專利名稱：除振裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種在例如制造精密儀器的制造設(shè)備中使用、為除去輸入到該制造設(shè)備中的日常振動(dòng)等振動(dòng)的裝置。
通常，在精密儀器等的制造設(shè)備中，在床體或基礎(chǔ)等基盤部分和裝置類或載置該裝置類的上部床體等除振對象物之間放置除振裝置。然后，由該除振裝置防止外部振動(dòng)傳播到除振對象物上。
例如，在集成電路的制造設(shè)備中，用提升法(CZ法)將硅單結(jié)晶成長為圓柱狀，將該圓柱狀切成圓板狀，得到成為基板的圓片。在該硅圓片上，表面的平坦度以及電阻率的均勻性是重要的。但是，如果在硅單結(jié)晶的成長過程中加入了振動(dòng)，將在成長的硅單結(jié)晶上產(chǎn)生不均勻的情況。作為產(chǎn)生該振動(dòng)的原因，可以舉出例如來自周圍區(qū)域的交通振動(dòng)、或者在裝置周圍人員等的走動(dòng)所產(chǎn)生的所謂的生活振動(dòng)等例子。這樣的交通振動(dòng)或者生活振動(dòng)雖然是微小的振動(dòng)，即使是這樣的微小振動(dòng)，也會(huì)對硅單結(jié)晶的均勻成長產(chǎn)生重大的妨礙。為此，在這樣的制造設(shè)備中，如上所述在基盤部分和除振對象物之間放置除振裝置，除去輸入到除振對象物的振動(dòng)。
除振裝置是通過在載置除振對象物的上部床體和基盤部分之間設(shè)置彈性體所構(gòu)成，上部床體則成為除振臺(tái)。彈性體一邊支撐除振臺(tái)，一邊吸收上下方向作用的振動(dòng)能量，由此除去從外部向除振臺(tái)傳播的振動(dòng)。在精密儀器的制造設(shè)備中的除振裝置，從除去微小振動(dòng)的觀點(diǎn)出發(fā)，作為彈性體可以采用空氣彈簧等。又通常配設(shè)多個(gè)彈性體。這樣通過用這些多個(gè)彈性體吸收振動(dòng)能量，可以提高振動(dòng)的除去效果。
但是，在采用多個(gè)彈性體構(gòu)成除振裝置時(shí)，所有彈性體的振動(dòng)狀態(tài)并不一定相同。而且讓所有彈性體的除振性能完全相同也是很困難的。例如，作用在各彈性體上的振動(dòng)不相等的情況、或者除振臺(tái)上的重量分布偏的情況下，只有某個(gè)特定的彈性體的上下伸縮量增大，由此引起除振臺(tái)的傾斜。其結(jié)果，除振臺(tái)上的除振對象物由于傾斜產(chǎn)生旋轉(zhuǎn)力矩，產(chǎn)生擺動(dòng)的振動(dòng)。在此，使用多個(gè)彈性體時(shí)，有必要采取消除這種搖擺振動(dòng)的對策。
第1，可以采用追加除振臺(tái)下部的重量，或者通過加寬設(shè)備本身的寬度相對地降低設(shè)備的高度，從而降低除振臺(tái)上的除振對象物的重心的方法。但是，這樣的方法只能在一定程度上抑制由搖擺振動(dòng)所產(chǎn)生的除振臺(tái)的傾斜，而不能完全阻止傾斜的發(fā)生。
第2，可以采用在基盤部分和上部床體之間，和彈性體并排設(shè)置減震器等衰減裝置，來抑制搖擺振動(dòng)的方法。但是，在該方法中，如果衰減裝置的衰減系數(shù)低，就不能充分抑制搖擺振動(dòng)。另一方面，如果設(shè)置高的衰減系數(shù)，雖然可以獲得搖擺振動(dòng)的抑制效果，但也會(huì)對彈性體的上下振動(dòng)吸收性能帶來不良影響。結(jié)果，降低了除振裝置本身的振動(dòng)除去效果。簡言之，在這種方法中，衰減系數(shù)的設(shè)定很微妙，設(shè)置最佳衰減系數(shù)很困難。
第3，可以采用有源消除搖擺振動(dòng)的方法。這時(shí)，設(shè)置有傳感器和驅(qū)動(dòng)裝置。當(dāng)除振臺(tái)受到搖擺振動(dòng)而要傾斜時(shí)，由傳感器檢測出該振動(dòng)狀態(tài)。根據(jù)傳感器的檢測值驅(qū)動(dòng)驅(qū)動(dòng)裝置，向除振臺(tái)施加與傾斜相反方向的力，由此保持除振臺(tái)的傾斜角度為0。但是在這樣的方法中，瞬間響應(yīng)性差，而且裝置構(gòu)成復(fù)雜。
關(guān)于除振裝置的搖擺振動(dòng)，在上述的現(xiàn)有的對策中，有必要從設(shè)計(jì)階段詳細(xì)探討所想定的擺動(dòng)的振動(dòng)量、或者旋轉(zhuǎn)力矩量等。又，由于振動(dòng)的發(fā)生存在著不確定因素，完全預(yù)測搖擺振動(dòng)是困難的。因此，即使實(shí)施上述對策，搖擺振動(dòng)的除去有限度。有時(shí)，搖擺振動(dòng)發(fā)生的原因阻止除去上下振動(dòng)的情況也會(huì)發(fā)生。
另一方面，在上述硅單結(jié)晶的成長過程中，希望能遮斷振動(dòng)。但是，考慮將生成完后的硅單結(jié)晶從爐中提升從制造設(shè)備取出的情況，載置制造設(shè)備的除振臺(tái)由除振裝置彈性支撐，因此制造設(shè)備處于不安定狀態(tài)。而在硅單結(jié)晶的取出時(shí)如果彈性支撐的制造設(shè)備搖動(dòng)時(shí)，硅單結(jié)晶恐怕會(huì)與制造設(shè)備沖突。如果發(fā)生了沖突，將降低硅單結(jié)晶的商品價(jià)值。
本發(fā)明是在考慮了以上所有問題的情況下形成的。本發(fā)明的目的是提供一種以簡易的構(gòu)成就可以除去預(yù)測困難的搖擺振動(dòng)，而且根據(jù)需要去除除振裝置的彈性支撐功能、保持除振對象物處于靜止?fàn)顟B(tài)的除振裝置。
本發(fā)明的除振裝置包括在上下方向相隔一定間隔的除振對象物和基盤部分之間配設(shè)多個(gè)、與除振對象物和基盤部分固定連接并將從固定連接部分傳遞的除振對象物和基盤部分的上下方向相對變位變換為水平方向變位的變位變換裝置、和分別固定連接在變位變換裝置上使得這些變位變換裝置相互連接、并在各變位變換裝置之間相互傳遞水平方向變位的變位傳遞裝置。
