專利名稱：基板分?jǐn)嘌b置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種能夠不依賴于板厚而高品質(zhì)地分?jǐn)嗳缧纬芍鴦澗€的玻璃板這樣的脆性材料基板的基板分?jǐn)嘌b置(SUBSTRATE BREAKING APPARATUS)。
背景技術(shù)：
當(dāng)分?jǐn)嘤商沾傻却嘈圆牧蠘?gòu)成的LTCC(Low Temperature Co-fired Ceramics，低溫共燒陶瓷)基板而切取多個電子零件時，會在LTCC基板表面上形成劃線，并附加特定的荷重。由此，沿著所形成的劃線分?jǐn)郘TCC基板，而切取多個電子零件。當(dāng)LTCC基板厚度較薄時，通常的基板分?jǐn)嘌b置有可能會附加過大荷重，不僅會產(chǎn)生垂直裂痕，甚至?xí)a(chǎn)生始料未及的水平裂痕。由于水平裂痕的產(chǎn)生，已分?jǐn)嗟碾娮恿慵慕孛鏌o法變成均質(zhì)，在切取要求分?jǐn)嗑鹊碾娮恿慵r將成為問題。因此，已想出各種辦法來使得即便為薄板也可以高精度地進行分?jǐn)?。例如，在專利文獻1中揭示了一種基板分?jǐn)嘌b置，在被一對上基板固定棒32A、32A支撐的狀態(tài)下，利用下分?jǐn)喟?1B分?jǐn)嗷?，或者在被一對下基板固定?2B、32B支撐的狀態(tài)下，利用上分?jǐn)喟?31A分?jǐn)嗷?。在專利文獻1的基板分?jǐn)嘌b置中，構(gòu)成為兩點支撐基板，利用位于兩點間的分?jǐn)喟舴謹(jǐn)嗷?，所以按壓分?jǐn)喟舻奈恢眉捶謹(jǐn)辔恢玫亩ㄎ痪雀?，而且即便是如黏合基板這樣的薄基板，也可以高精度地進行分?jǐn)唷Ｏ刃屑夹g(shù)文獻專利文獻專利文獻1 日本專利特開2006-289625號公報

發(fā)明內(nèi)容
[發(fā)明所要解決的問題]但是，在如專利文獻1所揭示的基板分?jǐn)嘌b置中，由于以兩點支撐作為分?jǐn)鄬ο蟮幕?，并利用位于支撐兩點間的分?jǐn)喟魜矸謹(jǐn)嗷?，所以會產(chǎn)生不少因薄板基板撓曲引起的分?jǐn)辔恢玫钠?。?dāng)用于小型電子零件的切取時，對于分?jǐn)辔恢枚?，需要可?yīng)對極小間距的定位精度。而且，當(dāng)如專利文獻1般從上下插入而進行分?jǐn)鄷r，在連續(xù)分?jǐn)鄷r難以檢測出用以確定分?jǐn)辔恢玫臉?biāo)記等。因此，為了高精度地確定分?jǐn)辔恢?，而?zhí)行分?jǐn)鄬ο蠡宓亩ㄎ徊僮鲿r，需要至少移動位于上方的分?jǐn)喟粢源_保標(biāo)記等的視野，從而存在操作變得繁瑣這
一問題。本發(fā)明是鑒于所述情況開發(fā)而成，其目的在于提供一種基板分?jǐn)嘌b置，即便當(dāng)作為分?jǐn)鄬ο蟮拇嘈圆牧匣鍨楸“澹乙孕￠g距進行分?jǐn)鄷r，也可以高精度地定位分?jǐn)辔恢谩解決問題的技術(shù)手段]
