基板分?jǐn)嘌b置及基板分?jǐn)嘌b置的基板搬送方法
【專利摘要】本發(fā)明是有關(guān)于一種防止基板在傳送移載時(shí)落下或碎裂發(fā)生的基板分?jǐn)嘌b置及基板分?jǐn)嘌b置的基板搬送方法。該基板分?jǐn)嘌b置包含：第1傳送部及第2傳送部，沿基板的搬送方向即第1方向隔著間隔配置，且具備在載置該基板的狀態(tài)下卷繞于多個(gè)輥?zhàn)佣M(jìn)行旋轉(zhuǎn)的帶部；刻劃單元，設(shè)置于該間隔；以及跳動(dòng)輥?zhàn)訂卧?，在?方向，設(shè)置在上游側(cè)第2傳送部與下游側(cè)第2傳送部之間，至少具備第1輥?zhàn)优c第2輥?zhàn)?；該?輥?zhàn)游挥谠摰?傳送部的帶部外側(cè)，且該第2輥?zhàn)游挥谠摰?傳送部的帶部?jī)?nèi)側(cè)；該第1輥?zhàn)蛹霸摰?輥?zhàn)?，在與該第1方向交叉的第2方向，形成為可相互地往相反方向移動(dòng)。本發(fā)明還提供一種基板分?jǐn)嘌b置的基板搬送方法。
【專利說明】基板分?jǐn)嘌b置及基板分?jǐn)嘌b置的基板搬送方法
[0001] 本申請(qǐng)是申請(qǐng)?zhí)枮?01310116487. 5的名稱為"基板分?jǐn)嘌b置及基板分?jǐn)嘌b置的 基板搬送方法"的發(fā)明專利申請(qǐng)的分案申請(qǐng)，原申請(qǐng)的申請(qǐng)日是2013年04月03日。

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0002] 本發(fā)明有關(guān)于對(duì)包含使用于液晶顯示裝置等顯示面板的玻璃基板等母板的各種 材料的母板進(jìn)行分?jǐn)?、搬送的基板分?jǐn)嘌b置及基板分?jǐn)嘌b置的基板搬送方法，更有關(guān)于在 對(duì)已刻劃、分?jǐn)嗟拇嘈圆牧匣暹M(jìn)行搬送至下一階段時(shí)，能夠?qū)逶诓辉斐蓳p傷、良好的 狀態(tài)下進(jìn)行搬送的基板分?jǐn)嘌b置及基板搬送方法。

【背景技術(shù)】
[0003] -般而言，液晶顯示裝置等顯示面板，通常使用脆性材料基板即玻璃基板形成。液 晶顯示裝置，借由將一對(duì)玻璃基板隔有適當(dāng)?shù)拈g隔而接合，且在該間隔內(nèi)封入液晶而成為 顯示面板。在制造如此的顯示面板時(shí)，是借由對(duì)已接合母玻璃基板的接合母基板進(jìn)行分?jǐn)啵?而進(jìn)行從接合母基板制作成多個(gè)顯示面板的加工。用于分?jǐn)嗳绱说慕雍夏富宓幕宸謹(jǐn)?裝置，揭示于韓國(guó)公開特許公報(bào)第2006-0125915號(hào)（以下，稱為專利文獻(xiàn)1)。
[0004] 圖1，概略地表示揭示于專利文獻(xiàn)1的圖32的基板分?jǐn)嘌b置的主要構(gòu)成的立體圖。 參照?qǐng)D1，基板分?jǐn)嘌b置200具備定位單元部220、刻劃單元部240、裂斷傳送（conveyor)部 260、蒸氣（steam)裂斷單元部280、面板反轉(zhuǎn)單元部320及面板端子分離部340。
[0005] 在將配置有定位單元部220側(cè)設(shè)定為基板搬入側(cè)、將配置有面板端子分離部340 側(cè)設(shè)定為基板搬出側(cè)時(shí)，基板在由基板搬入側(cè)的定位單元部220供給后，一邊依序往刻劃 單元部240、裂斷傳送部260、蒸氣裂斷單元部280、基板搬送單元部300、面板反轉(zhuǎn)單元部 320及面板端子分離部340搬送，一邊進(jìn)行基板分?jǐn)嘧鳂I(yè)，之后往基板搬出側(cè)搬送。
[0006] 亦即，由于設(shè)置于設(shè)置臺(tái)230上方的定位單元部220供給的基板，載置于形成在定 位單元部220的多個(gè)基板支持單元（未圖示）上，在將基板的位置定位于設(shè)置于基板支持 單元的帶部（belt)(未圖示）上后，借由帶部的旋轉(zhuǎn)動(dòng)作而往下一階段即刻劃單元部240 搬送。
[0007] 另一方面，刻劃單元部240,具有在設(shè)置臺(tái)250上方沿X方向設(shè)置的分?jǐn)嘌b置導(dǎo)引 體242,以及將該分?jǐn)嘌b置導(dǎo)引體242夾于其間并沿Y方向配置的第1基板支持單元部241A 及第2基板支持單元部241B。此外，第1基板支持單元部241A的第1基板支持單元244A 與第2基板支持單元部241B的第2基板支持單元244B，分別相對(duì)于構(gòu)架（frame) 243A及構(gòu) 架243B平行地配置。
[0008] 在此情形，從定位單元部220往刻劃單元部240搬送的基板，載置于第1基板支持 單元部241A的第1基板支持單元244A，且借由夾器（clamp)裝置251而夾持。之后，一旦 使設(shè)置于第1基板支持單元244A的帶部旋轉(zhuǎn)，同時(shí)使夾器裝置251沿Y方向移動(dòng)，借此使 基板通過分?jǐn)嘌b置導(dǎo)引體242而刻劃，且刻劃后的基板往第2基板支持單元部241B的第2 基板支持單元244B搬送。
[0009] 已往第2基板支持單元244B搬送的基板，借由設(shè)置于第2基板支持單元244B的 帶部旋轉(zhuǎn)，往與第2基板支持單元244B的帶部分離而設(shè)置的裂斷傳送部260的帶部261搬 送，之后借由蒸氣裂斷單元部280使基板完全地分?jǐn)?，且?jīng)過基板搬送單元部300、面板反 轉(zhuǎn)單元部320及面板端子分離部340,借由機(jī)器人等往基板搬出側(cè)搬送。