當(dāng)在除振對象物和基盤部分之間有振動(dòng)作用時(shí)，各變位變換裝置將上下振動(dòng)變換為與其對應(yīng)的水平振動(dòng)并傳遞給變位傳遞裝置。由于變位傳遞裝置與變位變換裝置相互連接，水平振動(dòng)在變位變換裝置之間相互傳遞。換言之，將由變位傳遞裝置傳遞的水平振動(dòng)輸入到各變位變換裝置，該水平振動(dòng)由變位變換裝置變換為上下振動(dòng)。即，本發(fā)明的除振裝置，將成為在各變位變換裝置上發(fā)生搖擺振動(dòng)的原因的不一致的上下振動(dòng)變換為水平振動(dòng)，該水平振動(dòng)通過變位傳遞裝置在變位變換裝置之間相互傳遞。依據(jù)該水平振動(dòng)的相互傳遞，可以在所有變位變換裝置上產(chǎn)生相同的上下振動(dòng)。這樣，由于在所有變位變換裝置上產(chǎn)生相同的上下方向變位，可以阻止搖擺振動(dòng)的發(fā)生。簡言之，通過變位變換裝置和變位傳遞裝置的組合，使得上下振動(dòng)的不一致相互抵消，來阻止搖擺振動(dòng)。特別是，將變位變換裝置固定連接到基盤部分以及除振對象物上，并且將變位變換裝置和變位傳遞裝置固定連接，因而在構(gòu)造上完全沒有多余，因此本發(fā)明的除振裝置可以瞬時(shí)響應(yīng)輸入振動(dòng)，防止搖擺振動(dòng)的發(fā)生。
變位變換裝置由在除振對象物和基盤部分之間上下重疊配置的一對板材所構(gòu)成，這一對板材分別在其兩端部按照所定的角度彎曲并使其沿該板材的長軸方向相互大致平行，將一端彎曲端部相互重疊固定連接，同時(shí)將另一端彎曲端部分別固定連接到除振對象物以及基盤部分上。
當(dāng)由于振動(dòng)產(chǎn)生上下方向相對變位時(shí)，一對板材以固定連接在除振對象物以及基盤部分上的彎曲端部為基準(zhǔn)其傾斜角變化。該傾斜角變化將在相互重合彎曲端部上產(chǎn)生水平方向變位，該水平方向變位以拉伸力或者壓縮力的形式傳遞給變位傳遞裝置。利用該力的傳遞，可以達(dá)成在變位變換裝置之間水平振動(dòng)的相互傳遞。
板材是可以彈性復(fù)原的彈簧。
板材可以將上下振動(dòng)變換為水平振動(dòng)。又，板材通過其彈性作用將從基盤部分想要傳遞到除振對象物的上下振動(dòng)的能量吸收，阻止向除振對象物傳遞振動(dòng)。
變位變換裝置的相互重合的彎曲端部和連接這些彎曲端部的變位傳遞裝置，通過與其連接增強(qiáng)部件連接成一體。
利用增強(qiáng)部件連成一體，可以提高包括固定連接部分在內(nèi)的重合的彎曲端部以及變位傳遞裝置整體的剛性。由于該剛性，可以將由變位變換裝置變換的水平變位，全部地傳遞給變位傳遞裝置，可以良好地阻止搖擺振動(dòng)。
變位傳遞裝置具有難于由壓縮力產(chǎn)生壓曲的高度的剛性。
可以由變位變換裝置變換的水平變位，全部地傳遞給變位傳遞裝置，可以確切地阻止搖擺振動(dòng)。
變位傳遞裝置為中空的筒狀部件。
在輕量的同時(shí)確保有高的強(qiáng)度，可以獲得優(yōu)異的變位傳遞性能。
在除振對象物和基盤部分之間和變位變換裝置并聯(lián)設(shè)置有上下方向彈性支撐裝置。
上下方向彈性支撐裝置將從基盤部分想要傳遞到除振對象物的上下振動(dòng)的能量吸收。由該上下方向彈性支撐裝置可以抑制向除振對象物傳遞的上下振動(dòng)。
上下方向彈性支撐裝置為彈簧。
由于上下方向的彈簧作用，可以除去從基盤部分輸入到除振對象物的上下振動(dòng)。
在除振對象物和基盤部分之間設(shè)置有吸收上下振動(dòng)用的減震器。
在由上下方向彈性支撐裝置吸收振動(dòng)的基礎(chǔ)上，可以由減震器衰減上下振動(dòng)。
在除振對象物和基盤部分之間和變位變換裝置串聯(lián)設(shè)置有水平方向除振機(jī)構(gòu)。
水平方向除振機(jī)構(gòu)將從基盤部分想要傳遞到除振對象物的水平振動(dòng)的能量吸收。由該水平方向除振機(jī)構(gòu)可以抑制向除振對象物傳遞的水平振動(dòng)。
水平方向除振機(jī)構(gòu)的除振對象物一側(cè)的端部相互連接成一體。
水平方向除振機(jī)構(gòu)的除振對象物一側(cè)的端部的舉動(dòng)受到與其連接成一體的其它水平方向除振機(jī)構(gòu)的端部所限制。由于該連接，可以防止各水平方向除振機(jī)構(gòu)獨(dú)自傾斜，除振對象物局部下沉。并且，從除振對象物一側(cè)向水平方向除振機(jī)構(gòu)有偏心負(fù)荷作用時(shí)，可以防止除振對象物的傾斜。
水平方向除振機(jī)構(gòu)的除振對象物一側(cè)的端部由剛性部件相互連接。
水平方向除振機(jī)構(gòu)的除振對象物一側(cè)的端部的舉動(dòng)受到與由剛性部件連接的其它水平方向除振機(jī)構(gòu)的端部所限制。由于該連接，可以防止各水平方向除振機(jī)構(gòu)獨(dú)自傾斜，除振對象物局部下沉。并且，從除振對象物一側(cè)向水平方向除振機(jī)構(gòu)有偏心負(fù)荷作用時(shí)，可以防止除振對象物的傾斜。
水平方向除振機(jī)構(gòu)為積層橡膠。
由于積層橡膠水平方向上的彈簧作用，可以除去從基盤部分向除振對象物輸入的水平振動(dòng)。
在除振對象物和基盤部分之間設(shè)置有吸收水平振動(dòng)用的減震器。
在由水平方向除振機(jī)構(gòu)吸收振動(dòng)的基礎(chǔ)上，可以由減震器衰減水平振動(dòng)。
具有設(shè)置在除振對象物和基盤部分之間、當(dāng)水平方向除振機(jī)構(gòu)在水平方向發(fā)生變形時(shí)可以自由滑動(dòng)地落座在基盤部分上的落座裝置。
當(dāng)由于大振幅的振動(dòng)輸入使得水平方向除振機(jī)構(gòu)在水平方向產(chǎn)生大的變形時(shí)，落座裝置落座在基盤部分上，由此，可以阻止水平方向除振機(jī)構(gòu)的過度下沉。
落座裝置處于著地狀態(tài)時(shí)可以相對基盤部分自由滑動(dòng)，由于滑動(dòng)的摩擦接觸產(chǎn)生衰減力，可以衰減振動(dòng)。
在除振對象物和基盤部分之間設(shè)置有將除振對象物自由固定在該基盤部分上的固定裝置。
通過固定裝置可以將除振對象物固定在基盤部分上，并使除振對象物處于靜止?fàn)顟B(tài)。另一方面，當(dāng)固定裝置解除固定狀態(tài)后，可以恢復(fù)除振裝置的彈性支撐功能，有效地遮斷從基盤部分向除振對象物傳遞的振動(dòng)。
又，本發(fā)明的除振裝置，在基盤部分上彈性支撐的除振裝置中，在除振對象物和基盤部分之間設(shè)置有將除振對象物自由固定在基盤部分上的固定裝置。
