本發(fā)明公開了一種寶石電極板真空吸附夾具，特別是一種用于高密度布線的寶石電極板飛針測(cè)試用真空吸附夾具。

背景技術(shù)：

紅外探測(cè)器組件是紅外探測(cè)系統(tǒng)的核心元件，在航天和軍事等領(lǐng)域有廣泛的應(yīng)用。組件大多數(shù)需要工作在低溫，為了消除探測(cè)器芯片與基板之間的應(yīng)力,一般采用與紅外探測(cè)器芯片熱匹配的材料進(jìn)行信號(hào)引出,藍(lán)寶石具有低出氣率及與探測(cè)器材料應(yīng)力匹配的優(yōu)點(diǎn),是目前紅外探測(cè)器組件應(yīng)用最多的一種引線基板材料。隨著紅外探測(cè)器組件的規(guī)模越來越大,寶石電極板布線密度越來越大,引線間距已經(jīng)小于100μm，電極金層互聯(lián)短路和鉻殘留已經(jīng)影響到寶石電極板的成品率,采用萬用表測(cè)試和顯微鏡鏡檢已經(jīng)無法滿足高密度布線寶石電極板成品率的篩選。飛針測(cè)試設(shè)備是一種pcb板內(nèi)部各網(wǎng)絡(luò)節(jié)點(diǎn)的通斷關(guān)系，以及內(nèi)部網(wǎng)絡(luò)之間內(nèi)埋電容、電阻、電感值、二極管、三極管的常規(guī)檢測(cè)手段，由于其測(cè)試效率高、測(cè)試過程可以無壓痕和定位精度高的優(yōu)點(diǎn)，特別適合寶石電極板的通斷檢測(cè)。飛針設(shè)備用于高密度布線電極板篩選檢測(cè)存在兩個(gè)方面的問題，一是寶石電極板的固定，寶石電極板面積較小和中間存在孔洞，一般的真空吸附夾具穩(wěn)定吸附存在問題，同時(shí)采用粘接的方式存在污染；二是寶石電極板的清晰定位，寶石電極板采用鍍金電極層，從設(shè)備內(nèi)部的正光照射存在強(qiáng)烈的反射，ccd無法清晰分辨電極圖形。寶石電極板的清晰定位和可靠固定直接關(guān)系到探針的定位精度和重復(fù)性，從而影響寶石電極板的測(cè)試精度和可靠性，在高密度布線寶石電極板飛針測(cè)試時(shí)尤為重要。本發(fā)明針對(duì)這個(gè)問題，提出了一種寶石電極板飛針測(cè)試用真空吸附夾具。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明的解決的技術(shù)問題是：一是寶石電極板的固定，寶石電極板面積較小和中間存在孔洞，一般的真空吸附夾具穩(wěn)定吸附存在問題，同時(shí)采用粘接的方式存在污染；二是寶石電極板的清晰定位，寶石電極板采用鍍金電極層，從設(shè)備內(nèi)部的正光照射存在強(qiáng)烈的反射，ccd無法清晰分辨電極圖形。

本發(fā)明解決的技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是：在傳統(tǒng)真空吸附夾具的基礎(chǔ)上改進(jìn)結(jié)構(gòu)，將真空吸附小孔的大小和間距設(shè)計(jì)成適合寶石電極板面積小和中間存在孔洞的特點(diǎn)，同時(shí)采用藍(lán)膜覆蓋寶石電極板放置后多余的真空吸附小孔，藍(lán)膜厚度遠(yuǎn)小于寶石電極板的厚度，不存在撞針的問題，從而實(shí)現(xiàn)寶石電極板的可靠固定；采用背光方式照射寶石電極板，從而避免正光照射金層的強(qiáng)烈反射，真空吸附夾具采用透明度高的材料進(jìn)行加工，同時(shí)減小上下真空腔板透光部分的厚度，在真空腔體下面放置led燈，從而實(shí)現(xiàn)寶石電極板背光照射，使寶石電極板的圖形可以清晰分辨，從而解決寶石電極板飛針測(cè)試的精度和可靠性問題。

本發(fā)明的真空吸附夾具結(jié)構(gòu)包括上真空腔板1、下真空腔板2和真空排氣管3，真空吸附夾具由透明材料的上真空腔板1和下真空腔板2通過定位孔1-1和定位螺紋孔2-1螺接成真空密封腔體，通過夾具固定邊1-3將真空吸附夾具夾持在飛針測(cè)試設(shè)備上，寶石電極板等測(cè)試樣品放置在上真空腔板1的真空吸附孔陣列1-2區(qū)域，裸露的真空吸附孔陣列1-2采用藍(lán)膜覆蓋，下真空腔體2內(nèi)部鏤空為中空腔體4，并加工真空排氣孔2-2緊配合真空排氣管3，真空吸附夾具的抽氣通道依次為下真空排氣管3、真空排氣孔2-2、中空腔體4和真空吸附孔陣列1-2，當(dāng)測(cè)試樣品上下表面形成壓差，測(cè)試樣品就牢固地吸附在測(cè)試平臺(tái)上，測(cè)試完成后，停止抽氣即可取下樣品。led光源入射到下真空腔板2，透射經(jīng)過中空腔體4和上真空腔板1，對(duì)寶石電極板形成背光照射，從而使飛針測(cè)試設(shè)備對(duì)寶石電極板的圖形清晰定位。

