專利名稱：用于阻止火焰鋒的傳播的設(shè)備和方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及用于阻止由抽吸機(jī)構(gòu)(pumping mechanism)點(diǎn)火的火 焰鋒的傳播的設(shè)備，這種抽吸才幾構(gòu)在抽吸機(jī)構(gòu)的重新啟動之后從處理 月空室中抽取廢流(waste stream)。
背景技術(shù)：
由于半導(dǎo)體工藝正變得越來越復(fù)雜，所以在這些工藝中所使用的 流體也正變得越來越有腐蝕性。存在與這些工藝有關(guān)的增加的風(fēng)險， 即用于排空處理腔室的真空泵內(nèi)的空氣可包括成團(tuán)的可燃?xì)怏w，或者 在極端情況下是可完全地燃燒的。從常規(guī)上來講，真空泵的設(shè)計通常并不打算包括這種環(huán)境。真空 抽吸機(jī)構(gòu)通常包括與金屬定子配合的金屬轉(zhuǎn)子，以從真空泵的入口向 真空泵的出口運(yùn)送流體。要求抽吸機(jī)構(gòu)的這些部件具有緊公差，以阻 止一皮抽吸的流體泄漏回到泵的入口。就其本身而言，將這兩個金屬部 件的接近度傾斜以表示點(diǎn)火源，因為部件的任何撞擊可產(chǎn)生火花。假 定這些工藝的腐蝕性特性由這些泵所承擔(dān)，那么這些金屬部件的變形(通過腐蝕)的可能性就會增加，而這些公差可能大大地降低。而且， 用在半導(dǎo)體工藝中的材料的反應(yīng)經(jīng)常導(dǎo)致材料在轉(zhuǎn)子和定子的表面上的沉積。這些沉積物進(jìn)一步咸小間隙，這樣，抽吸^/L構(gòu)的這些部件 的對齊可受到影響，并且可導(dǎo)致這些金屬部件的撞擊。此外，例如， 若在轉(zhuǎn)子和定子的表面上形成的沉積物由減小的間隙而增加的接觸 所導(dǎo)致的摩擦加熱的話，則這些沉積物可變成點(diǎn)火源。在可燃空氣與點(diǎn)火源接觸的情況下，就可能會發(fā)生爆炸。若爆炸 導(dǎo)致設(shè)備的損壞，則就可能會造成安全問題。整體性的突難性破壞可引起從泵的部件形成彈射，從而產(chǎn)生對附近的其它任何裝備并最終對 在該區(qū)域內(nèi)的任何人的有害環(huán)境。若這種破壞不太突然，則可在設(shè)備 周圍的環(huán)境中發(fā)生可燃?xì)怏w的泄漏，因此，若此區(qū)域有其它點(diǎn)火源， 則可能帶來進(jìn)一步的爆炸的風(fēng)險。根據(jù)由爆炸所導(dǎo)致的任何損壞的程 度，整個抽吸布置可能需要停止工作以允許進(jìn)行維護(hù)。與這種不在計 劃內(nèi)的維護(hù)相關(guān)的整個工藝系統(tǒng)的停工時間通常導(dǎo)致生產(chǎn)的損失。正如前面所討論的那樣，在運(yùn)行期間，真空抽吸機(jī)構(gòu)可提供可燃 氣體混合物的點(diǎn)火源。因此，在連接到處理腔室的真空泵的抽吸機(jī)構(gòu) 在真空泵的運(yùn)行的點(diǎn)火之前被吞沒在可燃?xì)怏w混合物中的情況下，抽 吸機(jī)構(gòu)的隨后的運(yùn)動就可能導(dǎo)致爆炸。這種爆炸可能穿過泵的入口傳 播回到處理腔室。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的至少優(yōu)選實(shí)施例的目的在于降低這種爆炸的有害的可能性。