由固定裝置可以將除振對象物固定在基盤部分上。即，使得彈性支撐除振對象物的除振裝置喪失彈性支撐功能，保持除振對象物處于靜止?fàn)顟B(tài)。
另一方面，如果由固定裝置解除固定狀態(tài)，則由除振裝置本身的彈性支撐功能彈性支撐除振對象物。由于該彈性支撐，可以有效地遮斷從基盤部分向除振對象物傳遞的振動(dòng)，保護(hù)除振對象物免受振動(dòng)。
該除振裝置包括在除振對象物和基盤部分之間配設(shè)多個(gè)、分別與除振對象物和基盤部分固定連接并將從固定連接部分傳遞的除振對象物和該基盤部分的上下方向相對變位變換為水平方向變位的變位變換裝置、分別固定連接在變位變換裝置上使得這些變位變換裝置相互連接、并在各變位變換裝置之間相互傳遞水平方向變位的變位傳遞裝置、在除振對象物和基盤部分之間和變位變換裝置并聯(lián)設(shè)置的上下方向彈性支撐裝置和在除振對象物和基盤部分之間和變位變換裝置串聯(lián)設(shè)置的、其自由端部相互連接形成的水平方向除振機(jī)構(gòu)。
該除振裝置由上下方向彈性支撐裝置能吸收從基盤部分向除振對象物傳遞的上下振動(dòng)的能量。由于該吸收作用，可以抑制向除振對象物上下振動(dòng)的傳遞。
另外，由水平方向除振機(jī)構(gòu)可以吸收從基盤部分向除振對象物傳遞的水平振動(dòng)的能量，能抑制向除振對象物水平振動(dòng)的傳遞。
特別是，分別與除振對象物和基盤部分固定連接的變位變換裝置和與變位變換裝置連接的變位傳遞裝置，在變位變換裝置之間相互傳遞產(chǎn)生搖擺振動(dòng)的不一致的上下振動(dòng)。由于該傳遞作用，在所有變位變換裝置上的上下振動(dòng)變成均一。即由于在所有變位變換裝置上產(chǎn)生相同量的上下方向變位，可以阻止搖擺振動(dòng)的發(fā)生。
進(jìn)一步，水平方向除振機(jī)構(gòu)的自由端部的舉動(dòng)受到與其連接成一體的其它水平方向除振機(jī)構(gòu)的自由端部所限制。由于該連接，可以防止各水平方向除振機(jī)構(gòu)獨(dú)自傾斜，除振對象物局部下沉。并且，從除振對象物一側(cè)向水平方向除振機(jī)構(gòu)有偏心負(fù)荷作用時(shí)，可以防止除振對象物的傾斜。
在基盤部分上敷設(shè)有水平調(diào)整用的抗縮灰泥。
在基盤部分上可以保持高精度的水平度，以保證載置在其上的除振裝置可以恰當(dāng)?shù)貏?dòng)作。
上下方向彈性支撐裝置為可自由膨脹、收縮的空氣彈簧。
空氣彈簧，由于其上下方向的彈簧作用，可以除去從基盤部分輸入到除振對象物的上下振動(dòng)。
在空氣彈簧上連接有為使其膨脹、收縮而供給、排除空氣的空氣箱。
通過從與空氣箱連接的空氣彈簧中排除空氣使得空氣彈簧收縮，讓固定裝置落座在基盤部分上。由于該著地，可以固定除振對象物。
在除振對象物和基盤部分之間設(shè)置有升降除振對象物的千斤頂。
千斤頂?shù)氖湛s動(dòng)作，可以讓固定裝置落座在基盤部分上。
在固定裝置上面向基盤部分的端部安裝有摩擦材，同時(shí)在基盤部分上對應(yīng)固定裝置的安裝位置設(shè)置有滑板，在摩擦材和滑板之間設(shè)置有間隙。
固定裝置的摩擦材與基盤部分的滑板接觸，由于摩擦材與滑板之間的摩擦接觸，可以讓除振對象物在基盤部分上安定靜止。
在固定裝置上設(shè)置有為調(diào)節(jié)所述間隙的間隙調(diào)節(jié)裝置。
可以微調(diào)整固定裝置與基盤部分之間的間隙，保證除振裝置恰當(dāng)?shù)貏?dòng)作。
在除振對象物和基盤部分之間設(shè)置有吸收上下振動(dòng)用的減震器。
在由上下方向彈性支撐裝置吸收振動(dòng)的基礎(chǔ)上，可以由減震器衰減上下振動(dòng)。
水平方向除振機(jī)構(gòu)為積層橡膠。
由于積層橡膠水平方向上的彈簧作用，可以除去從基盤部分向除振對象物輸入的水平振動(dòng)。
在除振對象物和基盤部分之間設(shè)置有吸收水平振動(dòng)用的減震器。
在由水平方向除振機(jī)構(gòu)吸收振動(dòng)的基礎(chǔ)上，可以由減震器衰減水平振動(dòng)。
具有設(shè)置在除振對象物和基盤部分之間、當(dāng)水平方向除振機(jī)構(gòu)在水平方向發(fā)生變形時(shí)可以自由滑動(dòng)地落座在該基盤部分上的落座裝置。
當(dāng)由于大振幅的振動(dòng)輸入使得水平方向除振機(jī)構(gòu)在水平方向產(chǎn)生大的變形時(shí)，落座裝置落座在基盤部分上，由此，可以阻止水平方向除振機(jī)構(gòu)的過度下沉。
落座裝置處于著地狀態(tài)時(shí)可以相對基盤部分自由滑動(dòng)，由于滑動(dòng)的摩擦接觸產(chǎn)生衰減力，可以衰減振動(dòng)。
在落座裝置上面向基盤部分的端部安裝有滑動(dòng)材，同時(shí)在基盤部分上對應(yīng)落座裝置的安裝位置設(shè)置有滑板，在滑動(dòng)材和滑板之間設(shè)置有間隙。
落座裝置處于著地狀態(tài)時(shí)滑板和滑動(dòng)材之間可以相互滑動(dòng)，由于摩擦接觸產(chǎn)生衰減力，可以衰減振動(dòng)。
在落座裝置上設(shè)置有為調(diào)節(jié)間隙的間隙調(diào)節(jié)裝置。
可以微調(diào)整落座裝置與基盤部分之間的間隙，保證除振裝置恰當(dāng)?shù)貏?dòng)作。
以下是對附圖的簡要說明。
圖1為表示有關(guān)本發(fā)明第一實(shí)施方案的除振裝置的整體概略的側(cè)視圖。
圖2為表示用于圖1的除振裝置中的變位變換裝置的俯視圖。
圖3為表示圖1的B線的截面圖。
圖4為表示圖1的A線的截面圖。
圖5為表示本發(fā)明中采用的變位變換裝置的除振臺(tái)的配置構(gòu)成的俯視圖。
圖6為表示有關(guān)本發(fā)明第二實(shí)施方案的除振裝置的整體概略的側(cè)視圖。
圖7為表示有關(guān)本發(fā)明第三實(shí)施方案的除振裝置的整體的正視圖。
圖8為表示圖7的X-X線的截面圖。
圖9為表示有關(guān)本發(fā)明第四實(shí)施方案的除振裝置的整體的正視圖。
圖10為表示圖7的Y-Y線的截面圖。
圖11為說明本發(fā)明中采用的變位變換裝置的功能的概略圖。
圖12為說明本發(fā)明中采用的變位變換裝置的功能的概略圖。
圖13為說明本發(fā)明中采用的變位變換裝置的功能的概略圖。
以下參照


