專利名稱：一種玻璃鍍膜倉(cāng)濺射室的綜合供氣管道的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種玻璃鍍膜倉(cāng)濺射室的供氣管道，尤其涉及的是一種玻璃鍍膜倉(cāng)濺射室的綜合供氣管道。
背景技術(shù)：
在玻璃鍍膜 的生產(chǎn)線上的濺射室中，由于磁場(chǎng)分布不均等原因，經(jīng)常出現(xiàn)靶材的濺射率在濺射室中分布不均的情形，需要通過(guò)調(diào)整供氣量對(duì)靶材的濺射率的均勻性進(jìn)行調(diào)節(jié)。如在濺射室中增加惰性氣體氬氣可以加快濺射速率，增加反應(yīng)氣體氧氣或者氮?dú)鈩t會(huì)降低濺射速率?，F(xiàn)有的玻璃鍍膜倉(cāng)濺射室的供氣管道通常只有一個(gè)進(jìn)氣口，所以一個(gè)供氣管道在同一時(shí)刻只能提供一種氣體，供氣方式單一，無(wú)法根據(jù)鍍膜的需要配制不同比例的混合氣體提供給濺射室。因此，現(xiàn)有技術(shù)還有待于改進(jìn)和發(fā)展。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于提供一種玻璃鍍膜倉(cāng)濺射室的綜合供氣管道，以解決上述現(xiàn)有技術(shù)中供氣管道供氣方式單一的技術(shù)問(wèn)題。本實(shí)用新型的技術(shù)方案如下一種玻璃鍍膜倉(cāng)濺射室的綜合供氣管道，包括第一進(jìn)氣管道、第二進(jìn)氣管道、第三進(jìn)氣管道、主供氣管道和三個(gè)以上分供氣管道，所述第一進(jìn)氣管道、第二進(jìn)氣管道和第三進(jìn)氣管道分別與主供氣管道連通；所述分供氣管道的一端與主供氣管道連通，另一端設(shè)置有兩個(gè)連通所述玻璃鍍膜倉(cāng)濺射室的出氣口。所述的玻璃鍍膜倉(cāng)濺射室的綜合供氣管道，其中，所述第一進(jìn)氣管道、第二進(jìn)氣管道和第三進(jìn)氣管道上分別設(shè)置有控制閥。所述的玻璃鍍膜倉(cāng)濺射室的綜合供氣管道，其中，所述第一進(jìn)氣管道、第二進(jìn)氣管道和第三進(jìn)氣管道上分別設(shè)置有流量監(jiān)控器。本實(shí)用新型通過(guò)在玻璃鍍膜倉(cāng)濺射室的供氣管道上的主供氣管道的進(jìn)氣端設(shè)置三個(gè)相互獨(dú)立的進(jìn)氣管道，使得該供氣管道能同時(shí)提供不同種類的氣體，并且，本實(shí)用新型還在每個(gè)進(jìn)氣管道上都設(shè)置有控制閥和流量監(jiān)控器，以準(zhǔn)確的控制供氣的流量，準(zhǔn)確配比所供混合氣體的比例。所以本實(shí)用新型一改以往供氣管道供氣方式單一的缺陷，實(shí)現(xiàn)了多方式供氣，還可精確控制所供氣體的流量。

圖I是本實(shí)用新型中玻璃鍍膜倉(cāng)濺射室的綜合供氣管道的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
為使本實(shí)用新型的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點(diǎn)更加清楚、明確，以下參照附圖并舉實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)ー步詳細(xì)說(shuō)明。本實(shí)施例提供ー種玻璃鍍膜倉(cāng)濺射室綜合供氣管道的結(jié)構(gòu)示意圖，如圖I所示，包括主供氣管道I、分供氣管道2、濺射室4，分供氣管道2與主供氣管道I連通，每支分供氣管道2的末端設(shè)置有兩個(gè)出氣ロ 3，出氣ロ 3與濺射室4連通。