為了達成所述目的，第1發(fā)明的基板分?jǐn)嘌b置將表面形成著劃線的脆性材料基板沿著所述劃線進行分?jǐn)啵涮卣髟谟诰邆浠逯伟?，形成著與所述脆性材料基板的形狀對應(yīng)的方形的開口部；彈性薄膜，覆蓋所述開口部而搭載于所述基板支撐板的上面，以固定所述脆性材料基板；第1上分?jǐn)喟艏暗?上分?jǐn)喟簦阅軌蛏舷路较蛞苿拥姆绞脚湓O(shè)在所述彈性薄膜的上方，并沿著所述劃線進行分?jǐn)啵患跋路謹(jǐn)喟?，以能夠上下方向移動的方式配設(shè)在所述彈性薄膜的下方，并沿著所述劃線進行分?jǐn)?；使所述下分?jǐn)喟粼谛纬芍鰟澗€一側(cè)的相反側(cè)沿著所述劃線壓接，且由所述下分?jǐn)喟襞c所述第1上分?jǐn)喟魥A住所述脆性材料基板，在此狀態(tài)下利用所述第2上分?jǐn)喟暨M行分?jǐn)?。?發(fā)明中基板分?jǐn)嘌b置具備基板支撐板，形成著與脆性材料基板的形狀對應(yīng)的方形的開口部；彈性薄膜，覆蓋所述開口部而搭載于所述基板支撐板的上面，以固定脆性材料基板；第1上分?jǐn)喟艏暗?上分?jǐn)喟?，以能夠上下方向移動的方式配設(shè)在所述彈性薄膜的上方，并沿著劃線進行分?jǐn)?；及下分?jǐn)喟?，以能夠上下方向移動的方式配設(shè)在彈性薄膜的下方，并沿著劃線進行分?jǐn)唷Ｊ瓜路謹(jǐn)喟粼谛纬芍鴦澗€一側(cè)的相反側(cè)沿著劃線壓接，且由下分?jǐn)喟襞c第1上分?jǐn)喟魥A住脆性材料基板，在此狀態(tài)下利用第2上分?jǐn)喟暨M行分?jǐn)?，由此可確實地沿著劃線進行分?jǐn)啵瑥亩筛呔鹊囟ㄎ环謹(jǐn)辔恢?。而且，通過從上下支撐分?jǐn)辔恢?，即便以小間距進行分?jǐn)鄷r，也不會產(chǎn)生始料未及的裂痕，而且已分?jǐn)嗟慕孛娈a(chǎn)生凹凸的可能性低。另外，根據(jù)第1發(fā)明，第2發(fā)明的基板分?jǐn)嘌b置的特征在于所述彈性薄膜是通過配設(shè)在所述開口部的四邊周圍的薄膜壓接機構(gòu)，而固著在所述基板支撐板上。在第2發(fā)明中，彈性薄膜是通過配設(shè)在開口部的四邊周圍的薄膜壓接機構(gòu)而固著在基板支撐板上，由此可以縮短彈性薄膜與方形脆性材料基板的間隔，將由彈性薄膜的伸長引起的位置偏移控制在最小限度。而且，根據(jù)第1或第2發(fā)明，第3發(fā)明的基板分?jǐn)嘌b置的特征在于在所述第1上分?jǐn)喟艏八龅?上分?jǐn)喟舻纳戏脚湓O(shè)著攝像裝置，利用所述攝像裝置拍攝賦予給所述脆性材料基板的標(biāo)記，以調(diào)整所述脆性材料基板的設(shè)置位置，并且具備斜向移動機構(gòu)，可使所述第1上分?jǐn)喟艏八龅?上分?jǐn)喟粝鄬τ谒龌逯伟逡蕴囟ń嵌认騼A斜方向移動。在第3發(fā)明中，第1上分?jǐn)喟艏暗?上分?jǐn)喟舻纳戏脚湓O(shè)著攝像裝置。利用攝像裝置拍攝賦予給脆性材料基板的標(biāo)記，以調(diào)整脆性材料基板的設(shè)置位置。具備斜向移動機構(gòu)， 可使第1上分?jǐn)喟艏暗?上分?jǐn)喟粝鄬τ诨逯伟逡蕴囟ń嵌认騼A斜方向移動，由此，可以在分?jǐn)嚅_始前利用攝像裝置拍攝賦予給脆性材料基板的標(biāo)記，從而可以高精度地定位分?jǐn)辔恢?。而且，根?jù)第1或第2發(fā)明，第4發(fā)明的基板分?jǐn)嘌b置的特征在于在所述第1上分?jǐn)喟艏八龅?上分?jǐn)喟舻纳戏脚湓O(shè)著攝像裝置，利用所述攝像裝置拍攝賦予給所述脆性材料基板的標(biāo)記，以調(diào)整所述脆性材料基板的設(shè)置位置，并且具備水平移動機構(gòu)，可使所述第1上分?jǐn)喟艏八龅?