一種在浮法線上生產(chǎn)鍍膜玻璃的裝置制造方法
【專利摘要】本發(fā)明公開一種在浮法線上生產(chǎn)透明導(dǎo)電膜玻璃的裝置，包括退火窯（40）以及設(shè)置在退火窯中的鍍膜器（10），退火窯中還設(shè)有使鍍膜器輸出的前驅(qū)氣體光致解離的激光裝置，包括：設(shè)置于退火窯一側(cè)的升降臺（21），升降臺上設(shè)有激光器（22）和相應(yīng)的掩膜版（23），在退火窯的兩側(cè)分別設(shè)有與掩膜版對應(yīng)的入射窗口（24）和出射窗口（25），激光器射入退火窯的激光束（27）位于鍍膜器底部與退火窯中的玻璃板（41）之間，退火窯另一側(cè)設(shè)有與出射窗口相對應(yīng)的激光功率計(jì)（26）。本發(fā)明利用激光驅(qū)動化學(xué)氣相反應(yīng)的發(fā)生，降低了鍍膜反應(yīng)的溫度，對提高薄膜質(zhì)量、提高前驅(qū)氣體利用率、降低錫槽能耗和錫液損耗、降低鍍膜器制作成本和操作難度，具有積極效果。
【專利說明】一種在浮法線上生產(chǎn)鍍膜玻璃的裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及玻璃生產(chǎn)設(shè)備，特別涉及一種在浮法玻璃線上生產(chǎn)鍍膜玻璃的裝置?！颈尘凹夹g(shù)】
[0002]現(xiàn)有浮法玻璃在線鍍膜器，是將含有構(gòu)成薄膜元素的前驅(qū)氣體通到熱玻璃表面，利用化學(xué)氣相沉積反應(yīng)，在玻璃表面成膜的設(shè)備。該鍍膜器輸出的前驅(qū)氣體必須借助玻璃帶的高溫才能發(fā)生化學(xué)氣相反應(yīng)，所以鍍膜器必須設(shè)置在浮法線的高溫區(qū)，通常是錫槽內(nèi)或退火窯前端，因此帶來以下問題:對錫槽的擾動大，造成錫槽工況不穩(wěn)，能耗增加，錫液損耗嚴(yán)重；鍍膜區(qū)高溫會使大體積內(nèi)的前驅(qū)氣體被加熱反應(yīng)，不僅能耗很大，而且前驅(qū)氣體浪費(fèi)嚴(yán)重，利用率低一般低于15% ;鍍膜區(qū)溫度高于玻璃的軟化點(diǎn)，薄膜易產(chǎn)生缺陷；鍍膜區(qū)溫度太高，對鍍膜器的材質(zhì)、變形、冷卻、防腐等均有極高要求，使鍍膜器制造難度大、成本高昂、操作復(fù)雜。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明的目的在于克服現(xiàn)有浮法玻璃在線鍍膜的缺點(diǎn)，提供一種在浮法線上生產(chǎn)鍍膜玻璃的裝置。
[0004]本發(fā)明的目的通過以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn):
一種在浮法線上生產(chǎn)透明導(dǎo)電膜玻璃的裝置，包括退火窯以及設(shè)置在退火窯中的鍍膜器，其特征在于:退火窯中 還設(shè)有使鍍膜器輸出的前驅(qū)氣體光致解離的激光裝置，激光裝置包括:
設(shè)置于退火窯一側(cè)的升降臺，升降臺上設(shè)有激光器和相應(yīng)的掩膜版，在退火窯的兩側(cè)分別設(shè)有與掩膜版對應(yīng)的入射窗口和出射窗口，激光器射入退火窯的激光束位于鍍膜器底部與退火窯中的玻璃板之間，退火窯另一側(cè)設(shè)有與出射窗口相對應(yīng)的激光功率計(jì)。
[0005]退火窯兩側(cè)分別設(shè)有一個(gè)氮?dú)鈬娮?，每個(gè)氮?dú)鈬娮旆謩e與相應(yīng)的入射窗口或出射窗口相配合。
[0006]在上述技術(shù)方案的基礎(chǔ)上，可以有以下進(jìn)一步的技術(shù)方案:
所述的鍍膜器包括:
a、一對懸掛梁，它連接于退火窯的頂部，兩懸掛梁之間連接頂板，頂板中間位置設(shè)有前驅(qū)氣體長條孔，前驅(qū)氣體長條孔兩側(cè)分別對稱設(shè)有氣體回收長條孔，前驅(qū)氣體長條孔及氣體回收長條孔的外圍設(shè)有矩形環(huán)狀長條孔；