[0010] 此外，一般而言，已完成刻劃作業(yè)且往第2基板支持單元244B的帶部上搬送的基 板，借由第2基板支持單元244B的帶部與裂斷傳送部260的帶部261的旋轉(zhuǎn)而往裂斷傳送 部260搬送。已完成往裂斷傳送部260搬送的基板，在裂斷傳送部260的帶部261的旋轉(zhuǎn) 已停止的狀態(tài)，借由蒸氣裂斷單元280而裂斷后，借由拾起（pick-up)機(jī)器人等拾起，且往 基板搬送單元部300排出。此外，即使在裂斷傳送部260的帶部261的旋轉(zhuǎn)已停止的狀態(tài)， 為了基板的刻劃，構(gòu)成刻劃單元部240的第1基板支持單元244A及第2基板支持單元244B 的帶部仍以持續(xù)旋轉(zhuǎn)的方式控制。
[0011] 專利文獻(xiàn)1 :韓國(guó)公開專利公報(bào)第2006-0125915號(hào)。
[0012] 但是，在如此般的現(xiàn)有習(xí)知的基板分?jǐn)嘌b置中，已刻劃的基板從刻劃單元部240 往裂斷傳送部260搬送時(shí)，更具體而言，從第2基板支持單元244B往裂斷傳送部260搬送 時(shí)，由于在第2基板支持單元244B的帶部與裂斷傳送部260的帶部261之間進(jìn)行帶部的移 載，使得在第2基板支持單元244B與裂斷傳送部260之間端材落下、或基板破裂的玻璃碎 屑等產(chǎn)生。關(guān)于如此般的帶部移載的問題點(diǎn)，參照?qǐng)D2更具體地進(jìn)行說明。
[0013] 圖2概略地表示在現(xiàn)有習(xí)知的基板分?jǐn)嘌b置中，將基板從刻劃單元部往拾起傳送 部搬送過程的示意圖。在圖2中，符號(hào)100表示對(duì)由基板搬入側(cè)搬送的基板進(jìn)行接受、定位 及/或旋轉(zhuǎn)的供材部，符號(hào)110與120分別表示上游側(cè)刻劃部及下游側(cè)刻劃部，而符號(hào)130 表示對(duì)已分?jǐn)嗟幕褰栌蓹C(jī)器人等進(jìn)行拾起而排出的拾起傳送部。
[0014] 參照?qǐng)D2,在現(xiàn)有習(xí)知的基板分?jǐn)嘌b置中，被把持于基板把持機(jī)構(gòu)114的基板，一 邊往返移動(dòng)于上游側(cè)刻劃部110與下游側(cè)刻劃部120之間，一邊借由設(shè)置于刻劃梁116的 刻劃頭118而刻劃。然后，載置于下游側(cè)刻劃部120的傳送帶134上的完成刻劃的基板 102a，往拾起傳送部130的傳送帶135搬送。
[0015] 但是，由于在下游側(cè)刻劃部120的傳送帶134與拾起傳送部130的傳送帶135之 間，存在傳送移載部，因此在基板102a往拾起傳送部135上的基板102b的位置搬送時(shí)，使 得從已刻劃的基板102a落下端材。此外，基板102a從下游側(cè)刻劃部120往拾起傳送部130 上移載時(shí)，使得基板l〇2a產(chǎn)生上下起伏，借此導(dǎo)致基板102a的已刻劃部分彼此相互碰撞而 產(chǎn)生基板的一部分破裂的玻璃碎屑。即使例如將下游側(cè)刻劃部120及拾起傳送部130的與 地面的高度設(shè)計(jì)為相等，實(shí)際上，下游側(cè)刻劃部120與拾起傳送部130的高度仍有些微地差 異，或者任一方傾斜地設(shè)置，因此使得玻璃碎屑產(chǎn)生。尤其是，最近在處理薄型化基板的情 形較多，如此般的問題更為明顯。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0016] 本發(fā)明的目的在于提供一種可防止因傳送裝置的移載而導(dǎo)致端材落下或基板碎 裂的問題，且可將已刻劃基板不造成損傷地搬送至下一階段的基板分?jǐn)嘌b置及基板搬送方 法。
[0017] 本發(fā)明的目的及解決其技術(shù)問題是采用以下技術(shù)方案來實(shí)現(xiàn)的。本發(fā)明提供一種 基板分?jǐn)嘌b置，包含：第1傳送部及第2傳送部，在設(shè)置臺(tái)上，沿基板的搬送方向即第1方向 相互地隔著間隔配置，且具備在載置該基板的狀態(tài)下卷繞于多個(gè)輥?zhàn)樱╮oller)而進(jìn)行旋 轉(zhuǎn)的帶部；刻劃單元，設(shè)置于該第1傳送部與第2傳送部之間并對(duì)該基板進(jìn)行刻劃；以及跳 動(dòng)輥?zhàn)樱╠ancer-roller)單元，在該第1方向，設(shè)置在位于該第2傳送部的上游側(cè)的上游側(cè) 第2傳送部與位于下游側(cè)的下游側(cè)第2傳送部之間，且至少具備第1輥?zhàn)蛹暗?輥?zhàn)?；該?1輥?zhàn)游挥谠摰?傳送部的帶部外側(cè)；該第2輥?zhàn)游挥谠摰?傳送部的帶部?jī)?nèi)側(cè)；該第1輥 子及該第2輥?zhàn)樱谂c該第1方向交叉的第2方向，形成為可相互地往相反方向移動(dòng)，且形 成為一體的該上游側(cè)第2傳送部與該下游側(cè)第2傳送部，可成為互為不同的動(dòng)作狀態(tài)。
[0018] 本發(fā)明的目的及解決其技術(shù)問題還可采用以下技術(shù)措施進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)。
[0019] 較佳的，前述的基板分?jǐn)嘌b置，其中該第1輥?zhàn)蛹暗?輥?zhàn)釉谠摰?方向相互地往 相反方向移動(dòng)時(shí)，該第1輥?zhàn)拥囊苿?dòng)距離與第2輥?zhàn)拥囊苿?dòng)距離相同。
[0020] 較佳的，前述的基板分?jǐn)嘌b置，其中該第1輥?zhàn)蛹暗?輥?zhàn)拥闹辽僖徽?，一邊維持 該第2傳送部的帶部的張力，一邊與該帶部接觸。
[0021] 較佳的，前述的基板分?jǐn)嘌b置，其中該第1輥?zhàn)蛹暗?輥?zhàn)?，在夾著與齒輪驅(qū)動(dòng)馬 達(dá)連結(jié)的小齒輪而相互地對(duì)向配置的狀態(tài)下，分別與嚙合于該小齒輪的第1齒條及第2齒 條結(jié)合。
[0022] 較佳的，前述的基板分?jǐn)嘌b置，其中在該多個(gè)輥?zhàn)又?，包含?輥?zhàn)?，且該?輥?zhàn)?卷繞有該下游側(cè)第2傳送部的帶部，且該第3輥?zhàn)舆B結(jié)帶部驅(qū)動(dòng)馬達(dá)。