上分?jǐn)喟粝鄬τ谒龌逯伟逑虼笾滤椒较蛞苿印Ｔ诘?發(fā)明中，第1上分?jǐn)喟艏暗?上分?jǐn)喟舻纳戏脚湓O(shè)著攝像裝置。利用攝像裝置拍攝賦予給脆性材料基板的標(biāo)記，以調(diào)整脆性材料基板的設(shè)置位置。具備水平移動機構(gòu)，可使第1上分?jǐn)喟艏暗?上分?jǐn)喟粝鄬τ诨逯伟逑虼笾滤椒较蛞苿?，由此，可以在分?jǐn)嚅_始前利用攝像裝置拍攝賦予給脆性材料基板的標(biāo)記，從而可高精度地定位分?jǐn)辔恢?。[發(fā)明的效果]如上所述，使下分?jǐn)喟粼谛纬芍鴦澗€一側(cè)的相反側(cè)沿著劃線壓接，由下分?jǐn)喟襞c第1上分?jǐn)喟魥A住脆性材料基板，在此狀態(tài)下利用第2上分?jǐn)喟暨M行分?jǐn)?，由此可確實地沿著劃線進行分?jǐn)啵瑥亩筛呔鹊囟ㄎ环謹(jǐn)辔恢?。而且，通過從上下支撐分?jǐn)辔恢?，即便以小間距進行分?jǐn)鄷r，也不會產(chǎn)生始料未及的裂痕，并且已分?jǐn)嗟慕孛娈a(chǎn)生凹凸的可能性低。


圖1是表示本發(fā)明實施方式的基板分?jǐn)嘌b置的構(gòu)成，且與脆性材料基板的移動方向大致正交之面的截面圖。圖2是表示安裝著LTCC基板的狀態(tài)的平面圖。圖3是表示在安裝著LTCC基板的狀態(tài)下進行有切割處理的狀態(tài)的平面圖。圖4是示意性說明本發(fā)明實施方式的基板分?jǐn)嘌b置的分?jǐn)嗵幚淼慕孛鎴D。圖5是表示使上分?jǐn)喟羯舷乱苿訒r的基板分?jǐn)嘌b置與攝像裝置的位置關(guān)系的示意圖。圖6是表示使本發(fā)明實施方式的基板分?jǐn)嘌b置的上分?jǐn)喟羯舷乱苿訒r的基板分?jǐn)嘌b置與攝像裝置的位置關(guān)系的示意圖。[符號的說明]
1脆性材料基板(LTCC基板)
2基板支撐板
3切割框(薄膜壓接機構(gòu))
4彈性薄膜
5下分?jǐn)喟?br> 6、6a、6b上分?jǐn)喟?br> 7開口部
8位置對準(zhǔn)用標(biāo)記(對準(zhǔn)標(biāo)記)
11劃線
20攝像裝置
具體實施例方式下面，根據(jù)表示本發(fā)明的實施方式的圖式來詳細地說明本發(fā)明。圖1是表示本發(fā)明實施方式的基板分?jǐn)嘌b置的構(gòu)成、且與包含脆性材料的脆性材料基板的移動方向大致正交之面的截面圖。如圖1所示，本發(fā)明的實施方式的基板分?jǐn)嘌b置使用切割框3將黏著性強的彈性薄膜4曝露，并且使其從切割框3內(nèi)的下表面固定到具有開口部7的基板支撐板2的上面 (例如，利用基板支撐板2的真空吸附機構(gòu))。彈性薄膜4的上面具有強黏著性，利用所述黏著性可以保持變成切割或分?jǐn)鄬ο蟮拇嘈圆牧匣?。基板分?jǐn)嘌b置具備兩根上分?jǐn)喟?a、6b，可以在基板支撐板2的開口部7上面安裝著變成分?jǐn)鄬ο蟮拇嘈圆牧匣?的狀態(tài)下，在脆性材料基板1的上側(cè)上下移動；及一根下分?jǐn)喟?，可以在彈性薄膜4的下側(cè)上下移動。在設(shè)于彈性薄膜4上的脆性材料基板1上面形成的劃線11而下降，并且使下分?jǐn)喟?上升以與劃線11的位置一致，由此沿著劃線11 而分?jǐn)啻嘈圆牧匣?。圖2是表示安裝著LTCC基板1作為脆性材料基板1的狀態(tài)的平面圖。