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水平線節(jié)水控制系統(tǒng)的制作方法

文檔序號(hào):11443418閱讀:來源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.一種水平線節(jié)水控制系統(tǒng),其特征在于,包括藥水缸、緊挨所述藥水缸布置的水洗缸、向所述水洗缸補(bǔ)水的溢流補(bǔ)水裝置、向所述溢流補(bǔ)水裝置供水的泵、用于控制所述溢流補(bǔ)水裝置的出水口打開或關(guān)閉的電磁閥、與所述泵串聯(lián)連接的繼電器、用于檢測(cè)板子是否離開水洗缸的第一感應(yīng)器、及與所述第一感應(yīng)器、所述繼電器電性連接的控制器,所述第一感應(yīng)器和所述電磁閥之間電連接有所述繼電器。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的水平線節(jié)水控制系統(tǒng),其特征在于,還包括用于檢測(cè)板子是否進(jìn)入藥水缸的第二感應(yīng)器,所述第二感應(yīng)器與所述控制器電性連接,所述第二感應(yīng)器和所述電磁閥之間電連接有所述繼電器。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的水平線節(jié)水控制系統(tǒng),其特征在于,板子從進(jìn)入藥水缸到進(jìn)入水洗缸所需的時(shí)間為t,所述第一感應(yīng)器檢測(cè)到板子進(jìn)入所述藥水缸后,所述繼電器開始計(jì)時(shí),并在時(shí)間t后控制所述電磁閥打開。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的水平線節(jié)水控制系統(tǒng),其特征在于,所述第二感應(yīng)器為光電傳感器。

5.根據(jù)權(quán)利要求1至4任一項(xiàng)所述的水平線節(jié)水控制系統(tǒng),其特征在于,所述第一感應(yīng)器為光電傳感器。

6.根據(jù)權(quán)利要求1至4任一項(xiàng)所述的水平線節(jié)水控制系統(tǒng),其特征在于,水平線包括顯影段、蝕刻段、退膜段中的至少一段。

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