專(zhuān)利名稱(chēng)：多孔質(zhì)玻璃母材的制造裝置以及多孔質(zhì)玻璃母材的制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種多孔質(zhì)玻璃母材的制造裝置以及多孔質(zhì)玻璃母材的制造方法，其利用設(shè)置在反應(yīng)容器上的大于或等于一根噴管，將含有玻璃原料氣體以及燃燒氣體等的反應(yīng)氣體噴出，使生成的玻璃微粒在標(biāo)靶上堆疊。
背景技術(shù)：
作為光纖用多孔質(zhì)玻璃母材的制造方法的代表，已知外部氣相沉積法(Outside vapor deposition method ；OVD ) , ^ B^iW^jsiJLiRfe (Multi-burner multi-layer deposition method ；MMD法)。在這些制造方法中，從在反應(yīng)容器的玻璃微粒合成用噴管側(cè)開(kāi)口的空氣導(dǎo)入口，向反應(yīng)容器內(nèi)流入凈化空氣，將凈化空氣從在反應(yīng)容器的與空氣導(dǎo)入口相對(duì)的位置開(kāi)口的排氣口與剩余碳煙一起排出。此時(shí)，為了使玻璃微粒穩(wěn)定地堆疊而高效地生產(chǎn)高品質(zhì)的多孔質(zhì)玻璃母材，重要的是使噴管的火焰穩(wěn)定，提高堆疊效率。在日本特開(kāi)2006-248884號(hào)公報(bào)中，記載了下述多孔質(zhì)玻璃母材的制造方法以及制造裝置，其在凈化空氣供給室的開(kāi)口部上安裝網(wǎng)狀的整流板，通過(guò)對(duì)從噴管的周?chē)驑?biāo)靶而整流的凈化空氣的供給流速進(jìn)行控制，從而可以抑制不良部位的產(chǎn)生，高效且穩(wěn)定地制造多孔質(zhì)玻璃母材。作為整流板，例示出通過(guò)將多個(gè)網(wǎng)狀的板或蜂窩形狀的板重疊，或者將大量筒排列而形成大量?jī)艋諝獾耐返恼靼濉Ｓ捎趶膰姽芮岸酥撂紵燇w合成部的距離是根據(jù)噴管的設(shè)計(jì)條件而確定最佳長(zhǎng)度的，所以有時(shí)隨著碳煙體的母材直徑增大，使噴管后退。在日本特開(kāi)2003-238167號(hào)公報(bào)中記載了下述多孔質(zhì)玻璃母材的制造方法以及制造裝置，其使反應(yīng)容器的壁形成為可變構(gòu)造，并且可移動(dòng)地設(shè)置噴管，通過(guò)對(duì)反應(yīng)容器內(nèi)的條件進(jìn)行適當(dāng)控制，從而即使在投入的原料氣體量增加的情況下，也將裝置系統(tǒng)的變更限制在最小限度，提高玻璃微粒的堆疊效率。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于，提供一種多孔質(zhì)玻璃母材的制造裝置以及多孔質(zhì)玻璃母材的制造方法，其可以提高堆疊速度，并且得到穩(wěn)定的外徑。為了實(shí)現(xiàn)目的，本發(fā)明提供一種多孔質(zhì)玻璃母材的制造裝置，其包含(1)反應(yīng)容器，其收容標(biāo)靶，具有隔著標(biāo)靶而相對(duì)的第一壁面和第二壁面；( 噴管，其將玻璃微粒向標(biāo)靶噴出；以及C3)移動(dòng)單元，其使標(biāo)靶相對(duì)于噴管沿標(biāo)靶的長(zhǎng)度方向相對(duì)地往復(fù)運(yùn)動(dòng)，第一壁面具有作為凈化空氣的導(dǎo)入口的整流部，第二壁面具有排氣部，噴管貫穿整流部，該制造裝置的特征在于，包含(4)噴管驅(qū)動(dòng)部，其使噴管相對(duì)于標(biāo)靶沿前后方向移動(dòng)；( 密閉機(jī)構(gòu)，其在從整流部后退后的位置處將噴管和整流部之間的間隙閉塞。