一體成形著多個電子零件的LTCC基板1是方形，因此在基板支撐板2的中央部設(shè)有方形的開口部7。 載置彈性薄膜4以覆蓋方形的開口部7，利用作為設(shè)于基板支撐板2外側(cè)的薄膜曝露機構(gòu)發(fā)揮作用的切割框3，將彈性薄膜4曝露，并固定基板支撐板2 (例如，利用上面的真空吸附機構(gòu))。在LTCC基板1上賦予了用來與下分?jǐn)喟?進行位置對準(zhǔn)的標(biāo)記(對準(zhǔn)標(biāo)記)8。例如，利用攝像裝置等從上方拍攝LTCC基板1的表面，由此可根據(jù)拍攝到的位置對準(zhǔn)用標(biāo)記 8來定位分?jǐn)辔恢?。圖3是表示在安裝著LTCC基板1的狀態(tài)下進行切割處理的狀態(tài)的平面圖。如圖 3所示，利用切割裝置以可對所安裝的LTCC基板1切取電子零件的方式縱橫地形成多條劃線 11、11、…。在切割處理之后，向基板分?jǐn)嘌b置移動，進行位置對準(zhǔn)。進行位置對準(zhǔn)之后，在經(jīng)切割的面上黏貼保護LTCC基板1表面的保護薄片，通過使用三根分?jǐn)喟舻娜c彎曲方式加壓而進行分?jǐn)?。圖4是示意性地說明本發(fā)明實施方式的基板分?jǐn)嘌b置的分?jǐn)嗵幚淼慕孛鎴D。如圖4(a)所示，本實施方式的基板分?jǐn)嘌b置是以越過安裝于基板支撐板2的LTCC 基板1的上面所形成的劃線11的方式，配置兩根上分?jǐn)喟?a、6b，使其中一根上分?jǐn)喟?a 下降，并且使下分?jǐn)喟?從下方上升到劃線11的位置。由此，利用上下分?jǐn)喟魭冻諰TCC基板1，即便當(dāng)LTCC基板1上產(chǎn)生彎曲、撓曲等時，也可以通過分?jǐn)喟舻膲毫⑵湔{(diào)整為大致水平。之后，通過使另一根上分?jǐn)喟?b下降而可沿著劃線11分?jǐn)郘TCC基板1。分?jǐn)嗪笫股戏謹(jǐn)喟?a、6b上升，且使下分?jǐn)喟?下降，然后使基板支撐板2間距移動，直到下一劃線11處于下分?jǐn)喟?的正上方為止，通過重復(fù)所述動作而分?jǐn)郘TCC基板1。上分?jǐn)喟?a、6b及下分?jǐn)喟?的移動順序并不限定于所述順序。例如，先僅使上分?jǐn)喟?a、6b下降到夾住變成分?jǐn)鄬ο蟮膭澗€11這樣的位置，通過按壓變成分?jǐn)鄬ο蟮腖TCC 基板1，來緩解彎曲、撓曲等，并在此狀態(tài)下使下分?jǐn)喟?自下方上升。由此，可以沿著劃線 11而分?jǐn)郘TCC基板1。通過在分?jǐn)酄顟B(tài)下從彈性薄膜4的背側(cè)進行UV (Ultraviolet，紫外線)照射而使黏著力消失，由此可以將各電子零件作為分離小片而從彈性薄膜4上剝離。如此，使下分?jǐn)喟?在形成著劃線11、11、…一側(cè)的相反側(cè)沿著任意劃線11壓接， 且由下分?jǐn)喟?與上分?jǐn)喟?a夾住LTCC基板1，在此狀態(tài)下使上分?jǐn)喟?b下降而進行分?jǐn)?，因此可高精度地確定進行分?jǐn)嗟膭澗€11，而且通過從上下支撐分?jǐn)辔恢茫幢阋孕￠g距進行分?jǐn)鄷r，也難以產(chǎn)生始料未及的裂痕，并且在已分?jǐn)嗟慕孛娈a(chǎn)生凹凸的可能性變低，從而也可以用于小電子零件的切取。還有，在上分?jǐn)喟?a、6b的上方配設(shè)位置對準(zhǔn)用的攝像裝置。利用攝像裝置拍攝賦予給LTCC基板1的位置對準(zhǔn)用標(biāo)記8，以調(diào)整LTCC基板1的設(shè)置位置。圖5是表示使上分?jǐn)喟?a、6b上下移動時的基板分?jǐn)嘌b置與搬像裝置的位置關(guān)系的示意圖。
