專利名稱：一種硅塊的線鋸切割機(jī)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及線鋸切割技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種用于硅塊切割的線鋸切割機(jī)。
背景技術(shù)：
硅塊是在多晶硅錠加工成硅片的過程中產(chǎn)生的一種中間產(chǎn)品，經(jīng)過線切割后成為硅片?，F(xiàn)有技術(shù)中一般采用NTC線鋸切割機(jī)作為硅塊的切割設(shè)備。NTC線鋸切割機(jī)為多線切割設(shè)備，通過鋼線高速轉(zhuǎn)動(dòng)，帶動(dòng)漿料里的SiC (碳化硅，又名金剛砂)對下降的硅塊進(jìn)行切割。進(jìn)行切割時(shí)，首先將硅塊粘結(jié)在玻璃板上，然后將粘結(jié)有玻璃板的硅塊整體粘結(jié)在晶托上，晶托設(shè)有專門的粘結(jié)板，粘結(jié)板與玻璃板相互粘合，則晶托將硅塊承托固定，由硅塊、玻璃板和晶托粘合形成的整體構(gòu)成切割用的晶棒；線鋸切割機(jī)的切割室內(nèi)設(shè)有導(dǎo)輪，導(dǎo)輪上纏繞有鋼線，多條鋼線密布形成線網(wǎng)，以便對硅塊進(jìn)行切割；導(dǎo)輪的表面涂有一層聚氨酯，該層聚氨酯一般稱為導(dǎo)輪涂層，以防止鋼線對導(dǎo)輪造成損傷；由于在長期加工過程中，導(dǎo)輪涂層會出現(xiàn)磨損，因此就需要對導(dǎo)輪進(jìn)行及時(shí)的更換，為此，線鋸切割機(jī)還設(shè)有導(dǎo)輪導(dǎo)軌；在切割室的兩側(cè)設(shè)有漿料支架和安裝在漿料支架上的漿料嘴，漿料嘴將砂漿以砂簾的形式均勻的噴灑在線網(wǎng)中，進(jìn)而通過鋼線對硅塊進(jìn)行切割。切割過程中產(chǎn)生的碎屑則通過硅塊下方的廢料盒予以收集，避免碎屑落入線網(wǎng)中影響切割的質(zhì)量。經(jīng)過上述切割后，去掉硅塊含有雜質(zhì)的頂部和底部，就構(gòu)成其能夠產(chǎn)生合格品的部分，該部分稱為娃塊的有效切割長度。雖然現(xiàn)有的切割技術(shù)已經(jīng)比較成熟，但是，現(xiàn)有線鋸切割機(jī)的切割長度并不能滿足現(xiàn)有市場的需求，主要存在以下問題:隨著行業(yè)的發(fā)展，硅塊的有效切割長度已經(jīng)達(dá)到了 320mm，而硅塊的總長度為375mm，這種長度的硅塊要在機(jī)床上進(jìn)行切割，必須采用專用機(jī)器在硅塊的兩端進(jìn)行預(yù)切害I]，也就是俗稱的去除硅塊的頭尾，使得硅塊的長度達(dá)到320_，以便硅塊能夠順利進(jìn)入切表I]室內(nèi)完成切表I]。而上述步驟的增加不僅產(chǎn)生了購置專用機(jī)器的額外費(fèi)用，也大大降低了硅塊切割的整體效率，對生產(chǎn)造成了較大影響。因此，如何設(shè)計(jì)一種硅塊的線鋸切割機(jī)，以實(shí)現(xiàn)較大尺寸硅塊的直接切割、提高硅塊切割的效率，是本領(lǐng)域技術(shù)人員目前需要解決的技術(shù)問題。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的是提供一種硅塊的線鋸切割機(jī)，能夠?qū)崿F(xiàn)大尺寸硅塊的直接切害I]，其切割效率較高、成本較低。為解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型提供一種硅塊的線鋸切割機(jī)，所述線鋸切割機(jī)包括漿料嘴支架和用于對硅塊切割用鋼線噴灑漿料的漿料嘴，所述漿料嘴以其固定部與所述漿料嘴支架相連，所述漿料嘴支架還設(shè)有用于容納所述固定部的凹槽。