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晶體硅芯切割裝置的制作方法

文檔序號(hào):1864460閱讀:180來(lái)源:國(guó)知局
專利名稱:晶體硅芯切割裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
晶體硅芯切割裝置
技術(shù)領(lǐng)域
本實(shí)用新型涉及一種晶體硅芯柱體的加工設(shè)備,具體地說(shuō)本實(shí)用新型涉及一種晶體硅芯的切割裝置。
背景技術(shù)
目前,國(guó)內(nèi)生產(chǎn)多晶硅的工藝大部分都是常規(guī)三氯氫硅氫還原法,即改良西門子法,改良西門子法或其它類似方法生產(chǎn)大直徑多晶硅的主要設(shè)備是多晶硅還原爐,多晶硅還原爐在細(xì)長(zhǎng)的硅芯上通上電源,使硅芯加熱發(fā)紅,直至表明溫度達(dá)到1100攝氏度,通入高純的三氯氫硅和氫氣,使其在高溫下發(fā)生氫還原反應(yīng),使三氯氫硅中的硅分子堆積在硅芯上,使其的直徑不斷地增大,使硅芯的直徑達(dá)到7-10毫米的圓形或方形的柱體,或是其它的多角形和橢圓形柱體形狀,最終通過(guò)氫還原反應(yīng)使直徑不斷地增大到120-200毫米, 經(jīng)過(guò)后期加工生產(chǎn)出高純太陽(yáng)能級(jí)6N或電子級(jí)IlN的多晶硅。當(dāng)前,晶體硅材料(包括多晶硅和單晶硅)是最主要的光伏材料,其市場(chǎng)占有率在 90%以上,而且在今后相當(dāng)長(zhǎng)的一段時(shí)期也依然是太陽(yáng)能電池的主流材料。多晶硅材料的生產(chǎn)技術(shù)長(zhǎng)期以來(lái)掌握在美、日、德等3個(gè)國(guó)家7個(gè)公司的10家工廠手中,國(guó)內(nèi)的多晶硅加工企業(yè)使用的設(shè)備也大多為國(guó)外企業(yè)所生產(chǎn),不僅成本極高,而且在使用中受到設(shè)備設(shè)計(jì)不合理、結(jié)構(gòu)復(fù)雜及工藝的限制,使用狀態(tài)很不理想。多晶硅硅芯切割繞線工藝是硅芯切割中的核心部分。其硅芯切割是否能達(dá)到最佳效果,取決其繞線的方法。既要能正確地將金剛砂線來(lái)回繞成硅棒切割硅芯所需尺寸,又要簡(jiǎn)便,快速完成一次(整根硅棒方硅芯切割)的繞線。目前,多晶硅生產(chǎn)屬于朝陽(yáng)產(chǎn)業(yè),是太陽(yáng)能光伏產(chǎn)業(yè)的主要原料。鑒于其發(fā)展需要,為了提高工作效率,提高勞動(dòng)生產(chǎn)力,簡(jiǎn)化工藝是迫切需要解決的問(wèn)題。國(guó)內(nèi)、外的多晶硅硅棒切割工藝中其繞線方法極其復(fù)雜,不僅需經(jīng)專業(yè)培訓(xùn)的熟練人員(3-4名),花費(fèi)2-3 小時(shí)才能完成一次繞線,稍有不慎將無(wú)法進(jìn)行切割工作。而硅棒方硅芯切割是極其重要的環(huán)節(jié),切割過(guò)程頻繁(每日1-2次),同時(shí)現(xiàn)有的繞線方法其輔助結(jié)構(gòu)復(fù)雜,龐大,無(wú)法適應(yīng)多晶硅生產(chǎn)行業(yè)高速發(fā)展的需要。

