吸附懸浮平臺(tái)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種機(jī)械加工設(shè)備,尤其涉及一種吸附懸浮平臺(tái)。
【背景技術(shù)】
[0002]在現(xiàn)有技術(shù),吸附平臺(tái)常常用于吸附作為處理對(duì)象的工件,以對(duì)工件進(jìn)行處理。這些處理可以包括加工、除塵、檢測(cè)和研磨等。這些處理的精密度要求普遍較高,因而如何提高吸附平臺(tái)的精度一直是本領(lǐng)域技術(shù)人員不斷解決的技術(shù)問(wèn)題。
[0003]在一篇日本專利文獻(xiàn),日本特開(kāi)2001-138095中公開(kāi)了一種采用具有無(wú)數(shù)個(gè)小孔的多孔質(zhì)陶瓷板而形成平臺(tái)的基板載置部。在一篇公開(kāi)號(hào)為CN103567912,名稱為“吸附平臺(tái)的制造方法及吸附平臺(tái)”的中國(guó)專利文獻(xiàn),公開(kāi)了一種吸附平臺(tái),其采用的多孔質(zhì)陶瓷板的結(jié)構(gòu)較易加工,吸附平臺(tái)的吸附力較大。但是,在這篇中國(guó)申請(qǐng)中的吸附平臺(tái)還需要嵌入緩沖材料,其結(jié)構(gòu)較為復(fù)雜,制造工藝較為復(fù)雜。
[0004]此外在現(xiàn)有技術(shù)中,吸附平臺(tái)對(duì)于待處理的工件而言只有吸附功能,而不具有懸浮功能。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0005]為了克服現(xiàn)有技術(shù)的上述缺陷,本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種吸附懸浮平臺(tái)。
[0006]為達(dá)到上述目的,本實(shí)用新型的技術(shù)方案是:
[0007]一種吸附懸浮平臺(tái),它包括:
[0008]下層板,其上形成有一個(gè)或多個(gè)通道;
[0009]上層板,其由多孔質(zhì)陶瓷材料制成,所述上層板的一面通過(guò)膠水與所述下層板粘合,所述上層板的另一面能通過(guò)所述下層板的通道而形成正壓力或負(fù)壓力。
[0010]優(yōu)選地,所述下層板的通道的一端設(shè)在所述下層板的底部或側(cè)部,所述下層板的通道的另一端開(kāi)設(shè)在所述下層板的頂部。
[0011]優(yōu)選地,所述下層板由天然花崗巖材料制成,從而確保吸附懸浮平臺(tái)具有高精度。
[0012]優(yōu)選地,所述下層板由金屬材料制成,從而確保減薄、輕量、耐溫、防碰撞等要求。
[0013]優(yōu)選地,所述上層板的另一面上形成有加工裝置。
[0014]優(yōu)選地,所述多孔質(zhì)的陶瓷材料的孔徑為2 μπι-40 μ??,氣孔分布率為37% -47%。
[0015]優(yōu)選地,所述膠水為AB膠、透明膠、環(huán)氧樹(shù)脂中的一種或幾種。
[0016]優(yōu)選地,所述吸附懸浮平臺(tái)還包括一抽氣裝置,該抽氣裝置能與所述通道連通,從而使得所述上層板的另一面具有負(fù)壓力。
[0017]優(yōu)選地,所述吸附懸浮平臺(tái)還包括一排氣裝置,該排氣裝置能與所述通道連通,從而使得所述上層板的另一面具有正壓力。
[0018]本實(shí)用新型采用上述結(jié)構(gòu),可以提高該吸附懸浮平臺(tái)的精度,簡(jiǎn)化該吸附懸浮平臺(tái)的制造方法,還可以將待處理的工件懸浮在上層板的表面,從而便于將待處理的工件取放以防止劃傷。
【附圖說(shuō)明】
[0019]在此描述的附圖僅用于解釋目的,而不意圖以任何方式來(lái)限制本實(shí)用新型公開(kāi)的范圍。另外,圖中的各部件的形狀和比例尺寸等僅為示意性的,用于幫助對(duì)本實(shí)用新型的理解,并不是具體限定本實(shí)用新型各部件的形狀和比例尺寸。本領(lǐng)域的技術(shù)人員在本實(shí)用新型的教導(dǎo)下,可以根據(jù)具體情況選擇各種可能的形狀和比例尺寸來(lái)實(shí)施本實(shí)用新型。
