一種氣動(dòng)敲擊裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型主要涉及劈裂晶圓的晶圓劈裂機(jī)，尤其涉及一種晶圓劈裂機(jī)的劈裂動(dòng)力機(jī)構(gòu)的氣動(dòng)敲擊裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]晶圓劈裂機(jī)是將晶圓I劈裂成晶粒的裝置，晶圓在劈裂之前會(huì)先用激光切割機(jī)劃出橫向和縱向的切割線2，但并未切斷，會(huì)保留大約五分之三的厚度相連，再將該晶圓I貼附于藍(lán)膜(或白膜)加蓋一層保護(hù)膜，通過(guò)卡匣送入晶圓劈裂機(jī)進(jìn)行劈裂作業(yè)。該晶圓I是在該授臺(tái)4上由該劈刀單元3進(jìn)行劈裂的，其中要使用影像系統(tǒng)5，該影像系統(tǒng)5用于監(jiān)控該晶圓I的定位是否偏移，判斷偏移的程度重新進(jìn)行定位，以保證劈裂的良率。
[0003]已知的晶圓劈裂機(jī)，在劈裂過(guò)程中擊錘敲擊該劈刀3的力度是不可改變的，因此在劈裂尺寸較小或厚度較厚的該晶圓I時(shí)，該劈刀3就無(wú)法有效的劈開(kāi)該晶圓1，會(huì)產(chǎn)生雙晶(兩顆晶粒相連)的現(xiàn)象；還有由于研磨的不精確性導(dǎo)致同一片該晶圓I的各個(gè)區(qū)域厚度也有所差異，這樣使用同一力道敲擊該劈刀3來(lái)劈裂就很容易產(chǎn)生不良品，力道輕會(huì)產(chǎn)生雙晶，力道重會(huì)產(chǎn)生崩裂、斜裂等問(wèn)題，顯然無(wú)法滿足工藝要求。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]鑒于以上內(nèi)容，有必要提供一種在不致使結(jié)構(gòu)復(fù)雜化的前提下，能夠應(yīng)需求改變劈裂力道，而滿足工藝要求。
[0005]本實(shí)用新型提供了一種氣動(dòng)敲擊裝置，安裝于晶圓劈裂機(jī)上并用于敲擊劈刀單元，包括可變氣壓輸出單元、制動(dòng)器、擊錘，其特征在于，所述可變氣壓輸出單元提供制動(dòng)器一可變氣壓，所述制動(dòng)器內(nèi)部的位移件受可變氣壓的驅(qū)動(dòng)產(chǎn)生位移，所述擊錘固定在位移件上且垂直正對(duì)劈刀單元，擊錘受到位移件的連動(dòng)而敲擊劈刀單元。
[0006]進(jìn)一步地，優(yōu)選的是，所述制動(dòng)器內(nèi)部含有一復(fù)位彈簧，用于復(fù)位所述位移件。
[0007]進(jìn)一步地，優(yōu)選的是，所述劈刀單元固定于滑座單元上，所述滑座單元相對(duì)滑軌移動(dòng)，所述滑軌固定于所述晶圓劈裂機(jī)上。
[0008]進(jìn)一步地，優(yōu)選的是，所述制動(dòng)器固定于突出板上，所述突出板固定于所述晶圓劈裂機(jī)上。
[0009]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)在于:
[0010]通過(guò)改變?cè)摽勺儦鈮狠敵鰡卧目勺儦鈮捍笮?，即可改變?cè)摀翦N敲擊該劈刀單元的力道，并且8個(gè)區(qū)域力道可以隨意設(shè)定，因而可以適用于各種尺寸、厚度的晶圓，同樣也適用于同一片不同區(qū)域厚度不同的晶圓，以使該劈刀單元能夠真實(shí)的劈斷晶圓，達(dá)到工藝上的要求。
【附圖說(shuō)明】
[0011]下面參照附圖結(jié)合實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步的描述。
[0012]圖1是本實(shí)用新型氣動(dòng)敲擊裝置晶圓的結(jié)構(gòu)圖。
[0013]圖2是本實(shí)用新型動(dòng)敲擊裝置晶圓劈裂示意圖。
[0014]圖3是本實(shí)用新型氣動(dòng)敲擊裝置的結(jié)構(gòu)圖。
【具體實(shí)施方式】
[0015]參閱圖1-3所示，為了對(duì)本實(shí)用新型有更好的了解和認(rèn)同，現(xiàn)列舉優(yōu)選實(shí)施例配合圖片說(shuō)明如下:
