專利名稱：切割裝置、帶排水排氣機構的切割裝置及環(huán)境控制方法
技術領域：
本發(fā)明涉及切割裝置、以及帶排水排氣機構的切割裝置及其環(huán)境控制方法，本發(fā) 明特別涉及將半導體晶片等的工件切斷分割為小片的切割裝置、以及帶排水排氣機構的切 割裝置及其環(huán)境控制方法。
背景技術：
在過去，為了將半導體晶片、電子部件材料等的工件分別切斷分割為芯片，采用切 割裝置。切割裝置包括裝載工件的工件臺；切斷該工件的刀片；使該工件相對上述刀片而 相對移動的工件臺運送機構；以可旋轉的方式安裝上述刀片的主軸；以可移動的方式支承 該主軸的主軸移動機構。作為切割裝置的代表的以前的例子如圖11所示(參照日本特開2002-280328號 文獻)。如該圖所示，在方形框架(切割裝置10的主體部)1的右側后部，設置裝載進出部 (load port) 2，并且在該方形框架1的右側前部設置工件清洗部3。另外，在方形框架1的左側中間部設置工件(晶片)切斷加工部4，并且在方形框 架1的右側中間部設置工件臺5，由此，位于切割裝置的前面?zhèn)鹊牟僮魅藛TM按照可接觸裝 載進出部2和工件清洗部3的方式構成。另外，由于在方形框架1的前后方向中間部，設置 工件臺運送機構6，故工件W沿左右方向在遠離操作人員M的方形框架1的前后方向中間部 行駛。此外，切斷工件W的刀片7，以可旋轉的方式安裝于主軸8。而且，在主軸移動機構 9上，設置支承主軸8的導軌(圖未示出)。在通過切割裝置對工件W進行切斷加工時，由切削水噴嘴(圖未示出)向刀片7 以及工件W的加工中心供給切削水，其后，供給的切削水作為廢液流入圍繞工件臺5而設置 的油盤11。而且，流入油盤11的切削水，從形成于油盤11的下游側的排水口 12經(jīng)過排水 管13排水到外部。又，油盤11中設置支承板，該支承板裝載折皺保護罩，折皺保護罩覆蓋 圖中未示出的X軸導軌等的驅(qū)動機構。作為以前的帶排水機構的切割裝置，已知的有日本特開2006-247760 (專利文件 1)、日本特開2002-103177 (專利文件2)、日本特開2003-124150 (專利文件3)、日本特許 2694931 (專利文件4)、日本特開2002-280328 (專利文件5)。例如，專利文件1的發(fā)明中，為了防止因為切削水飛散于防護罩的內(nèi)面，而使防護 罩失去透明性，在防護罩內(nèi)面形成親水性涂膜，通過與水的接觸角在30度以下，使切削水 難以形成水滴，所以從防護罩的表面容易流下切削水。又，在專利文件2的發(fā)明中，設置阻擋切削水的水罩，根據(jù)該水罩阻擋的切削水暫 時儲存，設置排水池，而且，將該排水池的底部形成于比水罩的底部更低的位置，進一步，在 排水池中，將排水口設置比上述水罩的底部更高的位置。進一步，在專利文件3的發(fā)明中，將工件在加工部內(nèi)切削的期間發(fā)生的霧，通過空 氣排出到加工部外側。但是，此時在任何的設備環(huán)境中，為了得到適合的排氣風壓，構成為可調(diào)整排氣風量的方式。具體來說，設置有強制排氣裝置和風量調(diào)整機構，該強制排氣裝置 將切削中發(fā)生的霧通過空氣排出到規(guī)定封閉空間的外側，該風量調(diào)整機構調(diào)整該強制排氣 裝置的排氣風量。一方面，在專利文件4的發(fā)明中，設置霧罩，該霧罩防止與切削水同時，霧向周圍 一面飛散。而且，刀片的前方安裝防止霧飛散罩。又，專利文件5的發(fā)明中，以下述構成。為了在不增加地面空間的情況下，確保安 全的配置。在切割裝置的背面?zhèn)染哂醒b載進出部，切斷晶片的加工部配置在切割裝置的左 側，而且，將工作臺配置在切割裝置的右側，操作人員可以確認裝載進出部以及晶片洗滌
部。
已有技術文獻
專利文獻
專利文獻1日本特開2006-247760
專利文獻2日本特開2002-103177
專利文獻3日本特開2003-124150
專利文獻4日本特許2694931
專利文獻5日本特開2002-280328

發(fā)明內(nèi)容
上述專利文件1-5所記載的發(fā)明具有以下的問題點。首先，在專利文件1所記載 的發(fā)明中，對于基于刀片的工件的切斷方向，切割裝置的方形框架的壁面在形成為直角或 基本直角的場合，切削水沖擊上述方形框架或與方形框架相當?shù)谋诓糠郑瑳_擊后而濺回的 切削水散亂于周圍(參照圖14)。從刀片飛散的切削水，通常最多飛散于刀片的旋轉方向 的沿長線上。伴隨從該沿長線上向橫向離開，飛散的切削水減少。這些，如圖14所示那樣， 其飛散分布，呈以刀片的旋轉方向延長線上為中心的概率分布。離開刀片的距離越遠，飛散 的距離越呈寬范圍。例如，即使在防護罩上形成親水性涂膜，散亂的切削水在慢慢流下的期 間，其幾乎被干燥。其結果，根據(jù)切削水中所含切削屑，防護罩的內(nèi)壁污染，污染的部分有定期進行清 掃的必要。如此的污染現(xiàn)象，不僅限于防護罩的內(nèi)壁，油盤、排水口附近也同樣，切削水滯留 的部分產(chǎn)生切削水的水分干燥，切削屑堆積。又，散亂于周圍的切削水，因為不被下次飛散的切削水沖洗，結果，散亂的切削水 滯留于周圍一面，慢慢干燥，切削屑被堆積。因此，切削屑堆積的切割裝置的內(nèi)側部分，必須 以洗滌水精心的進行沖洗。又，在專利文件2的發(fā)明中，水罩(或油盤)對應覆蓋卡盤臺運送裝置機構的折皺 保護罩的形狀，形成為大致長方形，而且排水機構的排水口部分形成于長方形的基本頂點 附近。根據(jù)該構成，即使在水罩多少傾斜的形成的場合，因為水罩在其長度方向整個區(qū)域具 有相同的寬度尺寸，切削水從水罩以穩(wěn)定的速度流出而排出。特別是，在油盤的上游側，飛散的切削水的量少，所以如果切削水干燥了一半，切 削屑容易成塊。在此場合，即使切削屑沒有完全成塊，如果形成某種程度大小的塊，該塊雖 然會從水罩滑落，此時，水罩具有在其長度方向整個區(qū)域一定的尺寸，而且，因為在水罩的終端部設置排水部，所以在排水部附近切削水暫時停止。其結果，切削水中所含的切削屑在離排水部稍微離開的位置成塊、開始沉淀。而 且，沉淀的切削屑慢慢堆積，變得大到可以阻塞水罩的流水通路的程度。又，切削屑通過堆 積在水罩的排水口附近的水池內(nèi)，該堆積物均有清掃的必要。特別是，在排出含 切削水等的切削屑的水的場合，該水在排水部進行停滯，因此， 排水部附近的水的流速減小。據(jù)此，切削屑的沉淀或堆積進行，阻礙流動作用。因此，采用 過濾器等將切削屑進行排水(捕捉)的場合，如果采用對應基于排水的流速的減少，流速自 然增加的方式，在排水部附近停滯流動作用，切削屑沉淀，沉淀物慢慢堆積。進而，積壓切削屑的水罩的排水通路，有定期清掃的必要?？墒?，排水通路被設置 于其上側的折皺保護罩所對應的形狀尺寸所制約。因此，水罩的排水通路的寬度尺寸變窄， 在空間上容易儲存切削屑，排水通路的清掃非常困難。上述水罩的外形，為了與切割裝置的外形基本一致，水罩的形狀如果變更，則切割 裝置的外形也必須變更。又，如果加工陶瓷等的比較重的加工物的場合，在水罩的底部會發(fā) 生陶瓷等的切削屑(淤渣)堆積的情況。該堆積的切削屑阻塞排水通路，使用完的切削水 流入排水部，有切削水從水罩溢出的問題。又，專利文件3的發(fā)明中，將工件在加工部內(nèi)切削中發(fā)生的霧由空氣向加工部的 外側排出時，在任何環(huán)境中，均要求構成為可以調(diào)整確保適當?shù)呐艢怙L壓的排氣風量，而 且，具有強制排氣裝置，其將切削中發(fā)生的霧向封閉空間的外側以空氣排出，而且，配設排 氣口，該排氣口設置在從刀片向切削水的飛散方向。根據(jù)該構造，切削水的霧變成亂流，發(fā)生在切割裝置內(nèi)部滯留的部位，不僅刀片的 旋轉方向的下游側，上游側也充滿霧。其結果，霧滯留的位置容易固定切削水，固定的切削 屑有在維護時有除去的必要。進一步，在切割裝置的內(nèi)壁面形成排氣口的場合，該排氣口的沿長線上形成的霧 氛圍雖然被收集，但是，從上述沿長線上錯位的排氣口周邊的霧氛圍沒有被收集，而是沉淀 在排氣口的壁面。因此，排氣口周邊霧卷成漩渦，結果，沿著排氣口的壁面周邊，殘留有霧， 導致不能從排氣口將霧以良好的效率向外部吸引。在此場合下，因為在殘留有霧的壁面固定切削屑，與上述同樣，不需要特別的維 護。又，如果切削屑固定，則固體物從壁面不久就會剝落，殘留在排水口附近，因此，有阻礙 排水作用等的危險。接著，在專利文件4的發(fā)明中，切割加工時，與切削水的同時，霧也與加工部接觸， 為了防止在周圍一面飛散霧，設置霧罩，而且，刀片的前方雖然設置防止霧飛散罩，但是根 據(jù)飛散防止罩(緩沖材料)防止切削水的濺回，又，從緩沖材滴下的切削水，沿著接收板的 傾斜面，向切削方向流動，導入到加工部的外側。在此場合，為防止上述濺回的緩沖材本身殘留有切削水，該切削水干燥而滯留。 又，從緩沖材滴下的切削水，因為接收板的傾斜面上沒有充分的流量以及流速，在上述傾斜 面上滯留，如此而干燥，滯留切削屑。滯留的切削屑必須將防止飛散罩等取下才能清掃，為 了將切割裝置保持清潔，必須將洗滌等的維護作業(yè)細心的進行。又，專利文件5的發(fā)明，主軸移動機構和工件臺移動機構設置在方形的切割裝置 的方形框架的縱橫方向相對應的垂直方向。根據(jù)該構成，垂直的兩個移動機構之間的間隙部分因為發(fā)生多余的空間部，不僅使切割裝置大型化，而且向切割裝置內(nèi)排氣時，切割裝置 大型化的部分導致內(nèi)部空間的增大，與其相對應，排氣效率低下。又，從工件切斷加工部排出的切削水的霧向周圍飛散而污染的空間區(qū)域與將工件 運送或交換側的空間區(qū)域之間沒有進行氛圍上的明確區(qū)分，而且，形成了霧飛散的污染部 分難以良好的效率進行排氣的構造。因此，從上述污染空間領域運送工件側的空間區(qū)域內(nèi)有飛散霧的情況，根據(jù)場合， 會發(fā)生應該維持清潔的工件交換部也發(fā)生霧飛散的情況。因此，為了將霧以良好的效率排 氣，雖然考慮了附設將霧作為層流向外部吸引的設備，但是該場合中，設備成本會大增。又，如圖12以及圖13所示的那樣，在長度方向整個區(qū)域具有一定寬度尺寸的油盤 (水罩)13中，在其下游端，工件的端部材料等分散在該下游端寬度方向的整個區(qū)域。因此， 有下述必要，即，上述的工件的端部材料等暫時儲存，加工后整理、進行回收處理。該場合， 因為分散了的端部材料等必須進行收集，所以維護作業(yè)也變得繁雜。