之際主體部 78a不會(huì)干涉的尺寸。還有，輸送裝置74中可以采用配置沒有圖示的空氣懸浮板、玻璃基 板24被懸浮著沿箭頭C方向輸送的構(gòu)成。如圖1所示，在加熱裝置45的上游設(shè)有收容多個(gè)玻璃基板24的基板 儲(chǔ)料器110?；鍍?chǔ)料器110在投入及取出口以外的3個(gè)側(cè)面上附設(shè)用于 除塵的風(fēng)扇組件(或管道組件)112。風(fēng)扇組件112對(duì)基板儲(chǔ)料器110內(nèi) 進(jìn)行除電清潔空氣的吹出。收容在基板儲(chǔ)料器110中的各玻璃基板24被 設(shè)置在機(jī)器人114的手部114a上的吸附襯墊116吸附而取出，運(yùn)入到加 熱裝置45。層壓裝置46具備上下配置、同時(shí)加熱到規(guī)定溫度的層壓用橡膠輥 120a、 120b。在橡膠輥120a、 120b上滑動(dòng)接觸著支承輥122a、 122b，同 時(shí)，所述支承輥122b被輥夾緊部124按壓向橡膠輥120b側(cè)。在橡膠輥120a的附近能夠移動(dòng)地配置防止接觸輥126，用于防止感光 性板片22接觸到所述橡膠輥120a。在層壓裝置46的上游附近配置用于將 感光性板片22預(yù)先預(yù)備加熱到規(guī)定溫度的預(yù)備加熱部127。該預(yù)備加熱部 127具備例如紅外線棒加熱器等加熱裝置。在層壓裝置46和基板間板片切斷機(jī)構(gòu)48之間配置膜輸送輥128a和 基板輸送輥128b。在基板間板片切斷機(jī)構(gòu)48的下游側(cè)配置冷卻機(jī)構(gòu)130， 同時(shí)在該冷卻機(jī)構(gòu)130的下游側(cè)配置基體剝離機(jī)構(gòu)132。冷卻機(jī)構(gòu)130在 經(jīng)由基板間板片切斷機(jī)構(gòu)48將貼合基板24a間的感光性板片22切斷后， 對(duì)該貼合基板24a供給冷風(fēng)實(shí)施冷卻處理。具體地說，設(shè)定冷風(fēng)溫度為10 °C,風(fēng)量為1.0~2.0m3/min。還有，也可以不使用冷卻機(jī)構(gòu)130，而在后述 的感光性層疊體儲(chǔ)料器146中自然冷卻。另外，也可以取代冷風(fēng)，而利用 室內(nèi)風(fēng)進(jìn)行送風(fēng)。配置在冷卻機(jī)構(gòu)130下游的基體剝離機(jī)構(gòu)132具備從下方吸附貼合基板24a的多個(gè)吸附襯墊134，在該吸附襯墊134上吸附保持所述貼合基板 24a的狀態(tài)下，經(jīng)由機(jī)器手136將基體薄膜26及殘留部分30b剝離。在吸 附襯墊134的上游、下游及兩側(cè)方，配置對(duì)貼合基板24a的層壓部分整體 從4個(gè)方向的側(cè)面噴射除電空氣的除電吹風(fēng)機(jī)(沒有圖示)。還有，進(jìn)行 剝離時(shí)為了除塵可以將工作臺(tái)垂直或?qū)⑵鋬A斜、或者翻轉(zhuǎn)。在基體剝離機(jī)構(gòu)132的下游設(shè)置收容有多個(gè)感光性層疊體140的感光 性層疊體儲(chǔ)料器146。經(jīng)基體剝離機(jī)構(gòu)132從貼合基板24a剝離了基體薄 膜26及殘留部分30b的感光性層疊體140，被設(shè)置在機(jī)器人142的手部 142a上的吸附襯墊144吸附而取出，收容在感光性層疊體儲(chǔ)料器146中。 還有，手部142a也可以不利用吸附、而使用例如利用摩擦進(jìn)行的保持方 式。感光性層疊體儲(chǔ)料器146在投入及取出口以外的3個(gè)側(cè)面上附設(shè)用于 除塵的風(fēng)扇組件(或管道組件)112。風(fēng)扇組件112對(duì)感光性層疊體儲(chǔ)料 器146內(nèi)進(jìn)行除電清潔空氣的吹出。