本發(fā)明的實(shí)施方案。本發(fā)明第一實(shí)施方案的構(gòu)成以下，參照附圖詳細(xì)說明有關(guān)本發(fā)明的除振裝置的第一實(shí)施方案。在圖1～4中，101表示有關(guān)本發(fā)明第一實(shí)施方案的除振裝置的整體構(gòu)成。該除振裝置101采用連接部件4連接彈性支撐部2、3所構(gòu)成。彈性支撐部2通過將鋼制的板彈簧部件5、6的長軸方向的兩端部按規(guī)定的角度平行彎折，其一端的彎折端部5a、6a相互重合所構(gòu)成。同樣，彈性支撐部3通過將鋼制的板彈簧部件7、8的長軸方向的兩端部按規(guī)定的角度平行彎折，其一端的彎折端部7a、8a相互重合所構(gòu)成。連接部件4為鋼制的中空的角柱部件，在其長軸方向的兩端上分別安裝有板片9、10。作為連接部件4，采用根據(jù)下述的理由，對壓縮力不會(huì)產(chǎn)生壓曲，而具有充分的剛性的部件。
板片9被夾持在板彈簧部件5、6的一端端部5a、6a之間。同樣，板片10被夾持在板彈簧部件7、8的一端端部7a、8a之間。彎曲端部5a、6a和板片9、以及彎曲端部7a、8a和板片10之間采用螺栓固定連接。根據(jù)該連接，將彈性支撐部2、3由連接部件4連接。在彎曲端部5a、6a和連接部件4的兩側(cè)面上，通過焊接固定連接將橫跨其間配置的板部件11、12。同樣，在彎曲端部7a、8a和連接部件4的兩側(cè)面上，通過焊接固定連接將橫跨其間配置的板部件11、12。這種構(gòu)成如圖3和圖4所示。根據(jù)該構(gòu)造，可以提高固定連接部分和連接部件4的剛性。在彎曲端部5b、6b之間設(shè)置有彈簧13，而在彎曲端部7b、8b之間也設(shè)置有彈簧14。彈簧13、14用于抑制上下振動(dòng)的傳播。作為彈簧13、14，希望使用可以吸收微小振動(dòng)的空氣彈簧。
將除振裝置101的彈性支撐部2、3的另一端的彎曲端部5b、7b通過螺栓等固定連接到臺(tái)座支撐部15的底部。同樣，將彈性支撐部2、3的另一端的彎曲端部6b、8b通過螺栓等固定連接到基板16上。在臺(tái)座支撐部15上載置除振臺(tái)19，在除振臺(tái)19上載置除振對象物20。
在與彎曲端部6b、8固定連接的基板16的下部，分別配置有除去振動(dòng)的除振橡膠17、18。除振橡膠17、18是為了抑制向除振裝置101傳播水平振動(dòng)而設(shè)置。除振橡膠17、18的一端固定連接到基板16上，另一端固定連接到作為基礎(chǔ)的床體上。通過這樣的構(gòu)成，將除振裝置101固定到基礎(chǔ)21上。
如圖5所示，除振裝置101通過沿除振臺(tái)19的周圍的H型綱的臺(tái)座支撐部15進(jìn)行配置。臺(tái)座支撐部15配置成[井]字形狀。除振臺(tái)19載置在臺(tái)座支撐部15上，通過螺栓或者焊接固定連接。在各臺(tái)座支撐部15的兩端，從除振臺(tái)19的側(cè)部凸出。在臺(tái)座支撐部15的各凸出部分的底面上，分別固定連接除振裝置101的彎曲端部5a、7a。根據(jù)這樣的構(gòu)成，除振裝置101安裝在沿除振臺(tái)19的周圍的位置上。根據(jù)這種配置方案，除振裝置101可以發(fā)揮除振效果和阻止搖擺振動(dòng)的效果。
在本實(shí)施方案中，在除振裝置101和除振對象物20之間，介入了臺(tái)座支撐部15和除振臺(tái)19。但是，也可以省略臺(tái)座支撐部15和除振臺(tái)19中的任一個(gè)，或者將除振裝置101直接固定連接在除振對象物20上。
又在本實(shí)施方案中，是根據(jù)將板片9夾持在彎曲端部5a、6a之間，并且板片10夾持在彎曲端部7a、8a之間連接的構(gòu)造，用連接部件4將彈性支撐部2、3相互連接的。但是，本發(fā)明并不限定于此，也可以采用沒有板狀凸出部分的角柱形狀的連接部件。即，也可以將角柱形狀的連接部件的兩端直接夾持在彎曲端部5a、6a之間，和彎曲端部7a、8a之間進(jìn)行連接。本發(fā)明第二實(shí)施方案的構(gòu)成圖6表示有關(guān)本發(fā)明第二實(shí)施方案的除振裝置201。在有關(guān)上述第一實(shí)施方案的除振裝置101中，除振橡膠17、18在基礎(chǔ)21一例為固定端部，而基板16一側(cè)為自由端部。這樣的構(gòu)成中，各除振橡膠17、18為各自獨(dú)自變形，因而有可能發(fā)生除振對象物局部下沉，或者除振對象物在受到偏心重物作用時(shí)除振臺(tái)19傾斜的情況?？紤]到這一點(diǎn)，在第二實(shí)施方案中，除振橡膠17、18的自由端部的基板16用剛性梁部件34相互連接。
第二實(shí)施方案的除振裝置201，當(dāng)然和第一實(shí)施方案的除振裝置101同樣，可以發(fā)揮水平以及上下方向的除振效果和阻止搖擺振動(dòng)的效果。進(jìn)一步，如圖6所示，通過基板16的相互連接，除振橡膠17、18的自由端部的動(dòng)作可以相互限制，防止各除振橡膠17、18各自獨(dú)自的變形。根據(jù)這樣的構(gòu)成，即使發(fā)生除振對象物局部下沉，或者除振對象物在受到偏心重物作用的情況，也可以確實(shí)防止除振臺(tái)19的傾斜。
在圖中所示的例中，通過梁部件34連接除振橡膠17、18的自由端部的基板16。也可以不用梁部件34，而將基板16本身延長進(jìn)行相互連接。又，也可以用其它構(gòu)造體連接基板16。不僅要基板16之間的連接，而且要具有限制除振橡膠17、18的動(dòng)作的充分的剛性。
第一和第二實(shí)施方案雖然是以精密儀器的制造設(shè)備為例進(jìn)行了說明，但本發(fā)明并不限于此，也可以適用于建筑物。本發(fā)明第三實(shí)施方案的構(gòu)成依據(jù)第一和第二實(shí)施方案的除振裝置101、201可以很好地抑制引起微振動(dòng)的除振對象物20的水平振動(dòng)、上下振動(dòng)以及搖擺振動(dòng)。此外，為了除去地震那樣大的水平振動(dòng)和上下振動(dòng)，在上述裝置101、201上，也可以具有下述構(gòu)成。
本發(fā)明第三實(shí)施方案的除振裝置301的基本構(gòu)成為，相對于上述除振裝置201，在除振對象物20和基盤部分21之間具有落座裝置32。在水平方向上除振裝置17、18超過了規(guī)定量而產(chǎn)生水平變形時(shí)，該落座裝置32可以自由滑動(dòng)地柔軟地落座在基盤部分21上。并且具有吸收上下振動(dòng)的粘性減震器42。又，在本實(shí)施方案中，作為彈簧采用空氣彈簧43、44，進(jìn)一步采用空氣箱46代替基板16。