b、頂板下面連接一個(gè)箱體伸入退火窯中，箱體上分別設(shè)有前驅(qū)氣體通道、氣體回收通道及保護(hù)氣體通道，它們分別與前驅(qū)氣體長條孔、氣體回收長條孔及矩形長條孔對應(yīng)聯(lián)通；
C、頂板上中間位置設(shè)有一個(gè)前驅(qū)氣體輸送管，前驅(qū)氣體輸送管的兩側(cè)分別對稱設(shè)有氣體回收管，前驅(qū)氣體輸送管和氣體回收管外圍設(shè)有矩形環(huán)狀的保護(hù)氣體輸送管，所述的前驅(qū)氣體輸送管、氣體回收管及保護(hù)氣體輸送管分別與對應(yīng)的前驅(qū)氣體長條孔、氣體回收長條孔及矩形長條孔相聯(lián)通。
[0007] 鍍膜器中在前驅(qū)氣體通道兩側(cè)分別設(shè)置了冷卻腔，冷卻腔連接冷卻介質(zhì)油循環(huán)管。
[0008]在退火窯上設(shè)有鍍膜測控裝置，它包括安裝在退火窯頂殼上的一組溫度監(jiān)測紅外探頭，在鍍膜區(qū)域退火窯頂殼中心線上設(shè)置的一壓力監(jiān)測傳感器，在鍍膜區(qū)前的退火窯內(nèi)的頂部橫截面上吊掛的兩只加熱器。
[0009]本發(fā)明的鍍膜器是利用一對懸掛梁橫跨玻璃帶上方設(shè)置，長度和玻璃帶寬度相同，懸掛梁矩形梁體內(nèi)通風(fēng)冷卻；
上述前驅(qū)氣體通道外側(cè)設(shè)置了冷卻腔，以便滿足前驅(qū)氣體所需的工藝溫度要求，冷卻腔側(cè)面連接冷卻介質(zhì)油循環(huán)管；
其中激光裝置輸出的激光光子的能量應(yīng)高于前驅(qū)氣體分子的鍵能，可以在低溫狀態(tài)下有效擊斷前驅(qū)氣體的分子鍵；掩膜版可以精確限定激光束水平方向下部邊界，升降臺可以精確調(diào)節(jié)激光束下邊界與玻璃表面的距離，掩膜版和升降臺配合使用，既能使氣相反應(yīng)盡可能在靠近玻璃表面進(jìn)行，又避免激光對薄膜和玻璃表面的損傷；入射和出射窗口分別設(shè)置在浮法退火窯兩邊側(cè)壁上，配有氮?dú)鈬娮?，具有冷卻窗口和防止反應(yīng)物沉積在窗口上的作用；激光功率計(jì)正對出射窗口外設(shè)置，具有測量激光功率和吸收激光的作用；
本發(fā)明的測控裝置中，溫度監(jiān)測紅外探頭對準(zhǔn)其下的玻璃帶，分別監(jiān)測玻璃帶中部和邊部的溫度，壓力監(jiān)測傳感器用于監(jiān)測退火窯內(nèi)的壓力，頂部吊掛的加熱器在退火窯橫截面上，可對玻璃帶的邊部進(jìn)行加熱，使玻璃帶橫向溫度均勻，在線檢測裝置設(shè)在鍍膜區(qū)域下游，其反饋信息用于生產(chǎn)調(diào)整。
[0010]工作時(shí)，在鍍膜器前驅(qū)氣體通道外側(cè)的冷卻腔中通入冷卻介質(zhì)油，將該鍍膜器放置于浮法玻璃生產(chǎn)線退火窯48(T380°C的玻璃帶上方；針對前驅(qū)氣體的性質(zhì)選擇合適的激光器，將其設(shè)置在退火窯外側(cè)、對應(yīng)鍍膜器的位置；通過測控系統(tǒng)監(jiān)測玻璃帶和退火窯內(nèi)的溫度和壓力，利用加熱器對玻璃帶邊部溫度進(jìn)行加熱補(bǔ)償，使玻璃帶橫向溫度均勻，當(dāng)溫度和壓力滿足鍍膜條件時(shí)，啟動激光器，調(diào)整激光強(qiáng)度，利用掩膜精確限定激光束水平方向下部邊界，使激光束在稍高于玻璃表面平行入射，調(diào)整升降臺高度控制激光束下部邊界距離玻璃帶的距離；一切正常后，通過前驅(qū)氣體通道將前驅(qū)氣體通入到浮法玻璃表面上，前驅(qū)氣體被激光照射解離發(fā)生氣相反應(yīng)，在玻璃表面沉積成膜，反應(yīng)尾氣從反應(yīng)區(qū)兩側(cè)的氣體回收通道排出，同時(shí)保護(hù)氣體從保護(hù)氣體通道通入，將反應(yīng)區(qū)和退火窯之間相互隔離，使反應(yīng)區(qū)形成一個(gè)局部封閉的環(huán)境，使鍍膜反應(yīng)不受外部氣氛干擾，生產(chǎn)中根據(jù)膜厚在線檢測裝置的反饋進(jìn)行生產(chǎn)調(diào)整。
