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帶探測(cè)器的機(jī)械手的制作方法

文檔序號(hào):2316482閱讀:169來(lái)源:國(guó)知局
專利名稱:帶探測(cè)器的機(jī)械手的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
本實(shí)用新型涉及ー種機(jī)械手,尤其是適用于LED外延片檢測(cè)行業(yè)中ー種帶探測(cè)器的機(jī)械手。
背景技術(shù)
目前在LED外延片檢測(cè)行業(yè)中,需要將外延片精準(zhǔn),快速,安全的傳送。以前用人エ傳送,在外延片的料盒與檢測(cè)設(shè)備中用鑷子夾取外延片傳送,這樣的缺點(diǎn)是鑷子容易損壞外延片表面生長(zhǎng)的膜層,在傳送過(guò)程中也不安全?,F(xiàn)在隨著社會(huì)的發(fā)展有了機(jī)械手,用的最多的是ー種三折臂式機(jī)械手,例如,中國(guó)專利文獻(xiàn)在2008年9月10日公開(kāi)了ー種名稱為“ー種機(jī)械手裝置”專利公開(kāi)號(hào)CN10259613A,該機(jī)械手包括第一和第二手臂,相互樞接 并可運(yùn)行以集體地沿基線伸展收縮;連桿保持機(jī)構(gòu),用于分別保持所述第一手臂和第二手臂并保持第一角基本上等于第二角度,所述第一角度是由貫穿所述第一手臂的直線基線形成角度,所述第二角度是由貫穿所述第二手臂的直線與基線形成的角度,其中所述連桿保持機(jī)構(gòu)包括一個(gè)由四桿曲柄鏈組成的第一萬(wàn)向節(jié)連桿機(jī)構(gòu),該第一萬(wàn)向節(jié)連桿機(jī)構(gòu)包括第一短連桿,第一長(zhǎng)連桿,比所述第一短連桿長(zhǎng),并且與第一短連桿樞接,第二短連桿,第一短連桿,長(zhǎng)度基本相同并與所述第一長(zhǎng)連桿樞接,第二長(zhǎng)桿,與所述第一長(zhǎng)桿長(zhǎng)度基本相同,并且與所述第一和第二短連桿中的每ー個(gè)樞接,所述第二長(zhǎng)連桿與所述第一長(zhǎng)連桿交叉,所述第一和第二短連桿中的ー個(gè)與第一和第二手臂中的ー個(gè)固定聯(lián)接;ー個(gè)由四桿曲柄鏈組成的第二萬(wàn)向節(jié)連桿機(jī)構(gòu),該第二萬(wàn)向節(jié)連桿機(jī)構(gòu)包括第三短連桿,第三長(zhǎng)連桿,比所述第三短連桿長(zhǎng),第四短連桿,與所述第三短連桿長(zhǎng)度基本相同,并且與第三長(zhǎng)連桿樞接,第三和第四短連桿中的ー個(gè)與所述第一萬(wàn)向節(jié)連桿機(jī)構(gòu)的第一和第二長(zhǎng)連桿中的ー個(gè)固定聯(lián)接,和第四長(zhǎng)連桿,與所述第三長(zhǎng)連桿長(zhǎng)度基本相同,并且與所述第三短連桿和第四連桿中的每ー個(gè)樞接,所述第四長(zhǎng)連桿與所述第三長(zhǎng)連桿交叉,所述第三和第四長(zhǎng)連桿中的ー個(gè)與第一和第二手臂中的另ー個(gè)固定聯(lián)接,和選自所述第一和第二短連桿中的所述ー個(gè),以及所述第三和第四長(zhǎng)連桿中的所述ー個(gè)中至少ー個(gè)連桿固定聯(lián)接,并以相對(duì)于貫穿所述至少一個(gè)手臂,沿所述至少一個(gè)連桿和所述至少一個(gè)手臂轉(zhuǎn)動(dòng),以集體地接觸所述的第一和第二臂的旋轉(zhuǎn)方向向前的一定角度傾斜于選自所述第一和第二手臂中所述的ー個(gè)和所述第一和第二手臂中所述的另ー個(gè)的至少ー個(gè)手臂。其結(jié)構(gòu)比較復(fù)雜,動(dòng)カ源后置,動(dòng)力源到工作端距離較遠(yuǎn)穩(wěn)定性較低,維護(hù)不便,價(jià)格昂貴。由于此類機(jī)械手是根據(jù)料盒形狀預(yù)定程序設(shè)置,尤其是工作中因?yàn)橥庋悠虾信c料盒的誤差,或操作員擺放外延片位置有誤差,片與片之間的距離的不確定性容導(dǎo)致撞壞外延片。如果裝有探測(cè)元件就可以在工作前,探測(cè)外延片料盒內(nèi)有無(wú)外延片以及外延片位置,避免做無(wú)用功和防止撞壞外延片。

實(shí)用新型內(nèi)容針對(duì)上述問(wèn)題,本實(shí)用新型的目的是基于單臂機(jī)械手結(jié)構(gòu)和原理,提出一種帶探測(cè)器的機(jī)械手。[0004]為了實(shí)現(xiàn)上述目的,本實(shí)用新型采取以下技術(shù)方案本實(shí)用新型涉主要包括水平運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)12、垂直運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)13、旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)14、機(jī)械爪11、探測(cè)元件15、機(jī)架16,其中,垂直運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)13固定于機(jī)架16上,且相對(duì)于地面的高度方向上能夠伸縮,旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)14聯(lián)接在垂直運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)13上,且相對(duì)于地面的水平方向上能夠旋轉(zhuǎn);水平運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