為了將分散了的端部 材料等進行匯集，如圖11所示的那樣，必須在已知的維護區(qū)域E的外側增加多余的空間S。因此，為了防止切削屑的沉淀、堆積的同時，提高切削水以及霧的排出效率，而且， 為使油盤等的洗滌容易，為了維持工件交換部清潔而產(chǎn)生必須解決的技術問題，本發(fā)明以 解決該課題為目的。本發(fā)明是為了達成上述目的而提案的，技術方案1記載的發(fā)明提供一種帶排水排 氣機構的切割裝置，其包括裝載工件的工件臺；切斷該工件的刀片；工件臺運送機構，該 機構使上述工件臺上的工件相對上述刀片而移動；主軸，其以可旋轉的方式安裝上述刀片； 以可移動的方式支承該主軸的主軸移動機構，將該主軸移動機構和上述工件臺運送機構相 互垂直地設置，其特征在于配設有排水機構，該排水機構具有排水口，該排水口在上述工 件的切斷時，位于沿上述刀片飛散的切削水的排出方向的基本沿長線上，該排水機構具有 伴隨接近上述排水口寬度變窄的裝置內(nèi)壁乃至裝置框架。根據(jù)該構成，以安裝于主軸移動機構上的刀片切斷工件時，沿著該刀片的旋轉飛 散的切削水，直接流入排水機構，該排水機構設置在切削水的排出方向的基本沿長線上。其 后，切削水通過伴隨接近排水口寬度變窄的裝置內(nèi)壁乃至裝置框架，面向排水口自然的變 窄而流出。其結果，切削水一邊使流速變大一邊排水。技術方案2記載的發(fā)明，提供一種帶排水排氣機構的切割裝置，其包括裝載工件 的工件臺；切斷該工件的刀片；工件臺運送機構，該機構使上述工件臺上的工件相對上述 刀片而移動；主軸，其以可旋轉的方式安裝上述刀片；以可移動的方式支承該主軸的主軸 移動機構，將該主軸移動機構和上述工件臺運送機構相互垂直地設置，其特征在于配設有 排氣機構，該排氣機構具有排氣口，該排氣口在上述工件的切斷時，位于沿上述刀片飛散的 切削水和霧的排出方向的基本沿長線上，該排氣機構具有伴隨接近上述排氣口寬度變窄的 裝置內(nèi)壁乃至裝置框架。根據(jù)該構成，以安裝于主軸移動機構上的刀片切斷工件時，沿著該刀片的旋轉飛 散的霧，直接流入排氣機構，該排氣機構設置在霧的排出方向的基本沿長線上。其后，霧通 過伴隨接近排氣口寬度變窄的裝置內(nèi)壁乃至裝置框架，面向排氣口自然的變窄而流出。其 結果，霧一邊使流速變大一邊順暢的排氣。技術方案3記載的發(fā)明，提供一種帶排水排氣機構的切割裝置，其包括裝載工件的工件臺；切斷該工件的刀片；工件臺運送機構，該機構使上述工件臺上的工件相對上述 刀片而移動；主軸，其以可旋轉的方式安裝上述刀片；以可移動的方式支承該主軸的主軸 移動機構，將該主軸移動機構和上述工件臺運送機構相互垂直地設置，其特征在于上述主 軸移動機構和工件臺運送機構配置在形成為俯視呈方形的切割裝置的方形框架的兩個對 角線上，在上述工件的切斷時的沿上述刀片飛散的切削水和霧的排出方向的基本沿長線上 配設有具有排水的口排水機構、具有排氣口的排氣機構，該排水機構和排氣機構具有伴隨 接近上述排水口寬度變窄的排水通路，而且，上述排氣機構具有伴隨接近上述排氣口寬度 變窄的排氣通路，在配置上述排水機構的對角線上，該排水機構的相反側設置工件交換部。根據(jù)該構成，以安裝于主軸移動機構上的刀片切斷工件時，沿著該刀片的旋轉飛 散的切削水及霧，分別直接流入設置于其排出方向的基本沿長線上的排水機構以及排氣機 構，然后，切削水通過伴隨接近排水口寬度變窄的排水通路，面向排水口變窄而流出。一邊 使流速變大一邊排水。其后，霧通過伴隨接近排氣口寬度變窄的排氣通路，面向排氣口變窄 而流出，一邊使流速變大一邊排氣。進一步，在與排水機構相同的對角線上，將主軸移動機 構作為邊界在排水機構的相反側具有工件交換部，所以，主軸移動機構能夠發(fā)揮遮蔽功能， 該遮蔽功能將工件交換部被設置的空間區(qū)域從霧飛散的空間區(qū)域隔離。技術方案4記載的發(fā)明，提供一種帶排水排氣機構的切割裝置，其包括裝載工件 的工件臺；切斷該工件的刀片；工件臺運送機構，該機構使上述工件臺上的工件相對上述 刀片而移動；主軸，其以可旋轉的方式安裝上述刀片；以可移動的方式支承該主軸的主軸 移動機構，將該主軸移動機構和上述工件臺運送機構相互垂直地設置，其特征在于上述主 軸移動機構和工件臺運送機構配置在形成為俯視呈方形的切割裝置的方形框架的兩個對 角線上，在上述工件的切斷時的沿上述刀片飛散的切削水和霧的排出方向的基本沿長線上 配設有具有排水口的排水機構、具有排氣口的排氣機構，該排水機構和排氣機構具有伴隨 接近上述排氣口寬度變窄的排水通路，而且，上述排氣機構具有伴隨接近上述排氣口寬度 變窄的排氣通路，進一步，接收從上述工件流出的切削水的油盤以圍繞上述工件臺送出機 構的方式設置，該油盤在上述工件切斷加工位置形成為寬度變寬，同時，伴隨面對與該油盤 連接的上述排水機構以寬度變窄的方式形成。根據(jù)該構成，加工時，沿著該刀片飛散的切削水及霧，分別直接流入排水機構以及 排氣機構，因此，防止周圍散亂。又，將切削水及霧一邊使流速變大一邊排出，所以，可以提 高排水效率以及排氣效率。特別是，含在切削水中的切削屑即使在排水通路的底面沉淀、滯 留，該沉淀、滯留物也會根據(jù)接著流入的切削水沖走，所以，沉淀、滯留物的除去作業(yè)是不需 要的。進一步，油盤在工件切斷加工位置形成為寬度變寬，所以，從工件臺流出或飛散的切 削水根據(jù)油盤在寬范圍的被擋住。又，油盤伴隨著向排水機構而寬度變窄而形成，因此，切 削水一邊使流速變大一邊向排水機構流出。技術方案5記載的發(fā)明，提供一種帶排水排氣機構的切割裝置的環(huán)境控制方法， 其包括裝載工件的工件臺；切斷該工件的刀片；工件臺運送機構，該機構使上述工件臺上 的工件相對上述刀片而移動；主軸，其以可旋轉的方式安裝上述刀片；以可移動的方式支 承該主軸的主軸移動機構，將該主軸移動機構和上述工件臺運送機構相互垂直地設置，上 述主軸移動機構和工件臺運送機構配置在形成為俯視呈方形的切割裝置的方形框架的兩 個對角線上，在上述工件的切斷時的沿上述刀片飛散的切削水和霧的排出方向的基本沿長線上配設有具有排水口的排水機構、具有排氣口的排氣機構，其特征在于，根據(jù)主軸移動機構將設置了工件交換部的空間區(qū)域從飛散霧的空間區(qū)域隔離，在以上述刀片切斷工件時， 將沿該刀片的旋轉飛散的切削水以及霧分別直接流入上述排水機構以及排氣機構后，將切 削水以及霧一邊面對上述排水口以及排氣口變窄一邊排出。根據(jù)該方法，切削水以及霧一邊面對上述排水口以及排氣口變窄一邊排出，此時， 一邊使流速變大一邊排出。又，主軸移動機構在設置工件交換部的空間區(qū)域發(fā)揮了從霧飛 散的空間區(qū)域隔離的遮蔽功能，所以，切削水以及霧沒有侵入設置工件交換部側的區(qū)域的危險。技術方案6記載的發(fā)明，提供一種切割裝置，其包括裝載工件的工件臺；切斷該 工件的刀片；工件臺運送機構，該機構使上述工件臺上的工件相對上述刀片而移動；主軸， 其以可旋轉的方式安裝上述刀片；以可移動的方式支承該主軸的主軸移動機構，其特征在 于將上述主軸移動機構和上述工件臺運送機構相互垂直地設置，具有裝置框架，該裝置框 架伴隨面對基本沿長線寬度變窄，該基本沿長線為在上述工件的切斷時的沿上述刀片飛散 的切削水的排出方向的基本沿長線。根據(jù)該構成，在主軸移動機構和工件臺運送機構交差的工件加工位置，以該主軸 移動機構上安裝的刀片切斷工件時，沿該刀片的旋轉飛散的切削水，直接流入在切削水的 排出方向的基本沿長線上設置的排水機構。其后，切削水伴隨面對上述排出方向的基本沿 長線，裝置框架寬度變窄，由此，面向上述排水機構中的排水口以變窄的方式流出。其結果， 切削水一邊使流速變大一邊排水。技術方案7記載的發(fā)明，提供一種切割裝置，其包括裝載工件的工件臺；切斷該 工件的刀片；工件臺運送機構，該機構使上述工件臺上的工件相對上述刀片而移動；主軸， 其以可旋轉的方式安裝上述刀片；以可移動的方式支承該主軸的主軸移動機構，其特征在 于將上述主軸移動機構和上述工件臺運送機構相互垂直地設置，加工上述工件的工件加 工裝置位于基本裝置中央部的同時，交換上述工件的工件交換位置位于上述工件臺運送機 構的一端，具有下述裝置框架，其中伴隨從上述工件交換位置向上述主軸移動機構的接近， 裝置框架寬度變寬，同時，在從上述主軸移動機構切斷上述工件時，伴隨面對上述刀片飛散 的切削水的排出方向的基本沿長線，該裝置框架寬度變窄。根據(jù)該構成，在主軸移動機構和工件臺運送機構交差的工件加工位置，以該主軸 移動機構上安裝的刀片切斷工件時，沿該刀片的旋轉飛散的切削水，直接流入在切削水的 排出方向的基本沿長線上設置的排水機構。此時，主軸移動機構發(fā)揮將工件交換位置側的 空間區(qū)域與下述空間區(qū)域隔離的遮蔽件的功能。該空間區(qū)域為與上述切削水以及該切削水 一起發(fā)生的切削霧飛散的空間區(qū)域。比該主軸移動機構前部的工件交換位置側的空間區(qū)域 作為清潔區(qū)域，比該主軸移動機構后部的切削水以及切削霧飛散的空間區(qū)域作為不潔區(qū)域 而區(qū)分。而且，在該不潔區(qū)域側，裝置框架寬度伴隨從切削水的排出方向的基本沿長線，寬 度變窄，因此，切削水在增加流速的同時匯集于排水機構，從該排水機構排水。又，與切削水 的同時發(fā)生的切削霧也在增加流速的同時，匯集于排氣機構，從該排氣機構排氣。技術方案8記載的發(fā)明，提供一種切割裝置，其包括裝載工件的工件臺；切斷該 工件的刀片；工件臺運送機構，該機構使上述工件臺上的工件相對上述刀片而移動；主軸， 其以可旋轉的方式安裝上述刀片；以可移動的方式支承該主軸的主軸移動機構，其特征在于將上述主軸移動機構和上述工件臺運送機構相互垂直地設置，加工上述工件的工件加 工裝置位于基本裝置中央部的同時，交換上述工件的工件交換位置位于上述工件臺運送機 構的一端，配置排水機構，其位于上述工件的切斷時的沿著上述刀片飛散的切削水的排出 方向的基本延長線上，在上述工件臺運送機構的另一端側附近進行排水收集，具有簾刷，該 簾刷橫切上述工件臺運送機構，位于上述工件交換位置和上述工件加工位置之間，該簾刷 在工件從上述工件加工裝置向上述工件交換位置移動時，接觸工件表面，具有下述裝置框 架，其中伴隨從上述工件交換位置向上述主軸移動機構的接近，裝置框架寬度變寬，同時， 伴隨從上述主軸移動機構向上述排水機構的接近，該裝置框架寬度變窄。
