專利名稱：自動消防系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型是有關(guān)于一種自動消防系統(tǒng)，特別是有關(guān)于一種適用于制造半導(dǎo)體或 顯示器的制程腔體的自動消防系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
目前，由于半導(dǎo)體組件及平面顯示器的市場及需求量愈來愈大，使得IC廠及面板 廠也愈來愈多。對一個八寸晶圓廠來說，建廠的總資本額通常超過約美金十億左右，其中百 分之七十是花在昂貴的半導(dǎo)體制程設(shè)備儀器上。在一般IC廠與面板廠中，無塵室(clean room)的購買與維持所需的花費是特別高的，所以設(shè)備的布局設(shè)計的精確具有決定性的影 響。在半導(dǎo)體及平面顯示器的制程中，時常會運用到許多不同種類的有機溶液進行制 程，例如在微影制程所使用的光阻液，以及蝕刻制程使用的去光阻液等，都是使用有機溶液 進行相關(guān)制造程序。然而，由于有機溶液具有易揮發(fā)的特性，且其燃點相對較低，在現(xiàn)今高 溫制程極其普遍的情況下，便相當(dāng)容易引起火災(zāi)，且不易撲滅。而對于無塵室的環(huán)境來說， 一旦有火災(zāi)，便是災(zāi)難性的破壞無塵條件，故提供一個設(shè)于制程腔體周圍的自動消防系統(tǒng)， 就顯的極為迫切了。

實用新型內(nèi)容有鑒于上述現(xiàn)有技術(shù)的問題，本實用新型的目的就是在提供一種自動消防系統(tǒng)， 以解決在半導(dǎo)體及平面顯示器制程中，不易撲滅有機溶液所引發(fā)的火災(zāi)的問題。根據(jù)本實用新型的目的，提出一種自動消防系統(tǒng)，系用于制程腔體滅火，其包含設(shè) 于制程腔體周圍的至少一個檢測單元、設(shè)于制程腔體周圍的至少一個滅火單元、設(shè)于制程 腔體鄰近處的至少一個警示單元及控制單元，控制單元分別連接檢測單元、滅火單元及警 示單元。其中，檢測單元用以檢測制程腔體的燃燒條件，并提供檢測信號至控制單元。而滅 火單元則包含設(shè)于制程腔體周圍的至少一個噴嘴、至少一個滅火氣體供應(yīng)系統(tǒng)及至少一個 壓力開關(guān)，噴嘴連接滅火氣體供應(yīng)系統(tǒng)；而當(dāng)控制單元在接收檢測信號后判斷檢測信號為 特征值后，即判斷為火災(zāi)發(fā)生，而向滅火單元發(fā)出滅火信號，而令滅火氣體供應(yīng)系統(tǒng)通過壓 力開關(guān)而排放滅火氣體至噴嘴，根據(jù)噴嘴朝向燃燒條件處噴射滅火氣體以進行滅火；同時， 控制單元還向警示單元發(fā)出警示信號以進行警示。其中，此自動消防系統(tǒng)還包含監(jiān)視系統(tǒng)，系監(jiān)視及記錄至少一個檢測單元的狀況， 從而得知此燃燒條件的位置。綜上所述，根據(jù)本實用新型的自動消防系統(tǒng)，其可具有一個或多個下述優(yōu)點(1)此自動消防系統(tǒng)具有自動檢測、自動滅火的功能，能在火災(zāi)發(fā)生的第一時間即 進行滅火及警示相關(guān)人員，達(dá)到降低人力耗費的目的。(2)此自動消防系統(tǒng)使用氣體滅火的方式，可有效維護無塵室的無塵條件。(3)此自動消防系統(tǒng)具備的監(jiān)視系統(tǒng)可迅速的通知相關(guān)人員火警發(fā)生的位置，節(jié)省人力的耗費。

圖1為本實用新型的自動消防系統(tǒng)的方塊圖；以及圖2為本實用新型的自動消防系統(tǒng)的實施例的示意圖。主要符號說明1為自動消防系統(tǒng)；10為檢測單元；100為檢測信號；101為火焰 檢測器；102為煙霧檢測器；103為溫度檢測器；11為滅火單元；110為滅火氣體供應(yīng)系統(tǒng)； 1100為滅火氣體；1101為滅火氣體儲存裝置；1102為壓力開關(guān)；1103為管路；111為閉止 閥；112為噴嘴；12為警示單元；120為警示燈；121為蜂鳴器；13為控制單元；130為警示信 號；131為滅火信號；132為自動控制模塊；133為手動控制模塊；134為存儲裝置；14為監(jiān) 視系統(tǒng)；140為網(wǎng)絡(luò)模塊；141為監(jiān)視器；142為伺服計算機；2為燃燒條件；以及3為制程腔 體。