圖5 (a)是表示使上分?jǐn)喟?a、6b上升后的狀態(tài)的示意圖，圖5(b)是在分?jǐn)鄷r使上分?jǐn)喟?a、6b下降后的狀態(tài)的示意圖。無論哪種情況下上分?jǐn)喟?a、6b都會變成阻礙， 無法使用攝像裝置20拍攝賦予給LTCC基板1上的位置對準(zhǔn)用標(biāo)記8，從而無法定位分?jǐn)辔恢?。因此，在本實施方式中，具備斜向移動機構(gòu)，可使上分?jǐn)喟?a、6b相對于基板支撐板2以特定角度向傾斜方向移動，由此可利用攝像裝置20拍攝位置對準(zhǔn)用標(biāo)記8，從而可確實地定位分?jǐn)辔恢?。圖6是表示使本發(fā)明實施方式的基板分?jǐn)嘌b置的上分?jǐn)喟?a、6b上下移動時的基板分?jǐn)嘌b置與攝像裝置的位置關(guān)系的示意圖。圖6(a)是表示使上分?jǐn)喟?a、6b上升后的狀態(tài)的示意圖，圖6(b)是表示在分?jǐn)鄷r使上分?jǐn)喟?a、6b下降后的狀態(tài)的示意圖。如圖6(b)所示，在使上分?jǐn)喟?a、6b下降的狀態(tài)下，上分?jǐn)喟?a、6b變成阻礙，無法使用攝像裝置20拍攝賦予給LTCC基板1上的位置對準(zhǔn)用標(biāo)記8，從而無法進行位置對準(zhǔn)。但是，如圖6(a)所示，在使上分?jǐn)喟?a、6b向斜上方上升的狀態(tài)下，上分?jǐn)喟?a、6b不會變成拍攝阻礙，從而可使用配設(shè)在上方的攝像裝置20拍攝賦予給LTCC基板1上的位置對準(zhǔn)用標(biāo)記8。還有，能夠利用攝像裝置20進行拍攝的方法并不限定于所述使上分?jǐn)喟?a、6b向斜上方上升的方法，也可以具備例如可使上分?jǐn)喟?a、6b相對于基板支撐板2向大致水平方向移動的水平移動機構(gòu)，當(dāng)進行位置對準(zhǔn)時，以能夠拍攝攝像裝置20正下方的方式，使上分?jǐn)喟?a、6b朝向圖6而在左右方向移動。如上所述，根據(jù)本實施方式，使下分?jǐn)喟?在形成著劃線11、11、…一側(cè)的相反側(cè)沿著劃線11壓接，且由下分?jǐn)喟?與上分?jǐn)喟?a夾住脆性材料即LTCC基板1，在此狀態(tài)下利用上分?jǐn)喟?b進行分?jǐn)啵纱丝纱_實地沿著劃線11進行分?jǐn)?，從而可高精度地定位分?jǐn)辔恢谩６遥ㄟ^從上下支撐分?jǐn)辔恢?，即便以小間距進行分?jǐn)鄷r，也不會產(chǎn)生始料未及的裂痕，并且在已分?jǐn)嗟慕孛娈a(chǎn)生凹凸的可能性低。還有，分?jǐn)鄬ο蟛⒉幌薅ㄓ贚TCC基板，只要是必須以小間距進行分?jǐn)嗟拇嘈圆牧闲纬傻幕澹瑒t并沒有特別限定。此外，當(dāng)然只要在本發(fā)明的主旨范圍內(nèi)，便可以進行多種變形、替換等。
權(quán)利要求