本實(shí)用新型的線鋸切割機(jī)，在漿料嘴支架上開設(shè)凹槽，以便將漿料嘴的固定部完全容納在所述凹槽內(nèi)，避免固定部占用線鋸切割室的內(nèi)部空間，從而擴(kuò)展了切割室的有效利用空間，使得大尺寸的硅塊能夠直接放置在切割室內(nèi)進(jìn)行切割，而無需對硅塊進(jìn)行去除頭尾的預(yù)切割加工；由于加工過程中去除了預(yù)切割的工序，則加工成本得以降低，硅塊切割的效率也有較大提高，還降低了硅塊在加工過程中的損害風(fēng)險(xiǎn)。優(yōu)選地，所述線鋸切割機(jī)還包括用于纏繞硅塊切割用鋼線的導(dǎo)輪以及支撐所述導(dǎo)輪的導(dǎo)軌，所述導(dǎo)軌的中間設(shè)有用于容納廢料盒的導(dǎo)軌槽。在切割大尺寸的硅塊時(shí)，由于硅塊占據(jù)了整個(gè)切割室的空間，為完全將硅塊切割產(chǎn)生的碎屑收集，需要增大廢料盒的尺寸，增大的廢料盒應(yīng)該至少與硅塊所覆蓋的面積相等，此時(shí)廢料盒的一端就會與導(dǎo)軌發(fā)生抵觸，導(dǎo)軌槽的設(shè)置使得廢料盒能夠放置在切割室內(nèi)，并能夠完全收集切割過程中的碎屑，避免碎屑影響硅塊切割的質(zhì)量。優(yōu)選地，所述導(dǎo)軌還設(shè)有供所述導(dǎo)輪滑動(dòng)的滑軌，所述滑軌可拆卸地連接在所述導(dǎo)軌槽內(nèi)。切割用的鋼線會對導(dǎo)輪造成損傷，因此需要及時(shí)更換導(dǎo)輪，為方便導(dǎo)輪的更換，可以設(shè)置滑軌，使得導(dǎo)輪在滑軌上滑動(dòng)，以簡化導(dǎo)輪更換的過程；當(dāng)更換完導(dǎo)輪之后，還可以將滑軌拆卸，然后將廢料盒放置在兩導(dǎo)軌之間的導(dǎo)輪槽內(nèi)，繼續(xù)進(jìn)行硅塊切割。優(yōu)選地，所述導(dǎo)軌槽的兩端設(shè)有卡部，所述滑軌卡接在所述卡部上。上述可拆卸地連接可以是卡接的連接方式，將滑軌直接卡固在導(dǎo)軌槽內(nèi)，而在較小的外力扳動(dòng)下即可實(shí)現(xiàn)滑軌的拆除，其安裝和拆卸更加省時(shí)省力。優(yōu)選地，所述線鋸切割機(jī)還包括用于承載硅塊的晶托。優(yōu)選地，所述晶托設(shè)有朝向其頂面折彎設(shè)置的把手。將把手設(shè)置成折彎件，可以留出足夠的握持空間，以便操作者握持把手搬動(dòng)晶托，進(jìn)而實(shí)現(xiàn)硅塊的移動(dòng)。

圖1為本實(shí)用新型所提供線鋸切割機(jī)一種設(shè)置方式的正面結(jié)構(gòu)側(cè)視圖；圖2為本實(shí)用新型所提供漿料嘴支架一種設(shè)置方式的立體結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為圖2所示漿料嘴支架的剖面結(jié)構(gòu)示意圖；圖4為本實(shí)用新型所提供漿料嘴的外套一種設(shè)置方式的結(jié)構(gòu)示意圖；圖5為本實(shí)用新型所提供漿料嘴的內(nèi)套一種設(shè)置方式的平面結(jié)構(gòu)示意圖；圖6為本實(shí)用新型所提供廢料盒一種設(shè)置方式的結(jié)構(gòu)示意圖；圖7為本實(shí)用新型所提供滑軌和導(dǎo)軌一種設(shè)置方式的組裝分解狀態(tài)示意圖。
具體實(shí)施方式
本實(shí)用新型的核心是提供一種硅塊的線鋸切割機(jī)，能夠?qū)崿F(xiàn)大尺寸硅塊的直接切害I]，提高硅塊切割的效率，減少加工成本。為了使本技術(shù)領(lǐng)域的人員更好地理解本實(shí)用新型方案，
以下結(jié)合附圖和具體實(shí)施方式