根據(jù)該構成，在主軸移動機構和工件臺運送機構交差的工件加工位置，以該主軸 移動機構上安裝的刀片切斷工件時，沿該刀片的旋轉飛散的切削水，直接流入在切削水的 排出方向的基本沿長線上設置的排水機構。此時，主軸移動機構發(fā)揮將工件交換位置側的 空間區(qū)域與下述空間區(qū)域隔離的遮蔽件的功能。該空間區(qū)域為與上述切削水以及該切削水 一起發(fā)生的切削霧飛散的空間區(qū)域。比該主軸移動機構前部的工件交換位置側的空間區(qū)域 作為清潔區(qū)域，比該主軸移動機構后部的切削水以及切削霧飛散的空間區(qū)域作為不潔區(qū)域 而區(qū)分。而且，在該不潔區(qū)域側，裝置框架寬度伴隨接近排水機構，寬度變窄，因此，切削水 在增加流速的同時匯集于排水機構，從該排水機構排水。又，切削霧也在增加流速的同時， 匯集于排氣機構，從該排氣機構排氣。進一步，在上述工件加工位置中，在進行工件的切斷 加工時，如上那樣很多切削水在作為不潔區(qū)域的排水機構側飛濺而被排出?？墒?，一部分的 切削霧，在工件切斷加工位置飛揚，根據(jù)情況，清潔區(qū)域側的工件交換位置會有出現(xiàn)對流的 情況。對此，工件加工位置與工件交換位置之間因為存在簾刷，所以該簾刷作為遮蔽工件交 換位置的遮蔽件而發(fā)揮功能，用來防止來自于上述一部分的切削霧的飛散，將工件加工位 置與工件交換位置從環(huán)境上分離。又，簾刷接觸從工件加工位置移動到工件交換位置的工 件的表面，由此，在切削加工完成的工件上即使堆積切削屑等，該堆積的切削屑等被掃除， 切削加工完成的工件表面被清潔化。技術方案9載的發(fā)明，提供一種切割裝置，其包括裝載工件的工件臺；切斷該工 件的刀片；工件臺運送機構，該機構使上述工件臺上的工件相對上述刀片而移動；主軸，其 以可旋轉的方式安裝上述刀片；以可移動的方式支承該主軸的主軸移動機構，其特征在于 將上述主軸移動機構和上述工件臺運送機構相互垂直地設置，加工上述工件的工件加工裝 置位于基本裝置中央部的同時，交換上述工件的工件交換位置位于上述工件臺運送機構的 一端，配置排水機構，其位于上述工件的切斷時的沿著上述刀片飛散的切削水的排出方向 的基本延長線上，在上述工件臺運送機構的另一端側附近進行排水收集，具有簾刷，該簾刷 橫切上述工件臺運送機構，位于上述工件交換位置和上述工件加工位置之間，該簾刷在工 件從上述工件加工裝置向上述工件交換位置移動時，接觸工件表面，具有下述裝置框架，其 中伴隨從上述工件交換位置向上述主軸移動機構的接近，裝置框架寬度變寬，同時，橫切上 述工件臺送出機構，伴隨從簾刷和上述主軸移動機構接近上述排水機構，該裝置框架寬度 變窄。根據(jù)該構成，在主軸移動機構和工件臺運送機構交差的工件加工位置，以該主軸 移動機構上安裝的刀片切斷工件時，沿該刀片的旋轉飛散的切削水，直接流入在切削水的 排出方向的基本沿長線上設置的排水機構。此時，主軸移動機構發(fā)揮將工件交換位置側的空間區(qū)域與下述空間區(qū)域隔離的遮蔽件的功能。該空間區(qū)域為與上述切削水以及該切削水 一起發(fā)生的切削霧飛散的空間區(qū)域。比該主軸移動機構前部的工件交換位置側的空間區(qū)域 作為清潔區(qū)域，比該主軸移動機構后部的切削水以及切削霧飛散的空間區(qū)域作為不潔區(qū)域 而區(qū)分。而且，在該不潔區(qū)域側，裝置框架寬度伴隨接近排水機構，寬度變窄，因此，切削水 在增加流速的同時匯集于排水機構，從該排水機構排水。又，切削霧也在增加流速的同時， 匯集于排氣機構，從該排氣機構排氣。進一步，在上述工件加工位置中，在進行工件的切斷 加工時，如上那樣很多切削水在作為不潔區(qū)域的排水機構側飛濺而被排出?？墒?，一部分的 切削霧，在工件切斷加工位置飛揚，根據(jù)情況，清潔區(qū)域側的工件交換位置會有出現(xiàn)對流的 情況。對此，工件加工位置與工件交換位置之間因為存在簾刷，所以該簾刷作為遮蔽工件交 換位置的遮蔽件而發(fā)揮功能，用來防止來自于上述一部分的切削霧的飛散，將工件加工位 置與工件交換位置從環(huán)境上分離。而且，上述裝置框架寬度從該簾刷和主軸移動機構的部 分伴隨接近排水、排氣機構寬度變窄，根據(jù)簾刷遮蔽的向工件交換位置的飛散的上述一部 分的切削霧也在流速增加的同時，匯集到排氣機構，從該排氣機構被排氣。又，簾刷接觸從 工件加工位置移動到工件交換位置的工件的表面，由此，在切削加工完成的工件上即使堆 積切削屑等，該堆積的切削屑等被掃除，切削加工完成的工件表面被清潔化。技術方案10載的發(fā)明，提供一種切割裝置，其包括裝載工件的工件臺；切斷該工 件的刀片；工件臺運送機構，該機構使上述工件臺上的工件相對上述刀片而移動；主軸，其 以可旋轉的方式安裝上述刀片；以可移動的方式支承該主軸的主軸移動機構，其特征在于 將上述主軸移動機構和上述工件臺運送機構相互垂直地設置，加工上述工件的工件加工裝 置位于基本裝置中央部的同時，交換上述工件的工件交換位置位于上述工件臺運送機構的 一端，具有下述裝置框架，其中伴隨從上述工件交換位置向上述主軸移動機構的接近，裝置 框架寬度變寬。根據(jù)該構成，在主軸移動機構和工件臺運送機構交差的工件加工位置，以該主軸 移動機構上安裝的刀片切斷工件時，沿該刀片的旋轉飛散的切削水，直接流入在切削水的 排出方向的基本沿長線上設置的排水機構。此時，主軸移動機構發(fā)揮將工件交換位置側的 空間區(qū)域與下述空間區(qū)域隔離的遮蔽件的功能。該空間區(qū)域為與上述切削水以及該切削水 一起發(fā)生的切削霧飛散的空間區(qū)域。比該主軸移動機構前部的工件交換位置側的空間區(qū)域 作為清潔區(qū)域，比該主軸移動機構后部的切削水以及切削霧飛散的空間區(qū)域進行區(qū)分。而 且，工件交換位置側的清潔區(qū)域側，裝置框架伴隨從上述工件交換位置接近上述主軸移動 機構，寬度變寬，因此，根據(jù)從該工件交換位置的局部的部分引入的清潔空氣，從工件交換 位置側向主軸移動機構側形成向單方向放射狀的空氣流，該工件交換位置可平時保持清潔 環(huán)境。技術方案11載的發(fā)明，提供一種切割裝置，其包括裝載工件的工件臺；切斷該工 件的刀片；工件臺運送機構，該機構使上述工件臺上的工件相對上述刀片而移動；主軸，其 以可旋轉的方式安裝上述刀片；以可移動的方式支承該主軸的主軸移動機構，其特征在于 將上述主軸移動機構和上述工件臺運送機構相互垂直地設置，加工上述工件的工件加工裝 置位于基本裝置中央部的同時，交換上述工件的工件交換位置位于上述工件臺運送機構的 一端，而且，設置主軸維護位置，該主軸維護位置位于上述主軸移動機構上，從移動上述工 件的X軸偏離的左右部分，具有下述裝置框架，其中伴隨從上述工件交換位置向上述主軸移動機構的接近，裝置框架寬度變寬。根據(jù)該構成，在主軸移動機構和工件臺運送機構交差的工件加工位置，以該主軸 移動機構上安裝的刀片切斷工件時，沿該刀片的旋轉飛散的切削水，直接流入在切削水的 排出方向的基本沿長線上設置的排水機構。此時，主軸移動機構發(fā)揮將工件交換位置側的 空間區(qū)域與下述空間區(qū)域隔離的遮蔽件的功能。該空間區(qū)域為與上述切削水以及該切削水 一起發(fā)生的切削霧飛散的空間區(qū)域。比該主軸移動機構前部的工件交換位置側的空間區(qū)域 作為清潔區(qū)域，比該主軸移動機構后部的切削水以及切削霧飛散的空間區(qū)域進行區(qū)分。而 且，在工件交換位置側的清潔區(qū)域，裝置框架伴隨從上述工件交換位置接近上述主軸移動 機構，寬度變寬，因此，根據(jù)從該工件交換位置的局部的部分引入的清潔空氣，從工件交換 位置側向主軸移動機構側形成向單方向放射狀的空氣流，該工件交換位置可平時保持清潔 環(huán)境。 又，如上所述，設置伴隨從工件交換位置向上述主軸移動機構的接近，裝置框架寬度 變寬的構成，而且設置主軸維護位置，該主軸維護位置位于從移動工件的X軸偏離的左右 部分，因此，在進行主軸、相對向的左右刀片的測定、調(diào)整中，對應必須分別進行同軸度、圓 度、直線度等的刀片的正面?zhèn)扰c垂直側的2方向的確認的維護，與此相對，可將其在一個維 護側進行，主軸以及刀片的維護調(diào)整變得非常容易。技術方案12載的發(fā)明，提供一種切割裝置，其包括裝載工件的工件臺；切斷該工 件的刀片；工件臺運送機構，該機構使上述工件臺上的工件相對上述刀片而移動；主軸，其 以可旋轉的方式安裝上述刀片；以可移動的方式支承該主軸的主軸移動機構，其特征在于 將上述主軸移動機構和上述工件臺運送機構相互垂直地設置，加工上述工件的工件加工裝 置位于基本裝置中央部的同時，以主軸移動機構為邊界區(qū)分為裝置前部的清潔區(qū)域和裝置 后部的不潔區(qū)域，交換上述工件的工件交換位置位于上述清潔區(qū)域，將上述不潔區(qū)域配置 在上述工件的切斷時沿上述刀片的切削水以及切削霧飛散的方向，伴隨從上述工件交換位 置接近上述主軸移動機構，裝置的框架寬度增大，從上述主軸移動機構面向上述不潔區(qū)域， 裝置的框架寬度減小。根據(jù)該構成，在主軸移動機構和工件臺運送機構交差的工件加工位置，以該主軸 移動機構上安裝的刀片切斷工件時，沿該刀片的旋轉飛散的切削水，直接流入在切削水的 排出方向的基本沿長線上設置的排水機構。此時，主軸移動機構發(fā)揮將工件交換位置側的 空間區(qū)域與下述空間區(qū)域隔離的遮蔽件的功能。該空間區(qū)域為與上述切削水以及該切削水 一起發(fā)生的切削霧飛散的空間區(qū)域。比該主軸移動機構前部的工件交換位置側的空間區(qū)域 作為清潔區(qū)域，比該主軸移動機構后部的切削水以及切削霧飛散的空間區(qū)域作為不潔區(qū)域 進行區(qū)分。而且，在該不潔區(qū)域中，裝置框架寬度伴隨接近排水、排氣機構寬度變窄，由此， 切削水的流速一邊增加一邊匯集到排水機構，從該排水機構排水，切削霧的流速一邊增加 一邊匯集到排氣機構，從該排氣機構排氣。一方面，工件交換裝置存在的清潔區(qū)域側，伴隨 裝置框架從上述工件交換位置向上述主軸移動機構的接近，寬度變寬而形成，因此，根據(jù)從 該工件交換位置的局部的部分引入的清潔空氣，從工件交換位置側向主軸移動機構側形成 向單方向放射狀的空氣流，該工件交換位置可平時保持清潔環(huán)境。在技術方案1記載的發(fā)明中，加工時，沿著刀片飛散的切削水，直接流入排水機 構，因此，防止向周圍散亂。