具體實施方式
以下將參照相關(guān)圖式，說明根據(jù)本實用新型的自動消防系統(tǒng)的實施例，為便于理 解，下述實施例中的相同組件以相同的符號標(biāo)示來說明。請參閱圖1，其為本實用新型的自動消防系統(tǒng)的方塊圖。如圖所示，本實用新型的自動消防系統(tǒng)1，用于制程腔體滅火，其包含至少一個檢 測單元10、至少一個滅火單元11、至少一個警示單元12、控制單元13及監(jiān)視系統(tǒng)14。其 中，檢測單元10包含了火焰檢測器101、煙霧檢測器102、溫度檢測器103或這些檢測器的 組合；滅火單元11包含了至少一個滅火氣體供應(yīng)系統(tǒng)110，而滅火氣體供應(yīng)系統(tǒng)110包含 至少一個滅火氣體儲存裝置1101、至少一個壓力開關(guān)1102 ；另外，滅火單元11還可包含至 少一個閉止閥111及至少一個噴嘴112 ；警示單元12包含了至少一個警示燈120及至少一 個蜂鳴器121 ；控制單元13包含了自動控制模塊132、手動控制模塊133及存儲裝置134 ； 監(jiān)視系統(tǒng)則包含了網(wǎng)絡(luò)系統(tǒng)140及至少一個監(jiān)視器141。另外，控制單元13連接警示單元 12、檢測單元10及滅火單元11，檢測單元10則又連接監(jiān)視系統(tǒng)14。其中，檢測單元10設(shè)于制程腔體的周圍，以檢測燃燒條件2，并將檢測信號100分 別給予控制單元13及監(jiān)視系統(tǒng)14，控制單元13在接收檢測信號100后判斷檢測信號100 是否為特征值，若是，則向設(shè)于制程腔體的周圍的警示單元12發(fā)出警示信號130，使警示燈 120亮起且令蜂鳴器121響起以為警示，并向滅火單元11發(fā)出滅火信號131，而令滅火氣體 供應(yīng)系統(tǒng)110通過壓力開關(guān)1102、管路1103 (不銹鋼材質(zhì))及閉止閥111，而排放滅火氣體 1100 ( 二氧化碳或氮氣)至噴嘴112，并對燃燒條件2噴射滅火氣體1100進行滅火。其中， 當(dāng)以火焰檢測器101檢測燃燒條件2時，其特征值的判定為獲取燃燒條件2的紅外線光譜， 若經(jīng)判斷此光譜為火焰樣態(tài)時，即為確認(rèn)火災(zāi)發(fā)生；當(dāng)以煙霧檢測器102檢測燃燒條件2 時，其特征值的判定為測量制程腔體鄰近的微小粒子的數(shù)量，若超過潔凈室所維持的上限， 即為確認(rèn)火災(zāi)發(fā)生；而若以溫度檢測器103檢測燃燒條件2時，其特征值的判定則為測量制 程腔體鄰近的溫度，超過潔凈室所維持的上限，即為確認(rèn)火災(zāi)發(fā)生。而在火災(zāi)確認(rèn)發(fā)生后， 存儲裝置134即記錄各滅火單元11的動作狀態(tài)，且監(jiān)視系統(tǒng)14即通過網(wǎng)絡(luò)系統(tǒng)140將檢 測信號100顯示于監(jiān)視器141上，以告知相關(guān)人員火災(zāi)發(fā)生地點。[0018]請參閱圖2，其為本實用新型的自動消防系統(tǒng)的實施例的示意圖。在本實施例中， 警示單元12設(shè)于制程腔體3開口的左上方，而檢測單元10及噴嘴112設(shè)于制程腔體3開口 的上方，且噴嘴112通過管路1103、閉止閥111及壓力開關(guān)1102與滅火氣體儲存裝置1101 連接。其中，閉止閥111為選用部件，在本實施例中即選用閉止閥111以做說明。另外，控 制單元13的一般動作模式為自動運行，但也可以使用手動運行，在本實施例中，手動控制 模塊133的切換裝置即設(shè)在警示單元的下方。由于滅火氣體儲存裝置1101體積過大，故與制程腔體3設(shè)于不同的樓層，以節(jié)省空間。