在一個方面，本發(fā)明提供了用于阻止由抽吸機(jī)構(gòu)點(diǎn)火的火焰鋒的傳播的設(shè)備，該抽吸機(jī)構(gòu)從處理腔室中抽取廢流，該設(shè)備包括前級管道，該前級管道用于將從處理腔室抽取的廢流運(yùn)送給抽吸機(jī)構(gòu)，該前級管道包括隔離閥和旁路，該隔離閥用于選擇性地將抽吸機(jī)構(gòu)與處理腔室隔離，該旁路在隔離閥周圍；以及控制器，該控制器用于啟動該隔離閥，該控制器構(gòu)造成用以 在最初從處理腔室抽取廢流時將隔離閥關(guān)閉，從而通過該旁路將廢流運(yùn)送給抽吸機(jī)構(gòu)，該旁路包括阻止火焰鋒穿過旁路傳播的裝置；并且在已將位于隔離閥的上游的區(qū)域內(nèi)的壓力降低到 一個值以下時 將隔離閥打開，可在這個值維持(sustain)廢流內(nèi)的火焰鋒的傳播。在排空的最初階段期間，穿過旁路抽取廢流。由于旁路包括用于 阻止火焰鋒的傳播的阻止裝置，所以就降低返回處理腔室的任何暴燃傳播的風(fēng)險。該阻止裝置使旁路與抽吸機(jī)構(gòu)之間的區(qū)域內(nèi)的壓力低于 一個值，可在這個值維持廢流內(nèi)的火焰鋒的傳播。由于廢流所經(jīng)歷的增加的阻擋水平的原因，穿過旁路并因此而穿 過阻止裝置的排空比當(dāng)隔離閥打開時在直接穿過前級管道運(yùn)送廢流 時慢得多。而且，產(chǎn)生可燃?xì)怏w的工藝往往是"臟"處理，這些"臟" 工藝導(dǎo)致沉積在位于處理腔室的下游的任何表面上的高水平材料。出 于這些原因中的每種原因，希望減少廢流穿過旁路的持續(xù)時間。因此， 一旦已將位于隔離閥的上游的設(shè)備內(nèi)的壓力降低到維持廢流內(nèi)的火 焰鋒的傳播的值以下，就將隔離閥打開，這樣，廢流就可直接從處理 腔室傳遞到抽吸機(jī)構(gòu)，而不必穿過旁路。由于將在可能的點(diǎn)火源如真 空泵的抽吸機(jī)構(gòu)的上游的壓力降低到維持火焰鋒的傳播的值以下，所 以就阻止火焰鋒的傳播?？商峁┳柚寡b置作為單獨(dú)的部件或位于旁路內(nèi)的機(jī)構(gòu)。例如，阻 止裝置可包括火焰制止器元件和/或閥。若使用閥，則閥可以是具有可 變的限制元件的閥，該可變的限制元件用于實(shí)現(xiàn)對穿過閥的廢流的流 動進(jìn)行可變限制。不過，可通過改變旁路本身的構(gòu)造來提供該阻止裝 置。例如，可將旁路的尺寸或軌跡設(shè)計成阻止任何入射火焰鋒的傳播。 可將旁路構(gòu)造成具有小于前級管道的內(nèi)截面尺寸的內(nèi)截面尺寸，以限 制穿過旁路的廢流的流動。作為替代或作為附加，可將旁路構(gòu)造成使 旁路包括一個或多個盤旋結(jié)構(gòu)?？赏ㄟ^利用閥或通過提供具有較小直 徑的口徑的旁路在旁路內(nèi)形成對流的限制來提供阻止裝置。例如，對于抽吸速度為1000mVhr的真空泵而言，可使用具有約為7mm2的開 孔面積的旁路。隔離閥可包括閘式閥。若通過閥裝置來提供阻止裝置，則可將控制器構(gòu)造成使閥裝置在 抽吸機(jī)構(gòu)的運(yùn)行之前關(guān)閉，并且在已將閥裝置與抽吸機(jī)構(gòu)之間的區(qū)域 內(nèi)的壓力降到低于可維持廢流內(nèi)的火焰鋒的傳播的值以下時打開?？?