二維調(diào)整機構(gòu)及二維調(diào)整方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種二維調(diào)整機構(gòu)，用于調(diào)整被調(diào)整件在支撐件的表面上的位置，包括聯(lián)結(jié)件、預(yù)緊加載單元以及調(diào)整驅(qū)動單元，所述預(yù)緊加載單元通過所述聯(lián)結(jié)件將所述被調(diào)整件壓在支撐件的表面上，所述調(diào)整驅(qū)動單元和所述預(yù)緊加載單元連接，用以提供驅(qū)動力。本發(fā)明還公開了一種采用如上所述的二維調(diào)整機構(gòu)的二維調(diào)整方法。本發(fā)明提供的二維調(diào)整機構(gòu)及二維調(diào)整方法，能夠解決空間約束，在有限空間實現(xiàn)二維獨立調(diào)整，同時，可以提高調(diào)整定位精度，降低調(diào)整完成后的鎖緊誤差，另外，調(diào)整完成后可以從被調(diào)整件上拆除該二維調(diào)整機構(gòu)，不影響被調(diào)整件的長期穩(wěn)定性。
【專利說明】二維調(diào)整機構(gòu)及二維調(diào)整方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種二維調(diào)整機構(gòu)及二維調(diào)整方法。
【背景技術(shù)】
[0002]精密儀器在裝調(diào)過程中，往往不能通過直接加工達到定位固定精度，而是需要通過各種調(diào)節(jié)方案來實現(xiàn)。在一個平面內(nèi)調(diào)整即二維調(diào)整，往往通過互相垂直的兩個方向來調(diào)整，同時需要兩個方向調(diào)整的過程中解偶，以達到快速調(diào)整至所需要的位置的目的，在調(diào)整完成后，通過固定方式確定該元件在整個組件中的位置。
[0003]現(xiàn)有的二維調(diào)整結(jié)構(gòu)，如圖4所示，通過互相垂直的兩個導(dǎo)向桿，分解成兩層結(jié)構(gòu)，實現(xiàn)被調(diào)整件的二維聯(lián)動調(diào)節(jié)，調(diào)整過程中以光桿作為導(dǎo)向桿，絲桿作為驅(qū)動件。另外，也有通過頂絲作為驅(qū)動件，彈簧作為回復(fù)力實現(xiàn)二維調(diào)整。以上方式調(diào)整對普通零部件調(diào)整定位可以實現(xiàn)，但涉及精密零部件，存在以下缺點:
[0004]1.該結(jié)構(gòu)受空間約束，在精密調(diào)整儀器中，無法在被調(diào)整件中實現(xiàn)這種結(jié)構(gòu)。
[0005]2.該調(diào)整方式存在定位精度不高和固定鎖緊誤差大。
[0006]3.該結(jié)構(gòu)調(diào)整完成后，無法從被調(diào)整件拆除，影響被調(diào)整件的長期穩(wěn)定性。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0007]本發(fā)明的目的在于提供一種二維調(diào)整機構(gòu)，能夠解決空間約束，在有限空間實現(xiàn)這種二維獨立調(diào)整，同時，可以提高調(diào)整定位精度，降低調(diào)整完成后的鎖緊誤差，另外，調(diào)整完成后從被調(diào)整件上拆除該二維調(diào)整機構(gòu)，不影響被調(diào)整件的長期穩(wěn)定性。
[0008]為了達到上述的目的，本發(fā)明采用如下技術(shù)方案:
[0009]一種二維調(diào)整機構(gòu)，用于調(diào)整被調(diào)整件在支撐件的表面上的位置，包括聯(lián)結(jié)件、預(yù)緊加載單元以及調(diào)整驅(qū)動單元，所述預(yù)緊加載單元通過所述聯(lián)結(jié)件將所述被調(diào)整件壓在支撐件的表面上，所述調(diào)整驅(qū)動單元和所述預(yù)緊加載單元連接，用以提供驅(qū)動力。
