適用于石英玻璃管、石英玻璃棒的臥式真空立裝脫羥爐的制作方法
【專利摘要】本實用新型提供一種適用于石英玻璃管、石英玻璃棒的臥式真空立裝脫羥爐，所述臥式真空立裝脫羥爐的爐殼形狀為方形，爐殼內部具有方形的隔熱屏。還包括裝料裝置，所述裝料裝置包括底盤，所述底盤的四個角落豎直設置有四個立柱，相鄰的兩個立柱之間通過橫梁連接，且相對的兩個橫梁之間設置有卡條。本實用新型要解決的技術問題是提供一種適用于石英玻璃管、石英玻璃棒的臥式真空立裝脫羥爐，可以最大程度的利用空間，提高空間利用率，同時節(jié)約材料成本，提高產量，并且可以解決管材、棒材相互碰撞、粘黏的問題，提高生產產品的質量。
【專利說明】適用于石英玻璃管、石英玻璃棒的臥式真空立裝脫羥爐
【技術領域】
[0001]本實用新型專利涉及一種真空立裝脫羥爐，具體涉及一種適用于石英玻璃管、石英玻璃棒的臥式真空立裝脫羥爐。一種新型石英玻璃管、棒臥式真空立裝脫羥爐，主要是一種在真空狀態(tài)下采用新設計的爐型和裝料方式，能夠更好地解決傳統(tǒng)方式對石英管棒質量的影響。
【背景技術】
[0002]目前生產石英玻璃管及石英玻璃棒的立式脫羥爐普遍存在溫差大、溫度不均勻以及裝配進出爐操作難度太大等缺點，并且，針對現(xiàn)有的立式脫羥爐只能采用的傳統(tǒng)裝料方式，然而傳統(tǒng)裝料方式普遍存在管棒及工裝的自重產生的重力、應力對產品質量產生影響等缺點。采用現(xiàn)有的立式脫羥爐生產時，不僅存在生產產量低的問題，最重要的還存在生產成本高，且生產出來的石英玻璃管、石英玻璃棒產品存在缺陷較多的問題，因此設計開發(fā)一種能夠解決生產成本較高的問題，同時還能使生產產品質量較高的立式脫羥爐，已成為生產半導體石英玻璃管、石英玻璃棒領域的技術難點，亟待技術人員開發(fā)設計。
實用新型內容
[0003]本實用新型要解決的技術問題是提供一種適用于石英玻璃管、石英玻璃棒的臥式真空立裝脫羥爐，可以最大程度的利用空間，提高空間利用率，同時節(jié)約材料成本，提高產量，并且可以解決管材、棒材相互碰撞、粘黏的問題，提高生產產品的質量。
[0004]本實用新型提供一種適用于石英玻璃管、石英玻璃棒的臥式真空立裝脫羥爐，包括能夠立式裝料的裝料裝置，且所述臥式真空立裝脫羥爐的爐殼形狀為方形，爐殼內部具有方形的隔熱屏。
[0005]所述裝料裝置包括底盤，所述底盤的四個角落豎直設置有四個立柱，相鄰的兩個立柱之間通過橫梁連接，且相對的兩個橫梁之間設置有卡條。
[0006]所述橫梁包括上橫梁和下橫梁，所有上橫梁的設置高度均相等，所有下橫梁的設置高度也均相等。
[0007]所述卡條也對應包括上卡條和下卡條，所述上卡條對應設置于相對的兩個上橫梁之間，所述下卡條對應設置于相對的兩個下橫梁之間。
[0008]所述上橫梁和下橫梁上設置有多個卡槽，所述上卡條和下卡條的兩端容設于卡槽中，在橫向和縱向方向上，所述裝料裝置通過多個上卡條和多個下卡條形成上下兩層的多個方形孔。
[0009]所述上卡條和下卡條在設置時使上下兩層形成的方形孔相對應一致，所述石英玻璃管或石英玻璃棒從上至下設置于對應的兩層方形孔中。
[0010]本實用新型具有的優(yōu)點在于:
[0011]本實用新型要解決的技術問題是提供一種適用于石英玻璃管、石英玻璃棒的臥式真空立裝脫羥爐，可以最大程度的利用空間，提高空間利用率，同時節(jié)約材料成本，提高產量，并且可以解決管材、棒材相互碰撞、粘黏的問題，提高生產產品的質量。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0012]圖1是現(xiàn)有技術中臥式脫羥爐的結構示意圖；
