專利名稱：感光性層疊體的制造裝置及制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種感光性層疊體的制造裝置及制造方法，其是將基板和 在支承體上設(shè)置感光材料層的長條狀感光性板片向一對壓接輥間輸出，將 所述感光材料層貼合在所述基板上從而制造感光性層疊體。
背景技術(shù)：
例如，液晶面板用基板、印制布線用基板和PDP用基板通過將具有 感光性樹脂層(感光材料層)的感光性片體(感光性板片)貼合在基板表 面上而構(gòu)成。感光性片體是在例如可撓性塑料支承體上依次層疊感光性樹 脂層和保護(hù)膜。這種感光性片體的貼合所使用的制造裝置通常采用的方式是將玻璃 基板和樹脂基板等基板每隔規(guī)定間隔地向?qū)訅狠侀g輸送，同時(shí)，將與貼合 在所述基板上的感光性樹脂層的范圍相對應(yīng)的保護(hù)膜剝離，將剝離了保護(hù) 膜的感光性片體向所述層壓輥間輸送。利用層壓輥將感光性片貼合在基板 上之后，將支承體從感光性樹脂層剝離，由此制造要求的感光性層疊體(參 照特開2002—234667號公報(bào))。圖12及圖13是利用層壓輥將感光性片體4貼合在基板2的狀態(tài)的感 光性層疊體的剖視圖及俯視圖。感光性片體4的狀態(tài)是在剝離保護(hù)膜6的 剝離部分的兩端部形成切開到感光性樹脂層8的加工部位10a、 10b，在這 些加工部位10a、 10b間的保護(hù)膜6被剝離的狀態(tài)下將感光性樹脂層8貼 合在基板2上。這種情況下，如圖13所示，將從基板2的兩端部溢出的 保護(hù)膜6的殘留部分與支承體12 —起沿箭頭方向剝離，從而在只將加工 部位10a、 10b間的感光性樹脂層8殘留在基板2的狀態(tài)下剝離支承體12，能夠獲得要求的感光體層疊體。然而，感光性片體4利用層壓輥加熱壓接在基板2上，若那時(shí)熔融的部分從加工部位10a、 10b流入到保護(hù)膜6和基板2 之間，則產(chǎn)生保護(hù)膜6經(jīng)由感光性樹脂層8貼合在基板2上的情況。這種 情況下，無法將保護(hù)膜6的殘留部分與支承體12 —起適當(dāng)剝離。另外，若產(chǎn)生這樣的情況，則不僅制造出不合格品的感光性層疊體， 而且殘留的保護(hù)膜6還降低了基板2等的定位精度，有時(shí)還有可能破壞基 板2。再有，若殘留的保護(hù)膜6脫落，則在制造感光性層疊體的凈室內(nèi)產(chǎn) 生塵埃。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明目的在于提供一種感光性層疊體的制造裝置及制造方法，其是 通過檢查保護(hù)膜的剝離狀態(tài)，從而能夠事前避免在剝離后的工序中發(fā)生故 障，同時(shí)能夠制造高品質(zhì)的感光性層疊體。本發(fā)明的感光性層疊體的制造裝置，其將在支承體上依次層疊感光材 料層和保護(hù)膜而成的長條狀感光性板片輸出，將與所述保護(hù)膜的剝離部分 和殘留部分的邊界位置對應(yīng)的加工部位形成在從所述保護(hù)膜直到所述感 光材料層的部分，剝離了所述保護(hù)膜的所述剝離部分之后，將以規(guī)定間隔 供給的基板和所述長條狀感光性板片一起向加熱了的一對壓接輥間連續(xù) 輸出，在所述基板間配置所述保護(hù)膜的所述殘留部分，同時(shí)將所述剝離部 分的所述感光材料層貼合在所述基板上，接下來，將所述支承體與所述殘 留部分的所述保護(hù)膜一起剝離，由此制造在所述基板上貼合有所述感光材 料層的感光性層疊體，所述感光性層疊體的制造裝置的特征在于，具備對所制造的所述感光 性層疊體上的所述保護(hù)膜的剝離狀態(tài)進(jìn)行檢查的剝離狀態(tài)檢查部，所述剝離狀態(tài)檢査部包括剝離狀態(tài)檢測傳感器，其對與所述支承體一起從所述基板剝離的所述 保護(hù)膜相對于所述感光性層疊體的剝離狀態(tài)進(jìn)行檢測，移動機(jī)構(gòu)，其使所述剝離狀態(tài)檢測傳感器沿著所述保護(hù)膜的所述加工 部位移動，剝離狀態(tài)判定部，其根據(jù)所述剝離狀態(tài)檢測傳感器對所述剝離狀態(tài)的
檢測結(jié)果，判定所述保護(hù)膜的剝離狀態(tài)。另外，本發(fā)明的感光性層疊體的制造方法，將在支承體上依次層疊感 光材料層和保護(hù)膜而成的長條狀感光性板片輸出，將與所述保護(hù)膜的剝離 部分和殘留部分的邊界位置對應(yīng)的加工部位形成在從所述保護(hù)膜直到所 述感光材料層的部分，剝離了所述保護(hù)膜的所述剝離部分之后，將以規(guī)定 間隔供給的基板和所述長條狀感光性板片一起向加熱了的一對壓接輥間 連續(xù)輸出，在所述基板間配置所述保護(hù)膜的所述殘留部分，同時(shí)將所述剝 離部分的所述感光材料層貼合在所述基板上，接下來，將所述支承體與所 述殘留部分的所述保護(hù)膜一起剝離，由此制造在所述基板上貼合有所述感 光材料層的感光性層疊體，所述感光性層疊體的制造方法的特征在于，包括以下步驟使剝離狀態(tài)傳感器沿著所述保護(hù)膜的所述加工部位移動，對與所述支 承體一起從所述基板剝離的所述保護(hù)膜相對于所述感光性層疊體的剝離 狀態(tài)進(jìn)行檢測的步驟；根據(jù)所述剝離狀態(tài)檢測傳感器對所述剝離狀態(tài)的檢測結(jié)果，判定所述 保護(hù)膜的剝離狀態(tài)的步驟。