專利名稱：液滴噴出裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種液滴噴出裝置。
背景技術(shù)：
以往，在液晶顯示裝置或有機(jī)電致發(fā)光顯示裝置(有機(jī)EL顯示裝置)等光電裝置中具備用于顯示圖像的透明玻璃基板(以下簡(jiǎn)稱為基板。)。在該基板上以品質(zhì)管理或制造管理為目的形成有使其制造商或產(chǎn)品號(hào)等制造信息代碼化后的識(shí)別代碼(例如，2維代碼)。這樣的識(shí)別代碼，在排列后的多個(gè)點(diǎn)形成區(qū)域(數(shù)據(jù)單元)的一部分具備作為點(diǎn)圖案的代碼圖案(例如，有色的薄膜或凹部)，根據(jù)其代碼圖案的有無(wú)使上述制造信息代碼化。
對(duì)于其識(shí)別代碼的形成方法，提出了對(duì)金屬箔照射激光并濺射成膜代碼圖案的激光濺射法、或?qū)⒑醒心ゲ牧系乃畤娚湓诨迳峡逃〈a圖案的噴水法(參照特開平11-77340號(hào)公報(bào)、及特開2003-127537號(hào)公報(bào))。
但是，在激光濺射法中，為了得到所希望的尺寸的代碼圖案，需要將金屬箔和基板之間的間隙調(diào)整為幾微米～幾十微米。即，對(duì)基板和金屬箔的表面需要極其高的精度的平坦性，而且，必須以微米(μm)級(jí)的精度調(diào)整這些間隙。其結(jié)果，可形成識(shí)別代碼的對(duì)象基板被限制，導(dǎo)致?lián)p傷其通用性的問題。在噴水法中，由于在基板的刻印時(shí)水、塵埃及研磨劑飛散，因此產(chǎn)生污染該基板的問題。
近年來(lái)，作為接觸所述的生產(chǎn)上的問題的識(shí)別代碼的形成方法，噴墨法備受關(guān)注。噴墨法，用于通過從噴頭噴出含有金屬微粒液滴，并使其液滴干燥而形成代碼圖案。因此可以擴(kuò)大對(duì)象基板的范圍，避免該基板的污染等的同時(shí)可以形成識(shí)別代碼。
但是，噴墨法是使滴落在基板上的液滴干燥，使功能材料燒成而密接在基板上的方法。即，由干燥工序固定液滴的形狀，由燒成工序凝固功能材料。這樣的干燥/燒成工序是為了形成適當(dāng)?shù)男螤钏璧墓ば?。并且，在進(jìn)行噴墨法的液滴噴出裝置中，為了高效地進(jìn)行干燥/燒成，而在噴頭附近設(shè)置用于照射進(jìn)行干燥/燒成的激光的照射部。
目前，在利用這樣的噴墨法的情況下使用有多種多樣的基板。例如，具有作為基板使用多種大小的面板的情況。另外，一張面板中的代碼圖案的配置也多樣化。因此即使在利用噴墨法的情況下，也希望使用可與該多種多樣的基板對(duì)應(yīng)的裝置。在這種情況下，在基板上滴落液滴并迅速地進(jìn)行其液滴的干燥/燒成的工序中，有希望提高生產(chǎn)性。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種向噴出的液滴照射激光，能夠高效地進(jìn)行干燥/燒成，并提高生產(chǎn)效率的液滴噴出裝置。
根據(jù)本發(fā)明的觀點(diǎn)，液滴噴出裝置，具備在對(duì)象物上至少可沿2維方向移動(dòng)的噴頭單元。所述噴頭單元具備向所述對(duì)象物噴出液滴的噴出部、和向滴落在所述對(duì)象物上的所述液滴照射激光的照射部?？刂撇扛鶕?jù)所述噴頭單元的移動(dòng)方向控制所述噴出部及所述照射部的配置。


作為本發(fā)明的新穎的特征，尤其在添加的權(quán)利要求的范圍內(nèi)比較清楚。伴隨著目的及利益的本發(fā)明，通過與附圖一起參照以下所示的目前的優(yōu)選的實(shí)施方式的說明，會(huì)更容易理解。
圖1是組入在本發(fā)明的一實(shí)施方式的液晶顯示裝置中的液晶顯示模塊的主視圖。
圖2是形成在圖1的液晶顯示模塊的背面上的點(diǎn)圖案的放大圖。
圖3是形成在圖1的液晶顯示模塊的背面上的點(diǎn)圖案的放大側(cè)視圖。
圖4是用于說明圖2的點(diǎn)圖案的構(gòu)成的圖。
圖5是為了作成圖2的點(diǎn)圖案而使用本發(fā)明的水平多關(guān)節(jié)型機(jī)器人的液滴噴出裝置的立體圖。
圖6是圖5的液滴噴出裝置的平面圖。
圖7是圖5的液滴噴出裝置的主視圖。
圖8是圖5的水平多關(guān)節(jié)型機(jī)器人的噴頭單元的主要部分放大圖。
圖9是圖8的噴頭單元的噴頭的放大剖面圖。
圖10是用于說明圖5的液滴噴出裝置的電構(gòu)成的電路框圖。
圖11是用于說明圖8的噴頭單元的動(dòng)作的概略說明圖。
圖12是用于說明圖8的噴頭單元的移動(dòng)速度的速度-時(shí)間坐標(biāo)圖。
圖13A是用于說明圖5的水平多關(guān)節(jié)型機(jī)器人的動(dòng)作的俯視圖。
圖13B是圖13A的側(cè)視圖。
圖14-圖16A是用于接著圖5說明水平多關(guān)節(jié)型機(jī)器人的動(dòng)作的俯視圖。
圖14B-圖16B是圖14A-圖16A的側(cè)視圖。
具體實(shí)施例方式
顯示模塊首先，說明具有使用本發(fā)明的液滴噴出裝置而形成的點(diǎn)圖案10的液晶顯示裝置的顯示模塊。
在圖1中，液晶顯示模塊1具備作為光透射性的顯示用基板的透明玻璃基板(以下，簡(jiǎn)稱為“基板”。)。在其基板2的表面2a的大致中央位置形成有封入了液晶分子的四邊形狀的顯示部3，在顯示區(qū)域3的外側(cè)形成有掃描線驅(qū)動(dòng)電路4及數(shù)據(jù)線驅(qū)動(dòng)電路5。并且，液晶顯示模塊1，通過基于掃描線驅(qū)動(dòng)電路4所供給的掃描信號(hào)、和數(shù)據(jù)線驅(qū)動(dòng)電路5所供給的數(shù)據(jù)信號(hào)控制液晶分子的取向狀態(tài)，并根據(jù)液晶分子的取向狀態(tài)調(diào)制從未圖示的照明裝置照射的平面光，而在顯示區(qū)域3顯示所希望的圖像。
如圖1及圖2所示，在基板2的背面2b的右角形成有由點(diǎn)D構(gòu)成的液晶顯示模塊1的點(diǎn)圖案10。點(diǎn)圖案10，如圖2所示，由形成在圖案形成區(qū)域Z1內(nèi)的多個(gè)點(diǎn)D構(gòu)成。
在該圖案形成區(qū)域Z1的外周形成有預(yù)先規(guī)定的空白區(qū)域Z2。并且，被形成在點(diǎn)形成區(qū)域Z1中的點(diǎn)圖案10，在本實(shí)施方式中是2維代碼，可以由2維代碼讀碼器讀取。另外，空白區(qū)域Z2，是沒有形成點(diǎn)D的區(qū)域，也是2維代碼讀碼器可特定點(diǎn)形成區(qū)域Z1、并防止該圖案形成區(qū)域Z1內(nèi)的點(diǎn)圖案10的誤檢測(cè)的區(qū)域。