制造系統(tǒng)20中，板片輸出機(jī)構(gòu)32、加工機(jī)構(gòu)36、標(biāo)簽粘接機(jī)構(gòu)40、 貝亡存機(jī)構(gòu)42、剝離機(jī)構(gòu)44、張力控制機(jī)構(gòu)66還有檢測(cè)機(jī)構(gòu)47配置在層 壓裝置46的上方，不過，也可以與此相反形成以下構(gòu)成，即將所述板片 輸出機(jī)構(gòu)32到所述檢測(cè)機(jī)構(gòu)47配置在所述層壓裝置46的下方，感光性 板片22上下顛倒，將感光性樹脂層28貼合在玻璃基板24下側(cè)，另外也 可以將所述制造系統(tǒng)20整體在一直線上構(gòu)成。制造系統(tǒng)20經(jīng)由層壓工序控制部150進(jìn)行整體控制，在該制造系統(tǒng) 20的每個(gè)功能部都設(shè)有例如層壓控制部152、基板加熱控制部154及基體 剝離控制部156等，它們通過工序內(nèi)網(wǎng)絡(luò)相聯(lián)系。層壓工序控制部150與工廠網(wǎng)絡(luò)相聯(lián)系，進(jìn)行來自沒有圖示的工廠 CPU的指示信息(條件設(shè)定和生產(chǎn)信息等)的生產(chǎn)管理和運(yùn)行管理等用于 生產(chǎn)的信息處理。層壓控制部152作為工序整體的中心執(zhí)行各功能部的控制，構(gòu)成根據(jù) 利用檢測(cè)機(jī)構(gòu)47檢測(cè)的感光性板片22的半切部位34的位置信息控制例 如加熱裝置45的控制機(jī)構(gòu)。i
基體剝離控制部156進(jìn)行將基體薄膜26從由層壓裝置46供給的貼合 基板24a上剝離、再在下游工序中排出感光性層疊體140的動(dòng)作控制，同 時(shí)操作控制所述貼合基板24a及所述感光性層疊體140的信息。制造系統(tǒng)20內(nèi)經(jīng)由隔壁160被分隔為第一凈室162a和第二凈室 162b。第一凈室162a中收容板片輸出機(jī)構(gòu)32到張力控制機(jī)構(gòu)66，第二凈 室162b中收容檢測(cè)機(jī)構(gòu)47以后的機(jī)構(gòu)。第一凈室162a和第二凈室162b 經(jīng)由貫通部164連通。以下關(guān)于該制造系統(tǒng)20的動(dòng)作進(jìn)行說明。首先，如圖1所示，在加工機(jī)構(gòu)36中，圓形刀片52沿著感光性板片 22的橫向移動(dòng)，將該感光性板片22從保護(hù)膜30切入到感光性樹脂層28 乃至基體薄膜26，形成半切部位34 (參照?qǐng)D2)。再有，感光性板片22 如圖1所示，對(duì)應(yīng)于保護(hù)膜30的殘留部分30b的尺寸沿箭頭A方向輸送 后，停止，在圓形刀片52的移動(dòng)作用下形成半切部位34。從而，在感光 性板片22上夾著殘留部分30b設(shè)置前方的剝離部分30aa和后方的剝離部 分30ab (參照?qǐng)D2)。接下來，感光性板片22被輸送到標(biāo)簽粘接機(jī)構(gòu)40，保護(hù)膜30的規(guī)定 貼合部位配置在支承臺(tái)56上。在標(biāo)簽粘接機(jī)構(gòu)40中，利用吸附襯墊 54a 54g吸附保持規(guī)定張數(shù)的粘接標(biāo)簽38，各粘接標(biāo)簽38橫跨保護(hù)膜30 的殘留部分30b，與前方的剝離部分30aa和后方的剝離部分30ab粘接成 一體(參照?qǐng)D3)。粘接了例如7張粘接標(biāo)簽38的感光性板片22如圖1所示，經(jīng)由貯存 機(jī)構(gòu)42在防止輸出側(cè)的張力變動(dòng)之后向剝離機(jī)構(gòu)44連續(xù)輸送。在剝離機(jī) 構(gòu)44中，感光性板片22的基體薄膜26被吸入筒62吸附保持，同時(shí)保護(hù) 膜30保留殘留部分30b從所述感光性板片22被剝離。該保護(hù)膜30經(jīng)由 剝離輥63以銳角的剝離角被剝離，并纏繞在保護(hù)膜巻繞部64。在剝離機(jī)構(gòu)44的作用下，保護(hù)膜30保留殘留部分30b從基體薄膜26 上剝離后，感光性板片22經(jīng)由張力控制機(jī)構(gòu)66進(jìn)行張力調(diào)整，再經(jīng)檢測(cè) 機(jī)構(gòu)47利用光電傳感器72進(jìn)行半切部位34的檢測(cè)。根據(jù)半切部位34的檢測(cè)信息，在膜輸送輥128a的旋轉(zhuǎn)作用下，感光 性板片22被定量地向?qū)訅貉b置46輸送。