專利名稱：?jiǎn)尉Ч璋袅祥_方檢驗(yàn)設(shè)備組合的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及單晶硅晶片的制造設(shè)備的組合結(jié)構(gòu)，具體是一種用來對(duì)單晶硅棒
料進(jìn)行檢驗(yàn)的單晶硅棒料開方檢驗(yàn)設(shè)備組合。
f圓柱形的單晶硅棒料的四個(gè)側(cè)面切割劃線、紅外測(cè)試、少子測(cè)試等檢驗(yàn)工序；
在檢驗(yàn)工序中，棒料需要在各檢測(cè)設(shè)備 轉(zhuǎn)動(dòng)過程中容易造成材料損耗浪費(fèi)，操

發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問題是，提供一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、可減少材料損耗、降低勞 動(dòng)強(qiáng)度的單晶硅棒料開方檢驗(yàn)設(shè)備組合。 本實(shí)用新型的單晶硅棒料開方檢驗(yàn)設(shè)備組合包括有尺寸測(cè)量及劃線工具、紅外測(cè) 試儀和少子測(cè)試機(jī)，所述測(cè)量及劃線工具、紅外測(cè)試儀和少子測(cè)試機(jī)三個(gè)部分依次排布，三 個(gè)部分之間通過自動(dòng)傳送帶連接。 所述的由自動(dòng)傳送帶連接的劃線工具、紅外測(cè)試儀和少子測(cè)試機(jī)設(shè)置有多組，各 組之間由檢測(cè)操作空間間隔。 本實(shí)用新型在傳統(tǒng)檢測(cè)設(shè)備之間設(shè)置自動(dòng)傳送帶，可以將棒料在各檢測(cè)環(huán)節(jié)自動(dòng) 傳送，降低了操作人員的勞動(dòng)強(qiáng)度，也減少了轉(zhuǎn)動(dòng)過程中對(duì)材料的損耗和浪費(fèi)。

圖1是本實(shí)用新型實(shí)施例的平面布局結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
如圖所示，該單晶硅棒料開方檢驗(yàn)設(shè)備組合包括有常規(guī)的尺寸測(cè)量及劃線工具l、 紅外測(cè)試儀2和少子測(cè)試機(jī)3，測(cè)量及劃線工具、紅外測(cè)試儀和少子測(cè)試機(jī)三個(gè)部分依次排 布，三個(gè)部分之間通過自動(dòng)傳送帶4連接。由自動(dòng)傳送帶連接的劃線工具、紅外測(cè)試儀和少 子測(cè)試機(jī)設(shè)置有兩組，兩組之間由檢測(cè)操作空間5間隔。
背景技術(shù)：
現(xiàn)有的單晶硅晶硅晶片的生產(chǎn)過程是1、〉 形成平面，即開方工序；2、將開方后的棒料經(jīng)過測(cè)量 3、將檢驗(yàn)后的開方棒料在切片機(jī)上切割形成晶片。 之間轉(zhuǎn)動(dòng)，而通常的棒料重量較重(達(dá)十余千克)， 作人員的勞動(dòng)強(qiáng)度也較大。
權(quán)利要求一種單晶硅棒料開方檢驗(yàn)設(shè)備組合，包括有尺寸測(cè)量及劃線工具(1)、紅外測(cè)試儀(2)和少子測(cè)試機(jī)(3)，其特征是所述測(cè)量及劃線工具、紅外測(cè)試儀和少子測(cè)試機(jī)三個(gè)部分依次排布，三個(gè)部分之間通過自動(dòng)傳送帶(4)連接。
2. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的單晶硅棒料開方檢驗(yàn)設(shè)備組合，其特征是由自動(dòng)傳送帶(4)連接的劃線工具(1)、紅外測(cè)試儀(2)和少子測(cè)試機(jī)(3)設(shè)置有多組，各組之間由檢測(cè)操作 空間(5)間隔。
專利摘要本實(shí)用新型涉及單晶硅晶片的制造設(shè)備的組合結(jié)構(gòu)，具體是一種用來對(duì)單晶硅棒料進(jìn)行檢驗(yàn)的單晶硅棒料開方檢驗(yàn)設(shè)備組合。該單晶硅棒料開方檢驗(yàn)設(shè)備組合包括有尺寸測(cè)量及劃線工具、紅外測(cè)試儀和少子測(cè)試機(jī)，所述測(cè)量及劃線工具、紅外測(cè)試儀和少子測(cè)試機(jī)三個(gè)部分依次排布，三個(gè)部分之間通過自動(dòng)傳送帶連接。本實(shí)用新型在傳統(tǒng)檢測(cè)設(shè)備之間設(shè)置自動(dòng)傳送帶，可以將棒料在各檢測(cè)環(huán)節(jié)自動(dòng)傳送，降低了操作人員的勞動(dòng)強(qiáng)度，也減少了轉(zhuǎn)動(dòng)過程中對(duì)材料的損耗和浪費(fèi)。
文檔編號(hào)B28D5/00GK201534360SQ20092004295
公開日2010年7月28日 申請(qǐng)日期2009年6月30日 優(yōu)先權(quán)日2009年6月30日
發(fā)明者張錦根, 施海明, 鄂林, 陸景剛 申請(qǐng)人:鎮(zhèn)江環(huán)太硅科技有限公司