專利名稱：一種臥式收放線張力控制機(jī)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型屬于多線切割機(jī)領(lǐng)域，具體的涉及一種一種臥式收放線張力控制機(jī)構(gòu)。
背景技術(shù)：
多線切割技術(shù)是目前世界上比較先進(jìn)的硅片加工技術(shù)，它的原理是通過(guò)一根高速運(yùn)動(dòng)的鋼線帶動(dòng)附著在鋼絲上的切割刃料對(duì)半導(dǎo)體等硬脆材料進(jìn)行摩擦，從而達(dá)到切割效果。在整個(gè)過(guò)程中，鋼線通過(guò)十幾個(gè)導(dǎo)線輪的引導(dǎo)，在主線輥上形成一張線網(wǎng)，而待加工工件通過(guò)工作臺(tái)的上升下降實(shí)現(xiàn)工件的進(jìn)給，可將半導(dǎo)體等硬脆材料一次同時(shí)切割為數(shù)百片，多線切割技術(shù)與其他技術(shù)相比有效率高，產(chǎn)能高，精度高等優(yōu)點(diǎn)。已逐漸取代了傳統(tǒng)的刀鋸片、砂輪片及內(nèi)圓切割，是目前采用最廣泛的半導(dǎo)體等硬脆材料切割技術(shù)。多線切割機(jī)在一定速度下的鋼線張力精確控制是關(guān)鍵的、必要的。第一要有快速的張力變動(dòng)響應(yīng)，保證切削時(shí)恒定的鋼線張力；第二需要收線和放線有單獨(dú)的排線結(jié)構(gòu)，拓寬工藝路線；第三需要可靠斷線檢測(cè)功能，確保意外斷線后及時(shí)停車；第四盡量簡(jiǎn)化結(jié)構(gòu)， 減少過(guò)線導(dǎo)輪數(shù)量，降低斷線幾率。在現(xiàn)有產(chǎn)品中過(guò)線輪結(jié)構(gòu)不合理，由于過(guò)線輪的失效導(dǎo)致的斷線幾率較高，且在斷線后沒(méi)有可靠的斷線檢測(cè)手段。

實(shí)用新型內(nèi)容為克服現(xiàn)有技術(shù)中的不足，本實(shí)用新型旨在提供一種臥式收放線張力控制機(jī)構(gòu)， 該機(jī)構(gòu)實(shí)現(xiàn)線切割機(jī)鋼線張力的精確控制，提高鋼線張力控制的可靠性，提升整體性能。為實(shí)現(xiàn)上述技術(shù)目的，達(dá)到上述技術(shù)效果，本實(shí)用新型通過(guò)以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)一種臥式收放線張力控制機(jī)構(gòu)，包括基板，還包括一鋼線，所述鋼線由放線輥、長(zhǎng)導(dǎo)線輪、放線排線導(dǎo)線輪、放線張力測(cè)量導(dǎo)輪、放線排線控制導(dǎo)輪控制放線側(cè)張力；所述鋼線由切削室導(dǎo)出后，經(jīng)收線張力控制導(dǎo)輪、收線張力測(cè)量導(dǎo)輪、收線排線導(dǎo)輪和收線輥控制收線側(cè)張力；限位柱固聯(lián)于所述張力控制導(dǎo)輪和放線排線控制導(dǎo)論兩側(cè)；防轉(zhuǎn)塊固聯(lián)于所述基板上，位于所述放線輥和收線輥?zhàn)笊戏?。進(jìn)一步的，所述收線輥由左右兩處的錐頭支撐在軸上，通過(guò)螺栓、壓塊和蝶簧軸向定位；所述軸經(jīng)聯(lián)第一軸器與第一電機(jī)連接；同時(shí)所述軸由左右兩處的軸承支撐于軸承座上，所述軸承座通過(guò)端面絕緣墊、第一絕緣襯套和第二絕緣襯套固聯(lián)于所述基板上；所述第一電機(jī)通過(guò)聯(lián)結(jié)法蘭固聯(lián)于所述基板。進(jìn)一步的，所述收線排線導(dǎo)輪通過(guò)軸承支撐于導(dǎo)輪軸，所述導(dǎo)輪軸固聯(lián)于直線軸， 所述直線軸通過(guò)固定座、第一連桿和連板與絲桿固聯(lián)，并由軸線軸承支撐于所述基板上；所述絲桿經(jīng)第二聯(lián)軸器與第二電機(jī)相連，并由左右兩處的軸承支撐于支架上，所述支架固聯(lián)于所述基板。進(jìn)一步的，所述收線張力控制導(dǎo)輪由軸承支撐于導(dǎo)輪軸上，并通過(guò)第二連桿、接軸固接于第三電機(jī)，所述第三電機(jī)固聯(lián)于所述基板。