專利名稱：一種用于光伏生產(chǎn)的石英件的清洗方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種清洗方法，尤其涉及一種用于光伏生產(chǎn)的石英件的清洗方法。
背景技術(shù)：
擴散爐是太陽電池生產(chǎn)過程中的關(guān)鍵設(shè)備之一，其用來對生產(chǎn)太陽電池的硅基板進行擴散工藝從而在硅基板表面形成P-N結(jié)，它的主要用途是對半導(dǎo)體進行摻雜，即在高溫條件下將慘雜材料擴散入硅片，從而改變和控制半導(dǎo)體內(nèi)雜質(zhì)的類型、濃度和分布，以便在半導(dǎo)體上建立起不同的電特性區(qū)域。擴散爐內(nèi)的溫度控制對擴散的質(zhì)量有著重大影響， 因此，在工藝過程中對擴散爐內(nèi)溫度有嚴格的要求。擴散時一般是將硅片先置于石英舟中， 然后通過送片槳將裝有硅片的石英舟送入擴散爐中進行擴散工藝。由于半導(dǎo)體工藝對擴散爐內(nèi)的潔凈度要求較高，所以在業(yè)界一般會在擴散爐內(nèi)使用較多的石英件，而石英件長時間使用后表面會存在一些雜質(zhì)，因此，有必要對擴散爐內(nèi)的石英件定期進行清理。業(yè)界一般產(chǎn)用氯氣對石英件進行清理，而氯氣的毒性較強，在運輸及存放的過程中萬一泄露將對公眾造成傷害，不利于安全生產(chǎn)。因此有必要提供一種解決上述技術(shù)問題的石英件清洗方法。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明所要解決的一個技術(shù)問題是提供一種有利于安全生產(chǎn)的石英件清洗方法。為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明采用如下技術(shù)方案一種用于光伏生產(chǎn)的石英件的清洗方法，其包括如下步驟:A)首先將爐內(nèi)的溫度調(diào)節(jié)到1150°C 1200°C ；B)同時向擴散爐的爐腔內(nèi)輸入流量為25-50L/min的氮氣、流量為0. 5^2. 5L/min的三氯氧磷及流量為 0. 8^3. 4L/min的氧氣，輸入時間為12(Γ300分鐘，上述氮氣、三氯氧磷、氧氣從擴散爐的進口輸入，途經(jīng)石英件再從擴散爐的出口輸出。本發(fā)明的有益效果通過上述方法清洗石英件，不但有利于安全生產(chǎn)，而且還可降低生產(chǎn)成本。
具體實施例方式—種用于光伏生產(chǎn)的石英件的清洗方法，其包括如下步驟:Α)首先將爐內(nèi)的溫度調(diào)節(jié)到1150°C 1200°C ；B)同時向擴散爐的爐腔內(nèi)輸入流量為25-50L/min的氮氣、流量為0. 5 2. 5L/min的三氯氧磷及流量為0. 8 3. 4L/min的氧氣，輸入時間為120 300分鐘，上述氮氣、三氯氧磷、氧氣從擴散爐的進口輸入，途經(jīng)石英件再從擴散爐的出口輸出。所述三氯氧磷在高溫環(huán)境下分解成五氯化磷和五氧化二磷，而五氯化磷與氧氣反應(yīng)形成五氧化二磷和氯氣，因氯氣具有強氧化性，因此該氯氣可氧化石英件上的雜質(zhì)，而因為氮氣的流量較大，進而將石英件上的雜質(zhì)從擴散爐的出口帶出擴散爐的爐腔外，以達到清洗功能，另外， 氮氣在擴散爐的爐腔內(nèi)還充當一種保護氣體。本發(fā)明中直接產(chǎn)用氮氣、三氯氧磷、氧氣為原料，在運輸及存放過程中比較安全，而且不必再以氯氣為原料，降低了生產(chǎn)成本。
權(quán)利要求
1. 一種用于光伏生產(chǎn)的石英件的清洗方法，其包括如下步驟A)首先將爐內(nèi)的溫度調(diào)節(jié)到1150°C 1200°C；B)同時向擴散爐的爐腔內(nèi)輸入流量為25-50L/min的氮氣、流量為0.5^2. 5L/min的三氯氧磷及流量為0. 8^3. 4L/min的氧氣，輸入時間為12(Γ300分鐘，上述氮氣、三氯氧磷、氧氣從擴散爐的進口輸入，途經(jīng)石英件再從擴散爐的出口輸出。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種用于光伏生產(chǎn)的石英件的清洗方法，其包括如下步驟A)首先將爐內(nèi)的溫度調(diào)節(jié)到1150℃~1200℃；B)同時向擴散爐的爐腔內(nèi)輸入流量為25-50L/min的氮氣、流量為0.5~2.5L/min的三氯氧磷及流量為0.8~3.4L/min的氧氣，輸入時間為120~300分鐘，上述氮氣、三氯氧磷、氧氣從擴散爐的進口輸入，途經(jīng)石英件再從擴散爐的出口輸出，該種清洗方法不但有利于安全生產(chǎn)，而且還可降低生產(chǎn)成本。
文檔編號C03B20/00GK102249522SQ201110105028
公開日2011年11月23日 申請日期2011年4月26日 優(yōu)先權(quán)日2011年4月26日
發(fā)明者左云翔 申請人:蘇州阿波羅光伏科技有限公司