如圖7所示，除振裝置301設(shè)置在作為基盤部分的基礎(chǔ)21上。除振裝置301的平面形狀如圖8所示，整體為矩形形狀。該矩形的各邊上，在圖7中也已表示，分別配置有作為變位變換裝置的彈性支撐部2、3、作為變位傳遞裝置的連接部件4、作為上下方向彈性支撐裝置的空氣彈簧43、44、作為水平方向除振裝置的除振橡膠17、18和落座裝置32。基礎(chǔ)21按指定厚度施工有調(diào)整水平用的抗縮灰泥。因此，在基礎(chǔ)21上面保持了高精度的水平度。
空氣彈簧43、44配設(shè)在臺(tái)座支撐部15和空氣箱46之間?？諝鈴椈?3、44支撐包含臺(tái)座支撐部15的除振臺(tái)19以及除振對象物20的重量，同時(shí)專門發(fā)揮上下方向的彈簧作用。
空氣箱46整體形成為上下端封閉的筒狀。空氣箱46儲(chǔ)存了為向空氣彈簧43、44供給的加壓空氣。通過圖中未畫出的閥門電路，從各空氣箱46向各空氣彈簧43、33供給加壓空氣，又從空氣彈簧43、44排除空氣?？諝庀?6的下端和基礎(chǔ)21之間配設(shè)有除振橡膠17、18。對于一個(gè)空氣箱46，安定地配設(shè)了一個(gè)或者多個(gè)除振橡膠17、18。
落座裝置32設(shè)置在梁部件34的中央部。落座裝置32在著地的基礎(chǔ)21的上面預(yù)先鋪設(shè)有不銹鋼制成的滑板36。
落座裝置32在梁部件34的下側(cè)，用螺栓等進(jìn)行固定。在落座裝置32的下端面上，安裝有聚四氟乙烯等滑動(dòng)件40，在該滑動(dòng)件40和滑板36之間設(shè)置了規(guī)定的間隙Δ。在落座裝置32的下端部，具有包括調(diào)整用手柄32a的間隙調(diào)節(jié)部32b。通過旋轉(zhuǎn)手柄32a，可以微調(diào)整間隙Δ。在落座裝置32的上方，在梁部件34和臺(tái)座支撐部之間，設(shè)置有上下振動(dòng)吸收用的粘性減震器42。又，雖然在圖中省略了，在空氣箱16和基礎(chǔ)21之間設(shè)置有水平振動(dòng)吸收用的粘性減震器。
在該除振裝置301中，載置除振對象物20的除振臺(tái)19由彈性支撐部2、3、空氣彈簧43、44和除振橡膠17、18彈性支撐，①微振動(dòng)的水平振動(dòng)由除振橡膠17、18除去，②微振動(dòng)的上下振動(dòng)由空氣彈簧43、44除去，③微振動(dòng)的搖擺振動(dòng)由彈性支撐部2、3除去。又，④地震時(shí)大的水平振動(dòng)由除振橡膠17、18除去。這時(shí)，水平變位非常大，除振橡膠17、18傾斜發(fā)生下沉，落座裝置32落座到基礎(chǔ)21上阻止下沉。⑤地震時(shí)大的上下振動(dòng)由空氣彈簧43、44和彈性支撐部2、3的合成彈簧除去。這時(shí)，上下振動(dòng)由粘性減震器42衰減。
以上說明的除振裝置301具有振動(dòng)除去功能，也能遮斷交通振動(dòng)和生活振動(dòng)向除振對象物20的傳遞。因此，當(dāng)除振對象物20為集成電路的制造設(shè)備時(shí)，可以制成商品價(jià)值高、均勻的硅單晶。作為除振對象物20，并不限定于不喜好振動(dòng)的集成電路的制造設(shè)備，可以包括精密儀器、或者研究室、實(shí)驗(yàn)室以及手術(shù)室的床體、或者塔狀比大(重心高)的家具、物件以及美術(shù)展示品，甚至住宅或者塔狀比大的板狀建筑物，對此也可以適用本發(fā)明的除振裝置進(jìn)行振動(dòng)除去。
在本實(shí)施方案中，當(dāng)除振橡膠17、18有大的下沉?xí)r，落座裝置32落座在基礎(chǔ)21上，可以阻止除振橡膠17、18的下沉。而且，落座裝置32處于落座狀態(tài)時(shí)，滑板36和滑動(dòng)件40之間可以相互滑動(dòng)，由該摩擦接觸獲得衰減力，可以衰減振動(dòng)。本發(fā)明第四實(shí)施方案的構(gòu)成圖9和圖10為表示本發(fā)明第四實(shí)施方案的除振裝置401。根據(jù)上述的任一實(shí)施方案，都可以很好地獲得振動(dòng)除去效果以及阻止搖擺振動(dòng)的效果，除振對象物20的適用范圍也可以擴(kuò)展到各種對象。但是，在例如集成電路的制造設(shè)備中將硅單晶從爐中取出時(shí)，希望除振對象物20能夠固定。
本發(fā)明第四實(shí)施方案的基本構(gòu)成是以在基盤部分21上彈性支撐除振對象物20的除振裝置為前提，在除振對象物20和基盤部分21之間具有可以將除振對象物20固定在基盤部分21的固定裝置30。例如，通過在上述第三實(shí)施方案的除振裝置301上設(shè)置固定裝置30，來實(shí)現(xiàn)第四實(shí)施方案的除振裝置401。在本實(shí)施方案中，和上述第三實(shí)施方案相同，作為彈簧采用空氣彈簧43、44，而采用空氣箱46代替基板16。
第四實(shí)施方案所采用的固定裝置30被設(shè)置在臺(tái)座支撐部15上位于落座裝置32的兩側(cè)。和第三實(shí)施方案的除振裝置301相同，在固定裝置30以及落座裝置32落座的基礎(chǔ)21上面，預(yù)先敷設(shè)了不銹鋼制的滑板36。
固定裝置30通過焊接等固定在臺(tái)座支撐部15的下側(cè)。固定裝置30由梁部件34可相對自由移動(dòng)地穿通并垂下，在其下端面上，安裝有索馬萊依德(一種超高分子量聚乙烯商品名、已注冊商標(biāo))等摩擦材料38。在摩擦材38和滑板36之間設(shè)置了規(guī)定的間隙δ。在固定裝置30的下端部，具有包括調(diào)整用手柄30a的間隙調(diào)節(jié)部30b。通過旋轉(zhuǎn)手柄30a，可以微調(diào)整間隙δ。
在固定除振對象物20時(shí)，例如在集成電路的制造設(shè)備中將硅單晶從爐中取出時(shí)，排除空氣讓空氣彈簧43、44收縮。由于該空氣彈簧43、44收縮，臺(tái)座支撐部15、除振臺(tái)19以及除振對象物20整體下降。之后，固定裝置30的摩擦材38落座在基礎(chǔ)21的滑板36上，通過固定裝置30在基礎(chǔ)21上整體支撐除振裝置401。