[0023] 較佳的，前述的基板分?jǐn)嘌b置，其中在該跳動(dòng)輥?zhàn)訂卧校O(shè)置有使該上游側(cè)第2 傳送部的帶部的旋轉(zhuǎn)停止的第1制動(dòng)器（stopper)，以及使該下游側(cè)第2傳送部的帶部的旋 轉(zhuǎn)停止的第2制動(dòng)器。
[0024] 本發(fā)明的目的及解決其技術(shù)問題還采用以下技術(shù)方案來實(shí)現(xiàn)的。本發(fā)明還提供一 種基板搬送方法，在包含具備在設(shè)置臺(tái)上沿基板的搬送方向即第1方向相互地隔著間隔配 置且在載置該基板的狀態(tài)下卷繞于多個(gè)輥?zhàn)佣M(jìn)行旋轉(zhuǎn)的帶部的第1傳送部及第2傳送 部，以及設(shè)置于該第1傳送部與該第2傳送部之間并對(duì)該基板進(jìn)行刻劃的刻劃單元的基板 分?jǐn)嘌b置中，將載置于該第2傳送部的帶部上的基板往該第1方向進(jìn)行搬送，其中在該基板 分?jǐn)嘌b置中，在該第1方向，在位于該第2傳送部的上游側(cè)的上游側(cè)第2傳送部與位于下游 側(cè)的下游側(cè)第2傳送部之間，具備在與該第1方向交叉的第2方向可相互地往相反方向移 動(dòng)的至少具有第1輥?zhàn)优c第2輥?zhàn)拥奶鴦?dòng)輥?zhàn)訂卧以谑乖摰?輥?zhàn)游挥谠摰?傳送部 的帶部外側(cè)，且使該第2輥?zhàn)游挥谠摰?傳送部的帶部?jī)?nèi)側(cè)的狀態(tài)下，使該第1輥?zhàn)优c第2 輥?zhàn)酉嗷サ赝喾捶较蛞苿?dòng)，借此使形成為一體的該上游側(cè)第2傳送部與下游側(cè)第2傳送 部相互地以不同的方式動(dòng)作。
[0025] 本發(fā)明的目的及解決其技術(shù)問題還可采用以下技術(shù)措施進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)。
[0026] 較佳的，前述的基板搬送方法，其中借由使該第1輥?zhàn)优c第2輥?zhàn)油狄苿?dòng)，在 使下游側(cè)第2傳送部的帶部停止的狀態(tài)下，使上游側(cè)第2傳送部的帶部往順時(shí)針方向或 逆時(shí)針方向旋轉(zhuǎn)，且對(duì)載置于該上游側(cè)第2傳送部的帶部上的基板進(jìn)行刻劃；在該進(jìn)行 刻劃的階段，對(duì)置于停止?fàn)顟B(tài)的下游側(cè)第2傳送部的帶部上的完成刻劃的基板進(jìn)行卸載 (unload);借由一邊使卷繞有該下游側(cè)第2傳送部的帶部的第3輥?zhàn)有D(zhuǎn)，一邊使該第1輥 子及第2輥?zhàn)右苿?dòng)，在使上游側(cè)第2傳送部的帶部停止的狀態(tài)下，使該下游側(cè)第2傳送部的 帶部旋轉(zhuǎn)，對(duì)留置于該下游側(cè)第2傳送部的帶部上的端材進(jìn)行卸載；亦在該端材卸載后，使 該第3輥?zhàn)映掷m(xù)旋轉(zhuǎn)，使載置于該上游側(cè)第2傳送部的帶部上的完成刻劃的基板往該下游 側(cè)第2傳送部的帶部上進(jìn)行搬送。
[0027] 較佳的，前述的基板搬送方法，其中該第3輥?zhàn)舆B結(jié)帶部驅(qū)動(dòng)馬達(dá)，且在對(duì)該基板 進(jìn)行刻劃的階段，使該帶部驅(qū)動(dòng)馬達(dá)的動(dòng)作停止。
[0028] 較佳的，前述的基板搬送方法，其中在對(duì)該端材進(jìn)行卸載的階段，使該帶部驅(qū)動(dòng)馬 達(dá)動(dòng)作。
[0029] 較佳的，前述的基板搬送方法，其中在該跳動(dòng)輥?zhàn)訂卧?，設(shè)置使該上游側(cè)第2傳送 部的帶部的旋轉(zhuǎn)停止的第1制動(dòng)器，以及使該下游側(cè)第2傳送部的帶部的旋轉(zhuǎn)停止的第2 制動(dòng)器，且在對(duì)該基板進(jìn)行刻劃的階段，使該第2制動(dòng)器動(dòng)作。
[0030] 較佳的，前述的基板搬送方法，其中在對(duì)該端材進(jìn)行卸載的階段，使該第1制動(dòng)器 動(dòng)作。
[0031] 較佳的，前述的基板搬送方法，其中已刻劃的基板在往該下游側(cè)第2傳送部的帶 部搬送的階段，使該第1制動(dòng)器及第2制動(dòng)器的動(dòng)作完全解除。
[0032] 借由上述技術(shù)方案，本發(fā)明基板分?jǐn)嘌b置及基板搬送方法至少具有下列優(yōu)點(diǎn)及有 益效果：根據(jù)本發(fā)明，借由在形成為一體的第2傳送部的上游側(cè)第2傳送部與下游側(cè)第2傳 送部之間具備跳動(dòng)輥?zhàn)訂卧梢圆痪哂鞋F(xiàn)有習(xí)知的存在于下游側(cè)刻劃部與拾起傳送部之 間的傳送移載部的方式，將基板從上游側(cè)第2傳送部往下游側(cè)第2傳送部進(jìn)行搬送。如此， 可防止端材的落下或玻璃碎屑等的產(chǎn)生。此外，亦可防止因傳送移載部而產(chǎn)生基板表面上 的傷痕或損傷。此外，根據(jù)本發(fā)明，可使上游側(cè)第2傳送部與下游側(cè)第2傳送部相互地以不 同的方式動(dòng)作，因此即使在為了對(duì)下游側(cè)第2傳送部上的基板進(jìn)行拾起而使下游側(cè)第2傳 送部停止的狀態(tài)下，亦可于上游側(cè)第2傳送部對(duì)基板的刻劃作業(yè)持續(xù)進(jìn)行。因此，可提高基 板分?jǐn)嘌b置的整體的處理效率。
[0033] 上述說明僅是本發(fā)明技術(shù)方案的概述，為了能夠更清楚了解本發(fā)明的技術(shù)手段， 而可依照說明書的內(nèi)容予以實(shí)施，并且為了讓本發(fā)明的上述和其他目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能夠 更明顯易懂，以下特舉較佳實(shí)施例，并配合附圖，詳細(xì)說明如下。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0034] 圖1 :概略地表示現(xiàn)有習(xí)知的基板分?jǐn)嘌b置的主要構(gòu)成的立體圖。