本發(fā)明中，將保護(hù)膜和支承體一起從基板剝離后，通過檢查保護(hù)膜的 剝離狀態(tài)，從而能夠事前避免在剝離后的工序中由于保護(hù)膜殘留而可能發(fā) 生的故障。另外，通過確認(rèn)了保護(hù)膜完全剝離并進(jìn)行后工序中的處理，從 而能夠避免由于殘留的保護(hù)膜或作業(yè)中保護(hù)膜脫落等而造成的故障，能夠 制造高品質(zhì)的感光性層疊體。通過附圖和以下最佳實(shí)施方式例的聯(lián)合說明，更進(jìn)一步明確上述目 的、特征及優(yōu)點(diǎn)。


圖1是本實(shí)施方式的制造裝置的概略構(gòu)成圖。圖2是本實(shí)施方式的制造裝置中所使用的長條狀感光性板片的剖視圖。圖3是在長條狀感光性板片上粘接了粘接標(biāo)簽的狀態(tài)的說明圖。
圖4是剝離狀態(tài)檢査部的構(gòu)成圖。圖5是剝離狀態(tài)檢查部的控制電路圖。 圖6是剝離狀態(tài)的檢查處理的流程圖。 圖7是處于正常剝離狀態(tài)的感光性層疊體的說明圖。 圖8是可撓性基體薄膜沒有被剝離的不良狀態(tài)的說明圖。 圖9是殘留有一部分保護(hù)膜的不良狀態(tài)的說明圖。 圖IO是殘留有一部分保護(hù)膜的不良狀態(tài)的說明圖。 圖11是其他實(shí)施方式的制造裝置的概略構(gòu)成圖。 圖12是現(xiàn)有技術(shù)中在基板上貼合了感光性片體的狀態(tài)的感光性層疊 體的剖視圖。圖13是現(xiàn)有技術(shù)中在基板上貼合了感光性片體的狀態(tài)的感光性層疊 體的俯視圖。具體實(shí)施方式

圖1是本實(shí)施方式的感光性層疊體的制造裝置20的概略構(gòu)成圖，該 制造裝置20在液晶或有機(jī)EL用彩色濾波器的制作過程中，進(jìn)行的作業(yè)是 將由規(guī)定寬度尺寸構(gòu)成的長條狀感光性板片22的感光性樹脂層28(后述) 熱轉(zhuǎn)印(層壓)到玻璃基板24上。圖2是制造裝置20中使用的長條狀感光性板片22的剖視圖。該長條 狀感光性板片22是將可撓性基體薄膜(支承體)26、感光性樹脂層(感 光材料層)28和保護(hù)膜30層疊而構(gòu)成。如圖1所示，制造裝置20包括輸出機(jī)構(gòu)32，其收容將長條狀感光 性板片22巻繞成輥狀的感光性板片輥23、并可從感光性板片輥23輸出所 述長條狀感光性板片22;加工機(jī)構(gòu)36，其在輸出的長條狀感光性板片22 的保護(hù)膜30及感光性樹脂層28的寬度方向上形成能夠切斷的2處邊界部 分即半切部位(加工部位)34a、 34b (參照圖2);標(biāo)簽粘接機(jī)構(gòu)40，其 將一部分具有非粘接部38a的粘接標(biāo)簽38 (參照圖3)粘接到保護(hù)膜30 上。在標(biāo)簽粘接機(jī)構(gòu)40的下游，配置有用以將長條狀感光性板片22從間
歇進(jìn)給變成連續(xù)進(jìn)給的貯存機(jī)器42、從長條狀感光性板片22以規(guī)定長度 間隔剝離保護(hù)膜30的剝離機(jī)構(gòu)44、將玻璃基板24以加熱到規(guī)定溫度的狀 態(tài)向貼合位置供給的基板供給機(jī)構(gòu)45和將由于所述保護(hù)膜30的剝離而露 出的感光性樹脂層28 —體貼合在所述玻璃基板24上的貼合機(jī)構(gòu)46。在貼合機(jī)構(gòu)46上的貼合位置的上游附近，配置攝影部47，其拍攝包 括半切部位34a、 34b在內(nèi)的長條狀感光性板片22的圖像。制造裝置20 根據(jù)由攝影部47拍攝的半切部位34a、 34b的圖像，計(jì)算半切部位34a、 34b相對于貼合機(jī)構(gòu)46的位置偏離量，進(jìn)行長條狀感光性板片22的進(jìn)給 量的修正。在板片輸出機(jī)構(gòu)32的下游附近，配置將大致使用完的長條狀感光性 板片22的后端和新使用的長條狀感光性板片22的前端貼合在一起的貼合 臺49。在貼合臺49的下游配置薄膜末端位置檢測器51，用來控制由于感 光性板片輥23的巻繞偏離而造成的寬度方向的偏離。在此，薄膜末端位 置調(diào)整通過將板片輸出機(jī)構(gòu)32沿寬度方向移動來進(jìn)行，不過也可以通過 附設(shè)組合了輥的位置調(diào)整機(jī)構(gòu)來進(jìn)行。加工機(jī)構(gòu)36配置在輥對50的下游，輥對50用來計(jì)算收容巻繞在板 片輸出機(jī)構(gòu)32中的感光性板片輥23的輥直徑。加工機(jī)構(gòu)36具備間隔幵 距離M(圖2)的一對圓形刀片52a、 52b。