當(dāng)除振裝置401處于落座狀態(tài)時(shí)，彈性支撐部2、3、空氣彈簧43、44和除振橡膠17、18失去彈性支撐功能，除振對象物20可以確切地固定。因此，可以不受周圍構(gòu)造體的干擾，取出硅單晶。當(dāng)除振對象物20為手術(shù)臺(tái)或展示品等時(shí)，在搬出床或展示品時(shí)可以安全并且順利地進(jìn)行作業(yè)。
當(dāng)然，如果從空氣箱46向空氣彈簧43、44供給加壓空氣使得空氣彈簧43、44膨脹，可以將固定裝置30從基礎(chǔ)21上浮上。由于固定裝置30浮上，除振裝置可以恢復(fù)本來的振動(dòng)除去性能。
在本實(shí)施方案的除振裝置401中，通過空氣彈簧43、44的收縮作用將固定裝置落座到基礎(chǔ)21上，因而構(gòu)造簡單。此外，也可以采用油壓等千斤頂裝置使得固定裝置落座的方法。又，在本實(shí)施方案中，除振橡膠17、18的自由端是通過空氣箱46以及梁部件34進(jìn)行連接，此外，也可以采用鋼板等直接連接除振橡膠17、18。
在上述任一實(shí)施方案中，均是采用連接部件4連接兩個(gè)彈性支撐部(彈性支撐裝置)2、3。也可以是三個(gè)以上的彈性支撐裝置進(jìn)行相互連接。
第四實(shí)施方案是在第三實(shí)施方案的除振裝置301上適用固定裝置30所構(gòu)成。也可以將固定裝置30適用到第一和第二實(shí)施方案的除振裝置101、201中，或者其它現(xiàn)有的除振裝置中。搖擺振動(dòng)的除去原理在上述任一實(shí)施方案中，彈性支撐部2、3均可以有效地阻止在除振臺(tái)19上產(chǎn)生的搖擺振動(dòng)。即，在除振臺(tái)19和基礎(chǔ)21之間，當(dāng)產(chǎn)生上下方向相對變位的輸入的振動(dòng)作用時(shí)，有可能在彈性支撐部2、3上發(fā)生分別不一致的上下振動(dòng)。由于該不一致的上下振動(dòng)，除振臺(tái)19將發(fā)生搖擺振動(dòng)。然而，在本發(fā)明中，將分別發(fā)生在各個(gè)彈性支撐部2、3的上下振動(dòng)變換為水平振動(dòng)，從而阻止這種搖擺振動(dòng)。以下，參照圖11～13，詳細(xì)說明本發(fā)明具有的彈性支撐部的動(dòng)作。
彈性支撐部2、3由板彈簧部件5～8形成，其一端端部5b～8b分別固定連接到臺(tái)座支撐部15或者基板16上。依據(jù)該構(gòu)成，由于上下方向的彈性變形使得板彈簧部件5～8的傾斜角變化，產(chǎn)生水平方向的變位。由此，可以將上下振動(dòng)變換為水平振動(dòng)。變換所得到的水平振動(dòng)，通過固定連接彈性支撐部2、3的連接部件4，在彈性支撐部2、3相互之間傳遞。分別從彈性支撐部2、3輸入到連接部件4的各水平振動(dòng)，由于是基于不一致的上下振動(dòng)，也不一致。該不一致的水平振動(dòng)對固定連接彈性支撐部2、3的連接部件4產(chǎn)生壓縮力或者拉伸力，在該連接部件4上，產(chǎn)生力的相抵作用使得水平振動(dòng)均一，該均一的水平振動(dòng)然后傳遞到彈性支撐部2、3上。其結(jié)果，將不一致的上下振動(dòng)全部平均化，由該平均化的上下振動(dòng)產(chǎn)生彈性支撐部2、3的上下方向上的變位。
例如如圖11所示，如果偏的向下的力(振動(dòng))W1施加到和臺(tái)座支撐部15(圖中未畫出)固定連接的彈性支撐部3的彎曲端部7b上，可以想定將在除振臺(tái)19上發(fā)生搖擺振動(dòng)。這時(shí)，由于彎曲端部8b為與基板16固定連接的固定點(diǎn)，彎曲端部7b由于力W1的作用而向下方向下沉。這時(shí)，對應(yīng)于彎曲端部7b的下沉而彈性支撐部3變形，則彈性支撐部3的與連接部件4的固定連接部分在水平方向產(chǎn)生移動(dòng)。其結(jié)果，水平方向的拉伸力T1作用到連接部件4上。由于連接部件4也與彈性支撐部2固定連接，作用在連接部件4上拉伸力T1被傳遞到彈性支撐部2上。因此，由于該拉伸力T1，使得彈性支撐部2的與連接部件4的固定連接部分在水平方向受拉產(chǎn)生移動(dòng)。由于彎曲端部6b和彎曲端部8b同樣是與基板16固定連接的固定點(diǎn)，對應(yīng)于作用在彈性支撐部2的與連接部件4的固定連接部分上的拉伸力T1，彈性支撐部2變形。由此，和臺(tái)座支撐部15(圖中未畫出)固定連接的彎曲端部5b下沉。以上說明表明，施加在彎曲端部7b的力W1，通過連接部件4的介入在彈性支撐部2、3之間被平均化，變成分別一半作用在各彈性支撐部2、3上。因此，獲得力(振動(dòng))W1使得彎曲端部5b、7b以相同的變位量下沉的結(jié)果。
又例如如圖12所示，如果偏的向下的力(振動(dòng))W2施加到和臺(tái)座支撐部15(圖中未畫出)固定連接的彈性支撐部2的彎曲端部5b上，可以想定將在除振臺(tái)19上發(fā)生搖擺振動(dòng)。這時(shí)，由于彎曲端部6b為與基板16固定連接的固定點(diǎn)，彎曲端部5b由于力W2的作用而向下方向下沉。這時(shí)，對應(yīng)于彎曲端部5b的下沉而彈性支撐部2變形，則彈性支撐部2的與連接部件4的固定連接部分在水平方向產(chǎn)生移動(dòng)。其結(jié)果，水平方向的壓縮力C1作用到連接部件4上。由于連接部件4也與彈性支撐部3固定連接，作用在連接部件4上壓縮力C1被傳遞到彈性支撐部3上。因此，由于該壓縮力C1，使得彈性支撐部3的與連接部件4的固定連接部分在水平方向受壓產(chǎn)生移動(dòng)。由于彎曲端部8b和彎曲端部6b同樣是與基板16固定連接的固定點(diǎn)，對應(yīng)于作用在彈性支撐部3的與連接部件4的固定連接部分上的壓縮力C1，彈性支撐部3變形。由此，和臺(tái)座支撐部15(圖中未畫出)固定連接的彎曲端部7b下沉。以上說明表明，施加在彎曲端部5b的力W2，通過連接部件4的介入在彈性支撐部2、3之間被平均化，變成分別一半作用在各彈性支撐部2、3上。因此，獲得力(振動(dòng))W2使得彎曲端部5b、7b以相同的變位量下沉的結(jié)果。