[0035] 圖2 :概略地表示在現(xiàn)有習(xí)知的基板分?jǐn)嘌b置中，將已刻劃的基板往拾起傳送部 搬送的示意圖。
[0036] 圖3 :概略地表示本發(fā)明實(shí)施例的基板分?jǐn)嘌b置的主要構(gòu)成的側(cè)視圖。
[0037] 圖4(a)至圖4(d):概略地表示本發(fā)明實(shí)施例的基板分?jǐn)嘌b置的基板搬送過程的 示意圖。
[0038] 圖5 :本發(fā)明實(shí)施例的設(shè)置有跳動(dòng)輥?zhàn)訂卧幕宸謹(jǐn)嘌b置的部分立體圖。
[0039] 圖6 :本發(fā)明實(shí)施例的跳動(dòng)輥?zhàn)訂卧牧Ⅲw圖。
[0040] 圖7 :本發(fā)明實(shí)施例的跳動(dòng)輥?zhàn)訂卧膫?cè)視圖。
[0041] 圖8 :表示在本發(fā)明實(shí)施例的跳動(dòng)輥?zhàn)訂卧校?輥?zhàn)酉陆登业?輥?zhàn)由仙奶?動(dòng)棍子單元的側(cè)剖面圖。
[0042] 圖9 :表示在本發(fā)明實(shí)施例的跳動(dòng)輥?zhàn)訂卧校?輥?zhàn)由仙业?輥?zhàn)酉陆档奶?動(dòng)棍子單元的側(cè)剖面圖。
[0043]【主要元件符號(hào)說明】
[0044] 2、2a:基板 10:第1傳送部
[0045] 14:夾頭梁 16:夾頭
[0046] 18:帶部 20:第2傳送部
[0047] 21:輥?zhàn)?21a:第3輥?zhàn)?br> [0048] 22:上游側(cè)第2傳送部（刻劃后傳送部）
[0049] 22a:刻劃后傳送構(gòu)架23:跳動(dòng)輥?zhàn)訂卧?br> [0050] 23a:第1輥?zhàn)?23b:第2輥?zhàn)?br> [0051] 24:下游側(cè)第2傳送部（拾起傳送部）
[0052] 24a:拾起傳送構(gòu)架 25a:拾起X軸機(jī)器人
[0053] 25b:拾起Y軸機(jī)器人 25c:拾起Z軸機(jī)器人
[0054] 27:拾起手 28:帶部
[0055] 30:刻劃單元 32:刻劃梁
[0056] 34:刻劃頭 40:帶部驅(qū)動(dòng)馬達(dá)
[0057] 50a:第1制動(dòng)器 50b:第2制動(dòng)器
[0058] 52:帶部制動(dòng)器副軸 54:齒條及小齒輪
[0059] 232:齒輪驅(qū)動(dòng)馬達(dá) 234:小齒輪
[0060] 236a:第1齒條 236b:第2齒條
[0061] 238:導(dǎo)件

【具體實(shí)施方式】
[0062] 為更進(jìn)一步闡述本發(fā)明為達(dá)成預(yù)定發(fā)明目的所采取的技術(shù)手段及功效，以下結(jié) 合附圖及較佳實(shí)施例，對(duì)依據(jù)本發(fā)明提出的一種基板分?jǐn)嘌b置及基板分?jǐn)嘌b置的基板搬送 方法的【具體實(shí)施方式】、結(jié)構(gòu)、特征及其功效，詳細(xì)說明如后。
[0063] 以下，參照附圖，針對(duì)本發(fā)明的實(shí)施例詳細(xì)地進(jìn)行說明。但本發(fā)明可以各種不同的 形態(tài)具體呈現(xiàn)，并不限定于此處說明的實(shí)施例。在圖示中，為了對(duì)本發(fā)明進(jìn)行簡(jiǎn)單且清楚的 說明，省略了與說明無關(guān)的部分，且針對(duì)貫通說明書整體為相同或類似的構(gòu)成元件標(biāo)記相 同的參照符號(hào)。此外，在本發(fā)明的實(shí)施例中，對(duì)已揭示于專利文獻(xiàn)1等現(xiàn)有習(xí)知的基板分?jǐn)?裝置的在構(gòu)成上的不同點(diǎn)為中心進(jìn)行說明，關(guān)于與現(xiàn)有習(xí)知的基板分?jǐn)嘌b置為相同或類似 的構(gòu)成，省略其說明。另一方面，在本發(fā)明的實(shí)施例中，"基板"包含分?jǐn)喑啥鄠€(gè)基板的母基 板，此外還包含鋼板等金屬基板、木板、塑膠基板及陶瓷基板、半導(dǎo)體基板、玻璃基板等脆性 材料基板等單板。此外，并不限定于如此的單板，亦包含接合一對(duì)基板的接合基板，以及積 層一對(duì)基板的積層基板。
[0064] 圖3,概略地表示本發(fā)明實(shí)施例的基板分?jǐn)嘌b置的主要構(gòu)成的側(cè)視圖。參照?qǐng)D3， 本實(shí)施例的基板分?jǐn)嘌b置，包含第1傳送部10及第2傳送部20、刻劃單元30及跳動(dòng)輥?zhàn)訂?元23。第1傳送部10及第2傳送部20,在設(shè)置臺(tái)（未圖示）上沿基板搬送方向即第1方 向（在圖3中+Y方向）相互地隔著間隔配置。在第1傳送部10,設(shè)置有卷繞于多個(gè)輥?zhàn)?1 而進(jìn)行旋轉(zhuǎn)的帶部18,在第2傳送部20,設(shè)置有卷繞于多個(gè)輥?zhàn)?1而進(jìn)行旋轉(zhuǎn)的帶部28。 而且，在本實(shí)施例中，以如下方式構(gòu)成：多個(gè)輥?zhàn)?1之中，第3輥?zhàn)?1a連結(jié)有帶部驅(qū)動(dòng)馬 達(dá)40,因此借由該帶部驅(qū)動(dòng)馬達(dá)40的動(dòng)作控制第3輥?zhàn)?1a的旋轉(zhuǎn)，借此使帶部28進(jìn)行旋 轉(zhuǎn)。