將控制器構(gòu)造成避免抽吸機(jī)構(gòu)的運(yùn)行的點(diǎn)火，除非將閥裝置關(guān)閉。本發(fā)明的第二個方面提供一種真空抽吸布置，該真空抽吸布置包括真空泵和前面所提及的用于阻止火焰鋒的傳播的設(shè)備中的任一種， 該火焰4奪由該真空泵朝向處理力空室點(diǎn)火，該處理腔室連接到該真空泵 的入口 ?？蓪?yōu)選是增壓泵的另外的真空泵設(shè)在隔離閥與真空泵之間。本發(fā)明的第三個方面提供一種用于阻止由抽吸機(jī)構(gòu)點(diǎn)火的火焰 鋒的傳播的方法，該抽吸機(jī)構(gòu),人處理腔室中抽取廢流，該方法包括步驟提供前級管道，該前級管道用于將從處理腔室抽取的廢流運(yùn)送給 抽吸機(jī)構(gòu)，該前級管道包括隔離閥和旁路，該隔離閥用于選擇性地將 抽吸機(jī)構(gòu)與處理腔室隔離，旁^各在隔離閥周圍；在最初從處理腔室抽取廢流時將隔離閥關(guān)閉，從而通過該旁路將 廢流運(yùn)送給抽吸機(jī)構(gòu)，該旁路包括阻止火焰鋒穿過旁路傳播的裝置； 以及在已將位于隔離閥的上游的區(qū)域內(nèi)的壓力降低到 一 個值以下時 將隔離閥打開，可在這個值維持廢流內(nèi)的火焰鋒的傳播。當(dāng)穿過旁路抽取廢流時，可產(chǎn)生排空區(qū)域。因此，本發(fā)明的第四 個方面提供一種用于阻止由抽吸機(jī)構(gòu)點(diǎn)火的火焰鋒的傳播的方法，該 抽吸機(jī)構(gòu)從處理腔室中抽取廢流，該方法包括步驟利用隔離閥將抽吸機(jī)構(gòu)與處理腔室隔離；在隔離閥周圍提供旁路；最初穿過旁路抽取廢流以在從處理腔室至抽吸機(jī)構(gòu)的流動路徑 內(nèi)產(chǎn)生排空區(qū)域，該排空區(qū)域阻止火焰鋒從抽吸機(jī)構(gòu)向處理腔室的傳 播；以及在已將位于隔離閥的上游的區(qū)域內(nèi)的壓力降低到 一 個值以下時 將隔離閥打開，可在這個值維持廢流內(nèi)的火焰鋒的傳播。可在抽吸機(jī)構(gòu)與隔離閥之間產(chǎn)生該排空區(qū)域。在隔離閥上游的壓 力可以是在處理腔室與隔離閥之間延伸的前級管道的一部分內(nèi)的壓 力，或者是處理腔室內(nèi)的壓力?？蓪υ搲毫χ苯舆M(jìn)行監(jiān)測，且可根據(jù)所監(jiān)測的壓力將隔離閥打開。作為該壓力的監(jiān)測的替代或作為附加， 可對表示瞬時壓力如溫度的 一個或多個參數(shù)進(jìn)行監(jiān)測?？蓮乃O(jiān)測的 一個或多個參數(shù)中確定該壓力，且可根據(jù)所確定的壓力將隔離閥打 開。可在預(yù)定的時間段之后將隔離閥打開。作為測量局部溫度的替代，可對以下參數(shù)中的一個或多個進(jìn)行監(jiān)測以表示隔離閥上游的壓力泵 電動機(jī)功率或電流、進(jìn)入處理腔室中的氣體流或與發(fā)生在處理腔室內(nèi)的反應(yīng)相關(guān)的參數(shù)(例如，等離子體反射的功率或光發(fā)射光譜)?？蓪⒘硗獾母綦x閥設(shè)在旁路中?？稍诔槲鼨C(jī)構(gòu)的運(yùn)行之前將該另 外的隔離閥關(guān)閉，并可在將該另外的隔離閥與抽吸機(jī)構(gòu)之間的區(qū)域內(nèi) 的壓力降低到一個值以下時將隔離閥打開，可在這個值維持廢流內(nèi)的 火焰《奪的傳播。