整流部的具體例為網(wǎng)狀板、沖孔金屬板、百葉板。優(yōu)選整流部和多孔質(zhì)玻璃母材的表面之間的距離的最小值大于或等于IOOmrn而小于或等于200mm。密閉機(jī)構(gòu)的一種方式為，具有筒體，其套在噴管的外部，前端開(kāi)口部固定在整流部上；以及環(huán)狀密封部件，其設(shè)置在筒體的后端開(kāi)口部處，與噴管的外周滑動(dòng)接觸。在此情況下，優(yōu)選筒體的長(zhǎng)度大于或等于 150mm。作為發(fā)明的第二方式，提供一種多孔質(zhì)玻璃母材的制造方法，在該方法中，使標(biāo)靶相對(duì)于噴管相對(duì)地往復(fù)運(yùn)動(dòng)，將玻璃微粒向標(biāo)靶上堆疊，該制造方法的特征在于，從凈化空氣的導(dǎo)入口、即整流部噴出凈化空氣，在從整流部后退后的位置處將整流部與噴管之間的間隙閉塞，同時(shí)隨著由于堆疊而導(dǎo)致的標(biāo)靶的擴(kuò)徑，使噴管后退，其中，整流部位于反應(yīng)容器內(nèi)的與標(biāo)靶分離配置的壁面上，噴管貫穿整流部。發(fā)明的效果根據(jù)本發(fā)明所涉及的多孔質(zhì)玻璃母材的制造裝置以及多孔質(zhì)玻璃母材的制造方法，由于可以穩(wěn)定地供給來(lái)自整流部的整流后的凈化空氣，所以可以提高多孔質(zhì)玻璃母材的堆疊速度，并且得到穩(wěn)定的外徑。


圖1是本發(fā)明所涉及的多孔質(zhì)玻璃母材的制造裝置的實(shí)施方式的概念圖。圖2是說(shuō)明圖1的多孔質(zhì)玻璃母材的制造裝置中的密閉機(jī)構(gòu)的局部剖面圖。圖3是說(shuō)明對(duì)比例A所涉及的多孔質(zhì)玻璃母材的制造的概念圖。圖4是說(shuō)明對(duì)比例B所涉及的多孔質(zhì)玻璃母材的制造的概念圖。圖5是說(shuō)明實(shí)施例所涉及的多孔質(zhì)玻璃母材的制造的概念圖。
具體實(shí)施例方式下面，參照附圖，說(shuō)明本發(fā)明的實(shí)施方式。附圖以說(shuō)明為目的，并不對(duì)本發(fā)明的范圍進(jìn)行限定。在附圖中，為了避免重復(fù)說(shuō)明，利用同一標(biāo)號(hào)表示同一部分。附圖中的尺寸比例不一定準(zhǔn)確。在將日本特開(kāi)2006-248884號(hào)公報(bào)所記載的通過(guò)整流板導(dǎo)入凈化空氣的技術(shù)、和日本特開(kāi)2003-238167號(hào)公報(bào)所記載的與母材直徑對(duì)應(yīng)地使噴管后退的技術(shù)組合的情況下，必須在噴管和整流板之間設(shè)置間隙，以避免因噴管和整流板摩擦而使整流板的磨損片飛散。另一方面，如果存在間隙，則由于從該間隙流入凈化空氣，從而使火焰產(chǎn)生紊亂，使碳煙合成不穩(wěn)定，無(wú)法提高堆疊速度，另外，無(wú)法使碳煙外徑在長(zhǎng)度方向上恒定。特別地，在噴管前端較細(xì)的情況下，噴管后退而使錐形部通過(guò)整流板時(shí)，間隙逐漸變大，由于從間隙流入凈化空氣所造成的影響進(jìn)一步變大。通過(guò)使整流板遠(yuǎn)離噴管的前端 (碳煙體附近)，從而可以在實(shí)質(zhì)上消除錐形部的影響，但如果遠(yuǎn)離，則凈化空氣的整流效果變小。即使為了縮小間隙而插入密封材料，得到氣密性，也由于該部位為高溫，而作為密封材料無(wú)法找到能夠得到氣密性的物質(zhì)。