點(diǎn)形成區(qū)域Z1，是邊長(zhǎng)1～2mm的正方形的區(qū)域，如圖4所示，假設(shè)分割為16行×16列的256個(gè)單元C。并且，對(duì)16行×16列的各單元C選擇性地形成點(diǎn)D，通過其各個(gè)點(diǎn)D，形成用于識(shí)別液晶顯示模塊1的產(chǎn)品號(hào)或批號(hào)的點(diǎn)圖案10。
在本實(shí)施方式中，將在內(nèi)部形成點(diǎn)D的單元C作為黑單元C1，無(wú)形成點(diǎn)D的單元C作為白單元C0(非形成區(qū)域)。形成在黑單元C1(點(diǎn)區(qū)域)上的點(diǎn)D，如圖2及圖3所示，密接在基板2上而被形成為半球狀。該點(diǎn)D，在本實(shí)施方式中通過后述的液滴噴出裝置20形成。詳細(xì)地說，如圖9所示，從噴嘴N向單元C(黑單元C1)噴出含有點(diǎn)形成材料(例如，錳微粒等金屬微粒)的液狀體Fa的液滴Fb。并且，通過干燥滴落在該黑單元C1上的液滴Fb，燒成被包含在液滴Fb中的金屬微粒，而形成密接在基板2上的由金屬構(gòu)成的半球狀的點(diǎn)D。
液滴噴出裝置接著，說明為了在基板2的背面2b形成點(diǎn)圖案10而使用的液滴噴出裝置20。圖5是表示噴出液滴噴出裝置20的整體的立體圖。圖6是該液滴噴出裝置20的俯視圖，圖7是液滴噴出裝置20的主視圖。在本實(shí)施方式中，對(duì)于以多個(gè)基板2排列成矩陣狀的狀態(tài)一體化后的面板21，假設(shè)為噴出液滴Fb的情況。此外，基板2的點(diǎn)形成區(qū)域Z1相當(dāng)于液滴噴出區(qū)域、即相當(dāng)于被滴落區(qū)域。
如圖5～圖7所示，液滴噴出裝置20，具有將作為后述的多關(guān)節(jié)機(jī)器人的水平多關(guān)節(jié)型機(jī)器人29設(shè)在中央的長(zhǎng)方體形狀的基臺(tái)22。在該基臺(tái)22的一側(cè)配設(shè)有面板存放器23。在該面板存放器23中上下間隔開地層疊收容多個(gè)面板21。另外，面板存放器23通過未圖示的升降機(jī)構(gòu)可以進(jìn)行升降。
在面板存放器23側(cè)的基臺(tái)22的上面的部分設(shè)有基板搬送臂24。該基板搬送臂24可沿著X箭頭方向往復(fù)移動(dòng)。進(jìn)一步，該基板搬送臂24可以進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)、伸縮及升降，以在其前端可載置面板21。并且，基板搬送臂24，通過在基臺(tái)22上移動(dòng)，并以規(guī)定的時(shí)間進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)、伸縮及升降，而從面板存放器23取出面板21，或向面板存放器23收容面板21。
另一方面，在基臺(tái)22的上面以?shī)A隔水平多關(guān)節(jié)型機(jī)器人29的方式在X軸方向排列配置有2個(gè)載置臺(tái)26。該載置臺(tái)26是為了噴出液滴進(jìn)行標(biāo)記而用于載置面板21的臺(tái)。該載置臺(tái)26，其中央有空洞，可插入基板搬送臂24。并且，基板搬送臂24，使載置在前端上的面板21的位置與載置臺(tái)26的高度一致。其后，通過使臂24降低，將面板21載置在載置臺(tái)26上。另外，通過進(jìn)行與上述相反的動(dòng)作，從載置臺(tái)26卸下并搬送面板21。此外，基板搬送臂24，以將面板21和水平多關(guān)節(jié)型機(jī)器人29配置成規(guī)定的位置關(guān)系的方式進(jìn)行對(duì)位的同時(shí)進(jìn)行搬送或載置。
水平多關(guān)節(jié)型機(jī)器人29，由安裝在基臺(tái)22上的主軸30、端部被固定在主軸上的第1臂31、與主軸的前端可旋轉(zhuǎn)地連結(jié)的第2臂32、和經(jīng)由支撐軸33與第2臂32的前端連結(jié)的噴頭單元34構(gòu)成。
詳細(xì)地講，主軸30，通過第1電機(jī)M1(參照?qǐng)D10)可向左右兩方向旋轉(zhuǎn)。第1臂31在其基端部與主軸30可旋轉(zhuǎn)地連結(jié)。因此，第1臂31可通過第1電機(jī)M1的旋轉(zhuǎn)以主軸30為中心向左右兩方向旋轉(zhuǎn)。
在第1臂31的前端部經(jīng)由軸連結(jié)著第2臂32的基端部。將第1臂31與第2臂連結(jié)的軸，可通過第2電機(jī)M2(參照?qǐng)D10)向兩方向旋轉(zhuǎn)。因此，第2臂32，可通過第2電機(jī)M2的旋轉(zhuǎn)以第1臂31的前端部為中心向兩方向旋轉(zhuǎn)。從而，通過控制第1臂31相對(duì)主軸30的旋轉(zhuǎn)角度、和第2臂32相對(duì)第1臂31的旋轉(zhuǎn)角度，可以使第2臂32的前端、即噴頭單元34移動(dòng)到XY平面的規(guī)定的范圍內(nèi)的任意的位置上。在本實(shí)施方式中，根據(jù)第1臂31及第232的長(zhǎng)度，可以使噴頭單元34移動(dòng)到由圖6的雙點(diǎn)劃線表示的區(qū)域內(nèi)的任意的位置上。
將第2臂32與噴頭單元34連結(jié)的支撐軸33，通過第3電機(jī)M3(參照?qǐng)D10)向兩方向被驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)。因此，噴頭單元34，以第2臂32的前端為中心可以向兩方向旋轉(zhuǎn)。即，通過驅(qū)動(dòng)第1～第3電機(jī)M1～M3，可以控制成使噴頭單元34的朝向相對(duì)噴頭單元34的移動(dòng)方向始終相同。
此外，如圖5～圖7所示，在液滴噴出裝置20上設(shè)有用于進(jìn)行噴出的維護(hù)的噴出保持裝置27、28。具體地講，該噴出保持裝置27、28可觀察吸引噴頭37中的液狀體Fa的堵塞的情形、噴頭37的擦拭、和從噴頭37噴出的液滴Fb的飛行。
噴頭單元噴頭單元34，如圖8所示，將噴頭機(jī)構(gòu)35、和光源機(jī)構(gòu)36為一體而被設(shè)置。噴出機(jī)構(gòu)35，由收容驅(qū)動(dòng)基板或墨盒等的主體部35a、和通過從該主體部35a延伸為L(zhǎng)字形狀的支撐部件35b來(lái)支撐的作為液滴噴出部的噴頭37構(gòu)成。
噴頭37，如圖9所示，成為將第1基板38a、第2基板38b及第3基板38c層疊接合的層疊結(jié)構(gòu)，在第1基板38a和第2基板38b之間形成有噴嘴N。
詳細(xì)地講，在第1基板38a和第2基板38b之間形成有與各個(gè)噴嘴N分別連通的腔室37c。該腔室37c，經(jīng)由節(jié)流孔37d、儲(chǔ)液部37e及連接管39(參照?qǐng)D8)與收容在噴出機(jī)構(gòu)35的主體部35a中的墨盒連通。即，可以從噴出機(jī)構(gòu)35的墨盒向腔室37c供給液狀體Fa。