另外，為了確保在火災(zāi)發(fā)生時滅火氣體1100正確排放，故在滅火氣體儲存裝置1101 與噴嘴112之間管路1103上，設(shè)有壓力開關(guān)1102，此壓力開關(guān)1102僅在有氣體流過時才會 打開，故可監(jiān)視滅火氣體1100的排放；而在維修保養(yǎng)本自動消防系統(tǒng)1時，為了安全起見， 在壓力開關(guān)1102與噴嘴112之間的管路1103上，設(shè)有閉止閥111，用以閉止滅火氣體供應(yīng) 系統(tǒng)1101排放滅火氣體1100，由此可安全地進行維修保養(yǎng)。以上所述僅為舉例性的，而不是限制性的。任何未脫離本實用新型的精神與范疇， 而對其進行的等效修改或變更，均應(yīng)包含于權(quán)利要求范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種自動消防系統(tǒng)，系用于制程腔體滅火，其特征在于包含至少一個檢測單元，設(shè)于所述制程腔體的周圍，用以檢測燃燒條件，并提供檢測信號；至少一個滅火單元，接收滅火信號并進行滅火，包含至少一個滅火氣體供應(yīng)系統(tǒng)，具備至少一個壓力開關(guān)，所述至少一個壓力開關(guān)監(jiān)視滅 火氣體的排放；至少一個噴嘴，設(shè)于所述制程腔體的周圍，并連接所述滅火氣體供應(yīng)系統(tǒng)而向所述燃 燒條件噴射所述滅火氣體；至少一個警示單元，設(shè)于所述制程腔體的鄰近處，接收警示信號后提供警示信號；以及控制單元，連接所述至少一個警示單元、所述至少一個檢測單元及所述至少一個滅火 單元，并在接收所述檢測信號后判斷所述檢測信號是否為特征值，當(dāng)符合所述特征值時，則 向所述至少一個警示單元發(fā)出所述警示信號，且向所述至少一個滅火單元發(fā)出所述滅火信 號，而令所述至少一個滅火氣體供應(yīng)系統(tǒng)排放該滅火氣體至所述至少一個噴嘴，監(jiān)視系統(tǒng)，用以監(jiān)視及記錄所述至少一個檢測單元的檢測信號而得知所述燃燒條件的 位置。
2.如權(quán)利要求1所述的自動消防系統(tǒng)，其特征在于所述監(jiān)視系統(tǒng)包含網(wǎng)絡(luò)系統(tǒng)及至少 一個監(jiān)視器。
3.如權(quán)利要求1所述的自動消防系統(tǒng)，其特征在于所述至少一個檢測單元包含火焰檢 測器、煙霧檢測器、溫度檢測器或上述檢測器的組合。
4.如權(quán)利要求1所述的自動消防系統(tǒng)，其特征在于所述警示單元包含至少一個警示燈 及至少一個蜂鳴器。
5.如權(quán)利要求1所述的自動消防系統(tǒng)，其特征在于所述控制單元包含自動控制模塊及 手動控制模塊。
6.如權(quán)利要求5所述的自動消防系統(tǒng)，其特征在于所述控制單元還包含存儲裝置記錄 所述自動消防系統(tǒng)的動作狀態(tài)。
7.如權(quán)利要求1所述的自動消防系統(tǒng)，其特征在于所述至少一個滅火氣體供應(yīng)系統(tǒng)包 含至少一個滅火氣體儲存裝置及至少一個管路，所述至少一個管路設(shè)于所述至少一個滅火 氣體儲存裝置及所述至少一個噴嘴之間。
8.如權(quán)利要求7所述的自動消防系統(tǒng)，其特征在于所述至少一個管路的材質(zhì)為不銹鋼 材質(zhì)。
9.如權(quán)利要求7所述的自動消防系統(tǒng)，其特征在于所述滅火單元還包含至少一個閉止 閥，用以在維修保養(yǎng)所述自動消防系統(tǒng)時，閉止所述至少一個滅火氣體供應(yīng)系統(tǒng)。
10.如權(quán)利要求8所述的自動消防系統(tǒng)，其特征在于所述滅火氣體為二氧化碳或氮氣。
專利摘要本實用新型公開一種自動消防系統(tǒng)，系在半導(dǎo)體或顯示器的制程腔體發(fā)生火災(zāi)時進行滅火，其包含設(shè)于制程腔體周圍的檢測單元，用以檢測制程腔體的燃燒條件，且提供檢測信號至控制單元，控制單元在接收檢測信號后及進行判斷檢測信號是否為特征值，若是，則向設(shè)于制程腔體鄰近處的警示單元發(fā)出警示信號進行警示，同時向設(shè)于制程腔體周圍的滅火單元發(fā)出滅火信號進行滅火。
文檔編號A62C37/00GK201815042SQ20102057965
公開日2011年5月4日 申請日期2010年10月26日 優(yōu)先權(quán)日2010年10月26日
發(fā)明者李昱衡 申請人:崇越科技股份有限公司