[0065] 在第1傳送部10與第2傳送部20之間，配置刻劃單元30?？虅潌卧?0,具備在橫 切設(shè)置臺(tái)的方向（在圖3中+X方向）延長(zhǎng)而設(shè)置的刻劃梁32,以及安裝于該刻劃梁32并 可沿刻劃梁32延伸的方向移動(dòng)的刻劃頭34。此外，在該第1傳送部10的帶部18上，設(shè)置 有沿第1方向設(shè)置成可往前后（在圖3中+Y方向及-Y方向）移動(dòng)的夾頭（chuck)梁14， 以及形成于該夾頭梁14 一側(cè)并把持基板2的夾頭16。而且，夾頭梁14朝向刻劃單元30而 前后方向進(jìn)行移動(dòng)，借此使被把持于夾頭16的基板2 -邊通過刻劃頭34的下部，一邊進(jìn)行 刻劃。
[0066] 在本實(shí)施例中，第2傳送部20在基板的搬送方向區(qū)分成位于上游側(cè)的上游側(cè)第2 傳送部22 (以下，亦稱亥lj劃后傳送部），以及位于下游側(cè)的下游側(cè)第2傳送部24 (以下，亦稱 拾起傳送部）。
[0067] 刻劃后傳送部22,載置從第1傳送部10通過刻劃單元30刻劃的基板部分；拾起 傳送部24,以例如借由拾起機(jī)器人等拾得基板的方式，暫時(shí)地載置從刻劃后傳送部22傳送 來的基板2a部分。
[0068] 如此進(jìn)行互為不同功能的刻劃后傳送部22及拾起傳送部24,雖在本實(shí)施例中通 過帶部28而作為第2傳送部20并形成為一體，但其可通過配置在刻劃后傳送部22與拾起 傳送部24之間的跳動(dòng)輥?zhàn)訂卧?3。
[0069] 跳動(dòng)輥?zhàn)訂卧?3,設(shè)置于刻劃后傳送部22與拾起傳送部24之間，且至少具有一對(duì) 第1輥?zhàn)?3a及第2輥?zhàn)?3b。在圖3中，雖僅圖示一對(duì)第1輥?zhàn)?3a及第2輥?zhàn)?3b，但 本發(fā)明并不限定于此，亦可適用于具備2對(duì)以上輥?zhàn)拥奶鴦?dòng)輥?zhàn)訂卧?。此外，在圖3中，第1 輥?zhàn)?3a位于第2傳送部20的外側(cè)亦即帶部28的軌道外側(cè)，第2輥?zhàn)?3b位于第2傳送 部20的內(nèi)側(cè)亦即帶部28的軌道內(nèi)側(cè)，但本發(fā)明并不限定于此，亦可適用于第1輥?zhàn)?3a位 于帶部28的軌道內(nèi)側(cè)，第2輥?zhàn)?3b位于帶部28的軌道外側(cè)的構(gòu)成。
[0070] 跳動(dòng)輥?zhàn)訂卧?3的第1輥?zhàn)?3a及第2輥?zhàn)?3b，形成為可于與基板的搬送方向 即與第1方向交叉的第2方向（在圖3中+Z方向或-Z方向）移動(dòng)。此外，第1輥?zhàn)?3a 及第2輥?zhàn)?3b，以在進(jìn)行移動(dòng)時(shí)相互地往相反方向移動(dòng)的方式形成。例如，以一旦第1輥 子23a往-Z方向移動(dòng)，貝U第2棍子23b往+Z方向移動(dòng)，而一旦第1棍子23a往+Z方向移 動(dòng)，則第2輥?zhàn)?3b往-Z方向移動(dòng)的方式，將第1輥?zhàn)?3a及第2輥?zhàn)?3b相互連動(dòng)地結(jié) 合。關(guān)于該結(jié)合構(gòu)成，將詳述于后。
[0071] 如此，在刻劃后傳送部22與拾起傳送部24之間，形成具備有形成可相互地往相反 方向移動(dòng)的第1輥?zhàn)?3a及第2輥?zhàn)?3b的跳動(dòng)輥?zhàn)訂卧?3,借此，第2刻劃部20的帶部 28的移動(dòng)，在刻劃后傳送部22及拾起傳送部24中可控制成各自獨(dú)立。亦即，可控制成如下 的方式：刻劃后傳送部22的帶部28進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，但拾起傳送部24的帶部28為停止，或與此 相反地，拾起傳送部24的帶部28進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，但刻劃后傳送部22的帶部28為停止。借此， 刻劃后傳送部22及拾起傳送部24,雖以不具有傳送移載的方式而形成為一體的構(gòu)成（由1 個(gè)帶部28構(gòu)成的構(gòu)成），但動(dòng)作狀態(tài)可以互為不同的方式控制。
[0072] 因此，可將載置于刻劃后傳送部22上的完成刻劃的基板，沿著帶部28以不具有往 拾起傳送部24移載的方式進(jìn)行搬送。因此，具有如下的效果：可防止如現(xiàn)有習(xí)知的基板分 斷裝置，將基板從下游側(cè)的刻劃部往拾起傳送部搬送時(shí)，傳送部的移載導(dǎo)致端材的落下或 玻璃碎屑等的問題，且亦可防止傳送部的移載導(dǎo)致基板表面造成損傷的問題。針對(duì)此，參照 圖4 (a)至圖4 (d)，更具體地進(jìn)行說明。
[0073] 圖4(a)至圖4(d)，概略地表示本發(fā)明實(shí)施例的基板分?jǐn)嘌b置的基板搬送過程的 示意圖。圖4(a)，表示開始對(duì)基板進(jìn)行刻劃階段的示意圖。參照?qǐng)D4(a)，成為刻劃對(duì)象的 基板2被把持于夾頭16。此外，在拾起傳送部24上載置已完成刻劃的基板2a而待拾起。
[0074] 另一方面，在本實(shí)施例的跳動(dòng)輥?zhàn)訂卧?3,設(shè)置有以第1輥?zhàn)?3a為基準(zhǔn)而形成 于刻劃后傳送部22側(cè)的第1制動(dòng)器50a，以及以第1輥?zhàn)?3a為基準(zhǔn)而形成于拾起傳送部 24側(cè)的第2制動(dòng)器50b。第1制動(dòng)器50a及第2制動(dòng)器50b，用于使第2傳送部20的帶部 28的旋轉(zhuǎn)確實(shí)地停止，在圖4(a)中，第2制動(dòng)器50b下降而使拾起傳送部24的帶部28的 旋轉(zhuǎn)確實(shí)地停止。
[0075] 圖4 (b)，表示對(duì)基板2進(jìn)行刻劃，同時(shí)對(duì)拾起傳送部24上的基板2a進(jìn)行拾起而往 搬送傳送部（未圖示）等下一階段進(jìn)行卸載階段的示意圖。
