專利名稱：石英晶片腐蝕機(jī)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種石英晶片腐蝕機(jī)。
背景技術(shù)：
石英晶片腐蝕機(jī)是用于給晶片腐蝕，使用時(shí)，將晶體片盛放在晶片籃，然后放在腐蝕液池中，搖動(dòng)晶片籃對晶片進(jìn)行腐蝕，腐蝕完后再把晶片籃放在清洗池中，搖動(dòng)進(jìn)行清洗?，F(xiàn)有技術(shù)中都是用手拿晶片籃，手動(dòng)搖動(dòng)進(jìn)行清洗，使用這種方式工人勞動(dòng)強(qiáng)度大，生產(chǎn)效率低。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是針對現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種結(jié)構(gòu)合理，生產(chǎn)效率高，無需人工自動(dòng)操作的石英晶片腐蝕機(jī)。本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是通過以下的技術(shù)方案來實(shí)現(xiàn)的，本發(fā)明是一種石英晶片腐蝕機(jī)，包括箱體，箱體內(nèi)設(shè)有腐蝕液池和清洗池,其特點(diǎn)是在腐蝕液池和清洗池之間的臺(tái)面上設(shè)有自動(dòng)清洗擺動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述的自動(dòng)清洗擺動(dòng)機(jī)構(gòu)包括與氣缸連接并驅(qū)動(dòng)其升降的支臂，支臂上端通過轉(zhuǎn)軸連接有橫梁，橫梁的前端連接有盛放晶片籃的清洗架，所述的橫梁內(nèi)設(shè)有相互哨合的主動(dòng)齒輪和從動(dòng)齒輪，主動(dòng)齒輪與橫梁上的驅(qū)動(dòng)電機(jī)輸出軸相連，從動(dòng)齒輪與清洗架相接；
在腐蝕液池和清洗池上方分別設(shè)有腐蝕液噴淋頭和清洗液噴淋頭，腐蝕液噴淋頭通過腐蝕液管路與腐蝕液池連接，腐蝕液管路上設(shè)有腐蝕液噴淋泵，清洗液噴淋頭通過清洗液管路與清洗池相連，清洗管路上設(shè)有清洗液噴淋泵。本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題還可以通過以下的技術(shù)方案來進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)，所述的箱體外設(shè)有腐蝕液儲(chǔ)存池，腐蝕液儲(chǔ)存池與腐蝕液池之間設(shè)有腐蝕液循環(huán)管路，循環(huán)管路上設(shè)有循環(huán)泵。本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題還可以通過以下的技術(shù)方案來進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)，所述的腐蝕液池的底部設(shè)有腐蝕液加熱裝置。本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題還可以通過以下的技術(shù)方案來進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)，所述的腐蝕液池下方設(shè)有與腐蝕液池連通的攪拌泵。本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題還可以通過以下的技術(shù)方案來進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)，所述的箱體上設(shè)有操作窗口，操作窗口上設(shè)有觀察玻璃窗。