在下面參考附圖僅通過示例對本發(fā)明進(jìn)行更詳細(xì)的描述，在這些 圖中圖1示出了一種真空抽吸布置，這種真空抽吸布置包括用于阻止 火焰鋒的傳播的設(shè)備的第 一 實(shí)施例；圖2示出了一種真空抽吸布置，這種真空抽吸布置包括用于阻止 火焰鋒的傳播的設(shè)備的第二實(shí)施例；圖3示出了一種真空抽吸布置，這種真空抽吸布置包括用于阻止 火焰鋒的傳播的設(shè)備的第三實(shí)施例；和圖4示出了一種備選的真空抽吸布置，這種替代真空抽吸布置包 括用于阻止火焰鋒的傳播的設(shè)備的笫四實(shí)施例。
具體實(shí)施方式
圖1示出了真空抽吸布置，這種真空抽吸布置包括用于阻止火焰 鋒的傳播的設(shè)備10的第一實(shí)施例，火焰鋒由抽吸機(jī)構(gòu)點(diǎn)火，這種抽 吸機(jī)構(gòu)從處理腔室抽取廢流。設(shè)備10連接在處理腔室15與真空泵20之間，真空泵20包括抽吸機(jī)構(gòu)并形成真空抽吸布置的一部分。設(shè)備10包括用于從處理腔室向真空泵20運(yùn)送廢流的前級管道30。提供與 隔離閥45結(jié)合的控制器25，隔離閥45通常是閘式閥，并位于前級管 道30內(nèi)以選擇性地抑制流體流。將隔離閥選擇性地打開和關(guān)閉，以 回應(yīng)從控制器25接收的信號。閥45的提供有效地形成兩個前級管道部分，這兩個前級管道部 分是在處理腔室15與隔離閥45之間延伸的上游前級管道部分35和 在隔離閥45與真空泵30之間延伸的下游前級管道部分40。旁路50 設(shè)在隔離閥45周圍以提供流動路徑，當(dāng)隔離閥45關(guān)閉時，穿過這種 流動路徑將廢流從處理腔室15抽取到真空泵20。旁路50的一個端部 連接到上游前級管道部分35上，且旁路50的另 一個端部連接到下游 前級管道部分40上。在示于圖1的實(shí)施例中，旁路50的截面小于前級管道30,以限 制穿過該旁路的流動。運(yùn)行中，當(dāng)真空泵20接通時，將隔離閥45關(guān)閉，以穿過旁路50 運(yùn)送廢流。在與前級管道30相比時，旁路50的較小口徑起到限制由 真空泵20從處理腔室15抽耳又的廢流的流動的作用。由于真空泵從處 理腔室15抽取廢流，所以將下游前級管道部分40排空以形成具有低于特定值Pent的壓力的區(qū)域，可在這個特定值Pent維持穿過下游前級管道部分40的火焰鋒的傳播，從而有效地產(chǎn)生阻止任何這種傳播的 障礙。因此，在保持一種區(qū)域時實(shí)現(xiàn)了上游前級管道部分35和處理 腔室15的最初排空，在本說明書中，這種區(qū)域是下游前級管道部分 40，在這種區(qū)域中，將壓力降低到Pmt以下，以阻止在真空泵20內(nèi)產(chǎn) 生的任何火焰鋒朝著處理腔室15的上游傳播。一旦將上游前級管道部分35內(nèi)的壓力降到低于Pent,或者在結(jié)合 了安全余量時降到更低，則將隔離閥45打開，以建立沿著前級管道 30的傳導(dǎo)增加的直接流動路徑，以用于處理腔室15的隨后的繼續(xù)排 空。通過建立用于繼續(xù)排空的直接流動路徑，就在由真空泵20進(jìn)行的排空速度方面在處理腔室15內(nèi)更加有效地實(shí)現(xiàn)理想的真空。