圖1是本發(fā)明的實(shí)施方式所涉及的多孔質(zhì)玻璃母材的制造裝置19的概念圖。制造裝置19具有反應(yīng)容器11，其收容標(biāo)靶15 ；多個(gè)氧氫火焰噴管13，其將利用玻璃原料氣體、 可燃性氣體及助燃性氣體，通過(guò)火焰水解反應(yīng)而生成的玻璃微粒向標(biāo)靶15噴出；未圖示的移動(dòng)單元，其使標(biāo)靶15和噴管13相對(duì)地移動(dòng)；以及未圖示的凈化空氣生成器，其用于向反應(yīng)容器11中供給作為潔凈氣體的凈化空氣21。在反應(yīng)容器11的上壁設(shè)置貫穿孔，標(biāo)靶15配置為沿上下方向插入該貫穿孔。對(duì)于標(biāo)靶15，其上端被反應(yīng)容器外的旋轉(zhuǎn)卡盤(pán)(未圖示)握持而使標(biāo)靶15進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，并且利用移動(dòng)單元，相對(duì)于多個(gè)噴管13例如以相當(dāng)于噴管間隔的振幅進(jìn)行往復(fù)移動(dòng)。通過(guò)使標(biāo)靶 15在旋轉(zhuǎn)的同時(shí)，沿其軸向往復(fù)移動(dòng)，從而向標(biāo)靶15的表面上均勻地堆疊玻璃微粒，制造多孔質(zhì)玻璃母材17。即，多孔質(zhì)玻璃母材17的制造裝置19采用通過(guò)MMD (多噴管多層沉積)法制造多孔質(zhì)玻璃母材17的裝置結(jié)構(gòu)。在反應(yīng)容器11中，隔著標(biāo)靶15在一側(cè)設(shè)置有供給凈化空氣21的開(kāi)口部39，在相反側(cè)設(shè)置有排氣部27。在排氣部27上連接未圖示的排氣管道，排氣管道構(gòu)成為，從排氣部 27高效地排出含有剩余碳煙的凈化空氣21，以防止在容器內(nèi)壁上附著碳煙。開(kāi)口部39成為被噴管13貫穿，與標(biāo)靶15分離配置并噴出凈化空氣21的整流部 23。整流部是網(wǎng)狀的壁，其具體例是網(wǎng)狀板、沖孔金屬板、百葉板中的某一種。貫穿整流部 23的噴管13構(gòu)成為，利用未圖示的噴管驅(qū)動(dòng)部，在沿噴管13的軸線41 (參照?qǐng)D2)的方向 (圖2的箭頭a方向)上移動(dòng)。反應(yīng)容器11被整流部23隔開(kāi)，與標(biāo)靶15相反側(cè)的空間成為使凈化空氣21流入的凈化室43。在凈化室43中設(shè)置有自動(dòng)后退機(jī)構(gòu)45，其進(jìn)行噴管13的支撐和自動(dòng)后退。圖2是說(shuō)明多孔質(zhì)玻璃母材的制造裝置19中的密閉機(jī)構(gòu)四的局部剖面圖。在自動(dòng)后退機(jī)構(gòu)45的內(nèi)部，還針對(duì)各個(gè)噴管13設(shè)置有密閉機(jī)構(gòu)四。密閉機(jī)構(gòu)四在從整流部 23向凈化室43側(cè)后退的位置上，將噴管13的外周和貫穿設(shè)置于整流部23上的噴管貫穿孔 47之間的間隙S閉塞。密閉機(jī)構(gòu)四具有金屬制的整圓圓筒(筒體)33，其套在噴管13的外部，前端開(kāi)口部31固定在整流部23上；以及例如由氟化樹(shù)脂構(gòu)成的環(huán)狀密封部件37，其設(shè)置在筒體33的后端開(kāi)口部35處，與噴管13的外周滑動(dòng)接觸。筒體33的前端開(kāi)口部31具有比筒體外徑大的凸緣部49。