專利名稱：精密工作臺的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及精密工作臺。
背景技術(shù)：
目前，氣浮工作臺包括由單面具有出氣孔的氣浮塊組成的氣浮平臺和矩形條組成的定導(dǎo)軌，導(dǎo)軌相對面上設(shè)有導(dǎo)向槽，所述氣浮平臺與導(dǎo)軌通過導(dǎo)向槽導(dǎo)向配合，此種裝置存在以下幾個缺陷一、需要加工的氣浮塊數(shù)量多，做一維運動時，需要至少四個氣浮塊，做二維運動時則需要在一維運動基礎(chǔ)上再加一個一維運動，氣浮塊的數(shù)量的加倍，使其氣浮塊數(shù)量繁多，裝配復(fù)雜；二、由于氣浮塊數(shù)量多，氣浮塊之間的裝配存在一定的誤差，眾多氣浮塊裝配使得裝配誤差進(jìn)一步加大，進(jìn)而降低了高精密測量的精度；三、氣浮塊的數(shù)量多，各氣浮塊之間裝配后強(qiáng)度變小，承載能力小。

實用新型內(nèi)容本實用新型的目的在于提供精密工作臺，以解決現(xiàn)有技術(shù)的工作臺中由于動定導(dǎo)軌由多個單面氣浮平臺成而造成的裝配復(fù)雜、誤差大、承載能力小的問題。為了解決上述問題，本實用新型的精密工作臺，包括至少一層的臺架，每層臺架均包括與對應(yīng)定導(dǎo)軌導(dǎo)向配合的氣浮平臺，所述氣浮平臺為以下結(jié)構(gòu)中的一種第一種，所述氣浮平臺由一個氣浮塊構(gòu)成，該氣浮塊與所述定導(dǎo)軌導(dǎo)向配合的各個面上均設(shè)有正對定導(dǎo)軌對應(yīng)配合面的出氣孔，各出氣孔在氣浮塊內(nèi)部相互連通；第二種，所述氣浮平臺由兩個氣浮塊背靠背固連構(gòu)成，兩所述氣浮塊與定導(dǎo)軌導(dǎo)向配合的各個面上均設(shè)有正對定導(dǎo)軌配合面的出氣孔，兩所述氣浮塊的各出氣孔在各自氣浮塊內(nèi)部相互連通；第三種，所述氣浮平臺由三個氣浮塊疊加固連構(gòu)成，各氣浮塊與定導(dǎo)軌導(dǎo)向配合的各個面上均設(shè)有正對定導(dǎo)軌配合面的出氣孔，組成該氣浮平臺的所述氣浮塊的各出氣孔在各自氣浮塊內(nèi)部相互連通。所述三種結(jié)構(gòu)中組成所述氣浮平臺的各氣浮塊的出氣孔的外端口上均設(shè)有噴嘴。所述各層臺架均包括底板，所述定導(dǎo)軌固設(shè)在相應(yīng)的底板上。該精密工作臺包括兩層所述臺架，上層所述臺架的所述定導(dǎo)軌與下層所述臺架的所述定導(dǎo)軌互相垂直。上層所述臺架的底板即為下層所述臺架的氣浮平臺。所述兩臺架上的氣浮平臺結(jié)構(gòu)均為所述的第一種結(jié)構(gòu)。本實用新型中構(gòu)成氣浮平臺的氣浮塊不僅僅在一個面上設(shè)有出氣孔，因此氣浮塊平臺可由一個、兩個或三個氣浮塊構(gòu)成，氣浮平臺所需要的氣浮塊數(shù)量大大減少，比如用四個面設(shè)有出氣孔的氣浮塊作為氣浮平臺時，只需要一個氣浮塊即可，裝配結(jié)構(gòu)非常簡單，大大減小了裝配誤差，由于裝配結(jié)構(gòu)的簡單，使得氣浮平臺強(qiáng)度增大，承載能力提高。

[0012]圖I是本實用新型實施例I的立體結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是本實用新型實施例I的主視圖；圖3是本實用新型實施例I的左視圖；圖4是本實用新型實施例I的俯視圖；圖5是本實用新型實施例2中氣浮平臺的結(jié)構(gòu)示意圖；圖6是本實用新型實施例3中氣浮平臺的結(jié)構(gòu)示意圖；圖7是本實用新型實施例3中氣浮平臺的另ー種結(jié)構(gòu)示意圖；圖8是本實用新型實施例4中氣浮平臺的結(jié)構(gòu)示意圖；圖9是本實用新型實施例5中氣浮平臺的結(jié)構(gòu)示意圖；圖10是本實用新型實施例6中氣浮平臺的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施方式
