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一種硅片切割機(jī)放線軸承箱的制作方法

文檔序號(hào):1990845閱讀:387來源:國(guó)知局
專利名稱:一種硅片切割機(jī)放線軸承箱的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
本實(shí)用新型涉及硅片切割技術(shù),具體涉及一種硅片切割機(jī)的放線軸承箱。
背景技術(shù)
在硅片切割機(jī)中,放線軸承箱是切割機(jī)的重要部件,它是順利切割的保證與前提。由于現(xiàn)在一般硅片切割都是連續(xù)不間斷的作業(yè),在8小時(shí)的切割過程中軸承一直在高速運(yùn)動(dòng),很容易發(fā)熱,因此需要對(duì)其進(jìn)行散熱處理,但在散熱時(shí)既要避免軸承運(yùn)動(dòng)產(chǎn)生大量的熱量無法帶走,又要防止切割液的進(jìn)入,可以現(xiàn)有國(guó)內(nèi)的硅片切割機(jī)放線軸承箱對(duì)此都缺乏考慮,沒有達(dá)到此要求,因此經(jīng)常出現(xiàn)過熱現(xiàn)象。國(guó)外的放線輪軸承箱為了避免出現(xiàn)上述問題,普遍采取的是主軸分前后兩段,用螺絲固定,且一般都是采取主軸中空,加油壓方式,但是這種結(jié)構(gòu)復(fù)雜,而且為了保證兩段 軸的同心度,制作精度要求高,國(guó)內(nèi)制作水平難以達(dá)到。因此,需要對(duì)此加以改進(jìn)。

實(shí)用新型內(nèi)容針對(duì)現(xiàn)有硅片切割機(jī)放線軸承箱所存在的不足,本實(shí)用新型的目的是提供一種新的硅片切割機(jī)放線軸承箱,該種硅片切割機(jī)放線軸承箱既能有消散效軸承運(yùn)動(dòng)產(chǎn)生大量的熱量,又可有效防止切割液的進(jìn)入軸承箱內(nèi),且結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,適應(yīng)性強(qiáng)。實(shí)現(xiàn)本實(shí)用新型目的所采取的技術(shù)實(shí)施方案是一種硅片切割機(jī)放線軸承箱,包括一根主軸,主軸通過軸承安裝在殼體內(nèi),殼體的兩端分別安裝有前端蓋和后端蓋,由主軸、殼體與前端蓋和后端蓋組合在軸承所處的空腔內(nèi)形成一個(gè)封閉腔體;其特征在于,所述的主軸分兩段,其中位于殼體內(nèi)的部分為支撐段,在殼體和前端蓋以外的部分為工作段,所述的支撐段與工作段為連接在一起的一體結(jié)構(gòu);在殼體上設(shè)有壓縮空氣注入口,封閉腔體內(nèi)注入有壓縮空氣,并保證封閉腔體內(nèi)的壓力高于殼體外的外界的壓力。作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步技術(shù)實(shí)施方案,所述的軸承有兩個(gè),分別設(shè)在主軸支撐段的兩頭,且在兩軸承之間設(shè)有調(diào)整軸承之間距離的套筒,在前端軸承外圈的內(nèi)面位置設(shè)有調(diào)整墊,在后端軸承內(nèi)圈外的主軸位置設(shè)有鎖緊螺母。作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步技術(shù)實(shí)施方案,所述的前端蓋與殼體之間設(shè)有密封墊,密封墊延伸到軸承與主軸的軸間擋圈之間,在前端蓋與主軸的軸間擋圈之間還設(shè)有徑向密封圈,當(dāng)密封腔體內(nèi)的壓縮空氣超過徑向密封圈密封壓力時(shí)將通過徑向密封圈外泄,帶走軸承處的發(fā)熱熱量。作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步技術(shù)實(shí)施方案,所述的殼體外設(shè)有防震墊,防震墊緊套在殼體的外殼上。本實(shí)用新型的有益效果在于采取了主軸一體的方式,省去了油壓系統(tǒng),有效地確保了放線輪的長(zhǎng)周期運(yùn)行;且增加了進(jìn)氣裝置,在殼體內(nèi)采用了密閉腔體,并充入壓縮氣體,氣體從注入口進(jìn)入軸承箱,再由徑向密封處出來,這樣可以把部分由于軸承高速旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生的熱量帶走,又可防止切割液的進(jìn)入。