[0010]優(yōu)選的，在上述的二維調(diào)整機構(gòu)中，所述預(yù)緊加載單元包括柔性件、杠桿機構(gòu)、預(yù)緊螺釘、止動頂絲以及夾持板，所述柔性件的一端與所述聯(lián)結(jié)件固定連接，所述柔性件的另一端與杠桿機構(gòu)的輸出端連接，所述杠桿機構(gòu)安裝于所述夾持板上，所述預(yù)緊螺釘設(shè)置于杠桿機構(gòu)的輸入端，所述止動頂絲設(shè)置于所述夾持板上，通過調(diào)整止動頂絲能夠固定所述杠桿機構(gòu)。
[0011]優(yōu)選的，在上述的二維調(diào)整機構(gòu)中，所述杠桿機構(gòu)包括支撐塊、軸銷以及軸銷螺母，所述支撐塊通過軸銷及軸銷螺母安裝于所述夾持板上，所述支撐塊能夠以所述軸銷為旋轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動，所述柔性件的另一端與所述支撐塊的一端連接，所述支撐塊的另一端設(shè)置有與所述預(yù)緊螺釘匹配的螺釘孔，通過調(diào)整止動頂絲能夠使得止動頂絲的一端擠壓并固定所述支撐塊。
[0012]優(yōu)選的，在上述的二維調(diào)整機構(gòu)中，所述柔性件采用單軸柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)，柔性件的鉸鏈軸方向平行于支撐件的表面。[0013]優(yōu)選的，在上述的二維調(diào)整機構(gòu)中，所述調(diào)整驅(qū)動單元包括轉(zhuǎn)接板以及驅(qū)動滑臺，所述驅(qū)動滑臺通過所述轉(zhuǎn)接板與所述預(yù)緊加載單元連接。
[0014]優(yōu)選的，在上述的二維調(diào)整機構(gòu)中，所述驅(qū)動滑臺采用由滑臺導(dǎo)軌和微分頭組成的手動滑臺。
[0015]優(yōu)選的，在上述的二維調(diào)整機構(gòu)中，所述驅(qū)動滑臺采用自動運動臺。
[0016]優(yōu)選的，在上述的二維調(diào)整機構(gòu)中，所述轉(zhuǎn)接板與所述夾持板以垂直方式固定連接。
[0017]本發(fā)明還公開了一種二維調(diào)整方法，包括如下步驟:
[0018]首先，將被調(diào)整件通過固定螺釘固定于支撐件上后，組裝如上所述的二維調(diào)整機構(gòu)，使得聯(lián)結(jié)件分別與被調(diào)整件和柔性件的一端固定連接；
[0019]然后，松開固定螺釘后，通過調(diào)整預(yù)緊螺釘，使得柔性件形變，柔性件形變產(chǎn)生的彈性力將被調(diào)整件密貼于支撐件的表面上；
[0020]接著，利用調(diào)整驅(qū)動單元使得被調(diào)整件到達所需位置；
[0021]接著，調(diào)整達到預(yù)定精度后鎖緊被調(diào)整件的固定螺釘，完成被調(diào)整件的定位固定;
[0022]最后，拆除聯(lián)結(jié)件、預(yù)緊加載單元和調(diào)整驅(qū)動單元，實現(xiàn)二維調(diào)整結(jié)構(gòu)和被調(diào)整件的分離；
[0023]最后，通過固定螺釘將被調(diào)整件固定在支撐件上后，拆除聯(lián)結(jié)件、預(yù)緊加載單元和調(diào)整驅(qū)動單元，實現(xiàn)二維調(diào)整結(jié)構(gòu)和被調(diào)整件的分離。