腔室37c的側(cè)壁成為振動(dòng)而擴(kuò)大縮小腔室37內(nèi)的容積的振動(dòng)板37b。在該振動(dòng)板37b的與腔室板37c相反側(cè)經(jīng)由振動(dòng)室37f配設(shè)有靜電驅(qū)動(dòng)器。該靜電驅(qū)動(dòng)器具有電極38d。另外，電極38d，在第3基板38c上由配置在與振動(dòng)室37f對(duì)置的位置上的0.1μm左右的ITO來(lái)形成。具體地講，通過后述的噴頭驅(qū)動(dòng)電路52向電極38d施加0V到100V的脈沖電壓，在電極38d的表面帶正電時(shí)，對(duì)應(yīng)的振動(dòng)板37b帶負(fù)電。從而，振動(dòng)板37b，通過基于蓄積電荷的靜電的吸引作用向電極38側(cè)d彎曲，腔室37c內(nèi)的容積擴(kuò)大。其結(jié)果，液狀體Fa從儲(chǔ)液部37e通過節(jié)流孔37d被補(bǔ)給到腔室37c內(nèi)。另一方面，在電極38d的蓄積電荷被放電時(shí)，振動(dòng)板37b的彎曲被解放，腔室37c內(nèi)的容積縮小。在這種情況下，含有縮小了的容積量的金屬微粒的液狀體Fa，從各個(gè)噴嘴N以液滴Fb的形式被噴在面板21的各個(gè)基板2上。
另一方面，如圖8所示，在光源機(jī)構(gòu)36的上部設(shè)有激光照射裝置36a。在該激光照射裝置36a上，作為16個(gè)照射部的半導(dǎo)體激光器L的射出部以等間隔被并設(shè)成一列。這些16個(gè)半導(dǎo)體激光器L被配設(shè)成與所述的16個(gè)噴嘴N對(duì)置。另外，各個(gè)半導(dǎo)體激光器L，從其射出部向下方照射激光。
在光源機(jī)構(gòu)36的下部設(shè)有光學(xué)系統(tǒng)收容部36b。該光學(xué)系統(tǒng)收容部36b中收容透鏡或反射鏡。通過這些透鏡或反射鏡的角度等，如圖9所示，將來(lái)自激光照射裝置36a的半導(dǎo)體激光器L的激光照射在噴嘴N的附近、即從噴嘴N噴出的液滴Fb滴落的位置上。
電構(gòu)成接著，參照?qǐng)D10說明如上述那樣構(gòu)成的液滴噴出裝置20的電構(gòu)成。
在圖10中，控制裝置40具備從外部計(jì)算機(jī)等輸入裝置41接收各種數(shù)據(jù)的I/F部42、由CPU等構(gòu)成的控制部43、由DRAM及SRAM構(gòu)成且儲(chǔ)存各種數(shù)據(jù)的RAM44、和儲(chǔ)存各種控制程序的ROM45。另外，控制裝置40還具備生成用于同步驅(qū)動(dòng)波形生成電路46、和各種驅(qū)動(dòng)信號(hào)的時(shí)鐘信號(hào)CLK的振蕩電路47、生成用于驅(qū)動(dòng)所述半導(dǎo)體激光器L的激光驅(qū)動(dòng)電壓VDL的電源電路48、和發(fā)送各種驅(qū)動(dòng)信號(hào)的I/F部49。并且，在控制裝置40中，這些I/F部42、控制部43、RAM44、ROM45、驅(qū)動(dòng)波形生成電路46、振蕩電路47、電源電路48及I/F部49經(jīng)由總線50而被連接。
詳細(xì)地講，I/F部42，從輸入裝置41將由公知的方法使面板21的產(chǎn)品號(hào)或批號(hào)等識(shí)別數(shù)據(jù)2維代碼后的點(diǎn)圖案10作為既定形式的描繪數(shù)據(jù)Ia來(lái)接收。控制部43，基于I/F部42所接收的描繪數(shù)據(jù)Ia實(shí)行點(diǎn)形成處理動(dòng)作。即，控制部43，將RAM44等作為處理區(qū)域，根據(jù)儲(chǔ)存到ROM45等中的控制程序(例如，點(diǎn)形成程序)，進(jìn)行面板21的搬送處理動(dòng)作，并且使噴頭37的各個(gè)靜電驅(qū)動(dòng)器驅(qū)動(dòng)而進(jìn)行液滴噴出處理動(dòng)作。另外，控制部43，根據(jù)點(diǎn)形成程序使各個(gè)半導(dǎo)體激光器L驅(qū)動(dòng)而進(jìn)行使液滴Fb干燥的干燥處理動(dòng)作。
詳細(xì)地講，控制部43，向I/F部42所接收的描繪數(shù)據(jù)Ia實(shí)施規(guī)定的展開處理，生成表示是否向2維描繪平面(圖案形成區(qū)域Z1)上的各個(gè)單元C噴出液滴Fb的位圖數(shù)據(jù)BMD并儲(chǔ)存到RAM44中。該位圖數(shù)據(jù)BMD，是與所述靜電驅(qū)動(dòng)器對(duì)應(yīng)并具有16×16位的位長(zhǎng)的串行數(shù)據(jù)，根據(jù)各個(gè)位值(0或1)規(guī)定由振動(dòng)板37b和電極38d構(gòu)成的靜電驅(qū)動(dòng)器的開或關(guān)。
另外，控制部43，對(duì)描繪數(shù)據(jù)Ia實(shí)施與位圖數(shù)據(jù)BMD的展開處理不同的展開處理，生成施加到靜電驅(qū)動(dòng)器中的靜電驅(qū)動(dòng)電壓VDC的波形數(shù)據(jù)，并輸出到驅(qū)動(dòng)波形生成電路46中。驅(qū)動(dòng)波形生成電路46具備儲(chǔ)存控制部30所生成的波形數(shù)據(jù)的波形存儲(chǔ)器46a、將該波形數(shù)據(jù)數(shù)字/模擬轉(zhuǎn)換而輸出模擬信號(hào)的D/A轉(zhuǎn)換部46b、和放大從D/A轉(zhuǎn)換部輸出的模擬波形信號(hào)的信號(hào)放大部46c。并且，驅(qū)動(dòng)波形生成電路46，將被儲(chǔ)存到波形存儲(chǔ)器46a中的波形數(shù)據(jù)通過D/A轉(zhuǎn)換部46b數(shù)字/模擬轉(zhuǎn)換，將模擬信號(hào)的波形信號(hào)通過放大部46c進(jìn)行放大并生成靜電驅(qū)動(dòng)電壓VDC。
并且，控制部43，經(jīng)由I/F部49，作為與振蕩電路47生成的時(shí)鐘信號(hào)CLK同步的噴出控制信號(hào)SI，依次向后述的噴頭驅(qū)動(dòng)電路51(移位寄存器56)串行轉(zhuǎn)送位圖數(shù)據(jù)BMD。此外，控制部43，向噴頭驅(qū)動(dòng)電路51輸出用于鎖存轉(zhuǎn)送的噴出控制信號(hào)SI的鎖存信號(hào)LAT。另外，控制部43，與振蕩電路47生成的時(shí)鐘信號(hào)CLK同步地向噴頭驅(qū)動(dòng)電路51(開關(guān)元件SI)輸出靜電驅(qū)動(dòng)電壓VDC。
在該控制裝置40中經(jīng)由I/F部49連接有噴頭驅(qū)動(dòng)電路51、激光驅(qū)動(dòng)電路52、第1電機(jī)驅(qū)動(dòng)電路53、第2電機(jī)驅(qū)動(dòng)電路54及第3電機(jī)驅(qū)動(dòng)電路55。