那時(shí)，防止接觸輥126在上方待 機(jī)，同時(shí)橡膠輥120b配置在下方。另一方面，加熱裝置45對(duì)應(yīng)于層壓裝置46中的層壓溫度來設(shè)定第一 及第二加熱機(jī)構(gòu)76、 78內(nèi)的加熱溫度。例如，若層壓溫度為ll(TC，則經(jīng) 由第一及第二紅外線加熱器90a、 90b將第一及第二加熱機(jī)構(gòu)76、 78內(nèi)的 加熱溫度設(shè)定在12(TC左右。于是，機(jī)器人114把持收容在基板儲(chǔ)料器110中的玻璃基板24，將該 玻璃基板24運(yùn)入第一加熱機(jī)構(gòu)76中。在第一加熱機(jī)構(gòu)76內(nèi)，如圖4所 示，在第一紅外線加熱器90a的加熱作用下，玻璃基板24被升溫后，經(jīng) 由輸送機(jī)構(gòu)74將所述玻璃基板24向第二加熱機(jī)構(gòu)78進(jìn)給。在第二加熱機(jī)構(gòu)78內(nèi)，經(jīng)由第二紅外線加熱器90b加熱玻璃基板24， 該玻璃基板24以利用第三紅外線加熱器90c維持在規(guī)定溫度的狀態(tài)經(jīng)由 進(jìn)給機(jī)構(gòu)92向?qū)訅貉b置46進(jìn)給。層壓裝置46中，玻璃基板24對(duì)應(yīng)于感 光性板片22的感光性樹脂層28的貼合部分暫時(shí)配置在橡膠輥120a、 120b 之間。在此狀態(tài)下，經(jīng)由輥夾緊部124將支承輥122b及橡膠輥120b上升， 從而玻璃基板24以規(guī)定的沖壓壓力被夾入橡膠輥120a、 120b之間。再有， 在橡膠輥120a的旋轉(zhuǎn)作用下，在該玻璃基板24上利用加熱熔融轉(zhuǎn)印(層 壓)感光性樹脂層28。在此，作為層壓條件，速度為1.0m/min 10.0m/min、橡膠輥120a、 120b 的溫度為80。C 150。C、所述橡膠輥120a、 120b的橡膠硬度為40度~90度， 該橡膠輥120a、 120b的沖壓(線壓)為50N/cm 400N/cm。若結(jié)束了經(jīng)由橡膠輥120a、 120b在玻璃基板24上層壓一張感光性板 片22，則所述橡膠輥120a的旋轉(zhuǎn)停止，另一方面，層壓了所述感光性板 片22的所述玻璃基板24、即貼合基板24a由基板輸送輥128b夾緊。并且，橡膠輥120b向從橡膠輥120a間隔開的方向退避，解除夾緊， 同時(shí)開始基板輸送輥128b的旋轉(zhuǎn)，貼合基板24a沿箭頭C方向定量輸送， 感光性板片22的基板間位置移動(dòng)到橡膠輥120a下方附近的規(guī)定扭置。另 一方面，經(jīng)由加熱裝置45將下一個(gè)玻璃基板24向貼合位置輸送。
若該下一個(gè)玻璃基板24的前端配置在橡膠輥120a、 120b間，則所述 橡膠輥120b上升，利用所述橡膠輥120a、 120b夾緊所述下一個(gè)玻璃基板 24和感光性板片22。并且，在橡膠輥120a、 120b及基板輸送輥128b的 旋轉(zhuǎn)作用下，開始層壓，同時(shí)，貼合基板24a向箭頭C方向輸送。貼合基板24a沿箭頭C方向定量輸送，經(jīng)由基板間板片切斷機(jī)構(gòu)48 切斷玻璃基板24間的感光性板片22后，通過冷卻機(jī)構(gòu)130進(jìn)行冷卻，再 移送到基體剝離機(jī)構(gòu)132。該基體剝離機(jī)構(gòu)132中，在貼合基板24a被吸 附保持在吸附襯墊134上的狀態(tài)下，經(jīng)由機(jī)器手136剝離基體薄膜26及 殘留部分30b，獲得感光性層疊體140。那時(shí)，在吸附襯墊134的上游、下游及兩側(cè)方從4個(gè)方向的側(cè)面向貼 合基板24a的層壓部分整體噴射除電空氣。還有，感光性層疊體140由機(jī) 器人142的手部142a保持，向感光性層疊體儲(chǔ)料器146中收容規(guī)定數(shù)量。這種情況下，第一實(shí)施方式中，如圖4所示，在加熱裝置45和層壓 裝置46之間，玻璃基板24經(jīng)由構(gòu)成進(jìn)給機(jī)構(gòu)92的輸送輥80a被輸送到 所述層壓裝置46的貼合處理位置，同時(shí)經(jīng)由第三紅外線加熱器卯c在規(guī) 定的加熱溫度下保溫到所述貼合處理位置附近。