又，在使切削水增大流速的同時排水，所以切削水中所含的切削 屑沒有在排水通路底面進行沉淀、滯留的危險。如果，切削屑即使沉淀、滯留，該沉淀、滯留物根據(jù)接著流入的切削水自然的被沖走。如此，如以前例子那樣，沒有進行沉淀、滯留物除去作業(yè)的必要，能夠提高切削水的排水效率。在技術方案2記載的發(fā)明中，加工時，沿著刀片的旋轉飛散的霧直接流入排氣機 構，因此，防止向周圍散亂。而且，可使霧一邊使流速變大一邊排出，能夠提高排氣效率。在技術方案3記載的發(fā)明中，加工時，沿著刀片的飛散的切削水及霧，分別直接流 入排水機構以及排氣機構，因此，防止向周圍的散亂。又，切削水以及霧一邊使流速變大一 邊排出，所以能夠提高排水效率以及排氣效率。特別是，切削水中所含的切削屑在排水通路 底面即使進行沉淀、滯留，該沉淀、滯留物根據(jù)接著流入的切削水自然的被沖走，因此，沒有 進行沉淀、滯留物除去作業(yè)的必要。而且，主軸移動機構，可發(fā)揮將設置工件交換部的空間 區(qū)域從霧飛散的空間區(qū)域進行隔離的遮蔽功能。因此，工件交換部側的空間區(qū)域沒有侵入 霧的危險，該工件交換部側的空間區(qū)域可維持平時清潔。在技術方案4記載的發(fā)明中，加工時，沿著刀片的飛散的切削水及霧，分別直接流 入排水機構以及排氣機構，因此，防止向周圍的散亂。又，切削水以及霧一邊使流速變大一 邊排出，所以能夠提高排水效率以及排氣效率。特別是，切削水中所含的切削屑在排水通路 底面即使進行沉淀、滯留，該沉淀、滯留物根據(jù)接著流入的切削水自然的被沖走，因此，沒有 進行沉淀、滯留物除去作業(yè)的必要。而且，主軸移動機構，可發(fā)揮將設置工件交換部的空間 區(qū)域從霧飛散的空間區(qū)域進行隔離的遮蔽功能。因此，工件交換部側的空間區(qū)域沒有侵入 霧的危險，該工件交換部側的空間區(qū)域可維持平時清潔。又，從工作臺流出或飛散切削水根 據(jù)油盤不僅可以效率良好的搜集，切削水一邊使流速變大一邊被排水，所以在排水口附近， 即使切削水中的切削屑沉淀，根據(jù)連續(xù)流入的切削水的流動作用，沉淀物可向排水口一側 沖洗、除去。進一步，在進行油盤清掃時，工件臺(以及折皺保護機構)與油盤之間的間隙 變寬，因此，油盤的維護作業(yè)容易實施。在技術方案5記載的發(fā)明中，加工時，沿著刀片的飛散的切削水及霧，分別直接流 入排水機構以及排氣機構，因此，防止向周圍的散亂。又，切削水以及霧一邊使流速變大一 邊被排出，所以能夠提高排水效率以及排氣效率。特別是，切削水中所含的切削屑在排水通 路底面即使進行沉淀、滯留，該沉淀、滯留物根據(jù)接著流入的切削水自然的被沖走，因此，沒 有進行沉淀、滯留物除去作業(yè)的必要。而且，主軸移動機構，可發(fā)揮將設置工件交換部的空 間區(qū)域從霧飛散的空間區(qū)域進行隔離的遮蔽功能。因此，工件交換部側的空間區(qū)域沒有侵 入霧的危險，該工件交換部側的空間區(qū)域可維持平時清潔。在技術方案6記載的發(fā)明中，在工件的切斷加工時，沿著刀片的飛散的切削水，直 接流入在切削水的排出方向的基本沿長線上設置的排水機構。因此，防止向加工部分周圍 的框體內(nèi)散亂。又，切削水一邊使流速變大一邊排水，所以切削水中所含的切削屑沒有沉 淀、滯留于排水部分的框架底面的危險。即使切削屑進行沉淀、滯留，該沉淀、滯留物根據(jù)接 著流入的流速大的切削水自然的被沖走。這樣，沒有以前實例中那樣的進行沉淀、滯留物除 去作業(yè)的必要。可以提高切削水的排水效率。在技術方案7記載的發(fā)明中，在工件的切斷加工時，沿著刀片的旋轉飛散的切削 水以及與該切削水同時發(fā)生切削屑，在不潔區(qū)域側，一邊增大流速一邊匯集到排水、排氣機 構，因此，從該排水、排氣機構可高效除去。又，切削水一邊使流速變大一邊被排水，所以切 削水中所含的切削屑沒有沉淀、滯留于框架底面的危險。即使切削屑進行沉淀、滯留，該沉淀、滯留物根據(jù)接著流入的流速大的切削水自然的被沖走。又，比主軸移動機構更前部的工 件交換位置存在的清潔區(qū)域中，沒有切削霧飛散的危險，工件交換位置可維持平時清潔。在技術方案8記載的發(fā)明中，在工件的切斷加工時，沿著刀片的旋轉飛散的切削 水、切削霧，在不潔區(qū)域側，一邊增大流速一邊匯集到排水、排氣機構，因此，從該排水、排氣 機構可高效除去。又，切削水一邊使流速變大一邊被排水，切削水所含的切削屑沒有沉淀、 滯留于框架底面的危險。即使切削屑進行沉淀、滯留，該沉淀、滯留物根據(jù)接著流入的流速 大的切削水自然的被沖走。又，比主軸移動機構更前部的工件交換位置存在的清潔區(qū)域中， 沒有切削霧飛散的危險，工件交換位置可維持平時清潔。進而，工件切斷加工時，即使一部 分的切削屑飛揚，簾刷作為遮蔽工件交換位置的遮蔽件而發(fā)揮功能，用來防止來自于上述 一部分的切削霧的飛散，即使是如此的一部分的切削霧，也可以防止飛散到工件交換位置， 可維持工件交換位置的清潔。又，簾刷接觸從工件加工位置移動到工件交換位置的工件的 表面，由此，在切削加工完成的工件上即使堆積切削屑等，該堆積的切削屑等被掃除，切削 加工完成的工件表面可被清潔。在技術方案9記載的發(fā)明中，在工件的切斷加工時，沿著刀片的旋轉飛散的切削 水、切削霧，在不潔區(qū)域側，一邊增大流速一邊匯集到排水、排氣機構，因此，從該排水、排氣 機構可高效除去。又，切削水一邊使流速變大一邊被排水，切削水所含的切削屑沒有沉淀、 滯留于框架底面的危險。即使切削屑進行沉淀、滯留，該沉淀、滯留物根據(jù)接著流入的流速 大的切削水自然的被沖走。又，比主軸移動機構更前部的工件交換位置存在的清潔區(qū)域中， 沒有切削霧飛散的危險，工件交換位置可維持平時清潔。進而，工件切斷加工時，即使一部 分的切削霧飛揚，簾刷作為遮蔽工件交換位置的遮蔽件而發(fā)揮功能，用來防止來自于上述 一部分的切削霧的飛散，即使是如此的一部分的切削霧，也可以防止飛散到工件交換位置， 同時可匯集到排氣機構，從該排氣機構除去，可維持工件交換位置的清潔。又，簾刷接觸從 工件加工位置移動到工件交換位置的工件的表面，由此，在切削加工完成的工件上即使堆 積切削屑等，該堆積的切削屑等被掃除，切削加工完成的工件表面被清潔。在技術方案10記載的發(fā)明中，裝置框架伴隨從上述工件交換位置向上述主軸移 動機構的接近，寬度變寬而形成，所以根據(jù)從該工件交換位置的局部的部分引入的清潔的 空氣，將其向工件的切斷加工部側(主軸移動機構側)適度飛散的同時導入。其結果，從工 件交換位置側向主軸移動機構側形成向單方向放射狀的空氣流，該工件交換位置可平時保 持清潔環(huán)境。在技術方案11記載的發(fā)明中，裝置框架伴隨從上述工件交換位置向主軸移動機 構的接近，寬度變寬而形成，所以根據(jù)從該工件交換位置的局部的部分引入的清潔的空氣， 將其向工件的切斷加工部側(主軸移動機構側)適度飛散的同時導入。其結果，從工件交 換位置側向主軸移動機構側形成向單方向放射狀的清潔的空氣流，該工件交換位置可平時 保持清潔環(huán)境。又，如上述那樣，伴隨從上述工件交換位置向主軸移動機構的接近，裝置框 架寬度變寬，在該構成的基礎上，從移動工件的X軸偏離的左右部分，設置主軸維護位置， 因此，在進行主軸、相對向的左右刀片的測定、調(diào)整中，對應必須分別進行同軸度、圓度、直 線度等的刀片的正面?zhèn)扰c垂直側的2方向的確認的維護，可將其在一個維護側容易進行。在技術方案12記載的發(fā)明中，在工件的切斷加工時，沿著刀片的旋轉的飛散的切 削水以及與該切削水同時發(fā)生切削霧，在不潔區(qū)域側，裝置框體寬度伴隨接近排水、排氣機構寬度變窄，由此，一邊增大流速一邊匯集到排水、排氣機構，因此，從該排水、排氣機構可 高效除去。又，切削水一邊使流速變大一邊被排水，所以切削水中所含的切削屑沒有沉淀、 滯留于框架底面的危險。即使切削屑進行沉淀、滯留，該沉淀、滯留物根據(jù)接著流入的流速 大的切削水自然的被沖走。又，比主軸移動機構更前部的工件交換位置存在的清潔區(qū)域側 中，裝置框體伴隨從上述工件交換位置接近上述主軸移動機構，寬度變寬而形成，因此，可 形成從工件交換位置側向主軸移動機構側形成單方向放射狀的清潔的空氣流，該工件交換 位置可平時保持清潔。



圖1表示本發(fā)明的一個實施例，說明切割裝置的各部分配置的配置俯視圖。圖2表示與本發(fā)明的實施例相關的切割裝置的排水排氣機構的構成例的立體圖。圖3說明與本發(fā)明的實施例相關的切割裝置的排水排氣機構的作用解說圖。圖4為說明圖3的排水機構的三角角落部中的端部材料的搜集作用的解說圖。圖5為說明本發(fā)明的實施例相關的切割裝置的環(huán)境控制方法的解說圖。圖6(&)、6(13)、6((3)以及6(d)為說明從本發(fā)明實施例相關的刀片飛散的切削水的 水量分布圖，說明該切削水的飛散方向的解說圖，說明從壁反射的切削水的水量分布圖以 及說明該切削水反射方向的解說圖。圖7為在本發(fā)明的實施例中，說明主軸的交換等的俯視圖，圖7(a)為說明主軸A 的交換等的圖、圖7(b)為說明主軸B的交換等的圖。圖8為顯示在本發(fā)明的實施例中，將裝置框架中的工件交換部的兩側切口，從工 件交換部到主軸移動機構緩慢擴大寬度而設定的構成例的俯視圖，8 (a)為切口前的裝置框 架，圖8(b)為切口后的裝置框架構成例。圖9為顯示在本發(fā)明的實施例中，將裝置框架中的排水排氣機構的兩側切口，從 主軸移動機構到排水排氣機構緩慢減小寬度而設定的構成例的俯視圖，9(a)為切口前的裝 置框架，圖9(b)為切口后的裝置框架構成例。圖10為顯示在本發(fā)明的實施例中，從主軸移動機構返回到工件交換部的中途的 工件臺送出機構的上方設置簾刷的構成例的圖，圖10(a)為俯視圖，圖10(b)為沿圖10(a) 中的Y-Y線的剖視圖，圖10(c)為將圖10(b)部分擴大而詳細顯示的圖。圖11顯示以前實例，為說明切割裝置的各部分的配置的配置俯視圖。圖12顯示與以前實例相關的切割裝置的排水機構的構成例的詳細俯視圖。圖13說明與以前實例相關的切割裝置的排水機構的端部材料的搜集作用的解說 圖。圖14(a)、14(b)、14(c)以及14(d)為說明從以前實例相關的刀片飛散的切削水的 水量分布圖，說明該切削水的飛散方向的解說圖，說明從壁反射的切削水的水量分布圖以 及說明該切削水反射方向的解說圖。