以下結(jié)合附圖對本實用新型實施例做詳細(xì)描述精密工作臺實施例，實施例I該精密工作臺為ニ維工作臺，如圖廣4所示，包括兩層的臺架，分別為上層臺架和下層臺架，下層臺架包括底板I、平行固設(shè)在底板上的兩個定導(dǎo)軌2、2’、與定導(dǎo)軌2、2’導(dǎo)向配合的氣浮平臺以及固設(shè)在底板I上用于推動氣浮平臺沿定導(dǎo)軌2、2’往復(fù)運動的絲杠絲母結(jié)構(gòu)3，定導(dǎo)軌2、2’相對面上均具有沿定導(dǎo)軌延伸方向延伸的導(dǎo)向槽，下層臺架導(dǎo)向槽由橫截面為“「”形的定導(dǎo)軌以及“·I ”形的定導(dǎo)軌與底板I上表面圍成，氣浮平臺與相対的導(dǎo)向槽導(dǎo)向配合，兩氣浮平臺由ー個氣浮塊5構(gòu)成，該氣浮塊5兩個相對面以及該兩相對面之間的任意一對相對面上均設(shè)有出氣孔9，該氣浮塊的所述四個相對面上的出氣孔9分別與兩所述導(dǎo)向槽的上、下槽面及側(cè)面正對，氣浮塊5中每個所述氣浮塊的出氣孔9的外端ロ上均設(shè)有噴嘴，氣浮塊5中的各出氣孔9通過氣浮塊5內(nèi)部的氣體通道相互連通并與同一個進(jìn)氣孔11連通；上層臺架包括底板、平行固設(shè)在底板上的兩個定導(dǎo)軌7、7’、與定導(dǎo)軌7、V導(dǎo)向配合的氣浮平臺以及固設(shè)所述底板上用于推動氣浮平臺沿定導(dǎo)軌7、7’往復(fù)運動的絲杠絲母結(jié)構(gòu)4，下層臺架的底板I即為上層臺架的氣浮平臺，兩層所述臺架的上的定導(dǎo)軌延伸方向互相垂直，定導(dǎo)軌7、7’相對面上均具有沿定導(dǎo)軌7、7’延伸方向延伸的導(dǎo)向槽,上層臺架導(dǎo)向槽由橫截面為“[”形的定導(dǎo)軌以及“]”形的定導(dǎo)軌構(gòu)成，氣浮平臺與相對的導(dǎo)向槽導(dǎo)向配合，兩氣浮平臺由ー個氣浮塊6構(gòu)成，該氣浮塊6兩個相對面以及該兩相對面之間的任意一對相對面上均設(shè)有出氣孔10，該氣浮塊6的所述四個相對面上的出氣孔10分別與兩所述導(dǎo)向槽的上、下槽面及側(cè)面正對，為了氣浮平臺在使用中保持穩(wěn)定，氣浮塊在各個面上的出氣孔可以根據(jù)需要沿定導(dǎo)軌延伸方向均勻設(shè)置ー個或多個，氣浮塊6中每個所述氣浮塊的出氣孔10的外端口上均設(shè)有噴嘴，氣浮塊6中的出氣孔10通過氣浮塊內(nèi)部的氣體通道相互連通并與同一個進(jìn)氣孔12連通，待測件8固定在上層臺架的氣浮塊6上。使用吋，氣浮塊的上、下表面的出氣孔分別作用導(dǎo)向槽下表面和上表面，氣浮塊兩側(cè)的出氣孔分別作用于導(dǎo)向槽的側(cè)面，調(diào)節(jié)控制閥，使得氣浮塊穩(wěn)定懸浮在兩定導(dǎo)軌的導(dǎo)向槽之間，在絲杠絲母的推動下，沿定導(dǎo)軌無摩擦移動。氣浮塊四個面上開設(shè)有出氣孔，用這種結(jié)構(gòu)的氣浮塊構(gòu)成氣浮平臺，僅需要一個氣浮塊即可，裝配結(jié)構(gòu)非常簡單，大大減小了裝配誤差，由于氣浮平臺為一個整體，使得氣浮平臺強(qiáng)度增大，承載能力提高。