[0024]本發(fā)明提供的二維調(diào)整機構(gòu)及二維調(diào)整方法，采用聯(lián)結(jié)件、預(yù)緊加載單元以及調(diào)整驅(qū)動單元，所述預(yù)緊加載單元通過所述聯(lián)結(jié)件將所述被調(diào)整件壓在支撐件的表面(即定位固定面)上，所述調(diào)整驅(qū)動單元和所述預(yù)緊加載單元連接，用以提供驅(qū)動力。一方面，通過設(shè)置聯(lián)結(jié)件，可以克服空間約束，能夠在有限的空間內(nèi)實現(xiàn)對被調(diào)整件的二維獨立調(diào)整，另一方面，在調(diào)整過程中通過預(yù)緊加載單元添加預(yù)緊力，可以使使得被調(diào)整件在調(diào)整過程中始終貼合于定位固定面上，從而降低了鎖緊誤差，提高了定位精度；再一方面，由于二維調(diào)整機構(gòu)和所述被調(diào)整件獨立設(shè)置，因此，調(diào)整完成后可以從被調(diào)整件上拆除該二維調(diào)整機構(gòu)，不影響被調(diào)整件的長期穩(wěn)定性。
[0025]另外，所述預(yù)緊加載單元采用柔性件提供預(yù)緊力，所述柔性件采用單軸柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)，柔性件的鉸鏈軸方向平行于支撐件的表面，一方面，可以保證預(yù)緊加載過程中，提供加載力，另一方面，可以避免鎖緊過程中出現(xiàn)的過定位，在鎖緊過程中可以通過該柔性件的變形來消除過定位，同時保證非鎖緊方向具有足夠的剛度。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0026]本發(fā)明的二維調(diào)整機構(gòu)及二維調(diào)整方法由以下的實施例及附圖給出。
[0027]圖1為本發(fā)明一實施例的二維調(diào)整機構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0028]圖2為本發(fā)明一實施例中的預(yù)緊加載單元的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0029]圖3a為本發(fā)明一實施例中的柔性件的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0030]圖3b為圖3a的側(cè)視圖。
[0031]圖4為現(xiàn)有技術(shù)中常用二維調(diào)整結(jié)構(gòu)。[0032]圖5為本發(fā)明一實施例中的二維調(diào)整機構(gòu)的一種應(yīng)用示意圖
[0033]圖中，1-支撐件，2-被調(diào)整件，3-聯(lián)結(jié)件，41-柔性件，42-軸銷，421、422_軸銷螺母，43-止動頂絲，44-夾持板，45-緊固螺釘，46-支撐塊，47-預(yù)緊螺釘，51-轉(zhuǎn)接板，52-驅(qū)動滑臺。
【具體實施方式】
[0034]下面將參照附圖對本發(fā)明進行更詳細的描述，其中表示了本發(fā)明的優(yōu)選實施例，應(yīng)該理解本領(lǐng)域技術(shù)人員可以修改在此描述的本發(fā)明而仍然實現(xiàn)本發(fā)明的有利效果。因此，下列描述應(yīng)當(dāng)被理解為對于本領(lǐng)域技術(shù)人員的廣泛知道，而并不作為對本發(fā)明的限制。
[0035]為了清楚，不描述實際實施例的全部特征。在下列描述中，不詳細描述公知的功能和結(jié)構(gòu)，因為它們會使本發(fā)明由于不必要的細節(jié)而混亂。應(yīng)當(dāng)認為在任何實際實施例的開發(fā)中，必須作出大量實施細節(jié)以實現(xiàn)開發(fā)者的特定目標(biāo)，例如按照有關(guān)系統(tǒng)或有關(guān)商業(yè)的限制，由一個實施例改變?yōu)榱硪粋€實施例。另外，應(yīng)當(dāng)認為這種開發(fā)工作可能是復(fù)雜和耗費時間的，但是對于本領(lǐng)域技術(shù)人員來說僅僅是常規(guī)工作。