發(fā)明內(nèi)容為了克服背景技術(shù)中的不足,本實(shí)用新型公開(kāi)了一種晶體硅芯切割裝置,所述晶體硅芯切割裝置通過(guò)利用兩根金剛砂線的往復(fù)行進(jìn)對(duì)硅棒進(jìn)行切割,實(shí)現(xiàn)了低成本對(duì)硅棒的切割,有效地克服了現(xiàn)有技術(shù)的無(wú)法快速切割方硅芯的弊端。實(shí)現(xiàn)本實(shí)用新型的技術(shù)方案如下一種晶體硅芯切割裝置,包括兩套過(guò)渡機(jī)構(gòu)和四個(gè)繞線輪,兩套過(guò)渡機(jī)構(gòu)分別包括一個(gè)軸座B和兩個(gè)繞線過(guò)渡輪;兩套過(guò)渡機(jī)構(gòu)中的一套設(shè)置在硅棒的前部與左側(cè)之間的角上,另一套設(shè)置在硅芯的后部與右側(cè)之間的角上,其中設(shè)置在硅棒的前部與左側(cè)之間角上軸座B的后部和右側(cè)分別設(shè)有繞線過(guò)渡輪,另一套設(shè)置在硅棒的后部與右側(cè)角上的軸座B的前部和左側(cè)分別設(shè)有繞線過(guò)渡輪,形成繞線過(guò)渡輪對(duì)硅棒的前、后、左、右側(cè)的合圍結(jié)構(gòu);在硅棒前、后設(shè)置的繞線過(guò)渡輪外側(cè)分別設(shè)有繞線輪,所述兩個(gè)繞線輪的任意一側(cè)分別設(shè)有軸座A,其中一個(gè)軸座A的另一側(cè)設(shè)有電機(jī)或外接動(dòng)力機(jī)構(gòu),在繞線過(guò)渡輪上分別設(shè)有復(fù)數(shù)個(gè)間隔環(huán)繞繞線過(guò)渡輪且相互對(duì)應(yīng)的線槽B,兩繞線過(guò)渡輪外側(cè)分別設(shè)置的繞線輪上分別設(shè)有與繞線過(guò)渡輪線槽B等同數(shù)量或繞線過(guò)渡輪線槽B半數(shù)或半數(shù)多一個(gè)的線槽A,金剛砂線環(huán)繞兩個(gè)繞線輪的線槽A后卡在兩個(gè)繞線過(guò)渡輪線槽B的上部,形成對(duì)硅棒的前、后多個(gè)等距切割;在硅棒左、右設(shè)置的繞線過(guò)渡輪外側(cè)分別設(shè)有繞線輪,所述兩個(gè)繞線輪的任意一側(cè)分別設(shè)有軸座A,其中一個(gè)軸座A的另一側(cè)設(shè)有電機(jī)或外接動(dòng)力機(jī)構(gòu),在繞線過(guò)渡輪上分別設(shè)有復(fù)數(shù)個(gè)間隔環(huán)繞繞線過(guò)渡輪且相互對(duì)應(yīng)的線槽B,兩繞線過(guò)渡輪外側(cè)分別設(shè)置的繞線輪上分別設(shè)有與繞線過(guò)渡輪線槽B等同數(shù)量或繞線過(guò)渡輪線槽B半數(shù)或半數(shù)多一個(gè)的線槽A,金剛砂線環(huán)繞兩個(gè)繞線輪的線槽A后卡在兩個(gè)繞線過(guò)渡輪線槽B的上部,形成對(duì)硅棒的左、右多個(gè)等距切割;其中硅棒的下端設(shè)有固定機(jī)構(gòu),所述硅棒的左、右多個(gè)等距切割與硅棒的前、后多個(gè)等距切割為一上一下切割形式。所述的晶體硅芯切割裝置,在硅棒前、后繞線過(guò)渡輪外側(cè)的繞線輪外側(cè)分別設(shè)有收線輪、放線輪;所述收線輪、放線輪分別固定在兩支撐桿上。所述的晶體硅芯切割裝置,在硅棒左、右繞線過(guò)渡輪外側(cè)的繞線輪外側(cè)分別設(shè)有收線輪、放線輪;所述收線輪、放線輪分別固定在兩支撐桿上。通過(guò)上述公開(kāi)內(nèi)容,本實(shí)用新型的有益效果是本實(shí)用新型所述的晶體硅芯切割裝置,通過(guò)利用兩根金剛砂線的往復(fù)行進(jìn)對(duì)硅棒進(jìn)行切割,實(shí)現(xiàn)了低成本對(duì)硅棒的切割,有效地克服了現(xiàn)有技術(shù)的無(wú)法快速切割方硅芯的弊端;本實(shí)用新型具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,所切割硅芯規(guī)范,成本低的優(yōu)點(diǎn)。

圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖;圖2是本實(shí)用新型的預(yù)緊機(jī)構(gòu)結(jié)構(gòu)示意圖;在圖中:1、軸座A ;2、線槽A ;3、繞線輪;4、固定板;5、金剛砂線;6、軸座B ;7、緊固螺栓;8、硅棒;9、繞線過(guò)渡輪;10、電機(jī);11、線槽B ;12、收線輪;13、支撐桿;14、縫隙。
具體實(shí)施方式下面結(jié)合實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行進(jìn)一步的說(shuō)明;下面的實(shí)施例并不是對(duì)于本實(shí)用新型的限定,僅作為支持實(shí)現(xiàn)本實(shí)用新型的方式,在本實(shí)用新型所公開(kāi)的技術(shù)框架內(nèi)的任意等同結(jié)構(gòu)替換,均為本實(shí)用新型的保護(hù)范圍;結(jié)合附圖1或2中所述的晶體硅芯切割裝置,包括兩套過(guò)渡機(jī)構(gòu)和四個(gè)繞線輪3, 兩套過(guò)渡機(jī)構(gòu)分別包括一個(gè)軸座B6和兩個(gè)繞線過(guò)渡輪9 ;兩套過(guò)渡機(jī)構(gòu)中的一套設(shè)置在硅棒8的前部與左側(cè)之間的角上,另一套設(shè)置在硅芯的后部與右側(cè)之間的角上,其中設(shè)置在硅棒8的前部與左側(cè)之間角上軸座B6的后部和右側(cè)分別設(shè)有繞線過(guò)渡輪9,另一套設(shè)置在硅棒8的后部與右側(cè)角上的軸座B6的前部和左側(cè)分別設(shè)有繞線過(guò)渡輪9,形成繞線過(guò)渡輪 9對(duì)硅棒8的前、后、左、右側(cè)的合圍結(jié)構(gòu);在硅棒8前、后設(shè)置的繞線過(guò)渡輪9外側(cè)分別設(shè)有繞線輪3,所述兩個(gè)繞線輪3的任意一側(cè)分別設(shè)有軸座Al,其中一個(gè)軸座Al的另一側(cè)設(shè)有電機(jī)10或外接動(dòng)力機(jī)構(gòu),在繞線過(guò)渡輪9上分別設(shè)有復(fù)數(shù)個(gè)間隔環(huán)繞繞線過(guò)渡輪9且相互對(duì)應(yīng)的線槽Bl 1,兩繞線過(guò)渡輪9外側(cè)分別設(shè)置的繞線輪3上分別設(shè)有與繞線過(guò)渡輪9線槽Bll等同數(shù)量或繞線過(guò)渡輪9線槽Bll半數(shù)或半數(shù)多一個(gè)的線槽A2,金剛砂線5環(huán)繞兩個(gè)繞線輪3的線槽A2后卡在兩個(gè)繞線過(guò)渡輪9線槽Bll的上部,形成對(duì)硅棒8的前、后多個(gè)等距切割;在硅棒8左、右設(shè)置的繞線過(guò)渡輪9外側(cè)分別設(shè)有繞線輪3,所述兩個(gè)繞線輪 3的任意一側(cè)分別設(shè)有軸座Al,其中一個(gè)軸座Al的另一側(cè)設(shè)有電機(jī)10或外接動(dòng)力機(jī)構(gòu),在繞線過(guò)渡輪9上分別設(shè)有復(fù)數(shù)個(gè)間隔環(huán)繞繞線過(guò)渡輪9且相互對(duì)應(yīng)的線槽Bl 1,兩繞線過(guò)渡輪9外側(cè)分別設(shè)置的繞線輪3上分別設(shè)有與繞線過(guò)渡輪9線槽Bll等同數(shù)量或繞線過(guò)渡輪 9線槽Bl 1半數(shù)或半數(shù)多一個(gè)的線槽A2,金剛砂線5環(huán)繞兩個(gè)繞線輪3的線槽A2后卡在兩個(gè)繞線過(guò)渡輪9線槽Bll的上部,形成對(duì)硅棒8的左、右多個(gè)等距切割;其中硅棒8的下端設(shè)有固定機(jī)構(gòu),所述硅棒8的左、右多個(gè)等距切割與硅棒8的前、后多個(gè)等距切割為一上一下切割形式。