圖2示出了一種真空抽吸布置，這種真空抽吸布置包括用于阻止火焰鋒的傳播的設(shè)備的第二實(shí)施例，其中，將另外的閥55如可變的 節(jié)流閥設(shè)在旁路50內(nèi)，并且由從控制器25輸出的信號控制。運(yùn)行中，在將真空泵20 4妄通之前，將隔離閥45和另外的閥55 關(guān)閉，以將處理腔室15與真空泵20完全隔離。在真空泵含有累積的 可燃?xì)怏w混合物且抽吸機(jī)構(gòu)在真空泵20內(nèi)的運(yùn)動產(chǎn)生點(diǎn)火源如火花 的情況下，來自在真空泵20內(nèi)產(chǎn)生的暴燃的任何火焰鋒就不能夠傳 播回到處理腔室15。在將真空泵20接通時，可將下游前級管道部分40內(nèi)的壓力迅速 降低到低于POTt,以形成阻止任何火焰鋒的傳播的障礙，如前面所描 述的那樣。然后，閥55由從控制器25輸出的信號打開，以允許來自 處理腔室15的廢流穿過旁路50，以實(shí)現(xiàn)上游前級管道部分35和處理 腔室15的排空。若閥55由可變的節(jié)流閥提供，則既可根據(jù)回應(yīng)于工 藝的要求的預(yù)定功能也可根據(jù)回應(yīng)于所監(jiān)測的參數(shù)的預(yù)定功能來控 制廢流的流速，進(jìn)而控制處理腔室的排空，如在下面結(jié)合圖4所討論 的那樣。對穿過閥55的流速進(jìn)行控制，以使下游前級管道部分40內(nèi) 的壓力保持在低于Perit,以保持阻止任何可能的火焰鋒的傳播的障礙。正如前面結(jié)合設(shè)備10的第一實(shí)施例所討論的那樣，使排空穿過 閥55繼續(xù)，直到上游前級管道部分35內(nèi)的壓力降到低于Pcrit(或在引入安全系數(shù)時低于Pcnt的一小部分)。然后，控制器25輸出使隔離閥45打開的信號，以增加流動路徑的傳導(dǎo)，穿過該流動路徑從處理腔室 15抽取廢流。因此，該第二實(shí)施例的構(gòu)造允許實(shí)現(xiàn)處理腔室15與真空泵20的 完全隔離，這樣就可在預(yù)計有更加有害的環(huán)境的情況下提供加強(qiáng)保護(hù)。圖3示出了一種真空抽吸布置，這種真空抽吸布置包括用于阻止 火焰鋒的傳播的設(shè)備的第三實(shí)施例，在這種設(shè)備中，旁路50包括火焰制止器60。還設(shè)有旁路隔離閥65,以在排空的一部分期間將旁路 50與上游和下游前級管道部分35、 40隔離，在排空的一部分期間， 隔離閥45打開。在此實(shí)施例中，將控制器25構(gòu)造成通過向閥45、 65 中的每一個輸出各自的信號來控制閥45、 65中的每一個的啟動。運(yùn)行中，起初將這些旁路隔離閥65打開并起初將隔離閥45關(guān)閉， 以最初從處理腔室15抽取廢流穿過旁路50到達(dá)真空泵20。若在上游 前級管道部分35內(nèi)的壓力降到j(luò)氐于Pent之前發(fā)生暴燃，則火焰制止器 60就用于阻止火焰《降向處理腔室15的傳播。 一旦在上游前級管道部 分35內(nèi)的壓力降到低于Pcnt，則隔離閥45就由控制器25打開，以允 許廢流穿過隔離閥45。雖然旁路50的內(nèi)截面尺寸在示于圖3的設(shè)備中類似于前級管道 40，但旁路50的尺寸也可減小，如前面所討論的那樣。