[0010]進(jìn)一步的，所述防轉(zhuǎn)塊內(nèi)部開(kāi)有通孔，防轉(zhuǎn)桿在所述通孔內(nèi)自由滑動(dòng)，限位桿固聯(lián)于所述防轉(zhuǎn)桿上。進(jìn)一步的，絕緣碳刷支架固聯(lián)于所述聯(lián)結(jié)法蘭上，碳刷座固聯(lián)于所述絕緣碳刷支架上，碳刷安裝在所述碳刷座內(nèi)，所述碳刷座與刷環(huán)固連，所述刷環(huán)與軸固聯(lián)；壓指通過(guò)銷鉸接于所述絕緣碳刷支架上，并通過(guò)固定在支桿上彈簧施加壓力于碳刷。進(jìn)一步的，所述長(zhǎng)導(dǎo)線輪由軸承支撐于空軸上，所述空軸與所述基板固聯(lián)。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型具有以下有益效果本實(shí)用新型采用伺服拖動(dòng)控制鋼線張力，實(shí)現(xiàn)鋼線高速下張力的精確控制；采用獨(dú)立的收放線排線結(jié)構(gòu)，提升了工藝的靈活性；簡(jiǎn)化了過(guò)線導(dǎo)輪的空間布局，降低了斷線的幾率。上述說(shuō)明僅是本實(shí)用新型技術(shù)方案的概述，為了能夠更清楚了解本實(shí)用新型的技術(shù)手段，并可依照說(shuō)明書(shū)的內(nèi)容予以實(shí)施，以下以本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例并配合附圖詳細(xì)說(shuō)明如后。本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式
由以下實(shí)施例及其附圖詳細(xì)給出。

此處所說(shuō)明的附圖用來(lái)提供對(duì)本實(shí)用新型的進(jìn)一步理解，構(gòu)成本申請(qǐng)的一部分， 本實(shí)用新型的示意性實(shí)施例及其說(shuō)明用于解釋本實(shí)用新型，并不構(gòu)成對(duì)本實(shí)用新型的不當(dāng)限定。在附圖中圖1示出了本實(shí)用新型的外部結(jié)構(gòu)示意圖。圖2示出了圖1中K-K的剖視圖。圖3示出了圖2中L-L的剖視圖。圖4示出了圖1中N-N的剖視圖。圖中標(biāo)號(hào)說(shuō)明1、基板；2、放線輥；3、長(zhǎng)導(dǎo)線輪；4、放線排線導(dǎo)線輪；5、放線張力測(cè)量導(dǎo)輪；6、放線排線控制導(dǎo)輪；7、限位柱；8、防轉(zhuǎn)塊；9、收線輥；10、收線排線導(dǎo)輪；11、 收線張力測(cè)量導(dǎo)輪；12、收線張力控制導(dǎo)輪；13、鋼線；14、錐頭；15、螺栓；16、蝶簧；17、壓塊；20、第一絕緣襯套；21、第二絕緣襯套；22、端面絕緣墊；23、聯(lián)結(jié)法蘭；24、第一聯(lián)軸器； 25、第一電機(jī)；26、軸承座；27、軸；29、導(dǎo)輪軸；30、直線軸；31、軸線軸承；32、固定座；33、第一連桿；34、連板；35、絲桿；36、第二聯(lián)軸器；37、第二電機(jī)；40、支架；42、導(dǎo)輪軸；43、第二連桿；44、接軸；45、第三電機(jī)；46、防轉(zhuǎn)桿；47、限位桿；48、絕緣碳刷支架；49、壓指；50、彈簧；51、支桿；52、銷；53、碳刷座；54、碳刷；55、刷環(huán)；56、軸承；57、空軸。
具體實(shí)施方式
下面將參考附圖并結(jié)合實(shí)施例，來(lái)詳細(xì)說(shuō)明本實(shí)用新型。參見(jiàn)圖1所示，一種臥式收放線張力控制機(jī)構(gòu)，包括基板1，還包括一鋼線13，所述鋼線13由放線輥2、長(zhǎng)導(dǎo)線輪3、放線排線導(dǎo)線輪4、放線張力測(cè)量導(dǎo)輪5、放線排線控制導(dǎo)輪6控制放線側(cè)張力；所述鋼線13由切削室導(dǎo)出后，經(jīng)收線張力控制導(dǎo)輪12、收線張力測(cè)量導(dǎo)輪11、收線排線導(dǎo)輪10和收線輥9控制收線側(cè)張力；限位柱7固聯(lián)于所述張力控制導(dǎo)輪12和放線排線控制導(dǎo)論6兩側(cè)；防轉(zhuǎn)塊8固聯(lián)于所述基板1上，位于所述放線輥2和收線輥9左上方。