[0076] 參照?qǐng)D4 (a)及圖4 (b)，夾頭梁14沿基板搬送方向（在圖4 (b)中+Y方向）移動(dòng)， 借此，被把持于夾頭16的基板2亦通過刻劃頭34的下部。與此同時(shí)，第1輥?zhàn)?3a往-Z 方向移動(dòng)，第2棍子23b往與第1棍子23a的移動(dòng)方向相反的+Z方向移動(dòng)。
[0077] 此時(shí)，帶部驅(qū)動(dòng)馬達(dá)40的動(dòng)作為開啟，由于帶部28確實(shí)地卷繞于第3輥?zhàn)?1a，因 此在第1輥?zhàn)?3a及第2輥?zhàn)?3b進(jìn)行移動(dòng)時(shí)，僅刻劃后傳送部22側(cè)的帶部28動(dòng)作，且拾 起傳送部24側(cè)的帶部28為不動(dòng)作。如圖4(b)所示，亦可為：使第2制動(dòng)器50b下降，而使 拾起傳送部24的帶部28更確實(shí)地停止。
[0078] 此外，在本實(shí)施例中，第1輥?zhàn)?3a及第2輥?zhàn)?3b移動(dòng)的距離，形成為彼此相同。 亦即，一旦第1輥?zhàn)?3a僅往-Z方向移動(dòng)距離L，則第2輥?zhàn)?3b亦以往+Z方向移動(dòng)距離 L的方式而調(diào)整。借此，一邊使第1輥?zhàn)?3a往-Z方向移動(dòng)的距離與第2輥?zhàn)?3b往+Z方 向移動(dòng)的距離抵銷，一邊則僅刻劃后傳送部22的帶部28以第1輥?zhàn)?3a或第2輥?zhàn)?3b 的移動(dòng)距離的程度往順時(shí)針方向進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。借此，被把持于夾頭16的基板2,亦可于通過刻 劃頭34的下部而到達(dá)刻劃后傳送部22之后，在刻劃后傳送部22的帶部28上持續(xù)進(jìn)行移 動(dòng)。
[0079] 之后，一旦夾頭梁14及夾頭16往與基板的搬送方向相反方向（在圖4(b)中-Y方 向）后退，與此同時(shí)，第1輥?zhàn)?3a再度往+Z方向移動(dòng)，且第2輥?zhàn)?3b再度往-Z方向移 動(dòng)，借此，刻劃后傳送部22的帶部28以第1輥?zhàn)?3a或第2輥?zhàn)?3b的移動(dòng)距離的程度， 再度往逆時(shí)針方向進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。然后，借由重復(fù)如此過程，刻劃被把持于夾頭16的基板2的 整面。
[0080] 另一方面，拾起傳送部24的帶部28,如前述，即使第1輥?zhàn)?3a及第2輥?zhàn)?3b進(jìn) 行移動(dòng)，其動(dòng)作被固定。因此，即使在基板刻劃的過程中，載置于拾起傳送部24的帶部28 上的已完成刻劃作業(yè)的基板2a，亦可借由例如拾起機(jī)器人等拾起，并往下一階段卸載。
[0081] 圖4(c)，表示已完成刻劃作業(yè)而夾頭梁14及夾頭16返回至初期位置，且殘留于拾 起傳送部24的帶部28上的端材往破碎機(jī)移送階段的示意圖。參照?qǐng)D4(b)及圖4(c)，已完 成刻劃作業(yè)的基板2,夾頭16的把持被解除并載置于刻劃后傳送部22的帶部28上，夾頭 16及夾頭梁14則返回至初期位置。
[0082] 此時(shí)，一旦使帶部驅(qū)動(dòng)馬達(dá)40動(dòng)作，使第3輥?zhàn)?1a往順時(shí)針方向旋轉(zhuǎn)，并且使第 1輥?zhàn)?3a往+Z方向移動(dòng)，使第2輥?zhàn)?3b往-Z方向移動(dòng)，則僅拾起傳送部24的帶部28 為順時(shí)針旋轉(zhuǎn)，刻劃后傳送部22的帶部28為維持停止?fàn)顟B(tài)。借此，可在位于刻劃后傳送部 22的帶部28上的基板2為停止的狀態(tài)下，僅使留置于拾起傳送部24的帶部28上的端材往 破碎機(jī)移送。
[0083] 此外，在該情形，以第2制動(dòng)器50b上升且第1制動(dòng)器50a下降的方式進(jìn)行調(diào)整， 借此，亦可不對(duì)拾起傳送部24的帶部28的旋轉(zhuǎn)進(jìn)行限制，而僅使刻劃后傳送部22的帶部 28的移動(dòng)更確實(shí)地停止。
[0084] 圖4 (d)，表示使新的基板往第1傳送部10上裝載，使載置于刻劃后傳送部22的帶 部28上的基板往拾起傳送部24搬送階段的示意圖。參照?qǐng)D4(d)，在第1傳送部10,將新 的基板2裝載于第1傳送部10的帶部18上，并被把持于已返回初期位置的夾頭梁14及夾 頭16。
[0085] 在第2傳送部20, 一旦第1輥?zhàn)?3a往+Z方向持續(xù)移動(dòng)并解除與帶部28的接觸， 則帶部28恢復(fù)至非彎曲的平坦?fàn)顟B(tài)，在載置基板并搬送的刻劃后傳送部22的帶部28與拾 起傳送部24的帶部28之間成為不具有傳送移載部。而且，使第1制動(dòng)器50a上升而解除與 帶部28的接觸。此時(shí)，帶部驅(qū)動(dòng)馬達(dá)40由于持續(xù)動(dòng)作中，借由拾起傳送部24的帶部28進(jìn) 行旋轉(zhuǎn)，刻劃后傳送部22的帶部28亦同時(shí)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，借此，可將載置于刻劃后傳送部22的 帶部28上的完成刻劃的基板，以不具有傳送移載的方式往拾起傳送部24的帶部28搬送。 因此，可對(duì)已刻劃的基板不造成損傷地往下一階段（例如，拾起階段）的搬送部進(jìn)行移送。
[0086] 另一方面，在本實(shí)施例中，第1輥?zhàn)?3a及第2輥?zhàn)?3b之中的至少一者，一邊維 持帶部28的張力一邊進(jìn)行接觸。借此，借由第1輥?zhàn)?3a及第2輥?zhàn)?3b的移動(dòng)，帶部28 亦可在維持有張力的狀態(tài)下進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，且載置于帶部28上的基板亦可圓滑地進(jìn)行搬送。