此外，還可 在旁路50中設(shè)有另外的閥55，以實(shí)現(xiàn)前面所描述的相關(guān)的益處。在實(shí)踐中，根據(jù)在處理腔室內(nèi)進(jìn)行的特點(diǎn)處理，廢流可包括可冷 凝或其它形成沉積物的種類。逸些種類引起置于廢流中的一個或多個 部件如火焰制止器60和/或另外的閥55的堵塞。沉積物形成的速度在 旁路中放置這些部件的位置可能提高，因為流速在這個區(qū)域降低。降 低的速度特別不利，因為不僅促使種類的成團(tuán)的增加的濃度的形成， 而且會缺乏利用較高的流速時所經(jīng)歷的沖洗效果。在從處理腔室15 抽取這類的形成沉積物的種類的情況下，提供旁通閥65是有利的， 一旦已將隔離閥45打開，可將這種旁通閥65關(guān)閉。這樣，旁路50 就在隔離閥45打開的大量的排空期間并不暴露給廢流。圖4示出了一種真空抽吸布置，這種真空抽吸布置還包括位于隔 離閥45與真空泵20之間的增壓泵(booster pump)70。提供增壓泵70 以使這種真空抽吸布置能夠?qū)⑻幚砬皇?5內(nèi)的壓力降低到低于由單 獨(dú)起作用的真空泵20可實(shí)現(xiàn)的壓力。如前面結(jié)合圖3所討論的那樣提供旁路隔離閥65。每個閥都由控 制器25依次控制。設(shè)有一個或多個傳感器80、 85、 90以監(jiān)測在真空泵20的上游的一個或多個位置的壓力或監(jiān)測另一種參數(shù)，在任何特定瞬間的壓力可源自這種參數(shù)，如溫度。每個傳感器80、 85、 90向 控制器25輸出表示各自的經(jīng)過監(jiān)測的參數(shù)的信號?？刂破?5利用這 些信號確定這些閥45、 55、 65中的每一個的啟動的定時和次序，以 對廢流的流動進(jìn)行控制。用于上游傳感器80、 85的可能的位置在上游前級管道35內(nèi)或在 處理腔室15內(nèi)。來自這些傳感器80、 85中的一個的輸出用于確定在 隔離閥45的上游的壓力何時降到低于Pent,這樣就能夠盡可能早地在 阻止朝向處理腔室15的火焰鋒的傳播時將隔離閥45打開。在安全性 嚴(yán)^f各的系統(tǒng)中，可用一個以上的傳感器80、 85來確保系統(tǒng)具有內(nèi)置 冗余?？蓪⒘硗獾膫鞲衅?0設(shè)在真空泵20附近，以監(jiān)測這種壓力或表 示在真空泵20、 70中的一個內(nèi)或周圍的壓力的參數(shù)。若由傳感器90 監(jiān)測的壓力上升至高于表明系統(tǒng)內(nèi)的故障的Pcnt,則可將隔離閥45關(guān) 閉，以將處理腔室15與真空抽吸布置隔離，或者可起動其它步驟以 降低可能的暴燃，如局部引入吹掃用的氣體或結(jié)束可燃混合物的供 應(yīng)。換言之，傳感器90在系統(tǒng)內(nèi)提供了冗余，以允許實(shí)現(xiàn)故障安全 的設(shè)備。
權(quán)利要求