[0024]進(jìn)一步的，參見(jiàn)圖2所示，所述收線輥9由左右兩處的錐頭14支撐在軸27上，通過(guò)螺栓15、壓塊17和蝶簧16軸向定位；所述軸27經(jīng)聯(lián)第一軸器24與第一電機(jī)25連接； 同時(shí)所述軸27由左右兩處的軸承支撐于軸承座26上，所述軸承座26通過(guò)端面絕緣墊22、 第一絕緣襯套20和第二絕緣襯套21固聯(lián)于所述基板1上；所述第一電機(jī)25通過(guò)聯(lián)結(jié)法蘭 23固聯(lián)于所述基板1。進(jìn)一步的，參見(jiàn)圖2所示，所述收線排線導(dǎo)輪10通過(guò)軸承支撐于導(dǎo)輪軸29，所述導(dǎo)輪軸29固聯(lián)于直線軸30，所述直線軸30通過(guò)固定座32、第一連桿33和連板34與絲桿35 固聯(lián)，并由軸線軸承31支撐于所述基板1上；所述絲桿35經(jīng)第二聯(lián)軸器36與第二電機(jī)37 相連，并由左右兩處的軸承支撐于支架40上，所述支架40固聯(lián)于所述基板1。進(jìn)一步的，參見(jiàn)圖2所示，所述收線張力控制導(dǎo)輪12由軸承支撐于導(dǎo)輪軸42上， 并通過(guò)第二連桿43、接軸44固接于第三電機(jī)45，所述第三電機(jī)45固聯(lián)于所述基板1。進(jìn)一步的，參見(jiàn)圖2所示，所述防轉(zhuǎn)塊8內(nèi)部開(kāi)有通孔，防轉(zhuǎn)桿46在所述通孔內(nèi)自由滑動(dòng)，限位桿47固聯(lián)于所述防轉(zhuǎn)桿46上。進(jìn)一步的，參見(jiàn)圖3所示，絕緣碳刷支架48固聯(lián)于所述聯(lián)結(jié)法蘭23上，碳刷座53 固聯(lián)于所述絕緣碳刷支架48上，碳刷54安裝在所述碳刷座53內(nèi)，所述碳刷座53與刷環(huán)55 固連，所述刷環(huán)55與軸27固聯(lián)；壓指49通過(guò)銷52鉸接于所述絕緣碳刷支架48上，并通過(guò)固定在支桿51上彈簧50施加壓力于碳刷54。進(jìn)一步的，參見(jiàn)圖4所示，所述長(zhǎng)導(dǎo)線輪3由軸承支撐于空軸57上，所述空軸57 與所述基板1固聯(lián)。以上所述僅為本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例而已，并不用于限制本實(shí)用新型，對(duì)于本領(lǐng)域的技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，本實(shí)用新型可以有各種更改和變化。凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種臥式收放線張力控制機(jī)構(gòu)，包括基板(1)，其特征在于還包括一鋼線(13)，所述鋼線(13)由放線輥O)、長(zhǎng)導(dǎo)線輪(3)、放線排線導(dǎo)線輪G)、放線張力測(cè)量導(dǎo)輪(5)、放線排線控制導(dǎo)輪(6)控制放線側(cè)張力；所述鋼線(13)由切削室導(dǎo)出后，經(jīng)收線張力控制導(dǎo)輪(12)、收線張力測(cè)量導(dǎo)輪(11)、收線排線導(dǎo)輪(10)和收線輥(9)控制收線側(cè)張力；限位柱(7)固聯(lián)于所述張力控制導(dǎo)輪(12)和放線排線控制導(dǎo)論(6)兩側(cè)；防轉(zhuǎn)塊(8)固聯(lián)于所述基板(1)上，位于所述放線輥(2)和收線輥(9)左上方。