在主供氣管道I的進(jìn)氣端設(shè)置有三個(gè)進(jìn)氣管道分別為第一進(jìn)氣管道5、第二進(jìn)氣管道6和第三進(jìn)氣管道7。每個(gè)進(jìn)氣管道上還分別設(shè)置有控制閥8和流量監(jiān)控器9。在鍍膜過(guò)程中，氮?dú)?、氧氣和氬氣可分別從進(jìn)氣管道5、進(jìn)氣管道6和進(jìn)氣管道7中進(jìn)入主供氣管道1，再經(jīng)分供氣管道2、出氣ロ 3到達(dá)濺射室內(nèi)。另外，還可以通過(guò)流量監(jiān)控器9和控制閥8控制不同氣體的流量，達(dá)到精準(zhǔn)供氣的效果。由上述實(shí)施例可以看出，本實(shí)用新型提供的玻璃鍍膜倉(cāng)濺射室的綜合供氣管道，既可以像傳統(tǒng)的供氣管道一祥只提供単一的ー種氣體，也可以同時(shí)為濺射室提供不同的三 種常用氣體，改變了以往的単一供氣模式，實(shí)現(xiàn)了一個(gè)供氣管道多用的目的，而且各種氣體的供氣量還可以根據(jù)需要自行設(shè)定。應(yīng)當(dāng)理解的是，本實(shí)用新型的應(yīng)用不限于上述的舉例，對(duì)本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，可以根據(jù)上述說(shuō)明加以改進(jìn)或變換，例如，進(jìn)氣管道可以設(shè)置為三個(gè)以上、ー個(gè)分供氣管道也可以只設(shè)置一個(gè)出氣ロ等，所有這些改進(jìn)和變換都應(yīng)屬于本實(shí)用新型所附權(quán)利要求的保護(hù)范圍。
權(quán)利要求1.ー種玻璃鍍膜倉(cāng)濺射室的綜合供氣管道，其特征在于，包括第一進(jìn)氣管道、第二進(jìn)氣管道、第三進(jìn)氣管道、主供氣管道和三個(gè)以上分供氣管道，所述第一進(jìn)氣管道、第二進(jìn)氣管道和第三進(jìn)氣管道分別與主供氣管道連通；所述分供氣管道的一端與主供氣管道連通，另一端設(shè)置有兩個(gè)連通所述玻璃鍍膜倉(cāng)濺射室的出氣ロ。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的玻璃鍍膜倉(cāng)濺射室的綜合供氣管道，其特征在于，所述第一進(jìn)氣管道、第二進(jìn)氣管道和第三進(jìn)氣管道上分別設(shè)置有控制閥。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的玻璃鍍膜倉(cāng)濺射室的綜合供氣管道，其特征在于，所述第一進(jìn)氣管道、第二進(jìn)氣管道和第三進(jìn)氣管道上分別設(shè)置有流量監(jiān)控器。
專利摘要本實(shí)用新型公開(kāi)了一種玻璃鍍膜倉(cāng)濺射室的綜合供氣管道，包括第一進(jìn)氣管道、第二進(jìn)氣管道、第三進(jìn)氣管道、主供氣管道和三個(gè)以上分供氣管道，所述第一進(jìn)氣管道、第二進(jìn)氣管道和第三進(jìn)氣管道分別與主供氣管道連通；所述分供氣管道的一端與主供氣管道連通，另一端設(shè)置有兩個(gè)連通所述玻璃鍍膜倉(cāng)濺射室的出氣口。采用本實(shí)用新型可同時(shí)為濺射室提供三種不同的氣體，還可以通過(guò)在進(jìn)氣管道上設(shè)置控制閥和流量監(jiān)控器來(lái)精確控制所供氣體的流量。
文檔編號(hào)C03C17/00GK202400967SQ201120525759
公開(kāi)日2012年8月29日 申請(qǐng)日期2011年12月15日 優(yōu)先權(quán)日2011年12月15日
發(fā)明者張建 申請(qǐng)人:佛山市中南羅森玻璃有限公司