[0013]圖2是本實用新型提供的臥式真空立裝脫羥爐的結構示意圖；
[0014]圖3是本實用新型提供的臥式真空立裝脫羥爐的裝料裝置的結構示意圖；
[0015]圖4是本實用新型提供的臥式真空立裝脫羥爐的裝料裝置中卡條的結構示意圖。
[0016]圖中:1_爐殼;2_底盤;3_隔熱屏;4_卡條;5_橫梁;6_立柱。
【具體實施方式】
[0017]下面結合附圖和具體實施例對本實用新型作進一步說明，以使本領域的技術人員可以更好的理解本實用新型并能予以實施，但所舉實施例不作為對本實用新型的限定。
[0018]本實用新型提供一種適用于石英玻璃管、石英玻璃棒的臥式真空立裝脫羥爐，所述臥式真空立裝脫羥爐融合了現(xiàn)有技術中臥式脫羥爐和立式脫羥爐的優(yōu)點，將立式裝管結構完美地在臥式脫羥爐中實現(xiàn)，克服了臥式脫羥爐不能立式裝管的缺陷。本實用新型將臥式脫羥爐的真空室按照工件的要求重新進行設計，如圖1和圖2的對比所示，將現(xiàn)有臥式脫羥爐的爐殼I形狀由圓形設計為方形。由于裝料裝置一般為方形結構，因此，當方形的裝料裝置置于方形的爐殼I內部時，可以最大程度的利用空間，減少臥式圓形脫羥室中無法利用到的無效空間，使空間利用率提高至極致，不僅節(jié)約材料成本，并且由于無效空間的減小，在生產過程中的抽氣、加熱、冷卻等環(huán)節(jié)的運行成本也在大幅度下降。同時由于爐殼設計為方形，而對應的處于爐殼I內部、裝料裝置外部的隔熱屏3對應也設計為方形。
[0019]對應圖1的現(xiàn)有臥式脫羥爐來講，其空間大且利用率低，而對應本實用新型提供的臥式真空立裝脫羥爐來講，其空間利用率高。對于相同直徑的爐殼1，底盤2處于爐殼I內，本實用新型提供的臥式真空立裝脫羥爐較傳統(tǒng)型的真空脫羥爐的空間利用率可提高I倍，幾乎沒有無效空間。
[0020]本實用新型提供的適用于石英玻璃管、石英玻璃棒的臥式真空立裝脫羥爐還可以設計一種專用的裝料裝置，以滿足立式裝料的需求。如圖3和圖4所示，本實用新型的裝料裝置包括底盤2，所述底盤2上方對應四個角落豎直設置有四個立柱6，當然也可以在對應的底盤2邊緣處增設立柱6，即，使四個立柱6之間還設置有立柱，但最少要求在四個角落處都有立柱6。所述相鄰的兩個立柱6之間連接有橫梁5，使獨立的四個立柱6相互通過橫梁5連接圍成一周，且圍成一周的橫梁5處于同一高度。優(yōu)選的，可以圍設有上下兩層橫梁，SP可以在立柱6的上段和下段分別圍設上橫梁和下橫梁，這樣可以使整個裝置更加穩(wěn)定，要求所有上橫梁對應均處于同一高度，所有下橫梁均處于同一高度。所述上橫梁和下橫梁上均布滿卡槽，在卡槽中可以根據(jù)欲設置的石英玻璃管或石英玻璃棒的尺徑來設置卡條4，對應上下兩層橫梁5，所述卡條4也對應設置兩層，分別為上卡條和下卡條。將上卡條、下卡條架設于相對的兩個上橫梁、兩個下橫梁上?？l4的兩端處于卡槽中卡緊，這樣處于四圈的橫梁5可以通過橫向和縱向設置的卡條4形成上下兩層的多個方形孔。并且，通過卡條4形成的方形孔的形狀以及大小可以根據(jù)欲裝設的石英玻璃管或石英玻璃棒的尺寸或個數(shù)而設定，根據(jù)不同的規(guī)格，放置卡條4，達到固定管材或棒材的目的。上下兩層卡條4橫縱向交織設置完成后可以形成上下兩層方形孔，管材或棒材從一側開始，從上至下插入對應的方形孔中，依次放滿。要求上下兩層卡條4所形成的方形孔必須對應一致，即大小相同，且在橫向上與立柱6和相鄰的卡條之間的間距也相同，這樣才能保證石英玻璃管或石英玻璃棒能夠正常地、順利地從上至下設置于方形孔中。例如，欲裝設外徑40mm的管材，可以先將卡條4對應放置在45mm的卡槽內，橫向和縱向都取45mm的間距依次逐個安插卡條4,上橫梁和下橫梁的間距保持一致。卡條4安裝結束后，形成上下兩層正方形孔，將管材從一側開始，從上至下插入正方形孔中，依次放滿為止。