)12聯(lián)接在旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)14上,且相對(duì)于地面的水平方向上能夠伸縮,機(jī)械爪11聯(lián)接在水平運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)12上,機(jī)械爪11包括機(jī)械爪主板111,壓板112以及吸盤(pán)113,機(jī)械爪主板111的一端開(kāi)有U型槽與長(zhǎng)度方向垂直的薄壁部分固定探測(cè)元件15,中部開(kāi)有安裝孔,另一端開(kāi)有聯(lián)接孔與所述吸盤(pán)113的聯(lián)接孔相通,機(jī)械爪主板111的聯(lián)接孔延伸到側(cè)面接氣動(dòng)元件,最后通過(guò)所述壓板112把吸盤(pán)113固定在機(jī)械爪主板111上;所述的機(jī)械爪11工作端上通過(guò)壓板固定有吸盤(pán)113上開(kāi)有吸氣孔為四個(gè);所述的水平運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)12包括水平機(jī)座121,電機(jī)座122,絲杠支撐123,水平電機(jī)124,絲杠125,絲杠螺母126,其中水平機(jī)座121內(nèi)部開(kāi)有凹槽,兩端都有安裝孔,一端與電機(jī)座122安裝孔對(duì)應(yīng)并固定聯(lián) 接,另一端與絲杠支撐123安裝孔對(duì)應(yīng)并固定聯(lián)接,電機(jī)座122和絲杠支撐123上都有軸承安裝槽并使其同軸,水平電機(jī)124安裝面與電機(jī)座122固定聯(lián)接,絲杠125與水平電機(jī)124輸出軸通過(guò)聯(lián)軸器聯(lián)接,絲杠125同時(shí)并與絲杠支撐123和電機(jī)座122通過(guò)軸承旋轉(zhuǎn)聯(lián)接,電機(jī)座122與絲杠125安裝端為固定端使絲杠不能夠軸向竄動(dòng),絲杠支撐123與絲杠125安裝端為支撐端,絲杠螺母126為異型,穿設(shè)在絲杠125上,并與水平機(jī)座121內(nèi)凹槽配合滑動(dòng)接觸,使絲杠螺母126始終與機(jī)座121保持平行狀態(tài),絲杠螺母126上有安裝孔與機(jī)械爪11固定,使得當(dāng)水平電機(jī)122帶動(dòng)絲杠126轉(zhuǎn)動(dòng)的時(shí)候絲杠螺母126帶動(dòng)機(jī)械爪11能夠在沿機(jī)座121的長(zhǎng)度方向上直線運(yùn)動(dòng);所述的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)14包括旋轉(zhuǎn)塊141,減速機(jī)142,旋轉(zhuǎn)機(jī)座143,旋轉(zhuǎn)電機(jī)144,其中,旋轉(zhuǎn)塊141上端面有安裝孔,與水平運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)12的水平機(jī)座121上的安裝孔對(duì)應(yīng)并固定聯(lián)接,下端開(kāi)有孔通過(guò)脹套與減速機(jī)142的輸出軸固定聯(lián)接,使水平運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)12與減速機(jī)輸出軸垂直,旋轉(zhuǎn)電機(jī)144的輸出軸深入減速機(jī)142的輸入端與其固定聯(lián)接,減速機(jī)142安裝面與旋轉(zhuǎn)機(jī)座143上端安裝面豎直固定,使旋轉(zhuǎn)塊141在上方,旋轉(zhuǎn)電機(jī)144在下方,旋轉(zhuǎn)機(jī)座143的下部有安裝孔與垂直運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)13的絲杠螺母的安裝孔對(duì)應(yīng)并固定聯(lián)接。本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、成本低、控制方便、三個(gè)軸可以同時(shí)運(yùn)動(dòng),大大節(jié)省了時(shí)間,所述的機(jī)械爪一端開(kāi)有吸氣孔配合氣路輔助系統(tǒng)能更有效的抓緊外延片,機(jī)械爪的另一端裝有探測(cè)元件,工作前探測(cè)料倉(cāng)有無(wú)外延片及外延片的位置,減少做無(wú)用功的時(shí)間以及防止損壞外延片。

圖I是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖;圖2是附圖I中機(jī)械爪的示意圖;圖3是附圖I中水平運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)示意圖;圖4是附圖I中旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)示意圖;圖5是附圖I的動(dòng)作示意圖。
具體實(shí)施方式
[0012]