前端開(kāi)口部31通過(guò)使凸緣部49與整流部23的反應(yīng)容器11內(nèi)側(cè)抵接，使向凈化室43側(cè)的按壓環(huán)51內(nèi)插入的螺栓53與凸緣部49螺合，從而從正反面夾持整流部23而固定。在后端開(kāi)口部35處形成比筒體外徑大的固定用凸緣部55，在固定用凸緣部55的后端面，環(huán)狀密封部件37經(jīng)由按壓板57而利用螺栓59固定。環(huán)狀密封部件37的內(nèi)孔37a與噴管13的外周滑動(dòng)接觸。艮口， 在內(nèi)孔37a的內(nèi)外之間確保氣密性，使來(lái)自?xún)艋?3的凈化空氣21不會(huì)通過(guò)筒體33內(nèi)而向反應(yīng)容器11內(nèi)流入。另外，噴管13在前端側(cè)具有直徑比基端側(cè)小的頭部細(xì)的錐形部13a，但筒體33具有下述長(zhǎng)度，即，即使在圖2中由雙點(diǎn)劃線表示的噴管13的最大后退位置處，環(huán)狀密封部件 37也滑動(dòng)接觸在噴管13的與基端部1 直徑相同的部位(非錐形的部分)上。由此，即使噴管13移動(dòng)至最大后退位置，也不會(huì)出現(xiàn)錐形部13a到達(dá)環(huán)狀密封部件37而在與環(huán)狀密封部件37的前端部之間形成間隙的情況。如上述所示，通過(guò)利用筒體33覆蓋噴管13，將筒體33的前端開(kāi)口部31固定在整流部23上，在筒體33的后端開(kāi)口部35設(shè)置環(huán)狀密封部件37，從而可以使整流部23與火焰61及合成部最大限度地接近，同時(shí)將噴管外周的密封部位設(shè)為溫度比整流部23附近低的可密封的溫度。更具體地說(shuō)，整流部23以相距標(biāo)靶15的中心63大于或等于250mm而小于或等于 300mm的距離配置，在多孔質(zhì)玻璃母材的堆疊結(jié)束時(shí)，整流部23位于相距多孔質(zhì)玻璃母材的表面大于或等于IOOmm而小于或等于200mm的距離處。(在此情況下，整流部的溫度不超過(guò)300°C。)通過(guò)將從標(biāo)靶15的中心至整流部23的距離如上述所示進(jìn)行規(guī)定，從而可以發(fā)揮最大的整流效果，不會(huì)產(chǎn)生由熱量引起的壁部變形。另外，將筒體33的長(zhǎng)度設(shè)為大于或等于150mm。通過(guò)設(shè)定為上述長(zhǎng)度，從而即使使整流部與火焰及合成部最大限度地接近，也可以確保從堆疊面至環(huán)狀密封部件37的距離大于或等于250mm，可以將作為密閉位置的環(huán)狀密封部件37處的溫度設(shè)為小于或等于 200°C。通過(guò)對(duì)密閉位置處的溫度進(jìn)行限定，從而在環(huán)狀密封部件37的位置處，可以利用具有一定程度耐熱性的密封材料進(jìn)行應(yīng)對(duì)。另外，通過(guò)規(guī)定筒體的長(zhǎng)度，以即使在噴管的最大后退位置處，也可以使錐形部13a滯留在筒體33內(nèi)，因此，在噴管13后退時(shí)，可以防止由錐形部13a引起的間隙量的增大。如果筒體的長(zhǎng)度大于或等于150mm，則即使噴管前端形成得較細(xì)，在噴管后退時(shí)也可以不使錐形部13a到達(dá)密閉位置，而確保噴管和密封部件之間的接觸。在制造裝置19中，由于將噴管13的外周和噴管13所貫穿的整流部23的貫穿孔 47之間的間隙S密閉，所以不會(huì)從間隙S向反應(yīng)容器11內(nèi)流入未整流的凈化空氣21，僅穩(wěn)定地供給來(lái)自整流部的整流后的凈化空氣21。