圓形刀片52a、 52b沿長條狀 感光性板片22寬度方向移動，在夾著保護(hù)膜30的殘留部分30b的2處規(guī) 定位置形成半切部位34a、 34b。還有，殘留部分30b前后的保護(hù)膜30是 保護(hù)膜30要剝離的剝離部分30a。如圖2所示，半切部位34a、 34b必須至少切斷保護(hù)膜30及感光性樹 脂層28，實(shí)際上是設(shè)定圓形刀片52a、 52b的切入深度足以切入到可撓性 基體薄膜26。圓形刀片52a、 52b可以采用以不旋轉(zhuǎn)而固定的狀態(tài)、沿長 條狀感光性板片22的寬度方向移動、形成半切部位34a、 34b的方式和一 面在所述長條狀感光性板片22上無滑動地旋轉(zhuǎn)、 一面沿所述寬度方向移 動、形成所述半切部位34a、 34b的方式。該半切部位34a、 34b可以不采 用圓形刀片52a、 52b，除了例如激光和超聲波等切割方式以外，還可以采 用小刀片、推進(jìn)刀片(湯普森刀片)等形成的方式。
半切部位34a、34b的設(shè)定是在將感光性樹脂層28貼合在玻璃基板24 上之際、例如從所述玻璃基板24的兩端部分別向內(nèi)側(cè)深入各10mm的位 置。還有，玻璃基板24間的保護(hù)膜30的殘留部分30b作為在后述的貼合 機(jī)構(gòu)46中將感光性樹脂層28呈框狀貼合在所述玻璃基板24上之際的掩 膜發(fā)揮作用。標(biāo)簽粘接機(jī)構(gòu)40是為了與玻璃基板24間對應(yīng)地保留保護(hù)膜30的殘 留部分30b，而供給將半切部位34b側(cè)的剝離部分30a和半切部位34a側(cè) 的剝離部分30a連結(jié)的粘接標(biāo)簽38。如圖3所示，粘接標(biāo)簽38呈長方形構(gòu)成，由例如與保護(hù)膜30相同的 樹脂材料形成。粘接標(biāo)簽38在中央部具有沒有涂布粘接劑的非粘接部(包 括微粘接)38a，同時(shí)在該非粘接部38a兩側(cè)、即所述粘接標(biāo)簽38的縱向 兩端部，具有與前方的剝離部分30a粘接的第一粘接部38b和與后方的剝 離部分30a粘接的第二粘接部38c。如圖1所示，標(biāo)簽粘接機(jī)構(gòu)40具備能夠每隔規(guī)定間隔地貼合最多7 張粘接標(biāo)簽38的吸附襯墊54a 54g，同時(shí)，在基于所述吸附襯墊54a 54g 形成的所述粘接標(biāo)簽38的貼合位置，升降自如地配置用以從下方保持長 條狀感光性板片22的支承臺56。貯存機(jī)構(gòu)42具備沿箭頭方向擺動自如的浮輥60，其是用來吸收上游 側(cè)的長條狀感光性板片22的間歇輸送和下游側(cè)的所述長條狀感光性板片 22的連續(xù)輸送之間的速度差。配置在貯存機(jī)構(gòu)42下游的剝離機(jī)構(gòu)44具備吸入筒62，其是用來阻斷 長條狀感光性板片22的輸出側(cè)的張力變動，穩(wěn)定層壓時(shí)的張力。在吸入 筒62的附近配置剝離輥63，同時(shí)經(jīng)由該剝離輥63從長條狀感光性板片 22以銳角的剝離角剝離保護(hù)膜30，除殘留部分30b以外，纏繞在保護(hù)膜 巻繞部64上。在剝離機(jī)構(gòu)44的下游側(cè)配置有能夠向長條狀感光性板片22施與張力 的張力控制機(jī)構(gòu)66。張力控制機(jī)構(gòu)66在汽缸68的驅(qū)動作用下使張力調(diào)節(jié) 器70擺動變位，從而能夠調(diào)整長條狀感光性板片22的張力。還有，張力 控制機(jī)構(gòu)66可以根據(jù)需要進(jìn)行使用，也可以刪除。
基板供給機(jī)構(gòu)45包括夾持著玻璃基板24而配置的基板加熱部(例 如，加熱器)74、沿箭頭Y方向輸送該玻璃基板24的輸送部76和檢測玻 璃基板24后端部停止位置的停止位置檢測傳感器78?；寮訜岵?4始終 監(jiān)控玻璃基板24的溫度，發(fā)現(xiàn)異常時(shí)，停止輸送部76或發(fā)出警報(bào)，同時(shí) 發(fā)送異常信息，利用后續(xù)工序?qū)惓５牟ＡЩ?4活用于NG排出、質(zhì) 量管理及生產(chǎn)管理等。輸送部76配置有沒有圖示的空氣懸浮板，玻璃基 板24被懸浮著沿箭頭Y方向輸送。玻璃基板24的輸送也可用輥輸送機(jī)進(jìn) 行。玻璃基板24的溫度測定優(yōu)選是在基板加熱部74內(nèi)或者貼合位置緊前 方進(jìn)行。作為測定方法，除了接觸式(例如、熱電偶)以外，還可以采用 非接觸式。貼合機(jī)構(gòu)46具備上下配置、并且加熱到規(guī)定溫度的橡膠輥(壓接輥) 80a、 80b。在橡膠輥80a、 80b上滑動接觸著支承輥82a、 82b。 一個(gè)支承 輥82b被構(gòu)成輥夾緊部83的加壓汽缸84向橡膠輥80b側(cè)按壓。玻璃基板24利用多個(gè)基板輸送輥90a 90d輸送，多個(gè)基板輸送輥 90a 90d構(gòu)成從貼合機(jī)構(gòu)46向箭頭Y方向延伸的輸送路。