1.一種用于阻止由抽吸機(jī)構(gòu)點(diǎn)火的火焰鋒的傳播的設(shè)備，所述抽吸機(jī)構(gòu)從處理腔室中抽取廢流，所述設(shè)備包括前級管道，所述前級管道用于將從所述處理腔室抽取的所述廢流運(yùn)送給所述抽吸機(jī)構(gòu)，所述前級管道包括隔離閥和旁路，所述隔離閥用于選擇性地將所述抽吸機(jī)構(gòu)與所述處理腔室隔離，所述旁路在所述隔離閥周圍；以及控制器，所述控制器用于啟動所述隔離閥，其中，所述控制器構(gòu)造成用以在最初從所述處理腔室抽取廢流時將所述隔離閥關(guān)閉，從而通過所述旁路將所述廢流運(yùn)送給所述抽吸機(jī)構(gòu)，所述旁路包括用于阻止火焰鋒從中通過的裝置；以及在已將位于所述隔離閥的上游的區(qū)域內(nèi)的壓力降低到一個值以下時使所述隔離閥打開，在所述值可維持所述廢流內(nèi)的火焰鋒的傳播。
2. 如權(quán)利要求1所述的i殳備，其特征在于所述旁路的內(nèi)部尺 寸小于所述前級管道的內(nèi)'部尺寸，以限制穿過所述旁路的廢流的流 動。
3. 如權(quán)利要求1或2所述的設(shè)備，其特征在于所述阻止裝置 包括閥裝置，所述閥裝置用于實(shí)現(xiàn)對穿過所述閥裝置的廢流的流動的 可變限制。
4. 如權(quán)利要求3所述的i殳備，其特征在于所述控制器構(gòu)造成 使所述閥裝置在所述抽吸機(jī)構(gòu)的運(yùn)行之前關(guān)閉，并且在已將所述閥裝 置與所述抽吸機(jī)構(gòu)之間的區(qū)域內(nèi)的壓力降到低于可維持所述廢流內(nèi) 的火焰鋒的傳播的值以下時打開。
5. 如權(quán)利要求4所述的i殳備，其特征在于所述控制器構(gòu)造成 用以避免所述抽吸機(jī)構(gòu)的運(yùn)行的點(diǎn)火，除非關(guān)閉所述閥裝置。
6. 如前面的權(quán)利要求中的任一項所述的設(shè)備，其特征在于所述阻止裝置包括火焰制止器元件。
7. 如前面的權(quán)利要求中的任一項所述的設(shè)備，其特征在于所 述旁路包括盤旋結(jié)構(gòu)。
8. 如前面的權(quán)利要求中的任一項所述的設(shè)備，其特征在于所 述隔離閥包括閘式閥。
9. 一種真空抽吸布置，包括 真空泵；以及連接到所述真空泵的入口的如前面的權(quán)利要求中的任一項所述 的設(shè)備。
10. 如權(quán)利要求9所述的真空抽吸布置，其特征在于所述真空 抽吸布置包括位于所述隔離閥與所述真空泵之間的另外的真空泵。
11. 如權(quán)利要求10所述的真空抽吸布置，其特征在于所述另 外的真空泵是增壓泵。
12. —種用于阻止由抽吸才幾構(gòu)點(diǎn)火的火焰鋒的傳播的方法，所述 抽吸機(jī)構(gòu)從處理腔室中抽取廢流，所述方法包括步驟提供前級管道，所述前級管道用于將從所述處理腔室抽取的所述 廢流運(yùn)送給所述抽吸機(jī)構(gòu)，所述前級管道包括隔離閥和旁路，所述隔 離閥用于選擇性地將所述抽吸^L構(gòu)與所述處理腔室隔離，所述旁路在 所述隔離閥周圍；在最初從所述處理腔室抽耳又所述廢流時將所述隔離閥關(guān)閉，從而 通過所述旁路將所述廢流運(yùn)送給所述抽吸機(jī)構(gòu)，所述旁路包括阻止火 焰鋒從中通過的裝置；以及在已將位于所述隔離閥的上游的區(qū)域內(nèi)的壓力降低到一個值以 下時將所述隔離閥打開，在所述值可維持所述廢流內(nèi)的火焰鋒的傳 播。
13. 如權(quán)利要求12所述的方法，其特征在于在穿過所述旁路 抽取所述廢流時產(chǎn)生排空區(qū)域。