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的臥式收放線張力控制機(jī)構(gòu)，其特征在于所述收線輥(9)由左右兩處的錐頭(14)支撐在軸(XT)上，通過(guò)螺栓(15)、壓塊(17)和蝶簧(16)軸向定位； 所述軸(XT)經(jīng)聯(lián)第一軸器04)與第一電機(jī)0 連接；同時(shí)所述軸(XT)由左右兩處的軸承支撐于軸承座06)上，所述軸承座06)通過(guò)端面絕緣墊(22)、第一絕緣襯套OO)和第二絕緣襯套固聯(lián)于所述基板(1)上；所述第一電機(jī)05)通過(guò)聯(lián)結(jié)法蘭03)固聯(lián)于所述基板(1)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的臥式收放線張力控制機(jī)構(gòu)，其特征在于所述收線排線導(dǎo)輪 (10)通過(guò)軸承支撐于導(dǎo)輪軸( )，所述導(dǎo)輪軸09)固聯(lián)于直線軸(30)，所述直線軸(30) 通過(guò)固定座(32)、第一連桿(33)和連板(34)與絲桿(35)固聯(lián)，并由軸線軸承(31)支撐于所述基板(1)上；所述絲桿(3 經(jīng)第二聯(lián)軸器(36)與第二電機(jī)(37)相連，并由左右兩處的軸承支撐于支架GO)上，所述支架00)固聯(lián)于所述基板(1)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的臥式收放線張力控制機(jī)構(gòu)，其特征在于所述收線張力控制導(dǎo)輪(12)由軸承支撐于導(dǎo)輪軸G2)上，并通過(guò)第二連桿(43)、接軸04)固接于第三電機(jī) (45)，所述第三電機(jī)0 固聯(lián)于所述基板(1)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的臥式收放線張力控制機(jī)構(gòu)，其特征在于所述防轉(zhuǎn)塊(8)內(nèi)部開(kāi)有通孔，防轉(zhuǎn)桿G6)在所述通孔內(nèi)自由滑動(dòng)，限位桿07)固聯(lián)于所述防轉(zhuǎn)桿G6)上。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的臥式收放線張力控制機(jī)構(gòu)，其特征在于絕緣碳刷支架G8) 固聯(lián)于所述聯(lián)結(jié)法蘭03)上，碳刷座(53)固聯(lián)于所述絕緣碳刷支架G8)上，碳刷(54)安裝在所述碳刷座(53)內(nèi)，所述碳刷座(53)與刷環(huán)(55)固連，所述刷環(huán)(55)與軸(27)固聯(lián)；壓指G9)通過(guò)銷(5 鉸接于所述絕緣碳刷支架G8)上，并通過(guò)固定在支桿(51)上彈簧(50)施加壓力于碳刷(54)。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的臥式收放線張力控制機(jī)構(gòu)，其特征在于所述長(zhǎng)導(dǎo)線輪(3) 由軸承支撐于空軸(57)上，所述空軸(57)與所述基板(1)固聯(lián)。
專利摘要本實(shí)用新型公開(kāi)了一種臥式收放線張力控制機(jī)構(gòu)，包括基板，還包括一鋼線，所述鋼線由放線輥、長(zhǎng)導(dǎo)線輪、放線排線導(dǎo)線輪、放線張力測(cè)量導(dǎo)輪、放線排線控制導(dǎo)輪控制放線側(cè)張力；所述鋼線由切削室導(dǎo)出后，經(jīng)收線張力控制導(dǎo)輪、收線張力測(cè)量導(dǎo)輪、收線排線導(dǎo)輪和收線輥控制收線側(cè)張力；限位柱固聯(lián)于所述張力控制導(dǎo)輪和放線排線控制導(dǎo)論兩側(cè)；防轉(zhuǎn)塊固聯(lián)于所述基板上，位于所述放線輥和收線輥?zhàn)笊戏?。本?shí)用新型采用伺服拖動(dòng)控制鋼線張力，實(shí)現(xiàn)鋼線高速下張力的精確控制；采用獨(dú)立的收放線排線結(jié)構(gòu)，提升了工藝的靈活性；簡(jiǎn)化了過(guò)線導(dǎo)輪的空間布局，降低了斷線的幾率。
文檔編號(hào)B28D7/00GK202062533SQ201120070288
公開(kāi)日2011年12月7日 申請(qǐng)日期2011年3月17日 優(yōu)先權(quán)日2011年3月17日
發(fā)明者張寶玉, 金萬(wàn)斌 申請(qǐng)人:蘇州赫瑞特電子專用設(shè)備科技有限公司