進(jìn)一步，例如如圖13的實(shí)線表示的力的作用方向的例所示，如果偏的向上的力(振動(dòng))W3施加到彈性支撐部2的彎曲端部5b上，并且偏的向下的力(振動(dòng))W4施加到彈性支撐部3的彎曲端部7b上，可以想定將在除振臺(tái)19上發(fā)生搖擺振動(dòng)。這時(shí)，彎曲端部5b將向上浮，而彎曲端部7b將向下沉。這時(shí)，對應(yīng)于彎曲端部5b的浮上而彈性支撐部2變形，則彈性支撐部2的與連接部件4的固定連接部分在水平方向欲產(chǎn)生移動(dòng)。其結(jié)果，水平方向的拉伸力T2作用到連接部件4上。同時(shí)，對應(yīng)于彎曲端部7b的下沉而彈性支撐部3變形，則彈性支撐部3的與連接部件4的固定連接部分在水平方向欲產(chǎn)生移動(dòng)。其結(jié)果，水平方向的拉伸力T2作用到連接部件4上。當(dāng)這些拉伸力T2相等時(shí)，即力W3、W4相等時(shí)，相反方向上的拉伸力T2由連接部件4相互抵消。因此，連接部件4朝哪個(gè)方向都不會(huì)移動(dòng)。即彎曲端部5b、7b不會(huì)移動(dòng)。一方面，如果力W3比力W4要大時(shí)，其結(jié)果，連接部件4以(W3-W4)大小的拉伸力向彈性支撐部2一側(cè)移動(dòng)。其結(jié)果，彎曲端部5b、7b均向上浮。另一方面，如果力W4比力W3要大時(shí)，連接部件4以(W4-W3)大小的拉伸力向彈性支撐部3一側(cè)移動(dòng)。其結(jié)果，彎曲端部5b、7b均向下沉。
又，例如如圖13的虛線表示的力的作用方向的例所示，如果偏的向下的力(振動(dòng))W3施加到彈性支撐部2的彎曲端部5b上，并且偏的向上的力(振動(dòng))W4施加到彈性支撐部3的彎曲端部7b上，可以想定將在除振臺(tái)19上發(fā)生搖擺振動(dòng)。這時(shí)，彎曲端部5b將向下沉，而彎曲端部7b將向上浮。這時(shí)，對應(yīng)于彎曲端部5b的下沉而彈性支撐部2變形，則彈性支撐部2的與連接部件4的固定連接部分在水平方向欲產(chǎn)生移動(dòng)。其結(jié)果，水平方向的壓縮力C2作用到連接部件4上。同時(shí)，對應(yīng)于彎曲端部7b的上浮而彈性支撐部3變形，則彈性支撐部3的與連接部件4的固定連接部分在水平方向欲產(chǎn)生移動(dòng)。其結(jié)果，水平方向的壓縮力C2作用到連接部件4上。當(dāng)這些壓縮力C2相等時(shí)，即力W3、W4相等時(shí)，相反方向上的壓縮力C2由連接部件4相互抵消。因此，連接部件4朝哪個(gè)方向都不會(huì)移動(dòng)。即彎曲端部5b、7b不會(huì)移動(dòng)。一方面，如果力W3比力W4要大時(shí)，其結(jié)果，連接部件4以(W3-W4)大小的壓縮力向彈性支撐部3一側(cè)移動(dòng)。其結(jié)果，彎曲端部5b、7b均向下沉。另一方面，如果力W4比力W3要大時(shí)，連接部件4以(W4-W3)大小的壓縮力向彈性支撐部2一側(cè)移動(dòng)。其結(jié)果，彎曲端部5b、7b均向上浮。
在本發(fā)明的除振裝置中，由于各彈性支撐部2、3上的上下方向的振動(dòng)狀態(tài)不一致，在除振臺(tái)上發(fā)生搖擺振動(dòng)時(shí)，彈性支撐部2由板彈簧部件5、6，而彈性支撐部3由板彈簧部件7、8將上下振動(dòng)變換為水平振動(dòng)。所變換的水平振動(dòng)在通過連接部件4在彈性支撐部2、3的相互之間傳遞時(shí)被平均化，該平均化的水平振動(dòng)可以使得所有的彈性支撐部2、3產(chǎn)生均勻的上下振動(dòng)。
又，在本發(fā)明的除振裝置中，彈性支撐部2、3的一端端部5b～8b固定連接到臺(tái)座支撐部15以及基板16上，并且，另一端端部5a～8a固定連接到連接部件4上。依據(jù)該固定連接，完全沒有構(gòu)造上的多余，彈性支撐部2、3以及連接部件4可以對輸入振動(dòng)瞬時(shí)響應(yīng)。
在連接部件4上，會(huì)出現(xiàn)從彈性支撐部2、3兩方作用壓縮力的情況(參照圖12)。為此，連接部件4采用對壓縮力不產(chǎn)生壓曲的有充分強(qiáng)度的部件形成。
在圖13的振動(dòng)狀態(tài)中，當(dāng)拉伸力T2或者壓縮力C2相等時(shí)，這些力相互抵消，彎曲端部5b、7b不會(huì)移動(dòng)。但是，實(shí)際上由于各部件所具有的彈性應(yīng)變多少會(huì)引起一些上下振動(dòng)的發(fā)生。為了解決這樣的問題，在本發(fā)明的任一實(shí)施方案的除振裝置中各部件均采用截面性能高的部件。
在以上說明的任一實(shí)施方案的除振裝置中，可以恰當(dāng)?shù)爻ド舷路较蛞约八椒较蛏系恼駝?dòng)，而且構(gòu)成簡單，能夠?qū)崿F(xiàn)對預(yù)測困難的搖擺振動(dòng)的阻止。
權(quán)利要求
1.一種除振裝置，其特征是包括在上下方向相隔一定間隔的除振對象物和基盤部分之間配設(shè)多個(gè)、與該除振對象物和該基盤部分固定連接并將從該固定連接部分傳遞的該除振對象物和該基盤部分的上下方向相對變位變換為水平方向變位的變位變換裝置和分別固定連接在該變位變換裝置上使得這些變位變換裝置相互連接、并在各變位變換裝置之間相互傳遞所述水平方向變位的變位傳遞裝置。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的除振裝置，其特征是所述變位變換裝置由在所述除振對象物和所述基盤部分之間上下重疊配置的一對板材所構(gòu)成，這一對板材分別在其兩端部按照所定的角度彎曲并使其沿該板材的長軸方向相互大致平行，將一端彎曲端部相互重疊固定連接，同時(shí)將另一端彎曲端部分別固定連接到所述除振對象物以及所述基盤部分上。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的除振裝置，其特征是所述板材是可以彈性復(fù)原的彈簧。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的除振裝置，其特征是將所述變位變換裝置的相互重合的所述彎曲端部和連接這些彎曲端部的所述變位傳遞裝置，通過與其連接增強(qiáng)部件連接成一體。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的除振裝置，其特征是所述變位傳遞裝置具有難于由壓縮力產(chǎn)生壓曲的高的剛性。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的除振裝置，其特征是所述變位傳遞裝置為中空的筒狀部件。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的除振裝置，其特征是在所述除振對象物和所述基盤部分之間和所述變位變換裝置并聯(lián)設(shè)置有上下方向彈性支撐裝置。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的除振裝置，其特征是所述上下方向彈性支撐裝置為彈簧。
