專利名稱：一種在多線切割中切割超厚產(chǎn)品的導(dǎo)輪開槽方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種在多線切割中切割超厚產(chǎn)品的導(dǎo)輪(主輥或者槽輪，以下簡(jiǎn)稱導(dǎo)輪)開槽方法，特別是在半導(dǎo)體材料加工中應(yīng)用多線切割機(jī)將棒材切制成片的生產(chǎn)過(guò)程。提高生產(chǎn)效率，擴(kuò)大設(shè)備能力的一種方法。
背景技術(shù)：
隨著半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的不斷發(fā)展，各下游廠商對(duì)襯底材料提出了更高的要求。為了各領(lǐng)域的應(yīng)用，出現(xiàn)了一種超厚產(chǎn)品的需求。目前多采用多線切割方法將待加工棒材切割成具有一定厚度的片狀產(chǎn)品。在多線切割中通過(guò)在導(dǎo)輪上刻有等距、等深的V型槽(以下簡(jiǎn)稱線槽)，且每個(gè)導(dǎo)輪上起始第一個(gè)槽的位置都相同。切割時(shí)由一根完整的鋼線從機(jī)床第一個(gè)導(dǎo)輪的第一個(gè)槽開始按照順時(shí)針或逆時(shí)針的順序分別纏繞至其他導(dǎo)輪，而當(dāng)鋼線再次回到第一個(gè)導(dǎo)輪時(shí)由于導(dǎo)輪的第一個(gè)槽中有線，則鋼線必須沿該導(dǎo)輪的第2個(gè)槽開始纏繞， 當(dāng)鋼線將導(dǎo)輪中所有槽都繞滿時(shí)，在導(dǎo)輪之間既形成了密布鋼線的線網(wǎng)，使用該線網(wǎng)進(jìn)行切割作業(yè)(如圖I所示)。由于用于切割的線網(wǎng)為一根鋼線在多個(gè)導(dǎo)輪上纏繞而成，鋼線會(huì)在其中某個(gè)導(dǎo)輪上與該導(dǎo)輪的線槽形成夾角，從而完成線網(wǎng)的纏繞。例如圖I所示示例，第四個(gè)導(dǎo)輪和第一個(gè)導(dǎo)輪上的鋼線就與導(dǎo)輪上的線槽形成了夾角。如果該角度過(guò)大，則將引起跳線發(fā)生。多線切割加工中其加工產(chǎn)品的厚度取決于導(dǎo)輪槽距，如果加工超厚產(chǎn)品，勢(shì)必增大導(dǎo)輪槽距，同時(shí)必然會(huì)增大切割線與導(dǎo)輪線槽之間的夾角。例如切割厚度為8mm厚的產(chǎn)品，其導(dǎo)輪槽距就應(yīng)該為8mm左右，則其鋼線與導(dǎo)輪之間的夾角將達(dá)到1°左右。如此大的夾角將會(huì)導(dǎo)致跳線發(fā)生，致使無(wú)法加工，產(chǎn)品品種受限。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提供一種在多線切割中切割超厚產(chǎn)品的導(dǎo)輪開槽方法，本方法可使系統(tǒng)中每只導(dǎo)輪上的鋼線都與線槽形成一個(gè)較小的夾角，避免在其中某一個(gè)導(dǎo)輪上形成過(guò)大的夾角而造成跳線，本方法能夠適用于4、5、6、8、12寸或非標(biāo)尺寸的各種材料的切片加工。為達(dá)到上述發(fā)明目的，本發(fā)明采用以下技術(shù)方案這種在多線切割中切割超厚產(chǎn)品的導(dǎo)輪開槽方法，它包括在由多個(gè)導(dǎo)輪構(gòu)成的導(dǎo)輪套組中，確定每個(gè)導(dǎo)輪第一個(gè)槽的位置，且各導(dǎo)輪在機(jī)床中的安裝位置按照鋼線接觸導(dǎo)輪的順序確定導(dǎo)輪序號(hào)。所述的確定每個(gè)導(dǎo)輪第一個(gè)槽的位置的方法是設(shè)定A為第一個(gè)導(dǎo)輪入線端第一個(gè)槽距離導(dǎo)輪基準(zhǔn)面的距離，其數(shù)值為0mm < A < IOmm ;而其他導(dǎo)輪入線端第一個(gè)槽距離導(dǎo)輪基準(zhǔn)面的距離B的數(shù)值存在下列關(guān)系B = A+(C-1)*P/N，其中，N為導(dǎo)輪總個(gè)數(shù)N> I ;P為根據(jù)片厚對(duì)應(yīng)的導(dǎo)輪槽距0mm < P < 20mm ；C為導(dǎo)輪序號(hào)。所述的導(dǎo)論的個(gè)數(shù)為2 4個(gè)。