1.一種基板分?jǐn)嘌b置，將表面形成著劃線的脆性材料基板沿著所述劃線分?jǐn)?，其特征在于具備基板支撐板，形成著與所述脆性材料基板的形狀對應(yīng)的方形的開口部； 彈性薄膜，覆蓋所述開口部而搭載于所述基板支撐板的上面，以固定所述脆性材料基板；第1上分?jǐn)喟艏暗?上分?jǐn)喟?，以能夠上下方向移動的方式配設(shè)在所述彈性薄膜的上方，并沿著所述劃線進行分?jǐn)?；及下分?jǐn)喟?，以能夠上下方向移動的方式配設(shè)在所述彈性薄膜的下方，并沿著所述劃線進行分?jǐn)?；且使所述下分?jǐn)喟粼谛纬芍鰟澗€一側(cè)的相反側(cè)沿著所述劃線壓接，且由所述下分?jǐn)喟襞c所述第1上分?jǐn)喟魥A住所述脆性材料基板，在此狀態(tài)下利用所述第2上分?jǐn)喟暨M行分?jǐn)唷?br> 2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板分?jǐn)嘌b置，其特征在于所述彈性薄膜是通過配設(shè)在所述開口部的四邊周圍的薄膜壓接機構(gòu)，而固著于所述基板支撐板上。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的基板分?jǐn)嘌b置，其特征在于在所述第1上分?jǐn)喟艏八龅?上分?jǐn)喟舻纳戏脚湓O(shè)著攝像裝置， 利用所述攝像裝置拍攝賦予給所述脆性材料基板的標(biāo)記，以調(diào)整所述脆性材料基板的設(shè)置位置，且所述基板分?jǐn)嘌b置具備斜向移動機構(gòu)，可使所述第1上分?jǐn)喟艏八龅?上分?jǐn)喟粝鄬τ谒龌逯伟逡蕴囟ń嵌认騼A斜方向移動。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的基板分?jǐn)嘌b置，其特征在于在所述第1上分?jǐn)喟艏八龅?上分?jǐn)喟舻纳戏脚湓O(shè)著攝像裝置， 利用所述攝像裝置拍攝賦予給所述脆性材料基板的標(biāo)記，以調(diào)整所述脆性材料基板的設(shè)置位置，且所述基板分?jǐn)嘌b置具備水平移動機構(gòu)，可使所述第1上分?jǐn)喟艏八龅?上分?jǐn)喟粝鄬τ谒龌逯伟逑虼笾滤椒较蛞苿印?br> 全文摘要
為了提供一種即便當(dāng)作為分?jǐn)鄬ο蟮拇嘈圆牧匣鍨楸“澹乙孕￠g距進行分?jǐn)鄷r，也可以高精度定位分?jǐn)辔恢玫幕宸謹(jǐn)嘌b置，其具備基板支撐板(2)，形成著與脆性材料基板(1)的形狀對應(yīng)的方形的開口部(7)；彈性薄膜(4)，在基板支撐板(2)的上面覆蓋開口部(7)；上分?jǐn)喟?6a、6b)，以能夠上下方向移動的方式配設(shè)在彈性薄膜(4)的上方，并沿著劃線(11)進行分?jǐn)?；及下分?jǐn)喟?5)，以能夠上下方向移動的方式配設(shè)在彈性薄膜(4)的下方，并沿著劃線(11)進行分?jǐn)?。使下分?jǐn)喟?5)在形成著劃線(11)一側(cè)的相反側(cè)沿著劃線(11)壓接，且由下分?jǐn)喟?5)與第(1)上分?jǐn)喟?6a)夾住脆性材料基板(1)，在此狀態(tài)下利用上分?jǐn)喟?6b)進行分?jǐn)唷?br> 文檔編號B28D5/00GK102300688SQ201080005708
公開日2011年12月28日 申請日期2010年1月29日 優(yōu)先權(quán)日2009年1月30日
發(fā)明者曾山正信 申請人:三星鉆石工業(yè)股份有限公司