對本實(shí)用新型作進(jìn)一步的詳細(xì)說明。請參考圖1-圖3，圖1為本實(shí)用新型所提供線鋸切割機(jī)一種設(shè)置方式的正面結(jié)構(gòu)側(cè)視圖；圖2為本實(shí)用新型所提供漿料嘴支架一種設(shè)置方式的立體結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為圖2所示漿料嘴支架的剖面結(jié)構(gòu)示意圖。在一種具體實(shí)施方式
中，本實(shí)用新型的線鋸切割機(jī)包括漿料嘴I和漿料嘴支架2，漿料嘴I用于對進(jìn)行硅塊切割的鋼線噴灑漿料，以便鋼線完成硅塊的切割，漿料嘴I設(shè)有固定部11，并以該固定部11安裝在漿料嘴支架2上；漿料嘴支架2設(shè)有凹槽21，凹槽21能夠?qū)⒄麄€(gè)固定部11容納在其內(nèi)部。在圖1所示的線鋸切割機(jī)中，還可以設(shè)置導(dǎo)輪3和導(dǎo)軌4，導(dǎo)輪3可以包括兩個(gè)平行設(shè)置的輪子，在兩個(gè)輪子上纏繞有對硅塊進(jìn)行切割的鋼線，由兩個(gè)輪子圍成的中間空置區(qū)域即為切割室的空間；導(dǎo)輪3安裝在導(dǎo)軌4上，并通過導(dǎo)軌4支撐固定。在上述實(shí)施方式中，漿料嘴I的固定部11伸入凹槽21內(nèi)，不會占用切割室的空間，則未經(jīng)預(yù)切割的大尺寸硅塊可以直接放置在切割室內(nèi)；如圖1所示，硅塊5至于切割室內(nèi)，漿料嘴I僅以其噴灑漿料的部位至于切割室內(nèi)，既能夠滿足對鋼線噴灑漿料的需求，又不會影響硅塊的放置。采用上述設(shè)置之后，硅塊可以直接放置在切割室內(nèi)進(jìn)行切割，省去了對硅塊進(jìn)行去除頭尾的預(yù)切割工序，進(jìn)而有效提高了硅塊的切割效率，降低了加工成本；預(yù)切割工序的減少相應(yīng)地避免了在該工序中產(chǎn)生的質(zhì)量瑕疵，從整體上降低了切割過程中對硅塊的損害風(fēng)險(xiǎn)。請參考圖4和圖5，圖4為本實(shí)用新型所提供漿料嘴的外套一種設(shè)置方式的結(jié)構(gòu)示意圖；圖5為本實(shí)用新型所提供漿料嘴的內(nèi)套一種設(shè)置方式的平面結(jié)構(gòu)示意圖。具體地，本實(shí)用新型的漿料嘴I 一般由外套13和內(nèi)套14組成，內(nèi)套14嵌套在外套13中，且內(nèi)套14具有噴灑漿料的噴口 141，外套13用于支撐固定內(nèi)套14，并與漿料嘴支架2直接相連；外套13還可以設(shè)置開口 131，開口 131與內(nèi)套14上的噴口 141對應(yīng)設(shè)置，以便噴口 141噴灑的漿料通過開口 131流向鋼線。在其中一種具體實(shí)施方式
中，漿料嘴I可以包括固定部11和噴灑部12，固定部11和噴灑部12可以分別設(shè)置在外套13和內(nèi)套14上；固定部11與漿料嘴支架2固定連接，噴灑部12—般沿硅塊5的長度方向設(shè)置，且基本上與鋼線的延伸方向垂直，噴灑部12可以通過多個(gè)密集設(shè)置的噴口 141沿長度方向排列構(gòu)成，如圖1和圖5所示。噴灑部12的長度與硅塊5的長度應(yīng)該是匹配設(shè)置的，以便對整個(gè)長度范圍內(nèi)的鋼線噴灑漿料，保證鋼線對硅塊5的完整切割。也就是說，在硅塊5長度增加的情況下，噴灑部12的長度也要相應(yīng)的增加。通常情況下，噴灑部12的長度需要延長15_左右，以滿足較長尺寸硅塊5的加工需求。請參考圖6和圖7，圖6為本實(shí)用新型所提供廢料盒一種設(shè)置方式的結(jié)構(gòu)示意圖；圖7為本實(shí)用新型所提供滑軌和導(dǎo)軌一種設(shè)置方式的組裝分解狀態(tài)示意圖。