[0011]本發(fā)明還可通過增加鍍膜器和激光器的數(shù)量，實(shí)現(xiàn)多層復(fù)合膜玻璃的在線生產(chǎn)。
[0012]本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)
本發(fā)明的裝置由于設(shè)置了激光器，利用激光器發(fā)出的激光驅(qū)動化學(xué)氣相反應(yīng)的發(fā)生，有效降低了鍍膜反應(yīng)的溫度，使本裝置的鍍膜器可以避開錫槽，有效穩(wěn)定了錫槽工況，有利于提高玻璃成型質(zhì)量，同時(shí)降低了錫槽的能耗和錫液損耗；
設(shè)置的鍍膜器結(jié)構(gòu)緊湊、簡單，可以保證前驅(qū)氣體穩(wěn)定的通入、反應(yīng)尾氣穩(wěn)定的排出，用保護(hù)氣保證鍍膜區(qū)和退火窯之間相互隔離，使鍍膜反應(yīng)不受外部氣氛干擾，同時(shí)本裝置將鍍膜器設(shè)置在退火窯中，對鍍膜器的材質(zhì)、變形、冷卻、防腐等要求相應(yīng)降低，使鍍膜器制作成本和操作難度大大降低；
設(shè)置的測控系統(tǒng)使鍍膜區(qū)玻璃帶的溫度可控、可調(diào)，能保證鍍膜區(qū)域溫度、壓力的穩(wěn)定性和均勻性；
利用本發(fā)明的裝置可以在浮法玻璃線上生產(chǎn)多種鍍膜玻璃，有利于提高薄膜質(zhì)量，提高前驅(qū)氣體利用率，大大降低鍍膜成本。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0013]圖1是本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖；
圖2本發(fā)明中的鍍膜器結(jié)構(gòu)示意圖；
圖3是圖1中的頂板11的俯視圖；
圖4是圖2中的底板12的仰視圖；
圖5是圖1的A-A劑面圖不意圖；
圖6是圖1的B-B剖面 圖示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0014]實(shí)施例一:
如圖1、圖3、圖5及圖6所示，本發(fā)明提供的一種在浮法線上生產(chǎn)透明導(dǎo)電膜玻璃的裝置，包括在退火窯40中還設(shè)置的激光裝置、鍍膜器10以及鍍膜測控裝置，以下分別詳細(xì)描述。
[0015]1、激光裝置:
如圖1、圖5所示，激光裝置包括設(shè)置于退火窯40 —側(cè)的升降臺21，升降臺21上設(shè)有激光器22和相應(yīng)的掩膜版23，在退火窯40的兩側(cè)分別設(shè)有與掩膜版23對應(yīng)的入射窗口24和出射窗口 25，激光器22射入退火窯的激光束27位于鍍膜器底部與退火窯中的玻璃板41之間，退火窯另一側(cè)設(shè)有與出射窗口 25相對應(yīng)的激光功率計(jì)26。
[0016]退火窯兩側(cè)分別設(shè)有一個(gè)氮?dú)鈬娮?8，每個(gè)氮?dú)鈬娮?8分別與相應(yīng)的入射窗口或出射窗口相配合。
[0017]激光器22輸出的激光光子的能量應(yīng)高于前驅(qū)氣體分子的鍵能，可以在低溫狀態(tài)下有效地?fù)魯嗲膀?qū)氣體的分子鍵，掩膜版23可以精確限定激光束27水平方向界限，升降臺21可以精確調(diào)節(jié)激光束27下邊界與托輥42上玻璃帶41表面的距離，掩膜版和升降臺配合使用，既能使氣相反應(yīng)盡可能在靠近玻璃表面進(jìn)行，又避免激光對薄膜和玻璃表面的損傷，入射和出射窗口 24、25分別設(shè)置在浮法退火窯40兩邊側(cè)壁上，配有氮?dú)鈬娮?8，保證冷卻窗口和防止反應(yīng)物沉積在窗口上，激光功率計(jì)26正對出射窗口 25外設(shè)置，具有測量激光功率和吸收激光的功能。