本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題還可以通過以下的技術(shù)方案來進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)，所述的箱體的頂部設(shè)有抽風(fēng)口，抽風(fēng)口通過抽風(fēng)管與箱體外的抽風(fēng)機(jī)連接。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明通過安裝自動(dòng)清洗擺動(dòng)機(jī)構(gòu)，可以使清洗架帶動(dòng)晶片籃在腐蝕液池和清洗池交替輪換，同時(shí)通過驅(qū)動(dòng)電機(jī)驅(qū)動(dòng)主動(dòng)齒輪和從動(dòng)齒輪，使清洗架實(shí)現(xiàn)360°自動(dòng)旋轉(zhuǎn)，清洗、腐蝕更均勻，從而取代了人工操作，提高了工作效率，降低了工人勞動(dòng)強(qiáng)度，通過腐蝕液噴淋頭和清洗液噴淋頭從上向下噴淋可以使石英晶片腐蝕均勻，水洗均勻。


圖I是本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖。圖2是圖I的左視結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施例方式以下參照附圖，進(jìn)一步描述本發(fā)明的具體技術(shù)方案，以便于本領(lǐng)域的技術(shù)人員進(jìn)一步地理解本發(fā)明，而不構(gòu)成對其權(quán)利的限制。參照附圖，一種石英晶片腐蝕機(jī)，包括箱體I,箱體I內(nèi)設(shè)有腐蝕液池10和清洗池 8，腐蝕液池10為酸洗池，清洗池8為水洗池，在腐蝕液池10和清洗池8之間的臺(tái)面上設(shè)有自動(dòng)清洗擺動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述的自動(dòng)清洗擺動(dòng)機(jī)構(gòu)包括與氣缸連接并驅(qū)動(dòng)其升降的支臂12,支臂12上端通過轉(zhuǎn)軸連接有橫梁14，橫梁14可以在腐蝕液池10和清洗池8上方來回旋轉(zhuǎn)擺動(dòng)，橫梁14的前端連接有盛放晶片籃的清洗架9，所述的橫梁14內(nèi)設(shè)有相互嚙合的主動(dòng)齒輪5和從動(dòng)齒輪13，主動(dòng)齒輪5與橫梁14上的驅(qū)動(dòng)電機(jī)輸出軸相連，從動(dòng)齒輪13與清洗架9相接，從而可以帶動(dòng)清洗架9實(shí)現(xiàn)360°旋轉(zhuǎn)。在腐蝕液池10和清洗池8上方分別設(shè)有腐蝕液噴淋頭4和清洗液噴淋頭7，腐蝕液噴淋頭4通過腐蝕液管路2與腐蝕液池10連接，腐蝕液管路2上設(shè)有腐蝕液噴淋泵，清洗液噴淋頭7通過清洗液管路6與清洗池8相連，清洗管路上設(shè)有清洗液噴淋泵，可以通過腐蝕液噴淋泵或清洗液噴淋泵使腐蝕液或清洗液從腐蝕液噴淋頭4或清洗液噴淋頭7中噴灑，從而使石英晶片腐蝕或清洗更均勻。箱體I外設(shè)有腐蝕液儲(chǔ)存池3，腐蝕液儲(chǔ)存池3與腐蝕液池10之間設(shè)有腐蝕液循環(huán)管路11，循環(huán)管路上設(shè)有循環(huán)泵。當(dāng)天氣冷時(shí)，防止腐蝕液結(jié)冰，應(yīng)此可以通過將腐蝕液循環(huán)來防止結(jié)冰，腐蝕液儲(chǔ)存池3內(nèi)也可以設(shè)有加熱裝置。腐蝕液池10的底部設(shè)有腐蝕液加熱裝置，當(dāng)腐蝕液溫度低時(shí)可以啟動(dòng)腐蝕液加熱裝置，腐蝕液加熱裝置可以為電爐絲。腐蝕液池10下方設(shè)有與腐蝕液池10連通的攪拌泵，啟動(dòng)攪拌泵，腐蝕液在腐蝕液池10中循環(huán)可以使腐蝕液溫度和濃度均勻。箱體I上設(shè)有操作窗口，操作窗口上設(shè)有觀察玻璃窗，在清洗或腐蝕的過程中關(guān)上觀察玻璃窗，防止腐蝕液濺出。整個(gè)石英晶片腐蝕機(jī)都是采用塑料制成。箱體I的頂部設(shè)有抽風(fēng)口，抽風(fēng)口通過抽風(fēng)管與箱體I外的抽風(fēng)機(jī)連接，可以將箱體I內(nèi)的腐蝕液霧氣抽出，防止傷害操作人員的。