在一種更為優(yōu)選的實(shí)施方式中，本實(shí)用新型的線鋸切割機(jī)還設(shè)有廢料盒6，廢料盒6處于鋼線網(wǎng)的下方，與硅塊5對應(yīng)設(shè)置，以便將硅塊5在切割過程中產(chǎn)生的碎屑加以收集。如圖6所示，廢料盒6可以設(shè)置成上端開口的盒體狀，其形狀和尺寸可以根據(jù)硅塊5的大小進(jìn)行調(diào)整，則當(dāng)硅塊5的尺寸增加時(shí)，廢料盒6也要相應(yīng)地增大尺寸，以便將切割過程中產(chǎn)生的碎屑完全收集。由于切割室的尺寸固定，為使得增大后的廢料盒6能夠放置在切割室內(nèi)，需要對導(dǎo)軌4進(jìn)行調(diào)整。如圖7所示，導(dǎo)軌4用于支撐導(dǎo)輪3，導(dǎo)軌4的中間設(shè)有導(dǎo)軌槽41，以便于容納廢料盒6 ;如圖1中所示，廢料盒6的兩端分別嵌入導(dǎo)輪3兩側(cè)的導(dǎo)軌槽41內(nèi)，則廢料盒6的盒體將硅塊5所處范圍完全覆蓋，從而將硅塊5的切割碎屑全部收集。此外，還可以設(shè)置供導(dǎo)軌4滑動(dòng)的滑軌7，滑軌7可拆卸地連接在導(dǎo)軌槽41內(nèi):當(dāng)需要更滑導(dǎo)輪3時(shí)，將滑軌7安裝在導(dǎo)軌槽41內(nèi)，然后將磨損的導(dǎo)輪3滑動(dòng)到滑軌7上，并將新導(dǎo)輪3安裝到導(dǎo)軌4的安裝位上，完成導(dǎo)輪3的更換；導(dǎo)輪3更換完畢之后，將滑軌7拆除，然后將廢料盒6放回原位，重新組裝形成圖1所示的線鋸切割機(jī)，為后續(xù)硅塊5的切割做好準(zhǔn)備。為實(shí)現(xiàn)上述滑軌7的可拆卸地連接，可以在導(dǎo)軌槽41的兩端設(shè)置卡部42，然后將滑軌7卡接在卡部42上，在較小的外力作用下，向上扳動(dòng)或者向下按壓滑軌7，即可實(shí)現(xiàn)滑軌7與導(dǎo)軌槽41的分離或者連接。所述卡部42可以是在導(dǎo)軌槽41內(nèi)單獨(dú)設(shè)置的兩個(gè)卡接部位，例如可以是兩個(gè)突出設(shè)置的小凸塊；也可以與導(dǎo)軌4采用合體設(shè)置，例如，可以在導(dǎo)軌槽41兩端的槽壁向內(nèi)設(shè)置兩個(gè)突起，便于滑軌7卡固。可以想到，滑軌7的兩端可以設(shè)置卡口，以便提高連接的可靠性。還可以想到，滑軌7的軌道面應(yīng)該基本上與導(dǎo)軌4的支撐面保持在同一直線上，以便于導(dǎo)輪3從導(dǎo)軌4的安裝位滑動(dòng)到滑軌7上。所述滑軌7的頂面構(gòu)成導(dǎo)輪3的滑動(dòng)軌道，該頂面即為上述的軌道面；導(dǎo)軌4 一般設(shè)有用于支撐固定導(dǎo)輪3的安裝位，與該安裝位大致處于同一平面內(nèi)、并對導(dǎo)輪3起到支撐作用的平面即構(gòu)成上述的支撐面。在滑軌7與導(dǎo)軌4之間的高度差較小的情況下，導(dǎo)輪3的滑動(dòng)相對比較容易，能夠節(jié)省更換導(dǎo)輪3的時(shí)間。導(dǎo)軌4可以包括兩條相互平行設(shè)置的分軌，而導(dǎo)輪3以其兩端橫跨在兩分軌之間，兩個(gè)導(dǎo)輪3不斷滾動(dòng)，以帶動(dòng)其上的鋼線運(yùn)動(dòng)，進(jìn)而對不斷下降到切割室內(nèi)的硅塊5進(jìn)行切割。此外，如圖1所示，本實(shí)用新型的線鋸切割機(jī)還可以包括晶托8，晶托8用于承載硅塊5。晶托8可以包括粘結(jié)板81，并通過粘結(jié)板81將硅塊5粘結(jié)固定，然后通過晶托8實(shí)現(xiàn)對硅塊5的控制，帶動(dòng)硅塊5不斷下降，以進(jìn)入切割室內(nèi)。