[0020]圖1顯示了本申請(qǐng)中吸附懸浮平臺(tái)的一個(gè)【具體實(shí)施方式】。
[0021]圖2顯示了圖1中上層板的俯視圖。
[0022]圖3顯示了圖1中吸附懸浮平臺(tái)的一種工作狀態(tài)。
[0023]圖4顯示了圖1中吸附懸浮平臺(tái)的另一種工作狀態(tài)。
[0024]以上附圖中的附圖標(biāo)記為:1、上層板;11、加工裝置;12、一面;13、另一面;2、下層板;21、通道;211、一端;212、另一端;3、抽氣裝置;4、排氣裝置。
【具體實(shí)施方式】
[0025]結(jié)合附圖和本實(shí)用新型【具體實(shí)施方式】的描述,能夠更加清楚地了解本實(shí)用新型的細(xì)節(jié)。但是,在此描述的本實(shí)用新型的【具體實(shí)施方式】,僅用于解釋本實(shí)用新型的目的,而不能以任何方式理解成是對(duì)本實(shí)用新型的限制。在本實(shí)用新型的教導(dǎo)下,技術(shù)人員可以構(gòu)想基于本實(shí)用新型的任意可能的變形,這些都應(yīng)被視為屬于本實(shí)用新型的范圍。
[0026]圖1示出了本申請(qǐng)中吸附懸浮平臺(tái)的一個(gè)【具體實(shí)施方式】。參照?qǐng)D1所示,在本實(shí)施方式中,吸附懸浮平臺(tái)包括:下層板2,其上形成有一個(gè)或多個(gè)通道21 ;上層板1,其由多孔質(zhì)的陶瓷材料形成,所述上層板I的一面12通過(guò)膠水與所述下層板2粘合,所述上層板I的另一面13能通過(guò)所述下層板2的通道21而形成正壓力或負(fù)壓力。
[0027]具體的,下層板2上形成有一個(gè)或多個(gè)通道21。下層板2可以由諸如不銹鋼或鋁合金等金屬材料制成,相對(duì)而言,不銹鋼或鋁合金的材質(zhì)較輕,且較易進(jìn)行鉆孔等加工方式,從而確保減薄、輕量、耐溫、防碰撞等要求。下層板2上可以開(kāi)設(shè)有一個(gè)或多個(gè)通道21。參照?qǐng)D1所示,為了實(shí)際生產(chǎn)需求,通道21的一端211可以開(kāi)設(shè)在下層板2的底部。通道21的另一端212可以開(kāi)設(shè)在下層板2的頂部。當(dāng)然的,為了滿足不同產(chǎn)品的設(shè)計(jì)要求,通道21的一端211也可以開(kāi)設(shè)在下層板2的側(cè)部。此外,在本申請(qǐng)中通道21并不局限于其形狀,通道21可以為線性,也可以呈回轉(zhuǎn)狀,即只要根據(jù)設(shè)計(jì)需要形成具有開(kāi)口的兩端即可。
[0028]上層板I由多孔質(zhì)的陶瓷材料制成。多孔質(zhì)的陶瓷材料縱橫地具有無(wú)數(shù)個(gè)小孔。由于該多孔質(zhì)陶瓷板的多孔質(zhì)部分的孔徑十分小,因此一個(gè)孔的吸附力較弱而不會(huì)產(chǎn)生局部性的基板的凹陷,使得被吸附的基板的平面度較好,吸附力強(qiáng),效果佳。在本實(shí)施方式中,所述多孔質(zhì)的陶瓷材料的孔徑為2 μπι-40 μπι,氣孔分布率為37% -47%。
[0029]上層板I的一面12可以通過(guò)膠水與下層板2粘合,從而使得上層板I與下層板2之間密封。上層板I的另一面13能夠通過(guò)無(wú)數(shù)個(gè)小孔與下層板2的通道21連通,從而使得上層板I的另一面13形成負(fù)壓,進(jìn)而能夠吸附待處理工件。在本實(shí)施方式中,膠水可以為AB膠、透明膠、環(huán)氧樹(shù)脂中的一種或幾種。膠水可以位于上層板I的四周邊緣,從而能夠?qū)ι蠈影錓進(jìn)行更好的固定,還可以對(duì)上層板I和下層板2之間形成密封。在本實(shí)施方式中,上層板I的一面12為上層板I的底面,上層板I的另