14. 一種用于阻止由抽吸機(jī)構(gòu)點(diǎn)火的火焰鋒的傳播的方法，所述抽吸機(jī)構(gòu)從處理腔室中抽取廢流，所述方法包括步驟 利用隔離閥將所述抽吸機(jī)構(gòu)與所述處理腔室隔離； 在所述隔離閥周圍提供旁路；最初穿過所述旁路抽取所迷廢流，以便在從所述處理腔室至所述 抽吸機(jī)構(gòu)的流動路徑內(nèi)產(chǎn)生排空區(qū)域，所述排空區(qū)域阻止火焰鋒從所 述抽吸機(jī)構(gòu)向所述處理腔室的傳播；以及在已將位于所述隔離閥的上游的區(qū)域內(nèi)的壓力降低到 一 個值以 下時將所述隔離閥打開，在所迷值以上可維持所述廢流內(nèi)的火焰鋒的 傳播。
15. 如權(quán)利要求13或14所述的方法，其特征在于在所述抽吸 機(jī)構(gòu)與所述隔離閥之間產(chǎn)生所迷排空區(qū)域。
16. 如權(quán)利要求14所述的方法，其特征在于所述壓力是在所 述處理腔室與所述隔離閥之間延伸的前級管道的一部分內(nèi)的壓力。
17. 如權(quán)利要求14所述的方法，其特征在于所述壓力是在所 述處理腔室內(nèi)的壓力。
18. 如權(quán)利要求12至17中的任一項所述的方法，其特征在于 所述方法包括直接監(jiān)測所述壓力并根據(jù)所監(jiān)測的壓力打開所述隔離 閥。
19. 如權(quán)利要求12至18中的任一項所述的方法，其特征在于 所述方法包括步驟監(jiān)測表示所述壓力的參數(shù)； 通過所監(jiān)測的參數(shù)確定所述壓力；以及 根據(jù)所確定的壓力將所述隔離閥打開。
20. 如權(quán)利要求12至19中的任一項所述的方法，其特征在于 在預(yù)定的時間段之后打開所述隔離閥。
21. 如權(quán)利要求12至20中的任一項所述的方法，其特征在于 所述方法還包括步驟在所述旁路中提供另外的隔離閥；在所述抽吸機(jī)構(gòu)的運(yùn)行之前將所述另外的隔離閥關(guān)閉；以及 在將所述另外的隔離閥與所述抽吸機(jī)構(gòu)之間的區(qū)域內(nèi)的壓力降低到一個值以下時將所述另外的隔離閥打開，在所迷值可維持所述廢流內(nèi)的火焰鋒的傳播。
全文摘要
本發(fā)明提供了用于阻止由抽吸機(jī)構(gòu)點(diǎn)火的火焰鋒的傳播的設(shè)備和方法，該抽吸機(jī)構(gòu)從處理腔室中抽取廢流。該設(shè)備包括前級管道，該前級管道用于將從處理腔室抽取的廢流運(yùn)送給抽吸機(jī)構(gòu)。該前級管道包括隔離閥和旁路，該隔離閥用于選擇性地將抽吸機(jī)構(gòu)與處理腔室隔離，旁路設(shè)置在隔離閥周圍。該設(shè)備還包括用于啟動該隔離閥的控制器。該控制器構(gòu)造成使在最初從處理腔室抽取廢流時將隔離閥關(guān)閉。在通過旁路將廢流運(yùn)送給抽吸機(jī)構(gòu)期間，旁路包括用于阻止穿過該旁路的火焰鋒的傳播的裝置。該控制器還構(gòu)造成在已將位于隔離閥的上游的區(qū)域內(nèi)的壓力降低到一個值以下時將隔離閥打開，可在這個值維持廢流內(nèi)的火焰鋒的傳播。
文檔編號A62C4/00GK101227955SQ200680026770
公開日2008年7月23日 申請日期2006年7月17日 優(yōu)先權(quán)日2005年7月25日
發(fā)明者C·M·貝利 申請人:愛德華茲有限公司