從而，能夠有效地防止玻璃基板24在加熱裝置45和層壓裝置46的 過渡部分上的溫度降低，同時(shí)能夠提高所述玻璃基板24的面內(nèi)溫度均勻 性。從而，能夠盡可能地阻止向感光性板片22和玻璃基板24之間巻入氣 泡和所述感光性板片22發(fā)生褶皺等，能夠良好且可靠地維持貼合基板24a 的層壓品質(zhì)。另外，在構(gòu)成第二加熱機(jī)構(gòu)78的主體部78a的箭頭C方向前端面設(shè) 置進(jìn)給機(jī)構(gòu)92，所述進(jìn)給機(jī)構(gòu)92接近層壓裝置46配置。從而，即使是采用特別薄壁且大型的玻璃基板24之際，也能夠可靠 地保持該玻璃基板24的輸送方向前端側(cè)，能夠在構(gòu)成層壓裝置46的橡膠 輥120a、 120b之間順暢且可靠地輸送所述玻璃基板24。再有，在進(jìn)行層壓裝置46的維修作業(yè)等之際，如以下，第一加熱機(jī) 構(gòu)76及第二加熱機(jī)構(gòu)78進(jìn)行后退動(dòng)作。即、第一加熱機(jī)構(gòu)76中，主體 部76a沿著第一導(dǎo)軌86向箭頭Cl方向移動(dòng)規(guī)定距離Ll，同時(shí)構(gòu)成第二
加熱機(jī)構(gòu)78的主體部78a同樣沿著第三導(dǎo)軌104向箭頭Cl方向移動(dòng)規(guī)定 距離L1。在此，第一加熱機(jī)構(gòu)76及第二加熱機(jī)構(gòu)78被施行聯(lián)鎖以阻止 向箭頭C方向移動(dòng)。接下來，在第二加熱機(jī)構(gòu)78中，主體部78a與可動(dòng)臺(tái)102—體沿著 第二導(dǎo)軌100向箭頭D方向(參照?qǐng)D5)移動(dòng)規(guī)定距離L2，施行聯(lián)鎖。從而，層壓裝置46中，在加熱裝置45側(cè)形成用于維修作業(yè)的空間， 作業(yè)者能夠使用該空間進(jìn)行構(gòu)成層壓裝置46的橡膠輥120a、 120b的清掃 和更換等維修作業(yè)。還有，第一實(shí)施方式中，玻璃基板24進(jìn)行基于間歇進(jìn)給的所謂分批 輸送，不過并不限定于此，也能夠適用于連續(xù)輸送所述玻璃基板24的構(gòu) 成。圖6是本發(fā)明的第二實(shí)施方式的感光性層疊體的制造系統(tǒng)170的主要 部分說明圖。還有，對(duì)于與第一實(shí)施方式的制造系統(tǒng)20相同的構(gòu)成要素 附以相同參照符號(hào)，其詳細(xì)的說明省略。另外，以下說明的第三實(shí)施方式 也同樣，省略其詳細(xì)說明。制造系統(tǒng)170具備加熱裝置172和層壓裝置46。加熱裝置172具備沿 著輸送機(jī)構(gòu)74的輸送方向配置的至少第一加熱機(jī)構(gòu)174及第二加熱機(jī)構(gòu) 176。構(gòu)成第一加熱機(jī)構(gòu)174的主體部174a固定在基臺(tái)82上，同時(shí)構(gòu)成 第二加熱機(jī)構(gòu)176的主體部176a固定在所述基臺(tái)82上。該第二實(shí)施方式，除了特別是在不需要從加熱裝置172側(cè)進(jìn)行的層壓 裝置46維修作業(yè)之際能夠良好地適用以外，能夠獲得與上述第一實(shí)施方 式同樣的效果。圖7是本發(fā)明的第三實(shí)施方式的感光性層疊體的制造系統(tǒng)190的主要 部分說明圖。制造系統(tǒng)190具備加熱裝置45和層壓裝置192。層壓裝置192設(shè)有底 座構(gòu)件194，在該底座構(gòu)件194上配置支承臺(tái)196。在該支承臺(tái)196上支 承著框體198，同時(shí)，在所述框體198內(nèi)設(shè)置多個(gè)輸送輥80a及第三紅外 線加熱器90c。如此構(gòu)成的第三實(shí)施方式中，收容輸送輥80a及第三紅外線加熱器 90c的框體198經(jīng)由支承臺(tái)196安裝在層壓裝置192偵ij。因而，除了有效 地簡(jiǎn)化加熱裝置45側(cè)的構(gòu)成以外，能夠獲得與上述第一實(shí)施方式同樣的 效果。還有，第三實(shí)施方式中，采用了加熱裝置45，不過也可以取代它而采 用加熱裝置172。另外，使用了第二加熱機(jī)構(gòu)178，另一方面也可以取代 第一加熱機(jī)構(gòu)76而采用第一加熱機(jī)構(gòu)174。