具體實施例方式本發(fā)明為了達成在防止切削屑的堆積的同時、提高切削水以及排氣的排出效率、 油盤等的洗滌容易、而且將工件(晶片)交換部維持在清潔的目的，以下述構成實現(xiàn)，一種帶排水排氣機構的切割裝置，其包括裝載工件的工件臺；切斷該工件的刀片；工件臺運送 機構，該機構使上述工件臺上的工件相對上述刀片而移動；主軸，其以可旋轉的方式安裝上 述刀片；以可移動的方式支承該主軸的主軸移動機構，將該主軸移動機構和上述工件臺運 送機構相互垂直地設置，其特征在于配設有排水機構，該排水機構具有排水口，該排水口 在上述工件的切斷時，位于沿上述刀片飛散的切削水的排出方向的基本沿長線上，該排水 機構具有伴隨接近上述排水口寬度變窄的排水通路，上述切削水在一邊使流速變大一邊被 排水。實施例1以下將本發(fā)明優(yōu)選的實施例根據(jù)圖1乃至圖6進行說明。圖1為顯示與本實施例 相關的切割裝置21俯視圖。如該圖所顯示那樣，形成為俯視為方形的切割裝置21的主體部 的方形框 架22，在其右前側角落部被切口直角等腰三角形部分，相對切割裝置21的前面， 形成呈45度角的斜邊緣部。該斜邊緣部上設置帶開閉罩的開口部23，從該開口部23在方 形框架22上以可實施工件交換以及維護作業(yè)的方式構成。又，在方形框架22上，設置作為工件的晶片W被裝載的可旋轉的工件臺24 ；切斷 該晶片W的刀片25、25 ；工件臺運送機構26，該機構26使裝載晶片W的工件臺24相對刀片 25,25而移動。工件臺運送機構26設置在連接方形框架22的右前側角落部和左后側角落 部的第1對角線上。進而，在方形框架22上設置主軸移動機構28，該主軸移動機構28具有導軌29。主 軸移動機構28設置于連接方形框架22的左前側角落部和右后側角落部的第2對角線上。 因此，主軸移動機構28以相對于工件臺運送機構26而垂直的方式配置。因此，主軸移動機 構28的導軌29相對根據(jù)工件臺運送機構26的工件運送方向呈直角交差。導軌29中，兩個主軸30、30以可移動的方式被支承，該主軸30、30在同一軸上以 相互相對的方式配設。各主軸30、30上以可旋轉的方式安裝刀片25、25。又，在切割裝置21的基本中間部，即，方形框架22中的主軸移動機構28和工件 臺運送機構26垂直的部分，配設工件切斷加工部32，該工件切斷加工部32中，以根據(jù)刀片 25,25可切斷晶片W的方式構成。在本實施例的工件切斷加工部32中，保持刀片25、25的主軸30、30的移動距離可 以對應對角線的長度而變長，所以即使是大口徑的晶片W，也可以將其以良好的效率進行切 斷。又，主軸移動機構28 (或者為導軌29)可以形成強度高的門形構造，在本實施例中，支 持主軸移動機構28門形的支柱，以與切割裝置21的方形框架22的支柱共用的方式構成。因此，剛性高的主軸移動機構28用的門形支柱即使不特別設置，在切割裝置21內(nèi) 也可以良好效率配置主軸移動機構28以及導軌29，可形成高剛性而且高精度的切割裝置 21。進一步，切割裝置21的右前側部分，設置工件交換部33，該工件交換部33接近、配 置于方形框架22的右前側斜邊緣部設置的開口部23。該工件交換部33中，裝載在工件臺 24上的晶片W可以容易的交換。圖中的符號34為油盤，其接收從工件切斷加工部32流出 切削水、洗滌水的廢液，該油盤34以包圍工件臺運送機構26的方式形成。進一步，在方形框架22的左后側角部，如圖2所示那樣，配設有具有排水口 35的 排水機構36、具有排氣口 37的排氣機構38。上述排水口 35在以高速旋轉的刀片25、25切斷晶片W時，沿著該刀片25、25的旋轉方向配置在切削水和洗滌水飛散的方向的延長線上。 又，上述排氣口 37形成在與排水口 35對應的大致正上部。又，切割裝置21的規(guī)定位置設 置操作、顯示部、攝像機構、監(jiān)視電視、顯示燈以及控制器(圖中未示出)等。接著，對采用上述切割裝置21的切割加工方法進行說明。首先，在主軸30、30上 安裝刀片25、25的同時，在工件臺24上裝載固定晶片W。接著，通過工件臺運送機構26沿 著方形框架22的第一對角線方向?qū)⒐ぜ_24運送到方形框架22的基本中央部，對工件切 斷加工部32以規(guī)定的速度將晶片W搬入。然后，面向工件切斷加工部32的中心移動主 軸30、30，對安裝在該主軸30、30上的刀片25、25進行高速旋轉，同時，進行晶片W的切斷加 工。加工中，在主軸30、30的前端設置的切削水用噴嘴以及洗滌用噴嘴(圖中未示出)分 別供給切削水以及洗凈水到晶片W的加工中心。而且，被供給的切削水(含有洗滌水，以下相同)根據(jù)油盤34而接收。此后，切削 水在流向油盤34的下游側之后，通過與油盤34連接的排水機構36的排水口 35以及排水 管(圖中未示出)向外部被排出。又，在加工時，與切削水一起，將霧沿著刀片25、25的旋 轉方向飛散，飛散的霧從工件切斷加工部32向方形框架22的左后側角落部流動。此后，霧 根據(jù)排氣機構38的排氣口 37通過排氣管(圖中未示出)向外部被排出。然后，如果沿著對晶片W的一個切斷線的切割加工完成，接著，刀片25、25被索引 送到加工的相鄰的切斷線，進行定位，與上述相同的順序，沿該切斷線進行切割加工。而且，通過上述切割加工反復進行，沿著規(guī)定數(shù)的切斷線的切割加工如果全部完 成，與工件臺24 —起，將晶片W進行90度旋轉，通過與上述同樣的加工順序，沿著與上述切 斷線垂直方向的切斷線進行切割加工。然后，如果沿著該切斷線的切割加工完全完成，則晶片W被切斷分割成多個芯片。 此后，裝載晶片w的工件臺24根據(jù)工件臺運送機構26運送到工件交換部33，接著，被應加 工的晶片W交換。此后，通過上述加工順序，該晶片W的切割加工重新被實施。如果對規(guī)定片數(shù)的晶片W進行切割加工，則油盤34的最下游側底部所設置的排水 口 35的附近堆積研磨屑(含研磨粉)，因此切割裝置21的運轉定期停止，進行油盤34的清 掃。接著，對本實施例相關的切割裝置21的排水、排氣機構進行詳述。本實施例中，以 刀片25、25切斷晶片W時，沿該刀片25、25飛散的切削水的排出方向的基本延長線上，配置 具有排水口 35的排水機構36，具有排氣口 37的排氣機構38。排水機構36如圖3所示，具有排水通路，該排水通路伴隨接近排水機構36的最下 游側所設置的排水口 35依次寬度變窄。例如，如圖1所示的那樣，在排水機構36的下游側 設置左右一對的水流導向部件43、43，水流導向部件43、43連設于油盤34的下游側。該水 流導向部件43、43由俯視呈直角三角形的角落部和平行水路部構成，該平行水路部與角落 部的流入側連接設置，而且，沿方形框架22的第一對角線方向延伸。因此，構成如下，切削 水伴隨接近排水口 35，一邊增加流速，一邊面向排水口 35順暢的排水。又，排氣機構38如下構成，具有排氣通路，該排氣通路伴隨接近方形框架22的左 后側角落部的內(nèi)面設置的排氣口 37，依次寬度變窄。霧以圖中未示出的鼓風機等的動作，一 邊將流速增大，一邊面向排氣口 37而排出。又，接收從工件臺24流出的切削水的油盤34，以包圍工件臺運送機構26的外圍的方式而設置。而且，油盤34在工件切斷加工部32以寬度變寬的方式形成，同時，伴隨面向 該油盤34的下游側所連接的排水機構36，油盤34的寬度尺寸寬度逐漸減小。根據(jù)如上那樣的本發(fā)明，切削水根據(jù)排水口 35以高效進行搜集。又，沿刀片25、25 的旋轉方向與切削水同時飛散的霧，也根據(jù)排氣口 37高效的被搜集。S卩，刀片25、25旋轉、 霧飛散時，在霧的進行方向(參照圖3的箭頭P)中，接觸方形框架22的內(nèi)壁面22L、22R，在 其內(nèi)側中央，霧被縮窄。而且，縮窄的霧根據(jù)排氣口 37以高效進行搜集。進一步，接收從工件切斷加工部32的刀片25、25流出或飛散的切削水的油盤34， 在與晶片切斷位置進行對應的部分以寬度變寬的方式形成。因此，切削水等的廢液根據(jù)油 盤34在寬的范圍被阻止。又，油盤34的下游側上，連接排水機構36。伴隨向該排水機構36的排水口 35，油 盤34的通路寬度以逐漸變窄的方式形成。因此，伴隨切削水面向排水口 35而流動，以高效 進行搜集。進而，在清掃油盤34時，油盤34在工件臺以及折皺保護罩(覆蓋工件運送驅(qū)動部 的部件)之間的間隙變寬，因此，維護作業(yè)可容易的實施。而且，切削水從油盤34到排水口 35的排水通路以非常順暢的方式流出。又，排水口 35的附近上游側的開口逐漸變窄，因此， 切削水等的廢液的流速相對變快。其結果，廢液的搜集效率可進一步提高。進一步，關于油盤34的排水口 35附近部分，伴隨與排水口 35的接近，開口依次變 窄，所以，切削水的流速在排水口 35附近慢慢增大。因此，廢液中所含的切削屑在排水口 35 附近即使沉淀，該沉淀物根據(jù)切削水的連續(xù)的流動作用，被向排水口 35沖走。如此，在排水通路的寬度變窄產(chǎn)生的切削水的流速增大化的基礎上，加上刀片25、 25的旋轉力而得到的強勢的切削水不斷地連續(xù)流入，由此，切削屑被向排水口 35的方向強 制地沖走。如此的切削水中的切削屑即使有一部分滯留在排水通路，根據(jù)如此的邊旋轉邊連 續(xù)流入的切削水，良好發(fā)揮了在一個位置被集中下去的所謂自凈作用，由此可能定期的大 幅減少清掃作業(yè)。如此，根據(jù)本發(fā)明，工件W的切斷加工所產(chǎn)生切削屑自動地清洗流出，可以將切削 屑以良好的效率搜集除去。又，排水口 35中，安裝面積大的過濾器、濾網(wǎng)，所以切削水等的 廢液中所含的切削屑可更高效的搜集。—方面，伴隨刀片25、25的旋轉，關于與切削水一起飛散的霧，對于霧飛散的進行 方向，方形框架22的角落部兩側內(nèi)面面對進行方向形成為逐漸變窄的形狀，而且，刀片旋 轉方向(晶片切斷方向)的延長線方向上形成排氣口 37，因此，根據(jù)該排氣口 37可將霧的 排氣高效的進行。本發(fā)明不僅是方形框架22的內(nèi)面，在方形框架22的左后側角部附近配置排氣口 37，由此，排氣口 37的周邊的內(nèi)壁面以霧沉淀，有污染該內(nèi)壁面的危險，可以從向排氣口 37 的所有的方向，高效地搜集霧。又，在方形框架22的內(nèi)面，面對根據(jù)切割而飛散的霧乃至水滴飛散的方向依次變 窄，以寬度變窄的方式形成。據(jù)此，飛散的水滴在向內(nèi)面濺回之后，在寬度變窄的前端的角 落部自動被搜集。不會出現(xiàn)以前那樣的根據(jù)飛散的水滴污染裝置內(nèi)的情況，所有飛散的切 削水、水滴、霧、切削屑，在俯視為方形的角部分被搜集，因此，可以高效的將切削水、霧進行回收，排出。進一步，以設置在第二對角線的主軸移動機構28為邊界，與在方形框架22中的排 氣方向側的區(qū)域不同，在其相反側的工件交換部33具有的工件搬入側的區(qū)域，有極力回避 霧的飛散、保持清潔的必要。特別，工件交換部33有兼具工件洗滌裝置的情況，有防止霧的 侵入的必要。此點，根據(jù)本發(fā)明，設置在第二對角線上的主軸移動機構28如圖5所示，具有 隔離功能，將以工件交換側區(qū)域WE保持在清潔氛圍的第二對角線L2為邊界的霧的排氣方 向側領域ME與工件交換側區(qū)域WE相互隔離。特別是，在工件為大口徑化的晶片W的場 合，必須從晶片W的一端部向另一端進行精密的切斷，具有將主軸移動機構28的運轉范圍 極力擴大的必要，與其對應，主軸移動機構28的刀片25、25之間的開口變大。