實施例2與實施例I不同的是，所述上層臺架中的氣浮平臺或下層臺架中的氣浮平臺的結(jié)構(gòu)還可以用以下結(jié)構(gòu)來代替，如圖5所示，氣浮平臺由兩個氣浮塊沿水平方向背靠背固連構(gòu)成，兩個氣浮塊中正對兩導(dǎo)向槽側(cè)面的面上設(shè)有出氣孔，在兩氣浮塊的上下表面中正對兩導(dǎo)向槽上、下槽面的部分均設(shè)有出氣孔，氣浮塊中每個氣浮塊的出氣孔的外端口上均設(shè)有噴嘴(未畫出)，氣浮塊中的出氣孔通過氣浮塊內(nèi)部的氣體通道相互連通并與同一個進(jìn)氣孔連通。實施例3與實施例I不同的是，上層臺架中的氣浮平臺或下層臺架中的氣浮平臺的結(jié)構(gòu)還可以用以下結(jié)構(gòu)來代替，如圖6、7所示，氣浮平臺由兩個氣浮塊上、下疊加固連構(gòu)成，上方的氣浮塊的上表面正對兩導(dǎo)向槽上槽面的部分以及該氣浮塊正對所述導(dǎo)向槽的兩個側(cè)面的面上均設(shè)有出氣孔，下方的氣浮塊僅下表面正對導(dǎo)向槽下槽面的部分設(shè)有出氣孔或者下表面正對導(dǎo)向槽下槽面的部分和正對兩個所述導(dǎo)向槽側(cè)面的面上設(shè)有出氣孔，氣浮塊中每個氣浮塊的出氣孔的外端口上均設(shè)有噴嘴(未畫出)，氣浮塊中的出氣孔通過所述氣浮塊內(nèi)部的氣體通道相互連通并與同一個進(jìn)氣孔連通。實施例4與實施例I不同的是，所述上層臺架中的氣浮平臺或下層臺架中的氣浮平臺的結(jié)構(gòu)還可以用以下結(jié)構(gòu)來代替，如圖8所示，氣浮平臺由三個氣浮塊上下疊加固連構(gòu)成，其中，中間的氣浮塊的正對兩個所述導(dǎo)向槽側(cè)壁的面上設(shè)有出氣孔，上、下兩氣浮塊與兩導(dǎo)向槽上、下槽面正對的面上設(shè)有出氣孔，氣浮塊中每個氣浮塊的出氣孔的外端口上均設(shè)有噴嘴(未畫出)，氣浮塊中的出氣孔通過氣浮塊內(nèi)部的氣體通道相互連通并與同一個進(jìn)氣孔連通。實施例5與實施例I不同的是，所述上層臺架中的氣浮平臺或下層臺架中的氣浮平臺的結(jié)構(gòu)還可以用以下結(jié)構(gòu)來代替，如圖9所示，氣浮平臺由三個氣浮塊水平方向疊加固連構(gòu)成，其中，中間的氣浮塊上、下表面正對兩個所述導(dǎo)向槽上、下槽面的部分上設(shè)有出氣孔，左、右兩氣浮塊正對所述兩導(dǎo)向槽側(cè)壁的面上設(shè)有出氣孔，氣浮塊中每個氣浮塊的出氣孔的外端口上均設(shè)有噴嘴(未畫出)，氣浮塊中的出氣孔通過所述氣浮塊內(nèi)部的氣體通道相互連通并與同一個進(jìn)氣孔連通。實施例6與實施例I不同的是，所述上層臺架中的氣浮平臺或下層臺架中的氣浮平臺的結(jié)構(gòu)還可以用以下結(jié)構(gòu)來代替，如圖10所示，氣浮平臺由一個氣浮塊及該氣浮塊上兩個水平設(shè)置的氣浮塊固連構(gòu)成，上方的兩個氣浮塊正對對應(yīng)導(dǎo)向槽側(cè)壁的面上以及兩氣浮塊上表面與對應(yīng)導(dǎo)向槽的上槽面正對的部分均設(shè)有出氣孔，下方的氣浮塊的下表面與對應(yīng)導(dǎo)向槽下槽面正對的部分上設(shè)有出氣孔，氣浮塊中每個氣浮塊的出氣孔的外端口上均設(shè)有噴嘴(未畫出)，所述氣浮塊中的出氣孔通過所述氣浮塊內(nèi)部的氣體通道相互連通并與同一個進(jìn)氣孔連通。[0038]實施例7所述精密工作臺為ー維工作臺，僅包括一層臺架，該層臺架的結(jié)構(gòu)可以為上述各實施例中所述下層臺架結(jié)構(gòu)中的ー種。