[0036]為使本發(fā)明的目的、特征更明顯易懂，下面結(jié)合附圖對本發(fā)明的【具體實施方式】作進一步的說明。需說明的是，附圖均采用非常簡化的形式且均使用非精準(zhǔn)的比率，僅用以方便、明晰地輔助說明本發(fā)明實施例的目的。
[0037]請參閱圖1和圖2，本實施例提供的二維調(diào)整機構(gòu)，用于調(diào)整被調(diào)整件2在支撐件I的表面上的位置，包括聯(lián)結(jié)件3、預(yù)緊加載單元以及調(diào)整驅(qū)動單元，所述預(yù)緊加載單元通過所述聯(lián)結(jié)件3將所述被調(diào)整件2壓在支撐件I的表面上，所述調(diào)整驅(qū)動單元和所述預(yù)緊加載單元連接，用以提供驅(qū)動力。采用上述結(jié)構(gòu)，一方面，通過設(shè)置聯(lián)結(jié)件3，可以克服空間約束，能夠在有限的空間內(nèi)實現(xiàn)對被調(diào)整件2的二維獨立調(diào)整；另一方面，在調(diào)整過程中通過預(yù)緊加載單元添加預(yù)緊力，可以使得被調(diào)整件2在調(diào)整過程中始終貼合于定位固定面上，從而降低了鎖緊誤差，提高了定位精度；再一方面，由于二維調(diào)整機構(gòu)和所述被調(diào)整件2獨立設(shè)置，因此，調(diào)整完成后可以從被調(diào)整件2上拆除該二維調(diào)整機構(gòu)，不影響被調(diào)整件2的長期穩(wěn)定性。
[0038]較佳的，在本實施例的二維調(diào)整機構(gòu)中，所述預(yù)緊加載單元包括柔性件41、杠桿機構(gòu)、預(yù)緊螺釘47、止動頂絲43、支撐塊46以及夾持板44，所述杠桿機構(gòu)安裝于所述夾持板44上，所述柔性件41的一端通過緊固螺釘45與所述聯(lián)結(jié)件3固定連接，所述聯(lián)結(jié)件3與所述被調(diào)整件2通過螺釘組件(未圖示)可拆卸式連接，所述柔性件41的另一端與杠桿機構(gòu)的輸出端連接，所述預(yù)緊螺釘47設(shè)置于杠桿機構(gòu)的輸入端，所述止動頂絲43設(shè)置于所述夾持板44上，通過調(diào)整所述止動頂絲43能夠固定所述杠桿機構(gòu)。使用時，通過調(diào)整預(yù)緊螺釘47，利用杠桿原理，可以使得柔性件41變形，從而帶動聯(lián)結(jié)件3及與聯(lián)結(jié)件3固定連接的被調(diào)整件2壓在支撐件I的表面上，從而使得后續(xù)調(diào)整好位置后的鎖緊過程中不會產(chǎn)生移動誤差。
[0039]較佳的，在本實施例的二維調(diào)整機構(gòu)中，所述杠桿機構(gòu)包括支撐塊46、軸銷42以及軸銷螺母421、422，所述支撐塊46通過軸銷42及軸銷螺母421、422安裝于所述夾持板44上，所述支撐塊46能夠以所述軸銷42為旋轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動，所述柔性件41的另一端與所述支撐塊46的一端連接，所述支撐塊46的另一端設(shè)置有與所述預(yù)緊螺釘47匹配的螺釘孔，通過調(diào)整所述止動頂絲43能夠使得止動頂絲43的一端擠壓并固定所述支撐塊46。當(dāng)調(diào)整預(yù)緊螺釘47時，可以使支撐塊46的另一端(作為杠桿機構(gòu)的輸入端)運動，使得支撐塊46繞所述軸銷42轉(zhuǎn)動，從而使得支撐塊46的一端(作為杠桿機構(gòu)的輸入端)隨之運動，從而帶動與支撐塊46的一端固定連接的柔性件41的另一端運動，進而使得柔性件41發(fā)生變形，與聯(lián)結(jié)件3固定連接的柔性件41的一端產(chǎn)生的彈性力，通過聯(lián)結(jié)件3加載到被調(diào)整件2上。在該預(yù)緊力作用下，被調(diào)整件2和支撐件I的表面緊密貼合，沒有間隙，從而使得后續(xù)的鎖緊過程中不會產(chǎn)生移動誤差，提高定位精度。