一方面，為了在工件交換部33上不侵入霧，主軸移動機構28的開口最好小些。因 為，從具有清潔的氛圍的空間區(qū)域向產(chǎn)生霧的非清潔氛圍單方向送入清潔的空氣的必要。 從主軸移動機構28的開口變小的部分，以網(wǎng)羅工件切斷加工部32的晶片W的狀態(tài)，將清潔 的空氣以單方向或放射狀的供給，由此，阻止霧侵入作為工件交換部33側的上游區(qū)域。如此，將空氣流以單方向或放射狀的供給上，設置從工件交換部33側供給清潔的 空氣的機構為好。又，即使在從工件交換部33側不設置供給清潔空氣的機構，在將裝置設 置于清潔室、如果從裝置的排氣口 37以充分的壓差將裝置內(nèi)的霧氛圍排氣，則從裝置前面 的開口部23依次吸入清潔的氛圍氣體，在裝置內(nèi)可產(chǎn)生自然的空氣流。又，主軸移動機構28中，移動主軸30的導軌29本身如果具有充分的寬度，則可以 遮蔽晶片交換位置和排氣、排水口區(qū)域，該晶片交換位置有保持清潔氛圍氣體的必要，該排 氣、排水口區(qū)域為切削水飛濺、排出切削屑的區(qū)域。該遮蔽效果，會在僅具有主軸移動機構 28，就具備充分功能的場合，但是在主軸移動機構28的基礎上，附加如圖5的符號SP所例 示的遮蔽板等，進一步具有分離區(qū)域的功能。關于該遮蔽板SP的寬度、高度，也會因為排氣切削屑的壓差而產(chǎn)生，也不是一概 定量而規(guī)定，但是，如果是作為區(qū)域部分分離的結構，為充分發(fā)揮功能的部件。進一步，從主 軸移動機構28向排氣口 37以及排水口 35漸漸寬度變窄的狀況，最好在變窄框體的同時， 將工件交換部33所具有的晶片交換位置也設為寬度變窄的狀態(tài)。又，圖5中的符號51為 淋霧噴嘴。晶片交換位置，最好有保持清潔的環(huán)境的同時，從排氣口 37的霧進行對流，不繞 到裝置前面?zhèn)冗M入的必要。如果將晶片交換位置擴大設置，切削霧環(huán)繞進入，在裝置前面沿 著壁環(huán)繞進入，相當于晶片交換位置的裝置壁面部分也有污染的可能性。從主軸移動機構28的晶片交換位置中，或，通過寬度變窄的狀態(tài)，形成將供給到 晶片交換位置的清潔的空氣分散到主軸移動機構28的狀態(tài)。通過如此，從在裝置內(nèi)的工件 加工位置到裝置的背面部進行飛散的切削水，可高效從裝置背面部排出，同時以主軸移動 機構28簡易的遮蔽，進而，從那里到晶片交換位置，通過限制為寬度變窄狀態(tài)，到達晶片交 換位置的切削霧幾乎不存在。結果，裝置內(nèi)可以分離為清潔區(qū)域和非清潔區(qū)域。切削霧的對流產(chǎn)生的在工件交 換位置的污染幾乎不會發(fā)生。進而，如此的清潔區(qū)域和非清潔區(qū)域進行分離時，工件交換位 置和切斷位置之間設置淋霧機構(淋霧噴嘴51)。晶片W在從工件切斷位置向晶片交換位置移動時，通過該淋霧部分，由此，可在物理上將晶片的運送不難進行的同時，可高效的進行將切削霧不侵入晶片交換位置的氛圍氣 的遮斷。通過并用主軸移動機構28的遮蔽效果，可進行進一步的區(qū)域分離。在本實施例中，導軌29、主軸移動機構28以及主軸30、30的本身，具有部分遮蔽工 件交換部33側的區(qū)域和維護位置的作用，該工件交換部33有保持清潔的氛圍氣的必要，該 維護位置為飛散切削水和其霧的位置。又，如圖4所示那樣，本發(fā)明相關的排水機構36的排水通路下端側，具有俯視觀看 為三角形的角部45，因此，例如即使與切削水一起流動工件的端部材料44等的情況下，該 端部材料等被三角形的角部45的頂角部分自動的匯集。因此，如以前實例那樣，有加工后 進行整理、進行回收處理的必要。如以上那樣，本發(fā)明的實施例相關的切割裝置，在對切削水的排水以及霧的排氣 高效的進行的同時，部分隔離進行霧的排氣的氛圍氣區(qū)域、將晶片W保持在清潔的氛圍氣 區(qū)域，而且，該被隔離的位置的上游側中，通過將清潔的空氣供給導軌29等，可將切割裝置 21的內(nèi)部整體進一步保持清潔。在此，在以前實例中，如圖14所示那樣，從刀片直接噴射的切削水如通常該圖 14 (C)所示那樣，為比較寬的概率分布。可是，對其設置直角的壁，則其噴射的切削水進一步 濺回，切削水無用得變寬。被噴射的切削水如果變寬，僅此表面積增大、變得容易干燥。其 結果，周圍一面上含有切削屑的切削水干燥，切削屑殘留、污染。該點，本發(fā)明如圖6(b)所示那樣，裝置框架在刀片旋轉方向的沿長線上進行匯集 (寬度變窄依次變遠)，由此，飛散的切削水自然匯集在排水口 35。例如，圖6(d)所示那樣，形成為放射線狀(Y = X2)的場合，對該軸平行進行飛散 的切削水，全部集中于原點。關于霧的發(fā)生，有下述兩種情況，分別為在切斷點在刀片25、25與工件(被加工 物)之間進入切削水，產(chǎn)生細霧的情況；水滴飛散、接觸寬度變窄遠離的框體內(nèi)壁濺回時， 成為霧。特別是，接觸框體濺回的場合，發(fā)生多量的霧，因此，霧一直上升。上升的霧在不排 氣的場合中，傳到裝置的上部，進入裝置的前面，此外，通過微小的間隙，會侵入電氣關聯(lián)部 分。在裝置內(nèi)的電氣關聯(lián)部分中如果進入霧，則會產(chǎn)生生銹、短路等。因此，可效率良好的 進行霧的搜集的同時，該搜集的霧有高效排氣的要求。根據(jù)本發(fā)明，根據(jù)刀片25、25產(chǎn)生的從切削部飛散的切削屑，在方形框架22的內(nèi) 壁面高效的集中在一個位置。該集中的切削水濺回、散開時霧飛舞，該霧被聚集的部分急速 上升。可是，在該場所因為設置排氣口 37，所以高效的將霧吸起成為可能。霧伴隨接近排氣 口 37負壓增高，因此，在裝置內(nèi)不會產(chǎn)生霧的對流。即，在切削部分飛散的霧全部匯集到一 個位置而構成。進而，主軸移動機構28發(fā)揮將晶片交換位置和切削水廢液口以及切削霧排氣位 置進行分離的效果。即，主軸移動機構28與該導軌29的寬度尺寸適當?shù)卦O定，由此，裝置 前面部的清潔區(qū)域與裝置后角部的廢液、排氣部以相互遮斷而分離。根據(jù)該遮斷效果，裝置 的前面?zhèn)扰c背面?zhèn)缺粎^(qū)分成具有適度的壓差。在以上構成中，方形框體22的基本對角線上具有主軸移動機構28，與其垂直具有 工件臺運送機構26，根據(jù)工件臺運送機構26的主軸移動機構28，靠近自己一側具有基于工 件交換部33的工件交換位置，內(nèi)側相當于具有排水口 35和霧的排氣口 37的場合。可是，將如此的構成換言之，則不是嚴密的形成方形框體也可以，如果具有接著所示的特征，則可 以得到以下的作用效果。即，作為構成，從工件交換裝置到主軸移動機構28的部分，形成慢 慢將裝置的框體寬度擴大的構成。根據(jù)如此的構成，可發(fā)揮如下所示的效果。如前所述，將清潔的區(qū)域從工件交換位置的局部的部分引入，將其可向由工件切 斷加工部32產(chǎn)生的晶片加工部適度地分散的同時，進行導入。其結果，形成單方向放射狀 的空氣流，不間斷地保持清潔的環(huán)境?？諝獾囊?，為局部的工件交換位置，所以將晶片切 斷加工時的同時卷起的切削霧，侵入工件交換位置變得困難。因為，從工件交換位置引入的 清潔空氣的流速最快，切削霧難以進行逆流。進而，從工件交換位 置到主軸移動機構28的部分，在將裝置框體寬度擴大下去的 結構的基礎上，在從將工件移動的X軸偏移的左右部分，設置主軸維護位置。通過如此形 成，產(chǎn)生以下的作用效果。在將相對的左右的刀片25、25進行交換的場合，在進行維護的場合以及進行精度 測定的場合等，將刀片25、25從工件交換部33的位置向左右側錯開也可以。圖7(a)、(b) 顯示了該具體情況。例如，從工件交換位置觀看，進行右側的B刀片的交換、調(diào)整；B主軸的 端面研磨的場合，如圖7 (a)所示那樣，首先，將雙方的對向主軸A、B移動到工件交換位置的 左側，即，主軸維護位置1(SP、MT1)。將工件交換位置的左側的主軸維護位置1(SP、MT1)的 壁面板取下。將B刀片取下，B主軸的端面變臟的場合等，根據(jù)主軸維護位置1(SP、MT1)的左側， 從(1)所示的右45度方向觀看B主軸，B主軸的端面研磨為鏡面。在安裝B刀片后，相對 B刀片的B主軸的同軸度、B刀片的圓度在進行測定、調(diào)整的場合，根據(jù)主軸維護位置1 (SP、 MTl)的左側，在(1)所示的45度方向觀看B主軸，也可進行測定、調(diào)整。接著，按照不咬住異物的方式，將B刀片安裝于B軸上，在B刀片相對于工件是否 為筆直而進行測定調(diào)整的場合，從主軸維護位置1(SP、MTl)的右側，在(2)中所示的左45 度方向觀看B主軸，進行測定、調(diào)整即可。由此，可目視B刀片相對于工件位置偏差的情況 等，由此，調(diào)整工作變得非常簡單。這樣，在主軸和刀片的測定、調(diào)整中，對于必須從刀片的正面?zhèn)群痛怪眰?方向確 認各自的同軸度、圓度、直線度等的維護，以往是必須在正面和側面這種裝置的2個側面之 間穿插，像本發(fā)明這樣，可從一個維護側，即，同一個主軸維護位置1(SP、MTl)的地方，分別 在右45度方向、左45度方向上進行確認，同時進行維護，由此，主軸和刀片的維護調(diào)整變得