結(jié)合幅圖2所述的晶體硅芯切割裝置,在硅棒8前、后繞線過(guò)渡輪9外側(cè)的繞線輪 3外側(cè)分別設(shè)有收線輪12、放線輪;所述收線輪12、放線輪分別固定在兩支撐桿13上;在硅棒8左、右繞線過(guò)渡輪9外側(cè)的繞線輪3外側(cè)分別設(shè)有收線輪12、放線輪;所述收線輪12、 放線輪分別固定在兩支撐桿13上;需要說(shuō)明的是本實(shí)用新型附加的收線輪12、放線輪主要作用在于將金剛砂線5的兩端分別纏繞在收線輪12、放線輪上,也可通過(guò)繞線輪3直接代替收線輪12、放線輪。所述繞線過(guò)渡輪9的軸座B6、繞線輪3的軸座Al分別通過(guò)固定板4、緊固螺栓7固定。實(shí)施本實(shí)用新型所述的晶體硅芯切割裝置,由兩根金剛砂線5分別與硅棒8前、后外部的收線輪12、放線輪連接,一根金剛砂線5為硅棒8的一組切割設(shè)置,兩組形成橫、豎切割體系;將硅棒8的下端固定,由硅棒8的緩慢上行或兩組形成橫、豎切割體系的緩慢下降使硅棒8切割出縫隙14,最終形成多跟方硅芯,由于本實(shí)用新型的金剛砂線5采用來(lái)回巡環(huán)走向設(shè)置,所以不需增加其它的繞線輔助導(dǎo)向輪,就能根據(jù)切割要求保證其中心切割部分排列不同等距的切割尺寸的縫隙14。(可以排列7X7、9X9、11X11、14X14、18X18) —次切割成數(shù)量不等的硅芯棒;其中兩個(gè)具有電機(jī)10的繞線輪3為主動(dòng)輪。本實(shí)用新型未詳述部分為現(xiàn)有技術(shù)。
權(quán)利要求1.一種晶體硅芯切割裝置,包括兩套過(guò)渡機(jī)構(gòu)和四個(gè)繞線輪(3),兩套過(guò)渡機(jī)構(gòu)分別包括一個(gè)軸座B(6)和兩個(gè)繞線過(guò)渡輪(9),其特征是兩套過(guò)渡機(jī)構(gòu)中的一套設(shè)置在硅棒(8)的前部與左側(cè)之間的角上,另一套設(shè)置在硅芯的后部與右側(cè)之間的角上,其中設(shè)置在硅棒(8)的前部與左側(cè)之間角上軸座B (6)的后部和右側(cè)分別設(shè)有繞線過(guò)渡輪(9),另一套設(shè)置在硅棒(8)的后部與右側(cè)角上的軸座B (6)的前部和左側(cè)分別設(shè)有繞線過(guò)渡輪(9),形成繞線過(guò)渡輪(9)對(duì)硅棒(8)的前、后、左、右側(cè)的合圍結(jié)構(gòu);在硅棒(8)前、后設(shè)置的繞線過(guò)渡輪(9)外側(cè)分別設(shè)有繞線輪(3),所述兩個(gè)繞線輪(3)的任意一側(cè)分別設(shè)有軸座A(I),其中一個(gè)軸座A(I)的另一側(cè)設(shè)有電機(jī)(10)或外接動(dòng)力機(jī)構(gòu),在繞線過(guò)渡輪(9)上分別設(shè)有復(fù)數(shù)個(gè)間隔環(huán)繞繞線過(guò)渡輪(9)且相互對(duì)應(yīng)的線槽B(ll),兩繞線過(guò)渡輪(9)外側(cè)分別設(shè)置的繞線輪(3)上分別設(shè)有與繞線過(guò)渡輪(9)線槽B(Il)等同數(shù)量或繞線過(guò)渡輪(9)線槽 B(Il)半數(shù)或半數(shù)多一個(gè)的線槽AO),金剛砂線(5)環(huán)繞兩個(gè)繞線輪(3)的線槽A(2)后卡在兩個(gè)繞線過(guò)渡輪(9)線槽B(Il)的上部,形成對(duì)硅棒(8)的前、后多個(gè)等距切割;在硅棒 ⑶左、右設(shè)置的繞線過(guò)渡輪(9)外側(cè)分別設(shè)有繞線輪(3),所述兩個(gè)繞線輪(3)的任意一側(cè)分別設(shè)有軸座A(I),其中一個(gè)軸座A(I)的另一側(cè)設(shè)有電機(jī)(10)或外接動(dòng)力機(jī)構(gòu),在繞線過(guò)渡輪(9)上分別設(shè)有復(fù)數(shù)個(gè)間隔環(huán)繞繞線過(guò)渡輪(9)且相互對(duì)應(yīng)的線槽B(ll),兩繞線過(guò)渡輪(9)外側(cè)分別設(shè)置的繞線輪(3)上分別設(shè)有與繞線過(guò)渡輪(9)線槽B(Il)等同數(shù)量或繞線過(guò)渡輪(9)線槽B (11)半數(shù)或半數(shù)多一個(gè)的線槽A O),金剛砂線(5)環(huán)繞兩個(gè)繞線輪(3)的線槽A(2)后卡在兩個(gè)繞線過(guò)渡輪(9)線槽B(Il)的上部,形成對(duì)硅棒(8)的左、 右多個(gè)等距切割;其中硅棒(8)的下端設(shè)有固定機(jī)構(gòu),所述硅棒(8)的左、右多個(gè)等距切割與硅棒(8)的前、后多個(gè)等距切割為一上一下切割形式。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶體硅芯切割裝置,其特征是在硅棒(8)前、后繞線過(guò)渡輪(9)外側(cè)的繞線輪(3)外側(cè)分別設(shè)有收線輪(12)、放線輪;所述收線輪(12)、放線輪分別固定在兩支撐桿(1 上。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶體硅芯切割裝置,其特征是在硅棒(8)左、右繞線過(guò)渡輪 (9)外側(cè)的繞線輪(3)外側(cè)分別設(shè)有收線輪(12)、放線輪;所述收線輪(12)、放線輪分別固定在兩支撐桿(1 上。
專利摘要一種晶體硅芯切割裝置,涉及一種晶體硅芯柱體的加工設(shè)備,兩套過(guò)渡機(jī)構(gòu)形成繞線過(guò)渡輪(9)對(duì)硅棒(8)的前、后、左、右側(cè)的合圍結(jié)構(gòu);四個(gè)繞線輪(3)的其中兩個(gè)軸座A(1)的另一側(cè)設(shè)有電機(jī)(10)或外接動(dòng)力機(jī)構(gòu),金剛砂線(5)環(huán)繞兩個(gè)繞線輪(3)的線槽A(2)后卡在兩個(gè)繞線過(guò)渡輪(9)線槽B(11)的上部,形成對(duì)硅棒(8)的左、右多個(gè)等距切割;本實(shí)用新型通過(guò)利用兩根金剛砂線的往復(fù)行進(jìn)對(duì)硅棒進(jìn)行切割,實(shí)現(xiàn)了低成本對(duì)硅棒的切割,有效地克服了現(xiàn)有技術(shù)的無(wú)法快速切割方硅芯的弊端;本實(shí)用新型具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,所切割硅芯規(guī)范,成本低的優(yōu)點(diǎn)。
文檔編號(hào)B28D5/04GK202155964SQ20112025653
公開(kāi)日2012年3月7日 申請(qǐng)日期2011年7月20日 優(yōu)先權(quán)日2011年7月20日
發(fā)明者周志龍, 王世兵, 趙中州, 趙春燕 申請(qǐng)人:洛陽(yáng)佑?xùn)|光電設(shè)備有限公司
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