9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的除振裝置，其特征是在所述除振對象物和所述基盤部分之間設(shè)置有吸收上下振動(dòng)用的減震器。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的除振裝置，其特征是在所述除振對象物和所述基盤部分之間和所述變位變換裝置串聯(lián)設(shè)置有水平方向除振機(jī)構(gòu)。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的除振裝置，其特征是所述水平方向除振機(jī)構(gòu)的除振對象物一側(cè)的端部相互連接成一體。
12.根據(jù)權(quán)利要求10所述的除振裝置，其特征是所述水平方向除振機(jī)構(gòu)的除振對象物一側(cè)的端部由剛性部件相互連接。
13.根據(jù)權(quán)利要求10所述的除振裝置，其特征是所述水平方向除振機(jī)構(gòu)為積層橡膠。
14.根據(jù)權(quán)利要求10所述的除振裝置，其特征是在所述除振對象物和所述基盤部分之間設(shè)置有吸收水平振動(dòng)用的減震器。
15.根據(jù)權(quán)利要求10所述的除振裝置，其特征是具有設(shè)置在所述除振對象物和所述基盤部分之間、當(dāng)所述水平方向除振機(jī)構(gòu)在水平方向發(fā)生變形時(shí)可以自由滑動(dòng)地落座在該基盤部分上的落座裝置。
16.根據(jù)權(quán)利要求1所述的除振裝置，其特征是在所述除振對象物和所述基盤部分之間設(shè)置有將該除振對象物自由固定在該基盤部分上的固定裝置。
17.一種除振裝置，其特征是在基盤部分上彈性支撐的除振裝置中，在所述除振對象物和所述基盤部分之間設(shè)置有將該除振對象物自由固定在該基盤部分上的固定裝置。
18.根據(jù)權(quán)利要求17所述的除振裝置，其特征是所述除振裝置包括在所述除振對象物和所述基盤部分之間配設(shè)多個(gè)、分別與該除振對象物和該基盤部分固定連接并將從該固定連接部分傳遞的除振對象物和該基盤部分的上下方向相對變位變換為水平方向變位的變位變換裝置，分別固定連接在該變位變換裝置上使得這些變位變換裝置相互連接、并在各變位變換裝置之間相互傳遞所述水平方向變位的變位傳遞裝置，在所述除振對象物和所述基盤部分之間和所述變位變換裝置并聯(lián)設(shè)置的上下方向彈性支撐裝置和在所述除振對象物和所述基盤部分之間和所述變位變換裝置串聯(lián)設(shè)置的、其自由端部相互連接形成的水平方向除振機(jī)構(gòu)。
19.根據(jù)權(quán)利要求18所述的除振裝置，其特征是在所述基盤部分上敷設(shè)有水平調(diào)整用的抗縮灰泥。
20.根據(jù)權(quán)利要求18所述的除振裝置，其特征是所述上下方向彈性支撐裝置為可自由膨脹、收縮的空氣彈簧。
21.根據(jù)權(quán)利要求20所述的除振裝置，其特征是在所述空氣彈簧上連接有為使其膨脹、收縮而供給、排除空氣的空氣箱。
22.根據(jù)權(quán)利要求17所述的除振裝置，其特征是在所述除振對象物和所述基盤部分之間設(shè)置有升降該除振對象物的千斤頂。
23.根據(jù)權(quán)利要求17所述的除振裝置，其特征是在所述固定裝置上面向所述基盤部分的端部安裝有摩擦材，同時(shí)在所述基盤部分上對應(yīng)上述固定裝置的安裝位置設(shè)置有滑板，在所述摩擦材和所述滑板之間設(shè)置有間隙。
24.根據(jù)權(quán)利要求23所述的除振裝置，其特征是在所述固定裝置上設(shè)置有為調(diào)節(jié)所述間隙的間隙調(diào)節(jié)裝置。
25.根據(jù)權(quán)利要求18所述的除振裝置，其特征是在所述除振對象物和所述基盤部分之間設(shè)置有吸收上下振動(dòng)用的減震器。
26.根據(jù)權(quán)利要求18所述的除振裝置，其特征是所述水平方向除振機(jī)構(gòu)為積層橡膠。
27.根據(jù)權(quán)利要求18所述的除振裝置，其特征是在所述除振對象物和所述基盤部分之間設(shè)置有吸收水平振動(dòng)用的減震器。
28.根據(jù)權(quán)利要求18所述的除振裝置，其特征是具有設(shè)置在所述除振對象物和所述基盤部分之間、當(dāng)所述水平方向除振機(jī)構(gòu)在水平方向發(fā)生變形時(shí)可以自由滑動(dòng)地落座在該基盤部分上的落座裝置。
29.根據(jù)權(quán)利要求28所述的除振裝置，其特征是在所述落座裝置上面向所述基盤部分的端部安裝有滑動(dòng)材，同時(shí)在所述基盤部分上對應(yīng)上述落座裝置的安裝位置設(shè)置有滑板，在所述滑動(dòng)材和所述滑板之間設(shè)置有間隙。
30.根據(jù)權(quán)利要求29所述的除振裝置，其特征是在所述落座裝置上設(shè)置有為調(diào)節(jié)所述間隙的間隙調(diào)節(jié)裝置。
全文摘要
一種除振裝置在上下方向相隔一定間隔的除振對象物和基盤部分之間,配設(shè)多個(gè)作為變位變換裝置的板彈簧部件,這些板彈簧部件分別與除振對象物和基盤部分固定連接,將從該固定連接部分傳遞的除振對象物和基盤部分的上下方向相對變位變換為水平方向的變位。分別與這些板彈簧部件固定連接設(shè)置有變位傳遞裝置的連接部件。連接部件與這些板彈簧部件相互連接將水平方向的變位傳遞給各板彈簧部件。在除振對象物和基盤部分之間設(shè)有將除振對象物固定的固定裝置。
文檔編號(hào)E04B1/36GK1242482SQ9910900
公開日2000年1月26日 申請日期1999年6月11日 優(yōu)先權(quán)日1998年7月21日
發(fā)明者寺村彰, 吉田治, 浦進(jìn)悟, 森田修平 申請人:株式會(huì)社大林組