另外，由于密封的位置遠(yuǎn)離火焰61，所以密封部件不會(huì)成為那么高的高溫，可以將具有一定程度耐熱性的例如特氟綸(>社” 注冊(cè)商標(biāo))等氟化樹(shù)脂作為密封材料。另外，由于從整流部23向后方凸出的筒體33被越向后方越低溫的凈化空氣21冷卻，所以有利于進(jìn)一步減輕熱量對(duì)環(huán)狀密封部件37的影響。此外，整流部23越接近標(biāo)靶15，整流效果越明顯。有時(shí)整流部23的溫度超過(guò) 300°C，但這一點(diǎn)取決于來(lái)自多孔質(zhì)玻璃母材17以及火焰61的輻射熱的影響，通過(guò)將相對(duì)于熱源的距離變遠(yuǎn)，可以避免影響。此外，對(duì)于特氟綸(>社”注冊(cè)商標(biāo))，如果是 200°C左右，則可以維持充分的密封性。下面，說(shuō)明利用上述結(jié)構(gòu)的制造裝置來(lái)制造多孔質(zhì)玻璃母材的方法。在多孔質(zhì)玻璃母材17的制造中，將玻璃原料從氧氫火焰噴管13噴出，在反應(yīng)容器11的內(nèi)部進(jìn)行火焰水解反應(yīng)，使生成的玻璃微粒在標(biāo)靶15上堆疊，而制造多孔質(zhì)玻璃母材17。在本發(fā)明中，在該制造時(shí)，從被噴管13貫穿、并與標(biāo)靶15遠(yuǎn)離配置的整流部23噴出凈化空氣21。在從整流部23后退的位置處將整流部23的貫穿孔47與噴管13之間的間隙S閉塞，同時(shí)隨著標(biāo)靶15的直徑因堆疊而擴(kuò)大，使噴管13后退。由于將噴管13的外周和噴管13所貫穿的整流部23的貫穿孔47之間的間隙S利用環(huán)狀密封部件37密閉，所以?xún)艋諝?1不會(huì)從間隙S直接向反應(yīng)容器11內(nèi)流入。由此， 可以?xún)H從整流部23穩(wěn)定地供給整流后的凈化空氣21，同時(shí)使噴管13隨著碳煙體的母材直徑的增大而后退，可以實(shí)現(xiàn)以穩(wěn)定的外徑堆疊。由于密封的位置遠(yuǎn)離火焰，所以不會(huì)成為那么高的高溫，可以利用具有一定程度耐熱性的密封材料進(jìn)行應(yīng)對(duì)。因此，根據(jù)本實(shí)施方式所涉及的多孔質(zhì)玻璃母材17的制造裝置19以及制造方法， 由于可以在制造多孔質(zhì)玻璃母材17的期間始終穩(wěn)定地供給凈化空氣21，所以可以提高堆疊速度，并且可以得到穩(wěn)定的外徑。另外，如果火焰59及碳煙合成部穩(wěn)定，則容易進(jìn)行氣體流量等其他條件的調(diào)整。下面，說(shuō)明使制造裝置19和利用現(xiàn)有結(jié)構(gòu)制作的對(duì)比例所涉及的制造裝置運(yùn)轉(zhuǎn)， 并對(duì)其動(dòng)作和所制造的多孔質(zhì)玻璃母材進(jìn)行調(diào)查后的結(jié)果。此外，在對(duì)比例、實(shí)施例中，均將標(biāo)靶的直徑設(shè)為Φ 30，將碳煙沉積結(jié)束時(shí)的碳煙體的直徑設(shè)為Φ 300，將碳煙體的長(zhǎng)度設(shè)為2 3m。對(duì)比例A圖3是說(shuō)明對(duì)比例A所涉及的多孔質(zhì)玻璃母材的制造的概念圖。將從標(biāo)靶的中心至整流部的表面的距離Ll設(shè)為450mm，不將噴管和整流部的間隙密閉，從整流部將流速V設(shè)為1 2m/s而流入凈化空氣。噴管周?chē)拈g隙S為10mm，碳煙合成部G的風(fēng)速為0 2m/ s。