在噴頭驅(qū)動(dòng)電路51上，具有移位寄存器56、鎖存電路57、電平移位器58及開關(guān)電路59。移位寄存器56，對(duì)應(yīng)于16個(gè)靜電驅(qū)動(dòng)器的電極38d串行/并行轉(zhuǎn)換與時(shí)鐘信號(hào)CLK同步地從控制裝置40(控制部43)轉(zhuǎn)送的噴出控制信號(hào)SI。鎖存電路57，與來(lái)自控制裝置40(控制部43)的鎖存信號(hào)LAT同步地鎖存由移位寄存器56并行轉(zhuǎn)換的16位的噴出控制信號(hào)SI，將鎖存的噴出控制信號(hào)SI輸出給電平移位器58及激光驅(qū)動(dòng)電路52。電平移位器58，將鎖存電路57鎖存的噴出控制信號(hào)SI升壓到開關(guān)電路59驅(qū)動(dòng)的電壓，分別生成與16個(gè)各個(gè)靜電驅(qū)動(dòng)器的電極38d對(duì)應(yīng)的開閉信號(hào)GS1。
在開關(guān)電路59中分別連接有與各個(gè)電極38d對(duì)應(yīng)的開關(guān)元件S1。在各個(gè)開關(guān)元件S1輸入側(cè)輸入共通的靜電驅(qū)動(dòng)電壓VDC，在輸出側(cè)分別連接有對(duì)應(yīng)的電極38d。并且，從電平移位器58向各個(gè)開關(guān)元件S1輸入對(duì)應(yīng)的開閉信號(hào)GS1。各個(gè)開關(guān)元件S1，根據(jù)該開閉信號(hào)GS1控制是否向靜電驅(qū)動(dòng)器供給靜電驅(qū)動(dòng)電壓VDC。
即，本實(shí)施方式的控制裝置40的控制部43，經(jīng)由各個(gè)開關(guān)元件S1向?qū)?yīng)的各個(gè)靜電驅(qū)動(dòng)器供給驅(qū)動(dòng)波形生成電路46所生成的靜電驅(qū)動(dòng)電壓VDC。進(jìn)一步，控制部43，向各個(gè)開關(guān)元件S1供給用于控制各個(gè)開光元件SI的開閉的噴出控制信號(hào)SI(開閉信號(hào)GS1)，控制靜電驅(qū)動(dòng)電壓VDC的施加。即，通過閉合開關(guān)元件S1，向與該開關(guān)元件S1對(duì)應(yīng)的電極38d供給靜電驅(qū)動(dòng)電壓VDC，從與該靜電驅(qū)動(dòng)器對(duì)應(yīng)的噴嘴N噴出液滴Fb。在這種情況下，在基板2的點(diǎn)形成區(qū)域Z1的各個(gè)橫一列每次通過16個(gè)噴嘴N的正下方時(shí)輸出鎖存信號(hào)LAT。并且，通過與該鎖存信號(hào)LAT響應(yīng)，驅(qū)動(dòng)靜電驅(qū)動(dòng)器，從噴嘴N噴出液滴Fb，而在圖案形成區(qū)域Z1的各個(gè)單元C(黑單元C1)上形成點(diǎn)D。
當(dāng)從控制部43向驅(qū)動(dòng)電路51輸出的鎖存信號(hào)LAT下降時(shí)，基于16位量的噴出控制信號(hào)SI生成開閉信號(hào)GS1。并且，向與16個(gè)開閉信號(hào)GS1中的上升的開閉信號(hào)GS1對(duì)應(yīng)的靜電驅(qū)動(dòng)器供給靜電驅(qū)動(dòng)電壓VDC。在這種情況下，在振動(dòng)板37b之間構(gòu)成電容器的電極38d的電壓隨著靜電驅(qū)動(dòng)電壓VCD的電壓而上升。在這種情況下，靜電驅(qū)動(dòng)器因靜電力而收縮并向腔室32c內(nèi)引入液狀體Fa。接著，靜電驅(qū)動(dòng)電壓VDC的電壓值下降的同時(shí)通過靜電驅(qū)動(dòng)器推出腔室32c內(nèi)的液狀體Fa，噴出液滴Fb。當(dāng)噴出液滴Fb時(shí)，靜電驅(qū)動(dòng)電壓VDC的電壓值返回到起始電壓，基于靜電驅(qū)動(dòng)器的驅(qū)動(dòng)的液滴Fb的噴出動(dòng)作結(jié)束。
如圖10所示，激光驅(qū)動(dòng)電路52具備延遲脈沖生成電路61和開關(guān)電路62。延遲脈沖生成電路61，生成使鎖存電路57與鎖存信號(hào)LAT的下降響應(yīng)而鎖存的噴出控制信號(hào)SI延遲規(guī)定的時(shí)間T的脈沖信號(hào)(開閉信號(hào)GS2)，并向開關(guān)電路62輸出該開閉信號(hào)GS2。在此，所謂的待機(jī)時(shí)間是指，以靜電驅(qū)動(dòng)器驅(qū)動(dòng)時(shí)間(鎖存信號(hào)LAT的下降時(shí)間)為基準(zhǔn)，與噴嘴N對(duì)應(yīng)的半導(dǎo)體激光器L的激光照射滴落了的液滴Fb所需的時(shí)間，是基于預(yù)先試驗(yàn)等設(shè)定的時(shí)間。并且，延遲脈沖生成電路61，經(jīng)過了待機(jī)時(shí)間之后，即，在滴落后的液滴Fb到達(dá)激光的照射位置時(shí)，向開關(guān)電路62輸出開閉信號(hào)GS2。開閉信號(hào)GS2，基于鎖存電路57與鎖存信號(hào)LAT的下降響應(yīng)而鎖存的噴出控制信號(hào)SI而被生成。
開關(guān)電路62具備與16個(gè)的各個(gè)半導(dǎo)體激光器L對(duì)應(yīng)的開關(guān)元件S2。在各個(gè)開關(guān)元件S2的輸入側(cè)輸入電源電路48生成的共通的激光驅(qū)動(dòng)電壓VDL，在輸出側(cè)連接有對(duì)應(yīng)的各個(gè)半導(dǎo)體激光器L。并且，從延遲脈沖生成電路61向各個(gè)開關(guān)元件S2輸入對(duì)應(yīng)的開閉信號(hào)GS2，根據(jù)開閉信號(hào)GS2控制是否向半導(dǎo)體激光器L供給激光驅(qū)動(dòng)電壓VDL。即，在本實(shí)施方式的液滴噴出裝置20中，將電源電路48所生成的激光驅(qū)動(dòng)電壓VDL經(jīng)由各個(gè)開關(guān)元件S2共通地施加到各個(gè)半導(dǎo)體激光器L中，同時(shí)通過控制裝置40(控制部43)所供給的噴出控制信號(hào)SI(開閉信號(hào)GS2)控制其開關(guān)元件S2的開閉。并且，當(dāng)開關(guān)元件S2閉合時(shí)，向與該開關(guān)元件S2對(duì)應(yīng)的半導(dǎo)體激光器L供給激光驅(qū)動(dòng)電壓VDL，從對(duì)應(yīng)的半導(dǎo)體激光器L射出激光。