[0018]2、鍍膜器10包括:
a、如圖1所示，一對懸掛梁18，它連接于退火窯的頂部，兩懸掛梁之間連接頂板11。如圖3所示，頂板11中間位置設(shè)有前驅(qū)氣體長條孔I，前驅(qū)氣體長條孔兩側(cè)分別對稱設(shè)有氣體回收長條孔2，前驅(qū)氣體長條孔I及氣體回收長條孔2的外圍設(shè)有矩形環(huán)狀長條孔3 ；
b、結(jié)合圖1及圖3所示,頂板11下面連接一個(gè)箱體IOa伸入退火窯中，箱體IOa上分別設(shè)有前驅(qū)氣體通道7、氣體回收通道8及保護(hù)氣體通道9，它們分別與前驅(qū)氣體長條孔1、氣體回收長條孔2及矩形長條孔3對應(yīng)聯(lián)通；
C、如圖1所示，頂板11上中間位置設(shè)有一個(gè)前驅(qū)氣體輸送管14，前驅(qū)氣體輸送管14的兩側(cè)分別對稱設(shè)有氣體回收管15，前驅(qū)氣體輸送管14和氣體回收管15外圍設(shè)有矩形環(huán)狀的保護(hù)氣體輸送管16，所述的前驅(qū)氣體輸送管14、氣體回收管15及保護(hù)氣體輸送管16分別與對應(yīng)的前驅(qū)氣體長條孔1、氣體回收長條孔2及矩形長條孔3相聯(lián)通。
[0019]3、鍍膜測控裝置:
所述的測控裝置，如圖1、圖6所示，包括在鍍膜區(qū)域退火窯頂殼橫截面上分設(shè)3只溫度監(jiān)測紅外探頭31，每只探頭對準(zhǔn)其下的玻璃帶41，分別監(jiān)測玻璃帶中部和邊部的溫度，在鍍膜區(qū)域退火窯頂殼中心線上設(shè)置一壓力監(jiān)測傳感器32，用于監(jiān)測退火窯40內(nèi)的壓力，在鍍膜區(qū)前的退火窯內(nèi)的頂部橫截面上分別吊掛2只加熱器33，對玻璃帶的邊部溫度進(jìn)行加熱補(bǔ)償，使玻璃帶橫向溫度均勻，以及在鍍膜區(qū)域下游設(shè)置膜厚在線檢測裝置(圖中未標(biāo)出)，其反饋信息用于生產(chǎn)調(diào)整。
[0020]實(shí)施例二:
如圖2、圖3及圖4所示，本發(fā)明的一種在浮法線上生產(chǎn)透明導(dǎo)電膜玻璃的裝置，其中的鍍膜器10包括:
一對懸掛梁18、一固裝于該懸掛梁之間的由頂板11、底板12和壁板13圍成的鍍膜器機(jī)體，懸掛梁18是由鋼板拼焊組成的矩形截面梁，梁體內(nèi)通冷卻風(fēng)，兩個(gè)懸掛梁左右對稱布置，在退火窯40頂殼上開矩形口，放入鍍膜器10，利用該懸掛梁18將鍍膜器10吊掛在頂殼上，頂板11和底板12是大 小相同的矩形不銹鋼板，上下對應(yīng)布置，如圖3、圖4所示，在頂板11和底板12上分別以縱向中心線為中線設(shè)置一狹縫的前驅(qū)氣體長條孔1、4，在該狹縫兩側(cè)分別設(shè)置兩平行狹縫的氣體回收長條孔2、5，環(huán)繞上述三狹縫四周設(shè)置一矩形狹縫的矩形環(huán)狀長條孔3、6，將上述兩塊板上對應(yīng)的狹縫(I對4、2對5、3對6)之間用不銹鋼壁板13連接密封，圍成一進(jìn)氣通道7、兩排氣通道8和一保護(hù)氣體通道9，其中進(jìn)氣通道7位于鍍膜器縱向中心線上，排氣通道8分列于進(jìn)氣通道7的兩側(cè)，保護(hù)氣體通道9環(huán)繞在上述三條氣體通道四周，在進(jìn)氣通道7外側(cè)還設(shè)有冷卻腔17，進(jìn)氣通道7上部連接前驅(qū)氣體輸送分布管14，排氣通道8的上部連接尾氣排出管15，保護(hù)氣體通道9的上部連接保護(hù)氣體輸送分布管16，冷卻腔17的側(cè)面連接冷卻介質(zhì)油循環(huán)管路(圖中未標(biāo)出)。
【權(quán)利要求】