以下結(jié)合附圖通過(guò)實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行詳細(xì)的描述如附圖1、2、3、4、5示意,圖中的標(biāo)號(hào)分別表示11_機(jī)械爪、12-水平運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)、13-垂直運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)、14-旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)、15-探測(cè)元件、16-機(jī)架、111-機(jī)械爪主板,112-壓板,113-吸盤(pán)、121-水平機(jī)座、122-電機(jī)座、123-絲杠支撐、124-水平電機(jī)、125-絲杠、126-絲杠螺母、141 -旋轉(zhuǎn)塊、142-減速機(jī)、143-旋轉(zhuǎn)機(jī)座、144-旋轉(zhuǎn)電機(jī)、17-外延片、18-料盒。如圖I所示,本實(shí)用新型機(jī)械手可實(shí)現(xiàn)水平運(yùn)動(dòng)、垂直運(yùn)動(dòng)、旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)和探測(cè)的功能,所以本實(shí)用新型包括水平運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)12、垂直運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)13、旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)14、機(jī)械爪11、探測(cè)元件15、機(jī)架16。機(jī)架16做用于地面或者其它設(shè)備安裝面,且相對(duì)于地面或其它設(shè)備安裝面固定;垂直運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)13固定于機(jī)架16上,且相對(duì)于地面的高度方向上能夠伸縮;旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)14聯(lián)接在垂直運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)13上,且相對(duì)于地面的水平方向上能夠旋轉(zhuǎn);水平運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)12聯(lián)接在旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)14上,且相對(duì)于地面的水平方向上能夠伸縮;機(jī)械爪11聯(lián)接在水平運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)12上運(yùn)動(dòng)裝取エ件。如圖2所示,本實(shí)用新型機(jī)械手的機(jī)械爪11包括機(jī) 械爪主板111,壓板112以及吸盤(pán)113 ;所述吸盤(pán)113為腔體零件一端正面開(kāi)有四個(gè)吸氣孔,另一端底面開(kāi)有聯(lián)接孔,所述機(jī)械爪主板111的一端開(kāi)有U型槽與長(zhǎng)度方向垂直的薄壁部分固定探測(cè)元件15,中部開(kāi)有安裝孔,另一端開(kāi)有聯(lián)接孔與所述吸盤(pán)113的聯(lián)接孔相通,機(jī)械爪主板111的聯(lián)接孔延伸到側(cè)面接氣動(dòng)元件,最后通過(guò)所述壓板112把吸盤(pán)113固定在機(jī)械爪主板111上,保證了機(jī)械爪的密封性;如圖3所示,本實(shí)用新型機(jī)械手的水平運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)12包括水平機(jī)座121,電機(jī)座122,絲杠支撐123,水平電機(jī)124,絲杠125,絲杠螺母126 ;所述水平機(jī)座121內(nèi)部開(kāi)有凹槽,兩端都有安裝孔,一端與電機(jī)座122安裝孔對(duì)應(yīng)并固定聯(lián)接,另一端與絲杠支撐123安裝孔對(duì)應(yīng)并固定聯(lián)接,所述電機(jī)座122和絲杠支撐123上都有軸承安裝槽并使其同軸;所述水平電機(jī)124安裝面與電機(jī)座122固定聯(lián)接;所述絲杠125與水平電機(jī)124輸出軸通過(guò)聯(lián)軸器聯(lián)接;絲杠125同時(shí)并與絲杠支撐123和電機(jī)座122通過(guò)軸承旋轉(zhuǎn)聯(lián)接,電機(jī)座122與絲杠125安裝端為固定端使絲杠不能夠軸向竄動(dòng),絲杠支撐123與絲杠125安裝端為支撐端;所述絲杠螺母126為異型,穿設(shè)在絲杠125上,并與水平機(jī)座121內(nèi)凹槽配合滑動(dòng)接觸,使絲杠螺母126始終與機(jī)座121保持平行狀態(tài),另外絲杠螺母126上有安裝孔與機(jī)械爪11固定。當(dāng)水平電機(jī)122帶動(dòng)絲杠126轉(zhuǎn)動(dòng)的時(shí)候絲杠螺母126帶動(dòng)機(jī)械爪11能夠在沿機(jī)座121的長(zhǎng)度方向上直線運(yùn)動(dòng),此結(jié)構(gòu)絲杠螺母126與水平機(jī)座122直接接觸省略了導(dǎo)軌讓機(jī)械機(jī)構(gòu)更加簡(jiǎn)單;垂直運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)13的機(jī)械結(jié)構(gòu)與水平運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)12的機(jī)械結(jié)構(gòu)相同;如圖4所示,本實(shí)用新型機(jī)械手的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)14包括旋轉(zhuǎn)塊141,減速機(jī)142,旋轉(zhuǎn)機(jī)座143,旋轉(zhuǎn)電機(jī)144 ;所述旋轉(zhuǎn)塊141上端面有安裝孔,與水平運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)12的水平機(jī)座121上的安裝孔對(duì)應(yīng)并固定聯(lián)接,下端開(kāi)有孔通過(guò)脹套與減速機(jī)142的輸出軸固定聯(lián)接,使水平運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)12與減速機(jī)輸出軸垂直;所述旋轉(zhuǎn)電機(jī)144的輸出軸深入減速機(jī)142的輸入端與其固定聯(lián)接,所述減速機(jī)142安裝面與旋轉(zhuǎn)機(jī)座143上端安裝面豎直固定,使旋轉(zhuǎn)塊141在上方,旋轉(zhuǎn)電機(jī)144在下方;所述旋轉(zhuǎn)機(jī)座143的下部有安裝孔與垂直運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)13的絲杠螺母的安裝孔對(duì)應(yīng)并固定聯(lián)接,由于垂直運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)13與水平運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)12相似所以垂直運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)13的絲杠螺母位置詳見(jiàn)圖3 ;當(dāng)旋轉(zhuǎn)電機(jī)144驅(qū)動(dòng)減速機(jī)142,使減速機(jī)142以低轉(zhuǎn)速帶動(dòng)旋轉(zhuǎn)塊141做旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng);如圖5所示,本實(shí)用新型在工作時(shí),通過(guò)調(diào)整機(jī)械手的水平運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)12、垂直運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)13和旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)14使探測(cè)元件15到與料盒18相應(yīng)的工作位置,再調(diào)節(jié)垂直運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)13對(duì)料盒進(jìn)行探測(cè)查看有無(wú)被測(cè)外延片17及外延片17的位置。然后調(diào)整機(jī)械手的水平運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)12、垂直運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)13和旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)14使機(jī)械爪11深入料盒18內(nèi),配合氣路輔助系統(tǒng)吸住外延片17,將外延片17輸送到所需位置并進(jìn)行下一步工作。以上僅是本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例而已,并非對(duì)本實(shí)用新型作任何形式上的限 制,凡是依據(jù)本實(shí)用新型的技術(shù)實(shí)質(zhì)對(duì)以上實(shí)施例所作的任何簡(jiǎn)單修改、等同變化與修飾,均仍屬本實(shí)用新型技術(shù)方案的范圍內(nèi)。
權(quán)利要求1.ー種帶探測(cè)器的機(jī)械手,其特征在于主要包括水平運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)(12)、垂直運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)(13)、旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)(14)、機(jī)械爪(11)、探測(cè)元件(15)、機(jī)架(16),其中,垂直運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)(13)固定于機(jī)架(16)上,且相對(duì)于地面的高度方向上能夠伸縮,旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)(14)聯(lián)接在垂直運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)(13)上,且相對(duì)于地面的水平方向上能夠旋轉(zhuǎn);水平運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)(12)聯(lián)接在旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)(14)上,且相對(duì)于地面的水平方向上能夠伸縮,機(jī)械爪(11)聯(lián)接在水平運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)(12 )上,機(jī)械爪(11)包括機(jī)械爪主板(111),壓板(112 )以及吸盤(pán)(113 ),機(jī)械爪主板(111)的一端開(kāi)有U型槽與長(zhǎng)度方向垂直的薄壁部分固定探測(cè)元件(15),中部開(kāi)有安裝孔,另ー端開(kāi)有連接孔與所述吸盤(pán)(113)的連接孔相通,機(jī)械爪主板(111)的連接孔延伸到側(cè)面接氣動(dòng)元件,通過(guò)所述壓板(112)把吸盤(pán)(113)固定在機(jī)械爪主板(111)上。