碳煙合成部G處的風(fēng)速表現(xiàn)為與噴管相對(duì)的部分處特別快這樣的分布。制造中的標(biāo)靶外表面的溫度為800°C，整流部的溫度為200°C。噴管的后退量M為100 150mm，但將距離 Ll確保為450mm，其結(jié)果，即使在噴管的最大后退位置處，錐形部也沒(méi)有到達(dá)噴管貫穿孔。 碳煙體的外徑變化為士 10mm。對(duì)比例B圖4是說(shuō)明其他對(duì)比例B所涉及的多孔質(zhì)玻璃母材的制造的概念圖。將從標(biāo)靶的中心至整流部的表面的距離L2設(shè)為300mm，不將噴管和整流部的間隙密閉，從整流部將流速V設(shè)為1 2m/s而流入凈化空氣。噴管周?chē)拈g隙在制造開(kāi)始時(shí)為Sl = 10mm，碳煙合成部G的風(fēng)速與對(duì)比例A大致相同，為0 2m/s。碳煙合成部G處的風(fēng)速表現(xiàn)為在比對(duì)比例A窄的區(qū)域內(nèi)，與噴管相對(duì)的部分特別快這樣的分布。制造中的標(biāo)靶外表面的溫度為 800°C，整流部的溫度比對(duì)比例A高，為300°C。噴管的后退量M與對(duì)比例A相同，為100 150mm，但由于距離L2只有300mm，所以在噴管的最大后退位置處，錐形部到達(dá)噴管貫穿孔， 噴管周?chē)拈g隙在結(jié)束時(shí)增大至S2 = 20mm。平均堆疊速度與對(duì)比例A大致相同，碳煙體的外徑變化也與對(duì)比例A相同，為士 10mm。實(shí)施例圖5是說(shuō)明實(shí)施例所涉及的多孔質(zhì)玻璃母材的制造的概念圖。將從標(biāo)靶的中心至整流部的表面的距離L3設(shè)為與對(duì)比例B相同，在進(jìn)一步后退IOOmm的位置處設(shè)置密閉機(jī)構(gòu)，從整流部將流速V設(shè)為1 2m/s而流入凈化空氣。噴管周?chē)拈g隙由于存在密閉機(jī)構(gòu)而為0mm，碳煙合成部G的風(fēng)速為0. 8 1. 2m/s，與對(duì)比例相比，碳煙合成部處的風(fēng)速表現(xiàn)為無(wú)顯著快慢差異的平均分布。制造中的標(biāo)靶外表面的溫度為800。C，整流部的溫度與對(duì)比例B相同為300°C，但密閉機(jī)構(gòu)的位置處的溫度為200°C。噴管的后退量M與對(duì)比例相同為 100 150mm，距離L2為300mm，至密閉機(jī)構(gòu)的長(zhǎng)度為100mm，其結(jié)果，在噴管的最大后退位置處，錐形部到達(dá)整流部，但沒(méi)有到達(dá)密閉機(jī)構(gòu)，因此在噴管周?chē)划a(chǎn)生間隙。平均堆疊速度與對(duì)比例相比提高10%，碳煙體的外徑變化為士5mm，成為比對(duì)比例好的結(jié)果。下表1中示出對(duì)對(duì)比例A、對(duì)比例B、實(shí)施例所涉及的制造裝置的各設(shè)定值、運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)的動(dòng)作以及所制造的多孔質(zhì)玻璃母材進(jìn)行調(diào)查后的結(jié)果。表 權(quán)利要求