圖I為本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
下面將結(jié)合附圖和實(shí)施例度本實(shí)用新型做進(jìn)一步的描述。附圖I給出了本實(shí)用新型的一個(gè)具體實(shí)施例,通過附圖可以看出,本實(shí)用新型涉及一種硅片切割機(jī)放線軸承箱,包括一根主軸11,主軸11通過軸承5安裝在殼體14內(nèi),殼體14的兩端分別安裝有前端蓋3和后端蓋10,由主軸11、殼體14與前端蓋3和后端蓋10組合在軸承5所處的空腔內(nèi)形成一個(gè)封閉腔體;其特征在于,所述的主軸11分包括兩段,其中位于殼體14內(nèi)的部分為支撐段12,在殼體14和前端蓋3以外的部分為工作段1,所述的 支撐段12與工作段I為連接在一起的一體結(jié)構(gòu);在殼體14上設(shè)有壓縮空氣注入口 13,封閉腔體內(nèi)注入有壓縮空氣,并保證封閉腔體內(nèi)的壓力高于殼體14外的外界的壓力。作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步技術(shù)實(shí)施方案,所述的軸承5有兩個(gè),分別設(shè)在主軸支撐段12的兩頭,且在兩軸承之間設(shè)有調(diào)整軸承5之間距離的套筒7,在前端軸承外圈的內(nèi)面位置設(shè)有調(diào)整墊6,在后端軸承內(nèi)圈外的主軸位置設(shè)有鎖緊螺母9。作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步技術(shù)實(shí)施方案,所述的前端蓋3與殼體14之間設(shè)有密封墊4,密封墊4延伸到軸承5與主軸11的軸間擋圈之間,在前端蓋3與主軸11的軸間擋圈之間還設(shè)有徑向密封圈2,當(dāng)密封腔體內(nèi)的壓縮空氣超過徑向密封圈2密封壓力時(shí)將通過徑向密封圈2外泄,帶走軸承處的發(fā)熱熱量。作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步技術(shù)實(shí)施方案,所述的殼體14外設(shè)有防震墊8,防震墊8緊套在殼體14的外殼上。
權(quán)利要求1.一種娃片切割機(jī)放線軸承箱,包括一根主軸,主軸通過軸承安裝在殼體內(nèi),殼體的兩端分別安裝有前端蓋和后端蓋,由主軸、殼體與前端蓋和后端蓋組合在軸承所處的空腔內(nèi)形成一個(gè)封閉腔體;其特征在于,所述的主軸分兩段,其中位于殼體內(nèi)的部分為支撐段,在殼體和前端蓋以外的部分為工作段,所述的支撐段與工作段為連接在一起的一體結(jié)構(gòu);在殼體上設(shè)有壓縮空氣注入口,封閉腔體內(nèi)注入有壓縮空氣,并保證封閉腔體內(nèi)的壓力高于殼體外的外界的壓力。
2.如權(quán)利要求I所述的硅片切割機(jī)放線軸承箱,其特征在于,所述的軸承有兩個(gè),分別設(shè)在主軸支撐段的兩頭,且在兩軸承之間設(shè)有調(diào)整軸承之間距離的套筒,在前端軸承外圈的內(nèi)面位置設(shè)有調(diào)整墊,在后端軸承內(nèi)圈外的主軸位置設(shè)有鎖緊螺母。
3.如權(quán)利要求2所述的硅片切割機(jī)放線軸承箱,其特征在于,所述的前端蓋與殼體之間設(shè)有密封墊,密封墊延伸到軸承與主軸的軸間擋圈之間,在前端蓋與主軸的軸間擋圈之間還設(shè)有徑向密封圈,當(dāng)密封腔體內(nèi)的壓縮空氣超過徑向密封圈密封壓力時(shí)將通過徑向密封圈外泄,帶走軸承處的發(fā)熱熱量。
4.如權(quán)利要求4所述的硅片切割機(jī)放線軸承箱,其特征在于,所述的殼體外設(shè)有防震 墊,防震墊緊套在殼體的外殼上。
專利摘要一種硅片切割機(jī)放線軸承箱,包括一根主軸,主軸通過軸承安裝在殼體內(nèi),殼體的兩端分別安裝有前端蓋和后端蓋,由主軸、殼體與前端蓋和后端蓋組合在軸承所處的空腔內(nèi)形成一個(gè)封閉腔體;其特征在于,所述的主軸分兩段,其中位于殼體內(nèi)的部分為支撐段,在殼體和前端蓋以外的部分為工作段,所述的支撐段與工作段為連接在一起的一體結(jié)構(gòu);在殼體上設(shè)有壓縮空氣注入口,封閉腔體內(nèi)注入有壓縮空氣,并保證封閉腔體內(nèi)的壓力高于殼體外的外界的壓力。
文檔編號(hào)B28D5/04GK202592561SQ20122000003
公開日2012年12月12日 申請(qǐng)日期2012年1月1日 優(yōu)先權(quán)日2012年1月1日
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