[0087] 此外，在其他實(shí)施例中，第1輥?zhàn)?3a及第2輥?zhàn)?3b亦可利用可于卷繞有帶部28 的狀態(tài)下，借由旋轉(zhuǎn)使帶部28移動(dòng)的其他手段而構(gòu)成。
[0088] 圖5,本發(fā)明實(shí)施例的設(shè)置有跳動(dòng)輥?zhàn)訂卧幕宸謹(jǐn)嘌b置的部分立體圖。參照?qǐng)D 5,沿基板搬送方向即第1方向而在刻劃后傳送構(gòu)架22a上設(shè)置刻劃后傳送部22,且在拾起 傳送構(gòu)架24a上設(shè)置拾起傳送部24。在拾起傳送部24,設(shè)置有可分別于X、Y、Z軸移動(dòng)的 拾起X軸機(jī)器人25a、拾起Y軸機(jī)器人25b及拾起Z軸機(jī)器人25c，借由拾起手27拾起的基 板，借由所述多個(gè)機(jī)器人的移動(dòng)而移往所欲移往的位置而卸載。
[0089] 而且，在刻劃后傳送部22與拾起傳送部24之間設(shè)置跳動(dòng)輥?zhàn)訂卧?3。關(guān)于跳動(dòng) 輥?zhàn)訂卧?3,參照?qǐng)D6及圖7進(jìn)行說明。
[0090] 圖6,本發(fā)明實(shí)施例的跳動(dòng)輥?zhàn)訂卧?3的立體圖，圖7,本發(fā)明實(shí)施例的跳動(dòng)輥?zhàn)?單元23的側(cè)視圖。參照?qǐng)D6及圖7,本發(fā)明實(shí)施例的跳動(dòng)輥?zhàn)訂卧?3,包含與齒輪驅(qū)動(dòng)馬 達(dá)232連結(jié)的小齒輪（pinion) 234,以及在與該小齒輪234嚙合的狀態(tài)下夾著該小齒輪234 并相互地對(duì)向配置的第1齒條（rack) 236a及第2齒條236b。而且，第1齒條236a通過連 結(jié)構(gòu)件結(jié)合第1輥?zhàn)?3a，且第2齒條236b通過連結(jié)構(gòu)件結(jié)合第2輥?zhàn)?3b。因此，一旦借 由齒輪驅(qū)動(dòng)馬達(dá)232的動(dòng)作而小齒輪234進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，第1齒條236a及第2齒條236b于Z 方向相互地往相反方向動(dòng)作，第1輥?zhàn)?3a及第2輥?zhàn)?3b亦沿導(dǎo)件238往第1齒條236a 及第2齒條236b動(dòng)作的方向動(dòng)作。
[0091] 此外，在跳動(dòng)輥?zhàn)訂卧?3的上部具備控制帶部28移動(dòng)的第1制動(dòng)器50a及第2 制動(dòng)器50b。第1制動(dòng)器50a及第2制動(dòng)器50b，與連結(jié)于帶部制動(dòng)器副軸52的齒條及小 齒輪54結(jié)合。因此，借由齒條及小齒輪54的動(dòng)作，第1制動(dòng)器50a及第2制動(dòng)器50b亦進(jìn) 行上升或下降。
[0092] 圖8,表示在本發(fā)明實(shí)施例中，第1輥?zhàn)酉陆登业?輥?zhàn)由仙奶鴦?dòng)輥?zhàn)訂卧膫?cè) 剖面圖；圖9,表示在本發(fā)明實(shí)施例中，第1輥?zhàn)由仙业?輥?zhàn)酉陆档奶鴦?dòng)輥?zhàn)訂卧膫?cè) 剖面圖。
[0093] 參照?qǐng)D8,借由第1輥?zhàn)?3a往-Z方向下降而帶部28亦一同下降，與此同時(shí)，借 由第2輥?zhàn)?3b往+Z方向上升而帶部28亦一同上升。此外，參照?qǐng)D9,然后，一旦第1輥 子23a往+Z方向上升則帶部28恢復(fù)成維持張力的平坦?fàn)顟B(tài)，與此同時(shí)，第2輥?zhàn)?3b往-Z 方向下降而帶部28亦一同下降。借由如此的第1輥?zhàn)?3a及第2輥?zhàn)?3b的移動(dòng)，即使是 一個(gè)帶部28,亦可對(duì)位于跳動(dòng)輥?zhàn)訂卧?3的上游側(cè)的帶部28的動(dòng)作與位于跳動(dòng)輥?zhàn)訂卧?23的下游側(cè)的帶部28的動(dòng)作以互為不同的方式進(jìn)行控制。因此，可對(duì)置于帶部28上的完 成刻劃的基板以不具有傳送移載的方式往下一階段進(jìn)行搬送，借此，可防止因傳送移載導(dǎo) 致的端材落下或玻璃碎屑等問題。
[0094] 以上所述，僅是本發(fā)明的較佳實(shí)施例而已，并非對(duì)本發(fā)明作任何形式上的限制，雖 然本發(fā)明已以較佳實(shí)施例揭露如上，然而并非用以限定本發(fā)明，任何熟悉本專業(yè)的技術(shù)人 員，在不脫離本發(fā)明技術(shù)方案范圍內(nèi)，當(dāng)可利用上述揭示的技術(shù)內(nèi)容作出些許更動(dòng)或修飾 為等同變化的等效實(shí)施例，但凡是未脫離本發(fā)明技術(shù)方案的內(nèi)容，依據(jù)本發(fā)明的技術(shù)實(shí)質(zhì) 對(duì)以上實(shí)施例所作的任何簡(jiǎn)單修改、等同變化與修飾，均仍屬于本發(fā)明技術(shù)方案的范圍內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1. 一種基板分?jǐn)嘌b置，其特征在于其包含： 第1傳送部及第2傳送部，在設(shè)置臺(tái)上，沿基板的搬送方向即第1方向相互地隔著間隔 配置，且具備在載置該基板的狀態(tài)下卷繞于多個(gè)輥?zhàn)佣M(jìn)行旋轉(zhuǎn)的帶部； 刻劃單元，設(shè)置于該第1傳送部與第2傳送部之間并對(duì)該基板進(jìn)行刻劃； 跳動(dòng)輥?zhàn)訂卧谠摰?方向，設(shè)置在位于該第2傳送部的上游側(cè)的上游側(cè)第2傳送部 與位于下游側(cè)的下游側(cè)第2傳送部之間，且至少具備一對(duì)第1輥?zhàn)蛹暗?輥?zhàn)樱? 第1制動(dòng)器，使該上游側(cè)第2傳送部的帶部的旋轉(zhuǎn)移動(dòng)停止；以及 第2制動(dòng)器，使該下游側(cè)第2傳送部的帶部的旋轉(zhuǎn)移動(dòng)停止； 該第1輥?zhàn)蛹霸摰?輥?zhàn)?，在與該第1方向交叉的第2方向，形成為可移動(dòng)，且形成為 一體的該上游側(cè)第2傳送部與該下游側(cè)第2傳送部，可成為互為不同的動(dòng)作狀態(tài)。