[0016]本實(shí)用新型為一種可變氣壓控制力道的敲擊裝置，安裝于晶圓劈裂機(jī)6上，并作用于劈刀單元13，該可變氣壓敲擊裝置包含可變氣壓輸出單元7、制動(dòng)器11和擊錘9三大部分，其中該可變氣壓輸出單元7提供可變氣壓，并將氣壓輸入到該制動(dòng)器11。該制動(dòng)器11固定于該晶圓劈裂機(jī)6上，在實(shí)際實(shí)施上，該晶圓劈裂機(jī)6上可以有一突出板12，該突出板12與該制動(dòng)器11固定在一起，該制動(dòng)器11內(nèi)部有一個(gè)受該可變氣壓驅(qū)動(dòng)的位移件，該擊錘9與該位移件連動(dòng)，該位移件受氣壓變化產(chǎn)生位移時(shí)，該擊錘9就會(huì)連動(dòng)敲擊該劈刀單元13，又該制動(dòng)器11內(nèi)設(shè)置有復(fù)位彈簧，該復(fù)位彈簧就能夠?qū)⒃撐灰萍c該擊錘9復(fù)位，離開(kāi)該劈刀單元13。
[0017]該劈刀單元13固定于滑座上8，該滑座8相對(duì)滑軌10移動(dòng)，該滑軌10固定在該晶圓劈裂機(jī)6上，該滑座8能夠在該滑軌10上作線性位移，使該劈刀單元13對(duì)該晶圓14在該授臺(tái)15上進(jìn)行晶圓劈裂作業(yè)。
[0018]如上所述，本實(shí)用新型可以通過(guò)改變可變氣壓輸出單元7的氣壓大小，即可改變?cè)摀翦N9敲擊該劈刀單元13的力度，因而可以適用于不同規(guī)格的晶圓，使都能達(dá)到工藝要求，由于氣壓大小可以在同一晶圓的不同區(qū)域設(shè)定不一樣的數(shù)值，即能夠很好的設(shè)定不同區(qū)域的力度，使同一片區(qū)域厚度不同的晶圓也能夠達(dá)到很好的劈裂效果。
[0019]本實(shí)用新型主要針對(duì)小尺寸、不同厚度的晶圓做的敲擊裝置發(fā)明，以上所述僅為本實(shí)用新型較佳實(shí)施例而已，非因此即局限本實(shí)用新型的專利范圍，故舉凡用本實(shí)用新型說(shuō)明書(shū)及圖式內(nèi)容所為的簡(jiǎn)易變化及等效變換，均應(yīng)包含于本實(shí)用新型的專利范圍內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種氣動(dòng)敲擊裝置，安裝于晶圓劈裂機(jī)上，并且用于敲擊劈刀單元，包括可變氣壓輸出單元、制動(dòng)器、擊錘，其特征在于: 所述可變氣壓輸出單元提供可變氣壓； 所述制動(dòng)器固定于晶圓劈裂機(jī)上，所述可變氣壓輸出單元?dú)鈮哼B接所述制動(dòng)器，并將所述可變氣壓輸入至所述制動(dòng)器，所述制動(dòng)器是具有所述可變氣壓驅(qū)動(dòng)而位移的位移件； 所述擊錘固定于所述制動(dòng)器上且垂直正對(duì)所述劈刀單元，并且所述擊錘收到所述制動(dòng)器的連動(dòng)而敲擊所述劈刀單元。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種氣動(dòng)敲擊裝置，其特征在于:所述制動(dòng)器內(nèi)部含有一復(fù)位彈簧，用于復(fù)位所述位移件。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種氣動(dòng)敲擊裝置，其特征在于:所述劈刀單元固定于滑座單元上，所述滑座單元相對(duì)滑軌移動(dòng)，所述滑軌固定于所述晶圓劈裂機(jī)上。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種氣動(dòng)敲擊裝置，其特征在于:所述制動(dòng)器固定于突出板上，所述突出板固定于所述晶圓劈裂機(jī)上。
【專利摘要】本實(shí)用新型涉及一種氣動(dòng)敲擊裝置，安裝于晶圓劈裂機(jī)上，并且用于敲擊劈刀單元，包括可變氣壓輸出單元、制動(dòng)器、擊錘，其特征在于，所述可變氣壓輸出單元連接制動(dòng)器，并提供一可變氣壓輸入至制動(dòng)器，所述制動(dòng)器固定于劈裂機(jī)上，且該制動(dòng)器是具有受該可變氣壓驅(qū)動(dòng)而位移的位移件，所述擊錘固定于制動(dòng)器上且垂直正對(duì)劈刀單元，并受到制動(dòng)器的連動(dòng)而敲擊劈刀單元。據(jù)此，本實(shí)用新型通過(guò)改變氣壓輸出單元的氣壓大小，可改變擊錘敲擊劈刀的力道，同時(shí)可以適用于制成不同規(guī)格的晶圓，使劈刀能夠真實(shí)的劈開(kāi)晶圓，達(dá)到劈裂的要求。
【IPC分類】B28D5-04, H01L21-67
【公開(kāi)號(hào)】CN204566423
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520254714
【發(fā)明人】卓維煌, 齊建
【申請(qǐng)人】深圳市華騰半導(dǎo)體設(shè)備有限公司
【公開(kāi)日】2015年8月19日
【申請(qǐng)日】2015年4月25日