即，當(dāng)鎖存信號(hào)LAT被輸入到噴頭驅(qū)動(dòng)電路51中，經(jīng)過了待機(jī)時(shí)間后，生成開閉信號(hào)GS2。并且，在開閉信號(hào)GS2上升時(shí)，向?qū)?yīng)的半導(dǎo)體激光器L施加激光驅(qū)動(dòng)電壓VDL，這時(shí)從該半導(dǎo)體激光器L向滴落在通過半導(dǎo)體激光器L的照射位置的基板2(黑單元C1)上的液滴Fb射出激光。并且，當(dāng)開閉信號(hào)GS2下降時(shí)，激光驅(qū)動(dòng)電壓VDL的供給被遮斷而基于半導(dǎo)體激光器L的干燥處理動(dòng)作結(jié)束。
控制裝置40經(jīng)由I/F部49連接有第1～第3電機(jī)驅(qū)動(dòng)電路53～55。控制裝置40，向各個(gè)第1～第3電機(jī)驅(qū)動(dòng)電路53～55輸出第1～第3電機(jī)驅(qū)動(dòng)控制信號(hào)。第1～第3電機(jī)驅(qū)動(dòng)電路53～55，分別與來(lái)自于控制裝置40的第1～第3電機(jī)驅(qū)動(dòng)控制信號(hào)響應(yīng)，而使第1～第3電機(jī)M1～M3正轉(zhuǎn)或反轉(zhuǎn)。在此，當(dāng)使第1電機(jī)M1正轉(zhuǎn)時(shí)，固定在主軸30上的第1臂31向右方向旋轉(zhuǎn)(右旋)，當(dāng)反轉(zhuǎn)時(shí)向左方向旋轉(zhuǎn)(左旋)。另外，當(dāng)使第2電機(jī)M2正轉(zhuǎn)時(shí)，第2臂32以第1臂31的前端部為中心向右方向旋轉(zhuǎn)，當(dāng)逆轉(zhuǎn)時(shí)向左方向旋轉(zhuǎn)。進(jìn)一步，當(dāng)使第3電機(jī)M3正轉(zhuǎn)時(shí)，支撐軸33旋轉(zhuǎn)，由此，噴頭單元34，以第2臂32的前端部為中心向右方向旋轉(zhuǎn)，當(dāng)逆轉(zhuǎn)時(shí)向左方向旋轉(zhuǎn)。
控制裝置40，分別經(jīng)由第1～第3電機(jī)驅(qū)動(dòng)電路53～55連接有第1～第3電機(jī)旋轉(zhuǎn)檢測(cè)器53a、54a、55a，并向控制裝置40輸入來(lái)自于第1～第3電機(jī)旋轉(zhuǎn)檢測(cè)器53a～55a的檢測(cè)信號(hào)?？刂蒲b置40，基于該檢測(cè)信號(hào)檢測(cè)第1～第3電機(jī)M1～M3的旋轉(zhuǎn)方向及旋轉(zhuǎn)量，并運(yùn)算噴頭34的XY平面的位置、和噴頭單元34的朝向。
在本實(shí)施方式中，控制裝置40的控制部43，如圖11所示，旋轉(zhuǎn)支撐軸33，以沿著噴頭單元34的移動(dòng)方向排列成噴出機(jī)構(gòu)35在先，光源機(jī)構(gòu)36在噴出機(jī)構(gòu)35之后的順序。即，控制裝置40的控制部43，控制第3電機(jī)驅(qū)動(dòng)電路55，驅(qū)動(dòng)第3電機(jī)M3，以在從噴出機(jī)構(gòu)35的噴嘴N噴出的液滴Fb滴落在面板21上之后，半導(dǎo)體激光器L照射激光。由此，在圖11中由陰影線表示的噴頭單元34，通過第3電機(jī)M3旋轉(zhuǎn)，使在噴頭單元34的移動(dòng)方向上光源機(jī)構(gòu)36在噴出機(jī)構(gòu)35之后。
進(jìn)一步，控制裝置40的控制部43，如圖12所示那樣控制噴頭單元34的移動(dòng)速度。在此，圖12表示沿著噴頭單元34的X方向的移動(dòng)速度。詳細(xì)地講，控制部43，以高速度移動(dòng)到基板2的點(diǎn)形成區(qū)域Z1。并且，在進(jìn)行向點(diǎn)形成區(qū)域Z1的噴出時(shí)，將噴頭單元34的移動(dòng)速度控制成為第1速度。在此，第1速度是指，假設(shè)在從噴頭37向相互相鄰配置的全部單元C供給液滴的時(shí)，不會(huì)在全部單元C上產(chǎn)生噴出偏離或忘噴出而能夠可靠地供給液滴的左右的速度、或可通過激光的照射確保液滴Fb的干燥/燒成時(shí)間的速度。另外，當(dāng)一個(gè)點(diǎn)圖案10形成之后，再將噴頭單元34的移動(dòng)速度提高為第2速度，向下一個(gè)點(diǎn)形成區(qū)域Z1移動(dòng)。并且，在到達(dá)下一個(gè)點(diǎn)形成區(qū)域Z1附近時(shí)，再將移動(dòng)速度降低。但是，控制部43，作為點(diǎn)形成區(qū)域Z1之間的噴頭單元34的移動(dòng)速度(第2速度)，控制成液滴Fb通過加在噴頭單元34中的加速度不會(huì)從噴嘴N泄漏的程度。
點(diǎn)圖案的生成接著，說明使用所述的液滴噴出裝置20在面板21的各個(gè)基板2上形成點(diǎn)圖案10的方法。
首先，通過基板搬送臂24，將形成點(diǎn)圖案10的面板21從面板存放器23取出并搬送而載置在載置臺(tái)26上。本實(shí)施方式的面板21，具有向X方向及Y方向整齊排列成一體的多個(gè)基板2。另外，點(diǎn)形成區(qū)域Z1，在各個(gè)基板2上被設(shè)在相同的位置上。將沿著X方向排列的基板2的列稱為“基板列”。另外，在圖13A～圖16A中，從下側(cè)依次稱為第1列的基板列、第2列的基板列、第3列的基板列…。
并且，控制裝置40的控制部43，是由圖13A的實(shí)線的箭頭表示那樣的折返圖案，使水平多關(guān)節(jié)型機(jī)器人29的噴頭單元34向X箭頭方向及相反X箭頭方向移動(dòng)。即，在奇數(shù)的基板列中，使噴頭單元34向X箭頭方向移動(dòng)，在偶數(shù)的基板列中，使噴頭單元34向相反X箭頭方向移動(dòng)。另外，此時(shí)，控制部43，如圖11所示，沿著噴頭單元34的移動(dòng)方向控制噴頭單元34的朝向，以在噴頭單元34的移動(dòng)方向上噴出機(jī)構(gòu)35在先、光源機(jī)構(gòu)36在其后。
詳細(xì)地講，控制裝置40的控制部43，驅(qū)動(dòng)第1～第3電機(jī)驅(qū)動(dòng)電路53～55，首先，如圖13A、圖13B，向面板21的左下端的基板2的點(diǎn)形成區(qū)域Z1移動(dòng)噴頭單元34。此時(shí)，控制部43，如圖12所示，使噴頭單元34以高速度(第2速度)移動(dòng)到點(diǎn)形成區(qū)域Z1的附近。并且，控制部43，在點(diǎn)形成區(qū)域Z1的面前(例如，空白區(qū)域Z2)減速，當(dāng)?shù)竭_(dá)點(diǎn)形成區(qū)域Z1時(shí)，控制成規(guī)定的速度(第1速度)。
此外，控制裝置40，在噴頭單元34的移動(dòng)中，根據(jù)點(diǎn)形成程序，將基于儲(chǔ)存在RAM44中的位圖數(shù)據(jù)BMD的噴出控制信號(hào)SI、和驅(qū)動(dòng)波形生成電路46生成的靜電驅(qū)動(dòng)電壓VDC輸出給驅(qū)動(dòng)電路51。另外，控制裝置40，將電源電路48生成的激光驅(qū)動(dòng)電壓VDL輸出給激光驅(qū)動(dòng)電路52。并且，控制裝置40，等待輸出鎖存信號(hào)LAT的時(shí)間。