2. 如權(quán)利要求1所述的基板分?jǐn)嘌b置，其特征在于其中該第1輥?zhàn)蛹暗?輥?zhàn)?，在該?2方向移動(dòng)時(shí)，該第1輥?zhàn)拥囊苿?dòng)距離與第2輥?zhàn)拥囊苿?dòng)距離相同。
3. 如權(quán)利要求1所述的基板分?jǐn)嘌b置，其特征在于其中該第1輥?zhàn)蛹暗?輥?zhàn)拥闹辽?一者，一邊維持該第2傳送部的帶部張力，一邊與該帶部接觸。
4. 如權(quán)利要求1所述的基板分?jǐn)嘌b置，其特征在于其中該第1輥?zhàn)蛹暗?輥?zhàn)?，在夾 著與齒輪驅(qū)動(dòng)馬達(dá)連結(jié)的小齒輪而相互地對(duì)向配置的狀態(tài)下，分別與嚙合于該小齒輪的第 1齒條及第2齒條結(jié)合。
5. 如權(quán)利要求1所述的基板分?jǐn)嘌b置，其特征在于其中在該多個(gè)輥?zhàn)又邪?輥?zhàn)樱?該第3輥?zhàn)泳砝@有該下游側(cè)第2傳送部的帶部，且該第3輥?zhàn)舆B結(jié)帶部驅(qū)動(dòng)馬達(dá)。
6. 如權(quán)利要求1所述的基板分?jǐn)嘌b置，其特征在于其中在該跳動(dòng)輥?zhàn)訂卧校O(shè)置有 該第1制動(dòng)器，以及該第2制動(dòng)器。
7. -種基板搬送方法，在包含具備在設(shè)置臺(tái)上沿基板的搬送方向即第1方向相互地隔 著間隔配置且在載置該基板的狀態(tài)下卷繞于多個(gè)輥?zhàn)佣M(jìn)行旋轉(zhuǎn)的帶部的第1傳送部及 第2傳送部，以及設(shè)置于該第1傳送部與該第2傳送部之間并對(duì)該基板進(jìn)行刻劃的刻劃單 元的基板分?jǐn)嘌b置中，將載置于該第2傳送部的帶部上的基板往該第1方向進(jìn)行搬送，其特 征在于： 在該基板分?jǐn)嘌b置中，在該第1方向，在位于該第2傳送部的上游側(cè)的上游側(cè)第2傳送 部與位于下游側(cè)的下游側(cè)第2傳送部之間，具備在與該第1方向交叉的第2方向可移動(dòng)的 至少具有一對(duì)第1輥?zhàn)优c第2輥?zhàn)拥奶鴦?dòng)輥?zhàn)訂卧⑹乖撋嫌蝹?cè)第2傳送部的帶部的旋轉(zhuǎn) 移動(dòng)停止的第1制動(dòng)器、以及使該下游側(cè)第2傳送部的帶部的旋轉(zhuǎn)移動(dòng)停止的第2制動(dòng)器； 使該第1輥?zhàn)优c第2輥?zhàn)右苿?dòng)，借此使形成為一體的該上游側(cè)第2傳送部與下游側(cè)第 2傳送部以互為不同的方式動(dòng)作。
8. 如權(quán)利要求7所述的基板搬送方法，其特征在于其中借由該第1輥?zhàn)优c第2輥?zhàn)拥?往返移動(dòng)，在使該下游側(cè)第2傳送部的帶部停止的狀態(tài)下，使該上游側(cè)第2傳送部的帶部 往順時(shí)針方向或逆時(shí)針方向旋轉(zhuǎn)，且對(duì)載置于該上游側(cè)第2傳送部的帶部上的基板進(jìn)行刻 劃； 在該進(jìn)行刻劃的階段，對(duì)置于停止?fàn)顟B(tài)的下游側(cè)第2傳送部的帶部上的完成刻劃的基 板進(jìn)行卸載； 借由一邊使卷繞有該下游側(cè)第2傳送部的帶部的第3輥?zhàn)有D(zhuǎn)，一邊使該第1輥?zhàn)蛹? 第2輥?zhàn)右苿?dòng)，在使上游側(cè)第2傳送部的帶部停止的狀態(tài)下，使該下游側(cè)第2傳送部的帶部 旋轉(zhuǎn)，對(duì)留置于該下游側(cè)第2傳送部的帶部上的端材進(jìn)行卸載； 亦在該端材卸載后，使該第3輥?zhàn)映掷m(xù)旋轉(zhuǎn)，使載置于該上游側(cè)第2傳送部的帶部上的 完成刻劃的基板往該下游側(cè)第2傳送部的帶部上進(jìn)行搬送。
9. 如權(quán)利要求8所述的基板搬送方法，其特征在于其中該第3輥?zhàn)舆B結(jié)帶部驅(qū)動(dòng)馬達(dá)， 且在對(duì)該基板進(jìn)行刻劃的階段，使該帶部驅(qū)動(dòng)馬達(dá)的動(dòng)作停止。
10. 如權(quán)利要求9所述的基板搬送方法，其特征在于其中在對(duì)該端材進(jìn)行卸載的階段， 使該帶部驅(qū)動(dòng)馬達(dá)動(dòng)作。
11. 如權(quán)利要求8所述的基板搬送方法，其特征在于其中在該跳動(dòng)輥?zhàn)訂卧?，設(shè)置該第 1制動(dòng)器，以及該第2制動(dòng)器，且在對(duì)該基板進(jìn)行刻劃的階段，使該第2制動(dòng)器動(dòng)作。
12. 如權(quán)利要求11所述的基板搬送方法，其特征在于其中在對(duì)該端材進(jìn)行卸載的階 段，使該第1制動(dòng)器動(dòng)作。
13. 如權(quán)利要求12所述的基板搬送方法，其特征在于其中在已刻劃的基板往該下游側(cè) 第2傳送部的帶部搬送的階段，使該第1制動(dòng)器及第2制動(dòng)器的動(dòng)作完全解除。
【文檔編號(hào)】C03B33/02GK104150756SQ201410364679
【公開日】2014年11月19日 申請(qǐng)日期:2013年4月3日 優(yōu)先權(quán)日:2012年6月1日
【發(fā)明者】西尾仁孝 申請(qǐng)人:三星鉆石工業(yè)股份有限公司