在基板輸送輥 90b、 90c間配置切割機(jī)構(gòu)48，其是通過切斷玻璃基板24間的長條狀感光 性板片22，從而將在玻璃基板24上貼合有感光材料層的感光性層疊體24a 分離。在基板輸送輥卯d的下游側(cè)配置以層疊狀態(tài)儲存多個(gè)感光性層疊體 24a的儲存器94，利用機(jī)器人96向該儲存器94中移放由切割機(jī)構(gòu)48分 離開的感光性層疊體24a。與儲存器94相鄰配置剝離部98，剝離部98將 殘留在感光性層疊體24a上的可撓性基體薄膜26與保護(hù)膜30的殘留部分 30b —起剝離。剝離部98具有吸附保持玻璃基板24的吸盤102和從貼合 在利用吸盤102保持的玻璃基板24上的感光性樹脂層28剝離可撓性基體 薄膜26的夾鉗100。接著剝離部98配置剝離狀態(tài)檢查部104，其是對剝離了可撓性基體薄 膜26的感光性層疊體24b上的保護(hù)膜30的剝離狀態(tài)進(jìn)行檢査。圖4表示剝離狀態(tài)檢查部104的構(gòu)成。剝離狀態(tài)檢查部104具備升降
機(jī)106，其是從玻璃基板24側(cè)支承感光性層疊體24b并將其沿箭頭Z方 向升降；檢測部108a、 108b，其是配置在依靠升降機(jī)106移動到了上升端 的感光性層疊體24b的前后(相對于感光性層疊體24b的輸送方向即箭頭 Y方向的前后)，檢測保護(hù)膜30的剝離狀態(tài)。檢測部108a、 108b具備在沿著與箭頭Y方向正交的方向延伸的基臺 110a、 110b上配置的導(dǎo)軌112a、 112b和沿著導(dǎo)軌112a、 112b移動的檢查 頭114a、 114b。檢查頭114a、 114b具有支架116a、 116b，其是由圍繞著 有可能殘留在感光性層疊體24b兩端部的保護(hù)膜30的殘留部分30b的形 狀構(gòu)成，在支架116a、 116b的上部配置具備多個(gè)半導(dǎo)體激光器的半導(dǎo)體 激光單元118a、 118b，在支架116a、 116b的下部與半導(dǎo)體激光單元118a、 118b對置地配置接受激光束的多個(gè)受光元件120a、 120b。這種情況下，導(dǎo)軌112a、 112b及檢查頭114a、 114b構(gòu)成移動機(jī)構(gòu)， 受光元件120a、 120b構(gòu)成剝離狀態(tài)檢測傳感器。還有，在如以上構(gòu)成的制造裝置20中，板片輸出機(jī)構(gòu)32、加工機(jī)構(gòu) 36、標(biāo)簽粘接機(jī)構(gòu)40、貯存機(jī)構(gòu)42、剝離機(jī)構(gòu)44、張力控制機(jī)構(gòu)66還有 攝影部47配置在貼合機(jī)構(gòu)46的上方，不過，與此相反，也可以形成以下 構(gòu)成，即將所述板片輸出機(jī)構(gòu)32到所述攝影部47配置在所述貼合機(jī)構(gòu)46 的下方，長條狀感光性板片22上下顛倒，將感光性樹脂層28貼合在玻璃 基板24下側(cè)，另外也可以將長條狀感光性板片22的輸送路呈直線狀構(gòu)成。制造裝置20內(nèi)經(jīng)由隔壁122被分隔為第一凈室124a和第二凈室 124b。第一凈室124a中收容板片輸出機(jī)構(gòu)32到張力控制機(jī)構(gòu)66，第二凈 室124b中收容攝影部47以后的機(jī)構(gòu)。第一凈室124a和第二凈室124b經(jīng) 由貫通部126連通。圖5表示剝離狀態(tài)檢査部104的控制電路模塊。剝離狀態(tài)檢査部104 具有控制部130，其是控制半導(dǎo)體激光單元118a、 118b，同時(shí)計(jì)算由受光 元件120a、 120b接受的激光束的光量信息，向剝離狀態(tài)判定部128供給。 另外，控制部130控制升降機(jī)驅(qū)動部132，驅(qū)動升降機(jī)升降馬達(dá)134，使 升降機(jī)136升降，同時(shí)控制檢查頭驅(qū)動部136，驅(qū)動頭驅(qū)動馬達(dá)138，使 檢查頭114a、 114b沿著導(dǎo)軌112a、 112b向箭頭W方向移動。剝離狀態(tài)判
定部128根據(jù)計(jì)算的激光束的光量信息，判定保護(hù)膜30從玻璃基板24的 剝離狀態(tài)，在判定結(jié)果顯示部140顯示其判定結(jié)果。接下來，關(guān)于如以上構(gòu)成的制造裝置20的動作，聯(lián)系本發(fā)明的制造 方法進(jìn)行說明。首先，從安裝在板片輸出機(jī)構(gòu)32上的感光性板片輥23輸出長條狀感 光性板片22。長條狀感光性板片22被輸送到加工機(jī)構(gòu)36。在加工機(jī)構(gòu)36中，圓形刀片52a、 52b沿著長條狀感光性板片22的 寬度方向移動，將所述長條狀感光性板片22從保護(hù)膜30切入到感光性樹 脂層28乃至可撓性基體薄膜26，形成以保護(hù)膜30的殘留部分30b的寬度 M這樣間隔開的半切部位34a、 34b (參照圖2)。從而，在長條狀感光性 板片22上夾著殘留部分30b設(shè)置前方的剝離部分30a和后方的剝離部分 30a (參照圖2)。