權(quán)利要求
1.一種石英晶片腐蝕機(jī)，包括箱體，箱體內(nèi)設(shè)有腐蝕液池和清洗池，其特征在于在腐蝕液池和清洗池之間的臺(tái)面上設(shè)有自動(dòng)清洗擺動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述的自動(dòng)清洗擺動(dòng)機(jī)構(gòu)包括與氣缸連接并驅(qū)動(dòng)其升降的支臂，支臂上端通過轉(zhuǎn)軸連接有橫梁，橫梁的前端連接有盛放晶片籃的清洗架，所述的橫梁內(nèi)設(shè)有相互嚙合的主動(dòng)齒輪和從動(dòng)齒輪，主動(dòng)齒輪與橫梁上的驅(qū)動(dòng)電機(jī)輸出軸相連，從動(dòng)齒輪與清洗架相接； 在腐蝕液池和清洗池上方分別設(shè)有腐蝕液噴淋頭和清洗液噴淋頭，腐蝕液噴淋頭通過腐蝕液管路與腐蝕液池連接，腐蝕液管路上設(shè)有腐蝕液噴淋泵，清洗液噴淋頭通過清洗液管路與清洗池相連，清洗管路上設(shè)有清洗液噴淋泵。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的石英晶片腐蝕機(jī)，其特征在于所述的箱體外設(shè)有腐蝕液儲(chǔ)存池，腐蝕液儲(chǔ)存池與腐蝕液池之間設(shè)有腐蝕液循環(huán)管路，循環(huán)管路上設(shè)有循環(huán)泵。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的石英晶片腐蝕機(jī)，其特征在于所述的腐蝕液池的底部設(shè)有腐蝕液加熱裝置。
4.根據(jù)權(quán)利要求I所述的石英晶片腐蝕機(jī)，其特征在于所述的腐蝕液池下方設(shè)有與腐蝕液池連通的攪拌泵。
5.根據(jù)權(quán)利要求I所述的石英晶片腐蝕機(jī)，其特征在于所述的箱體上設(shè)有操作窗口，操作窗口上設(shè)有觀察玻璃窗。
6.根據(jù)權(quán)利要求I所述的石英晶片腐蝕機(jī)，其特征在于所述的箱體的頂部設(shè)有抽風(fēng)口，抽風(fēng)口通過抽風(fēng)管與箱體外的抽風(fēng)機(jī)連接。
全文摘要
本發(fā)明是一種石英晶片腐蝕機(jī)，包括箱體，箱體內(nèi)設(shè)有腐蝕液池和清洗池，在腐蝕液池和清洗池之間的臺(tái)面上設(shè)有自動(dòng)清洗擺動(dòng)機(jī)構(gòu)，自動(dòng)清洗擺動(dòng)機(jī)構(gòu)包括的支臂上端通過轉(zhuǎn)軸連接有橫梁，橫梁的前端連接有盛放晶片籃的清洗架，橫梁內(nèi)設(shè)有相互嚙合的主動(dòng)齒輪和從動(dòng)齒輪，主動(dòng)齒輪與橫梁上的驅(qū)動(dòng)電機(jī)輸出軸相連，從動(dòng)齒輪與清洗架相接；在腐蝕液池和清洗池上方分別設(shè)有與腐蝕液池連接的腐蝕液噴淋頭以及與清洗池相連的清洗液噴淋頭。本發(fā)明通過安裝自動(dòng)清洗擺動(dòng)機(jī)構(gòu)，可以使清洗架帶動(dòng)晶片籃在腐蝕液池和清洗池交替輪換，并使清洗架實(shí)現(xiàn)360°自動(dòng)旋轉(zhuǎn)，清洗、腐蝕更均勻，從而取代了人工操作，提高了工作效率，降低了工人勞動(dòng)強(qiáng)度。
文檔編號C03C15/00GK102910830SQ20121045919
公開日2013年2月6日 申請日期2012年11月15日 優(yōu)先權(quán)日2012年11月15日
發(fā)明者徐培炎 申請人:徐培炎