本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)是通過(guò)確定每只導(dǎo)輪第一個(gè)槽的位置，使系統(tǒng)中每只導(dǎo)輪起始第I個(gè)槽的位置不同從而將切割線與導(dǎo)輪線槽之間的夾角分解到系統(tǒng)中的所有導(dǎo)輪之上，使系統(tǒng)中每只導(dǎo)輪上的鋼線都與線槽形成一個(gè)較小的夾角，避免在其中某一個(gè)導(dǎo)輪上形成過(guò)大的夾角而造成跳線，擴(kuò)大產(chǎn)品能力，本方法能夠適用于4、5、6、8、12寸或非標(biāo)尺寸的各種材料的切片加工。


圖I為導(dǎo)輪纏繞線網(wǎng)的示意圖。圖2為第一個(gè)導(dǎo)輪上第1、2個(gè)槽位置的示意圖。圖3為第C個(gè)導(dǎo)輪上第1、2個(gè)槽位置的示意圖。圖I中，I為放線輪，2為線網(wǎng)，3為導(dǎo)輪，4為工件(產(chǎn)品)，5為砂漿噴管，6為收線輪。鋼線從放線輪中放出，按照逆時(shí)針順序分別纏繞在4個(gè)導(dǎo)輪上，從而形成線網(wǎng)。 圖2中，A為第一個(gè)導(dǎo)輪入線端第一個(gè)槽距離導(dǎo)輪基準(zhǔn)面的距離0mm<A<10mm，P為根據(jù)片厚對(duì)應(yīng)的導(dǎo)輪槽距0mm < P < 20mm。圖3中，B為其它導(dǎo)輪入線端第一個(gè)槽距離導(dǎo)輪基準(zhǔn)面的距離B = A+(C_1)*P/N，N為導(dǎo)輪總個(gè)數(shù)N > I，C為按照鋼線接觸導(dǎo)輪的先后順序確定的導(dǎo)輪序號(hào)(第C個(gè)導(dǎo)輪)。
具體實(shí)施例方式實(shí)施例I例如切割8mm厚的產(chǎn)品，設(shè)定槽距P = 8mm，系統(tǒng)使用4只導(dǎo)輪組成，使用該方法首先確定第I只導(dǎo)輪第I個(gè)槽距離導(dǎo)輪基準(zhǔn)面的距離A為5mm ;則第2只導(dǎo)輪第一個(gè)槽距離導(dǎo)輪基準(zhǔn)面的距離B = A+(C-1)+P/N = 5+(2-1) *8/4 = 7mm ;第3只導(dǎo)輪第一個(gè)槽距離導(dǎo)輪基準(zhǔn)面的距離B = 9mm;第4只導(dǎo)輪第一個(gè)槽距離導(dǎo)輪基準(zhǔn)面的距離B= 11mm。這樣，每只導(dǎo)輪上的鋼線都會(huì)與線槽形成一個(gè)較小的夾角(大約O. 27° )，避免了跳線的發(fā)生。
權(quán)利要求
1.一種在多線切割中切割超厚產(chǎn)品的導(dǎo)輪開槽方法，其特征在于它包括在由多個(gè)導(dǎo)輪構(gòu)成的導(dǎo)輪套組中，確定每個(gè)導(dǎo)輪第一個(gè)槽的位置，且各導(dǎo)輪在機(jī)床中的安裝位置按照鋼線接觸導(dǎo)輪的順序確定導(dǎo)輪序號(hào)。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的一種在多線切割中切割超厚產(chǎn)品的導(dǎo)輪開槽方法，其特征在于所述的確定每個(gè)導(dǎo)輪第一個(gè)槽的位置的方法是設(shè)定A為第一個(gè)導(dǎo)輪入線端第一個(gè)槽距離導(dǎo)輪基準(zhǔn)面的距離，其數(shù)值為0mm < A < IOmm ;而其他導(dǎo)輪入線端第一個(gè)槽距離導(dǎo)輪基準(zhǔn)面的距離B的數(shù)值存在下列關(guān)系B = A+(C-1)*P/N，其中，N為導(dǎo)輪總個(gè)數(shù)N> I ;P為根據(jù)片厚對(duì)應(yīng)的導(dǎo)輪槽距0mm < P < 20mm ；C為導(dǎo)輪序號(hào)。
全文摘要
一種在多線切割中切割超厚產(chǎn)品的導(dǎo)輪開槽方法，它包括在由多個(gè)導(dǎo)輪構(gòu)成的導(dǎo)輪套組中，確定每個(gè)導(dǎo)輪第一個(gè)槽的位置，且各導(dǎo)輪在機(jī)床中的安裝位置按照鋼線接觸導(dǎo)輪的順序確定導(dǎo)輪序號(hào)。本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)是通過(guò)分解超厚硅片的槽距，減小鋼線與導(dǎo)輪夾角，避免跳線發(fā)生，擴(kuò)大產(chǎn)品能力。并且本方法能夠適用于4、5、6、8、12寸或非標(biāo)尺寸的各種材料的切片加工。
文檔編號(hào)B28D5/04GK102814875SQ20111015073
公開日2012年12月12日 申請(qǐng)日期2011年6月7日 優(yōu)先權(quán)日2011年6月7日
發(fā)明者于晉京, 張立, 李晨, 安瑞陽(yáng) 申請(qǐng)人:有研半導(dǎo)體材料股份有限公司