并且，當(dāng)噴頭單元34到達(dá)噴頭形成區(qū)域Z1時(shí)，控制裝置40的控制部43，驅(qū)動(dòng)第1～第3電機(jī)驅(qū)動(dòng)電路53～55，使噴頭單元34向X箭頭方向移動(dòng)，同時(shí)從噴頭37噴出液滴Fb，向該液滴Fb照射半導(dǎo)體激光器L的激光。此時(shí)，控制部43，驅(qū)動(dòng)第1～第3電機(jī)M1～M3，如圖13A、圖13B所示，維持以噴出機(jī)構(gòu)35在先、光源機(jī)構(gòu)36在后的順序在X方向(移動(dòng)方向)上排列的配置，同時(shí)向X方向以規(guī)定的速度(第1速度)移動(dòng)噴頭單元34。
具體地講，控制裝置40，將鎖存信號(hào)LAT輸出給噴頭驅(qū)動(dòng)電路51，生成基于根據(jù)鎖存信號(hào)LAT鎖存(處理)的噴出控制信號(hào)SI的開閉信號(hào)GS1，輸出給開關(guān)電路59。并且，向與閉合狀態(tài)的開關(guān)元件S1對(duì)應(yīng)的靜電驅(qū)動(dòng)器供給靜電驅(qū)動(dòng)電壓VDC，從對(duì)應(yīng)的噴嘴N一齊噴出相對(duì)于靜電驅(qū)動(dòng)電壓VDC的液滴Fb。
進(jìn)一步，激光驅(qū)動(dòng)電路52的延遲脈沖生成電路61，接收噴出控制信號(hào)SI并開始開閉信號(hào)GS2的生成。并且，延遲脈沖生成電路61，在經(jīng)過了上述的待機(jī)時(shí)間之后，將生成的開閉信號(hào)GS2輸出給開關(guān)電路62，向與閉合狀態(tài)的開關(guān)元件S2對(duì)應(yīng)的半導(dǎo)體激光器L供給激光驅(qū)動(dòng)電壓VDL，照射激光。激光，通過收容在光學(xué)系統(tǒng)收容部36b中的透鏡或反射鏡，被照射在滴落在基板2上之后的液滴Fb。由此，使液滴Fb的分散劑蒸發(fā)而進(jìn)行干燥，進(jìn)一步，燒成液滴Fb的金屬微粒，使金屬微粒密接在基板2上。
以后，相同地，從各個(gè)噴嘴N噴出的液滴Fb，每當(dāng)?shù)温湓诨?上時(shí)，接收對(duì)應(yīng)的半導(dǎo)體激光器L的激光的照射，并使其干燥燒成。并且，按橫一列形成構(gòu)成點(diǎn)圖案10的半球狀的點(diǎn)D。
由此，當(dāng)形成基板2的點(diǎn)圖案10時(shí)，接著，控制裝置40的控制部43，繼續(xù)驅(qū)動(dòng)第1～第3電機(jī)驅(qū)動(dòng)電路53～55，使噴頭單元34移動(dòng)到X方向的相鄰的基板2的點(diǎn)形成區(qū)域Z1。此時(shí)，控制部43，如圖12所示，將噴頭單元34控制成以高速的第2速度向X方向移動(dòng)，在到達(dá)點(diǎn)形成區(qū)域Z1的附近時(shí)減速，以低速的第1速度進(jìn)行液滴噴出。
其后，當(dāng)形成面板21的第1基板列的所有點(diǎn)圖案10時(shí)，如圖14A、圖14B所示，噴頭單元34，到達(dá)面板21的X箭頭方向的端部(右下端)。在這種情況下，控制裝置40的控制部43，使噴頭單元34移動(dòng)到第2基板列上。此時(shí)，控制裝置40的控制部43，從圖14A、圖14B所示的噴頭單元34的配置狀態(tài)變更為圖15A、圖15B所示的配置狀態(tài)。具體地講，控制部43，相對(duì)X方向維持噴頭單元34的位置，同時(shí)向Y方向移動(dòng)。進(jìn)一步，使噴頭單元34以180度旋轉(zhuǎn)并使噴頭單元34的朝向反轉(zhuǎn)。
并且，液滴噴出裝置20，為了形成第2列的基板列的點(diǎn)圖案10，使噴頭單元34向相反X方向移動(dòng)，同時(shí)向靜電驅(qū)動(dòng)器供給靜電驅(qū)動(dòng)電壓VDC，從對(duì)應(yīng)的噴嘴N噴出液滴Fb，同時(shí)照射來(lái)自半導(dǎo)體激光器L的激光。此時(shí)，控制裝置40的控制部43，在形成點(diǎn)圖案10之后，在為了形成相鄰的點(diǎn)圖案10而移動(dòng)之時(shí)，以高速的第2速度移動(dòng)噴頭單元34。另外，控制部43，當(dāng)?shù)竭_(dá)下一個(gè)點(diǎn)形成區(qū)域Z1的附近時(shí)，使噴頭單元34的移動(dòng)速度減速為低速的第1速度?？刂撇?3，如圖15A、圖15B，按照以噴出機(jī)構(gòu)35在先、光源機(jī)構(gòu)36在后的順序向X箭頭相反方向(移動(dòng)方向)排列的配置的方式，使噴頭單元34向X箭頭相反方向以規(guī)定的速度(第1速度)移動(dòng)。
并且，如圖16A、圖16B所示，當(dāng)全部形成第2列的點(diǎn)圖案10時(shí)，控制裝置40的控制部43，為了形成第3列的點(diǎn)圖案10，變更噴頭單元34的位置及朝向。在這種情況下，使噴頭單元34以180度旋轉(zhuǎn)，同時(shí)以維持X方向的位置的狀態(tài)向Y方向移動(dòng)。并且，控制部43，再次按照以噴出機(jī)構(gòu)35在先、光源機(jī)構(gòu)36在后的順序向X箭頭方向(移動(dòng)方向)排列的配置的方式，使噴頭單元34向X箭頭方向以規(guī)定的速度(第1速度)移動(dòng)，同時(shí)進(jìn)行液滴Fb的噴出和激光的照射，進(jìn)行面板21的點(diǎn)圖案10的形成。
其后，當(dāng)在面板21的所有基板2上形成點(diǎn)圖案10時(shí)，控制裝置40，從基板2的上方使水平多關(guān)節(jié)型機(jī)器人29退避。并且，控制裝置40，利用基板搬送臂24，將液滴噴出結(jié)束的面板21收容到面板存放器23中。并且，從該面板存放器23取出未處理的面板21，反復(fù)進(jìn)行上述處理。
接著，以下說明如上述那樣構(gòu)成的本實(shí)施方式的效果。
(1)根據(jù)本實(shí)施方式，控制部43，是按折返圖案使水平多關(guān)節(jié)型機(jī)器人29的噴頭單元34向X箭頭方向及X箭頭相反方向移動(dòng)。即，在奇數(shù)的基板列中，使噴頭單元34向X箭頭方向移動(dòng)，在偶數(shù)的基板列中，使噴頭單元34向X箭頭相反方向移動(dòng)。另外，此時(shí)，控制部43，如圖11所示，控制噴頭單元34的朝向，使在噴頭單元34的移動(dòng)方向上排列成噴出機(jī)構(gòu)35在先、光源機(jī)構(gòu)36在其后的順序。因此，控制部43，如圖11所示，始終以在相對(duì)行進(jìn)方向上噴出機(jī)構(gòu)35在先、光源機(jī)構(gòu)36在噴出機(jī)構(gòu)35之后的順序配置了的狀態(tài)下，即光源機(jī)構(gòu)36追隨在噴出機(jī)構(gòu)35的后面的方式控制噴頭單元34的朝向。從而，從噴出機(jī)構(gòu)35的噴頭37噴出液滴Fb，并且噴頭37從滴落了的液滴Fb的上方移動(dòng)之后，向該液滴照射來(lái)自光源機(jī)構(gòu)36的激光。從而，噴出噴頭37的移動(dòng)方向?yàn)閄方向或X相反方向的某一個(gè)，向噴出了的液滴以相同的時(shí)間照射激光，因此可以高效地干燥/燒成液滴。