[0040]較佳的，在本實施例的二維調(diào)整機構(gòu)中，所述柔性件41采用單軸柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)，如圖3a和圖3b所示，所述柔性件41的兩端的厚度大于所述柔性件41中部的厚度，以便于所述柔性件41通過兩端分別與聯(lián)結(jié)件3和支撐塊46固定連接，柔性件41的鉸鏈軸方向平行于支撐件I的表面。通過對所述柔性件41結(jié)構(gòu)的一端施加力，約束所述柔性件41的另一端，使其繞旋轉(zhuǎn)軸心變形來提供預(yù)緊力，變形力的施加不限于本實施例所述的螺旋結(jié)構(gòu)即預(yù)緊螺釘。采用上述結(jié)構(gòu)的柔性件41，一方面，可以保證預(yù)緊加載過程中，提供加載力，另一方面，可以避免鎖緊過程中出現(xiàn)的過定位，在鎖緊過程中可以通過該柔性件41的變形來消除過定位，同時保證非鎖緊方向具有足夠的剛度。
[0041]較佳的，在本實施例的二維調(diào)整機構(gòu)中，所述柔性件41的數(shù)量是兩個。從而可以使得聯(lián)結(jié)件3的受力更加均勻，進而使得被調(diào)整件2的受力更加均勻。
[0042]較佳的，在本實施例的二維調(diào)整機構(gòu)中，所述調(diào)整驅(qū)動單元包括轉(zhuǎn)接板51以及驅(qū)動滑臺52，所述驅(qū)動滑臺52通過所述轉(zhuǎn)接板51與所述預(yù)緊加載單元連接，所述驅(qū)動滑臺52用于提供驅(qū)動力。通過設(shè)置轉(zhuǎn)接板51，可以使被調(diào)整件2通過驅(qū)動滑臺或其他調(diào)整驅(qū)動單元在零部件的外部實現(xiàn)調(diào)整，從而可以在更加遠離被調(diào)整件2的位置實施調(diào)整工作。
[0043]較佳的，在本實施例的二維調(diào)整機構(gòu)中，所述轉(zhuǎn)接板51與所述夾持板44以垂直方式固定連接。從而可以改變調(diào)整驅(qū)動力(即來自驅(qū)動滑臺52的力)的施力方向，便于靈活施加調(diào)整驅(qū)動力。
[0044]較佳的，在本實施例的二維調(diào)整機構(gòu)中，所述驅(qū)動滑臺52可以采用由滑臺導(dǎo)軌和微分頭組成的手動滑臺，也可以采用自動運動臺，實現(xiàn)電機驅(qū)動。由于手動滑臺和自動運動臺是本領(lǐng)域的常規(guī)技術(shù)手段，故在此不再贅述。
[0045]請繼續(xù)參閱圖1和圖2，本發(fā)明還提供了一種二維調(diào)整方法，包括如下步驟:
[0046]首先，將被調(diào)整件2通過固定螺釘固定于支撐件I上后，組裝如上所述的二維調(diào)整機構(gòu)，使得聯(lián)結(jié)件3分別與被調(diào)整件2和柔性件41的一端固定連接。
[0047]然后，松開固定螺釘后，通過調(diào)整預(yù)緊螺釘47，使得柔性件41形變，柔性件41形變產(chǎn)生的彈性力將被調(diào)整件2密貼于支撐件I的表面上。預(yù)緊施載的方式可以通過類似杠桿原理的結(jié)構(gòu)，通過調(diào)節(jié)預(yù)緊螺釘47，施加一定的預(yù)緊力給聯(lián)結(jié)件3，使柔性件41發(fā)生變形，利用彈性力加載。在預(yù)緊力作用下，被調(diào)整件2和支撐件I的表面(即貼合面)緊密貼合，沒有間隙，從而可以使得后續(xù)的鎖緊過程不會產(chǎn)生移動誤差。
[0048]接著，利用調(diào)整驅(qū)動單元使得被調(diào)整件2到達所需位置。具體可以如下:調(diào)整驅(qū)動滑臺52，驅(qū)動被調(diào)整件2在貼合面上沿滑臺導(dǎo)軌方向移動，柔性件41的鉸鏈軸平行于貼合面(即被調(diào)整件2的移動平面)，保證調(diào)整過程中的被調(diào)整件2在移動方向的剛性，而在垂直于貼合面的方向提供柔性變形以消除鎖緊過程中的過定位。[0049]接著，調(diào)整達到預(yù)定精度后鎖緊被調(diào)整件2的固定螺釘，完成被調(diào)整件2的定位固定。