1.一種多孔質(zhì)玻璃母材的制造裝置，其包含反應(yīng)容器，其收容標(biāo)靶，具有隔著所述標(biāo)靶而相對(duì)的第一壁面和第二壁面； 噴管，其將玻璃微粒向所述標(biāo)靶噴出；以及移動(dòng)單元，其使所述標(biāo)靶相對(duì)于所述噴管沿所述標(biāo)靶的長(zhǎng)度方向相對(duì)地往復(fù)運(yùn)動(dòng)， 所述第一壁面具有作為凈化空氣的導(dǎo)入口的整流部，所述第二壁面具有排氣部， 所述噴管貫穿所述整流部， 其特征在于，包含噴管驅(qū)動(dòng)部，其使所述噴管相對(duì)于所述標(biāo)靶沿前后方向移動(dòng)； 密閉機(jī)構(gòu)，其在從所述整流部后退后的位置處將所述噴管和所述整流部之間的間隙閉O
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多孔質(zhì)玻璃母材的制造裝置，其特征在于， 所述整流部是網(wǎng)狀板、沖孔金屬板、百葉板中的某一種。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的多孔質(zhì)玻璃母材的制造裝置，其特征在于，所述整流部和多孔質(zhì)玻璃母材的表面之間的距離的最小值大于或等于IOOmm而小于或等于200mm。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的多孔質(zhì)玻璃母材的制造裝置，其特征在于， 所述密閉機(jī)構(gòu)具有筒體，其套在所述噴管的外部，前端開(kāi)口部固定在所述整流部上；以及環(huán)狀密封部件，其設(shè)置在所述筒體的后端開(kāi)口部處，與所述噴管的外周滑動(dòng)接觸。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的多孔質(zhì)玻璃母材的制造裝置，其特征在于， 所述筒體的長(zhǎng)度大于或等于150mm。
6.一種多孔質(zhì)玻璃母材的制造方法，在該方法中，使標(biāo)靶相對(duì)于噴管相對(duì)地往復(fù)運(yùn)動(dòng)， 將玻璃微粒向所述標(biāo)靶上堆疊，其特征在于，從凈化空氣的導(dǎo)入口、即整流部噴出凈化空氣，在從所述整流部后退后的位置處將所述整流部與噴管之間的間隙閉塞，同時(shí)隨著由于堆疊而導(dǎo)致的所述標(biāo)靶的擴(kuò)徑，使所述噴管后退，其中，所述整流部位于反應(yīng)容器內(nèi)的與所述標(biāo)靶分離配置的壁面上，所述噴管貫穿所述整流部。
全文摘要
本發(fā)明得到一種多孔質(zhì)玻璃母材的制造裝置以及多孔質(zhì)玻璃母材的制造方法，其可以提高堆疊速度，并且得到穩(wěn)定的外徑。多孔質(zhì)玻璃母材的制造裝置利用設(shè)置在反應(yīng)容器上的大于或等于一根噴管，噴出含有玻璃原料氣體及燃燒氣體的反應(yīng)氣體，使旋轉(zhuǎn)的標(biāo)靶相對(duì)于噴管相對(duì)地往復(fù)運(yùn)動(dòng)，將由反應(yīng)氣體進(jìn)行反應(yīng)而生成的玻璃微粒向標(biāo)靶上堆疊，該制造裝置具有整流部，其被噴管貫穿，與標(biāo)靶遠(yuǎn)離配置并噴出凈化空氣；噴管驅(qū)動(dòng)部，其使噴管沿前后方向移動(dòng)；以及排氣部，其隔著標(biāo)靶與整流部相對(duì)，在整流部上設(shè)置密閉機(jī)構(gòu)，其在從整流部后退后的位置處將整流部與噴管之間的間隙閉塞。
文檔編號(hào)C03B37/018GK102432169SQ201110273248
公開(kāi)日2012年5月2日 申請(qǐng)日期2011年9月14日 優(yōu)先權(quán)日2010年9月14日
發(fā)明者鈴木智哉 申請(qǐng)人:住友電氣工業(yè)株式會(huì)社