所述的真空排氣管3采用不銹鋼材料。

所述的上真空腔板1和下真空腔板2采用fr-4環(huán)氧玻璃纖維板、聚碳酸酯板或pmma有機(jī)玻璃板透光材料。

所述的真空排氣孔陣列2-2未被測(cè)試樣品覆蓋的區(qū)域采用藍(lán)膜或pe保鮮膜材料覆蓋。

本發(fā)明的有益效果是：該結(jié)構(gòu)的真空吸附夾具可以用于寶石電極板的通斷飛針測(cè)試。本發(fā)明真空吸附夾具吸附測(cè)試樣品不會(huì)造成樣品表面污染和表面損傷，同時(shí)真空吸附夾具采用透光材料，使測(cè)試樣品可以背光照射，對(duì)寶石電極板上圖形可以清晰分辨。該結(jié)構(gòu)的真空吸附夾具可應(yīng)用于寶石電極板、陶瓷基板和pcb板等各種測(cè)試樣品的吸附，同時(shí)可應(yīng)用于飛針測(cè)試系統(tǒng)的電學(xué)測(cè)試和三維影像儀等光學(xué)設(shè)備的尺寸測(cè)量的樣品固定。

附圖說明

圖1是本發(fā)明的真空吸附夾具整體結(jié)構(gòu)圖。

圖2是本發(fā)明的真空吸附夾具剖面結(jié)構(gòu)圖。

圖中：1.上真空腔板，2.下真空腔板，3.真空排氣管，4.中空腔體，1-1.定位孔，1-2.真空吸附孔陣列，1-3.夾具固定邊，2-1.定位螺紋孔，2-2.真空排氣孔。

具體實(shí)施方式：

下面結(jié)合附圖和實(shí)例對(duì)本發(fā)明進(jìn)一步說明，從圖1和圖2中可以看出，本發(fā)明為一種寶石電極板飛針測(cè)試用真空吸附夾具，特別適用于存在高密度鍍金圖形的寶石電極板飛針測(cè)試，該結(jié)構(gòu)真空吸附夾具由上真空腔板1和下真空腔板2通過定位孔1-1和定位螺紋孔2-1的8個(gè)m3螺絲螺接成真空密封腔體，腔體材料采用透光的fr-4環(huán)氧玻璃纖維板，真空腔體上下透光部分板材厚度為3mm,整個(gè)真空吸附夾具的尺寸為200mm(長)×200mm(寬)×17mm(高)。通過夾具固定邊1-3將真空吸附夾具夾持在飛針測(cè)試設(shè)備上，寶石電極板等測(cè)試樣品放置在上真空腔板1的真空吸附孔1-2區(qū)域，真空吸附孔1-2為直徑φ4mm，間距7mm的20×15陣列，裸露的真空吸附孔1-2采用藍(lán)膜覆蓋，下真空腔體板2內(nèi)部鏤空為中空腔體4，并加工真空排氣孔2-2緊配合真空排氣管3，真空真空吸附夾具的抽氣通道依次為kf16真空排氣管3、真空排氣孔2-2、中空腔體4和真空吸附孔陣列1-2，當(dāng)測(cè)試樣品上下表面形成壓差，測(cè)試樣品就牢固地吸附在測(cè)試平臺(tái)上，測(cè)試完成后，停止抽氣即可取下樣品。led光源入射到下真空腔板2，透射經(jīng)過中空腔體4和上真空腔板2，對(duì)寶石電極板形成背光照射，從而使飛針測(cè)試設(shè)備對(duì)寶石電極板的圖形清晰定位。該真空吸附夾具結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，可以實(shí)現(xiàn)測(cè)試樣品的背光照射，同時(shí)采用吸附方式固定樣品，免除測(cè)試樣品的安裝和拆卸，不會(huì)對(duì)測(cè)試樣品造成表面污染和表面損傷。

技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種寶石電極板飛針測(cè)試用真空吸附夾具，由上下真空腔體板組成真空密封腔體，在真空腔體表面加工真空吸附孔陣列，通過真空排氣管對(duì)真空腔體抽氣，從而固定測(cè)試樣品。該結(jié)構(gòu)的優(yōu)點(diǎn)在于充分利用背光照射寶石電極板可以避免正光照射鍍金圖形存在強(qiáng)烈反射的問題。該結(jié)構(gòu)真空吸附夾具采用透光材料制備，使測(cè)試樣品可以背光照射，對(duì)寶石電極板上高密度鍍金圖形可以清晰分辨，并且采用真空吸附方式固定測(cè)試樣品不會(huì)造成樣品表面污染和表面損傷。該結(jié)構(gòu)的真空吸附夾具結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，容易加工，特別適合于高密度電極布線的寶石電極板飛針電學(xué)測(cè)試時(shí)樣品的固定。

技術(shù)研發(fā)人員：汪洋;莫德鋒
受保護(hù)的技術(shù)使用者：中國科學(xué)院上海技術(shù)物理研究所
技術(shù)研發(fā)日：2017.07.12
技術(shù)公布日：2017.09.22