2.如權(quán)利要求I所述的帶探測(cè)器的機(jī)械手,其特征在于所述的機(jī)械爪(11)工作端上通過(guò)壓板固定有吸盤(pán)(113)上開(kāi)有的吸氣孔為2-4個(gè)。
3.如權(quán)利要求I所述的帶探測(cè)器的機(jī)械手,其特征在于所述的水平運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)(12)包 括水平機(jī)座(121)、電機(jī)座(122)、絲杠支撐(123)、水平電機(jī)(124)、絲杠(125)、絲杠螺母(126),其中水平機(jī)座(121)內(nèi)部開(kāi)有凹槽,兩端都有安裝孔,一端與電機(jī)座(122)安裝孔對(duì)應(yīng)并固定連接,另一端與絲杠支撐(123)安裝孔對(duì)應(yīng)并固定連接,電機(jī)座(122)和絲杠支撐(123)上都有軸承安裝槽并使其同軸,水平電機(jī)(124)安裝面與電機(jī)座(122)固定連接,絲杠(125)與水平電機(jī)(124)輸出軸通過(guò)聯(lián)軸器連接,絲杠(125)同時(shí)并與絲杠支撐(123)和電機(jī)座(122)通過(guò)軸承旋轉(zhuǎn)連接,電機(jī)座(122)與絲杠(125)安裝端為固定端使絲杠不能夠軸向竄動(dòng),絲杠支撐(123)與絲杠(125)安裝端為支撐端,絲杠螺母(126)為異型,穿設(shè)在絲杠(125)上,并與水平機(jī)座(121)內(nèi)凹槽配合滑動(dòng)接觸,使絲杠螺母(126)始終與機(jī)座(121)保持平行狀態(tài),絲杠螺母(126)上有安裝孔與機(jī)械爪(11)固定,使得當(dāng)水平電機(jī)(122)帶動(dòng)絲杠(126)轉(zhuǎn)動(dòng)的時(shí)候絲杠螺母(126)帶動(dòng)機(jī)械爪(11)能夠在沿機(jī)座(121)的長(zhǎng)度方向上直線運(yùn)動(dòng)。
4.如權(quán)利要求I所述的帶探測(cè)器的機(jī)械手,其特征在于所述的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)(14)包括旋轉(zhuǎn)塊(141)、減速機(jī)(142),旋轉(zhuǎn)機(jī)座(143)、旋轉(zhuǎn)電機(jī)(144),其中,旋轉(zhuǎn)塊(141)上端面有安裝孔,與水平運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)(12)的水平機(jī)座(121)上的安裝孔對(duì)應(yīng)并固定連接,下端開(kāi)有孔通過(guò)脹套與減速機(jī)(142)的輸出軸固定連接,使水平運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)12與減速機(jī)輸出軸垂直,旋轉(zhuǎn)電機(jī)(144)的輸出軸深入減速機(jī)(142)的輸入端與其固定連接,減速機(jī)(142)安裝面與旋轉(zhuǎn)機(jī)座(143)上端安裝面豎直固定,使旋轉(zhuǎn)塊(141)在上方,旋轉(zhuǎn)電機(jī)(144)在下方,旋轉(zhuǎn)機(jī)座(143)的下部有安裝孔與垂直運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)(13)的絲杠螺母的安裝孔對(duì)應(yīng)并固定連接。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種機(jī)械手,尤其是適用于LED外延片檢測(cè)行業(yè)中一種帶探測(cè)器的機(jī)械手。本實(shí)用新型主要包括水平運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)(12)、垂直運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)(13)、旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)(14)、機(jī)械爪(11)、探測(cè)元件(15)、機(jī)架(16)。本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、成本低、控制方便、三個(gè)軸可以同時(shí)運(yùn)動(dòng),大大節(jié)省了時(shí)間,所述的機(jī)械爪一端開(kāi)有吸氣孔配合氣路輔助系統(tǒng)能更有效的抓緊外延片,機(jī)械爪的另一端裝有探測(cè)元件,工作前探測(cè)料倉(cāng)有無(wú)外延片及外延片的位置,減少做無(wú)用功的時(shí)間以及防止損壞外延片。
文檔編號(hào)B25J15/06GK202592383SQ20122018596
公開(kāi)日2012年12月12日 申請(qǐng)日期2012年4月27日 優(yōu)先權(quán)日2012年4月27日
發(fā)明者郭金源, 徐杰 申請(qǐng)人:北京中拓機(jī)械有限責(zé)任公司
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