還有，殘留部分30b的寬度M的設(shè)定是以長條狀感光性板片22不延 伸為前提，以向貼合機(jī)構(gòu)46的橡膠輥80a、 80b間供給的玻璃基板24間 的距離為基準(zhǔn)。另外，以寬度M形成的一組半切部位34a、 34b，以貼合 在玻璃基板24上的感光性樹脂層28的基準(zhǔn)長度的間隔形成在長條狀感光 性板片22上。接下來，長條狀感光性板片22被輸送到標(biāo)簽粘接機(jī)構(gòu)40，保護(hù)膜30 的規(guī)定貼合部位配置在支承臺56上。在標(biāo)簽粘接機(jī)構(gòu)40中，利用吸附襯 墊54b 54g吸附保持規(guī)定張數(shù)的粘接標(biāo)簽38，各粘接標(biāo)簽38橫跨保護(hù)膜 30的殘留部分30b，與前方的剝離部分30a和后方的剝離部分30a粘接成 一體(參照圖3)。粘接了例如7張粘接標(biāo)簽38的長條狀感光性板片22如圖1所示，經(jīng) 由貯存機(jī)構(gòu)42在防止輸出側(cè)的張力變動之后向剝離機(jī)構(gòu)44連續(xù)輸送。在 剝離機(jī)構(gòu)44中，長條狀感光性板片22的可撓性基體薄膜26被吸入筒62 吸附保持，同時(shí)保護(hù)膜30保留殘留部分30b從所述長條狀感光性板片22 被剝離。該保護(hù)膜30經(jīng)由剝離輥63被剝離，并纏繞在保護(hù)膜巻繞部64 (參照圖l)。在剝離機(jī)構(gòu)44的作用下，保護(hù)膜30保留殘留部分30b從岢撓性基體
薄膜26上剝離后，長條狀感光性板片22經(jīng)由張力控制機(jī)構(gòu)66進(jìn)行張力 調(diào)整，接下來，攝影部47以規(guī)定的攝影定時(shí)拍攝包含半切部位34a、 34b 在內(nèi)的長條狀感光性板片22的圖像。通過了攝影部47的長條狀感光性板片22被輸送到貼合機(jī)構(gòu)46，從而 進(jìn)行感光性樹脂層28相對于玻璃基板24的轉(zhuǎn)印處理(層壓)。這種情況 下，根據(jù)由攝影部47拍攝的半切部位34a、 34b的圖像，調(diào)整貼合機(jī)構(gòu)46 上的半切部位34a、 34b的位置。貼合機(jī)構(gòu)46中，在當(dāng)初、橡膠輥80a、 80b被設(shè)定成間隔開的狀態(tài)， 長條狀感光性板片22的半切部位34a被定位在橡膠輥80a、 80b間的規(guī)定 位置的狀態(tài)下，長條狀感光性板片22的輸送暫時(shí)停止。在此狀態(tài)下，若 玻璃基板24經(jīng)構(gòu)成基板供給機(jī)構(gòu)45的基板加熱部74被加熱到規(guī)定溫度， 該玻璃基板24的前端部經(jīng)由輸送部76被送入橡膠輥80a、 80b間，則在 加壓汽缸84的作用下，支承輥82b及橡膠輥80b上升，玻璃基板24及長 條狀感光性板片22在規(guī)定的沖壓壓力下被夾入橡膠輥80a、 80b間。還有， 橡膠輥80a、 80b被加熱到規(guī)定的層壓溫度。接下來，橡膠輥80a、 80b旋轉(zhuǎn)，沿箭頭Y方向輸送玻璃基板24及長 條狀感光性板片22。其結(jié)果是感光性樹脂層28被加熱熔融并轉(zhuǎn)印(層壓) 到玻璃基板24上。還有，作為層壓條件，速度為1.0m/min~10.0m/min、橡膠輥80a、 80b 的溫度為80°C~150°C、所述橡膠輥80a、 80b的橡膠硬度為40度~90度， 該橡膠輥80a、 80b的沖壓(線壓)為50N/cm~400N/cm。若相對于玻璃基板24結(jié)束一張長條狀感光性板片22的層壓，則橡膠 輥80a、 80b的旋轉(zhuǎn)停止，另一方面，層壓了長條狀感光性板片22的玻璃 基板24的前端部由基板輸送輥90a夾緊。此時(shí)，在橡膠輥80a、 80b間的 規(guī)定位置配置半切部位34b。并且，橡膠輥80b向從橡膠輥80a間隔開的方向退避，解除夾緊，同 時(shí)基板輸送輥90a的旋轉(zhuǎn)以低速再次開始，長條狀感光性板片22被層壓 在玻璃基板24上的感光性層疊體，沿箭頭Y方向輸送與保護(hù)膜30的殘留 部分30b的寬度M對應(yīng)的距離，在下一個(gè)半切部位34a被輸送到橡膠輥80a下方附近的規(guī)定位置后，停止橡膠輥80a、 80b的旋轉(zhuǎn)。還有，將長條 狀感光性板片22輸送半切部位34a、 34b間的處理，以下叫做「基板間進(jìn) 給」。另一方面，所述狀態(tài)中，經(jīng)由基板供給機(jī)構(gòu)45將下一個(gè)玻璃基板24 向貼合位置輸送。重復(fù)以上的動作，從而連續(xù)地制造感光性層疊體。那時(shí)，感光性層疊體各個(gè)端部由圖2所示的保護(hù)膜30的殘留部分30b 覆蓋。因而，在感光性樹脂層28被轉(zhuǎn)印到玻璃基板24上之際，橡膠輥80a、 80b不會被所述感光性樹脂層28污染。