(2)根據(jù)本實(shí)施方式，控制部43，將噴頭單元34以高速(第2速度)移動(dòng)到基板2的點(diǎn)形成區(qū)域Z1。并且，在進(jìn)行向點(diǎn)形成區(qū)域Z1的噴出時(shí)，控制成低速的第1速度。另外，控制部43，當(dāng)點(diǎn)圖案10的形成結(jié)束時(shí)，再次將噴頭單元34的移動(dòng)速度提速為第2速度，當(dāng)?shù)竭_(dá)下一個(gè)點(diǎn)形成區(qū)域Z1的附近時(shí)，再次將移動(dòng)速度減速為第1速度。即，控制部43，在液滴Fb的噴出之時(shí)以低速移動(dòng)噴頭單元34，但是在點(diǎn)形成區(qū)域Z1之間的移動(dòng)之時(shí)以高速移動(dòng)噴頭單元34。因此，能夠以高速形成向X涓埃扭頭方向排列的多個(gè)點(diǎn)圖案10，因此能夠進(jìn)一步以高速形成面板21的所有點(diǎn)圖案10。
(3)根據(jù)本實(shí)施方式，在進(jìn)行向點(diǎn)形成區(qū)域Z1的噴出時(shí)，將噴頭單元34的移動(dòng)速度控制為第1速度。在此，第1速度是指，與從噴頭37向相鄰的單元C噴出液滴Fb的噴出速度對(duì)應(yīng)的速度、或可通過激光的照射確保液滴Fb的干燥/燒成時(shí)間的速度。另外，當(dāng)一個(gè)點(diǎn)圖案10的形成結(jié)束時(shí)，再次提高噴頭單元34的移動(dòng)速度，在到達(dá)下一個(gè)點(diǎn)形成區(qū)域Z1附近時(shí)，再次降低移動(dòng)速度。因此，進(jìn)一步可靠地噴出液滴，且進(jìn)行液滴的干燥/燒成，能夠形成點(diǎn)圖案，同時(shí)高速地進(jìn)行面板21的點(diǎn)圖案10的形成。
(4)根據(jù)本實(shí)施方式，水平多關(guān)節(jié)型機(jī)器人29，是在第2臂32的前端設(shè)置噴頭37的多關(guān)節(jié)機(jī)器人。因此，例如與直動(dòng)機(jī)構(gòu)相比，可以使驅(qū)動(dòng)噴頭單元34的驅(qū)動(dòng)部的負(fù)載變小，因此能夠進(jìn)一步高速地移動(dòng)噴頭37。另外，水平多關(guān)節(jié)型機(jī)器人29，通過第1～第3電機(jī)M1～M3的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)的合成，在規(guī)定的配置移動(dòng)噴頭37。從而，通過采用旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，能夠比直線運(yùn)動(dòng)更高速地移動(dòng)噴頭37。
(5)根據(jù)本實(shí)施方式，控制部43，在奇數(shù)的基板列中向X箭頭方向移動(dòng)噴頭單元34，在偶數(shù)的基板列中向X箭頭相反方向移動(dòng)噴頭單元34。即，控制部43，將通過所有點(diǎn)形成區(qū)域Z1的路線設(shè)定為最短距離，沿著該路線移動(dòng)噴頭單元34。因此，以短時(shí)間移動(dòng)噴頭單元34，能夠進(jìn)一步提高生產(chǎn)效率。
(6)根據(jù)本實(shí)施方式，夾隔水平多關(guān)節(jié)型機(jī)器人29而設(shè)置2個(gè)載置臺(tái)26。因此，在一方的載置臺(tái)26中，在從噴頭37噴出液滴時(shí)，可以利用基板搬送臂24替換載置在另一方的載置臺(tái)26上的面板21。因此，水平多關(guān)節(jié)型機(jī)器人29，無(wú)需等待面板21的替換作業(yè)，而能夠連續(xù)進(jìn)行液滴Fb的噴出。從而，能夠高效地進(jìn)行對(duì)多個(gè)面板21的液滴噴出的處理。
上述實(shí)施方式可如下變形。
在上述實(shí)施方式中，控制部43，使噴頭單元34向X箭頭方向及X相反方向移動(dòng)，同時(shí)從噴頭37噴出液滴。并不局限于此，控制部43，也可以使噴頭單元34向Y箭頭方向及Y相反方向移動(dòng)，同時(shí)從噴頭37噴出液滴，也可以使其向斜方向移動(dòng)的同時(shí)噴出液滴。
在上述實(shí)施方式中，控制部43，將噴頭單元34的點(diǎn)形成區(qū)域Z1之間的移動(dòng)速度(第2速度)作成液滴Fb通過加在噴頭單元34中的加速度而不能從噴嘴N噴出的速度。代替上述情況，也可以控制部43，在移動(dòng)點(diǎn)形成區(qū)域Z1之間時(shí)，向腔室37c的液狀體Fa施加負(fù)壓。在這種情況下，液滴Fb不會(huì)從噴嘴N噴出，能夠進(jìn)一步高速地移動(dòng)噴頭單元34。
在上述實(shí)施方式中，控制部43，控制噴頭單元34，以在噴頭單元34的行進(jìn)方向上噴頭37在先、半導(dǎo)體激光器L位于噴頭37的后面，即噴出機(jī)構(gòu)35在先、光源機(jī)構(gòu)36在后。噴頭37及半導(dǎo)體激光器L的配置并不局限于此，與移動(dòng)方向?qū)?yīng)，也可以始終控制成相同的配置。
在上述實(shí)施方式中，利用水平多關(guān)節(jié)型機(jī)器人29，控制了搭載有噴頭37及半導(dǎo)體激光器L的噴頭單元34的配置。并不局限于此，也可以利用其他機(jī)構(gòu)，例如直動(dòng)機(jī)構(gòu)，進(jìn)行搭載有噴頭37及半導(dǎo)體激光器L的噴頭單元34的配置。
在上述實(shí)施方式中，水平多關(guān)節(jié)型機(jī)器人29，通過調(diào)整第1～第3電機(jī)M1～M3的旋轉(zhuǎn)角度，以任意的配置移動(dòng)到XY平面的由圖6的雙點(diǎn)劃線表示的區(qū)域內(nèi)的任意的位置。并不局限于此，也可以作成使水平多關(guān)節(jié)型機(jī)器人29的噴頭單元34向與XY平面垂直的方向移動(dòng)的機(jī)構(gòu)。在這種情況下，即使形成點(diǎn)圖案10的高度不同，也可以在相同的條件下進(jìn)行液滴Fb的噴出及激光的照射。