1.一種在浮法線上生產(chǎn)透明導(dǎo)電膜玻璃的裝置，包括退火窯(40)以及設(shè)置在退火窯中的鍍膜器(10)，其特征在于:退火窯中還設(shè)有使鍍膜器排出的前驅(qū)氣體光致解離的激光裝置，激光裝置包括: 設(shè)置于退火窯一側(cè)的升降臺(21)，升降臺(21)上設(shè)有激光器(22)和相應(yīng)的掩膜版(23),在退火窯(40)的兩側(cè)分別設(shè)有與掩膜版(23)對應(yīng)的入射窗口(24)和出射窗口(25)，激光器(22)射入退火窯的激光束(27)位于鍍膜器(10)底部與退火窯中的玻璃板(41)之間，退火窯另一側(cè)設(shè)有與出射窗口(25)相對應(yīng)的激光功率計(jì)(26)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種在浮法線上生產(chǎn)透明導(dǎo)電膜玻璃的裝置，其特征在于:退火窯兩側(cè)分別設(shè)有一個(gè)氮?dú)鈬娮?28)，每個(gè)氮?dú)鈬娮?28)分別與相應(yīng)的入射窗口或出射窗口相配合。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種在浮法線上生產(chǎn)透明導(dǎo)電膜玻璃的裝置，其特征在于所述的鍍膜器(10)包括: a、一對懸掛梁(18)，它連接于退火窯的頂部，兩懸掛梁之間連接頂板(11)，頂板(11)中間位置設(shè)有前驅(qū)氣體長條孔(1)，前驅(qū)氣體長條孔兩側(cè)分別對稱設(shè)有氣體回收長條孔(2)，前驅(qū)氣體長條孔(I)及氣體回收長條孔(2)的外圍設(shè)有矩形環(huán)狀長條孔(3)； b、頂板(11)下面連接一個(gè)箱體(IOa)伸入退火窯中，箱體(IOa)上分別設(shè)有前驅(qū)氣體通道(7)、氣體回收通道(8)及保護(hù)氣體通道(9)，它們分別與前驅(qū)氣體長條孔(I)、氣體回收長條孔(2)及矩形長條孔(3)對應(yīng)聯(lián)通； C、頂板(11)上中間位置設(shè)有一個(gè)前驅(qū)氣體輸送管(14)，前驅(qū)氣體輸送管(14)的兩側(cè)分別對稱設(shè)有氣體回收管(15)，前驅(qū)氣體輸送管(14)和氣體回收管(15)外圍設(shè)有矩形環(huán)狀的保護(hù)氣體輸送管(16)，所述的前驅(qū)氣體輸送管(14)、氣體回收管(15)及保護(hù)氣體輸送管(16)分別與對應(yīng)的前驅(qū)氣體長條孔(I)、氣體回收長條孔(2)及矩形長條孔(3)相聯(lián)通。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種在浮法線上生產(chǎn)透明導(dǎo)電膜玻璃的裝置，其特征在于，在前驅(qū)氣體通道(7)兩側(cè)分別設(shè)置了冷卻腔(17)，冷卻腔連接冷卻介質(zhì)油循環(huán)管。
5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種在浮法線上生產(chǎn)透明導(dǎo)電膜玻璃的裝置，其特征在于，退火窯上設(shè)有鍍膜測控裝置，它包括安裝在退火窯頂殼上的一組溫度監(jiān)測紅外探頭(31)，在鍍膜區(qū)域退火窯頂殼中心線上設(shè)置的一壓力監(jiān)測傳感器(32)，在鍍膜區(qū)前的退火窯內(nèi)的頂部橫截面上吊掛的2只加熱器(33)。
【文檔編號】C03C17/00GK103951272SQ201410194864
【公開日】2014年7月30日 申請日期:2014年5月10日 優(yōu)先權(quán)日:2014年5月10日
【發(fā)明者】王東, 金良茂, 石麗芬, 單傳麗, 張家林, 王蕓, 馬立云, 彭壽, 甘治平 申請人:蚌埠玻璃工業(yè)設(shè)計(jì)研究院, 中國建材國際工程集團(tuán)有限公司