當(dāng)利用貼合機(jī)構(gòu)46貼合了感光性樹脂層28的玻璃基板24，在貼合機(jī) 構(gòu)46中長條狀感光性板片22進(jìn)行了基板間進(jìn)給后，處于暫時(shí)停止?fàn)顟B(tài)時(shí)， 利用配置在基板輸送輥90a、 90b間的切割機(jī)構(gòu)48切斷玻璃基板24間的 長條狀感光性板片22，作成感光性層疊體24a。還有，在該感光性層疊體 24a的前后殘留著殘留部分30b的保護(hù)膜30。被分離的感光性層疊體24a由機(jī)器人96暫時(shí)層疊在儲存器94中。接 下來，層疊在儲存器94中的感光性層疊體24a被移送到剝離部98，之后 玻璃基板24由吸盤102吸附保持，端部的可撓性基體薄膜26由夾鉗100 把持并從感光性層疊體24a剝離，由此制造在玻璃基板24上只貼合了感 光性樹脂層28的感光性層疊體24b。在此，當(dāng)從感光性層疊體24a剝離可撓性基體薄膜26之際，有可能 保護(hù)膜30的殘留部分30b的一部分沒有被剝離而殘留在感光性層疊體24a 側(cè)。即，在貼合機(jī)構(gòu)46中，將長條狀感光性板片22加熱壓接在玻璃基板 24上之際，若在殘留部分30b和玻璃基板24間流入有熔融的感光性樹脂 層28，殘留部分30b粘接在玻璃基板24上，則有可能無法將殘留部分30b 從玻璃基板24正常剝離。為此，在剝離部98中將可撓性基體薄膜26剝離而制造成的感光性層 疊體24b被輸送到剝離狀態(tài)檢查部104，進(jìn)行保護(hù)膜30的剝離狀態(tài)的檢査。 關(guān)于該檢査處理，根據(jù)圖6所示的流程圖進(jìn)行說明。剝離狀態(tài)檢查部104若檢測到送入了感光性層疊體24b (步驟Sl)， 則剝離狀態(tài)檢查部104中所配置的升降機(jī)106與玻璃基板24的下表面部
抵接，利用吸附等保持感光性層疊體24b (步驟S2)。接著，控制部130 控制升降機(jī)驅(qū)動部132，驅(qū)動升降機(jī)升降馬達(dá)134，使升降機(jī)106沿箭頭Z 方向移動，從而使感光性層疊體24b上升(步驟S3)。還有，可以取代升降機(jī)106，在剝離狀態(tài)檢查部104中輸送感光性層 疊體24b的輸送機(jī)間配置銷構(gòu)件，上升銷構(gòu)件以使感光性層疊體24b沿箭 頭Z方向移動。感光性層疊體24b移動到上升端而停止后，控制部130驅(qū)動半導(dǎo)體激 光單元118a、 118b，輸出激光束并將其導(dǎo)入受光元件120a、 120b (步驟 S4)。受光元件120a、 120b將接收的激光束的光量轉(zhuǎn)換成電信號向控制部 130供給。另一方面，與激光束的輸出并行，控制部130控制檢查頭驅(qū)動部136， 驅(qū)動頭驅(qū)動馬達(dá)138，使檢査頭114a、 114b沿著導(dǎo)軌112a、 112b向箭頭 W方向移動(步驟S5)。從而，從半導(dǎo)體激光單元118a、 118b輸出的激 光束一面沿箭頭W方向掃描感光性層疊體24b， 一面經(jīng)由感光性層疊體 24b的兩端部側(cè)被導(dǎo)向受光元件120a、 120b?？刂撇?30在檢查頭114a、 114b的每個(gè)移動位置計(jì)算由受光元件 120a、 120b檢測的激光束的光量信息(步驟S6)。這種情況下，如果將每 個(gè)移動位置、由各檢査頭U4a、 114b檢測出的光量信息相加，則即使感 光性層疊體24b的位置在檢測部108a、 108b間沿箭頭Y方向偏離，也能 夠抑制由于位置偏離而造成的光量信息變動的影響。另外，也可以相對于 移動方向相加光量信息。計(jì)算出的光量信息向剝離狀態(tài)判定部128供給。檢査頭114a、 114b移動到導(dǎo)軌U2a、 112b的端部，結(jié)束光量信息獲 取后，控制部130驅(qū)動升降機(jī)106，下降感光性層疊體24b (步驟S7)。 接下來，使檢查頭114a、 114b復(fù)位到移動開始前的原點(diǎn)(步驟S8)。另一方面，從控制部130供給了光量信息的剝離狀態(tài)判定部128，根 據(jù)光量信息進(jìn)行感光性層疊體24b的剝離狀態(tài)的判定(步驟S9)。這種情 況下，將光量信息與規(guī)定的閾值比較大小，根據(jù)其比較結(jié)果進(jìn)行剝離狀態(tài) 的判定。圖7表示剝離部98中可撓性基體薄膜26與殘留在玻璃基板24兩端