權(quán)利要求
1. 一種感光性層疊體的制造系統(tǒng)，具備將基板(24)預(yù)先加熱到規(guī)定溫度的加熱裝置(45)和在加熱到規(guī)定溫度的所述基板(24)上貼合感光性板片(22)的層壓裝置(46)，所述感光性層疊體的制造系統(tǒng)的特征在于，在所述加熱裝置(45)和所述層壓裝置(46)之間配置進(jìn)給機(jī)構(gòu)(92)和保溫機(jī)構(gòu)(90c)，所述進(jìn)給機(jī)構(gòu)(92)用于將所述基板(24)向所述層壓裝置(46)的貼合處理位置輸送；所述保溫機(jī)構(gòu)(90c)用于將加熱到規(guī)定溫度的所述基板(24)保溫，直至所述貼合處理位置附近。
2. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的感光性層疊體的制造系統(tǒng)，其特征在于， 所述加熱裝置(45)具備用于輸送所述基板(24)的輸送機(jī)構(gòu)(74)和沿著所述輸送機(jī)構(gòu)(74)的輸送方向配置的多個(gè)加熱機(jī)構(gòu)(78)，并且， 在與所述層壓裝置(46)鄰接的配置在輸送方向最下游的所述加熱機(jī) 構(gòu)(78)裝設(shè)所述進(jìn)給機(jī)構(gòu)(92)及所述保溫機(jī)構(gòu)(90c)。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的感光性層疊體的制造系統(tǒng)，其特征在于， 所述加熱機(jī)構(gòu)(78)收容所述輸送機(jī)構(gòu)(74)及加熱源(90b)，并且具備安裝所述進(jìn)給機(jī)構(gòu)(92)及所述保溫機(jī)構(gòu)(90c)的主體部(78a)和 能夠使所述主體部(78a)相對(duì)于所述層壓裝置(46)移動(dòng)的退避機(jī)構(gòu)(94)。
4. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的感光性層疊體的制造系統(tǒng)，其特征在于， 所述退避機(jī)構(gòu)(94)能夠使所述主體部(78a)沿著接近及遠(yuǎn)離所述層壓裝置(46)的第一方向和與所述第一方向交叉的第二方向移動(dòng)。
5. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的感光性層疊體的制造系統(tǒng)，其特征在于， 所述進(jìn)給機(jī)構(gòu)(92)及所述保溫機(jī)構(gòu)(90c)裝在所述層壓裝置(192)上。
6. 根據(jù)權(quán)利要求1 5中任意一項(xiàng)所述的感光性層疊體的制造系統(tǒng)，其 特征在于，所述保溫機(jī)構(gòu)具備加熱器(90c)。
全文摘要
本發(fā)明的感光性層疊體的制造系統(tǒng)(20)，具備加熱裝置(45)和層壓裝置(46)。構(gòu)成加熱裝置(45)的第二加熱機(jī)構(gòu)(78)在主體部(78a)上固定框體(96)，同時(shí)在所述框體(96)內(nèi)配置延伸到層壓裝置(46)附近、用于將玻璃基板(24)向所述層壓裝置(46)的貼合處理位置輸送的進(jìn)給機(jī)構(gòu)(92)和用于在規(guī)定溫度下保溫所述玻璃基板(24)直到所述貼合處理位置附近的第三紅外線加熱器(90c)。進(jìn)給機(jī)構(gòu)(92)具備多個(gè)輸送輥(80a)。
文檔編號(hào)B32B37/06GK101396896SQ200810161079
公開日2009年4月1日 申請(qǐng)日期2008年9月26日 優(yōu)先權(quán)日2007年9月27日
發(fā)明者中澤直子, 遠(yuǎn)藤惠介 申請(qǐng)人:富士膠片株式會(huì)社