在上述實(shí)施方式中，點(diǎn)D，具體為半球狀，但是并不局限于其形狀，例如，其平面形狀也可以是橢圓形的點(diǎn)，也可以是構(gòu)成條形碼那樣的線狀。
在上述實(shí)施方式中，圖案2是2維代碼的識(shí)別代碼，但是并不局限于此，例如也可以是條形碼。進(jìn)一步，圖案也可以是文字、數(shù)字、記號(hào)等。
在上述實(shí)施方式中，在作為顯示用基板的基板2上形成了點(diǎn)圖案10，但是并不局限于此，也可以在硅晶片、樹脂薄膜、金屬板等上形成點(diǎn)圖案10。
在上述實(shí)施方式中，使用靜電驅(qū)動(dòng)器噴出了液滴Fb，但是也可以是以靜電驅(qū)動(dòng)器以外的方法使用了加壓壓力室(腔室37c)的加壓部的結(jié)構(gòu)的噴頭。例如，也可以利用靜電驅(qū)動(dòng)器以外的方法(例如，使用壓電元件的方法或使用氣泡的方法等)加壓腔室37c內(nèi)，噴出液滴Fb。例如，在使用壓電元件時(shí)，使壓電元件接觸到構(gòu)成腔室37c的振動(dòng)板37b，通過驅(qū)動(dòng)信號(hào)變更腔室37c的體積噴出液滴Fb。另外，在使用氣泡時(shí)，在腔室37c內(nèi)生成氣泡并使其破裂而噴出液滴Fb。即使在這種情況下，如上所述，控制部43，通過進(jìn)行搭載噴頭37的水平多關(guān)節(jié)型機(jī)器人29的控制，能夠得到在上述實(shí)施方式中所述的效果。
在上述實(shí)施方式中，將本發(fā)明具體化為用于形成構(gòu)成點(diǎn)圖案10的多個(gè)點(diǎn)D的液滴噴出裝置20。并不局限于此，例如，也可以應(yīng)用于使含有作為功能性材料的布線材料的液滴噴在基板上并在基板上形成金屬布線、或形成絕緣膜的液滴噴出裝置。即使在這種情況下，也可以在液滴噴出裝置中高效地進(jìn)行干燥/燒成。
在上述實(shí)施方式中，將本發(fā)明具體化為用于制造液晶顯示模塊1的液滴噴出裝置。并不局限于此，形成點(diǎn)圖案10的基板2等，例如也可以組入到有機(jī)電致發(fā)光顯示裝置的顯示模塊中?；蛞部梢允蔷邆淦矫鏍畹碾娮臃懦鲈⒑屠没趶脑撛懦龅臒晒馕镔|(zhì)的發(fā)光的電場(chǎng)效應(yīng)裝置(FED或SED等)的顯示模塊。另外，形成點(diǎn)圖案10的基板2等，不僅使用在這些顯示裝置中，也可以使用在其他電子設(shè)備中。
在此，只說明了幾個(gè)實(shí)施方式，但是在不脫離本發(fā)明的主旨的范圍內(nèi)也可以具體化為其他特有的形式。本發(fā)明并不局限于所述的內(nèi)容，是可以在添加的權(quán)利要求范圍內(nèi)進(jìn)行改進(jìn)的。
權(quán)利要求
1.一種液滴噴出裝置(20)，其中，該液滴噴出裝置(20)具備在對(duì)象物(21)上至少可沿2維方向移動(dòng)的噴頭單元(34)，所述噴頭單元(34)具備向所述對(duì)象物(21)噴出液滴(Fb)的噴出部(37)、和向滴落在所述對(duì)象物(21)上的所述液滴(Fb)照射激光的照射部(36a)，該液滴噴出裝置(20)還具備控制部(40)，所述控制部(40)根據(jù)所述噴頭單元(34)的移動(dòng)方向控制所述噴出部(37)及所述照射部(36a)的配置。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的液滴噴出裝置(20)，其中，所述控制部(40)進(jìn)行控制，使在所述噴頭單元(34)的行進(jìn)方向上所述噴出部(37)在先、所述照射部(36a)在后。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的液滴噴出裝置(20)，其中，所述對(duì)象物(21)含有滴落所述液滴(Fb)的多個(gè)被滴落區(qū)域(10)，這些被滴落區(qū)域(10)相互間隔配置，所述控制部(40)，在所述噴出部(37)向所述被滴落區(qū)域(10)噴出液滴時(shí)使所述噴頭單元(34)以第1速度移動(dòng)，在所述噴出部(37)從某一被滴落區(qū)域(10)向其他被滴落區(qū)域(10)移動(dòng)時(shí)使所述噴頭單元(34)以大于所述第1速度的第2速度移動(dòng)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的液滴噴出裝置(20)，其中，所述控制部(40)基于所述噴出部(37)噴出所述液滴(Fb)的噴出速度來(lái)控制所述第1速度。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的液滴噴出裝置(20)，其中，各被滴落區(qū)域(10)具有多個(gè)數(shù)據(jù)單元(C)，所述第1速度被設(shè)定為可依次向相互相鄰的各數(shù)據(jù)單元(C)噴出所述液滴(Fb)的速度。
6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的液滴噴出裝置(20)，其中，所述液滴(Fb)通過所述激光的照射而被干燥及燒成，所述控制部(40)基于可進(jìn)行所述干燥及燒成的激光照射期間控制所述第1速度。
7.根據(jù)權(quán)利要求1～6中任意一項(xiàng)所述的液滴噴出裝置(20)，其中，該液滴噴出裝置(20)還具備多關(guān)節(jié)機(jī)器人(29)，所述噴頭單元(34)被安裝在所述機(jī)器人(29)的臂的前端。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的液滴噴出裝置(20)，其中，所述對(duì)象物(21)含有滴落所述液滴(Fb)的多個(gè)被滴落區(qū)域(10)，這些被滴落區(qū)域(10)相互間隔配置，能夠設(shè)定通過所有所述被滴落區(qū)域(10)上方的路線，所述液滴噴出裝置(20)還具備多關(guān)節(jié)機(jī)器人(29)，所述噴頭單元(34)被安裝在所述機(jī)器人(29)上。所述控制部(40)將所述路線設(shè)定為最短，控制所述機(jī)器人(29)使所述噴頭單元(34)沿著該路線移動(dòng)。
全文摘要
一種液滴噴出裝置，具備可在對(duì)象物上至少向2維方向移動(dòng)的噴頭單元，所述噴頭具備向所述對(duì)象物噴出液滴的噴出部、和向滴落在所述對(duì)象物上的所述液滴照射激光的照射部。控制部，根據(jù)所述噴頭的移動(dòng)方向控制所述噴出部及所述照射部的配置。從而，向噴出的液滴照射激光，能夠高效地進(jìn)行干燥/燒成。
文檔編號(hào)B25J9/00GK1840243SQ20061007160
公開日2006年10月4日 申請(qǐng)日期2006年3月29日 優(yōu)先權(quán)日2005年3月30日
發(fā)明者巖田裕二, 三浦弘綱 申請(qǐng)人:精工愛普生株式會(huì)社