[0021]本實用新型中立柱6采用螺紋拼接設置于底盤2中，替代直孔插接，不僅強度高、穩(wěn)定性好，而且使用壽命長；并且由于結構穩(wěn)定無間隙，管材的表面質量也得以提高。同時本實用新型中的底盤2以及橫梁5、卡條4等材料采用CFC材料加工而成，不僅重量輕，而且強度大幅度提高，由于材料強度增加，尺寸減小，裝管空間就可以加大，產量就可以大幅度提高，生產成本相應得到下降。
[0022]本實用新型提供一種適用于石英玻璃管、石英玻璃棒的臥式真空立裝脫羥爐，比脫羥爐的傳統(tǒng)裝料裝置利用率高，并且由于采用立式裝管，管材、棒材相互碰撞、粘黏的問題可以得到很好的解決，對于特殊規(guī)格、特殊要求的生產產品的質量得到大幅度提高。
[0023]本實用新型提供一種適用于石英玻璃管、石英玻璃棒的臥式真空立裝脫羥爐，其中裝料裝置應用范圍更廣，不僅能夠解決特殊產品的脫羥處理，對于常規(guī)管材、棒材的脫羥質量也能夠得到一定程度的改善。同時采用本實用新型提供的臥式真空立裝脫羥爐進行生產加工時，可以大幅度提高工作效率，并減少了傳統(tǒng)裝料裝置所帶來的產品缺陷多、產量制約嚴重等問題。
[0024]以上所述實施例僅是為充分說明本實用新型而所舉的較佳的實施例，本實用新型的保護范圍不限于此。本【技術領域】的技術人員在本實用新型基礎上所作的等同替代或變換，均在本實用新型的保護范圍之內。本實用新型的保護范圍以權利要求書為準。
【權利要求】
1.一種適用于石英玻璃管、石英玻璃棒的臥式真空立裝脫羥爐，其特征在于，包括能夠立式裝料的裝料裝置，且所述臥式真空立裝脫羥爐的爐殼形狀為方形，爐殼內部具有方形的隔熱屏；所述裝料裝置包括底盤，所述底盤的四個角落豎直設置有四個立柱，相鄰的兩個立柱之間通過橫梁連接，且相對的兩個橫梁之間設置有卡條；所述橫梁包括上橫梁和下橫梁，所有上橫梁的設置高度均相等，所有下橫梁的設置高度也均相等。
2.根據(jù)權利要求1所述適用于石英玻璃管、石英玻璃棒的臥式真空立裝脫羥爐，其特征在于，所述卡條也對應包括上卡條和下卡條，所述上卡條對應設置于相對的兩個上橫梁之間，所述下卡條對應設置于相對的兩個下橫梁之間。
3.根據(jù)權利要求2所述適用于石英玻璃管、石英玻璃棒的臥式真空立裝脫羥爐，其特征在于，所述上橫梁和下橫梁上設置有多個卡槽，所述上卡條和下卡條的兩端設置于卡槽中，在橫向和縱向方向上，所述裝料裝置通過多個上卡條和多個下卡條形成上下兩層的多個方形孔。
4.根據(jù)權利要求3所述適用于石英玻璃管、石英玻璃棒的臥式真空立裝脫羥爐，其特征在于，所述上卡條和下卡條在設置時使上下兩層形成的方形孔相對應一致，所述石英玻璃管或石英玻璃棒從上至下容設于對應的兩層方形孔中。
【文檔編號】C03B20/00GK203715486SQ201320801100
【公開日】2014年7月16日 申請日期:2013年12月9日 優(yōu)先權日:2013年12月9日
【發(fā)明者】陳士斌, 周明強, 寧井班, 劉明偉, 徐同根 申請人:江蘇太平洋石英股份有限公司