以上均為本實用新型的優(yōu)選實施例，在基于本實用新型實施例的等同變形或者搭配，如在實施例6中將下方的氣浮塊換成三面具有出氣孔的氣浮塊等等，均在 本實用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求1.精密工作臺，包括至少一層的臺架，每層臺架均包括與對應(yīng)定導(dǎo)軌導(dǎo)向配合的氣浮平臺，其特征在于所述氣浮平臺為以下結(jié)構(gòu)中的一種第一種，所述氣浮平臺由一個氣浮塊構(gòu)成，該氣浮塊與所述定導(dǎo)軌導(dǎo)向配合的各個面上均設(shè)有正對定導(dǎo)軌對應(yīng)配合面的出氣孔，各出氣孔在氣浮塊內(nèi)部相互連通；第二種，所述氣浮平臺由兩個氣浮塊背靠背固連構(gòu)成，兩所述氣浮塊與定導(dǎo)軌導(dǎo)向配合的各個面上均設(shè)有正對定導(dǎo)軌配合面的出氣孔，兩所述氣浮塊的各出氣孔在各自氣浮塊內(nèi)部相互連通；第三種，所述氣浮平臺由三個氣浮塊疊加固連構(gòu)成，各氣浮塊與定導(dǎo)軌導(dǎo)向配合的各個面上均設(shè)有正對定導(dǎo)軌配合面的出氣孔，組成該氣浮平臺的所述氣浮塊的各出氣孔在各自氣浮塊內(nèi)部相互連通。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的精密工作臺，其特征是所述三種結(jié)構(gòu)中組成所述氣浮平臺的各氣浮塊的出氣孔的外端口上均設(shè)有噴嘴。
3.根據(jù)權(quán)利要求I或2所述的精密工作臺，其特征是所述各層臺架均包括底板，所述定導(dǎo)軌固設(shè)在相應(yīng)的底板上。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的精密工作臺，其特征是該精密工作臺包括兩層所述臺架，上層所述臺架的所述定導(dǎo)軌與下層所述臺架的所述定導(dǎo)軌互相垂直。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的精密工作臺，其特征是上層所述臺架的底板即為下層所述臺架的氣浮平臺。
6.根據(jù)權(quán)利要求I或2或4或5所述的精密工作臺，其特征是所述兩臺架上的氣浮平臺結(jié)構(gòu)均為所述的第一種結(jié)構(gòu)。
專利摘要本實用新型涉及精密工作臺，包括至少一層的臺架，每層臺架均包括與對應(yīng)定導(dǎo)軌導(dǎo)向配合的氣浮平臺，氣浮平臺為以下結(jié)構(gòu)中的一種第一種，氣浮平臺由一個氣浮塊構(gòu)成，第二種，氣浮平臺由兩個氣浮塊背靠背固連構(gòu)成，兩氣浮塊與定導(dǎo)軌導(dǎo)向配合的各個面上均設(shè)有作用于定導(dǎo)軌配合面的出氣孔；第三種，氣浮平臺由三個氣浮塊疊加固連構(gòu)成，各氣浮塊與定導(dǎo)軌導(dǎo)向配合的各個面上均設(shè)有作用于定導(dǎo)軌配合面的出氣孔。本實用新型氣浮塊平臺可由一個、兩個或三個氣浮塊構(gòu)成，氣浮平臺所需要的氣浮塊數(shù)量大大減少，裝配結(jié)構(gòu)非常簡單，大大減小了裝配誤差，由于裝配結(jié)構(gòu)的簡單，使得氣浮平臺強(qiáng)度增大，承載能力提高。
文檔編號B25H1/00GK202462376SQ201120547940
公開日2012年10月3日 申請日期2011年12月25日 優(yōu)先權(quán)日2011年12月25日
發(fā)明者劉朋, 呂鋒, 崔鳳奎, 張豐收, 李春梅, 楊丙乾, 王曉強(qiáng), 薛進(jìn)學(xué), 高樂 申請人:河南科技大學(xué)