[0050]最后，拆除聯(lián)結(jié)件3、預(yù)緊加載單元和調(diào)整驅(qū)動單元，實現(xiàn)二維調(diào)整結(jié)構(gòu)和被調(diào)整件2的分離。從而，保證被調(diào)整件2的長期穩(wěn)定性，同時也可以提高該二維調(diào)整機構(gòu)的利用率。
[0051]如圖5所示，本實施例應(yīng)用于在對準(zhǔn)成像模塊中，照明進光組件(作為被調(diào)整件2)需要進行高精度的二維調(diào)整，調(diào)整完成后鎖緊固定在成像組件(相當(dāng)于支撐件I)上。該調(diào)整機構(gòu)采用案例中的二維調(diào)整機構(gòu)，實現(xiàn)照明光軸的精確調(diào)整和固定。
[0052]綜上所述，本發(fā)明提供的二維調(diào)整機構(gòu)及二維調(diào)整方法，包括聯(lián)結(jié)件、預(yù)緊加載單元以及調(diào)整驅(qū)動單元，所述預(yù)緊加載單元通過所述聯(lián)結(jié)件將所述被調(diào)整件壓在支撐件的表面(即定位固定面)上，所述調(diào)整驅(qū)動單元和所述預(yù)緊加載單元連接，用以提供驅(qū)動力。一方面，通過設(shè)置聯(lián)結(jié)件，可以克服空間約束，能夠在有限的空間內(nèi)實現(xiàn)對被調(diào)整件的二維獨立調(diào)整，另一方面，在調(diào)整過程中通過預(yù)緊加載單元添加預(yù)緊力，可以使使得被調(diào)整件在調(diào)整過程中始終貼合于定位固定面上，從而降低了鎖緊誤差，提高了定位精度；再一方面，由于二維調(diào)整機構(gòu)和所述被調(diào)整件獨立設(shè)置，因此，調(diào)整完成后可以從被調(diào)整件上拆除該二維調(diào)整機構(gòu)，不影響被調(diào)整件的長期穩(wěn)定性。
[0053]另外，所述預(yù)緊加載單元采用柔性件提供預(yù)緊力，所述柔性件采用單軸柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)，柔性件的鉸鏈軸方向平行于支撐件的表面，一方面，可以保證預(yù)緊加載過程中，提供加載力，另一方面，可以避免鎖緊過程中出現(xiàn)的過定位，在鎖緊過程中可以通過該柔性件的變形來消除過定位，同時保證非鎖緊方向具有足夠的剛度。
[0054]顯然，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對本發(fā)明進行各種改動和變型而不脫離本發(fā)明的精神和范圍。這樣，倘若本發(fā)明的這些修改和變型屬于本發(fā)明權(quán)利要求及其等同技術(shù)的范圍之內(nèi)，則本發(fā)明也意圖包含這些改動和變型在內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種二維調(diào)整機構(gòu)，用于調(diào)整被調(diào)整件在支撐件的表面上的位置，其特征在于，包括聯(lián)結(jié)件、預(yù)緊加載單元以及調(diào)整驅(qū)動單元，所述預(yù)緊加載單元通過所述聯(lián)結(jié)件將所述被調(diào)整件壓在支撐件的表面上，所述調(diào)整驅(qū)動單元和所述預(yù)緊加載單元連接，用以提供驅(qū)動力。