非常容易。另外，從工件交換位置觀看，在測定、調(diào)整左側的A刀片時，如圖7(b)所示，與前端 對稱地，使兩個主軸A、B像主軸維護位置2 (SP、MT2)移動，從主軸維護位置2 (SP、MT2)，與 上述同樣地進行調(diào)整，由此，可容易地進行確認。綜上，從裝置外部到刀片的確認變得容易， 而且，從正面觀看刀片時和從側面觀看時的兩種情況均變得容易。在對刀片同軸度或安裝 刀片的端面進行研磨時，需要從正面觀看刀片，在確認刀片安裝時的位置偏差時，需要從側 面觀看刀片。接著，作為主軸移動機構28的部分進深確認某種程度的寬度，為了提高切削水、 切削霧的排水、排氣效率，可采用將裝置的框體寬度設為逐漸變窄的方案。這樣，可獲得如 下所示的作用效果。從主軸移動機構28和工件臺傳送機構26相交叉的工件加工部分飛散出的切削水或切削霧，由于框體寬度變窄而流速增加，可有效地進行排除。切削霧在框體變 窄的部分排氣速度最快，因此，可防止切削霧在裝置內(nèi)形成對流?？色@得以上效果。這樣的結構概括地來講為如下結構。以主軸移動機構28為邊境，分為其前部的清 潔區(qū)域和其后部的非清潔區(qū)域，在該前部的清潔區(qū)，從工件交換部33的位置到主軸移動機 構28，裝置的框體寬度逐漸增大，裝置內(nèi)部的內(nèi)壁的寬度也增大。在主軸移動機構28，寬度 變?yōu)樽畲?。在該后部的非清潔區(qū)域，從該主軸移動機構28到與工件交換位置相反側的后部 的排水、排氣機構36、38，按照裝置的框體寬度逐漸變窄的方式構成，形成框體寬度在后部 的排水、排氣機構36、38變窄的形態(tài)。S卩，作為裝置的工件交換位置側的前部為清潔區(qū)，與維護區(qū)鄰接。另一方面，夾住 主軸移動機構28的后部，為切割加工產(chǎn)生的工件的淤渣或切削水、切削霧等飛散的非清潔 區(qū)域。供給刀片的切削水等，從清潔區(qū)側供給到非清潔區(qū)域側，水的供給也形成單向流動。 由此，通過非清潔區(qū)域的排水、排氣機構36、38匯集所有的水進行排水排氣。另外，也可在油盤34附近的淤渣中，制作通過壁面從清潔區(qū)側供給水的機構。再 有，不僅是排水，在排氣中也可作為下述結構在工件交換部33附近設置吸入干凈空氣的 口，通過油盤34的切削水流過的槽和晶片表面附近，由后部的排氣機構38進行排氣。由此， 不僅水的流動，氣體的流動也是從工件交換位置到排氣口 37的單向通行，空氣與水一同流 動，可在晶片切割加工位置形成可不斷地連續(xù)供給比較干凈的空氣的氣氛環(huán)境。這樣的結果，由晶片切割加工而飛濺的淤渣碰壁而濺回，其落在切割加工中的晶 片W上，不會進入刀片25、25和晶片W之間。再有，由于切削水飛散，切削霧碰壁而繼續(xù)在 裝置內(nèi)蔓延，確實地蔓延至切削的部分，高濕的霧進入高速旋轉的主軸30的軸承部分，防 止主軸30的壽命縮短。晶片W在清潔區(qū)和非清潔區(qū)域的邊境部分加工。切削加工的淤渣 和切削水飛散到非清潔區(qū)域側。為了如此劃分區(qū)域，基本直線狀地配置工件交換位置、工件加工位置和切削水排 水、排氣位置，以工件加工位置為邊境，將工件交換位置和切削水排水、排氣位置配置在基 本相反側即可。如此一來，即使不為嚴格的方形框體也行。比如，也可為角部分為圓角，框 體為基本8邊形或基本7邊形的裝置。結果上，上述的作用效果沒有太大改變?？蝮w為基本8邊形的場合，其中各部分結構可以如下所示。即，主軸移動機構28 和工件臺運送機構26分別具有一定的寬度，可將它們垂直配置。由主軸移動機構28的寬 度部分構成的兩端面形成8邊形的2邊。由工件臺運送機構26的寬度部分構成的端面形 成1邊，排水、排氣機構36、38部分的寬度構成的端面形成1邊。其余的4邊按照與這些邊 連接的方式構成。8邊形中的2邊可以相當于主軸維護位置SP、MT1和SP、MT2。另外，在 7邊形的場合，排水、排氣機構36、38部分為了在中央部收集切削水，特意不作為邊，而作為 頂點，之外與8邊形的場合同樣即可。另外，可考慮以下的應用例。比如，為了提高主軸30部分的維護性，如圖8(a) (b)所示那樣，在裝置內(nèi)的工件交換部33中，將該工件交換部33的兩側切口即可。由此，如 上所述，在對單側的主軸30和刀片25進行維護時，可從裝置的同一面確認相對于刀片25 的垂直方向和正面方向的兩方向?？扇∠酝菢訉σ粋€刀片的調(diào)整，在裝置的正面和側 面來回穿插進行確認的作業(yè)，由此，可簡便地進行刀片調(diào)整。進而，在工件交換部33中，切口兩側，從工件交換部33到主軸移動機構28設定為寬度逐漸變大，由此，從工件交換部33接受到的干凈的空氣呈放射狀擴散到主軸移動機構 28，由此，裝置內(nèi)的空氣流不會滯留。再有，在主軸移動機構28產(chǎn)生的工件切削時的霧逆流 或?qū)α鞯?，不會到達工件交換部33，工件交換部33可始終保持清凈的環(huán)境。而且，為了提高晶片切割加工時產(chǎn)生的廢水或霧等排氣的效率，如圖9(a) (b) 所示那樣，在裝置內(nèi)的排氣機構38乃至排水機構36中，將該排氣機構38或排水機構36的 兩側切口即可。由此，如上所述，由晶片切割加工而飛濺的切削水或霧等從兩側變窄，碰觸 寬度較窄的內(nèi)壁，容易集中到排氣機構38中，除此之外，排水也同樣變窄，碰觸寬度較窄的 內(nèi)壁，容易集中到排水機構36中。另外，在圖8 (b)、圖9 (b)中，裝置框體像虛線那樣形成，并且裝置內(nèi)部的壁面如該 圖所示那樣，也可按照從主軸移動機構28在排水、排氣機構36、38部分變窄，寬度變窄的方 式構成。雖然裝置的占有面積變大，但在排水效率、排氣效率的方面，實質(zhì)的作用效果沒有 改變。
接著，在排水效率的方面，為了進一步提高排水效率，作為圖10 (a)、10 (b)、10 (c) 所示的結構則更有效果。該圖10(b)是沿該圖10(a)中的Y-Y線的剖視圖，該圖10(c)是 部分地詳細表示該圖10(b)的局部擴大圖。如該圖10(b)所示那樣，按照沿工件臺運送機 構26，排水機構36側變低的方式傾斜。工件交換部33的位置位于最高處，從這里經(jīng)過主軸 移動機構28，進而經(jīng)過排水機構36而傾斜，排水機構36位于最低處。工件在工件交換部 33投入，在與主軸移動機構28交差的地方進行工件的切割加工。工件切割加工結束之后， 返回工件交換部33。在從主軸移動機構28返回工件交換位置的途中，具有簾刷39。而且在從簾刷39 到工件交換位置，具有淋霧噴嘴(多重噴嘴)51。作為簾刷39的作用效果，具有以下兩點。一個作用效果是，通過簾刷39，對加工工件的主軸移動機構28部分和工件交換部 33的某工件交換位置進行環(huán)境性遮擋。特別是在工件的切割加工時，多數(shù)的切削水飛濺到 排水機構36部分被回收。但是，一部分的霧飛揚到切割加工部分，根據(jù)情況，有可能會對流 到裝置前面的工件交換位置。在主軸移動機構28部分和工件交換位置之間具有簾刷39的 話，該簾刷39遮擋切削水的霧使其不會到達工件交換位置，將工件加工位置和工件交換位 置環(huán)境性地分開。另外，在這里，在設置了上述簾刷39的場合，在上述圖9(b)等方案中，伴隨從該簾 刷39和主軸移動機構28的部分接近排水、排氣機構36、38，按照較窄寬度設置裝置框體的 寬度，由此，向工件交換位置的飛散被簾刷39遮擋的上述一部分霧也流速增加，同時匯集 到排氣機構38，可從該排氣機構38有效地排氣。第二個作用效果是，在主軸移動機構28部分切割加工完成的工件，在該工件上堆 積有切屑或淤渣。具有簾刷39的刷將這樣堆積的切屑撣掉的效果。但是，若刷前端繼續(xù)以 該狀態(tài)接觸晶片(工件)表面的話，會把晶片表面弄傷。特別是，晶片上帶著淤渣的狀態(tài)用 刷蹭的話，淤渣會劃傷晶片表面，將晶片損傷。為了避免這種情況，從簾刷39的上游側，即工件交換位置附近，用淋霧噴嘴51將 噴霧落在晶片上，沿著裝載了工件的工件臺24，并且沿著工件表面，即晶片表面形成水流， 同時通過簾刷39的下面，將晶片返回工件交換位置。由此，簾刷39的前端通過水而接觸， 故不會因晶片上的淤渣摩擦晶片表面，簾刷39在撣落淤渣的同時，淤渣順水流走。結果，不會損傷晶片表面，可有效地去除切屑和淤渣。在這里，從淋霧噴嘴51噴出的噴水，從簾刷39的更上游側，沿著晶片或者沿著工 件臺24進行供給，但也可從簾刷39的上側，使該簾刷39含有水的同時進行供給。在此場 合，在晶片上，并非是嚴格沿著晶片的水流，用簾刷39中包含的水進行沖洗，簾刷39將淤渣 掃除時不直接摩擦晶片表面，通過水將淤渣去除，這一點上，獲得同樣的作用效果。另外，使淋霧噴嘴51相對于晶片適度傾斜，以使水流向排水機構36側，由此，也有 不必從工件交換位置到排水機構36傾斜的情況。但是，為了去除晶片表面的淤渣，水量較 多的話，某種程度上具有水濺回回晶片表面，無法有效沖洗淤渣的情況。將晶片傾斜，在這里，作為使從工件交換位置到排水機構36同樣傾斜的系統(tǒng)，對 于晶片表面上附著的淤渣，從簾刷39的上游沿晶片供給水，由此，即使少量的水也可有效 地覆蓋晶片表面，并且移動滑落。在該狀態(tài)，通過使用簾刷39沖洗，可巧妙地形成簾刷39 在水流中輕輕接觸晶片表面的情況，有有效地去除淤渣。結果，即使少量的水，也像圖10(c)擴大表示的那樣，通過晶片表面的表面張力，水在晶片上擴散，因重力從晶片上滑落，由此，有效地覆蓋晶片表面，并且原封不動地滑落。 再有，通過使用這樣的水覆蓋晶片表面，可有效地沖洗簾刷39掃出的淤渣。作為簾刷39的材質(zhì)，使用尼龍纖維等即可。另外，由于切割加工后的工件有時會 帶有靜電，所以也可使用碳纖維等。在碳纖維的場合，除了去除晶片上的淤渣之外，還需要 除去晶片表面上的靜電，所以將一端接地是必不可少的。尼龍纖維可使用比如，將0. Imm直徑或0. 2mm直徑的尼龍刷，以橫穿過工件臺運送 機構26的形式，密實地直線狀地捆在簾上的方式等。尼龍刷的長度為IOOmm左右即可，最 好是在工件臺運送機構26上，工件(晶片)表面接觸刷的前端，同時工件自動地滑動到工 件交換位置。純水的供給是從工件交換位置到簾刷39之間供給，在橫穿工件這樣的場所設有 淋霧噴嘴51，從這里，以藏入簾刷39的下面的形式供給水。比如，在300mm晶片的場合，使 用的水的流量為2L/min程度。通過該程度的水的供給，不僅可網(wǎng)羅晶片整面，而且通過該 水的供給，可在晶片表面形成水膜。進而，通過使工件臺運送機構26傾斜，與水平面相比，可實質(zhì)縮短平面距離。由 此，即使是相同的工件臺運送機構26的距離，上下地傾倒，使其傾斜的話，可謀求節(jié)省空 間。作為使工件臺運送機構26傾斜的角度，如果要使水緩緩移動，僅傾斜3° 5°左右就 有效果，但要使少量的水高速作用的場合等，可設定45° 60°等大角度。本發(fā)明只要是主軸移動機構和工件臺運送機構相互垂直相交而配置的帶有排水 排氣機構的切割裝置，均可適用。