部的保護(hù)膜30—起正常剝離的狀態(tài)的感光性層疊體24b。這種情況下，從 半導(dǎo)體激光單元118a、 118b輸出的激光束只透過玻璃基板24，由受光元 件120a、 120b接收，因而將用來判定剝離狀態(tài)的閾值設(shè)定成只透過了玻 璃基板24的激光束的光量和透過殘留有保護(hù)膜30的玻璃基板24的激光 束的光量之間的值，光量信息處在該閾值的范圍內(nèi)時(shí)，能夠判定為「正常叩」o圖8表示剝離部98中由于剝離失誤而使可撓性基體薄膜26沒有被剝 離的狀態(tài)的感光性層疊體24a。這種情況下，從半導(dǎo)體激光單元118a、 118b 輸出的激光束透過可撓性基體薄膜26、感光性樹脂層28、保護(hù)膜30及感 光性層疊體24b，由受光元件120a、 120b接收，因而接收的激光束的光量 衰減，將基于該光量的光量信息與以正常狀態(tài)為基準(zhǔn)設(shè)定的所述閾值比較 時(shí)，由于不在其范圍內(nèi)，因此能夠判定為「不合格品」。圖9表示剝離部98中由于在一方的保護(hù)膜30和玻璃基板24間流入 熔融的感光性樹脂層28等從而殘留一部分保護(hù)膜30的狀態(tài)的感光性層疊 體24b。這種情況下，由于殘留的保護(hù)膜30而使激光束的光量衰減，因而 如果預(yù)先對所述閾值進(jìn)行了適當(dāng)設(shè)定，就能夠判定該狀態(tài)為「不合格品J。圖10表示像圖9那樣殘留的保護(hù)膜30繞到玻璃基板24相反側(cè)的狀 態(tài)的感光性層疊體24b。這種情況下，也與圖9的情況同樣，能夠?qū)⒏泄?性層疊體24b判定為「不合格品J。像以上那樣判定了剝離狀態(tài)的結(jié)果，被顯示在判定結(jié)果顯示部140中 (步驟SIO)，根據(jù)需要能夠以警報(bào)聲等向操作員發(fā)出警告。當(dāng)步驟S9中判定為「正常品j時(shí)(步驟Sll)，感光性層疊體24b從 剝離狀態(tài)檢查部104被運(yùn)往下一工序、例如將感光性層疊體24b曝光、在 感光性樹脂層28上形成規(guī)定圖形的處理工序(步驟S12)。另一方面，當(dāng) 判定為「不合格品」時(shí)，從剝離狀態(tài)檢查部104排出感光性層疊體24b(步 驟S13)。從而能夠避免正常品中混有不合格品的情況。圖11是其他實(shí)施方式的制造裝置200的概略構(gòu)成圖。還有，對于與 圖1所示制造裝置20相同的構(gòu)成要素，附以相同的參照符號，省略其說 明。在制造裝置200中，利用貼合機(jī)構(gòu)46貼合了長條狀感光性板片22的 玻璃基板24不被分開地向冷卻部202輸送，并在冷卻后詢剝離部204供 給。剝離部204中，利用推進(jìn)器206向上方向提升玻璃基板24間的長條 狀感光性板片22，從而在形成保護(hù)膜30容易剝離的狀態(tài)后，將保護(hù)膜30 從感光性樹脂層28上剝離，與支承體26—起纏繞在巻繞輥208上。從而 玻璃基板24間被分離，制造成感光性層疊體24b。制造成的感光性層疊體 24b與制造裝置20的情況同樣，利用剝離狀態(tài)檢查部104進(jìn)行保護(hù)膜30 的剝離狀態(tài)的檢查。還有，上述實(shí)施方式中，作為剝離狀態(tài)檢測傳感器釆用接收激光束并 檢測其光量的受光元件120a、 120b，不過，也可以采用例如通過夾緊感光 性層疊體24b而檢測厚度的接觸式厚度檢測傳感器。另外，也可以利用臺 階檢測傳感器，其是使用激光變位儀檢測感光性層疊體24b端部的臺階。另外，形成的構(gòu)成是將從1個(gè)感光性板片輥23供給的長條狀感光性 板片22貼合在玻璃基板24上，從而制造所謂的單貼的感光性層疊體24b， 不過，其構(gòu)成也可以是從2個(gè)感光性板片輥或3個(gè)以上感光性板片輥供給 長條狀感光性板片22，并將其貼合在玻璃基板24上，制造所謂的2貼、3 貼等的感光性層疊體24b。
權(quán)利要求
1. 一種感光性層疊體的制造裝置，將在支承體(26)上依次層疊感光材料層(28)和保護(hù)膜(30)而成的長條狀感光性板片(22)輸出，將與所述保護(hù)膜(30)的剝離部分(30a)和殘留部分(30b)的邊界位置對應(yīng)的加工部位(34a、34b)形成在從所述保護(hù)膜(30)直到所述感光材料層(28)的部分，剝離了所述保護(hù)膜(30)的所述剝離部分(30a)之后，將以規(guī)定間隔供給的基板(24)和所述長條狀感光性板片(22)一起向已被加熱的一對壓接輥(80a、80b)間連續(xù)輸出，在所述基板(24)間配置所述保護(hù)膜(30)的所述殘留部分(30b)，并且將所述剝離部分(30a)的所述感光材料層(28)貼合在所述基板(24)上，然后，將所述支承體(26)與所述殘留部分(30b)的所述保護(hù)膜(30)一起剝離，由此制造在所述基板(24)上貼合有所述感光材料層(28)的感光性層疊體(24b)，所述感光性層疊體(24b)的制造裝置(20)的特征在于，具備對所制造的所述感光性層疊體(24b)上的所述保護(hù)膜(30)的剝離狀態(tài)進(jìn)行檢查的剝離狀態(tài)檢查部(104)，所述剝離狀態(tài)檢查部(104)包括剝離狀態(tài)檢測傳感器(120a、120b)，其對與所述支承體(26)一起從所述基板(24)剝離的所述保護(hù)膜(30)相對于所述感光性層疊體(24b)的剝離狀態(tài)進(jìn)行檢測；移動機(jī)構(gòu)(114a、114b)，其使所述剝離狀態(tài)檢測傳感器(120a、120b)沿著所述保護(hù)膜(30)的所述加工部位(34a、34b)移動；剝離狀態(tài)判定部(128)，其根據(jù)所述剝離狀態(tài)檢測傳感器(120a、120b)對所述剝離狀態(tài)的檢測結(jié)果，判定所述保護(hù)膜(30)的剝離狀態(tài)。
2. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的感光性層疊體的制造裝置，其特征在于， 所述剝離狀態(tài)檢測傳感器(120a、 120b)是對透過所述加工部位(34a、34b)附近的所述基板(24)的光的透過光量進(jìn)行檢測的光量檢測傳感器。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的感光性層疊體的制造裝置，其特征在于， 所述剝離狀態(tài)檢測傳感器(120a、 120b)具有對透過所述基板(24)兩端部側(cè)的光的透過光量進(jìn)行檢測的一組所述光量檢測傳感器，所述剝離狀態(tài)判定部(128)將利用所述各光量檢測傳感器檢測出的光量相加所得 的值與規(guī)定的閾值進(jìn)行比較，由此判定所述保護(hù)膜(30)的剝離狀態(tài)。
4. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的感光性層疊體的制造裝置，其特征在于， 所述剝離狀態(tài)檢測部(104)具備經(jīng)由所述基板(24)向所述剝離狀態(tài)檢測傳感器(120a、 120b)導(dǎo)出激光束的激光源(118a、 118b)。
5. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的感光性層疊體的制造裝置，其特征在于， 具備對所述剝離狀態(tài)判定部(128)的判定結(jié)果進(jìn)行顯示的判定結(jié)果顯示部(140)。
6. —種感光性層疊體的制造方法，將在支承體(26)上依次層疊感 光材料層(28)和保護(hù)膜(30)而成的長條狀感光性板片(22)輸出，將 與所述保護(hù)膜(30)的剝離部分(30a)和殘留部分(30b)的邊界位置對 應(yīng)的加工部位(34a、 34b)形成在從所述保護(hù)膜(30)直到所述感光材料 層(28)的部分，剝離了所述保護(hù)膜(30)的所述剝離部分(30a)之后， 將以規(guī)定間隔供給的基板(24)和所述長條狀感光性板片(22) —起向已 被加熱的一對壓接輥(80a、 80b)間連續(xù)輸出，在所述基板(24)間配置 所述保護(hù)膜(30)的所述殘留部分(30b)，并且將所述剝離部分(30a) 的所述感光材料層(28)貼合在所述基板(24)上，然后，將所述支承體(26)與所述殘留部分(30b)的所述保護(hù)膜(30) —起剝離，由此制造 在所述基板(24)上貼合有所述感光材料層(28)的感光性層疊體(24b)， 所述感光性層疊體(24b)的制造方法的特征在于，包括.-使剝離狀態(tài)檢測傳感器U20a、 120b)沿著所述保護(hù)膜(30)的所述 加工部位(34a、 34b)移動，對與所述支承體(26) —起從所述基板(24) 剝離的所述保護(hù)膜(30)相對于所述感光性層疊體(24b)的剝離狀態(tài)進(jìn) 行檢測的步驟；根據(jù)所述剝離狀態(tài)檢測傳感器(120a、 120b)對所述剝離狀態(tài)的檢測 結(jié)果，判定所述保護(hù)膜(30)的剝離狀態(tài)的步驟。
7. 根據(jù)權(quán)利要求6所述的感光性層疊體的制造方法，其特征在于， 所述剝離狀態(tài)檢測傳感器(120a、 120b)對透過所述加工部位(34a、 34b)附近的所述基板(24)的光的透過光量進(jìn)行檢測。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的感光性層疊體的制造方法，其特征在于， 所述剝離狀態(tài)是將透過所述基板(24)的兩端部側(cè)的光的透過光量相加所得的值與規(guī)定的閾值進(jìn)行比較來判定。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種感光性層疊體的制造裝置及制造方法，貼合機(jī)構(gòu)(46)中在玻璃基板(24)上貼合長條狀感光性板片(22)，經(jīng)切割機(jī)構(gòu)(48)分離開的感光性層疊體(24a)在剝離部(98)中剝離了保護(hù)膜和可撓性基體薄膜后，被輸送到剝離狀態(tài)檢查部(104)。在剝離狀態(tài)檢查部(104)中，使檢查頭(114a、114b)沿著感光性層疊體(24b)的前后移動，從而檢查玻璃基板(24)的前后部分有無保護(hù)膜，根據(jù)其結(jié)果判定該感光性層疊體(24b)是正常品還是不合格品。
文檔編號B32B37/00GK101396894SQ200810161078
公開日2009年4月1日 申請日期2008年9月26日 優(yōu)先權(quán)日2007年9月27日
發(fā)明者末原和芳, 淺倉孝郎 申請人:富士膠片株式會社