當(dāng)然，由于硅塊5的尺寸較大，粘結(jié)板81的尺寸也需要進(jìn)行調(diào)整，從而將硅塊5整個(gè)粘結(jié)到粘結(jié)板81上。進(jìn)一步，可以在晶托8上設(shè)置把手82，把手82構(gòu)成操作者的握持部位，方便對硅塊5的操作。在圖1所示的實(shí)施方式中，把手82可以設(shè)置成向其頂面彎折設(shè)置的折彎件，折彎件的設(shè)置為操作者的握持提供了足夠的空間，避免了粘結(jié)板82的增大影響把手82的正常使用。以上對本實(shí)用新型所提供硅塊的線鋸切割機(jī)進(jìn)行了詳細(xì)介紹。本文中應(yīng)用了具體個(gè)例對本實(shí)用新型的原理及實(shí)施方式進(jìn)行了闡述，以上實(shí)施例的說明只是用于幫助理解本實(shí)用新型的核心思想。應(yīng)當(dāng)指出，對于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本實(shí)用新型原理的前提下，還可以對本實(shí)用新型進(jìn)行若干改進(jìn)和修飾，這些改進(jìn)和修飾也落入本實(shí)用新型權(quán)利要求的保護(hù)范圍內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種硅塊的線鋸切割機(jī)，所述線鋸切割機(jī)包括漿料嘴支架和用于對硅塊切割用鋼線噴灑漿料的漿料嘴，所述漿料嘴以其固定部與所述漿料嘴支架相連，其特征在于，所述漿料嘴支架還設(shè)有用于容納所述固定部的凹槽。
2.如權(quán)利要求1所述的線鋸切割機(jī)，其特征在于，所述線鋸切割機(jī)還包括用于纏繞硅塊切割用鋼線的導(dǎo)輪以及支撐所述導(dǎo)輪的導(dǎo)軌，所述導(dǎo)軌的中間設(shè)有用于容納廢料盒的導(dǎo)軌槽。
3.如權(quán)利要求2所述的線鋸切割機(jī)，其特征在于，所述導(dǎo)軌還設(shè)有供所述導(dǎo)輪滑動(dòng)的滑軌，所述滑軌可拆卸地連接在所述導(dǎo)軌槽內(nèi)。
4.如權(quán)利要求3所述的線鋸切割機(jī)，其特征在于，所述導(dǎo)軌槽的兩端設(shè)有卡部，所述滑軌卡接在所述卡部上。
5.如權(quán)利要求1至4任一項(xiàng)所述的線鋸切割機(jī)，其特征在于，所述線鋸切割機(jī)還包括用于承載娃塊的晶托。
6.如權(quán)利要求5所述的線鋸切割機(jī)，其特征在于，所述晶托設(shè)有朝向其頂面折彎設(shè)置的把手。
專利摘要本實(shí)用新型提供一種硅塊的線鋸切割機(jī)，能夠?qū)崿F(xiàn)大尺寸硅塊的直接切割，其切割效率較高、成本較低。所述線鋸切割機(jī)包括漿料嘴支架和用于對硅塊切割用鋼線噴灑漿料的漿料嘴，所述漿料嘴以其固定部與所述漿料嘴支架相連，所述漿料嘴支架還設(shè)有用于容納所述固定部的凹槽。本實(shí)用新型在漿料嘴支架上開設(shè)凹槽，以便將漿料嘴的固定部完全容納在所述凹槽內(nèi)，避免固定部占用線鋸切割室的內(nèi)部空間，從而擴(kuò)展了切割室的有效利用空間，使得大尺寸的硅塊能夠直接放置在切割室內(nèi)進(jìn)行切割，而無需對硅塊進(jìn)行去除頭尾的預(yù)切割加工；由于加工過程中去除了預(yù)切割的工序，則加工成本得以降低，硅塊切割的效率也有較大提高，還降低了硅塊在加工過程中的損害風(fēng)險(xiǎn)。
文檔編號B28D5/04GK202964939SQ20122071491
公開日2013年6月5日 申請日期2012年12月21日 優(yōu)先權(quán)日2012年12月21日
發(fā)明者蘇蘭虎, 張凱, 王康, 馬帥, 劉少輝, 王凱, 王世明 申請人:天津英利新能源有限公司