權利要求
一種帶排水排氣機構的切割裝置，其包括裝載工件的工件臺；切斷該工件的刀片；工件臺運送機構，該機構使上述工件臺上的工件相對上述刀片而移動；主軸，其以可旋轉的方式安裝上述刀片；以可移動的方式支承該主軸的主軸移動機構，將該主軸移動機構和上述工件臺運送機構相互垂直地設置，其特征在于配設有排水機構，該排水機構具有排水口，該排水口在上述工件的切斷時，位于沿被上述刀片飛散的切削水的排出方向的基本沿長線上，該排水機構具有伴隨接近上述排水口寬度逐漸變窄的裝置內(nèi)壁乃至裝置框架。
2.一種帶排水排氣機構的切割裝置，其包括裝載工件的工件臺；切斷該工件的刀片； 工件臺運送機構，該機構使上述工件臺上的工件相對上述刀片而移動；主軸，其以可旋轉的 方式安裝上述刀片；以可移動的方式支承該主軸的主軸移動機構，將該主軸移動機構和上 述工件臺運送機構相互垂直地設置，其特征在于配設有排氣機構，該排氣機構具有排氣口，該排氣口在上述工件的切斷時，位于沿被上 述刀片飛散的切削水和霧的排出方向的基本沿長線上，該排氣機構具有伴隨接近上述排氣 口寬度逐漸變窄的裝置內(nèi)壁乃至裝置框架。
3.一種帶排水排氣機構的切割裝置，其包括裝載工件的工件臺；切斷該工件的刀片； 工件臺運送機構，該機構使上述工件臺上的工件相對上述刀片而移動；主軸，其以可旋轉的 方式安裝上述刀片；以可移動的方式支承該主軸的主軸移動機構，將該主軸移動機構和上 述工件臺運送機構相互垂直地設置，其特征在于上述主軸移動機構和工件臺運送機構配置在形成為俯視呈方形的切割裝置的方形框 架的兩個對角線上，在上述工件的切斷時的沿被上述刀片飛散的切削水和霧的排出方向的 基本沿長線上配設有具有排水口的排水機構、具有排氣口的排氣機構，該排水機構和排氣 機構具有伴隨接近上述排水口寬度逐漸變窄的排水通路，而且，上述排氣機構具有伴隨接 近上述排氣口寬度逐漸變窄的排氣通路，在配置上述排水機構的對角線上，該排水機構的 相反側設置工件交換部。
4.一種帶排水排氣機構的切割裝置，其包括裝載工件的工件臺；切斷該工件的刀片； 工件臺運送機構，該機構使上述工件臺上的工件相對上述刀片而移動；主軸，以可旋轉的方 式安裝上述刀片；以可移動的方式支承該主軸的主軸移動機構，將該主軸移動機構和上述 工件臺運送機構相互垂直地設置，其特征在于上述主軸移動機構和工件臺運送機構配置在形成為俯視呈方形的切割裝置的方形框 架的兩個對角線上，在上述工件的切斷時的沿被上述刀片飛散的切削水和霧的排出方向的 基本沿長線上配設有具有排水口的排水機構、具有排氣口的排氣機構，該排水機構和排氣 機構具有伴隨接近上述排氣口寬度逐漸變窄的排水通路，而且，上述排氣機構具有伴隨接 近上述排氣口寬度逐漸變窄的排氣通路，進一步，接收從上述工件流出的切削水的油盤以 圍繞上述工件臺送出機構的方式設置，該油盤在上述工件切斷加工位置形成為寬度變寬， 同時，伴隨面對與該油盤連接的上述排水機構以寬度逐漸變窄的方式形成。
5.一種帶排水排氣機構的切割裝置的環(huán)境控制方法，該切割裝置包括裝載工件的工 件臺；切斷該工件的刀片；工件臺運送機構，該機構使上述工件臺上的工件相對上述刀片 而移動；主軸，以可旋轉的方式安裝上述刀片；以可移動的方式支承該主軸的主軸移動機 構，將該主軸移動機構和上述工件臺運送機構相互垂直地設置，上述主軸移動機構和工件 臺運送機構配置在形成為俯視呈方形的切割裝置的方形框架的兩個對角線上，在上述工件的切斷時的沿被上述刀片飛散的切削水和霧的排出方向的基本沿長線上配設有具有排水 口的排水機構、具有排氣口的排氣機構，其特征在于，根據(jù)主軸移動機構將設置了工件交換 部的空間區(qū)域從飛散霧的空間區(qū)域隔離，在以上述刀片切斷工件時，將沿被該刀片的旋轉 飛散的切削水以及霧分別直接流入上述排水機構以及排氣機構后，將切削水以及霧一邊面 對上述排水口以及排氣口變窄一邊排出。
6.一種切割裝置，其包括裝載工件的工件臺；切斷該工件的刀片；工件臺運送機構， 該機構使上述工件臺上的工件相對上述刀片而移動；主軸，以可旋轉的方式安裝上述刀片； 以可移動的方式支承該主軸的主軸移動機構，其特征在于將上述主軸移動機構和上述工 件臺運送機構相互垂直地設置，具有裝置框架，該裝置框架伴隨面對基本沿長線寬度變窄， 該基本沿長線為在上述工件的切斷時的沿被上述刀片飛散的切削水的排出方向的基本沿 長線。
7.一種切割裝置，其包括裝載工件的工件臺；切斷該工件的刀片；工件臺運送機構， 該機構使上述工件臺上的工件相對上述刀片而移動；主軸，以可旋轉的方式安裝上述刀片； 以可移動的方式支承該主軸的主軸移動機構，其特征在于將上述主軸移動機構和上述工 件臺運送機構相互垂直地設置，加工上述工件的工件加工裝置位于基本裝置中央部的同 時，交換上述工件的工件交換位置位于上述工件臺運送機構的一端，具有下述裝置框架，其 中伴隨從上述工件交換位置向上述主軸移動機構的接近，裝置框架寬度變寬，同時，在從上 述主軸移動機構切斷上述工件時，伴隨面對被上述刀片飛散的切削水的排出方向的基本沿 長線，該裝置框架寬度變窄。
8.一種切割裝置，其包括裝載工件的工件臺；切斷該工件的刀片；工件臺運送機構， 該機構使上述工件臺上的工件相對上述刀片而移動；主軸，以可旋轉的方式安裝上述刀片； 以可移動的方式支承該主軸的主軸移動機構，其特征在于將上述主軸移動機構和上述工 件臺運送機構相互垂直地設置，加工上述工件的工件加工裝置位于基本裝置中央部的同 時，交換上述工件的工件交換位置位于上述工件臺運送機構的一端，配置排水機構，其位于 上述工件的切斷時的沿著被上述刀片飛散的切削水的排出方向的基本延長線上，在上述工 件臺運送機構的另一端側附近進行排水收集，具有簾刷，該簾刷橫切上述工件臺運送機構， 位于上述工件交換位置和上述工件加工位置之間，該簾刷在工件從上述工件加工裝置向上 述工件交換位置移動時，接觸工件表面，具有下述裝置框架，其中伴隨從上述工件交換位置 向上述主軸移動機構的接近，裝置框架寬度變寬，同時，伴隨從上述主軸移動機構向上述排 水機構的接近，該裝置框架寬度變窄。
9.一種切割裝置，其包括裝載工件的工件臺；切斷該工件的刀片；工件臺運送機構， 該機構使上述工件臺上的工件相對上述刀片而移動；主軸，其以可旋轉的方式安裝上述刀 片；以可移動的方式支承該主軸的主軸移動機構，其特征在于將上述主軸移動機構和上 述工件臺運送機構相互垂直地設置，加工上述工件的工件加工裝置位于基本裝置中央部的 同時，交換上述工件的工件交換位置位于上述工件臺運送機構的一端，配置排水機構，其位 于上述工件的切斷時的沿著被上述刀片飛散的切削水的排出方向的基本延長線上，在上述 工件臺運送機構的另一端側附近進行排水收集，具有簾刷，該簾刷橫切上述工件臺運送機 構，位于上述工件交換位置和上述工件加工位置之間，該簾刷在工件從上述工件加工裝置 向上述工件交換位置移動時，接觸工件表面，具有下述裝置框架，其中伴隨從上述工件交換位置向上述主軸移動機構的接近，裝置框架寬度變寬，同時，橫切上述工件臺送出機構，伴 隨從簾刷和上述主軸移動機構接近上述排水機構，該裝置框架寬度變窄。
10.一種切割裝置，其包括裝載工件的工件臺；切斷該工件的刀片；工件臺運送機構， 該機構使上述工件臺上的工件相對上述刀片而移動；主軸，以可旋轉的方式安裝上述刀片； 以可移動的方式支承該主軸的主軸移動機構，其特征在于將上述主軸移動機構和上述工 件臺運送機構相互垂直地設置，加工上述工件的工件加工裝置位于基本裝置中央部的同 時，交換上述工件的工件交換位置位于上述工件臺運送機構的一端，具有下述裝置框架，其 中伴隨從上述工件交換位置向上述主軸移動機構的接近，裝置框架寬度變寬。
11.一種切割裝置，其包括裝載工件的工件臺；切斷該工件的刀片；工件臺運送機構， 該機構使上述工件臺上的工件相對上述刀片而移動；主軸，其以可旋轉的方式安裝上述刀 片；以可移動的方式支承該主軸的主軸移動機構，其特征在于將上述主軸移動機構和上 述工件臺運送機構相互垂直地設置，加工上述工件的工件加工裝置位于基本裝置中央部的 同時，交換上述工件的工件交換位置位于上述工件臺運送機構的一端，而且，設置主軸維護 位置，該主軸維護位置位于上述主軸移動機構上，從移動上述工件的X軸偏離的左右部分， 具有下述裝置框架，其中伴隨從上述工件交換位置向上述主軸移動機構的接近，裝置框架 寬度變寬。
12.—種切割裝置，其包括裝載工件的工件臺；切斷該工件的刀片；工件臺運送機構， 該機構使上述工件臺上的工件相對上述刀片而移動；主軸，其以可旋轉的方式安裝上述刀 片；以可移動的方式支承該主軸的主軸移動機構，其特征在于將上述主軸移動機構和上 述工件臺運送機構相互垂直地設置，加工上述工件的工件加工裝置位于基本裝置中央部的 同時，以主軸移動機構為邊界區(qū)分為裝置前部的清潔區(qū)域和裝置后部的不潔區(qū)域，交換上 述工件的工件交換位置位于上述清潔區(qū)域，將上述不潔區(qū)域配置在上述工件的切斷時沿上 述刀片的切削水以及切削霧飛散的方向，伴隨從上述工件交換位置接近上述主軸移動機 構，裝置的框架寬度增大，從上述主軸移動機構面向上述不潔區(qū)域，裝置的框架寬度減小。
全文摘要
本發(fā)明提供一種切割裝置、帶排水排氣機構的切割裝置及環(huán)境控制方法。該切割裝置防止切削屑的堆積，提高排出效率，使洗滌容易，維持工件交換部的清潔。其包括裝載工件的工件臺；切斷該工件的刀片；工件臺運送機構，該機構使上述工件臺上的工件相對上述刀片而移動；主軸，其以可旋轉的方式安裝上述刀片；以可移動的方式支承該主軸的主軸移動機構，將該主軸移動機構和上述工件臺運送機構相互垂直地設置，配設有排水機構，該排水機構具有排水口，該排水口在上述工件的切斷時，位于沿上述刀片飛散的切削水的排出方向的基本沿長線上，該排水機構具有伴隨接近上述排水口寬度變窄的排水通路，上述切削水一邊使流速增大，一邊進行排水。
文檔編號B28D5/00GK101870141SQ20101015875
公開日2010年10月27日 申請日期2010年4月23日 優(yōu)先權日2009年4月24日
發(fā)明者東正幸, 新井裕介, 藤田隆 申請人:株式會社東京精密