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的二維調(diào)整機構(gòu)，其特征在于，所述預(yù)緊加載單元包括柔性件、杠桿機構(gòu)、預(yù)緊螺釘、止動頂絲以及夾持板，所述柔性件的一端與所述聯(lián)結(jié)件固定連接，所述柔性件的另一端與杠桿機構(gòu)的輸出端連接，所述杠桿機構(gòu)安裝于所述夾持板上，所述預(yù)緊螺釘設(shè)置于杠桿機構(gòu)的輸入端，所述止動頂絲設(shè)置于所述夾持板上，通過調(diào)整所述止動頂絲能夠固定所述杠桿機構(gòu)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的二維調(diào)整機構(gòu)，其特征在于，所述杠桿機構(gòu)包括支撐塊、軸銷以及軸銷螺母，所述支撐塊通過軸銷及軸銷螺母安裝于所述夾持板上，所述支撐塊能夠以所述軸銷為旋轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動，所述柔性件的另一端與所述支撐塊的一端連接，所述支撐塊的另一端設(shè)置有與所述預(yù)緊螺釘匹配的螺釘孔，通過調(diào)整止動頂絲能夠使得止動頂絲的一端擠壓并固定所述支撐塊。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的二維調(diào)整機構(gòu)，其特征在于，所述柔性件采用單軸柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)，柔性件的鉸鏈軸方向平行于支撐件的表面。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的二維調(diào)整機構(gòu)，其特征在于，所述調(diào)整驅(qū)動單元包括轉(zhuǎn)接板以及驅(qū)動滑臺，所述驅(qū)動滑臺通過所述轉(zhuǎn)接板與所述預(yù)緊加載單元連接。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的二維調(diào)整機構(gòu)，其特征在于，所述驅(qū)動滑臺采用由滑臺導(dǎo)軌和微分頭組成的手動滑臺。
7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的二維調(diào)整機構(gòu)，其特征在于，所述驅(qū)動滑臺采用自動運動臺。
8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的二維調(diào)整機構(gòu)，其特征在于，所述轉(zhuǎn)接板與所述夾持板垂直式固定連接。
9.一種二維調(diào)整方法，其特征在于，包括如下步驟: 首先，將被調(diào)整件通過固定螺釘固定于支撐件上后，組裝如權(quán)利要求2?8中任意一項所述的二維調(diào)整機構(gòu)，使得聯(lián)結(jié)件分別與被調(diào)整件和柔性件的一端固定連接； 然后，松開固定螺釘后，通過調(diào)整預(yù)緊螺釘，使得柔性件形變，柔性件形變產(chǎn)生的彈性力將被調(diào)整件密貼于支撐件的表面上； 接著，利用調(diào)整驅(qū)動單元使得被調(diào)整件到達所需位置； 接著，調(diào)整達到預(yù)定精度后鎖緊被調(diào)整件的固定螺釘，完成被調(diào)整件的定位固定； 最后，拆除聯(lián)結(jié)件、預(yù)緊加載單元和調(diào)整驅(qū)動單元，實現(xiàn)二維調(diào)整結(jié)構(gòu)和被調(diào)整件的分離； 最后，通過固定螺釘將被調(diào)整件固定在支撐件上后，拆除聯(lián)結(jié)件、預(yù)緊加載單元和調(diào)整驅(qū)動單元，實現(xiàn)二維調(diào)整結(jié)構(gòu)和被調(diào)整件的分離。
【文檔編號】B25B27/00GK103567954SQ201210285503
【公開日】2014年2月12日 申請日期:2012年8月10日 優(yōu)先權(quán)日:2012年8月10日
【發(fā)明者】程海林 申請人:上海微電子裝備有限公司, 上海微高精密機械工程有限公司